DE955352C

DE955352C - Pumpstand fuer Hochvakuumanlagen

Info

Publication number: DE955352C
Application number: DEL19097A
Authority: DE
Original assignee: E Leybolds Nachfolger AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1954-06-16
Filing date: 1954-06-16
Publication date: 1957-01-03

Description

In dem Hauptpatent 88q.851 wird ein Pumpstand für Hochvakuumanlagen, bestehend aus Vorvakuum-, Hochvakuum- und gegebenenfalls Zwischenpumpe beschrieben, in dem zur Vermeidung der Betätigung i .von Ventilen während des Pumpvorganges die Abmessungen der Verbindungsleitungen von den Vorvakuum- und Zwischenpumpen zum Rezipienten so gewählt werden, daß die beim Arbeitsdruck in der letzten Stufe, welche mit dem höchsten Ansaugdruck arbeitet, durch die Verbindungsleitung von dieser Stufe in die Anlage je Zeiteinheit zurückdiffundierenden Gasmengen erheblich kleiner sind als die Saugleistung der Pumpe mit dem niedrigsten Arbeitsdruck.
Die Anordnung hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn in dem Pumpstand entweder als Pumpe mit niedrigstem Ansaugdruck oder als Zwischenpumpe mechanische Pumpen von hoher volumetrischer Leistung, aber geringem Kompressionsverhältnis angeordnet sind, beispielsweise Drehkolbengebläse nach dem Rootsprinzip oder Strömungsmaschinen.
Man könnte diese Maschinen zusammen mit der Pumpe von höchstem Arbeitsdruck in Betrieb setzen, welche normalerweise eine nach dem Verdrängerprinzip arbeitende Vakuumpumpe oder ein Wasserdampfstrahlsauger sein dürfte; dann aber würde die Pumpe mit niedrigem Ansaugdruck wegen ihrer außerordentlich hohen Ansaugleistung sehr große Antriebsmotore erfordern, welche für das Arbeiten beim Arbeitsdruck, der in der Regel unter ro Torr liegen dürfte, nicht benötigt werden. Dagegen kann die mechanische Pumpe großer volumetrischer Leistung leicht mit einem schwächeren Motor angetrieben werden, wenn sie erst nach Erreichung eines bestimmten Unterdruckes entweder von Hand oder durch- ein druckbetätigtes Regelorgan eingeschaltet wird.
Hierbei ist es von besonderem Vorteil, wenn in der von der letzten Stufe zum Rezipienten führenden Leitung kein Ventil zu betätigen ist, da keine Fehlbedienung vorkommen kann, welche beispielsweise zum Durchbrennen des Antriebsmotors der mechanischen Pumpe großer volumetrischer Leistung führen könnte. Auch während des Betriebes hat die Anordnung besondere Vorteile bei Stromausfällen, da dann die Pumpe großer Saugleistung gemäß ihrer großen Schwungmasse ruhig auslaufen kann oder bei Gasausbrüchen oder Lufteinbrüchen, da in diesem Fall die zusätzliche Luftmenge zum erheblichen Teil durch die ventillose Leitung wieder von der Auspuffseite auf die Ansaugseite der Stufe großer vo-lumetrischer Saugleistung zurückströmt und auf diese Weise zu hohe Druckdifferenz an der Stufe, die zur Überbeanspruchung ihres Antriebsmotors führen könnte, vermieden wird. Abb.1 stellt eine erfindungsgemäße Schaltung aus zwei Pumpen, Abb. 2 eine solche aus drei Pumpen dar.
In Abb. 1 isst 1 eine rotierende Vakuumpumpe mit ölabdichtung des schädlichen Raumes, z ein Drehkolbengebläse nach dem Rootsprinzip, 3 die relativ enge Verbindungsleitung zwischen der Pumpe hohen Arbeitsdruckes und dem vakuumdichten Behälter q.. Die Druckleitung 5 des Rootsgebläses 2 führt in die Leitung 3, während der Behälter q. :durch die weite Leitung 6 von der Pumpe 2 evakuiert wird.
In Abb. 2 ist 1 eine rotierende Vakuumpumpe wie in Abb. 1, 2 eine Strömungsmaschine, 3 eine Diffusionspumpe, ¢ ist der Behälter, 5 die enge Verbindungsleitung, 6 die Leitung von der Strömungsmaschine zur Pumpe 1 und 7 die Leitung. von der Strömungsmaschine zur Diffusionspumpe.
An Stelle der mechanischen Pumpe i kann beispielsweise auch ein Wasserdampfstrahlsauger, an Stelle des Systems aus der Strömungsmaschine 2 und der Diffusionspumpe 3 beispielsweise eine Anordnung von zwei Drehkolbengebläsen treten.
Zwischen den Pumpen können besondere Zwischenbehälter angeordnet werden, ebenso mag es in besonderen Fällen zweckmäßig sein, daß auch von der Leitung 7 eine Verbindungsleitung zum Behälter q. führt.

Claims

PATENTANSPRUCH.: Pumpstand für Hochvakuumanlagen, bestehend aus Vorvakuum-, Hochvakuum- und gegebenenfalls Zwischenpumpe, wobei die Abmessungen der Verbindungsleitungen von den Vorvaluutn-und Zwischenpumpen zum Rezipienten so gewählt sind, daß die beim Arbeitsdruck der letzten Stufe aus diesen Zuleitungen in die Anlage je Zeiteinheit zurückdiffundierenden Gasmengen erheblich kleiner als die Saugleistung der Pumpe mit dem niedrigsten Arbeitsdruck sind; nach Patent 984851, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Pumpen mit niedrigem Arbeitsdruck eine mechanische Putnpe (2) großer volumetrischer Leistung, heispielsweis,e eine Strömungsmaschine oder ein Drehkolbengebläse, ist. In Betracht gezogene Druckschriften: G. H. Mönch, Hochvakuumtechnik, 1950, S. 269; R. J a e c k e 1, ' Kleinste Drücke, ihre Messung und Erzeugung, 1950, S. 266; Taschenbuch »Hütte« 11, 21. Auflage, 1911, S. 65o, 651.