DE938432C - Dynamic pressure stage route with spaces of different pressure, especially for guiding corpuscular rays - Google Patents

Description

Dynamische Druckstufenstrecke mit Räumen unterschiedlichen Druckes, insbesondere zur Führung von Korpuskularstrahlen Mittels unter dem Namen »Dynamische Druckstufenstrecke« bekannter Einrichtungen lädt sich ein von fester Materie freier Durchgangsweg zwischen Räumen verschiedenen Gasdruckes, z. B. zwischen einem Hochvakuurnrezipienten und einer unter Atmosphärendruck bzw. mit der Außenatmosphäre in Verbindung stehenden Kammer, aufrechterhalten. Eine derartige dynamische Druckstufenstrecke besteht, wie die schematische Abbildung (Fig. i) veranschaulicht, aus den hintereinandergeschalteten Kammern i bis q., in welchen durch Anschluß an geeignete Druckminderutigs-oder Druckvergrößerungsvorrichtungen, vorzugsweise Vakuumpumpen, bei 14 bis 16 verschiedene, zumeist in einem Sinn sich ändernde Gasdrücke aufrechterhalten werden. Die Trennwände 6 bis g zwischen den einzelnen Druckkammern sind mit Durchtrittsöffnungen io bis 13 versehen, so daß sich ein dynamisches Druckgleichgewicht zwischen den einzelnen Kammeid einstellt, welches durch die Größe der Durchtrittsöffnung und der Saugleistung bzw. Kompressionsleistung der angeschalteten Pumpen bestimmt ist.Dynamic pressure stage route with spaces of different pressure, in particular for guiding corpuscular rays. B. between a high vacuum recipient and a chamber under atmospheric pressure or in communication with the outside atmosphere. Such a dynamic pressure stage consists, as the schematic figure (Fig. I) illustrates, from the series-connected chambers i to q changing gas pressures are maintained. The partition walls 6 to g between the individual pressure chambers are provided with passage openings io to 13 so that a dynamic pressure equilibrium is established between the individual chambers, which is determined by the size of the passage opening and the suction or compression capacity of the pumps connected.

Wenn durch die erste, beispielsweise an die Außenatmosphäre 5 angrenzende Bohrung io pro Sekunde Q, i/sec Gas einströmt und an die Kammer i eine- Pumpe mit der Saugleistung S, angeschlossen ist, so stellt sich ein Druck in der Kammer ein, wobei p. der Druck im Außenraum 5 vor der Düse io ist. Wenn an die Kammer 2 eine Pumpe mit der Saugleitung S2 angeschlossen und die einströmende Gasmenge 02 ist, dann herrscht in der Druckkammer 2 ein Druck Es folgen nun gegebenenfalls noch weitere Kammern, bis der Druck p" in der letzten Kammer den . gewünschten Wert erreicht hat.If gas flows in through the first bore, for example adjoining the outside atmosphere 5, io per second Q, i / sec gas and a pump with suction power S i is connected to the chamber i, a pressure is established in the chamber, where p. the pressure in the outer space 5 in front of the nozzle is io. If a pump with suction line S2 is connected to chamber 2 and the amount of gas flowing in is 02, then pressure chamber 2 is under pressure Further chambers then follow, if necessary, until the pressure p ″ in the last chamber has reached the desired value.

Eine dynamische Druckstufenstrecke empfiehlt sich vor allem, wie der Fig. i zugrunde gelegt ist, zur Herausführung von Korpuskülarstrahlen bzw. Ladungsträgerstrahlen aus dem die Korpuskularstrahlenquelle 17 enthaltenden Erzeugungsraum d.. Ursprünglich waren die Dürchtrittsstellen für Korpuskularstrahlen in der Apparatewandung mit dünnen materiellen Fenstern, beispielsweise aus Aluminiumfolien, abgedichtet, um durch materielle Streuung bedingte Verluste möglichst gering zu halten. Die gehegten Erwartungen auf eine Verbesserung der Strahlenergiebigkeit haben sich jedoch mit den bisher bekannten Ausführungen von Druckstufenstrecken als Ersatz für materielle Verluste nicht vollkommen erfüllt.A dynamic compression stage is particularly recommended, like the Fig. I is based, for leading out corpuscular rays or charge carrier rays from the generation space d containing the corpuscular radiation source 17. Originally were the penetration points for corpuscular rays in the wall of the apparatus thin material windows, for example made of aluminum foil, sealed to to keep losses caused by material dispersion as low as possible. The cherished However, expectations of an improvement in radiation energy have increased with the previously known designs of pressure stage lines as a replacement for material ones Losses not fully met.

Man hat versucht, die für die immer noch auftretende Strahlenschwächung verantwortliche Streuung der Ladungsträgerstrahlen an den Gasmolekülen auf ihrem Weg zwischen. der Strahlenduelle und dem Arbeitsort dadurch zu vermindern, daß sowohl die Baulänge der einzelnen Kammern bzw. der gesamten Druckstufenstrecke so klein wie nur möglich gewählt wurde, beispielsweise vermittels trichterförmig in Strahlenrichtung gestülpter, an ihrer Spitze mit den Durchtrittsöffnungen versehener und in die Trennwände der einzelneri Kammern eingesetzter Blenden, als auch ein hoher Druckabfall für die einzelnen Druckstufen vorgesehen war.Attempts have been made for the radiation attenuation that still occurs responsible scattering of the charge carrier beams on the gas molecules on their Way between. the radiation duel and the place of work by reducing both the overall length of the individual chambers or the entire pressure stage section is so small was chosen as possible, for example by means of a funnel shape in the direction of the rays everted, provided at their tip with the passage openings and in the partition walls the individual chambers used orifices, as well as a high pressure drop for the individual pressure levels was intended.

Die Erfahrungen haben jedoch gezeigt, daß beide Forderungen sich jedenfalls mit den bisher bekannten Druckstufenausführungen nicht gleichzeitig erfüllen ließen. Wenn nämlich die Baulänge z. B. der ersten Kammer klein gewählt wird; so tritt vor der zweiten Blende ein Staudruck auf, der deshalb wesentlich höher als der der obigen Rechnung zugrunde gelegte Druck ist, weil die zur Düse einströmende Gasmenge sich nicht unmittelbar danach verteilt, sondern als gebündelter Gasstrahl noch einen beträchtlichen Weg zurücklegt. Bei einer kurzen Kammer trifft also auf die nächste Durchtrittsöffnung i i noch ein ziemlich kräftiger Gasstrahl eines wesentlich höheren Druckes, als er dem Durchschnitt in der Kammer i entspricht.Experience has shown, however, that both demands are in any case could not be met at the same time with the previously known pressure stage designs. Namely, if the length z. B. the first chamber is chosen to be small; so step forward the second diaphragm on a back pressure, which is therefore much higher than that of the above The pressure on which the calculation is based is because the amount of gas flowing into the nozzle is different not distributed immediately afterwards, but another one as a bundled gas jet covers a considerable distance. One short chamber meets the next Passage opening i i a fairly powerful gas jet of a much higher one Pressure than it corresponds to the average in chamber i.

Es gelangte also eine erheblich größere- Gasmenge in die Kammer 2, als man aus der Betrachtung der statischen Verhältnisse schließen konnte. Die Saugleistung einer Pumpe in der Zwischenkammer kommt also bei kurzer Baulänge gar nicht voll-zum Tragen. Sucht man durch eine Erhöhung der Druckstufenzahl dieser Erscheinung zu begegnen, so ergibt sich j edochwieder eine größere Baulänge. Wenn also durch die Düsen ein Korpuskularstrahl hindurchgeführt wird, so läuft zwangläufig der Korpuskularstrahl in einem Gasstrahl erheblich höheren Druckes, als es den statischen Verhältnissen entsprechen würde. Diese Unvollkommenheit wird auch durch sehr feine Düsen nicht wesentlich vermindert, ganz abgesehen davon, daß man dann auch den Querschnitt des Korpuskularstrahles entsprechendreduzierenmüßte.So a considerably larger amount of gas got into chamber 2, than one could deduce from consideration of the static conditions. The suction power a pump in the intermediate chamber does not come to full capacity if the overall length is short Wear. One looks for this phenomenon by increasing the number of pressure stages encounter, there is, however, a greater overall length. So if through the If a corpuscular jet is passed through nozzles, the corpuscular jet inevitably runs in a gas jet of considerably higher pressure than the static conditions would correspond. Even very fine nozzles do not eliminate this imperfection significantly reduced, quite apart from the fact that the cross-section of the Corpuscular beam would have to reduce accordingly.

.Für eine bestimmte Energie des herauszuführenden Ladungsträgerstrahles, die maßgebend für seine Streueigenschaft ist, läßt sich daher eine gewisse Lochgröße der Druckstufenstrecke nicht unterschreiten, ohne den Nutzeffekt der Anordnung wieder zu verringern.For a certain energy of the charge carrier beam to be discharged, which is decisive for its scattering property, can therefore be a certain hole size Do not fall below the pressure stage range without the useful effect of the arrangement again to reduce.

Die geschilderten bislang in Kauf genommenen Unvollkommenheiten und Mängel bekannter dynamischer Druckstufenstrecken mit Räumen unterschiedlichen Druckes- werden nun erfindungsgemäß dadurch behoben, daß die geometrische Anordnung der Durchtrittsöffnungen in den Kammerwänden mindestens der an den Raum höchsten Druckes grenzenden Druckstufenkammer in der Weise verändert ist, daß der aus dem Raum höheren Druckes einströmende Gasstrahl nicht auf die zur nächsten Kammer führende Durchtrittsöffnung trifft. Diese Erfindung läßt sich, wie 'an Hand der schematischen Abbildung veranschaulicht, in verschiedener den Anwendungen anpaßbarer Weise verwirklichen.The imperfections and Deficiencies in known dynamic pressure level sections with rooms with different pressure are now remedied according to the invention in that the geometric arrangement of the passage openings in the chamber walls of at least the pressure stage chamber bordering the room with the highest pressure is changed in such a way that the gas jet flowing in from the space of higher pressure does not meet the passage opening leading to the next chamber. This invention can, as' illustrated by the schematic illustration, in different realize the applications in an adaptable way.

Zunächst können, wie Fig.2 zeigt, die nufeinanderfolgenden Durchtrittsöffnungen 18 und ig gegeneinander versetzt in den an sich noch parallelen Trennwänden angebracht sein, wobei das Maß der Versetzung je nach dem Verwendungszweck gewählt werden kann. Wenn man die Druck-Stufenstrecke bei Korpuskularstrahleinrichtungen benutzt, wird eine ganz geringe gegenseitige Versetzung ausreichen, So daß der Korpuskularstrahl nur wenig geneigt werden muß; um auf beide Durchtrittsöffnungen bzw. auf die Serie der gegeneinander versetzten Durchtrittsöffnungen zu treffen.First of all, as FIG. 2 shows, the successive passage openings 18 and ig offset from one another in the partition walls, which are still parallel The amount of the offset can be selected depending on the purpose of use. If you use the pressure step section with corpuscular jets, then a very small mutual offset is sufficient so that the corpuscular beam only needs to be inclined a little; to both openings or to the series to meet the mutually offset through openings.

An Stelle einer Versetzung der Durchtrittsöffnungen -empfiehlt sich eine leichte Neigung mindestens der ersten, d. h. vorzugsweise der an die Außenatmosphäre grenzenden Trennwand 2o, wie Fig. 3 veranschaulicht. Dadurch erübrigt sich dann bei Anwendung in Korpuskulareinrichtungen eine Neigung des Korpuskularstrahles 21. Innerhalb der ersten Druckkammer durchsetzt der Korpuskularstrahl nur unmittelbar am Ort der Durchtrittsöffnung den einströmenden Gasstrahl 22.Instead of relocating the passage openings, it is recommended a slight slope of at least the first, d. H. preferably the one to the outside atmosphere bordering partition 2o, as FIG. 3 illustrates. This is then unnecessary when used in corpuscular devices, an inclination of the corpuscular beam 21. The corpuscular beam only penetrates directly within the first pressure chamber the inflowing gas jet 22 at the location of the passage opening.

Die Bauart der vorliegenden Art nach Fig. q. nimmt im besonderen Maße auf die dynamischen Strömungsverhältnisse Rücksicht und ist durch eine keilförmige Gestaltung der Druckstufenkammern 23 bis 26 mit winkelförmig aneinanderstoßenden Trennwänden 27 bis 30 gekennzeichnet. Die aus den Räumen höheren Druckes in die Räume kleineren Druckes einströmenden Gasstrahlen 31 bis 34 können dann unmittelbar auf die Saugleitungsanschlüsse gerichtet werden. Der Korpuskufarstrahl 35 kommt dann mit den Gasstrahlen nur an den Öffnungen in Berührung. Der resultierende Weg der Korpuskularstrahlen in der Druckstufenkammer wird besonders klein gehalten, wenn man die Durchtrittsöffnungen möglichst nahe an die Scheitel der keilförmigen Kammern heranlegt. Schließlich mag es unter gewissen Umständen zweckmäßig sein, -die Trennwand in den einzelnen Kammern mit verschiedener Neigung unter Umständen auch um nichtparallele Achsen gegenüber der allgemeinen Druckabfallsrichtung bzw. Korpus kularstrahlrichtung einzubauen, so daß die Druckstufenkammern etwa tetraederförmige Formen erhalten.The design of the present type according to Fig. Q. pays particular attention to the dynamic flow conditions and is characterized by a wedge-shaped design of the pressure stage chambers 23 to 26 with partition walls 27 to 30 abutting one another at an angle. The gas jets 31 to 34 flowing in from the rooms of higher pressure into the rooms of lower pressure can then be directed directly onto the suction line connections. The body jet 35 then comes into contact with the gas jets only at the openings. The resulting path of the corpuscular rays in the pressure stage chamber is kept particularly small if the passage openings are placed as close as possible to the apex of the wedge-shaped chambers. Finally, it may be useful under certain circumstances to install the partition in the individual chambers with different inclinations, possibly also about non-parallel axes relative to the general pressure drop direction or corpus kularstrahlrichtung, so that the compression chambers receive approximately tetrahedral shapes.

Die Ausbildungen der Druckstufenkammern bzw. der Trennwände zwischen den einzelnen Druckstufenkammern einer Druckstufenstrecke gestatten auch eine bessere Ausnutzung der Saugleistung der Pumpen, indem die Trennwände zwischen den einzelnen Kammern so ausgerichtet bzw. die Saugleitungen an die Druckkammern so angeschlossen sind, daß die Gasstrahlen direkt auf die Öffnungen der Saugleitung treffen, wie beispielsweise in Fig. ; und 5 veranschaulicht ist. In der letzteren Ausführung sind die einzelnen Trennwände untereinander parallel, jedoch geneigt zu allgemeiner Druckminderungs-bzw. Korpuskularstrahlrichtung.The trainings of the compression chambers or the partition walls between the individual compression chambers of a compression section also allow a better one Take advantage of the suction power of the pumps by removing the partitions between each Chambers aligned or the suction lines connected to the pressure chambers are that the gas jets hit the openings of the suction line directly, like for example in Fig.; and Fig. 5 is illustrated. In the latter version the individual partitions are parallel to one another, but inclined too general Pressure reduction or Corpuscular beam direction.

Bei Verwendung der vorliegenden Druckstufenstrecke in Korpuskularstrahleinrichtungen wird durch die Neigung der einzelnen Trennwände der Durchtrittsquerschnitt zwar etwas verändert; da sie jedoch im allgemeinen nur gering sein muß, ist die seitliche Einengung des Durchtrittsquerschnittes entweder unerheblich oder kann durch elliptische Öffnungsform wieder ausgeglichen werden, wenn die Projektion der Durchtrittsöffnung in Korpuskularstrahlrichtungwieder kreisförmig wird.When using the present pressure stage section in corpuscular jet devices the passage cross-section is due to the inclination of the individual partitions changed something; however, since it only has to be small in general, the lateral Narrowing of the passage cross-section either insignificantly or can be due to elliptical Opening shape can be balanced again when the projection of the passage opening becomes circular again in the particle beam direction.

Schließlich läßt sich auch noch die auftretende Einschnürung eines durch eine kleine Öffnung aus einem Raum höheren Druckes in einen Raum niedrigeren Druckes eintretenden Gasstrahles verwerten. Dies führt nämlich bei einer schmalen rechteckigen Durchtrittsöffnung 36 zu einem schmalen rechteckigen Querschnitt des Gasstrahles 37, dessen längste Rechteckseite jedoch dann senkrecht zur längsten Rechteckseite der Durchtrittsöffnung steht, wie in Ffg.6 angedeutet ist. Bei elliptischem Öffnungsquerschnitt entsteht dann auch ein Gasstrahl mit etwa elliptischem Querschnitt mit der längsten Hauptachse senkrecht zur längsten Hauptachse des Öffnungsquerschnittes. Man. kann deshalb die Neigung der Trennwände, wie in Fig. 7 an Hand zweier paralleler hintereinanderliegender Trennwände gezeigt ist, sehr klein halten, so daß die Projektion der Durchtrittsöffnung einer Trennwand 39 in Richtung senkrecht zur Trennwand, d. h. in Gasstrahlrichtung, zwar zu einem geringen Teil auf die nächste Öffnung q.o auftrifft, nicht aber der eingeschnürte Gasstrahl 41.Finally, the constriction of a through a small opening from a room of higher pressure to a room of lower pressure Recycle the incoming gas jet. This leads to a narrow one rectangular passage opening 36 to a narrow rectangular cross section of the Gas jet 37, the longest side of the rectangle, however, then perpendicular to the longest Rectangular side of the passage opening is, as indicated in FIG. 6. With elliptical The opening cross-section then also creates a gas jet with an approximately elliptical cross-section with the longest main axis perpendicular to the longest main axis of the opening cross-section. Man. can therefore the inclination of the partition walls, as in Fig. 7 on the basis of two parallel one behind the other partitions is shown, keep very small, so that the projection the passage opening of a partition wall 39 in the direction perpendicular to the partition wall, d. H. in the gas jet direction, although to a small extent to the next opening q.o. but not the constricted gas jet 41.

Durch Kombination dieser Maßnahmen läßt sich erreichen, daß in den meisten Fällen höchstens eine oder zwei Druckstufen sehr hohe Druckunterschiede überwinden und bei verhältnismäßig großen Durchtrittsöffnungen energiereiche starke Korpuskularstrahlen unter fast restloser Unterdrückung der materiellen Streuung aus ihrem Erzeugungsraum zu ihrem Arbeitsort übergeführt werden. Damit ist fast eine ideale Lösung gegeben. Es genügt oft, claß eine der geschilderten Maßnahmen nur an der ersten, gegen den höchsten Druck abgrenzenden Trennwand durchgeführt wird, so daß dort von vornherein ein sehr großer Drucksprung überwunden wird. Die zuvor beschriebenen Maßnahmen für eine druckdynamisch günstigere Gestaltung von materienfreien Verbindungsöffnungen in Druckstufenstrecken bringen die beschriebenen Verbesserungen nicht nur bei im gleichen Sinne sich ändernden Druckstufen, sondern auch bei Einschaltung von Zwischenkammern mit höherem Druck, beispielsweise wenn die Aufgabe besteht, ein Überströmen des Gasinhalts einer Kammer in eine andere Kammer unbedingt zu vermeiden. Die zwischengeschaltete, unter einem Überdruck stehende Kammer wirkt dann als Schutzkammer und kann auch noch mit einem besonderen Gas, vorzugsweise einem Schutzgas, gefüllt sein. Dies erbringt bei Durchführung chemischer Prozesse mit Hilfe von Korpuskularstrahlen oft einen entscheidenden Fortschritt.By combining these measures it can be achieved that in the in most cases, at most one or two pressure stages, very high pressure differences overcome and with relatively large passage openings high-energy strong Corpuscular rays with almost complete suppression of material scattering be transferred from their production room to their place of work. So that's almost given an ideal solution. It is often sufficient to take one of the measures described carried out only on the first partition, which is delimited against the highest pressure so that a very large pressure jump is overcome there from the start. the previously described measures for a more favorable design of pressure dynamics Material-free connection openings in pressure level sections bring the described ones Improvements not only with pressure levels changing in the same sense, but even when switching on intermediate chambers with higher pressure, for example if the task is to cause the gas contents of one chamber to flow over into another Chamber must be avoided at all costs. The intermediate, under overpressure Chamber then acts as a protective chamber and can also be used with a special gas, preferably a protective gas filled. This yields when performing chemical Processes with the help of corpuscular beams often make a decisive advance.

In vielen Fällen, wo Druckstufenstrecken zur Anwendung kommen, ist man bestrebt, durch eine möglichst kleine Öffnung einen möglichst starken Elektronenstrom austreten zu lassen. Nun ist es aus elektronenoptischen Gründen schwierig, bei der Erzeugung eines Elektronenstrahles eine gewisse Ladungsdichte zu überschreiten. Daher scheint es zunächst so, als ob für einen vorgegebenen Lochdurchmesser die obere Grenze für die Dichte des austretenden Elektronenstromes gegeben ist. Wenn man jedoch das oben beschriebene Prinzip anwendet, bei dem der Elektronenstrahl 4.a die Blende unter :einem Winkel durchsetzt, so ist es denkbar, z. B. in der Ebene unter dem gleichen Winkel spiegelbildlich zur Blendenachse noch einen Strahl 4.3 austreten zu lassen, ohne daß sich am Bau der ersten Stufe der Druckstufenstrecken etwas ändert, wie Fig.8 zeigt. Ebenso kann man auf einem Kegelmantel noch eine größere Zahl von Elektronenstrahlen 44 bis 46 austreten lassen, die nach Durchführung durch die Druckstufe in einem einzigen Brennpunkt ¢9 fokussiert werden (Fig. 9). In den beschriebenen Fällen ist es dann lediglich notwendig, daß die zweite Blende 4.7 entsprechend der Anzahl der austretenden Strahlen Löcher 4.8 aufweist. Dies macht jedoch beim Bau der Druckstufenstrecken keine besonderen Umstände, da erfahrungsgemäß die Schwierigkeiten, die die Beseitigung des einströmenden Gases mit sich bringt, mit abnehmendem Druck immer geringer werden.In many cases where pressure stage sections are used, is the aim is to have as strong an electron flow as possible through as small an opening as possible to let out. Now it is difficult for electron-optical reasons, in the Generation of an electron beam to exceed a certain charge density. Therefore it initially appears as if for a given hole diameter the upper limit for the density of the exiting electron stream is given. if However, one applies the principle described above, in which the electron beam 4.a the diaphragm at: an angle penetrated, it is conceivable, for. B. in the plane at the same angle, a mirror image of the diaphragm axis, another beam 4.3 to let out without affecting the construction of the first stage of the pressure stage routes changes something, as Fig.8 shows. Likewise, you can have a larger one on a cone shell Allow number of electron beams 44 to 46 to emerge after performing through the pressure stage can be focused in a single focal point [9] (FIG. 9). In the cases described, it is then only necessary that the second diaphragm 4.7 has holes 4.8 corresponding to the number of exiting rays. This makes However, there are no special circumstances in the construction of the pressure stage routes, as experience has shown the difficulties involved in removing the incoming gas, decrease with decreasing pressure.

Claims (1)

PATENTANSPRÜCHE: z. Dynamische Druckstufenstrecke mit Räumen unterschiedlichen Druckes, insbesondere zur Führung von Korpuskularstrahlen, dadurch gekennzeichnet, daß die geometrische Anordnung der Durchtrittsöffnungen in den Kammerwänden mindestens der an den Raum höchsten Druckes grenzenden Druckstufenkammer in der Weise verändert ist, daß der aus dem Raum höheren Druckes einströmende Gasstrahl nicht auf die zur nächsten Kammer führende Durchtrittsöffnung trifft. a. Dynamische Druckstufenstrecke nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die aufeinanderfolgenden Durchtrittsöffnungen in an sich parallelen Trennwänden seitlich gegeneinander versetzt angebracht sind. 3. Dynamische Druckstufenstrecke nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die an den Raum höchsten Druckes bzw. an die Außenatmosphäre grenzende Trennwand in bezug auf die allgemeine Druckäbfallrichtung geneigt angebracht ist. 4. Dynamische Druckstufenstrecke nach einem oder mehreren der Ansprüche z bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Trennwände der Druckstufenstrecke verschiedene Neigung gegen die allgemeine Druckabfallrichtung aufweisen. 5. Dynamische Druckstufenstrecke nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Druckstufenkammern bei gegeneinandergeneigten Trennwänden keilförmige Form aufweisen. 6. Dynamische Druckstufenstrecke nach Anspruch 3, 4 oder 5, gekennzeichnet durch eine derartige Neigung der Trennwände zwischen den einzelnen Druckstufenkammern, daß die einströmenden Gasstrahlen auf die Saugleitungsanschlüsse zielen. 7. Dynamische Druckstufenstrecke nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet; daß der Querschnitt der Durchtrittsöffnungen elliptisch ist. B. Dynamische Druckstufenstrecke nach einem oder mehreren der Ansprüche z bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei Anwendung auf Korpuskularstrahleneinrichtungen mehrere in verschiedener Richtung, vorzugsweise rotationssymmetrisch, durch die Druckstufenstrecke geführte Korpuskularstrahlen in einem Punkt fokussiert sind. PATENT CLAIMS: e.g. Dynamic pressure stage section with spaces of different pressure, in particular for guiding corpuscular jets, characterized in that the geometric arrangement of the passage openings in the chamber walls of at least the pressure stage chamber bordering the space of highest pressure is changed in such a way that the gas jet flowing in from the space of higher pressure is not meets the passage opening leading to the next chamber. a. Dynamic pressure stage section according to claim z, characterized in that the successive passage openings are attached laterally offset from one another in partition walls which are parallel to each other. 3. Dynamic pressure stage line according to claim r, characterized in that at least the partition wall bordering on the room with the highest pressure or on the outside atmosphere is attached inclined with respect to the general pressure drop direction. 4. Dynamic pressure stage line according to one or more of claims z to 3, characterized in that individual partitions of the pressure stage line have different inclinations against the general pressure drop direction. 5. Dynamic pressure stage line according to claim 3 or 4, characterized in that the individual pressure stage chambers have a wedge-shaped shape with mutually inclined partition walls. 6. Dynamic pressure stage line according to claim 3, 4 or 5, characterized by such an inclination of the partition walls between the individual pressure stage chambers that the inflowing gas jets aim at the suction line connections. 7. Dynamic pressure stage line according to one or more of claims 3 to 6, characterized in that; that the cross section of the passage openings is elliptical. B. Dynamic pressure stage line according to one or more of claims z to 7, characterized in that when used on corpuscular beam devices several corpuscular beams guided in different directions, preferably rotationally symmetrical, through the pressure stage line are focused in one point.