DE9306951U1 - Transportbehälter, insbesondere zur Aufnahme von Behältern, in welchem Halbleitermaterialien enthalten sind - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Transportbehälter, insbesondere zur Aufnahme von Behältern, in welchen Halbleitermaterialien enthalten sind.

Zum Transport von Halbleitermaterialien, z.B. von Halbleitersubstratscheiben, welche von durch Kristallwachsen hergestellten Halbleitermaterialstäben abgeschnitten werden, ist es bekannt, Behälter zu verwenden, in welchen die Halbleiterscheiben unmittelbar nach der Herstellung, bzw. dem Abschneiden von den Halbleitermaterialstäben, aufgenommen werden. Diese Behälter können, z.B. durch Kunststoffolien, luftdicht verschlossen werden. Dies ist insbesondere dann wichtig, wenn die Halbleiterscheiben, nachdem sie z.B. in einem Reinraumbereich hergestellt worden sind, beim Transport aus dem Reinraum heraus keiner normalen Atmosphärenumgebung ausgesetzt werden dürfen, in welcher möglicherweise zumindest die Oberflächeneigenschaften der Halbleiterscheiben nachteilhaft beeinflußt werden können.

Derartige Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien werden dann zum Transport zum jeweiligen Abnehmer in bekannten Kartonbehältern verpackt, welche von oben beladen werden. Um mehrere Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien beschädigungsfrei in dem Kartonbehälter transportieren zu können, wird zwischen diesen zusätzliches Verpackungsmaterial angeordnet. Derartiges Verpackungsmaterial umfaßt an sich bekannte Materialien, wie z.B. Styroporteilchen, Kunststoffolien mit Luftkammern, Holzwolle u.dgl.. Auch mehrere Lagen der Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien werden in den Kartonbehältern unter Zwischenlagerung von Verpackungsmaterial angeordnet.

Ein Nachteil derartiger Kartonbehälter ist, daß die einzelnen in dem Kartonbehälter nicht stabil angeordnet sind. Vielmehr sind z.B. durch Bildung von Hohlräumen im Verpackungsmaterial

auftretende Verschiebungen der einzelnen Behälter zueinander
möglich, so daß zumindest eine Beschädigung der luftdichten
Verpackung nicht ausgeschlossen werden kann. Ferner werden in derartigen Kartonbehältern die einzelnen Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien aufeinander angeordnet, was einerseits ein nachträgliches Austauschen oder Herausnehmen eines
in einer unteren Lage angeordneten Behälters erschwert, und
andererseits dazu führt, daß beim Anordnen von Behältern zur
Aufnahme der Halbleitermaterialien mit unterschiedlichen Größen in dem Kartonbehälter entstehende Hohlräume mit zusätzlichem Verpackungsmaterial ausgefüllt werden müssen. Dies führt wiederum dazu, daß die einzelnen Behälter nicht in geeigneter Weise in dem Kartonbehälter festgehalten sind, so daß bei erhöhten Verpackungskosten die Gefahr der Beschädigung der Behälter und somit der in den Behältern angeordneten Halbleiterscheiben besteht.

Ferner sind derartige Kartonbehälter gegen Feuchtigkeit und
insbesondere gegen Regen nicht resistent, so daß die Gefahr
besteht, daß z.B. beim Transport oder bei der Lagerung der
Kartonbehälter im Freien Regenwasser in den Karton eindringt und zu einer Beschädigung des Halbleitermaterials führt.

Das zusätzlich verwendete Verpackungsmaterial, die Entsorgung desselben sowie der an sich nicht wiederverwendbare Kartonbehälter haben für den Verwender derartiger Transportverpackungen einen hohen Arbeitsaufwand beim Be- und Entladen der Kartonbehälter sowie einen hohen Kostenaufwand bei der Beschaffung der Transportbehälter zur Folge.

Ein weiterer bekannter Transportbehälter für derartige Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien ist ein Aluminiumbehälter, welcher an seiner Oberseite offen ist und durch einen ebenfalls aus Aluminium gefertigten Deckel verschließbar
ist. Derartige Behälter sind gegen äußere Einflüsse, wie z.B.

Feuchtigkeit und äußere Krafteinwirkungen nicht so empfindlich, wie die bereits vorher erwähnten Kartonbehälter. Jedoch besteht auch bei diesen Behältern das Problem, daß die darin aufgenommenen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien nicht in geeigneter Weise festgelegt werden können, so daß wiederum trotz der Verwendung von zusätzlichem Verpackungsmaterial die Gefahr besteht, daß die in dem Aluminiumbehälter aufgenommenen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien beschädigt werden. Auch hat sich bei derartigen Behältern gezeigt, daß insbesondere bei mehrfachem Gebrauch die Behälter durch äußere Krafteinwirkungen verformt bzw. beschädigt werden, so daß die Passung des Deckels auf dem Behälter nicht mehr die gewünschte abschließende Eigenschaft aufweist, oder daß die Behälter sogar vollkommen unbrauchbar werden.

Demgegenüber ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Transportbehälter, insbesondere zur Aufnahme von Behältern, in welchen Halbleitermaterialien enthalten sind, vorzusehen, in welchem die Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien bei leichtem Zugriff zum Anordnen und Entfernen der Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien gegen äußere Einflüsse und Beschädigung gesichert aufgenommen sind, und durch welchen die Transportkosten verringert werden können.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch den im Anspruch 1 angegebenen Transportbehälter gelöst.

Das Vorsehen einer Mehrzahl von übereinander angeordneten Aufnahmefächern, welche eine seitliche Zugriffmöglichkeit aufweisen, ermöglicht es dem Verwender derartiger Transportbehälter die Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien zum Transport einfach in die einzelnen Aufnahmefächer einzuschieben, so daß z.B. in einem unteren Aufnahmefach angeordnete Behälter in einfacher Weise aus dem Transportbehälter entfernt werden können, ohne daß dazu ein Herausnehmen eines anderen Behälters

oder von Verpackungsmaterial erforderlich ist. Ferner sind die Innenwände des Transportbehältergehäuses und die oberen und unteren Oberflächen des wenigstens einen Zwischenbodens wenigstens teilweise mit elastischem Material bedeckt sind, wodurch auf den Transportbehälter von außen einwirkende Stöße in dem elastischen Material gedämpft werden und somit nicht mehr auf die einzelnen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien übertragen werden. Eine mechanische Beschädigung der in den Behältern zur Aufnahme von Halbleitermaterialien enthaltenen Halbleiterscheiben ist somit weitgehend ausgeschlossen.

Da die lichte Höhe der Aufnahmefächer im wesentlichen der Höhe der Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien entspricht, sind diese Behälter in den einzelnen Aufnahmefächern sicher und Bewegungen gesichert gehalten, so daß eine z.B. durch ein Verschieben dieser Behälter oder ein gegenseitiges Aneinanderschlagen der Behälter verursachte Beschädigung der Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien und somit der z.B. in diesen Behältern enthaltenen Halbleiterscheiben vermieden wird.

Ferner sind die einzelnen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien in dem Transportbehälter ohne der Verwendung zusätzlicher Verpackungsmaterialien, welche nach dem Transport entsorgt werden müssen, aufgenommen, und der gesamte Behälter ist wiederverwendbar, so daß sowohl die durch zu entsorgenden Abfall entstehenden Kosten als auch die durch den Transportbehälter selbst entstehenden Kosten erheblich verringert werden können.

Wenn die Innenwände des Transportbehältergehäuses mit elastischen Material bedeckt sind, ist es vorteilhaft, wenn die lichte Höhe der Aufnahmefächer geringfügig kleiner ist als die Höhe der im Transportbehälter aufzunehmenden Behälter, so daß diese Behälter in den einzelnen Aufnahmefächern durch das ela-

stische Material leicht eingeklemmt sind, und somit ein Verrutschen der Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien zusätzlich verhindert werden kann.

Durch vollkommenes Bedecken der Innenwände des Transportbehältergehäuses und der oberen und unteren Oberflächen des wenigstens einen Zwischenbodens kann sichergestellt werden, daß die Behälter zur Aufnahme der Halbleitermaterialien ganzflächig an den entsprechenden Böden und Wänden anliegen, so daß eine verbesserte Ausnutzung der Dämpfungs- und Fixiereigenschaften des elastischen Materials erreicht werden kann.

Um die einzelnen Aufnahmefächer eines Transportbehälters an verschiedene Größen von Behältern zur Aufnahme von Halbleitermaterialien anpassen zu können, ist es vorteilhaft, wenn die Höhenposition des wenigstens einen Zwischenbodens im Transportbehältergehäuse verstellbar ist. In diesem Fall ist es z.B. möglich, durch Vorsehen mehrerer Zwischenböden in dem Transportbehälter Aufnahmefächer mit verschiedenen lichten Höhen vorzusehen, so daß gleichzeitig und ohne gegenseitiges Stören Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien mit verschiedenen Größen mit einem Transportbehälter transportiert werden können.

Eine leichte Zugangsmöglichkeit zu dem Transportbehälter kann dadurch geschaffen werden, daß an wenigstens einer Seitenwand des Transportbehältergehäuses wenigstens eine um eine im wesentlichen vertikale Achse schwenkbare Türe vorgesehen ist, welche wenigstens einen Teil der Seitenwand des Transportbehältergehäuses bildet. Wenn zusätzlich das Transportbehältergehäuse durch die wenigstens eine Türe dicht abgeschlossen wird, ist somit ein Einfluß der Umgebung des Transportbehälters auf die darin aufgenommenen Behälter ausgeschlossen, so daß z.B. durch erhöhte Luftfeuchtigkeit oder durch Regen auftretende Beschädigungen der Behälter zur Aufnahme von Halblei-

termaterialien oder der Halbleiterscheiben ausgeschlossen ist.

Um den Transportbehälter während des Transport gegen ungewolltes Öffnen zu sichern ist eine zwischen der jeweils wenigstens einen Türe und dem Transportbehältergehäuse wirkende Verschlußeinrichtung vorgesehen. Diese Verschlußeinrichtung kann zusätzlich, z.B. beim Transport über Staatsgrenzen, verblombt werden.

Wenn zum Verschließen des Transportbehälters zwei Türen vorgesehen sind, ist es vorteilhaft, wenn eine zwischen diesen
Türen wirkende Verschlußeinrichtung vorgesehen ist, so daß
beide Türen auf einfache Weise gegen unerlaubtes Öffnen gesichert sind. Die zwischen den Türen wirkende Verschlußeinrichtung kann jedoch zusätzlich auch mit dem Transportbehältergehause zusammenwirken, um eine erhöhte Stabilität, und somit
eine erhöhte Sicherheit, der Verschlußeinrichtung vorzusehen.

Alternativ ist es möglich, an wenigstens einer Seitenwand des Transportbehältergehäuses eine aufrollbare Türe vorzusehen,
welche wenigstens einen Teil der Seitenwand bildet. Der durch z.B. geöffnete Schwenktüren benötigte Platz beim Be- oder Entladen des Transportbehälters kann somit erheblich verringert
werden.

Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn die aufrollbare Türe um eine im wesentlichen horizontale Achse aufrollbar ist, so
daß die auf die Rolltüre wirkende Schwerkraft das Öffnen bzw. Schließen der Türe erleichtert.

Alternativ dazu ist es ebenso möglich, die aufrollbare Türe um eine im wesentlichen vertikale Achse aufrollbar anzuordnen.

Auch im Falle des Vorsehens einer aufrollbaren Türe ist es
vorteilhaft, wenn das Transportbehältergehäuse durch die auf-

rollbare Türe dicht abgeschlossen wird, so daß wiederum äußere Einflüsse nicht zu einer Beschädigung der in dem Transportbehälter aufgenommenen Halbleitermaterialien führen können.

Eine zwischen der aufrollbaren Türe und dem Transportbehältergehäuse wirkende Verschlußeinrichtung stellt wiederum sicher, daß ein ungewolltes, z.B. durch Stöße verursachtes Öffnen des Transportbehälters nicht möglich ist.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die Verschlußeinrichtung sperrbar ist, so daß zusätzlich eine Sicherung gegen unerlaubten Zugriff von außen gegeben ist.

Um Beschädigung einzelner Transportbehälter auszuschließen, welche z.B. auftreten können, wenn eine Mehrzahl derartiger Transportbehälter auf einem Lastkraftwagen transportiert wird, ist an einem unteren Abschnitt des Transportbehältergehäuses ein Rammschutz vorgesehen.

Der Rammschutz ist in besonders einfacher Weise vorzusehen, wenn er von einem sich über den Umfang des Transportbehältergehäuses hinaus erstreckenden Bodenelement des Transportbehältergehäuses gebildet ist. Es ist somit sichergestellt, daß alle Transportbehälter den Rammschutz in der gleichen Höhe aufweisen, so daß die einzelnen Transportbehälter lediglich durch die einzelnen Bodenelemente aneinander anstoßen können.

Um den Transport der einzelnen Transportbehälter zu erleichtern ist es vorteilhaft, wenn an der Unterseite der Transportbehältergehäuse Räder vorgesehen sind.

In dem Transportbehältergehäuse kann eine im wesentlichen vertikal angeordnete Trennwand vorgesehen sein, wobei dann der wenigstens einen Zwischenboden zwischen der Trennwand und einer Wand des Transportbehältergehäuses in seiner Höhenposition

verstellbar gehalten ist. Somit ist es möglich in dem Transportbehälter zwei von aneinander unabhängige nebeneinander angeordnete Bereiche vorzusehen, in welchen die jeweiligen lichten Höhen der Aufnahmefächer z.B. an verschiedene Größen von Behältern zur Aufnahme von Halbleitermaterialien angepaßt sein können. Auch bietet die zusätzliche Trennwand eine weitere Sicherung gegen seitliches Verschieben der in dem Transportbehälter aufgenommenen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien.

Wenn an zwei gegenüberliegenden Seitenwänden des Transportbehältergehäuses jeweils wenigsten eine Türe vorgesehen ist, und die Trennwand zwischen diesen Seitenwänden und parallel zu diesen Seitenwänden angeordnet ist, können zwei voneinander unbhängige Aufnahmebereiche bereitgestellt werden, welche dann jeweils von verschiedenen Seiten des Transportbehälters aus zugänglich sind.

Wenn das Transportbehältergehäuse und der wenigstens eine Zwischenboden aus Holz gefertigt sind, ist eine besonders kostengünstige Herstellungsmöglichkeit gegeben, wobei aufgrund der speziellen Materialeigenschaften des Herstellungsmaterials bei geringem Eigengewicht eine optimale Stabilität des Transportbehältergehäuses sichergestellt ist. Alternativ dazu ist es möglich, das Transportbehältergehäuse aus Kunststoff oder aus Metall, z.B. aus Aluminium, herzustellen.

Die Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien können die im Stand der Technik als Horden bekannten Behälter umfassen, in welchen eine Mehrzahl von Halbleiterscheiben, z.B. Halbleitersubstratscheiben, im wesentlichen vertikal angeordnet ist umfassen.

Alternativ dazu oder zusätzlich können in dem Transportbehälter Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien aufgenom-

men werden, welche Kunststofformelemente, vorzugsweise Styroporformelemente zur Aufnahme wenigstens eines Halbleiterstabs umfassen. Somit ist es möglich mit dem Transportbehälter ganze Halbleiterstäbe zu transportieren, welche dann durch den jeweiligen Abnehmer selbst verarbeitet werden können.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer bevorzugten Ausführungsform mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen detailliert beschrieben.

Es zeigt:

Figur 1 eine perspektivische, halb geöffnete Ansicht des erfindungsgemäßen Transportbehälters.

Figur 2 eine Schnittansicht entlang einer Linie II-II in Figur 1.

Figur 3 eine Schnittansicht des erfindungsgemäßen Transportbehälters entlang einer Linie III-III in Figur 2.

Figur 4 eine Schnittansicht des erfindungsgemäßen Transportbehälters entlang einer Linie IV-IV in Figur 3.

In den Figuren 1 bis 4 ist ein erfindungsgemäßer Transportbehälter im allgemeinen mit 10 bezeichnet. Der Transportbehälter 10 umfaßt ein Transportbehältergehäuse 11 mit Seitenwänden 12, einem oberen Abdeckelement 14 und einem Bodenelement 16. Im Inneren des Transportbehältergehäuses 11 sind mehrere Zwischenböden 18 angeordnet. Die Zwischenböden 18 sind im Transportbehältergehäuse 11 im wesentlichen horizontal angeordnet, und legen zwischen sich, bzw. zwischen sich und dem Abdeckelement 14 und dem Bodenelement 16 jeweilige Aufnahmefächer 2 0 fest.

Die Aufnahmefächer 20 dienen zur Aufnahme von als Horden bezeichneten Behältern 22 zur Aufnahme von Halbleitermaterialien (in den Figuren 2 und 3 in Strichlinien dargestellt) und weisen eine lichte Höhe h auf, welche im wesentlichen der Höhe h_B der Horden 2 2 entspricht.

In der in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ausfuhrungsform sind die Innenwände 24 des Transportbehälters 10 mit einem elastischen Material 2 6 bedeckt. Ebenso sind die oberen und unteren Oberflächen 28 und 3 0 der Zwischenboden 18 mit dem elastischen Material 2 6 bedeckt.

In diesem Fall ist es möglich den lichten Abstand h der Aufnahmefächer 20 so einzustellen, daß er geringfügig kleiner ist als die Höhe h_D der Behälter 22. Die Behälter 22 werden somit in den einzelnen Aufnahmefächern durch das elastische Material 2 6 leicht festgeklemmt, so daß sie gegen seitliches Verschieben gesichert sind.

Zusätzlich ist es möglich, die Breite b und die Tiefe t der einzelnen Aufnahmefächer 20 derart einzustellen, daß sie im wesentlichen einem ganzzahligen Vielfachen der Breite bzw. der Tiefe der Behälter 22 entspricht, bzw. geringfügig kleiner ist, so daß eine zusätzliche Sicherung gegen seitliches Verschieben der einzelnen Behälter 22 im Transportbehälter 10 gegeben ist.

Das elastische Material 26 kann elastomere Kunststoffe, wie z.B. Polyethylen, oder Schaumstoffe, wie z.B. Styropor, o. dgl. umfassen und kann an den Innenwänden 24 des Transportbehältergehäuses 11 z.B. durch Festkleben angebracht sein.

An einer der Seitenwände 12 des Transportbehältergehäuses 11 sind zwei Türen 32 und 34 vorgesehen, welche um in einer Höhenrichtung des Transportbehälters 10 verlaufende Achsen

(senkrecht zur Zeichenebene in Figur 4) schwenkbar sind. In der in den Figuren dargestellten Ausführungsform bilden die Türen 32 und 34 eine der Seitenwände 12 und sind an ihrer Innenseite 24 ebenfalls mit dem elastischen Material 26 bedeckt.

Ferner ist eine zwischen den Türen 32 und 34 wirkende Verschlußeinrichtung 36 vorgesehen, durch welche in an sich bekannter Weise die Türen 32 und 34 verriegelt werden können. Zur erhöhten Stabilität und Sicherheit ist es vorteilhaft, wenn die Verschlußeinrichtung 3 6 im verschlossenen Zustand auch mit z.B. dem Bodenelement 16 oder dem Abdeckelement 14 zusammenwirkt.

Mittels der z.B. durch einen Schlüssel sperrbaren Verschlußeinrichtung 36 ist es möglich, den Transportbehälter 10 gegen unerlaubten Zugriff von außen zu sichern. Ferner stellt die Verschlußeinrichtung 3 6 sicher, daß während des gesamten Transport der Transportbehälter 10 durch die Türen 32 und in geeigneter Weise, d.h. gegen äußere Einflüsse wie Luftfeuchtigkeit, Regen u. dgl., gesichert abgeschlossen ist. Zu diesem Zweck können an den Umfangsrändern der Türen 32 sowie an entsprechenden zur Anlage der Türen 32 und 34 dienenden Rändern des Transportbehältergehäuses an sich bekannte Dichtungselemente vorgesehen sein.

Es ist ebenso möglich, die einzelnen Zwischenboden 18 in ihrer Höhenstellung im Transportbehältergehäuse 11 verstellbar anzuordnen. Zu diesem Zweck kann in dem Transportbehältergehäuse z.B. eine Mehrzahl von Einschubmöglichkeiten (nicht dargestellt) vorgesehen sein, in welche die einzelnen Zwischenboden 18 dann je nach Bedarf eingeschoben werden können. Somit kann eine Mehrzahl von Aufnahmefächern mit unterschiedlichen lichten Höhen vorgesehen werden, in welchen dann unterschiedliche Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien angeordnet werden können. Es ist somit in einfacher Weise möglich mit

einem Transportbehälter z.B. Halbleiterscheiben unterschiedlichen Durchmessers zu transportieren oder gleichzeitig in einem Behälter derartige Halbleiterscheiben oder ganze Halbleiterstäbe, welche vorzugsweise in Styroporformelementen eingebettet sind, zu transportieren.

An einer Unterseite des Bodenelements 16 sind vorzugsweise jeweils in den Eckbereichen des Bodenelements 16 Räder 38 angeordnet. Die Räder 38 dienen dazu, den Transportbehälter 10 beim Transport leichter bewegen zu können. Dabei ist es vorteilhaft, wenn wenigstens zwei nebeneinander bzw. hintereinander angeordnete Räder um eine vertikale Achse schwenkbar sind, so daß der Transportbehälter 10 beim Rollen leicht gelenkt werden kann.

Das Bodenelement 16 erstreckt sich mit einem Randabschnitt über den Umfang des Transportbehältergehäuses 11 hinaus, d.h. das Bodenelement 16 weist einen geringfügig größeren Umfang bzw. eine geringfügig größere Fläche als das Abdeckelement auf. Der Randabschnitt 4 0 des Bodenelements 16 dient als Rammschutz, und kann z.B. an seiner Umfangskante 42 mit einem nicht dargestellten Profilmaterial, vorzugsweise einem Aluminiumprofilmaterial, umgeben sein. Somit ist sichergestellt, daß beim Transport bzw. Verschieben der einzelnen Transportbehälter diese nur jeweils mit den jeweiligen Randabschnitten aneinander anstoßen. Beschädigungen der Transportbehälter und insbesondere der Türen und der Verschlußeinrichtungen der Transportbehälter beim Transport können somit vermieden werden.

An den Seitenwänden 12 des Transportbehältergehäuses 11 sind Griffelemente 4 4 vorgesehen, welche das Verschieben der Transportbehälter 10 erleichtern. Derartige Griffelemente (nicht dargestellt) können ebenfalls an den einzelnen Türen 32 bzw. 34 vorgesehen sein, um das Öffnen und Schließen dieser Türen

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32 und 34 zu erleichtern.

Der erfindungsgemäße Transportbehälter bietet die Möglichkeit, eine Mehrzahl von Behältern zur Aufnahme von Halbleitermaterialien übersichtlich angeordnet und gegen äußere Einflüsse gesichert zu transportieren. Da der Transportbehälter wiederverwendbar ist und das Anordnen der einzelnen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien im Transportbehälter kein zusätzliches Verpackungsmaterial erfordert und daher deutlich weniger Zeit erfordert, als dies bei bisher bekannten Transportbehältern der Fall ist, entstehen für den Verwender des erfindungsgemäßen Transportbehälters erhebliche Kosteneinsparungen.

Die einzelnen Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien sind in dem Transportbehälter übersichtlich angeordnet und können unabhängig voneinander aus dem Transportbehälter entnommen werden, so daß auch eine Belieferung mehrerer Kleinabnehmer, welche z.B. jeweils nur einen oder zwei Behälter zur Aufnahme von Halbleitermaterialien empfangen, mit nur einem Transportbehälter möglich ist.

Ferner kann das Außenmaß der einzelnen Transportbehälter an die genormten Maße der Ladeflächen von Lastkraftwagen angepaßt werden, so daß auch der in den einzelnen Lastkraftwagen zur Verfügung stehende Raum optimal genutzt wird, und somit die Transportkosten zusätzlich verringert werden können.

Claims (22)

Manfred Zimmermann Weberzipfel 10 8090 Wasserburg Ansprüche

1. Transportbehälter (10), insbesondere zur Aufnahme von Behältern (22) , in welchen Halbleitermaterialien enthalten sind, umfassend:

- ein an wenigstens einer Seitenwand (12) offen- und wiederverschließbares Transportbehältergehäuse (11),

- eine Mehrzahl von im Transportbehältergehäuse (11) übereinander gebildeten Aufnahmefächern (2 0), welche durch wenigstens einen im Transportbehältergehäuse (11) im wesentlichen horizontal angeordneten Zwischenboden (18) festgelegt sind,

wobei Innenwände (24) des Transportbehältergehäuses (11) sowie obere und untere Oberflächen (28,30) des wenigstens einen Zwischenbodens (18) wenigstens teilweise mit elastischem Material (26) bedeckt sind, und wobei die lichte Höhe (h) der Mehrzahl von Aufnahmefächern (20) im wesentlichen der Höhe (h_ß) der im Transportbehälter (10) aufzunehmenden Behälter (22) entspricht.

2. Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die lichte Höhe (h) der Aufnahmefächer (20) geringfügig kleiner ist, als die Höhe (h_B) der im Transportbehälter (10) aufzunehmenden Behälter (22).

3. Transportbehälter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenwände (24) des Tranportbehältergehäuses sowie die oberen und unteren Oberflächen (28,30) des wenigstens einen Zwischenbodens (18) vollkommen mit elastischem Material (26) bedeckt sind.

4. Transportbehälter nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der wenigstens eine Zwischenboden (18) in seiner Höhenposition im Transportbehältergehäuse (11) verstellbar angeordnet ist.

5. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an wenigstens einer Seitenwand (12) des Transportbehältergehäuses (11) wenigstens eine um eine im wesentlichen vertikale Achse schwenkbare Türe (32,34) vorgesehen ist, welche jeweils wenigstens einen Teil der Seitenwand (12) des Transportbehältergehäuses (11) bildet.

6. Transportbehälter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Transportbehältergehäuse (11) durch die wenigstens eine Türe (32,34) dicht abschließbar ist.

7. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine zwischen der wenigstens einen Türe und dem Transportbehältergehäuse wirkende Verschlußeinrichtung vorgesehen ist.

8. Transportbehälter nach Anspruch 5,6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Türen (32,34) in einer Seitenwand (12) vorgesehen

sind, und daß eine zwischen beiden Türen (32,34) wirkende Verschlußeinrichtung (3 6) vorgesehen ist.

9. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß an wenigstens einer Seitenwand des Transportbehältergehäuses eine aufrollbare Türe vorgesehen ist, welche wenigstens einen Teil der Seitenwand bildet.

10. Transportbehälter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die aufrollbare Türe um eine im wesentlichen horizontale Achse aufrollbar ist.

11. Transportbehälter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die aufrollbare Türe um eine im wesentlichen vertikale Achse aufrollbar ist.

12. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Transportbehältergehäuse durch die aufrollbare Türe dicht abschließbar ist.

13. Transportbehälter nach einem er Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß an der aufrollbaren Türe eine zwischen dem Transportbehältergehäuse und der aufrollbaren Türe wirkende Verschlußeinrichtung vorgesehen ist.

14. Transportbehälter nach einem der Ansprüche 7,8 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußeinrichtung (36) sperrbar ist.

15. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß an einem unteren Abschnitt des Transportbehältergehäuses (11) ein Rammschutz (40) vorgesehen ist.

16. Transportbehälter nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,

daß der Raumschutz (40) von einem sich über den Umfang des Transportbehältergehäuses (11) hinaus erstreckenden Bodenelement (16) des Transportbehältergehäuses (11) gebildet ist.

17. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß an einer Unterseite des Transportbehältergehäuses (11) Räder (38) vorgesehen sind.

18. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß im Transportbehältergehäuse eine im wesentlichen vertikal angeordnete Trennwand vorgesehen ist, und daß der wenigstens eine Zwischenboden an der Trennwand und wenigstens einer Seitenwand des Transportbehältergehäuses in seiner Höhenposition verstellbar gehalten ist.

19 Transportbehälter nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß an zwei gegenüberliegenden Seitenwänden des Transportbehältergehäuses jeweils wenigsten eine Türe vorgesehen ist, und daß die Trennwand zwischen diesen Seitenwänden und parallel zu diesen Seitenwänden angeordnet ist.

20. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß das Transportbehältergehäuse (11) und der wenigstens eine

Zwischenboden (18) aus Holz gefertigt ist.

21. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß die Behälter (22) zur Aufnahme von Halbleitermaterialien Horden zur Aufnahme von Halbleiterscheiben umfassen.

22. Transportbehälter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

daß die Behälter (22) zur Aufnahme von Halbleitermaterialien Kunststofformelemente, insbesondere Styroporformelemente, zur Aufnahme wenigstens eines Halbleiterstabs umfassen.