DE9212022U1

DE9212022U1 - Movement unit

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Publication number: DE9212022U1
Application number: DE9212022U
Authority: DE
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1992-09-07
Filing date: 1992-09-07
Publication date: 1992-12-03
Anticipated expiration: 2002-09-08

Description

Klaus Hügler 04.09.92Klaus Huegler 04.09.92

Justinus-Kerner-Weg 24
7060 SchorndorfJustinus-Kerner-Weg 24
7060 Schorndorf

BewegungseinheitMovement unit

Die Erfindung betrifft eine Bewegungseinheit für Linear- und Drehbewegungen insbesondere in Reinräumen und Vakuumkammern, welche die Merkmale des Oberbegriffes des Anspruches 1 aufweist, sowie ein Übersetzungsgetriebe für diese Bewegungseinheiten, welches die Merkmale des Oberbegriffes des Anspruches 2 aufweist.The invention relates to a movement unit for linear and rotary movements, in particular in clean rooms and vacuum chambers, which has the features of the preamble of claim 1, as well as a transmission gear for these movement units, which has the features of the preamble of claim 2.

Bei bekannten Bewegungseinheiten der in Rede stehenden Art wird das Übersetzungsgetriebe durch Zahnriemen gebildet. Diese erzeugen Partikel und sind für höhere Temperaturen und Hochvakuum nicht geeignet. Bewegungseinheit und Antriebseinheit sind mechanisch mehrfach verschraubt und verzahnt. Sie lassen sich nicht durch einfache Handgriffe vom Anwender wieder trennen. Bei Reinigungsarbeiten, Wartung oder Werkzeugwechsel an der Bewegungseinheit muß die komplette Antriebsgruppe mit ausgetauscht werden. Für die Drehbewegung sowie die Linearbewegung bekannter Bewegungseinheiten ist jeweils ein eigener Antriebsmotor mit eigenem Wegmeßsystem vorgesehen, oder es wird nur ein Antriebsmotor verwendet, der dann über zwei getrennt voneinander schaltbaren Kupplungen die Linearbewegung oder die Schwenkbewegung ermöglicht. Beide Antriebskonzeptionen bauen relativ groß und aufwendig. 'In known motion units of the type in question, the transmission gear is formed by toothed belts. These generate particles and are not suitable for higher temperatures and high vacuum. The motion unit and drive unit are mechanically screwed and toothed several times. They cannot be separated again by the user with simple manual movements. When cleaning, servicing or changing tools on the motion unit, the entire drive group must be replaced. For the rotary movement and the linear movement of known motion units, a separate drive motor with its own position measuring system is provided, or only one drive motor is used, which then enables the linear movement or the swivel movement via two separately switchable couplings. Both drive concepts are relatively large and complex. '

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Handhabeeinrichtung zu schaffen, die mit ihrer Bewegungseinheit kontaminationsarm ein Greifwerkzeug schwenken und linear bewegen kann. Sie soll in Räumen mit besonderen Umgebungsbedingungen einsatzfähig sein. Solche Räume sind z.B.: Vakuumkammern, Reinräume, Öfen oder Prozeßkammern.
Die Handhabeeinrichtung muß wartungsfreundlich, kompakt, kostengünstig und sehr robust sein.The invention is based on the object of creating a handling device which, with its movement unit, can pivot and move a gripping tool linearly with minimal contamination. It should be usable in rooms with special environmental conditions. Such rooms are, for example, vacuum chambers, clean rooms, ovens or process chambers.
The handling device must be easy to maintain, compact, cost-effective and very robust.

Diese Aufgabe löst die Bewegungseinheit einer Handhabeeinrichtung gemäß den Merkmalen des Anspruches 1. Durch die Verwendung von glatten Bandrollen statt Zahnrädern sowie endlicher metallischer Zugbänder statt endloser Kunststoff-Zahnriemen arbeitet das Übersetzungsgetriebe in den Oberarmen der Betätigungseinheit praktisch gleitreibungsfrei und spielfrei. Es werden daher kaum Partikel erzeugt, außerdem kann das dünne Metallband Maßschwankungen in Folge Wärmedehnung hervorragend ermüdungsfrei ausgleichen. Aggressive Umgebungsbedingungen schaden dem Band kaum,This task is solved by the movement unit of a handling device according to the features of claim 1. By using smooth belt rollers instead of gears and finite metal tension belts instead of endless plastic toothed belts, the transmission gear in the upper arms of the operating unit works with practically no sliding friction and no play. Hardly any particles are therefore produced, and the thin metal belt can compensate for dimensional fluctuations resulting from thermal expansion in an excellent, fatigue-free manner. Aggressive environmental conditions hardly damage the belt,

besonders wenn es nach Anspruch 7 ausgebildet ist. Die beiden elastisch vorgespannten Zugbänder ermöglichen spielfreie Bewegungsumkehr. Das Getriebe ist sehr kompakt und gestattet daher schlanke, leichte Tragarme.especially if it is designed according to claim 7. The two elastically pre-tensioned tension bands enable movement to be reversed without play. The gear is very compact and therefore allows for slim, lightweight support arms.

Die Ausbildung der Kupplung, insbesonders nach den Ansprüchen 1, 4, 16, 17 und 18, gestattet es, daß sowohl Schwenk- als auch Linearbewegung der Bewegungseinheit nur von einem einzigen Motor, einer einzigen Kupplung und einem einzigen Wegmeßsystem realisiert werden können. Diese platz- und kostensparende Bauweise ermöglicht es darüber hinaus, daß die Bewegungseinheit vom Antriebsmechanismus sehr rasch und wartungsfreundlich durch Lösen einer einzigen Klemmschraube zwischen Antriebswelle und Bewegungseinheit getrennt werden kann.The design of the coupling, in particular according to claims 1, 4, 16, 17 and 18, allows both swivel and linear movement of the movement unit to be realized by just one motor, one single coupling and one single position measuring system. This space- and cost-saving design also allows the movement unit to be separated from the drive mechanism very quickly and in a maintenance-friendly manner by loosening a single clamping screw between the drive shaft and the movement unit.

Häufig ist notwendig, daß Bewegungseinheit und Antriebseinheit durch eine Wand getrennt sind, z.B. durch den Boden einer Vakuum- oder Prozeßkammer mit dichten Drehdurchführungen. Dadurch wird erreicht, daß z.B. Motor und Wegmeßsystem der Antriebseinheit nicht den besonderen Umgebungsbedingungen in der Kammer ausgesetzt werden und Partikelerzeugung nicht stört. Die Antriebseinheit ist dann aber im Regelfall in einem Bereich (Kabinett), wo noch andere mechanische Geräte zusammengedrängt sind und die Zugänglichkeit erschwert ist. Es ist daher besonders vorteilhaft, wenn bei Verfahrensänderungen, Reinigungsarbeiten, Werkzeugwechsel usw. die Bewegungseinheit von der Kammerseite her schnell ausgewechselt bzw. vom Antriebssystem getrennt werden kann. Die Ausbildung gemäß der Ansprüche 1, 4,12, 13,17 und 18 ist dafür besonders geeignet.It is often necessary for the movement unit and drive unit to be separated by a wall, e.g. by the floor of a vacuum or process chamber with sealed rotary unions. This ensures that, for example, the motor and position measuring system of the drive unit are not exposed to the special environmental conditions in the chamber and particle generation is not disrupted. However, the drive unit is then usually in an area (cabinet) where other mechanical devices are crowded together and access is difficult. It is therefore particularly advantageous if, in the event of process changes, cleaning work, tool changes, etc., the movement unit can be quickly replaced or separated from the drive system from the chamber side. The design according to claims 1, 4, 12, 13, 17 and 18 is particularly suitable for this.

Im folgenden ist die Erfindung anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispieles im einzelnen erläutert.
Es zeigenIn the following, the invention is explained in detail using an embodiment shown in the drawings.
Show it

Figur 1 Eine Seitenansicht der Bewegungseinheit mit einer die Gelenkarme umschließenden Kammer. Die Gelenkarme sind im eingefahrenen Zustand dargestellt.Figure 1 A side view of the movement unit with a chamber enclosing the articulated arms. The articulated arms are shown in the retracted state.

Figur 2 Eine Draufsicht der Gelenkarme im ausgefahrenen Zustand.Figure 2 A top view of the articulated arms in the extended position.

Figur 3 Eine Draufsicht der Gelenkarme im eingefahrenen Zustand.Figure 3 A top view of the articulated arms in the retracted position.

Figur 4 Eine Draufsicht auf Gelenk-Oberarme entlang der SchnittlinieFigure 4 A top view of jointed upper arms along the cutting line

A : A in Figur 1.A : A in Figure 1.

Eine als Ganzes mit 1 bezeichnete Bewegungseinheit einer Handhabeeinrichtung für Linear- und Drehbewegungen eines Greifers unter besonderen Umgebungsbedingungen, welche kostengünstig und kompakt baut, weist ein als Ganzes mit 2 bezeichnetes Gelenkarmpaar auf. Das Gelenkarmpaar 2 trägt drehbar gelagert mit seinem Unterarmpaar den Greiferhalter 3. Am Ende des Greiferhalters kann über die Gewindelöcher 4 ein mechanischer Greifer festgeschraubt und über Luftloch 5 z.B. mit Druckluft oder Saugluft versorgt werden.A movement unit of a handling device, designated as a whole with 1, for linear and rotary movements of a gripper under special environmental conditions, which is inexpensive and compact, has a pair of articulated arms, designated as a whole with 2. The pair of articulated arms 2 supports the gripper holder 3 in a rotatable manner with its pair of lower arms. A mechanical gripper can be screwed onto the end of the gripper holder via the threaded holes 4 and supplied with compressed air or suction air, for example, via the air hole 5.

Der eine Oberarm des Gelenkarmpaares 2 ist festgeklemmt auf der Drehachse 7, die ihrerseits drehbar gelagert ist in Kurbel 9. Der andere Oberarm steckt auf dem einen Ende der Antriebswelle 8 und ist an diese mit Schraube 10 geklemmt. One upper arm of the articulated arm pair 2 is clamped onto the rotary axis 7, which in turn is rotatably mounted in crank 9. The other upper arm is on one end of the drive shaft 8 and is clamped to it with screw 10.

Die Antriebswelle wird, auf den Figuren nicht sichtbar, an ihrem anderen Ende durch einen Motor mit Drehwinkelgeber angetrieben, es ist aber auch ein einfaches Handrad möglich. Die Antriebswelle 8 kann sich relativ zur Kurbel 9 drehen in einem Radiallager 11, auf dem sich die Kübel 9 abstützt. Das schematisch dargestellte Lager 11 kann zum Beispiel die Kombination aus einem Axial- und einem Radialkugellager sein. Ober- und Unterarm sind jeweils über eine Achse 12 beziehungsweise 13 gelenkig miteinander verbunden. Achse 12 sowie Achse 13 stecken kraftschlüssig in den Unterarmen und sind drehbar gelagert in den Oberarmen. Eine Koppel 14 verbindet Achse 12 mit Achse 13 über Radiallager, beide Achsen können sich also relativ zur Koppel 14 drehen. Das Gelenkarmpaar 2 besteht kinematisch aus zwei Gelenkparallelogrammen. Das erste Gelenkparallelogramm besteht aus dem Oberarmpaar sowie Kurbel 9 und Koppel 14. Es ist in Figur 4 aufgeschnitten entlang der Linie A : A in Figur 1 dargestellt und wird als ganzes Oberarmparallelogramm 15 bezeichnet. Das zweite Gelenkparallelogramm besteht aus dem Unterarmpaar sowie der Koppel 14 und dem Greiferhalter 3 und wird als ganzes Unterarmparallelogramm bezeichnet. Im Oberarmparallelogramm 15 ist ein Bandrollengetriebe eingelassen. Es überträgt eine Schwenkbewegung des Oberarmparallelogrammes relativ zur Kurbel 9 mit dem Übersetzungsverhältnis 2 : 1 auf das Unterarmparallelogramm und erzwingt dadurch eine exakte Geradeausführung des Greiferhalters 3. Das Bandrollengetriebe besteht aus den mit der Kurbel 9 fest verbundenen großen Bandrollen 16 und 17, den Zugbändern 18 und 19 sowie den kleinen Bandrollen 20 und 21. Die kleinen Bandrollen 20 und 21 stecken formschlüssig durch die Paßfedern 30 und 31 auf den Achsen 12 und 13. Diese beiden Achsen stecken kraftschlüssig in den Unterarmen des Unterarmparallelogrammes mit dem Greiferhalter 3 und sind drehbar gelagert in den Oberarmen. Jedes der beiden Zugbänder 18 und 19 ist mit seinen Enden an den Bandrollen 16 und 20 beziehungsweise 17 und 21 festgeklemmt.The drive shaft is driven at its other end by a motor with a rotary encoder, not visible in the figures, but a simple handwheel is also possible. The drive shaft 8 can rotate relative to the crank 9 in a radial bearing 11 on which the bucket 9 rests. The bearing 11 shown schematically can, for example, be a combination of an axial and a radial ball bearing. The upper and lower arms are each connected to one another via an axis 12 or 13. Axis 12 and axis 13 are inserted into the lower arms in a force-locking manner and are rotatably mounted in the upper arms. A coupling 14 connects axis 12 to axis 13 via radial bearings, so both axes can rotate relative to the coupling 14. The articulated arm pair 2 consists kinematically of two articulated parallelograms. The first joint parallelogram consists of the upper arm pair as well as crank 9 and coupling 14. It is shown in Figure 4 cut open along the line A:A in Figure 1 and is referred to as the entire upper arm parallelogram 15. The second joint parallelogram consists of the lower arm pair as well as the coupling 14 and the gripper holder 3 and is referred to as the entire lower arm parallelogram. A belt roller gear is embedded in the upper arm parallelogram 15. It transmits a swivel movement of the upper arm parallelogram relative to the crank 9 with a gear ratio of 2:1 to the lower arm parallelogram and thereby forces the gripper holder 3 to move exactly straight. The belt roller gear consists of the large belt rollers 16 and 17, the tension belts 18 and 19, and the small belt rollers 20 and 21, which are firmly connected to the crank 9. The small belt rollers 20 and 21 are inserted in a form-fitting manner through the keys 30 and 31 on the axes 12 and 13. These two axes are inserted in a force-fitting manner in the lower arms of the lower arm parallelogram with the gripper holder 3 and are rotatably mounted in the upper arms. Each of the two tension belts 18 and 19 is clamped with its ends to the belt rollers 16 and 20 or 17 and 21.

Wird Kurbel 9 festgehalten und Antriebswelle 8 gedreht, so überträgt sich diese Drehbewegung über Schraube 10 auf das Oberarmparallelogramm 15. Dieses dreht sich nun relativ zur Kurbel 9 und nimmt über die Achsen 12 und 13 das Unterarmparallelogramm mit. Zusätzlich wird das Unterarmparallelogramm über das Bandrollengetriebe relativ zum Oberarmparallelogramm geschwenkt. Die zusammengesetzte Bewegung beider Parallelogramme ergibt eine Linearbewegung am Greiferhalter 3.If crank 9 is held and drive shaft 8 is rotated, this rotational movement is transferred via screw 10 to the upper arm parallelogram 15. This then rotates relative to crank 9 and takes the lower arm parallelogram with it via axes 12 and 13. In addition, the lower arm parallelogram is pivoted relative to the upper arm parallelogram via the belt roller gear. The combined movement of both parallelograms results in a linear movement on the gripper holder 3.

An Kurbel 9 ist eine Hohlwelle 22 mit Sechskant 23 angeformt. Der Sechskant 23 steckt längsverschieblich, aber formschlüssig in einem äußeren Kupplungsring 24 und einem inneren Kupplungsring 25. Die Kupplungsringe 24 und 25 werden durch Druckfedern 26 auseinander gedrängt. Der äußere Kupplungsring liegt reibschlüssig am Maschinengestell 27 an. Das Maschinengestell 27A hollow shaft 22 with a hexagon 23 is formed on crank 9. The hexagon 23 is inserted in an outer coupling ring 24 and an inner coupling ring 25 so that it can be moved longitudinally but with a positive fit. The coupling rings 24 and 25 are pushed apart by compression springs 26. The outer coupling ring rests frictionally on the machine frame 27. The machine frame 27

kann auch z.B. ein Kammerboden oder eine Trennwand sein. Der innere Kupplungsring 25 liegt reibschlüssig an einem Konus 28 der Antriebswelle 8 an. In der gezeichneten Stellung erzwingen die Kupplungsringe 24 und 25 über die Kraft der Federn 26, daß Kurbel 9 sowie Antriebswelle 8 mit dem über Schraube 10 angeklemmten Oberarmpaar 15 am Maschinengestell 27 festgelegt sind. Wird der äußere Kupplungsring 24 gegen die Federn 26, vom Maschinengestell 27 weg, nach unten bewegt, so wird die Festlegung am Maschinengestell 27 aufgehoben. Hohlwelle 22 mit Kurbel 9 bleibt aber über den Konus 28 an der Antriebswelle 8 festgelegt. Eine Drehbewegung an der Antriebswelle 8 schwenkt also Kurbel 9 mit dem darauf befestigten Gelenkarmpaar 2, eine Linearbewegung findet nicht statt. Wird der innere Kupplungsring 25 gegen die Federn 26 nach oben gegen den äußeren Kupplungsring 24 bewegt, so wird Kurbel 9 an den Kammerboden 27 festgelegt und damit eine Schwenkbewegung der Kübel 9 und des Gelenkarmpaares 2 verhindert. Eine Drehung der Antriebswelle 8 wirkt jedoch direkt über Schraube 10 auf das Gelenkarmpaar 2 und ermöglicht relativ zur Kurbel 9 eine Linearbewegung.can also be, for example, a chamber floor or a partition wall. The inner coupling ring 25 rests frictionally on a cone 28 of the drive shaft 8. In the position shown, the coupling rings 24 and 25 force the crank 9 and drive shaft 8 to be fixed to the machine frame 27 with the upper arm pair 15 clamped to it by screw 10 via the force of the springs 26. If the outer coupling ring 24 is moved downwards against the springs 26, away from the machine frame 27, the fixation to the machine frame 27 is removed. The hollow shaft 22 with the crank 9 remains fixed to the drive shaft 8 via the cone 28. A rotary movement on the drive shaft 8 therefore pivots the crank 9 with the articulated arm pair 2 attached to it; no linear movement takes place. If the inner coupling ring 25 is moved against the springs 26 upwards against the outer coupling ring 24, the crank 9 is fixed to the chamber floor 27 and thus a pivoting movement of the bucket 9 and the articulated arm pair 2 is prevented. A rotation of the drive shaft 8, however, acts directly on the articulated arm pair 2 via screw 10 and enables a linear movement relative to the crank 9.

Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten sowie auch die nur allein aus den Figuren entnehmbaren Merkmale sind als weitere Ausgestaltungen Bestandteile der Erfindung, auch wenn sie nicht besonders hervorgehoben und insbesondere in den Ansprüchen nicht erwähnt sind.All features mentioned in the above description as well as those that can only be inferred from the figures are components of the invention as further embodiments, even if they are not particularly highlighted and in particular are not mentioned in the claims.

Claims

SchutzansprücheProtection claims

1) Bewegungseinheit einer Handhabeeinrichtung für Linear- und Drehbewegungen eines Greifers unter besonderen Umgebungsbedingungen, mit1) Movement unit of a handling device for linear and rotary movements of a gripper under special environmental conditions, with

a) zwei zu einer Bewegungseinheit verbundenen Gelenkparallelogrammen, die über eine als Koppel ausgebildete gemeinsame Gelenkstange zu einem Gelenkarmpaar miteinander verbunden sind und von der zur Koppel parallelen, als Kurbel ausgebildeten Gelenkstange geschwenkt und getragen werden,a) two articulated parallelograms connected to form a movement unit, which are connected to one another via a common articulated rod designed as a coupler to form a pair of articulated arms and are pivoted and supported by the articulated rod designed as a crank and parallel to the coupler,

b) einer an die Kurbel angeformten steckbaren Kurbelhohlwelle sowieb) a pluggable hollow crankshaft formed onto the crank and

c) einer als Steckwelle ausgebildeten Antriebswelle, welche die aufgesteckte Bewegungseinheit schwenkt, über ein Übersetzungsgetriebe beide Gelenkparallelogramme treibt und durch eine Trennwand hindurch die Bewegungseinheit mit der Antriebseinheit verbindet,c) a drive shaft designed as a plug-in shaft, which pivots the attached movement unit, drives both joint parallelograms via a transmission gear and connects the movement unit to the drive unit through a partition wall,

dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that

d) ein Arm des Gelenkarmpaares (2) mit der Antriebswelle (8)Mosbare Steckverbindung der Bewegungseinheit mit der Antriebseinheit bildet und die Kurbelhohlwelle (22) über einen schaltbaren Kupplungsmechanismus (24, 25, 26) wahlweise mit dem Maschinengestell (27) und / oder der Antriebswelle (8) verbunden werden kann.d) one arm of the articulated arm pair (2) forms a plug-in connection between the movement unit and the drive unit with the drive shaft (8) and the hollow crank shaft (22) can be optionally connected to the machine frame (27) and/or the drive shaft (8) via a switchable coupling mechanism (24, 25, 26).

2) Getriebe für eine Bewegungseinheit, insbesondere nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß2) Gear for a movement unit, in particular according to claim 1, characterized in that

in mindestens der mit der Antriebswelle (8) verbundenen Gelenkstange des antreibenden Gelenkparallelogrammes eine große (16) und eine kleine (20) Bandrolle eingelassen sind, die zusammen mit 2 an den Rollen festgelegten Zugbändern (18, 19) oder Zugseilen ein 2 : 1 Übersetzungsgetriebe zwischen den beiden Gelenkparallelogrammen bilden.in at least the joint rod connected to the drive shaft (8) of the driving joint parallelogram, a large (16) and a small (20) band roller are embedded, which together with 2 tension bands (18, 19) or tension cables attached to the rollers form a 2:1 transmission gear between the two joint parallelograms.

3) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß3) Movement unit according to one of claims 1 or 2, characterized in that

in der mit der Antriebswelle (8) verbundenen Gelenkstange des antreibenden Gelenkparallelogrammes sowie der dieses Gelenkparallelogramm ergänzenden parallelen Gelenkstange jeweils ein Bandrollenpaar (16, 20 und 17, 21) eingelassen ist, das zusammen mit mindestens einem an jedem Bandrollenpaar festgelegten Zugband (18,in the joint rod of the driving joint parallelogram connected to the drive shaft (8) and in the parallel joint rod supplementing this joint parallelogram, a pair of band rollers (16, 20 and 17, 21) is embedded, which together with at least one tension band (18,

19) ein 2 : 1 Übersetzungsgetriebe zwischen den beiden zu einem Gelenkarmpaar (2) verbundenen Gelenkparallelogrammen bildet.19) forms a 2:1 transmission gear between the two articulated parallelograms connected to form a articulated arm pair (2).

4) Bewegungseinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß4) Movement unit according to claim 1, characterized in that

der Kupplungsmechanismus (24, 25, 26) aus einer einzigen schaltbaren Kupplung mit vorzugsweise 3 schaltbaren Stellungen besteht, wobei in Stellung 1 die Antriebswelle (8) mit der Hohlwelle (22) gekuppelt wird, in Stellung 2 die Hohlwelle (22) am Maschinengestell (27) festgelegt wird und in Stellung 3 Antriebswelle (8) mit Hohlwelle (22) und Maschinengestell (27) fest miteinander verbunden werden.the coupling mechanism (24, 25, 26) consists of a single switchable coupling with preferably 3 switchable positions, whereby in position 1 the drive shaft (8) is coupled to the hollow shaft (22), in position 2 the hollow shaft (22) is fixed to the machine frame (27) and in position 3 the drive shaft (8) with the hollow shaft (22) and the machine frame (27) are firmly connected to one another.

5) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß5) Movement unit according to one of claims 2 to 4, characterized in that

jede große Bandrolle (16, 17) mit der Kurbel (9) starr verbunden ist.each large belt roller (16, 17) is rigidly connected to the crank (9).

6) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß6) Movement unit according to one of claims 2 to 5, characterized in that

jede der kleinen Bandrollen (20, 21) unbeweglich mit jeweils einer der Verbindungsachsen (12,13) verbunden ist, die jeweils zwei Gelenkstangen mit der Koppel (14) verbindet.each of the small belt rollers (20, 21) is immovably connected to one of the connecting axes (12, 13), which connects two articulated rods to the coupling (14).

7) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß7) Movement unit according to one of claims 2 to 6, characterized in that

die Zugbänder (18,19) aus einer aushärtbaren Nickellegierung hergestellt sind.the tension bands (18,19) are made of a hardenable nickel alloy.

8) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß8) Movement unit according to one of claims 2 to 7, characterized in that

jedes Zugbandende an einer Bandrolle (16, 20 und 17, 21) angeschweißt oder angeklemmt ist.each tension band end is welded or clamped to a band roller (16, 20 and 17, 21).

9) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß9) Movement unit according to one of claims 1 to 8, characterized in that

die Gelenklager der Bewegungseinheit aus Werkstoffen bestehen, die verschleißarm sind und von Permanentmagneten separiert werden können.the joint bearings of the movement unit are made of materials that are low-wear and can be separated from permanent magnets.

10) Bewegungseinheit nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß10) Movement unit according to claim 9, characterized in that

die Gelenklager so von permanentmagnetischen Deckeln oder Ringen abgedeckt sind, daß an ihnen Verschleißpartikel vom Lagerwerkstoff magnetisch haften bleiben.the spherical bearings are covered by permanent magnetic covers or rings in such a way that wear particles from the bearing material adhere to them magnetically.

11) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß11) Movement unit according to one of claims 1 to 10, characterized in that

die Trennwand (27) zwischen Bewegungseinheit und Antriebseinheit die Wand einer Vakuumkammer (27, 28) bildet, in der sich die Bewegungseinheit befindet.the partition wall (27) between the movement unit and the drive unit forms the wall of a vacuum chamber (27, 28) in which the movement unit is located.

12) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß12) Movement unit according to one of claims 1 to 11, characterized in that

die Bewegungseinheit mit einer Raste oder Schraube (10) an die Antriebswelle (8) geklemmt ist.the movement unit is clamped to the drive shaft (8) with a catch or screw (10).

13) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 11 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß13) Movement unit according to one of claims 11 to 12, characterized in that

für das Abziehen der Bewegungseinheit von der Antriebswelle (8) und ihrem Austausch ausschließlich die Vakuumkammer (27, 28) zugänglich sein muß.to remove the movement unit from the drive shaft (8) and to replace it, only the vacuum chamber (27, 28) must be accessible.

14) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß14) Movement unit according to one of claims 1 to 13, characterized in that

die Antriebswelle (8) hohl ist und durch diese Wellenbohrung Druckluft, Gas oder Vakuum in die Kurbel (9) geleitet werden kann.the drive shaft (8) is hollow and compressed air, gas or vacuum can be fed into the crank (9) through this shaft bore.

15) Bewegungseinheit nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß15) Movement unit according to claim 14, characterized in that

zwischen Kurbel (9) und Greiferhalter (3) eine Rollschlauchverbindung (6) für Druckluft, Gas oder Vakuum besteht.There is a roller hose connection (6) for compressed air, gas or vacuum between the crank (9) and the gripper holder (3).

16) Bewegungseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß16) Movement unit according to one of claims 1 to 15, characterized in that

die Hohlwelle (22) mit der Kupplung (24, 25, 26) über eine Steckverbindung (23, 24) verbunden ist.the hollow shaft (22) is connected to the coupling (24, 25, 26) via a plug connection (23, 24).

17) Bewegungseinheit nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß17) Movement unit according to claim 16, characterized in that

die Hohlwelle (22) in der Kupplung (24, 25, 26) axial verschieblich ist.the hollow shaft (22) is axially displaceable in the coupling (24, 25, 26).

18) Bewegungseinheit nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß18) Movement unit according to claim 17, characterized in that

die axiale Verschiebung in der Kupplung (24, 25, 26) gleich oder größer sein kann als ein eventuell erforderlicher axialer Nutzhub der Bewegungseinheit im Bereich des Greiferhalters (3).the axial displacement in the coupling (24, 25, 26) can be equal to or greater than any required axial effective stroke of the movement unit in the area of the gripper holder (3).