DE9209402U1 - Mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene Membranpumpe - Google Patents

Description

Mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe Beschreibung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Es sind bereits eine Reihe von mikrominiaturisierten Membranpumpen bekannt. In der Fachveröffentlichung F.CM. van de Pol, H.T.G. van Lintel, M. Elwsenspoek and J.H.J. Fluitman "A Thermo-pneumatic Micropump Based on Micro-Engineering Techniques", Sensors and Actuators, A21-A23 (1990) S. 198-202 ist eine thermopneumatisch angetriebene Mikromembranpumpe beschrieben. Die Realisierung eines solchen Antriebes ist sehr aufwendig.

Piezoelektrisch angetriebene Membranpumpen sind in den Fachveröffentlichungen F.CM. van de Pol, H.T.G. van Lintel, S. Bouwstra, "A Piezoelektric Micropump Based on Micromachining of Silicon", Sensors and Actuators, 19 (1988) S.153-167 und M.Esashi, S.Shoji and A.Nakano,"Normally close Microvalve and Micropump", Sensors and Actuators,20 (1989), 163-169 näher erläutert.

Die Realisierung dieser Antriebe enthält Herstellungsschritte, die nicht zu den Standardtechnologieschritten der Halbleitertechnologie gehören, wie beispielsweise das Aufkleben eines Piezofilms oder eines Piezostacks, so daß die Herstellungskosten hoch sind.

Aus der EP-Al-03 92 978 ist bereits eine mikrominiaturisierbare Membranpumpe bekannt, die eine äußere Membrane hat, welche durch ein Piezoelement deformierbar ist. Eine innere

Pumpkammer der Mikropumpe ist durch eine Trennwand unterteilt, innerhalb der Ventilstrukturen angeordnet sind. Die Ventilstrukturen sind Bestandteil von Anschlägen, die die Bewegung der Membran gegenüber der Trennwand bzw. gegenüber dem restlichen Pumpenkörper zur Festlegung einer pro Pumpzyklus konstanten Pumpmenge begrenzen.

Aus der WO 90/15929 ist eine weitere Mikropumpe bekannt, die der soeben gewürdigten Mikropumpe von ihrer Struktur her weitgehend entspricht.

Aus der DE 40 06 152 Al ist eine Mikropumpe mit einem ersten Pumpenkörper und einem einen Membranbereich aufweisenden zweiten Pumpenkörper, die jeweils elektrisch leitfähige Elektrodenbereiche aufweisen, welche mit einer Spannungsquelle verbindbar und elektrisch voneinander isoliert sind, wobei die beiden Pumpenkörper einen an den Membranbereich angrenzenden Pumpenraum miteinander festlegen, bekannt. Die Beaufschlagung der zu pumpenden Flüssigkeit mit einem elektrischen Feld ist in manchen Fällen unerwünscht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine mikrominiaturisierte Mikromembranpumpe der im Oberbegriff des Anspruches 1 angegeben Gattung zu schaffen, bei der die zu pumpende Flüssigkeit nicht oder nur in geringem Maße mit einem elektrischen Feld beaufschlagt wird.

Diese Aufgabe wird bei einer mikrominiaturisierten Mikromembranpumpe der im Oberbegriff des Anspruches 1 angegebenen Art durch die im Kennzeichen dieses Anspruches genannten Merkmale gelöst.

Im Rahmen der Erfindung wird ein neuartiges elektrostatisches Antriebsprinzip für mikrominiaturisierte Membranpumpen angegeben, das sich durch einen äußerst einfachen Aufbau auszeichnet und sich mit den gängigen Methoden der Halbleitertechnologie realisieren läßt.

Bei der erfindungsgemäßen Mikromembranpumpe wird vermieden, daß das zu pumpende Medium der Wirkung des zum Antrieb notwendigen elektrostatischen Feld ausgesetzt ist, so daß die erfindungsgemäße Mikromembranpumpe auch für den Einsatz zur Dosierung von Medikamenten verwendet werden kann, die unter Einwirkung von elektrostatischen Feldern dissoziieren.

Die Mikromembranpumpe ist dabei sowohl in der Lage, Flüssigkeiten und/oder Gase zu transportieren, als auch bei verschwindendem Durchfluß einen hydrostatischen Druck zu erzeugen.

Die Mikromembranpumpe nach der Erfindung läßt sich, was einen großen Vorteil darstellt, mit den bekannten Methoden der Halbleitertechnik herstellen. Ein weiterer Vorteil bei der Mikromembranpumpe nach der Erfindung besteht darin, daß sie zur Förderung von Fluiden beliebiger Leitfähigkeit eingesetzt werden kann.

Typische Einsatzgebiete der Mikromembranpumpe nach der Erfindung sind zum Beispiel das genaue Dosieren von Flüssigkeiten im Mikroliter- bzw. Sub- Mikroliter-Bereich in der Medizin oder auf technischen Gebieten, wie zum Beispiel im Maschinenbau.

Erfindungsgemäß umfaßt die Mikromembranpumpe einen Hohlraum, der durch die beiden Pumpenkörper definiert wird und an den Membranbereich angrenzt, welcher mit einem von dem zu pumpenden Fluid räumlich getrennten Fluidmedium gefüllt ist.. Vorzugsweise weist der Hohlraum zumindest eine Öffnung auf, durch die dieses Medium austreten kann. Das Medium, welches im Falle einer relativen Dielektrizitätskonstante, die größer als l ist, auch als Verstärkungsflüssigkeit oder Verstärkungsgas bezeichnet werden kann, hat vorzugsweise eine möglichst hohe relative Dielektrizitätskonstante, um hierdurch eine möglichst große Kraft herbeizuführen, die durch Anlegen einer Spannung an die beiden Pumpenkörper auf den Membranbereich wirkt.

Das Fluid kann bei der Gehäusung der Mikromembranpumpe eingeschlossen werden und kommt somit nicht zwangsläufig in Kontakt mit der Umgebung. Bei dem Einschluß des Fluids in dem Gehäuse ist zu beachten, daß bei Verwendung einer Flüssigkeit diese aufgrund ihrer verschwindenden Kompressibilität nicht den ganzen Hohlraum in der Gehäusung ausfüllen darf, da sonst ein Entweichen der Flüssigkeit aus dem Zwischenraum zwischen dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper (Membranbereich/Gegenelektrodenkörper) nicht mehr möglich ist und sich die Membran aufgrund des von der Flüssigkeit aufgebauten Gegendrucks nicht mehr bewegen würde. In Abweichung von der soeben beschriebenen Ausführungsform, bei der der erfindungsgemäßen Mikromembranpumpe nicht vollständig durch die Verstärkungsflüssigkeit gefüllt ist, kommen auch Ausführungsformen in Betracht, bei denen der Hohlraum vollständig mit der Verstärkungsflüssigkeit gefüllt ist, wobei jedoch in diesem Fall die Öffnung des Hohlraumes mit einer äußerst flexiblen weiteren Membran, die beispielsweise durch eine Gummihaut gebildet sein kann, gegenüber der Umgebungsathmosphäre abgeschlossen ist. Ebenfalls kann die Pumpe mit einem Verstärkungsgas mit einer Dielektrizitätskonstante, die größer als 1 ist, betrieben werden.

Eine oder mehrere Durchtrittsöffnungen in dem Gegenelektrodenkörper sorgen dafür, daß bei Verwendung einer Flüssigkeit zur Verstärkung diese ohne großen Widerstand in den und aus dem Zwischenraum zwischen dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper (Membranbereich/Gegenelektrodenkörper) strömen kann. Eine erhöhte Pumpfrequenz der erfindungsgemäßen elektrostatischen Mikromembranpumpe kann dadurch herbeigeführt werden, daß das Abfließen der Verstärkungsflüssigkeit durch Kanalstrukturen in der Membran oder den der Membran gegenüberliegenden Pumpenkörper in Richtung der Durchtrittsöffnung erleichtert wird.

Der physikalische Effekt, daß Dielektrika mit großer relativer Dielektrizitätskonstanten in einem Kondensator die Di-

elektrika mit kleinerer Dielektrizitätskonstanten verdrängen, sorgt dafür, daß die Flüssigkeit von selbst den Zwischenraum zwischen dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper (Membran/Gegenelektrode) auffüllt, sofern nur eine der oben erwähnten Durchtrittsöffnungen in Kontakt mit der Flüssigkeitsfüllung ist. Dieser Füllvorgang kann durch eine geeignete Oberflächenbeschichtung des ersten und des zweiten Pumpenkörpers zumindest in den mit der Flüssigkeit in Berührung kommenden Teilen des Membranbereiches und des dritten Pumpenkörpers als Gegenelektrode noch zusätzlich erleichtert werden.

Der zusätzliche Aufwand beim Einsatz zusätzlichen Fluids in dem Hohlraum im Zusammenhang mit der dazu erforderlichen Gehäusetechnik ist also relativ gering.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Erfindungsgegenstandes ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Der Erfindungsgegenstand wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung zur Erläuterung des Arbeitsprinzips einer elektrostatischen Mikromembranpumpe nach der Erfindung;

Fig. 2 in schematischer Darstellung einen Querschnitt durch eine erste Ausführungsform einer elektrostatisch betriebenen Mikromembranpumpe nach der Erfindung;

Fig. 3a eine Schnittdarstellung eines aus zwei Teilpumpenkörpern, die mit Ventilen ausgebildet sind, zusammengesetzten dritten Pumpenkörpers;

Fig. 3b Eine Schnittdarstellung einer alternativen Ausführungsform zu der Pumpenkörperstruktur gemäß Fig. 3a;

Fig. 4 eine andere Ausgestaltung eines ersten Pumpenkörpers ;

Fig. 5 eine schematische Schnittdarstellung einer anderen Ausführungsform einer elektrostatischen Mikromembranpumpe nach der Erfindung;

Fig. 6 eine schematische Schnittdarstellung einer weiteren Ausführungsform einer elektrostatischen Mikromembranpumpe nach der Erfindung;

Fig. 7 eine Abwandlung der Ausführungsform gemäß Fig. 1;
und

Fig. 8 eine graphische Darstellung des Zusammenhanges zwischen Durchflußmenge und Druckdifferenz für die vewendeten Ventile bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3b.

Die Fig. 1 zeigt eine allgemein mit 1 bezeichnete Teileinheit einer mikrominiaturisierten Membranpumpe mit elektrostatischem Antrieb nach der Erfindung. Ein erster, als Gegenelektrode dienender Pumpenkörper 2 ist oberhalb eines zweiten Pumpenkörpers 3 angeordnet und fest mit diesem verbunden. Beide Pumpenkörper 2 und 3 bestehen bevorzugt aus Halbleitermaterialien von unterschiedlichen Ladungsträgertypen. So kann der erste Pumpenkörper 2 zum Beispiel aus Silizium vom p-Typ bestehen, wobei der zweite Pumpenkörper 3 dann aus Silizium vom &eegr;-Typ hergestellt ist.

Der zweite Pumpenkörper 3 ist auf der zu dem ersten Pumpenkörper 2 weisenden Oberfläche mit einer Dielektrikumschicht überzogen.

Der zweite Pumpenkörper 3 weist an seiner von dem ersten Pumpenkörper 2 fortweisenden Seite eine pyramidenstumpfförmige Ausnehmung 7 auf, durch die ein dünner, elastischer

Membranbereich 6 mit geringer Dickenabmessung geschaffen wird. Die Ausnehmung 7 kann durch fotolithographisches Festlegen einer rückseitigen Ätzöffnung und anschließendes anisotropes Ätzen erzeugt werden.

Der erste Pumpenkörper 2 weist zwei sich in Richtung seiner Dickenabmessung erstreckende und hindurchgehende Durchtrittsöffnungen 4 und 5 auf. Diese beiden Durchtrittsöffnungen 4 verjüngen sich in Richtung zu dem zweiten Pumpenkörper 3.

Der erste und der zweite Pumpenkörper 2 und 3 sind in ihrem Randbereich über eine Verbindungsschicht 9 unter Bildung eines Raumes 10 dichtend miteinander verbunden. Die Verbindungsschicht 9 kann zum Beispiel aus Pyrex-Glas bestehen. Die Verbindung kann durch Anodic-Bonding oder durch Kleben erfolgen. Der Abstand dl zwischen den beiden zueinander weisenden Oberflächen des ersten und des zweiten Pumpenkörpers 2 und 3 sollte ungefähr im Bereich von 1 bis 20 Mikrometer liegen. Der Raum 10 zwischen dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper 2 und 3 wird mit einem flüssigen Medium mit einer geeignet hohen Dielektrizitätskonstanten soweit gefüllt, daß sich die Flüssigkeit bis in die Durchtrittsöffnungen 4 und 5 oder über diese hinaus erstreckt.

Obgleich hier nur für den zweiten Pumpenkörper 3 angegeben, könnte auch der erste Pumpenkörper 2 oder es könnten auch beide Pumpenkörper 2 und 3 mit einer passivierenden Dielektrikumsschicht 8 mit einer Gesamtdicke d2 und der relativen Dielektrizitätskonstante e₂ überzogen sein, beispielsweise um elektrische Durchbrüche zu verhindern. Das Dielektrikum kann ferner auch die Funktion erfüllen, die Oberflächenspannung der beiden Pumpenkörper 2 und 3 an den einander zugewandten Oberflächen für eine bestimmte Flüssigkeit günstig zu gestalten.

An seiner Oberfläche ist der erste Pumpenkörper 2 mit einem Ohm'sehen Kontakt 11 und der dritte Pumpenkörper 3 mit einem

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Ohm'sehen Kontakt 11' versehen. Diese beiden Kontakte 11 und 11' werden mit den Anschlußklemmen einer Spannungsquelle U verbunden.

Durch Anlegen einer elektrischen Spannung U zwischen dem Pumpenkörper 3, der den Membranbereich 6 aufweist, und dem ersten Pumpenkörper 2, der als Gegenelektrode dient, werden auf diesen Ladungen erzeugt, die sich gegenseitig anziehen. Die Polarität der Spannung ist dabei bevorzugt so, daß auf dem p-Typ-Halbleiter positive und auf dem n-Typ-Halbleiter negative Ladungen erzeugt werden. Die Größe der so erzeugten Flächenladungsdichte auf dem ersten Pumpenkörper 2 und auf dem zweiten Pumpenkörper 3 mit seinem Membranbereich 6 ist durch die Kapazität pro Fläche der gesamten Teileinheit 1 gegeben und führt über die Anziehungskraft zwischen den Ladungen zu einem elektrostatisch erzeugten Druck p_el auf den Membranbereich 6 des zweiten Pumpenkörpers 3. Es gilt:

p_el = ·

2 d,²

e₁ ist dabei die relative Dielektrizitätskonstante des Mediums im Zwischenraum zwischen dem Membranbereich 6 des zweiten Pumpenkörpers 3 und dem ersten Pumpenkörper 2 und e₂ die Dielektrizitätskonstante einer möglichen Passivierungsschicht 8.

Aus dieser Gleichung (1) läßt sich ableiten, daß sich der elektrostatisch erzeugte Druck auf den Membranbereich 6 durch die geeignete Wahl eines Mediums mit großer relativer Dielektrizitätskonstante C₁ und hoher elektrischer Durchbruchfeidstärke entscheidend verstärken läßt, (mit Methanol beispielsweise um den Faktor e., = 32) . Das im allgemeinen flüssige Medium im Bereich zwischen Membranbereich 6 und zweiten Pumpenkörper 3 ist im allgemeinen von dem zu pumpenden Medium verschieden und muß vor allem noch eine weitere Bedingung hinsichtlich seiner Leitfähigkeit erfüllen. Ein zu

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geringer spezifischer Widerstand des Mediums führt zu einem raschen Abbau des zur Druckerzeugung benutzten elektrostatischen Feldes zwischen Membranbereich und erstem Pumpenkörper als Gegenelektrode innerhalb der charakteristischen Zeit &tgr;, mit

&tgr;= e₀ (C₁ + e₂ ) ( 2 )

Die in dem ersten Pumpenkörper 2 ausgebildeten Durchtrittsöffnungen 4 und 5 sorgen dafür, daß die Flüssigkeit aus dem Raum zwischen dem Membranbereich 6 des zweiten Pumpenkörpers 3 und dem ersten Pumpenkörper 2 ungehindert wegströmen kann und somit auf den Membranbereich 6 keinen Gegendruck ausübt, der eine Bewegung des Membranbereiches 6 aufgrund des elektrostatisch erzeugten Druckes verhindern würde.

Weiter erkennt man aus Gleichung ( 1 ) , daß die Dicke d₂ einer möglichen Passivierungsschicht 8 eine bestimmte Größe nicht überschreiten sollte Ce^₂ < e₂ ^di ) ·

Typische Größen von auf den Membranbereich 6 erzeugbaren Drücken liegen im Fall von Methanol als verstärkendem Medium (&euro;^32) bei einem Abstand von d.,=5 um und einer Betriebsspannung U= 50 V für e.,d₂ « e₂d.| bei etwa 10000 Pa, was einem hydrostatischen Druck von etwa 1 m Wassersäule entspricht und damit größer ist als bei Membranen, die bisher piezoelektrisch oder thermopneumatisch angetrieben wurden. Durch eine weitere Erhöhung der Betriebsspannung U und der Wahl eines anderen verstärkenden Mediums lassen sich auch noch höhere Drücke auf die Membran erzeugen. Ein derartiger Nettodruck auf eine etwa 25 &mgr;&idiagr;&eegr; dicke Siliciummembran mit den Seitenabmessungen von 3 mm &khgr; 3 mm führt zu einer maximalen Membranauslenkung von etwa 5 ßm, was über den gesamten Membranbereich einer Volumenverdrängung von etwa 0.02 &mgr;&idiagr; entspricht.

Der elektrostatisch auf den Membranbereich erzeugte Druck wird durch deren Verformung praktisch in der Membran gespeichert und führt nach Abschalten der Spannung U dazu, daß sich die Membran wieder in ihre Ausgangslage zurückstellt.

Durch Änderung der Membrandicke und deren Seitenabmessungen lassen sich auch im Bezug auf eine bestimmte Betriebsspannung andere Schlagvolumina erzeugen.

Durch das Anlegen einer periodischen elektrischen Spannung (vorzugsweise in der Form von Rechteckpulsen) an den ersten Pumpenkörper 2 als Gegenelektrode und den zweiten Pumpenkörper 3 mit seinem Membranbereich 6, deren maximale Frequenz durch die später beschriebene Durchlaßcharakteristik der Ventile an der Membranpumpe bestimmt ist, erreicht man also eine periodische Verdrängung eines bestimmten Schlagvolumens, was das Hauptmerkmal einer Membranpumpe darstellt.

Von großem Vorteil bei der Dosierung von kleinen Flüssigkeitsmengen ist ein Schlagvolumen der Pumpe, das möglichst nicht oder nur sehr wenig von dem für die Flüssigkeit zu überwindenden Gegendruck abhängt. Die nachfolgend erläuterten Eigenschaften der erfindungsgemäßen elektrostatischen Membranpumpe bewirken auf eine sehr elegante Weise ein konstantes Schlagvolumen.

Der Membranantrieb der Pumpe gemäß Fig. 1 kann als Serienschaltung von zwei oder mehreren Kapazitäten C₁, C₂ betrachtet werden. Dies ist ersichtlich, wenn in man in Fig. 1 die Grenzfläche zwischen der Isolationsschicht 8 und dem mit der Flüssigkeit gefüllten Hohlraum 10 als fiktive Kondensatorplatte betrachtet. Die Kapazität C₂ wird dabei durch die Isolationsschicht 8, die Kapazität C₁ durch das flüssige Medium im Hohlraum 10 repräsentiert. Hierbei gilt folgende Gleichung:

- II ■-'- '

C₂ e₂ · d,

U₁ = · U₀ = . U₀ (3)

C₁+ C₂ e_rd₂ + 62-d,

Für eine Bewegung der Membran zählt nur der Anteil U₁ der von außen angelegten Spannung U₀, der an der Kapazität C₁ abfällt, was nach Gleichung (3) zu der Bedingung &euro;_&lgr;&aacgr;_&zgr; « 6^d₁ führt (an der kleineren der beiden Kapazitäten fällt der größte Teil der Spannung U₀ ab) . Nähert sich die Membran aber nun der Gegenelektrode, so wird dl kleiner und es gibt einen kritischen Abstand d,, bei dem e.,d₂ = e₂d., gilt. Bei der weiteren Annäherung der Membran fällt nun der weitaus größte Teil der Spannung U₀ an der Isolationsschicht 8 ab, und geht dabei als treibende Kraft für eine weitere Membranbewegung verloren.

Bei dieser Art von elektrostatischem Antrieb wird also die Membran nur bis zu einem bestimmten, kritischen Abstand dl ausgelenkt, was einem definerten Schlagvolumen entspricht. Durch eine Anpassung der Dicke der Isolationsschicht 8 kann also bei genügend hohen Betriebsspannungen U₀ bis zu einem bestimmten maximalen zu überwindenden Gegendruck &rgr; ein druckunabhängiges Schlagvolumen erreicht werden, was für die genaue Dosierung von Flüssigkeiten einen großen Vorteil darstellt.

Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung einen Querschnitt durch eine erste besonders einfache Ausführungsform einer elektrostatisch arbeitenden Membranpumpe nach der Erfindung. Diese Membranpumpe umfaßt die im Zusammenhang mit der Fig. l beschriebene Teileinheit 1 mit ihrem ersten und zweiten Pumpenkörper 2 bzw. 3 und zusätzlich einen dritten Pumpenkörper 12, der mit dem zweiten Pumpenkörper 3 elektrisch leitend und abdichtend verbunden ist. Diese Verbindung kann zum Beispiel durch Löten oder eutektisches Bonden oder Kleben hergestellt sein. Der dritte Pumpenkörper 12 besteht bevorzugt ebenfalls aus einem Halbleitermaterial vom gleichen

Typ wie dasjenige des zweiten Pumpenkörpers 3, so zum Beispiel aus Silizium vom n-Typ.

Der erste und der dritte Pumpenkörper 2 und 12 besitzen jeweils auf ihrer Außenfläche einen Ohm'sehen Kontakt 13 bzw. 14, der jeweils mit einem Anschluß einer Spannungsquelle U verbunden ist.

Der dritte Pumpenkörper 12 weist zwei Durchtrittsöffnungen 15 und 16 auf, von denen die Durchtrittsöffnung 15 als ein Fluideinlaß und die Durchtrittsöffnung 16 als ein Fluidauslaß dient. Beide Durchtrittsöffnungen 15 und 16 verjüngen sich in Strömungsrichtung des Fluids.

Auf der zu dem zweiten Pumpenkörper 3 weisenden Oberfläche des dritten Pumpenkörpers 12 ist ein Rückschlagventil vorgesehen, welches durch die Durchtrittsöffnung 15 und die Klappe 17 gebildet ist. Auf der freien Oberfläche des dritten Pumpenkörpers 12 ist ein weiteres Rückschlagventil vorgesehen, das durch die Durchtrittsöffnung 16 und die Klappe 18 gebildet ist. Mit dem Ausdruck Rückschlagventil wird hier allgemein eine Einrichtung bezeichnet, die unterschiedliche Durchflußverhalten für unterschiedliche Richtungen ausgezeichnet ist.

Der dritte Pumpenkörper 12 überdeckt die Ausnehmung 7 in dem zweiten Pumpenkörper unter Bildung eines Hohlraumes 19, der Pumpenkaimer.

An der freien Oberfläche des dritten Pumpenkörpers 12 ist ein Schlauch 20 an der Durchtrittsöffnung 15 zum Zuführen eines Fluids und an der Durchtrittsöffnung 16 ein Schlauch 21 zum Abführen eines Fluids angebracht. Statt eines Schlauches könnte auch jeweils eine geeignete Fluidleitung angebracht sein.

Die im Zusammenhang mit der Fig. 1 beschriebene periodische Auslenkung der Membran bzw. des Membranbereiches 6 führt zu

einer periodischen Änderung des Pumpkammervolumens, das durch eine Flüssigkeitsströmung durch die Rückschlagventile 15, 16, 17, 18 jeweils ausgeglichen wird. Da die Rückschlagventile 15, 16, 17, 18 in Durchfluß- bzw. Sperrichtung jeweils eine unterschiedliche Durchflußcharakteristik besitzen, führt dies zu einer Pumpwirkung in eine definierte Richtung. So wird bei einem Fluidunterdruck in der Pumpkammer das Rückschlagventil 17 geöffnet und Fluid strömt in die Pumpkammer. Das Rückschlagventil 18 bleibt geschlossen. Bei einer anschließenden Verringerung des Pumpkammervolumens und einer dadurch bedingten Druckerhöhung wird das Rückschlagventil 18 geöffnet und das Rückschlagventil 17 geschlossen, so daß nun ein gewisses Fluidvolumen aus der Pumpkammer ausströmt .

Gemäß einer einfachen Ausführungsform können die Rückschlagventile im dritten Pumpenkörper 12 durch Durchtrittsoffnungen gebildet werden, die durch eine membranartige dünne Schicht überspannt werden, die ihrerseits Durchtrittsoffnungen aufweist, die von der Durchtrittsöffnung durch den Pumpenkörper-Chip beabstandet sind.

Eine derartige Struktur kann beispielsweise durch Sacrificial-layer-Technologie hergestellt werden. Diese Rückschlagventile können entweder beide zusammen auf einem Pumpenkörper-Chip realisiert werden, oder auf zwei separaten Pumpenkörper-Chips, die aufeinandergebondet werden. Die Membranen, die die Durchtrittsoffnungen überspannen, können auch durch Flächenausnehmungen relativ zur Oberfläche des dritten Pumpenkörpers 12 zurückgesetzt sein und so besser geschützt werden.

Eine andere Ausgestaltung der Rückschlagsventile im Rahmen der Erfindung ist in Fig. 3a dargestellt. Der dritte Pumpenkörper 12 der in Fig. 2 gezeigten Membranpumpe wird bei dieser Ausgestaltung durch zwei identische Teilkörper 22a und 22b gebildet, die über eine dünne Verbindungsschicht 23 nur in ihrem Randbereich und Mittenbereich Kopf auf Kopf einan-

der zugewandt verbunden sind. In dem von der Schicht 2 3 umgebenen inneren Bereich sind die zueinander weisenden Oberflächen der beiden Teilkörper 22a und 22b von einander beabstandet.

Die Verbindungsschicht 23 kann entfallen. In diesem Fall werden die Teilkörper 22a, 22b an ihren Stirnflächen miteinander verklebt.

Jeder der beiden Teilkörper 22a und 22b ist mit einer Durchtrittsöffnung 24a bzw. 24b versehen, die ähnlich wie die Durchtrittsöffnungen 15 und 16 des dritten Pumpenkörpers 12 ausgebildet sind. Ferner ist jeder der beiden Teilkörper 22a und 22b mit einer weiteren Durchtrittsöffnung 25a bzw. 25b versehen, die besonders ausgestaltet ist. Die weiteren Durchtrittsöffnungen 25a bzw. 25b sind in der gleichen Weise ausgebildet, so daß nur die Beschreibung einer der Durchtrittsöffnungen 25a erforderlich ist.

Die Durchtrittsöffnung 25a umfaßt eine pyramidenstumpfförmige Ausnehmung 26 mit bevorzugt einem rechteckigen Querschnitt, die sich in Richtung zu der freien Oberfläche des Teilkörpers 22a verjüngt. Auf der von dem Teilkörper 22b fortweisenden Seite weist der Teilkörper 22a insgesamt vier dünne elastische Verbindungsstege 27 auf, von denen nur zwei im Schnitt dargestellt ist, welche einstückig mit dem Teilkörper 22a ausgebildet sind und sich in die Ausnehmung 26 erstrekken. Diese Verbindungsstege 27 haben eine Dickenabmessung von etwa 0,5 - 30 /im. An den in die Ausnehmung 26 vorstehenden freien Randbereich eines jeden Verbindungssteges 27 schließt jeweils einstückig ein Lamellenabschnitt 28 an, der sich in Richtung zu dem Teilkörper 22b erstreckt. Mithin ergeben sich vier Lamellenabschnitte, die beiden im Schnitt dargestellten Lamellenabschnitte 28 und die beiden nicht gezeigten, die insgesamt so angeordnet sind, daß sie sich einander nähernd verlaufen, wobei ihre Stirnendflächen 29 in der Ebene der zu dem Teilkörper 22b weisenden Oberfläche des Teilkörpers 22b zu liegen kommen.

Eine Druckdifferenz quer über die beiden Teilkörper 22a und 22b bewirkt wegen der dünnen Verbindungsstege 27 eine Auslenkung der Lamellenabschnitte 2 8 in einer zu der Hauptfläche des Teilkörpers 22a bzw. 22b im wesentlichen senkrechten Richtung. Wenn die Lamellenabschnitte 28 einer der Durchtrittsöffnungen 25a oder 25a gegen die Oberfläche des ihren Stirnendflächen 28 gegenüberliegenden Teilkörpers 22a bzw. 22b gedrückt werden, so wird der Durchflußwiderstand erhöht oder der Durchfluß gegebenenfalls auch unterbrochen, während bei der anderen Durchtrittsöffnung 25b oder 25a ein Durchfluß erfolgt.

Bei einer anderen Querschnittsform, zum Beispiel einer dreieckigen ist eine entsprechende Anzahl von Verbindungsstegen und Lamellenbereichen vorgesehen.

Die elektrische Kontaktierung der gesamten Membranpumpe kann generell durch Bonden oder die Gehäusung an der Oberseite des ersten Pumpenkörpers und - wegen der elektrisch leitenden Verbindung von zweitem und drittem Pumpenkörper - an der Unterseite des dritten Pumpenkörpers erfolgen.

Die gesamte Innenseite der Pumpkammer 19 kann metallisiert und über die Kontaktierung am dritten Pumpenkörper geerdet sein. Dies führt dazu, daß das zu pumpende Medium während des Durchganges durch die Pumpkammer 19 keinem elektrostatischen Feld ausgesetzt ist. Dies kann bei medizinischen Anwendungen von Bedeutung sein.

Fig. 3b zeigt eine Abwandlung der Ausführungsform gemäß Fig. 3a. In den beiden Figuren sind übereinstimmende Teile mit übereinstimmenden Bezugszeichen bezeichnet, so daß deren nochmalige Erläuterung unterbleiben kann. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 3b entfallen die Verbindungsstege 27 und Lamellenabschnitte 28 der Ausführungsform gemäß Fig. 3a. Stattdessen sind Ventilklappen 28a, 28b jeweils einstückig mit den Teilkörpern 22a, 22b verbunden und auf den einander

zugewandten Seiten dieser Teilkörper 22a, 22b angeordnet. Somit können die Teilkörper 22a, 22b zusammen mit den Ventilklappen 28a, 28b geätzt werden, wobei diese Ventilstrukturen aus identischen Halbleiterchips bestehen können, die Kopf auf Kopf gebondet werden. Jeder Chip besitzt daher einen Bereich, in dem er zu der Klappe 28a, 28b mit einer typischen Klappendicke von 1 &mgr;&idiagr;&eegr; bis 20 &mgr;&pgr;&igr; dünn geätzt wird, und einem Bereich, dem die Öffnung 24a, 24b durchgeätzt ist. Nach dem Bonden der beiden Chips ist jeweils eine Klappe des einen Chips über einer Öffnung des anderen Chips angeordnet. Typische laterale Abmessungen der Klappen 28a, 28b liegen bei 1 mal 1 mm. Eine typische Öffnungsgröße auf der kleineren Seite liegt bei 400 /xm mal 400 &mgr;&igr;&eegr;.

Die beiden Klappen 28a, 28b sind sehr elastisch, so daß sie je nach der Richtung des auf sie wirkenden Drucks einmal auf die Öffnung 24a, 24b gedrückt werden und einmal von dieser weggedrückt werden.

In der Fig. 8 ist eine graphische Darstellung der Durchflußmenge der Pumpenkörper-Ventilstruktur gemäß Fig. 3b in Abhängigkeit von der Druckdifferenz wiedergegeben. Man erkennt, daß sich die Ventilstruktur gemäß Fig. 3b durch ein sehr hohes Vorwärts- zu Rückwärts-Verhältnis auszeichnet. Dieses Charakteristikum der Ventilstruktur ist besonders deutlich bei der mit einem anderen Maßstab gezeigten Durchfluß-Druckdifferenz-Abhängigkeit für kleine Durchflußmengen, die in Fig. 8 eingeschoben ist.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform, die der in Fig. 1 gezeigten Darstellung ähnlich ist. Gleichbedeutende Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.

Das Schlagvolumen der Membran ist von dem Nettodruck auf den Membranbereich abhängig. Auf der einen Seite geht dabei vor allem der elektrostatisch erzeugte Druck und damit die Betriebsspannung U ein, auf der anderen Seite spielt dabei die hydrostatische Druckdifferenz p, die für das zu pumpende

Fluid zu überwinden ist, eine Rolle. Das Schlagvolumen der Membran bzw. des Membranbereiches ist also bei fester Betriebsspannung vor allem noch von &rgr; abhängig, was für viele Anwendungen nicht wünschenswert ist. Um diesen Nachteil zu verringern oder gar ganz aufzuheben, können alternativ oder zusätzlich zu der beschriebenen elektrostatischen Begrenzung auf der zu dem Membranbereich 6 des zweiten Pumpenkörpers 3 weisenden Oberfläche des ersten als Gegenelektrode wirkenden Pumpenkörpers 2 isolierende Elemente 30 vorgesehen, die netzartig angeordnet sind. Diese isolierenden Elemente 30 begrenzen das Schlagvolumen des sich beim Pumpen auswölbenden Membranbereich 6 und führen dazu, daß in dem Bereich kleiner Druckunterschiede &rgr; das Schlagvolumen nahezu druckunabhängig ist, wie dies unter Bezugnahme auf Fig. 1 erläutert wurde (vergleiche Gleichung 3).

In Fig. 5 ist eine andere Ausführungsform einer elektrostatischen Membranpumpe nach der Erfindung dargestellt, bei der sich im Gegensatz zu der in Fig. 2 gezeigten Membranpumpe die Fluideinlaßöffnung und die Fluidauslaßöffnung auf entgegengesetzten Seiten der Membranpumpe befinden.

Die Membranpumpe in Fig. 5 ist allgemein mit 31 bezeichnet und weist einen ersten, einen zweiten und einen dritten Pumpenkörper 32, 33 bzw. 34 auf. Der erste und der zweite Pumpenkörper 32 und 33 und der zweite und der dritte Pumpenkörper 33 und 34 sind jeweils über eine Verbindungsschicht 35 bzw. 36 in ihrem Randbereich miteinander verbunden. Der Abstand zwischen den jeweiligen Pumpenkörpern wird durch die Dicke der Verbindungsschicht 35 bzw. 36 festgelegt. Die Verbindungsschicht kann beispielsweise aus Pyrex-Glas oder einem Lot bestehen.

Der erste Pumpenkörper 32 ist mit einem Ohm'sehen Kontakt 37 und der dritte Pumpenkörper mit einem Ohm'sehen Kontakt 38 zur Verbindung mit einer Spannungsquelle ausgebildet.

Der erste Pumpenkörper 32 weist drei Durchtrittsöffnungen

39, 40 und 41 auf, von denen die beiden erstgenannten den Durchtrittsöffnungen 5 und 4 bei der Membranpumpe in Fig. 2 entsprechen und in gleicher Weise ausgebildet sind. Die dritte Durchtrittsöffnung 41 ist ebenfalls pyramidenstumpfförmig und verjüngt sich in Richtung zu dem zweiten Pumpenkörper 33.

Zwischen dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper 32 und 33 befindet sich ein Verbindungsschichtbereich 42, der dazu dient, eine Kammer 4 3 für ein dielektrisches Fluid gegenüber der Durchtrittsöffnung 41 abzugrenzen.

Der zweite Pumpenkörper 33 weist auf der zu dem dritten Pumpenkörper 34 weisenden Seite eine Ausnehmung 44 auf, die der Ausnehmung 7 in dem zweiten Pumpenkörper 3 in Fig. 2 entspricht. Durch die Ausnehmung 44 wird ein dünner, elastischer Membranbereich 4 5 festgelegt. Der zweite Pumpenkörper 33 ist mit einer Durchtrittsöffnung 46 ausgebildet, die von der Ausnehmung 44 beabstandet und zu der Durchtrittsöffnung 41 im ersten Pumpenkörper 32 ausgerichtet ist. Die Durchtrittsöffnung 46 ist pyramidenstumpfförmig und verjüngt sich in Richtung zu dem ersten Pumpenkörper 33.

Der dritte Pumpenkörper 34 weist eine Durchtrittsöffnung 47 auf, die pyramidenstumpfförmig ausgebildet ist und sich in Richtung zu dem zweiten Pumpenkörper 3 3 verjüngt. Die Durchtrittsöffnung 47 ist zu der Durchtrittsöffnung 46 im zweiten Pumpenkörper 3 3 ausgerichtet.

Eine rückwärtige Ausnehmung 44 in dem zweiten Pumpenkörper 33 und die zu dem zweiten Pumpenkörper 33 weisende Oberfläche des dritten Pumpenkörpers 34 legen eine Pumpkammer 48 fest. Auf der der Durchtrittsöffnung 46 benachbarten Seite der Pumpkammer 48 ist eine Vertiefung in dem dritten Pumpenkörper 34 ausgebildet, wodurch ein Verbindungskanal 49 zwischen der Pumpkammer 48 und dem Bereich der Durchtrittsöffnung 46 festgelegt wird. Dieser Verbindungskanal 49 dient dazu, beim Pumpen den Durchtritt des zu pumpenden Fluids von

der Pumpkanuner 48 zu dem Bereich der Durchtrittsöffnung 46 zu erleichtern.

An der freien Seite des dritten Pumpenkörpers 34 ist an der als Fluideinlaßöffnung dienenden Durchtrittsöffnung 47 ein Zuführschlauch 50 befestigt. An der freien Seite des ersten Pumpenkörpers 32 ist an der als Fluidauslaßöffnung dienenden Durchtrittsöffnung 41 ein Abführschlauch 51 befestigt.

Auf der zu dem zweiten Pumpenkörper 3 3 weisenden Seite ist die Durchtrittsöffnung 47 im dritten Pumpenkörper 34 mit einem Rückschlagventil 52. Auf der zu dem ersten Pumpenkörper 32 weisenden Seite ist die Durchtrittsöffnung 4 6 im zweiten Pumpenkörper 3 3 mit einem Rückschlagventil 53 versehen.

Bei einem durch die Bewegung des Membranbereiches 45 hervorgerufenen Pumpvorgang wird abwechselnd zwischen den beiden Rückschlagventilen 52 und 53 im Bereich der Durchtrittsöffnung 46 ein Überdruck und ein Unterdruck erzeugt. Bei einem Überdruck wird das Rückschlagventil 52 geschlossen und das Rückschlagventil 53 geöffnet, so daß zu pumpendes Fluid aus der Durchtrittsöffnung 41 ausströmt. Bei einem anschließend erzeugten Unterdruck wird das Rückschlagventil 53 geschlossen und das Rückschlagventil 52 geöffnet, so daß nun zu pumpendes Fluid durch die Durchtrittsöffnung 47 und den Verbindungskanal 49 in die Pumpkammer 48 strömen kann.

Bei der vorstehend im Zusammenhang mit der Fig. 5 beschriebenen elektrostatischen Membranpumpe besteht bevorzugt der erste als Gegenelektrode wirkende Pumpenkörper 32 aus einem einseitig poliertem Halbleitersubstrat vom p-Typ, der zweite Pumpenkörper 33 aus einem beidseitig polierten Halbleitersubstrat vom &eegr;-Typ und der dritte Pumpenkörper 34 aus einem einseitig polierten Halbleitersubstrat vom n-Typ.

Die Membranpumpe gemäß Figur 6 ist allgemein mit dem Bezugszeichen 60 bezeichnet und umfaßt einen ersten und zweiten Pumpenkörper 61, 62 sowie eine Abdeckplatte 63. Der er-

ste Pumpenkörper 61 hat zwei Durchtrittsoffnungen 64, 65 für das zu pumpende Fluid sowie zwei Durchtrittsoffnungen 66, 67 für das Verstärkungsfluid mit der hohen Dielektrizitätskonstante, wobei sich die letztgenannten an den Hohlraum 68 anschließen. Unterhalb des Hohlraumes 68 liegt ein Membranbereich 69 des zweiten Pumpenkörpers 62. Die beiden Pumpenkörper 61, 62 sind sowohl an ihren Peripheriebereichen als auch an Randbereichen des Hohlraumes 68 durch eine Verbindungsschicht 70 miteinander verbunden. Der zweite Pumpenkörper 62 definiert zusammen mit der Abdeckplatte 63 eine Pumpkammer 71, die sich einerseits bis an den Membranbereich 69 erstreckt und andererseits in Durchtrittsoffnungen 72, 73 übergeht. Der erste Pumpenkörper 61 trägt im Bereich seiner zweiten Durchtrittsöffnung 65 eine erste Ventilklappe, die zusammen mit der Durchtrittsöffnung 65 ein Rückschlagventil bildet. Der zweite Pumpenkörper trägt eine zweite Ventilklappe 75, die zusammen mit dessen zweiter Durchtrittsöffnung 73 ein weiteres Rückschlagventil bildet.

An die erste und zweite Durchtrittsöffnung 64, 65 des ersten Pumpenkörpers 61 schließen sich die beiden Fluidanschlüsse 76, 77 an.

Fig. 7 zeigt eine Abwandlung der Ausführungsformen gemäß Fig. 1. Mit Fig. 1 übereinstimmende Teile der Ausführungsform gemäß Fig. 7 sind wiederum mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Die Ausführungsform gemäß Fig. 7 unterscheidet sich im wesentlichen dadurch von derjenigen gemäß Fig. 1, daß der Membranbereich 6 des zweiten Pumpenkörpers 3 und der gegenüberliegende Gegenelektrodenbereich 11 des ersten Pumpenkörpers 2 im Querschnitt rippenartig oder kammartig strukturiert sind. Hierdurch wird bei gegebener Dielektrizitätskonstante des dielektrischen Fluids in dem Hohlraum 10 und bei gegebener Spannung, die an die beiden Pumpenkörper 2, 3 angelegt wird, eine Erhöhung der auf die Membran 6 einwirkenden elektrostatischen Kraft erreicht.

Obwohl bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel die Membranpum-

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pe eine Flüssigkeit in dem Hohlraum aufweist, die als Fluidmedium mit dem elektrischen Feld beaufschlagt wird, und eine Flüssigkeit pumpt, kann anstelle der Flüssigkeit ein Gas, wie z.B. Luft, und/oder anstelle der zu pumpenden Flüssigkeit ein zu pumpendes Gas vorgesehen sein.

Claims (24)

Schutzansprüche

1. Elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe

mit einem ersten Pumpenkörper und einem einen Membranbereich aufweisenden zweiten Pumpenkörper, die jeweils elektrisch leitfähige Elektrodenbereiche aufweisen, welche mit einer Spannungsquelle verbindbar und elektrisch voneinander isoliert sind, und

mit einem eine Flußrichtungssteuereinrichtung aufweisenden Pumpenraum, welche einen von der Flußrichtung des zu pumpenden Fluids abhängigen Durchflußwiderstand hat,

dadurch gekennzeichnet,

daß die beiden Pumpenkörper (2, 3; 32, 33) einen an den Membranbereich angrenzenden Hohlraum (10; 43; 68) miteinander festlegen, und

daß der Hohlraum (10; 43; 68) mit einem von dem zu pumpenden Fluid räumlich getrennten Fluidmedium gefüllt ist, und

daß die elektrisch leitfähigen Elektrodenbereiche der Pumpenkörper (2, 3; 32, 33) derart angeordnet sind, daß das Fluidmedium, nicht jedoch oder nur in geringem Maß das zu pumpende Fluid von dem zwischen den elektrisch leitfähigen Elektrodenbereichen der Pumpenkörper (2, 3; 32, 33) erzeugten elektrischen Feld beaufschlagt werden.

2. Mikromembranpumpe nach Anspruch 1,

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dadurch gekennzeichnet,

daß die Mikromembranpumpe wenigstens eine an den Hohlraum (10; 43; 68) angrenzende Öffnung (4, 5; 39, 40; 66, 67) aufweist, durch die dieses Fluidmedium austreten kann.

3. Mikromembranpumpe nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,

daß eine Pumpkammer (19; 48), die mit dem zu pumpenden Fluid gefüllt ist, an die dem Hohlraum (10; 43; 68) abgewandte Seite des Membranbereiches (6) anschließt.

4. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,

daß die mindestens eine Öffnung des Hohlraumes (10; 43; 68) zum Austritt eines flüssigen Mediums von mindestens einer den ersten Pumpenkörper (2; 32; 61) durchquerenden Durchtrittsöffnung (4, 5; 39, 40; 66, 67) gebildet ist.

5. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,

daß an den zweiten Pumpenkörper (3; 33) ein dritter Pumpenkörper (12; 34) anschließt, und

daß der zweite Pumpenkörper (3; 33) an der zu dem dritten Pumpenkörper (12; 34) weisenden Seite eine Ausnehmung (7; 44) aufweist, die zusammen mit dem

dritten Pumpenkörper (3; 34) die Pumpkammer (19; 48) bildet.

6. Mikromembranpumpe nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,

daß in dem dritten Pumpenkörper (12) mindestens zwei in die Pumpkammer (19) mündende Durchtrittsöffnungen (15, 16) ausgebildet sind und

daß der Durchfluß durch die mindestens zwei Durchtrittsöffnungen (15, 16) durch Rückschlagventile (17, 18) steuerbar ist.

7. Mikromembranpumpe nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Rückschlagventile (17, 18) an dem dritten Pumpenkörper (12) angeordnet sind.

8. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Pumpkammer (48) mit einem Raumbereich (46) in Fluidverbindung steht, an den zwei Durchtrittsöffnungen (41, 47) anschließen, und

daß der Fluiddurchfluß durch die zwei Durchtrittsöffnungen (41, 47) durch je ein Rückschlagventil (52, 53) steuerbar ist.

9. Mikromembranpumpe nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Pumpkammer (48) über einen sich zwischen dem zweiten und dem dritten Pumpenkörper (33, 34) erstrekkenden Verbindungskanal (49) mit dem Raumbereich (46) verbunden ist.

10. Mikromembranpumpe nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet,

daß der Raumbereich von einer in dem zweiten Pumpenkörper (33) ausgebildeten Durchtrittsöffnung (46) gebildet ist, die mit in dem ersten und dem zweiten Pumpenkörper (32, 34) ausgebildeten Durchtrittsöffnungen (41, 47) über Rückschlagventile (52, 53) in Fluidverbindung steht.

11. Mikromembranpumpe nach Anspruch 5 oder 6,
dadurch gekennzeichnet,

daß der dritte Pumpenkörper (12) aus zwei miteinander verbundenen Teilkörpern (22a, 22b) besteht, von denen ein jeder eine erste Durchtrittsöffnung (24a bzw. 24b) und eine zweite Durchtrittsöffnung (25a bzw. 25b) aufweist, wobei die erste Durchtrittsöffnung (24a bzw. 24b) in dem einen Teilkörper (22a bzw. 22b) mit der zweiten Durchtrittsöffnung (25a bzw. 25b) in dem anderen Teilkörper (22b bzw. 22a) in Fluidverbindung steht, und

daß in der zweiten Durchtrittsöffnung (25a bzw. 25b) sich zu der Fluidstromungsrichtung unter einem spitzen

Winkel erstreckende Lamellenabschnitte (28) angeordnet sind, die an einem ihrer Enden über dünne, elastische Verbindungsstege (27) mit dem Teilkörper (22a bzw. 22b), in dessen Durchtrittsöffnung (25a bzw. 25b) sich die Lamellenabschnitte (28) erstrecken, im Bereich seiner von dem anderen Teilkörper (22b) fortweisenden Seite verbunden sind und in Richtung zu der Oberfläche des zweiten Teilkörpers (22b) einander nähernd verlaufen.

12. Mikromembranpumpe nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,

daß die Lamellenabschnitte (28) und die dünnen, elastischen Verbindungsstege (27) einstückig mit dem jeweiligen Teilkörper (22a bzw. 22b) ausgebildet sind.

13. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

daß der erste und der zweite Pumpenkörper (2, 3; 32, 33) aus Halbleitermaterialien von entgegengesetzten
Ladungstypen bestehen.

14. Mikromembranpumpe nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,

daß der dritte Pumpenkörper (12; 22a, 22b; 34) aus einem Halbleitermaterial vom gleichen Ladungstyp wie dasjenige des zweiten Pumpenkörpers (3; 33) besteht.

15. Mikromembranpumpe nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet,

daß zumindest der erste (2; 32) und der zweite (3; 33) Pumpenkörper je einen Ohm'schen Kontakt (11',1I; 13, 14) aufweisen.

16. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet,

daß der erste und/oder der zweite Pumpenkörper (2, 3; 32, 33) auf den einander zugewandeten Oberflache(n) eine Schicht aus einem passivierenden Dielektrikum aufweisen/aufweist.

17. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet,

daß der zweite und der dritte Pumpenkörper (2, 3; 32, 34) miteinander elektrisch leitend verbunden sind.

18. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

daß auf der zu dem ersten Pumpenkörper (2; 33) weisenden Oberfläche des Membranbereiches (6) elektrisch isolierende Bereiche (30) vorgesehen sind.

19. Mikromembranpumpe nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet,

daß die elektrisch isolierenden Bereiche (30) in einem regelmäßigen Muster, insbesondere netzartig oder schachbrettartig, angeordnet sind.

20. Mikromembranpumpe nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,

daß das Medium in dem Hohlraum (10; 43; 68) Methanol ist.

21. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

daß das zu pumpende Fluid eine Flüssigkeit ist.

22. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

daß das zu pumpende Fluid ein Gas ist.

23. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

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daß das Fluidmedium eine Flüssigkeit ist.

24. Mikromembranpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet,

daß das Fluidmedium ein Gas ist.