DE9202949U1

DE9202949U1 - Device for selecting a predetermined harmonic of an incident laser radiation

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Publication number: DE9202949U1
Application number: DE9202949U
Authority: DE
Original assignee: Lar-Laser And Analytical Research Analytik & Umweltmesstechnik 1000 Berlin De GmbH
Current assignee: Lar-Laser And Analytical Research Analytik & Umweltmesstechnik 1000 Berlin De GmbH
Priority date: 1992-03-02
Filing date: 1992-03-02
Publication date: 1992-05-27
Anticipated expiration: 2002-03-03

Description

LAR - Laser and Analytical Research 28. Februar 1992 Analytik & Umweltmeßtechnik GmbH
W-IOOO Berlin 61LAR - Laser and Analytical Research 28 February 1992 Analytik & Umweltmeßtechnik GmbH
W-IOOO Berlin 61

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Vorrichtung zur Auswahl einer vorbestimmten Oberwelle einer einfallenden LaserstrahlungDevice for selecting a predetermined harmonic of an incident laser radiation

BeschreibungDescription

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art.The invention relates to a device of the type specified in the preamble of claim 1.

Es ist im Zusammenhang mit Farbstofflasern bekannt, zur Erzeugung einer Oberwelle durch eine abstimmbare Laser-It is known in connection with dye lasers that a tunable laser

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strahlung einen optisch nichtlinearen Kristall zu verwenden, der in einer festgelegten Winkelbeziehung zur jeweiligen Wellenlänge des einstrahlenden Lasers gedreht wird.radiation, an optically non-linear crystal is used that is rotated in a fixed angular relationship to the respective wavelength of the incident laser.

Bei den bekannten Vorrichtungen besteht der Nachteil, daß die Einstellung der gewählten Oberwellen nicht mit der genügenden Genauigkeit erfolgt und die Einstellungen infolgedessen auch nicht mit der notwendigen Sicherheit reproduzierbar sind.The known devices have the disadvantage that the setting of the selected harmonics is not carried out with sufficient accuracy and, as a result, the settings cannot be reproduced with the necessary reliability.

Da, insbesondere im Zusammenhang mit automatisierten Meßvorrichtungen, der Bedarf beseht, programmgesteuert für verschiedene Aufgabenstellungen nacheinander unterschiedliche Oberwellen auszuwählen, und gegebenenfalls Vergleichsmessungen auszuführen, kommt es auf diese Reproduzierbarkeit in besonderem Maße an.Since, particularly in connection with automated measuring devices, there is a need to select different harmonics one after the other for different tasks in a program-controlled manner and, if necessary, to carry out comparative measurements, this reproducibility is particularly important.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Gattung anzugeben, bei der unterschiedliche Oberwelle einer einfallenden Laserstrahlung mit großer Genauigkeit und auch wiederholbar ausgewählt werden können.The invention is therefore based on the object of specifying a device of the type mentioned at the outset, in which different harmonics of an incident laser radiation can be selected with great accuracy and also repeatably.

Diese Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved with the characterizing features of claim 1.

Die Erfindung schließt die Erkenntnis ein, daß durch Kompensation und präzise Steuerung der dazu erforderlichen mechanischen Bewegungen eine exakte und wiederholbare Auswahl der gewünschten Oberwelle der Laserstrahlung möglich ist.The invention includes the realization that an exact and repeatable selection of the desired harmonic of the laser radiation is possible by compensation and precise control of the necessary mechanical movements.

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Besonders vorteilhaft bei der Erfindung ist, daß sich mittels der geschaffenen Vorrichtung der gewünschte Spektralbereich (mit der Schrittweite des Schrittmotors) kontinuierlich durchstimmen läßt und insoweit früher ausgewählte 5 Oberwellen zu einem späteren Zeitpunkt reproduzierbar erneut aufgesucht werden können. Auf diese Weise ist die Durchführung von Meßreihen auch automatisierbar möglich.A particularly advantageous feature of the invention is that the desired spectral range (with the step size of the stepper motor) can be continuously tuned using the device created, and in this way previously selected 5 harmonics can be reproducibly searched for again at a later point in time. In this way, the execution of series of measurements can also be automated.

Weiterhin vorteilhaft ist auch, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung mit verhältnismäßig geringem Fertigungsaufwand - und daher kostengünstig - herstellbar ist.It is also advantageous that the device according to the invention can be manufactured with relatively little manufacturing effort - and therefore cost-effectively.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist eine mit einem Feingewinde versehene Spindel vorgesehen, auf der ein Gewindeschlitten läuft, der seinerseits über Hebelarme zwei Drehachsen antreibt, die jeweils den Quarzkörper bzw. den Kompensator tragen. Auf diese Weise erfolgt eine Untersetzung der Rotationsbewegung des Antriebsmotors ohne aufwendige (und spielbehaftete) Getriebemittel. In an advantageous development of the invention, a spindle with a fine thread is provided, on which a threaded slide runs, which in turn drives two rotary axes via lever arms, each of which carries the quartz body or the compensator. In this way, the rotational movement of the drive motor is reduced without complex (and backlash-prone) gear means.

Die Gewindespindel ist bevorzugt über einen Zahnriemen von einem phasengesteuerten Schrittmotor angetrieben.The threaded spindle is preferably driven by a phase-controlled stepper motor via a toothed belt.

Eine einen Anschlag für quer zur zur Vorschubrichtung des Schlittens gerichtete Bewegungen bildende Führungskante für den Gewindeschlitten sowie ein Mitnehmer- und Anschlagstift und/oder die Hebelarme bestehen aus geschliffenem Stahl und weisen damit toleranzarme Oberflächen auf, die unabhängig von der aktuellen Einstellung der Vorrichtung eine präzise Positionierung ermöglichen. Der Gewinde-A guide edge for the threaded slide, which forms a stop for movements directed transversely to the feed direction of the slide, as well as a driver and stop pin and/or the lever arms are made of ground steel and thus have low-tolerance surfaces that enable precise positioning regardless of the current setting of the device. The threaded

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Schlittens steht bei einer günstigen Weiterbildung in Drehrichtung der Spindel unter Vorspannung einer Schleiffeder, die sich an einer parallel zur Gewindespindel gerichteten Führung abstützt und die Spindel in Anlage zu einer weiteren Führung hält.In a favorable further development, the slide is pre-tensioned in the direction of rotation of the spindle by a grinding spring, which is supported on a guide parallel to the threaded spindle and holds the spindle in contact with another guide.

Der Gewindeschlitten einen Stifthebelarm antreibt, der radial gerichtet mit den Drehachsen für Kristall- und Kompensatoraufnehmer verbunden ist, wobei der Gewindeschlitten vorzugsweise mit einem Mitnehmerstift versehen ist, der an der Führungskante unter Vorspannung anliegt. Die Angriffspunkte der Mitnehmerstifte sind insbesondere in der Nähe der Führungskräfte gelegen, wobei das Verhältnis des Abstands der Angriffspunkte der Mitnehmerstifte von Führungskante zum Abstand des Angriffs der Mitnehmerstifte von der Achse des Gewindeschlittens kleiner als 1:4 ist, so daß ein eventueller "Schlag" der Spindel sich nicht oder höchstens sehr geringfügig auf die Position des Kristalls bzw. des Kompensators auswirkt. Diese Auswirkung ist dabei in der O⁰-Position der Hebelarme in jedem Fall Null und kann sich lediglich bei aus der Mittellage ausgelenkten Hebelarmen bemerkbar machen.The threaded slide drives a pin lever arm which is connected in a radial direction to the rotation axes for the crystal and compensator mounts, whereby the threaded slide is preferably provided with a driving pin which rests against the guide edge under pre-tension. The points of attack of the driving pins are located in particular near the guides, whereby the ratio of the distance of the points of attack of the driving pins from the guide edge to the distance of the attack of the driving pins from the axis of the threaded slide is less than 1:4, so that any "running" of the spindle has no effect or at most only a very slight effect on the position of the crystal or the compensator. This effect is always zero in the O ⁰ position of the lever arms and can only be noticeable when the lever arms are deflected from the central position.

Insgesamt ist es bei den vorteilhaften Weiterbildungen günstig, daß sämtliche mechanischen Übertragungselemente unter Federvorspannung stehen, so daß sich ein Spiel bei einer Änderung der Antriebsrichtung nicht auswirken kann.Overall, it is advantageous in the advantageous further developments that all mechanical transmission elements are under spring preload, so that play cannot have an effect when the drive direction is changed.

Grenzwertschalter sorgen dafür, daß die vorgegebenen Schwenkwinkel nicht überschritten werden können und somit eine Beschädigung oder Dejustierung der Anordnung durchLimit switches ensure that the specified swivel angle cannot be exceeded and thus damage or misalignment of the arrangement caused by

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Fehleinstellungen während des Betriebs sicher verhindert ist.Incorrect settings during operation are safely prevented.

Weiterhin sind günstigerweise, insbesondere scheibenförmige, Filterhalterungen vorgesehen, mittels denen Filter wahlweise in den optischen Strahlengang der Laserstrahlung einbringbar sind.Furthermore, filter holders, in particular disk-shaped ones, are advantageously provided, by means of which filters can be optionally introduced into the optical beam path of the laser radiation.

Die gesamte Vorrichtung ist durch einen Prozessor - vorzugsweise nach einem Programm - ansteuerbar und kann auf einem Stangengerüst innerhalb einer Laserstrahlanordnung flexibel montiert werden.The entire device can be controlled by a processor - preferably according to a program - and can be flexibly mounted on a rod frame within a laser beam arrangement.

Andere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt. Es zeigen:Other advantageous developments of the invention are characterized in the subclaims or are described in more detail below together with the description of the preferred embodiment of the invention using the figures. They show:

Figur 1 eine Schnittdarstellung eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung in Seitenansicht,Figure 1 is a sectional view of an embodiment of the device according to the invention in side view,

Figur 2 eine Schnittdarstellung des Ausführungsbeispiels gemäß Figur 1 in Draufsicht sowie
25Figure 2 is a sectional view of the embodiment according to Figure 1 in plan view and
25

Figur 3 das Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 in einer weiteren Seitenansicht.Figure 3 shows the embodiment according to Figure 1 in another side view.

Bei dem in den Figuren 1 bis 3 in drei Ansichten wiedergegebenen Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur abgestimmten Erzeugung einer Oberwelle einer einfallenden La-In the embodiment of a device for the coordinated generation of a harmonic of an incident load shown in three views in Figures 1 to 3,

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serstrahlung wird ein optisch nichtlinearer Kristall 1 zur Erzeugung eines Strahlenversatzes und ein aus einem Quarzkörper bestehender Kompensator 2 nacheinander von der (strichpunktiert dargestellten) Laserstrahlung 3 passiert. In den Figuren ist dabei jeweils nur der Halter für den Kristall bzw. den Kompensator wiedergegeben.The laser radiation 3 (shown in dash-dotted lines) passes through an optically non-linear crystal 1 for generating a beam offset and a compensator 2 consisting of a quartz body one after the other. In the figures, only the holder for the crystal or the compensator is shown.

Eine Grundplatte 4 trägt eine Vorrichtung zum Verdrehen von Kristall und Kompensator, die durch eine aus einem Schrittmotor 5 bestehende gemeinsame Antriebsvorrichtung gegensinnig angetrieben werden.A base plate 4 carries a device for rotating the crystal and compensator, which are driven in opposite directions by a common drive device consisting of a stepper motor 5.

Der Kristall 1, der mit hoher Präzision kontinuierlich verdrehbar ist, erzeugt auf Grund des Dispersionsgesetzes einen Strahlenversatz, der in dieser Vorrichtung mit Hilfe des Quarzkörpers 2 kompensiert wird.The crystal 1, which can be continuously rotated with high precision, generates a beam offset based on the dispersion law, which is compensated in this device with the help of the quartz body 2.

Zu diesem Zweck ist der Kompensator 2 gegensinnig zum Kristall 1 drehbar angeordnet. Da die Winkel-Wellenlängen-Beziehung zwischen Laserstrahlung und Kristall äußerst empfindlich ist und der Kristall für eine kontinuierliche Wellenlängenabstimmung der einfallenden Laserstrahlung dementsprechend genau synchron gedreht werden muß, sind an die mechanische Ausführung der Dreheinheit hohe Anforderungen zu stellen.For this purpose, the compensator 2 is arranged to rotate in the opposite direction to the crystal 1. Since the angle-wavelength relationship between the laser radiation and the crystal is extremely sensitive and the crystal must be rotated precisely and synchronously for continuous wavelength adjustment of the incident laser radiation, high demands must be placed on the mechanical design of the rotating unit.

Mit der dargestellten Vorrichtung ist eine mechanisch hochpräzise gegensinnige Winkeleinstellung des Kristalls 1 und des Kompensators 2 möglich. Die Einstellbarkeit ist für Winkel von maximal ±35° zur optischen Achse bzw. zur Richtung der einfallenden Laserstrahlung möglich.The device shown enables a mechanically highly precise, opposing angle adjustment of the crystal 1 and the compensator 2. The adjustability is possible for angles of a maximum of ±35° to the optical axis or to the direction of the incident laser radiation.

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Zusätzlich kann eine Feinjustierung der Kristalldreheinheit in horizontaler Richtung und eine Grobjustierung in vertikaler Richtung erfolgen.In addition, the crystal rotation unit can be finely adjusted in the horizontal direction and coarsely adjusted in the vertical direction.

Eine Feingewindespindel 6 wird über einen Zahnriemen 7 mit einer Übersetzung von 1:1 durch den fünfphasigen Schrittmotor getrieben. Ein auf der Spindel 6 laufender Gewindeschlitten 8 trägt einen Mitnehmer- und Anschlagstift 9, der sich an einer mit der Grundplatte 4 verbundenen, eine in Richtung der Spindel 6 verlaufende Führungskante 10 aufweisende Stahlplatte 11 abstützt. Diese Abstützung erfolgt unter Vorspannung durch eine Schleiffeder 12, die sich ihrerseits auf einer Platte 13 abstützt, wobei das durch die Federkraft hervorgerufene Moment stets größer ist als das auf den Gewindeschlitten in entgegengesetzter Richtung wirkende Drehmoment. Auf diese Weise wird die Position des Stifts 9 stets durch die geschliffene Stahlkante 10 definiert geführt.A fine thread spindle 6 is driven by the five-phase stepper motor via a toothed belt 7 with a ratio of 1:1. A threaded slide 8 running on the spindle 6 carries a driver and stop pin 9, which is supported on a steel plate 11 connected to the base plate 4 and having a guide edge 10 running in the direction of the spindle 6. This support is provided under pre-tension by a grinding spring 12, which in turn is supported on a plate 13, whereby the torque caused by the spring force is always greater than the torque acting on the threaded slide in the opposite direction. In this way, the position of the pin 9 is always guided in a defined manner by the ground steel edge 10.

Der Mitnehmer- und Anschlagstift 9 wird in der Nähe der Stahlkante 10 von zwei Stifthebelarmen 14 und 15 tangiert, die sich ihrerseits radial zu den den Drehachsen 16 und 17 für die Kristall- und Kompensatoraufnehmer 1 und 2 verbunden ist. Da die Drehachsen 16 und 17 die Grundplatte 4 beidseitig der Spindel durchdringen, drehen sich diese infolgedessen bei Verschiebung des Gewindeschlittens gegenläufig. Die Drehachsen 16 und 17 sind mittels sich an fest mit der Grundplatte 4 verbundenen Punkten abstützenden Torsionsfedern 18 und 19 vorgespannt und sind jeweils zweifach gelagert. Die Lagerungen der Drehachsen werden durch U-förmig gebogene Profilstücke 20 und 21 gebildet,The driver and stop pin 9 is touched near the steel edge 10 by two pin lever arms 14 and 15, which in turn are connected radially to the rotation axes 16 and 17 for the crystal and compensator sensors 1 and 2. Since the rotation axes 16 and 17 penetrate the base plate 4 on both sides of the spindle, they consequently rotate in opposite directions when the threaded slide is moved. The rotation axes 16 and 17 are pre-tensioned by means of torsion springs 18 and 19 supported at points firmly connected to the base plate 4 and are each supported on two bearings. The bearings of the rotation axes are formed by U-shaped profile pieces 20 and 21.

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bei denen jeweils ein freier Schenkel des U-profils mit der Grundplatte 4 verbunden ist. Der mittlere Schenkel des "U" bildet dabei jeweils die Anlagekante, an der die Torsionsfedern 18 bzw. 19 sich abstützen. Des weiteren sind Schraubenfedern 22 und 2 3 vorgesehen, welche die Drehachsen 16 und 17 - durch Anlage an entsprechenden Ansätzen der Drehachsen einerseits und jeweils am von der en Grundplatte 4 abgewandten Ende der Profilstücke 20 und 21 gelegenen freien Schenkel des U-Profils andererseits - in Richtung auf die Grundplatte 4 drücken.in which a free leg of the U-profile is connected to the base plate 4. The middle leg of the "U" forms the contact edge on which the torsion springs 18 and 19 are supported. Furthermore, coil springs 22 and 23 are provided, which press the axes of rotation 16 and 17 - by contacting corresponding projections of the axes of rotation on the one hand and on the free leg of the U-profile located at the end of the profile pieces 20 and 21 facing away from the base plate 4 on the other hand - in the direction of the base plate 4.

Auf diese Weise sind sämtliche Elemente auf dem Übertragungsweg zwischen der Spindel 6 und den Drehachsen 16 und 17 durch Federkräfte in eine vorgegebene Richtung vorgespannt, so daß auch bei Umsteuerung der Drehrichtung des Antriebsmotors 5 an keiner Stelle ein störendes Spiel auftreten kann.In this way, all elements on the transmission path between the spindle 6 and the rotary axes 16 and 17 are pre-tensioned in a predetermined direction by spring forces, so that even when the direction of rotation of the drive motor 5 is reversed, no disturbing play can occur at any point.

Der Mitnehmer- und Anschlagsstift 9 und die Hebelarme 14 und 15 bestehen ebenfalls aus geschliffenem Stahl. Auf Grund des Verhältnisses der Entfernungen zwischen dem Kraftübertragungspunkt zwischen dem Stift 9 und Hebelarmen 14 und 15 und dem Anschlagpunkt des Stifts an der Stahlkante 10 einerseits und der Spindelmutter 8 anderseits werden Taumelbewegungen der Spindel, welche aus Exzentrizitäten resultieren, entsprechend untersetzt. Das Entfernungsverhältnis - und damit die Untersetzung - beträgt beim dargestellten Ausführungsbeispiel ca. 1:5. Auf diese Weise können sogar leichte Fertigungstoleranzen der Spindel ohne weiteres in Kauf genommen werden, was den Fertigungsaufwand reduziert.The driver and stop pin 9 and the lever arms 14 and 15 are also made of ground steel. Due to the ratio of the distances between the force transmission point between the pin 9 and lever arms 14 and 15 and the stop point of the pin on the steel edge 10 on the one hand and the spindle nut 8 on the other hand, wobbling movements of the spindle resulting from eccentricities are reduced accordingly. The distance ratio - and thus the reduction - is approximately 1:5 in the embodiment shown. In this way, even slight manufacturing tolerances of the spindle can be accepted without further ado, which reduces the manufacturing effort.

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Auf der Seite des Kompensators 2 ist in radialer Verlängerung des Hebelarms 14 jenseits der Achse 16 ein weiterer, bügelartig ausgebildeter, Hebel 24 angebracht, welcher in den Endpositionen des Schwenkbereichs den Strahlgang jeweils einer Lichtschranke 25 bzw. 26 unterbricht, woraufhin die für die betreffende Drehrichtung des Schrittmotors 5 von einem nicht dargestellten Prozessor Steuerimpulse unterbunden werden. Auf diese Weise werden die Grenzpositionen der Drehachse einer (in der Zeichnung nicht dargestellten) Computersteuerung zugeführt, welche sie bei einer programmgesteuerten Verstellung entsprechend verarbeiten kann. Die als gabelförmig ausgeführten Lichtschranken 25 und 26 sind in ihren Positionen verstellbar, so daß eine präzise Einstellung des Schwenkbereichs erfolgen kann.On the side of the compensator 2, in the radial extension of the lever arm 14 beyond the axis 16, another lever 24, designed like a bow, is attached, which interrupts the beam path of a light barrier 25 or 26 in the end positions of the swivel range, whereupon the control pulses for the relevant direction of rotation of the stepper motor 5 are stopped by a processor (not shown). In this way, the limit positions of the rotation axis are fed to a computer control (not shown in the drawing), which can process them accordingly in a program-controlled adjustment. The fork-shaped light barriers 25 and 26 are adjustable in their positions so that the swivel range can be set precisely.

Die gesamte Mechanik ist aus Aluminium gefertigt und zur Verhinderung von Reflexionen an der Oberfläche schwarz eloxiert. An einer - und gegebenenfalls beiden - Seiten, ist eine einschwenkbare Filteranordnung 27 mit einer FiIterscheibe vorgesehen 28, mit der verschiedene Filter in den optischen Strahlengang eingeführt werden können.The entire mechanism is made of aluminum and black anodized to prevent reflections on the surface. On one - and possibly both - sides, a swiveling filter arrangement 27 with a filter disk is provided 28, with which various filters can be introduced into the optical beam path.

Die die im vorstehenden dargestellten Baugruppen tragende Grundplatte 4 ist als Schlitten in einem Rahmen 29 geführt, wie aus der Draufsicht gemäß Figur 2 deutlich erkennbar ist. Eine Justage des Schlittens 27 quer zur Strahlrichtung kann mit einer Schraube 30 gegen die Wirkung zweier als Zugfedern 31 und 32 erfolgen.The base plate 4, which supports the assemblies shown above, is guided as a slide in a frame 29, as can be clearly seen from the top view according to Figure 2. The slide 27 can be adjusted transversely to the beam direction using a screw 30 against the action of two tension springs 31 and 32.

Der Schlitten 29 ist seinerseits auf mit Halterungen 3 3 und 34 versehen, mit der die Kristalldreheinheit auf einemThe carriage 29 is in turn provided with holders 3 3 and 34, with which the crystal rotating unit is mounted on a

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Stangengerüst, bestehend aus zwei oder drei Stangen 37, 38 mit einem Durchmesser von jeweils 20 mm und einem Abstand von 120 mm, befestigbar ist. Sie wird an diesem Stangensystem mittels zweier von der Hand betätigbarer Rändelschrauben fixiert.It can be attached to a rod frame consisting of two or three rods 37, 38, each with a diameter of 20 mm and a distance of 120 mm. It is fixed to this rod system using two knurled screws that can be operated by hand.

Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf das vorstehend angegebene bevorzugte Ausführungsbeispiel. Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch macht.The invention is not limited in its implementation to the preferred embodiment given above. Instead, a number of variants are conceivable which make use of the solution presented even in fundamentally different embodiments.

Claims

LAR42.G1 Blatt 11 AnsprücheLAR42.G1 Sheet 11 Claims

1. Vorrichtung zur Auswahl einer vorbestimmten Oberwelle einer einfallenden Laserstrahlung,1. Device for selecting a predetermined harmonic of an incident laser radiation,

dadurch gekennzeichnet,characterized,

daß ein optisch nichtlinearer Kristall (1) zur Erzeugung eines Strahlenversatzes und ein aus einem Quarzkörper bestehender Kompensator (2) nacheinander im Strahlungsweg der Laserstrahlung angeordnet sind sowiethat an optically non-linear crystal (1) for generating a beam offset and a compensator (2) consisting of a quartz body are arranged one after the other in the radiation path of the laser radiation and

daß Mittel zum gegensinnigen Verdrehen von Kristall und Kompensator vorgesehen sind, die durch eine gemeinsame Antriebsvorrichtung (5 bis 8) angetrieben werden.that means are provided for rotating the crystal and compensator in opposite directions, which are driven by a common drive device (5 to 8).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch g e kennzeichnet, daß eine mit einem Feingewinde2. Device according to claim 1, characterized in that a fine thread

versehene Spindel (6) vorgesehen ist, auf der ein Gewindeschlitten (8) läuft, der seinerseits über Hebelarme (22, 23) zwei Drehachsen (16, 17) antreibt, die jeweils den Quarzkörper bzw. den Kompensator tragen.
25provided spindle (6) is provided on which a threaded slide (8) runs, which in turn drives two rotary axes (16, 17) via lever arms (22, 23), which respectively carry the quartz body and the compensator.
25

3. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gewindespindel (6) ihrerseits über einen Zahnriemen (7) angetrieben ist.3. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the threaded spindle (6) is in turn driven via a toothed belt (7).

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4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsmittel einen Phasenschrittmotor (5) enthalten.4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the drive means include a phase stepper motor (5).

5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine einen Anschlag für quer zur Vorschubrichtung des Gewindeschlittens gerichtete Bewegungen bildende, insbesondere als Kante ausgebildete Führung (10) vorgesehen ist.5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a stop for movements directed transversely to the feed direction of the threaded slide, in particular constructed as an edge (10) is provided.

6. Vorrichtung, insbesondere nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die einen Anschlag für quer zur Vorschubrichtung gerichtete Bewegungen bildende Führung (10) des Gewindeschlitten (8), ein Mitnehmer- und Anschlagstift (9) und/oder die Hebelarme (22, 23) aus geschliffenem Stahl bestehen.6. Device, in particular according to claim 5, characterized in that the guide (10) of the threaded slide (8) forming a stop for movements directed transversely to the feed direction, a driver and stop pin (9) and/or the lever arms (22, 23) are made of ground steel.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß der Anschlag (9, 10) unter Vorspannung der tangential zur Achse der Gewindespindel (6) wirkenden Kraft einer Schleiffeder (26), die sich an der parallel zur Gewindespindel (6) gerichteten Führung (10) abstützt, bzw. eines entsprechenden Moments steht.7. Device according to claim 6, characterized in that the stop (9, 10) is under prestress of the force acting tangentially to the axis of the threaded spindle (6) of a grinding spring (26) which is supported on the guide (10) directed parallel to the threaded spindle (6), or a corresponding moment.

8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Gewindeschlitten (8) mindestens einen Hebelarm (22, 23) an-8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the threaded slide (8) has at least one lever arm (22, 23)

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treibt, der radial gerichtet mit den Drehachsen (16, 17) für den Kristall- bzw. Kompensatoraufnehmer (1, 2) verbunden ist.which is connected in a radial direction to the rotation axes (16, 17) for the crystal or compensator sensor (1, 2).

9. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß der Mitnehmer- und Anschlagstift (9) an der Führungskante (10) unter Vorspannung anliegt.9. Device according to claim 5, characterized in that the driver and stop pin (9) rests against the guide edge (10) under prestress.

10. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Angriffspunkte der Stifthebelarme in Bezug auf den Mitnehmer- und Anschlagstift (9) in der Nähe der Führungskräfte (10) gelegen sind. 10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the points of application of the pin lever arms in relation to the driver and stop pin (9) are located near the guides (10).

11. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß, bezogen auf den Mitnehmer- und Anschlagstift (9), das Verhältnis des Abstands der Angriffspunkte des Hebelarme (22, 23) zur Führungskante (10) zum Abstand des Angriffs der Hebelarme (22, 23) von der Achse der Gewindespindel (6) bzw. des Ge-Windeschlittens (8) kleiner als 1:4 ist.11. Device according to one of the preceding claims, characterized in that, based on the driver and stop pin (9), the ratio of the distance of the points of engagement of the lever arms (22, 23) to the guide edge (10) to the distance of the point of engagement of the lever arms (22, 23) from the axis of the threaded spindle (6) or the threaded slide (8) is less than 1:4.

12. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Mitnehmer- und Anschlagstift (9) mit nur einer Kraftrichtung auf die Hebelarme (22, 23) wirkt und die Drehachsen12. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the driver and stop pin (9) acts on the lever arms (22, 23) with only one direction of force and the axes of rotation

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(17 und 16) mittels Torsionsfedern (18 und 19) gegensinnig zur Antriebsrichtung vorgespannt sind.(17 and 16) are preloaded by torsion springs (18 and 19) in the opposite direction to the drive direction.

13. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachsen (16, 17) zweifach gelagert sind.13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the rotation axes (16, 17) are doubly supported.

14. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachsen über Schraubenfedern (22, 23) axial vorgespannt sind.14. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the rotation axes are axially prestressed via helical springs (22, 23).

15. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Begrenzung des Schwenkwegs der Hebelarme (22, 23) Grenzwertschalter (25, 26) vorgesehen sind.15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that limit switches (25, 26) are provided to limit the pivoting path of the lever arms (22, 23).

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet , daß als Grenzwertschalter Lichtschranken vorgesehen sind, welche durch eine Blende aktiviert werden, die mit einer der Drehachsen oder dem Gewindeschlitten verbunden sind, und insbesondere einen Teil eines Stifthebelarms bzw. dessen rückwärtige Verlängerung, über die Drehachse hinaus, bildet.16. Device according to claim 15, characterized in that light barriers are provided as limit switches, which are activated by a shutter which is connected to one of the rotation axes or the threaded slide, and in particular forms part of a pin lever arm or its rear extension, beyond the rotation axis.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet , daß die Lichtschranken als Gabellichtschranken ausgestaltet sind.17. Device according to claim 16, characterized in that the light barriers are designed as forked light barriers.

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18. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Vorrichtung, insbesondere scheibenförmig drehbare, Filterhalterungen (27) verbunden sind, mittels denen mindestens ein (28) Filter in den optischen Strahlengang der Laserstrahlung einbringbar sind.18. Device according to one of the preceding claims, characterized in that filter holders (27), in particular disk-shaped, rotatable ones, are connected to the device, by means of which at least one filter (28) can be introduced into the optical beam path of the laser radiation.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, d a durch gekennzeichnet, daß ein Prozessor zur Ansteuerung des als Schrittmotor ausgebildeten Antriebs für den Gewindeschlitten vorgesehen ist, dem die Ausgangssignale der Lichtschranken als Steuersignale zugeführt werden.19. Device according to one of claims 16 to 18, characterized in that a processor is provided for controlling the drive for the threaded slide, which is designed as a stepper motor, to which the output signals of the light barriers are fed as control signals.

20. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rahmen (29) vorgesehen ist, welcher eine Feinjustage der übrigen Vorrichtung quer zur Strahlrichtung ermöglicht.20. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a frame (29) is provided which enables fine adjustment of the rest of the device transverse to the beam direction.

21. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Halterung für ein Stangengerüst (37, 38), insbesondere an dem Rahmen (29), vorgesehen ist.21. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a holder for a rod frame (37, 38), in particular on the frame (29), is provided.