DE9007256U1 - Protective suit for clean rooms - Google Patents
Protective suit for clean roomsInfo
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Description
07.06.1990 - Its Akte: WE 2287 Anmelder:07.06.1990 - Its File: WE 2287 Applicant:
7U7O Schwäbisch -;."-iü7U7O Swabian -;."-iü
Die Erfindung betrifft einen Schutzanzug für Reinräume mit einem antistatischen und in Durchgangsrichtung leitfähigen Fasermaterial.The invention relates to a protective suit for clean rooms with an antistatic and conductive fiber material in the direction of passage.
Als Reinräume oder auch Reinsträume werden Räume bezeichnet, in denen gegen Staub, Schmutz und sonstige Verunreinigungen empfindliche, elektrische und elektronische Teile hergestellt werden. Insbesondere gilt dies für die Herstellung von Microchips, wobei keinerlei Staub oder sonstige Verunreinigungen vorhanden sein dürfen, da anderenfalls deren Funktion gestört ist, bzw. diese überhaupt nicht funktionsfähig Rind.Clean rooms or ultra-clean rooms are rooms in which electrical and electronic parts that are sensitive to dust, dirt and other contaminants are manufactured. This applies in particular to the manufacture of microchips, where no dust or other contaminants may be present, otherwise their function will be impaired or they will not function at all.
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Derartige Reinräume kann man deshalb im allgemeinen nur über sogenannte Reinigungsschleusen betreten und in den Reinräumen ist dafür gesorgt, da/9 eine entsprechende Freiheit von Staub und aiyifer-.-.. ■ Verunreinigungen vorhanden ist. Problematisch dabei sind jedoch die in diesen Räumen arbeitenden Personen. Damit durch sie kein Staiii eingebracht wird, sind sogenannte Reinramnsrhutzanzuge bekannt, die üi»er die herkömmliche Bekleidung gezogen \ werden. Hierzu dienen Kapuzen, Oberteile und Hosen, dieSuch clean rooms can therefore generally only be entered via so-called cleaning locks and in the clean rooms it is ensured that there is a corresponding freedom from dust and other contamination. The problem here, however, is the people working in these rooms. So-called clean room protective suits are known which are put on over the usual clothing in order to prevent them from bringing in contamination. Hoods, tops and trousers are used for this purpose.
über die entsprechenden Kleidungsstücke gezogen werden. Die Einzelteile bezitzen iai allgemeinen einen Durchgangswiderstand bzw. eine Ableitfähigkeit in einer Größenordnung von 1011 Ohm. Als Fasern werden Perlon/Nylon-Gewebe verwendet.pulled over the corresponding items of clothing. The individual parts generally have a volume resistance or a conductivity in the order of 10 11 Ohm. Perlon/nylon fabrics are used as fibers.
Nachteilig dabei ist jedoch, daß eine Ableitung nur in Durchgangsrichtung erfolgt. Dies bedeutet, da/9 sich die Einzelteile separat aufladen können und sich dann bei Berührung mit einem Nulleiter oder einem leitenden Gegenstand entladen. Dadurch besteht u.a. die Gefahr, daß sich Staubpartikel lösen und in den Produktionsprozess der Fertigung gelangen.The disadvantage here, however, is that discharge only occurs in the direction of flow. This means that the individual parts can charge separately and then discharge when they come into contact with a neutral conductor or a conductive object. This creates the risk, among other things, that dust particles will become loose and enter the production process.
Nachteilig i3t weiterhin auch, da6 sich zwischen den Einzelteilen und der normalen Bekleidung erhebliehe Luftpolster befinden. Bei Körperbewegungen wird diesesAnother disadvantage is that there are significant air pockets between the individual parts and the normal clothing. When the body moves, this
Luftpolster nach außen gedrückt und Fasern der Normalkleidung gehen mit dem Luftstrom in die Reinraumumluft.Air cushions are pushed outwards and fibres from normal clothing go with the air flow into the clean room air.
Aufgrund dieser Unzulänglichkeiten mu/3 man in der Praxis Ausfälle bei der Herstellung von Microchips von bis zu 70 % in Kauf nehmen.Due to these deficiencies, in practice, failures in the production of microchips of up to 70% must be accepted.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Schutzanzug der Eingangs erwähnten Art derart zu verbessern, da/9 weniger Ausfälle bei de\ Herstellung von Microchips auftreten, insbesondere der die vorstehend geschilderten Probleme vermeidet.The present invention is therefore based on the object of improving a protective suit of the type mentioned at the outset in such a way that fewer failures occur during the production of microchips, in particular which avoids the problems described above.
Erf indungsgemä/9 wird diese Aufgabe gelöst, durch wenigstens eine Kapuze, ein Oberteil und ©ine Hose, wobei die Teile einstückig oder leitend miteinander verbunden sind, und wobei in das Fasermaterial in Anzugslängsrichtung und gegebenenfalls in Querrichtung verlaufende leitende Materialien eingebracht sind.According to the invention, this object is achieved by at least one hood, one top and one pair of trousers, wherein the parts are connected to one another in one piece or in a conductive manner, and wherein conductive materials are introduced into the fiber material running in the longitudinal direction of the suit and optionally in the transverse direction.
Durch die Einbringung der leitenden Materialien und die Einstückigkeit des Anzuges oder die leitende Verbindung der Teile untereinander wird ein Gesamtanzug geschaffen, der vollständig leitfähig ist und bei dem keine statische Aufladung an irgendeiner Stelle entsteht.By incorporating conductive materials and making the suit one piece or connecting the parts together in a conductive manner, an overall suit is created that is completely conductive and in which no static charge is generated anywhere.
Im Unterschied zu bekannten Schutzanzügen, bei denen lediglich eine Ableitung in Durchgangsrichtung, d.h. von innen nach außen bzw. von außen nach innen, möglich war, wird durch die erfindungsgemäßen leitenden Materialien ei'ie Ableitmöglichkeit auf der Oberfläche und im Inneren des Gewebes oder Fasermateriales parallel zur oberfläche erreicht.In contrast to known protective suits, in which only a discharge in the direction of passage, i.e. from the inside to the outside or from the outside to the inside, was possible, the conductive materials according to the invention achieve a discharge possibility on the surface and inside the fabric or fiber material parallel to the surface.
Auf diese Weise kann z.B. beim Betreten des Reinraumes der gesamte Anzug in der Schleuse durch Berührung des Anzugstoffes an irgendeiner Stelle mit einem Nulleiter entladen werden. Auf diese Weise werden Staubpartikel gelöst, welche z.B. durch die statische Aufladung im Außenbereich des Reinraumes, wie z.B. im Umkleideraum, im WC und dergleichen an dem Anzug anhaften. Es können jedoch auch Staubpartikel entfernt werden, welche sich in sogenannten toten Zonen im Reinraumbereich befinden, und durch Körperbewegungen aufgewirbelt werden und sich an dem Anzug anhaften. Durch die Ableitfähigkeit in Anzugslängsrichtung bzw. in Querrichtung wird auch verhindert, daß sich irgendein Teil wieder statisch auflädt. In this way, for example, when entering the clean room, the entire suit can be discharged in the lock by touching the suit material with a neutral conductor at any point. In this way, dust particles are released which, for example, adhere to the suit due to static charge in the outside area of the clean room, such as in the changing room, in the toilet and the like. However, dust particles can also be removed which are located in so-called dead zones in the clean room area and are stirred up by body movements and adhere to the suit. The conductivity in the lengthwise or crosswise direction of the suit also prevents any part from becoming statically charged again.
Eine sehr vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß sich an die Hose ein geschlossenes, gegebenenfalls über Straßenschuhe ziehbares Fußteil an-A very advantageous development of the invention consists in the fact that a closed foot part can be attached to the trousers, which can be pulled over street shoes if necessary.
-5-schließt. -5-closes.
Durch diese Ausgestaltung wird ein vollkommen geschlossener, ganzheitlicher Schutzanzug geschaffen, womit die darunterliegende Bekleidung, inclusive gegebenenfalls von Straßenschuhen, hermetisch nach außen abgeschlossen ist, so daß keine Staubpartikel aus der normalen Kleidung, den Haaren oder von den Schuhen in die Reinraumluft entweichen können. In vorteilhafter Weise wird man dabei noch über die Fußteile, Überschuhe bzw. Galoschen anordnen, welche ebenfalls mit in Anzugslängsrichtung laufenden ableitfähigen Materialien versehen sind, und die über leitfähige Verbindungen mit den Fußteilen verbunden sind.This design creates a completely closed, holistic protective suit, whereby the clothing underneath, including street shoes if necessary, is hermetically sealed from the outside, so that no dust particles from normal clothing, hair or shoes can escape into the clean room air. It is also advantageous to place overshoes or galoshes over the foot parts, which are also provided with conductive materials running in the length of the suit and which are connected to the foot parts via conductive connections.
Die Galoschen bzw. Überschuhe dienen dabei zum einen zum Schutz für das Fußteil gegen Abnutzung und zum anderen einem Tragekomfort des Trägers des Schutzanzuges. Aufgrund der Ableitfähigkeit der Überschuhe kann problemlos eine Ableitung von statischen Aufladungen erfolgen, bzw. verhindert werden, daß sich nachträglich statische Aufladungen ergeben.The galoshes or overshoes serve on the one hand to protect the foot part against wear and tear and on the other hand to ensure that the wearer of the protective suit is comfortable. Due to the conductive properties of the overshoes, static charges can be easily discharged or static charges can be prevented from occurring later.
Von Vorteil ist es dabei, wenn man die Sohlen der Überschuhe aus einem leitfähigen Gummi ausbildet.It is advantageous if the soles of the overshoes are made of conductive rubber.
AIs leitfähige Materialien sind verschiedene Werkstoffe und Fasern möglich. Für diesen Zweck sind z.B. in den Schutzanzug eingewebte, eingeflochtene oder auf andere Weise eingebrachte Stahl fasern möglich.Various materials and fibers can be used as conductive materials. For this purpose, steel fibers can be woven, braided or otherwise incorporated into the protective suit.
Die leitende Verbindung zwischen den Fu/?teilen und den Überschuhen kann z.B. durch einen Rei/9verschlu/3 aus Metall erfolgen, oder falls dieser aus Kunststoff ist, durch eine Druckknopf- oder Lasc>.enverbindung. Ebenso sind leitfähige Klettverschlüsse möglich.The conductive connection between the foot parts and the overshoes can be made, for example, by a metal zipper or, if the zipper is made of plastic, by a snap fastener or tab connection. Conductive Velcro fasteners are also possible.
Statt einem Überschuh, in dem sich ein Stra/Üenschuh befindet, kann gegebenenfalls auch ein leitfähiger Schuh direkt über den Reißverschluß leitenu mit den Fußteile oder vorzugsweise mit den unteren Enden der Hosenbeine verbunden werden=Instead of an overshoe that contains a street shoe, a conductive shoe can also be connected directly to the foot parts via the zipper or, preferably, to the lower ends of the trouser legs.
In vorteilhafter Weise wird man auch zwischen den im allgemeinen während der Arbeit notwendigen Handschuhen und den Armen des Oberteiles jeweils: e^ne leitfähige und nach Möglichkeit auch luftdichte Verbindung vorsehen. It is also advantageous to provide a conductive and, if possible, airtight connection between the gloves generally required during work and the arms of the upper part.
Bekannt sind als Handschuhe Latex-Handschuhe mit einem Durchgangswiderstand von ca. 1011 Ohm.Latex gloves with a resistance of approx. 10 11 ohms are known as gloves.
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In Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, da/9 Handschuhe aus Seide mit. eingewebten Stahl fasern verwendet werden, welche z.B. über Klettverschlüsse mit dem Schutzanzug verbunden werden. Auf diese Weise werden Aufladungen der Handschuhe vermieden bzw. ist es auch möglich, statische Aufladungen über die Handschuhe abzuleiten.In a further development of the invention, it can be provided that gloves made of silk with woven steel fibers are used, which are connected to the protective suit using Velcro fasteners, for example. In this way, charging of the gloves is avoided and it is also possible to discharge static charges via the gloves.
CC Damit der Schutzanzug möglichst eng und auch bequem anTo ensure that the protective suit fits as tightly and comfortably as possible
Körper bzw. der normalen Bekleidung der den Schutzanzug tragenden Person anliegt, ist es von Vorteil, wenn vorgesehen ist, aaß an verschiedenen Stellen Stretch-Gummizüge vorgesehen sind. Dies gilt z.B. für die Verbindung zwischen der Kapuze und dem Oberteil, dem Taillenbereich, den unteren Enden der Arme des Oberteiles und den unteren Enden der Hosenbeine in den Knöchelbereichen.To ensure that the suit fits snugly against the body or normal clothing of the person wearing the suit, it is advantageous to provide stretch elastics at various points. This applies, for example, to the connection between the hood and the top, the waist area, the lower ends of the arms of the top and the lower ends of the trouser legs in the ankle areas.
In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgeseher sein, da/9 sich ein Hauptrei£verschlu/9 zwischen der Hose, dem oberteil und der Kapuze befindet, wobei det Haupt reißverschluss oben im Bereich des freien Gesichtsfeldes und unten im Bereich des Schrittes enden kann.In a further development of the invention, it can be provided that a main zipper is located between the trousers, the top and the hood, whereby the main zipper can end at the top in the area of the free field of vision and at the bottom in the area of the crotch.
Auf diese Weise lä/3t sich der Anzug von der Person, die diesen tragen soll leicht überziehen.This way the suit can be easily put on by the person who is to wear it.
Für einen bequemen Einstieg und für einen engen Sitz der Hose kann ferner vorgesehen sein, daß die beidenFor easy entry and a tight fit of the trousers, it can also be provided that the two Kivs-ejibeine jeweils noch mit einais sicfo in Hrroanlängsrichtung erstreckenden Reißverschluß versehen sind.The knee-length legs are each provided with a zipper that runs lengthways.
Jn einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung Kann vorgesehen sein, da/9 das Oberteil mit aufgesetzten Taschen versehen ist. In glt^i^her Weise können die Hosenbeine im Bereich der Oberschenkel mit aufgesetzten Taschen versehen sein, in denen z.B. Werkzeuge, Schriftstücke und dergleichen untergebracht werden können.In a further embodiment of the invention, it can be provided that the upper part is provided with patch pockets. In the same way, the trouser legs can be provided with patch pockets in the area of the thighs, in which, for example, tools, documents and the like can be stored.
Im Mundbereich kann in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen sein, da/9 eine auswechselbare Feuchtigkeitseinlage über einen Klettverschlu/3 angeordnet ist, wobei die Feuchtigkeitseinlage ebenfalls aus leitfähigem, hygienisch einwandfreiem Material bestehen sollte, die keine Einzelfasern abstoßen kann.In a further embodiment of the invention, a replaceable moisture insert can be arranged in the mouth area via a Velcro fastener, whereby the moisture insert should also consist of conductive, hygienically flawless material that cannot repel individual fibers.
Nachfolgend ist ein Ausfühmngsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnungen prinzipmäßig beschrieben.An embodiment of the invention is described in principle below with reference to the drawings.
Es zeigt:It shows:
•&ugr; :.:•&ugr; :.:
Fig. 2 einen vergrößerten Ausschnitt des Oberteiles mit einer Kapuze;Fig. 2 an enlarged section of the top with a hood;
Fig. 3 einen vergrößerten Ausschnitt sin^s Armteiles mit einem Handschuh;Fig. 3 an enlarged section of an arm part with a glove;
Fig. 4 eine very-^e.. V3 Darstellung eines Hosenbeines mit einem Übei ^huh;Fig. 4 a very-^e.. V 3 representation of a trouser leg with a Über ^huh;
Fig. 5 eine andere Ausgestaltung des Überganges zwischen einer Hose und einem Überschuh;Fig. 5 shows another design of the transition between trousers and an overshoe;
Fig. 6 einen Schutzanzug mit einer Person in einer Eingangsschleuse.Fig. 6 a protective suit with a person in an entrance lock.
Der Schutzanzug besteht aus einer Kapuze 1, die bis auf einen kleinen Sichtbereich 2 auf der Vorderseite geschlossen ist. An die Kapuze 1 schließt sich ein Oberteil 3 und daran eine Hose 4 an. Die Kapuze 1, das Oberteil 3 und die Hose 4 sind einstückig und ergeben damit einen Overall.The protective suit consists of a hood 1, which is closed except for a small visible area 2 on the front. The hood 1 is followed by a top 3 and trousers 4. The hood 1, the top 3 and the trousers 4 are one piece and thus form an overall.
Zwischen der Kapuze l und dem oberteil 3 mit seinen Armteilen 5 und 6 befindet sich ein Stretch-Gummizug 7.There is a stretch elastic band 7 between the hood l and the upper part 3 with its arm parts 5 and 6.
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In gleicher Heise bildet der Übergang zwischen dem Oberteil 3 und der Hose 4 im Bereich der Taille ein Stretch-Gummizug 8. Die vorderen Enden der Armteile 5 und S und die unterer* Err-&iacgr; :u ?■ r beiden Hosenbeine 9 und 10 der Hose 4 sind jeweils ebenfalls mit einem Stretch-Gummizug I* abgeschlossen.In the same way , the transition between the top 3 and the trousers 4 in the area of the waist is formed by a stretch elastic band 8. The front ends of the arm parts 5 and 6 and the lower ends of both trouser legs 9 and 10 of the trousers 4 are each also finished with a stretch elastic band I*.
Ein Hauptreißvf-xschluß 12 erstreckt sich vom Schritt der zu tragenden Person aus über das Oberteil hinaus bis zu dem Sichtbereich 2 der Kapuze 1. Während der Hauptrei/9verschlu/3 12 im unteren und mittleren Bereich annähernd in Körpermitte verläuft, endet er in der Kapuze 1 seitlich am unteren Ende des Sichtbereiches 2.A main zipper 12 extends from the crotch of the person being worn over the top to the visible area 2 of the hood 1. While the main zipper 12 runs almost in the middle of the body in the lower and middle areas, it ends in the hood 1 at the side at the lower end of the visible area 2.
Das Oberteil 3 ist beidseitig in der Körpermitte mit aufgesetzten Taschen 13 versehen. Dabei kann z.B. die rechte Tasche 13 mit einer Klarsichtfolie für einen Ausweis versehen sein, während z.B. die linkf» Tasche mit Abnäher für Kugelschreiber, kleine Schraubenzieher und dergleichen versehen sein kann.The upper part 3 is provided with pockets 13 on both sides in the middle of the body. The right pocket 13 can, for example, be provided with a transparent film for an ID card, while the left pocket can, for example, be provided with darts for ballpoint pens, small screwdrivers and the like.
Beide Hosenbeine 9 und 20 sind jeweils mit einem in Längsrichtung verlaufenden Reißverschluß 14 vergehen, der am unteren Ende des jeweiligen Hosenbeines beginnt und am jeweiligen oberen Ende das untere Ende des Hauptreißverschlusses 12 überragt. Die beiden Reißver- Both trouser legs 9 and 20 are each provided with a longitudinally running zipper 14, which begins at the lower end of the respective trouser leg and extends beyond the lower end of the main zipper 12 at the respective upper end. The two zippers
Schlüsse 14 verlaufen innenseitig entlang den Hosenbeinen 9 und 10.Closures 14 run along the inside of trouser legs 9 and 10.
Am Übergang zwischen dem Oberteil 3 and der Hose 4 befindet sich im rückwärtigen Bereich in Höhe des Gesäßes ein horizontal verlaufender Reißverschluß 15. Der Reißverschluß 15 ist für eine Toiiettenbenutzung gedacht.At the transition between the top 3 and the pants 4, there is a horizontal zipper 15 in the rear area at the height of the buttocks. The zipper 15 is intended for use when going to the toilet.
Außenseitig an beiden Hosenbeinen 9 und 10 ist jeweils im Oberschenkelbereich eine aufgesetzte Tasche 1 5 zur Aufnahme von Werkzeugen, Plänen und dergleichen vorgesehen. Wie insbesondere aus der Fig. 2 ersichtlich ist, besitzt die Kapuze 1 im vorderen Bereich unter den Sichtbereich 2, d.h. im Mund- und Nasenbereich innenseitig einen Atem-Hygienefilter 16 aus faserfreiem Vliesmaterial, der z.B. über eine Klett-Befestigung innenseitig an dem Schutzanzug befestigt ist.On the outside of both trouser legs 9 and 10, in the thigh area, there is a pocket 15 for storing tools, plans and the like. As can be seen in particular from Fig. 2, the hood 1 has a breathing hygiene filter 16 made of fiber-free fleece material in the front area under the field of vision 2, i.e. in the mouth and nose area on the inside, which is attached to the protective suit on the inside, e.g. via a Velcro fastener.
Aus der Fig. 3 ist die Verbindung des unteren Endes eines Armteiles 6 mit einem Handschuh 17 aus Seide mit eingewebten leitfähigen Fasern ersichtlich. Die Verbindung des Handschuhes 17 mit dem Armteil 6 kann z.B. über einen Klettverschlu/3 erfolgen.Fig. 3 shows the connection of the lower end of an arm part 6 to a glove 17 made of silk with woven-in conductive fibers. The connection of the glove 17 to the arm part 6 can be made, for example, via a Velcro fastener/3.
Die Fig. 4 zeigt den Fußbereich des Schutzanzuges. Wie daraus ersichtlich ist, schließen sich an die beiderFig. 4 shows the foot area of the protective suit. As can be seen, the two
Hosenbeine 9 und 10 der Hose 4 jeweils geschlossene * Fußteile 22 an. Ebenso wie sich im Inneren des jeweiligen Hosenbeines 9 bzw. 10 die Straßenbekleidung, z.B. | eine Straßenhose, befindet, umschließt das Fußteil 22 '■' auch einen Straßenschuh 23.Trouser legs 9 and 10 of the trousers 4 each have closed * foot parts 22. Just as the street clothing, e.g. | street trousers, is located inside the respective trouser leg 9 or 10, the foot part 22 '■' also encloses a street shoe 23.
Über das Fußteil 22 kann eine Galosche bzw. ein über- ei schuh 24 gezogen werden, der mit einer Sohle 25 aus |] leitfähigem Gummi versehen ist. Bei dieser Ausgestal- f tung liegt ein vollkommen geschlossener Schutzanzug vor, wodurch keinerlei Staubteile und dergleichen aus dem Inneren, z.B. aus den Hosenbeinen 19 einer Straßenhose (s. Darstellung in den Fig. 4 und 5) , nach außen h dringen können.A galosh or overshoe 24, which is provided with a sole 25 made of conductive rubber, can be pulled over the foot part 22. This design provides a completely closed protective suit, whereby no dust particles or the like can penetrate from the inside, e.g. from the trouser legs 19 of street trousers (see illustration in Figs. 4 and 5).
Gemäß Fig. 5 ist statt einem geschlossenen Fußteil 22 ein horizontal verlaufender Reißverschluß 26 vorgesehen, der die Verbindung mit dem überschuh 24 herstellt. Der Überschuh 24 ist ebenso wie der Überschuh aus der Fig. 4 leitfähig. Für eine leitende Verbindung zwischen dem Hosenbein 9 und damit mit dem gesamten Schutzanzug ist eine Lasche 27 mit einom Druckknopf 28 zur Verbindung mit dem überschuh 24 vorgesehen.According to Fig. 5, instead of a closed foot part 22, a horizontally running zipper 26 is provided, which creates the connection with the overshoe 24. The overshoe 24 is conductive just like the overshoe from Fig. 4. For a conductive connection between the trouser leg 9 and thus with the entire protective suit, a tab 27 with a snap fastener 28 is provided for connection to the overshoe 24.
Selbstverständlich kann auch statt einem gesonderten Überschuh 24 ein normaler leitfähiger Schuh, der überOf course, instead of a separate overshoe 24, a normal conductive shoe that has
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den Keilverschluss 26 mit den unteren Enden der Hosenbeine 9 und 10 verbunden ist, vorgesehen.the wedge closure 26 is connected to the lower ends of the trouser legs 9 and 10.
Die Fig. 6 zeigt den Schutzanzug in Funktion, und zwar wenn sich die Person, die den Schutzanzug trägt, in einer Eingangsschleuse 29 vor Betreten des Reinraumes (siehe Pfeile A für den Au/9enbereich und B für den Peinraumbereich). Zur Reinigung des Schutzanzuges vor anhaftendem Staub und zur Entladung stellt sich die Person mit dem Schutzanzug auf einen leitfähigen Doppelboden 30, der mit öffnungen 18 zum Durchtritt von Luft (siehe Pfeile) versehen ist. Von oben her wird Reinluft in Pfeilrichtung zugeführt, welche nach Durchströmen der Eingangsschleuse 29 durch die öffnungen 18 in dem Doppelboden 30 abgezogen wird.Fig. 6 shows the protective suit in operation, namely when the person wearing the protective suit is in an entrance lock 29 before entering the clean room (see arrows A for the outside area and B for the cleaning room area). To clean the protective suit from adhering dust and to discharge it, the person wearing the protective suit stands on a conductive raised floor 30 which is provided with openings 18 for the passage of air (see arrows). Clean air is supplied from above in the direction of the arrow, which is extracted after flowing through the entrance lock 29 through the openings 18 in the raised floor 30.
Als Textilmaterial für den Schutzanzug kann man leitfähige Fasern versehen, die z.B. Stahlfasern aufweisen, welche in Längsrichtung des Schutzanzuges und gegebenenfalls auch quer dazu leitfähig sind. Der Durchgangswiderstand bzw. die Ableitfähigkeit kann sich dabei in einer Größenordnung von 105 Ohm befinden. Die Querleitxähigkeit, d.h. die Leitfähigkeit in Längsrichtung des Anzuges kann auf eine Länge von 1 m z.B. ebenfalls 105 Ohm betragen.The textile material for the protective suit can be made of conductive fibers, for example steel fibers, which are conductive in the lengthwise direction of the protective suit and possibly also transversely to it. The volume resistance or the discharge capacity can be in the order of 10 5 Ohm. The transverse conductivity, ie the conductivity in the lengthwise direction of the suit, can also be 10 5 Ohm over a length of 1 m.
Um auch bein Transport, z.B. nach einer Reinigung des Schutzanzuges keine statische Aufladung zu erhalten, wird man im allgemeinen den Schutzanzug in eine antistatische Folie mit einem Ableitwert von z.B. 108 Ohm einschweißen.In order to avoid static charge during transport, e.g. after cleaning the protective suit, the protective suit is generally sealed in an antistatic film with a discharge value of e.g. 10 8 Ohm.
Das verwendete Textilmaterial sollte darüber hineus atmungsaktiv, wasserdicht, chemisch reinigungsbeständig, winddicht und waschbar sein.The textile material used should also be breathable, waterproof, dry-cleanable, windproof and washable.
Eine mögliche Lösung hierfür kann darin bestehen, da/? man z.B. ein Grundmaterial, das mit in Durchganysrichtung und in Längsrichtung leitfähigem Fasermaterial versehen ist, mit einem textlien Material beschichtet wie es z.B. unter den Warenzeichen Sympatex oder Goretex bekannt sind. Ein derartiges textiles Material ist atmungsaktiv, wasserdicht, chemisch reinigungsbeständig, winddicht und waschbar.A possible solution to this could be to coat a base material, which is provided with conductive fiber material in the through- and lengthwise direction, with a textile material, such as those known under the trademarks Sympatex or Goretex. Such a textile material is breathable, waterproof, dry-cleanable, windproof and washable.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9007256U DE9007256U1 (en) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Protective suit for clean rooms |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19904018356 DE4018356A1 (en) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Protective outfit for clean room conditions in micro-chip mfr. - comprises at least hood, top part and trousers and is fully conductive |
| DE9007256U DE9007256U1 (en) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Protective suit for clean rooms |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| DE9007256U1 true DE9007256U1 (en) | 1990-09-06 |
Family
ID=25893962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9007256U Expired - Lifetime DE9007256U1 (en) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | Protective suit for clean rooms |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9007256U1 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE102010022729A1 (en) | 2010-06-04 | 2011-12-08 | Kroschke Sign-International Gmbh | Antistatic footwear i.e. boot, for wearing over full-fledged electrostatic dissipative shoe that is utilized by employee during manufacturing microelectronic products, has contacting area forming part of tread surface |
-
1990
- 1990-06-08 DE DE9007256U patent/DE9007256U1/en not_active Expired - Lifetime
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