DE9004531U1 - Inductive position sensor - Google Patents

Inductive position sensor

Info

Publication number
DE9004531U1
DE9004531U1 DE9004531U DE9004531U DE9004531U1 DE 9004531 U1 DE9004531 U1 DE 9004531U1 DE 9004531 U DE9004531 U DE 9004531U DE 9004531 U DE9004531 U DE 9004531U DE 9004531 U1 DE9004531 U1 DE 9004531U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor according
inductance
meandering
magnetic circuit
circuit components
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE9004531U
Other languages
German (de)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebm Papst St Georgen GmbH and Co KG
Original Assignee
Papst Motoren GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Papst Motoren GmbH and Co KG filed Critical Papst Motoren GmbH and Co KG
Priority to DE9004531U priority Critical patent/DE9004531U1/en
Priority to DE4103603A priority patent/DE4103603C2/en
Priority to US07/651,450 priority patent/US5204621A/en
Publication of DE9004531U1 publication Critical patent/DE9004531U1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
    • G01D5/2046—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

PAPST-MOTOREN .(JmbH;£ Cg. KG DE-907 GPAPST-MOTORS .(JmbH;£ Cg. KG DE-907 G

7742 St. Georgen 20. 04. 19907742 St. Georgen 20. 04. 1990

011-MH011-MH

Induktiv arbeitender Positionssensor 13:49 04/19/90Inductive position sensor 13:49 04/19/90

Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Erfassen von Längen oder Positionen bzw. zum Erfassen von Winkelstellungen. Grundlage des Meßverfahrens ist die Beeinflussung von Induktivitäten mit ferromagnetischem Kern bzw. ferromagnetischen Magnetkreisanteilen durch einen oder mehrere Magnete, vorzugsweise Permanentmagnete.The invention relates to a sensor for detecting lengths or positions or for detecting angular positions. The basis of the measuring method is the influence of inductances with a ferromagnetic core or ferromagnetic magnetic circuit components by one or more magnets, preferably permanent magnets.

Verfahren dieser Art sind bekannt aus z.B. EU-025 1785 A2 und DE- 27 52 880 Al und weiterer Veröffentlichungen, und gestatten eine Auflösung von etwa 10 deg. el, was einer physikalischen Winkelauflösung von etwa 1 ... 2 deg.Methods of this type are known from e.g. EU-025 1785 A2 and DE- 27 52 880 Al and other publications, and allow a resolution of about 10 deg. el, which corresponds to a physical angular resolution of about 1 ... 2 deg.

entspricht.corresponds.

Die genannten Verfahren sind relativ robust, da unempfindlich gegenüber Verschmutzung und einsatzbereit über einen relativ großen Temperaturbereich . Die Winkelauflösung läßt jedoch auch bei Anwendung spezieller Auswertemethoden für Präzisionsmessungen noch Wünsche offen.The methods mentioned are relatively robust, as they are insensitive to contamination and can be used over a relatively wide temperature range. However, the angular resolution still leaves something to be desired, even when using special evaluation methods for precision measurements.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen robusten, kostengünstigen Positions- oder Winkelsensor mit hoher Auflösung bereitzustellen.It is therefore an object of the present invention to provide a robust, cost-effective position or angle sensor with high resolution.

Diese Aufgabe wird gelöst durch den kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 und der restlichen Ansprüche.This problem is solved by the characterizing part of claim 1 and the remaining claims.

Grundlegende Idee der Erfindung ist die Erkenntnis, das eine Positionsbestimmung unter Nutzung magnetisch beeinflußter Induktivitäten nicht beschränkt ist aufThe basic idea of the invention is the realization that position determination using magnetically influenced inductances is not limited to

PAPST-MOTOREN <s»bH '-■& Co KG DE-907 GPAPST-MOTORS <s»bH '-■& Co KG DE-907 G

7742 St. Georgen 20. 04. 19907742 St. Georgen 20. 04. 1990

011-MH011-MH

Induktivitäten, die in üblicher Weise durch Umwicklung eines geeigneten ferroinagnetischen Kerns bzw. die Kombination einer gewickelten Spule und einem zugehörigen ferromagnetischen Magnet-Teilkreis hergestellt sind, sondern da/3 anstelle solcher Induktivitäten eine Struktur der Leiterbahn in Form eines Mäanders verwendet werden kann. Dies besitzt den entscheidenden Vorteil, da/3 nunmehr die effektive Polteilung des Sensor-Stators und -Rotors um etwa eine Größenordnung kleiner gehalten werden kann, als dies vorher möglich war. Gleichzeitig können die Herstellkosten solcher Sensoren reduziert werden, da das kostenkritische Wickeln von Induktivitäten entfällt. Darüberhinaus eröffnet sich die Möglichkeit, aufgrund der flachen Bauweise des erfindungsgemmäßen Sensors auch noch Bauvolumen einzusparen. Die Gestehungskosten des erfindungsgemäßen Sensors sind auch deswegen niedrig, weil für den ferromagnetischen Anteil der Induktivität nur noch ein einfaches Blech verwendet wird, welches vorzugsweise aus einem Amorphmetall gefertigt wird. Diese Materialien werden auch Metallisches Glas genannt, und sind unter den Handelsnamen Vitrovac , Metglass u.a. bekannt.Inductances that are usually produced by winding a suitable ferromagnetic core or the combination of a wound coil and an associated ferromagnetic magnetic partial circuit, but instead of such inductances, a conductor track structure in the form of a meander can be used. This has the decisive advantage that the effective pole pitch of the sensor stator and rotor can now be kept about an order of magnitude smaller than was previously possible. At the same time, the manufacturing costs of such sensors can be reduced because the cost-critical winding of inductances is no longer necessary. In addition, the flat design of the sensor according to the invention also opens up the possibility of saving on construction volume. The production costs of the sensor according to the invention are also low because only a simple sheet is used for the ferromagnetic part of the inductance, which is preferably made of an amorphous metal. These materials are also called metallic glass, and are known under the trade names Vitrovac, Metglass, etc.

Zu der Erfindung gehörige Details werden anhand der Zeichnungen und der zugehörigen Erläuterungen im einzelnen beschrieben.Details relating to the invention are described in detail using the drawings and the associated explanations.

Es zeigt :It shows :

Fig. 1 eine grundlegende Anordnung von Leiterbahn, magn. Rückschluß und PermanentmagnetFig. 1 a basic arrangement of conductor track, magnetic return and permanent magnet

PAPST-MOTOREN J3mbH: Sc CQ-KG. . _· DE-907 G 7742 St. Georgen 20. 04. 1990PAPST-MOTOREN J3mbH: Sc CQ-KG. . _· DE-907 G 7742 St. Georgen 20. 04. 1990

011-MH011-MH

Fig. 3 zwei Leiterbahnen3JT 3 £ 11^t Anschlußklemmenpaar 2>f, It und ( S3 !>*»-) - Die Leiterbahnen besitzen gegeneinander geometrischen Phasenversatz und bestehen jeweils aus zwei mäanderförmigen Teilstücken.Fig. 3 two conductor tracks3JT 3 £ 11 ^t pair of connecting terminals 2>f, It and ( S3 !>*»-) - The conductor tracks have a geometric phase offset from one another and each consist of two meander-shaped sections.

Fig. 4 eine Leiterbahn mit unregelmäßiger Mäanderstruktur zur Erzeugung eines Indeximpulses zur Kennzeichnung einer Referenzposition .Fig. 4 a conductor track with an irregular meander structure for generating an index pulse to mark a reference position.

Auf dem Leiterplatten-Substrat 14 befindet sich ein oder mehrere mäanderförmige Leiterbahnen 15, die vorzugsweise in herkömmlicher gedruckter Technik aufgebracht sind, natürlich auch in bekannter Siebdrucktechnik aufgebracht werden können oder in ebenfalls bekannter Weise als Draht aufgebracht werden können etc.On the circuit board substrate 14 there are one or more meander-shaped conductor tracks 15, which are preferably applied using conventional printed technology, but can of course also be applied using known screen printing technology or can be applied as a wire in a likewise known manner, etc.

Unterhalb der Leiterbahn(en) 15 befindet sich eine Schicht passend gewählter Dicke aus ferromagnetischem Material 19/ vorzugsweise ein solches mit hoher magnetischer Permeabilität und eher mittlerem bis niedrigem Sättigungsverhalten, z.B. das sog. Mu-Metall oder Amorphmetalle, die auch als metallische Gläser bezeichnet werden und z.B. unter dem Handelsnamen Vitrovac und Metglass bekannt sind. Zwischen der ferromagnetischen Schicht und der Leiterbahn kann sich zusätzlich oder alternativ auch noch eineBelow the conductor track(s) 15 there is a layer of appropriately selected thickness made of ferromagnetic material 19/, preferably one with high magnetic permeability and rather medium to low saturation behavior, e.g. the so-called mu-metal or amorphous metals, which are also referred to as metallic glasses and are known, for example, under the trade names Vitrovac and Metglass. Between the ferromagnetic layer and the conductor track there can also be an additional or alternative layer.

PAPST-MOTOREN .<§pibH & Co KG ~ DE-907 GPAPST MOTORS .<§pibH & Co KG ~ DE-907 G

7742 St. Georgen 20. 04. 19907742 St. Georgen 20. 04. 1990

011-MH011-MH

Isolierschicht 18 befinden. Die Leiterbahn 15 wirdInsulating layer 18. The conductor track 15 is

bestromt über die Anschlu/Jkontaktpunkte 16 und 17,powered via the connection/contact points 16 and 17,

und zwar vorzugsweise impulsweise, um kräftige Magnetfelderpreferably in pulses to create strong magnetic fields

durch die Leiterbahn zu erzeugen, ohne da/3 das Leiterbahnmaterial thermisch überlastet wird.through the conductor track without thermally overloading the conductor track material.

In unmittelbarer Nähe der Leiterbahn befindet sich ein verschieb licher vielpoliger Magnet, vorzugsweise Permanentmagnet, mit mindestens einem Nordpol 12 und einem Südpol 13. Das Magnetfeld dieses Magneten erstreckt sich durch die Leiterbahn hindurch bis zur ferromagnetischen Schicht 19. Je nach Lage der Pole über der Leiterbahn und Richtung des Stromflusses durch diese kann eine lokale Sättigung der ferromagnetischen Schicht 19 schnell oder nur langsamer erreicht werden. Dies hat unmittelbaren Einfluß auf die Zeitkonstante des Bestromungsverhaltens der Leiterbahn und gibt damit eine Information über die Position des Magneten bezüglich einer Verschiebung in einer Ebene , die parallel zu den Ebenen der genannten Schichten 14, 18, 19 liegt.In the immediate vicinity of the conductor track there is a movable multi-pole magnet, preferably a permanent magnet, with at least one north pole 12 and one south pole 13. The magnetic field of this magnet extends through the conductor track to the ferromagnetic layer 19. Depending on the position of the poles above the conductor track and the direction of the current flow through it, a local saturation of the ferromagnetic layer 19 can be reached quickly or more slowly. This has a direct influence on the time constant of the current flow behavior of the conductor track and thus provides information about the position of the magnet with respect to a displacement in a plane that is parallel to the planes of the layers 14, 18, 19 mentioned.

Um zu einer genaueren Positionsaussage zu gelangen, ist die Verwendung von mehr als einer mäanderförmigen Leiterbahn nützlich. Insbesondere kann mittels dreier solcher Leiterbahnanordnungen, welche einen Phasenversatz gegeneinander aufweisen, eine Positionsaussage getroffen werden, die etwa 10 deg. el. oder besser beträgt und damit bei üblichen Leiterbahndimensionen eine Auflösung im Bereich einiger hundertstel Millimeter ermöglicht. Es ist ersichtlich, da/3 die Genauigkeit oder Zuverlässigkeit der Messung weiter gesteigert werden kann, wenn sehr viele solcher phasenversetzten Leiterbahnen zum Einsatz gelangen.In order to obtain a more precise position statement, it is useful to use more than one meandering conductor track. In particular, using three such conductor track arrangements, which have a phase offset from one another, a position statement can be made that is around 10 deg. el. or better and thus enables a resolution in the range of a few hundredths of a millimeter for standard conductor track dimensions. It is clear that the accuracy or reliability of the measurement can be further increased if a large number of such phase-shifted conductor tracks are used.

PAPST-MOTOREN GmbH &uacgr; Cc KG 7742 St. GeorgenPAPST-MOTOREN GmbH &uacgr; Cc KG 7742 St. Georgen

DE-907 GDE-907 G

20. 04. 1990 Oil-MH20. 04. 1990 Oil-MH

Eine platzsparende Anordnung zum Anbringen mehrer Leiterbahnen zeigt Fig. 2, mit den Kontaktstellen 21,22; 23,24; und 25,26.A space-saving arrangement for attaching several conductor tracks is shown in Fig. 2, with the contact points 21,22; 23,24; and 25,26.

In einer weiteren Anordnungsform gemäß Fig. 3 werden zwei phasenversetzte Mäanderstrukturen verwendet , die jeweils aus zwei einzelnen Mäanderstücken zusammengesetzt sind und über die Kontaktierungen 31,32 bzw. 33,34 bestromtIn another arrangement according to Fig. 3, two phase-shifted meander structures are used, each of which is composed of two individual meander pieces and is supplied with current via the contacts 31, 32 and 33, 34 respectively.

werden.become.

Das einwirkende Magnetfeld des extern angeordneten MagnetenThe magnetic field of the externally arranged magnet

ist überlagert gezeichnet undis drawn superimposed and

kann das strombedingte Magnetfeld entweder verstärken oder abschwächen, und zwar gleichzeitig für alle Nord- und Südpole.can either strengthen or weaken the current-induced magnetic field, simultaneously for all north and south poles.

Ist in der einen Leiterbahnschleife ein maximaler EffektIf a maximum effect is achieved in one conductor loop

vorhanden, so wird/aufgrund des in Fig. 3 gezeigten Phasenversatzes kein Effekt zu registrieren sein, da die permanentmagnetbedingten lokalen Vormagnetisierungen sich im Mittel aufheben.present, no effect will be recorded due to the phase shift shown in Fig. 3, since the local premagnetizations caused by the permanent magnet cancel each other out on average.

Anstelle des in Fig. 3 gezeigten Phasenversatzes von 180 deg. wird bei Verwendung weiterer Leiterbahnschleifen ein solcher von 360 deg. / &eegr; zu wählen sein, wobei &eegr; die Anzahl der Leiterbahnschleifen ist.When using additional conductor loops, instead of the phase shift of 180 deg. shown in Fig. 3, a phase shift of 360 deg. / η will have to be selected, where η is the number of conductor loops.

Wie man aus Fig. 3 entnehmen kann, ist eine Induktivitätsänderung der Kombination von Leiterbahn und ferromagnetischer Schicht dann gegeben, wenn im einen Falle eine Bestromung der Leiterbahn gegen das vorhandene Magnetfeld arbeitet und keine bzw. nur verspätet Sättigung des ferromagnetischen Materials erreicht wird, während im anderen Falle die Sättigung relativ schnell erreicht wird und eine weitere Zunahme des Stroms im wesentlichen durch die Luft-Induktivität der Leiterbahn beeinflußt wird. Je nach Stellung des linear oder rotatorisch verschieblichen Magneten kann dieAs can be seen from Fig. 3, a change in the inductance of the combination of conductor track and ferromagnetic layer occurs when, in one case, the conductor track is energized against the existing magnetic field and no or only delayed saturation of the ferromagnetic material is achieved, while in the other case, saturation is reached relatively quickly and a further increase in the current is essentially influenced by the air inductance of the conductor track. Depending on the position of the linearly or rotationally movable magnet, the

PAPST-MOTOREN GmbH & Co KG 7742 St. GeorgenPAPST-MOTORS GmbH & Co KG 7742 St. Georgen

DE-907 GDE-907 G

20. 04. 1990 011-MH20. 04. 1990 011-MH

zugeordnete Induktivität der Leiterbahn unterschiedliche Werte annehmen. Es versteht sich, daß dieses Verhalten jedoch stromabhängig ist und zur Erzielung des Effekts eine gewisse Mindeststromstärke bereitgestellt werden muß. Dementsprechend kann in einer einfachen Version eine oder weitere Leiterbahnen nur unipolar bestromt werden, was die Kosten der angeschlossenen Elektronik erniedrigt. In der Regel ist jedoch eine bipolare Bestromung der vorhandenen Leiterbahnstrukturen von Vorteil.assigned inductance of the conductor track can take on different values. It goes without saying that this behavior is current-dependent, however, and a certain minimum current must be provided to achieve the effect. Accordingly, in a simple version, one or more conductor tracks can only be supplied with unipolar current, which reduces the costs of the connected electronics. As a rule, however, bipolar current supply to the existing conductor track structures is advantageous.

Die Bestromung und nachfolgende Auswertung der Bestromungsverläufe geschieht zweckmä/3igerweise unter der Kontrolle eines Mikroprozessors oder -controllers, kann aber auch auf andere Weise durchgeführt werden. Aufgabe einer solchen Recheneinheit ist es, aus registrierten Meßwerten des Stromverlaufes über eine mehr oder weniger aufwendige Mustererkennung bzw. auswertung auf die korrekte Position des verschieblichen Magneten zu schließen.The current supply and subsequent evaluation of the current flow is best carried out under the control of a microprocessor or controller, but can also be carried out in other ways. The task of such a computing unit is to use recorded measurement values of the current flow to determine the correct position of the movable magnet using a more or less complex pattern recognition or evaluation.

Da die Positionsinformation sich nach 360 deg. el. zyklisch wiederholt, ist eine zusätzliche Information zur absoluten Lagebestimmung des Sensors von Vorteil.Since the position information repeats itself cyclically every 360 degrees, additional information for determining the absolute position of the sensor is advantageous.

Dies kann z.B. durch mehrere, gestaffelte Sensoren mit unterschiedlicher Auflösung bewirkt werden.This can be achieved, for example, by using several staggered sensors with different resolutions.

In einer anderen Ausführungsform wird hierzu ein Indexpulsgeber verwendet, dessen Wirkungsweise aus Fig. 4 ersichtlich ist: Wird dem Mäander eine wechselnde Länge der einzelnen Windungen gegeben und weist der zugehörige Magnet eine entsprechende lokale Magnetisierung auf, kann die geometrische Konfiguration so gestaltet werden, daß nur an einer einzigen, bevorzugten Position eine erschwerte oder erleichterte Magnetisierung des ferromagnetischen MaterialsIn another embodiment, an index pulse generator is used for this purpose, the mode of operation of which can be seen in Fig. 4: If the meander is given a varying length of the individual turns and the associated magnet has a corresponding local magnetization, the geometric configuration can be designed in such a way that only at a single, preferred position a more difficult or easier magnetization of the ferromagnetic material

PAPST-MOTOREN 'GlHbH "S CO-KG' -■ DE-907 GPAPST MOTORS 'GlHbH "S CO-KG' -■ DE-907 G

7742 St. Georgen 20. 04. 19907742 St. Georgen 20. 04. 1990

011-MH011-MH

möglich ist, insbesondere weist an dieser Stelle das Verhältnis von erleichtertem zu erschwertem Strombedarf für die Sättigungsmagnetisierung einen Extremalwert auf.is possible, in particular the ratio of the facilitated to the difficult current requirement for the saturation magnetization has an extreme value at this point.

Claims (1)

D-7742 St. Georgen 19. 06. 1990D-7742 St. Georgen 19. 06. 1990 G 90 04 531.9 0^"101 G 90 04 531.9 0 ^" 101 - 1 Ansprüche :- 1 Claims : Sensor, insbesondere für Drehbewegungen, mit mindestens einer variablen Induktivität und mit ferromagnetischen Magnetkreisanteilen, dadurch gekennzeichnet,Sensor, in particular for rotary movements, with at least one variable inductance and with ferromagnetic magnetic circuit components, characterized in that daß die Induktivität in Form einer oder mehrerer mäanderförmiger Windungen aus elektrisch leitfähigem Material hergestellt ist, die Größe der Induktivität durch flächige ferromagnetische Magnetkreisanteile mit geringer Schichtdicke vergrößert wird, die Induktivität in der Nähe oder gegenüber einem mehrpoligen Permanentmagneten angebracht ist und während einer Drehstellungs messung bestromt wird.that the inductance is made in the form of one or more meandering windings made of electrically conductive material, the size of the inductance is increased by flat ferromagnetic magnetic circuit components with a small layer thickness, the inductance is installed near or opposite a multi-pole permanent magnet and is energized during a rotary position measurement. Sensor nach Anspruch 1,Sensor according to claim 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Windungen in Form eines oder mehrerer Mäander in Form einer gedruckten Schaltung oder mäanderförmig geformten Drähten hergestellt ist.characterized in that the windings are made in the form of one or more meanders in the form of a printed circuit or meander-shaped wires. Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche,Sensor according to one or more of the preceding claims, dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that die ferromagnetischen Magnetkreisanteile der mäanderförmigen Induktivität(en) aus vergleichsweise dünnem Blech bestehen.the ferromagnetic magnetic circuit components of the meandering inductance(s) consist of comparatively thin sheet metal. Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die im wesentlichen flächigen Induktivität(en) und flächigen Magnetkreisanteile sowie eine zwischengelagerte Isolierschicht miteinander laminiertSensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that the essentially planar inductance(s) and planar magnetic circuit components as well as an intermediate insulating layer are laminated together sind.are. PAPST-MOTOREN GmbH & Co KG DE-907 GPAPST-MOTORS GmbH & Co KG DE-907 G 7742 St. Georgen 19. 06. 19907742 St. Georgen 19. 06. 1990 G 90 04 531.9 011-MHG 90 04 531.9 011-MH - z-- z- Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, da/3Sensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that/3 der Abstand einzelner Pole eines Permanentmagneten zum ferromagnetischen Material so gewählt ist, da/3 dieses Material zumindest an einzelnen Stellen vormagnetisiert ist .the distance between individual poles of a permanent magnet and the ferromagnetic material is chosen such that this material is pre-magnetized at least in individual places. Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daßSensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that als Material für die ferromagnetischen Magnetkreisanteile Bleche mit hoher magnetischer Permeabilität verwendet werden, insbesondere eisen/nickelhaltige Metalle und sog. Amorphmetalle ( auch metallische Gläser genannt ).Sheets with high magnetic permeability are used as material for the ferromagnetic magnetic circuit components, in particular iron/nickel-containing metals and so-called amorphous metals (also called metallic glasses). Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, da/3Sensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that/3 die mäandrische Form der Induktivität(en) sich linear erstreckt oder in Kreisbogenform vorliegt .the meandering shape of the inductance(s) extends linearly or is in the form of a circular arc. Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daßSensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that die Induktivität aus mehreren Anteilen zusammensetzt ist, die mäandrische Form oder Linienform aufweisen.the inductance is composed of several components that have a meandering or linear shape. PAPST-MOTOREN GmbH & Co KG DE-907 GPAPST-MOTORS GmbH & Co KG DE-907 G 7742 St. Georgen 19. 06. 19907742 St. Georgen 19. 06. 1990 G 90 04 531.9 011-MHG 90 04 531.9 011-MH Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, da/3Sensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that/3 die mäanderförmig vorliegende Induktivität(en) einen od. mehrere geometrische(n) Phasenversatz(maße) aufweisen .the meandering inductance(s) have one or more geometric phase offset(s). Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daßSensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that jede der Induktivitäten über einen elektronischen Schalter wahlweise an eine positive Stromversorgung oder eine negative Stromversorgung geschaltet werden kann.each of the inductors can be switched to either a positive power supply or a negative power supply via an electronic switch. Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, da/3Sensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that/3 ein Index-Mäander und eine zugehörige Index-Magnetisierung vorhanden istan index meander and an associated index magnetization is present Sensor nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, da/3Sensor according to one or more of the preceding claims, characterized in that/3 mehrere Mäanderspurensätze vorhanden sind, die sich durch die Genauigkeit des Positionsauflösevermögens unterscheiden und die eine absolute Positionsbestimmung über einen mechanischen Drehwinkel von 360 deg. ermöglichenthere are several sets of meander tracks that differ in the accuracy of the position resolution and that enable absolute position determination over a mechanical angle of rotation of 360 deg.
DE9004531U 1990-02-08 1990-04-21 Inductive position sensor Expired - Lifetime DE9004531U1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9004531U DE9004531U1 (en) 1990-04-21 1990-04-21 Inductive position sensor
DE4103603A DE4103603C2 (en) 1990-02-08 1991-02-07 Position sensor for detecting linear or rotary movements of a part
US07/651,450 US5204621A (en) 1990-02-08 1991-02-07 Position sensor employing a soft magnetic core

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9004531U DE9004531U1 (en) 1990-04-21 1990-04-21 Inductive position sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9004531U1 true DE9004531U1 (en) 1991-08-22

Family

ID=6853092

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9004531U Expired - Lifetime DE9004531U1 (en) 1990-02-08 1990-04-21 Inductive position sensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE9004531U1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997014935A2 (en) * 1995-10-17 1997-04-24 Scientific Generics Limited Position encoder

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997014935A2 (en) * 1995-10-17 1997-04-24 Scientific Generics Limited Position encoder
WO1997014935A3 (en) * 1995-10-17 1997-05-29 Scient Generics Ltd Position encoder
US6118271A (en) * 1995-10-17 2000-09-12 Scientific Generics Limited Position encoder using saturable reactor interacting with magnetic fields varying with time and with position

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19510579C2 (en) Angle of rotation or speed sensor
DE102005030358B4 (en) Electromagnetic induction position sensor
EP2181308B1 (en) Revolution counter with a ferromagnetic element
DE2558956C2 (en)
DE102013018680B4 (en) Magnetic sensor for absolute counting of revolutions or linear distances
EP0557608B1 (en) Coil assembly
EP3179214B1 (en) Inductive position measurement device
DE3426784A1 (en) MAGNETORESISTIVE SENSOR FOR DELIVERING ELECTRICAL SIGNALS
DE10132215A1 (en) Arrangement for measuring the angular position of an object
EP2037286A1 (en) Measuring device for measuring a magnetic field
DE3914787A1 (en) Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap
DE102006038162A1 (en) Electric motor with measuring system for position or movement
DE102006031139A1 (en) Connecting device for contactless measurement of linear position of rotor, has pair of triangular coils of same surface with form depicts square in former level and another pair of coils of same surface with form arranged in later level
EP0620416A1 (en) Magnetic measuring system
EP2149784B1 (en) Magnetic path sensor system
DE10296956T5 (en) Displacement measuring device
WO2007135006A1 (en) Planar direct drive and associated sensor unit
EP0676622B2 (en) Position sensor
DE102004063245B4 (en) Magnetic detector
DE3642607A1 (en) Position measurement transmitter
EP3695194B1 (en) Electromagnetic measuring system for detecting length and angle on the basis of the magnetoimpedance effect
EP1321743B1 (en) Absolute length measuring system with a measuring rod moving with respect to mutually spaced length sensors
DE9004531U1 (en) Inductive position sensor
DE4442441C2 (en) Miniaturized coil arrangement manufactured in planar technology for the detection of ferromagnetic substances
DE20120658U1 (en) Inductive position detection device