DE8710866U1 - Werkstückbearbeitungsvorrichtung - Google Patents

Werkstückbearbeitungsvorrichtung

Info

Publication number
DE8710866U1
DE8710866U1 DE8710866U DE8710866U DE8710866U1 DE 8710866 U1 DE8710866 U1 DE 8710866U1 DE 8710866 U DE8710866 U DE 8710866U DE 8710866 U DE8710866 U DE 8710866U DE 8710866 U1 DE8710866 U1 DE 8710866U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
workpiece
laser
processing device
wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE8710866U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE8710866U priority Critical patent/DE8710866U1/de
Publication of DE8710866U1 publication Critical patent/DE8710866U1/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/034Observing the temperature of the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

ti t · »I »J 1· ill!
ItH * « · < it ·
&igr; ( it * · H tu ·
R. 21334
22,7*1987 Sfc/Pi
ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART 1
( Werkstückbearbeitungsvorrichtung
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einer Werkstück-Bearbeitungsvorrichtung nach der Gattung des Hauptanspruchs. Durch die DE-OS 22 00 696 ist eine Einrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken mittels Laserstrahlen bekannt geworden, welche eine genaue, direkte Temperaturmessung eines erhitzten Bereiches des zu bearbeitenden Werkstückes erlaubt. Hierzu ist die Einrichtung mit einem Strahlungsdetektor ausgerüstet, welcher der Wärmestrahlung des vom Laserstrahl erhitzten Werkstücks ausgesetzt ist. Der Strahlungsdetektor gibt ein von der Stärke der Wärmestrahlung abhängiges Ausgangssignal ab, das zur Leistungssteue- ^ rung des Lasers ausgewertet wird. Die zu bearbeitende, beispielsweise zu härtende Zone des Werkstücks wird durch den Laserstrahl aufgeheizt, der im wesentlichen eine einzige, relativ große Wellenlänge aufweist. Die Intensität der infolge der örtlichen Erhitzung des I
Werkstücks abgegebenen Wärmestrahlung wird gemessen und die Leistung des Laserstrahls in Abhängigkeit von der Intensität der gemessenen Wärmestrahlung gesteuert. Die Aufheizung der Werkstückzone wird beendet, sobald die gemessene Intensität einen vorgegebenen Schwellwert erreicht. Hierzu wird der Laser entweder abgeschaltet oder der Laserstrahl mittels einer in den Strahlengang einbringbaren Abdekkung unterbrochen. Damit lassen sich gute Resultate erzielen, da die
iilt . · « .
I IM · » · I
Il I * &bgr; · · * *
Ii I < · · ·
&igr; Il « * t «
- 2 - R4 21334
Werkstückoberfläche nicht langer und nicht mit höherer Tempeiatür erhitzt wird als es für die jeweilige Bearbeitung erföiderÜcih ist. Der Strahlungsdetektor ist bei der bekannten Vorrichtung so eingeordnet* daß er von der vom WerkstUck ausgehenden wärmestrahlung direkt getroffen wird. Dies bedeutet, daß die Steuerung des Lasers nur dann iufriedenstellend funktioniert/ wenn außenliegende Zonen eines Werkstücks bearbeitet werden? äio der Strahlungsdetektor "sehen" kann. Für die Bearbeitung innenliegender Flächen von Werkstücken, wie Bohrungen, Innengewinde und dergleichen,ist die bekannte Einrichtung hingegen nicht oder weniger gut geeignet, da die Wärmestrahlung zum Detektor hin durch das Werkstück abgeschirmt ist.
Vorteile der Erfindung
Die erfindungsgemäße Werkstückbearbeitungsvorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil» daß sie zum temperaturgesteuerten bzw. temperaturgereg«lten Bearbeiten sowohl außen- als auch innenliegender Werkstückflächen mittels Laserstrahlung bei gleichbleibender Genauigkeit der Temperaturmessung geeignet ist. Jeder Wärmebehandlungsprozeß an eilnem Werkstück kann so temperaturgesteuert bzw. temperaturgeregeli; ausgeführt werden.
Durch die in den Unteransprächen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch vorgeschlagenen Werkstück-Bearbeitungsvorrichtung möglich- Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung besteht darin, daß als Reflektor ein Wärmereflexionsfilter dient, welches im wesentlichen durchlässig ist für die Strahlung mit der Wellenlänge der Laserstrahlung und im wesentlichen undurchlässig ist für die vom Werkstück ausgehende Wärmestrahlung.
= 3 _ R. 21334
Zeichnung
tin Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargeitellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert· Die figur zedgt eine schematische tiesamtansicht der Werkstück-Bearbeitungsvorrichtung.
leschireibung des Ausführungsbeispiels
In der Figur ist mit 1 ein Laser an sich bekannter Bauart bezeich- »et/ der ein im wesentlichen eine einzige Wellenlänge aufweisendes Strahlenbündel 2 aussendet. Ein zu bearbeitendes Werkstück 3 mit eiler Innenbohrung 4 ist auf einem nicht gezeigten, verstellbaren Träfer so angeordnet, daß der Boden 5 der Bohrung 4 durch den Laserstrahl 2, beispielsweise zwecks Oberflächenhärtung, erhitzt wird. Im &bull;fege des Strahlenbündels 2 ist ein Spiegel 6 angeordnet, welcher die Strahlung in Richtung des Werkstücks 3 umlenkt. Eine beispielsweise ftls Linse ausgebildete Fokussiereinrichtung 7 liegt zwischen Spiegel 6 und Werkstück 3 im Strahlengang des Laser-Strahlenbündels 2, um flieses am Boden 5 der Bohrung 4 oder an einer anderen gewünschten Stelle des Werkstücks zu fokussieren. Die vom Werkstück 3 bei dessen Erhitzung ausgehende Wärmestrahlung (IR-Strahlung der Wellenlänge 780 nm - 1 mm) wird von einem auf den Wellenlängenbereich dieser Strahlung ansprechenden Strahlungsdetektor 9 aufgenommen. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang 2 des Lasers 1 ein als Planplatte ausgebildeter Reflektor 10 angeordnet, welcher für die Laserstrahlung 2 durchlässig ist, während er die vom Werkstück 3 abgegebene Wärmestrahlung 8 in Richtung des Detektors 9 ablenkt. Letzter liefert ein der Stärke der Wärmestrahlung 8 proportionales elektrisches Ausgangssignal, das nach Verstärkung als Istwert einem Regelkreis 11 zugeführt wird, an den der Laser 1 angeschlossen ist. Der Regelkreis 11 ist bestrebt, die Laserleistung, d.h. die Energie des Strahlenbündels 2 auf einem zuvor in den Regelkreis eingegebenen Sollwert zu halten.
i * &Lgr; ti * * 4 -i « · *
t # * tit« 4 · «J* · ·
- 4 - R. 21334
Als Laser wird vorzugsweise ein Kohlendioxyd-(C(L)-Läser verwenöet, dessen Strahlung eine Wellenlänge von etwa 10,6 .um aufweist&igr;
IlIs Strahlungsdetektoren können pyroelektrische Detektoren benutzt werden, die bei Wellenlängen von etwa 800 nm - 5 um ihre größte Empfindlichkeiten aufweisen. Die Wellenlänge und die Intensität der f. Wärmestrahlung des Werkstücks 3 sind von dessen Temperatur abhängig.
I; Bei einem Temperaturanstieg nimmt die Intensität der Wärmestrahlung
Ku und ihre Spitzenwellenlänge verschiebt sich in Richtung kleinerer Wellenlängen. Die Werte unterscheiden sich aber immer deutlich von
! f\ der Wellenlänge der Laserstrahlung, die bei einem CO -Laser erheb-Üoh langwelliger ist als die Warmes tr füllung des Werkstücks 3. Es ist somit möglich/ die Temperaturen in dem Bereich/ in den) das Werk-Stück aufgeheizt wird, direkt zu messen. Das Werkstück kann damit immer auf gleiche Temperatur gebracht werden/ unabhängig von der Ausgangsleistung des Lasers.
Wie bereits erwähnt, wird bei der vorgeschlagenen Werkstück-Bearbeitungsvorrichtung derjenige Teil der Wärmestrahlung des erhitzten Werkstücks 3 erfaßt und ausgewertet, welcher koaxial bzw. parallel zum Laserstrahl 2 verläuft. Dieser Teil der Wärmestrahlung wird an einer Stelle - im Ausführungsbeispiel zwischen Umlenkspiegel 6 und Laser 1 - aus dem Strahlengang ausgespiegelt und dem Strahlendetek-> J tor 9 zugeführt. Da die Wellenlängen der Wärmestrahlung und der Laserstrahlung deutlich voneinander abweichen, ist eine saubere
;<, Trennung mittels eines Wärmereflexionsfilters 12 möglich, welches
für die Wärmestrahlung 8 undurchlässig, für die Laserstrahlung 2 hingegen im wesentlichen durchlässig ist. Das Wärmereflexionsfilter 12 ist in Form eines beispielsweise aufgedampften Belags auf einem für die Laserstrahlung 2 durchlässigen Träger, beispielsweise einer Glasplatte 13, aufgebracht. Vorzugsweise ist das Wärmereflexionsfilter 11 als Mehrschichten-Interferenz-Filter mit einem Sperrbereich
< für die vom Werkstück 3 ausgehende Wärmestrahlung 8 und einen Th-. ^a-
laßbereich für die Laserstrahlung 2 ausgebildet.
- 5 - R. 21334 |&iacgr;
Die beschriebene Werkstück-Bearbeitungsvorrichtung wird vorzugsweise zum Oberflächenhärten von Werkstücken verwendet, mit dem Vorteil, daß auch innenliegende Zonen, beispielsweise Bohrungen und dergleichen, wärmegeregelt gehärtet werden können. Darüber hinaus ist die Vorrichtung aber auch zum Schneiden und Schweißen von Werkstoffen einsetzbar, wobei der Strahlungsdetektor 9 dafür sorgt, daß sich die Leistung des Lasers 1 jeweils an einem vorgegebenen Sollwert
orientiert. Sowohl die Oberflächenbehandlung als auch das Fügen und
Trennen sind mit einem Minimum an eingebrachter Wärme möglich, wobei |
die Strahlführung eine wärmegeregelte Behandlung an schwierig zu- ' gänglichen Stellen erlaubt.
Obwohl bei der bevorzugten Ausführungsform der gewählte Laser ein CO -Laser mit einer Ausgangswellenlänge von etwa 10,6 um ist, können auch Laser verwendet werden, die mit einer anderen Wellenlänge arbeiten. So könnte beispielsweise ein YAG-Laser verwendet werden, dessen Strahlung eine Wellenlänge von etwa 1,06 um aufweist. Wesentlich ist, daß sich die Wellenlänge der Laserstrahlung von der Wellenlänge der vom erhitzten Werkstück abgegebenen IR-Strahlung unterscheidet. Die parallele Strahlführung der Hohlraumstrahlung zur Laserstrahlung macht eine präzise Wärmebehandlung an jeder, vom Laserstrahl zu erreichenden Stelle des Werkstücks möglich.

Claims (4)

E. 21334 22.7.1987 St/Pi ROBERT BOSCH GMBH, 7000 STUTTGART 1
1. Werkstückbearbeitungsvorrichtung, insbesondere zum Oberflächenhärten von Werkstücken, mit einem Laser, der eine im wesentlichen
eine einzige Wellenlänge aufweisende Strahlung erzeugt sowie mit einer Fokussiervorricntung zum Bündeln des Laserstrahls auf dem Werkstück und einem Strahlungsdetektor, welcher der Wärmestrahlung des
erhitzten Werkstüc'-s ausgesetzt ist und ein von der Stärke dieser
Strahlung abhängige?. Ausgangssignal liefert, das zur Leistungssteuerung des Lasers ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet, daß im
Strahlengang des Lasers (1) ein für die Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahls (2) durchlässiger Reflektor (10) angeordnet ist, welcher vom Werkstück (3) abgegebene Wärmestrahlung (8) zu de:n außerhalb des Strahlengangs angeordneten Strahlungsdetektor (9) lenkt.
2. Werkstückbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Reflektor (10) ein Wärmereflexionsfilter (12)
dient, welches im wesentlichen durchlässig ist für die Strahlung mit der Wellenlänge des Laserstrahls (2) und im wesentlichen undurchlässig ist für die vom Werkstück (3) ausgehende Wärmestrahlung (R).
3. Werkstückbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wärmereflexionsfilter (12) als Mehrschichten-Interferenzfilter mit einem Sperrbereich für die vom Werkstück (3)
Ausgehende wärmestrahlung (6) und einem Durchlaßbereich für die Laserstrahlung (2) ausgebildet ist·
- 2 - R. 21334
4. Werkstückbearbeitungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet/ daß der Laser (1) ein Kohlendiosydlasar ist, der einen Laserstrahl mit einer Wellenlänge von etwa 10,6 um abgibt.
DE8710866U 1987-08-08 1987-08-08 Werkstückbearbeitungsvorrichtung Expired DE8710866U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8710866U DE8710866U1 (de) 1987-08-08 1987-08-08 Werkstückbearbeitungsvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8710866U DE8710866U1 (de) 1987-08-08 1987-08-08 Werkstückbearbeitungsvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE8710866U1 true DE8710866U1 (de) 1988-12-08

Family

ID=6810926

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8710866U Expired DE8710866U1 (de) 1987-08-08 1987-08-08 Werkstückbearbeitungsvorrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE8710866U1 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990007398A1 (de) * 1988-12-30 1990-07-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von werkstücken mit laserstrahlung
WO1990010520A1 (de) * 1989-03-14 1990-09-20 Jurca Marius Christian Verfahren zur qualitätssicherung beim laserstrahlschweissen und -schneiden
EP1886757A1 (de) * 2006-08-07 2008-02-13 LVD Company NV Anordnung und Verfahren zur On-Line-Überwachung des Laserprozesses eines Werkstückes unter Verwendung eines Wärmekameradetektors und eines Schiefspiegels
US9289852B2 (en) 2011-01-27 2016-03-22 Bystronic Laser Ag Laser processing machine, laser cutting machine, and method for adjusting a focused laser beam
US9296067B2 (en) 2011-01-27 2016-03-29 Bystronic Laser Ag Laser processing machine, in particular laser cutting machine, and method for centering a laser beam, in particular a focused laser beam
US9839975B2 (en) 2013-12-12 2017-12-12 Bystronic Laser Ag Method for configuring a laser machining machine
US9937590B2 (en) 2010-07-22 2018-04-10 Bystronic Laser Ag Laser processing machine

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1990007398A1 (de) * 1988-12-30 1990-07-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von werkstücken mit laserstrahlung
WO1990010520A1 (de) * 1989-03-14 1990-09-20 Jurca Marius Christian Verfahren zur qualitätssicherung beim laserstrahlschweissen und -schneiden
EP1886757A1 (de) * 2006-08-07 2008-02-13 LVD Company NV Anordnung und Verfahren zur On-Line-Überwachung des Laserprozesses eines Werkstückes unter Verwendung eines Wärmekameradetektors und eines Schiefspiegels
US7863544B2 (en) 2006-08-07 2011-01-04 Lvd Company Nv Arrangement and method for the on-line monitoring of the quality of a laser process exerted on a workpiece
US9937590B2 (en) 2010-07-22 2018-04-10 Bystronic Laser Ag Laser processing machine
US9289852B2 (en) 2011-01-27 2016-03-22 Bystronic Laser Ag Laser processing machine, laser cutting machine, and method for adjusting a focused laser beam
US9296067B2 (en) 2011-01-27 2016-03-29 Bystronic Laser Ag Laser processing machine, in particular laser cutting machine, and method for centering a laser beam, in particular a focused laser beam
US9839975B2 (en) 2013-12-12 2017-12-12 Bystronic Laser Ag Method for configuring a laser machining machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3739862C2 (de)
DE10113518B4 (de) Verfahren zur Messung des Verschmutzungsgrades eines Schutzglases eines Laserbearbeitungskopfs sowie Laserbearbeitungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
DE3926859C2 (de)
DE3007160C2 (de) Gerät zur Laserstrahl-Bearbeitung metallischer Werkstücke
EP1693141B1 (de) Anordnung und Verfahren zur ortsaufgelösten Temperaturmessung bei einem Laserbearbeitungsverfahren
DE102010015023B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätssicherung und Prozesskontrolle bei der Laserbearbeitung von Werkstücken
DE102015001421A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Strahldiagnose an Laserbearbeitungs-Optiken (PRl-2015-001)
WO2017137022A1 (de) Analyse von laserstrahlen in anlagen für generative fertigung
EP0252268A2 (de) Verfahren zur Überwachung des Bearbeitungsprozesses mit einer Hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem Laser, und Bearbeitungsoptik zur Durchführung desselben
DE102013008647B4 (de) Laserbearbeitungsvorrichtung mit zwei adaptiven Spiegeln
DE2627254C3 (de) Verfahren zur Messung oder Regelung der Temperatur eines Graphitrohres
DE102013008645B3 (de) Bearbeitungskopf für eine Laserbearbeitungsvorrichtung, Laserbearbeitungsvorrichtung sowie Verfahren zum Messen von Veränderungen der Brennweite einer in einem Bearbeitungskopf enthaltenen Fokussieroptik
EP0421135A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Position und des Durchmessers des Brennflecks (Fokus) eines Laserstrahls, insbesondere zur Verwendung für die Werkstoffbearbeitung mit einem Hochleistungs-Laserstrahl
DE4126351A1 (de) Verfahren zum bearbeiten von werkstueckoberflaechen mit laserstrahlung
DE69300432T2 (de) Laservorrichtung, insbesondere Laser-Roboter, mit einem Fokussierkopf, der mit Sensoren für die Qualitätsbestimmung des Prozesses in einem automatischen Produktionssystem ausgestattet ist.
DE8710866U1 (de) Werkstückbearbeitungsvorrichtung
DE3726466A1 (de) Werkstueckbearbeitungsvorrichtung
DE69518414T2 (de) Sensor zur positionserfassung eines strahlenbündels
EP0309973A1 (de) Verfahren zum thermischen Bearbeiten von Bauteilen in festem Zustand mit einem Laserstrahl
DE3934640C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturregelung bei Laserbestrahlung
DE4017286A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum loeten und entloeten
AT398177B (de) Verfahren zum löten und vorrichtung zur durchführung dieses verfahrens
EP0674965B1 (de) Verfahren zur Überwachung der Einschweisstiefe in Werkstücken beim Laserstrahlschweissen
DE4006622C2 (de) Vorrichtung zum Überwachen von mit Laserstrahlung bearbeiteten Werkstücken
DE2700713A1 (de) Verfahren zur beruehrungslosen messung von schleifkanten und schleifwinkeln von werkstoffen die mit schleifmaschinen bearbeitet werden