DE8707001U1 - Small gas scrubber - Google Patents

Small gas scrubber

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DE8707001U1 DE8707001U DE8707001U DE8707001U1 DE 8707001 U1 DE8707001 U1 DE 8707001U1 DE 8707001 U DE8707001 U DE 8707001U DE 8707001 U DE8707001 U DE 8707001U DE 8707001 U1 DE8707001 U1 DE 8707001U1
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases

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  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Description

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DipWrig. H.-J. Uppert '.'■·.' V* &idigr;DipUng. W. Wh«» :'::!:'
DipWrig. H.-J. Uppert '.'■·.' V* &idigr;

Patentanwälte
Frankenforater Straße 137
O Bergisch QI0CJb8Ch 1Patent attorneys
Frankenforater Straße 137
O Bergisch QI 0 CJb 8 Ch 1

Kunststof^techiiik KGKunststofftechiiik KG

52T0 Troisdoff52T0 Troisvierges -% - %

Die Erfindung betrifft einen Kleingaswäscher zum Abfangen von flüssigen und gasförmigen SchadstoffenThe invention relates to a small gas scrubber for capturing liquid and gaseous pollutants

, c aus der Abluft.
Io, c from the exhaust air.
Io

Derartige Kleingaswäscher können in verschiedenen Industrieprozessen eingesetzt werden, in denen flüssige oder gasförmige Schadstoffe abgegeben werden und in die Abluft gelangen. Um zu verhindern, daß solche | Schadstoffe in die Atmosphäre gelangen, wird die Abluft von einem derartigen Kleingaswäscher angesaugt ; und gereinigt und die gereinigte Luft dann in die 5 Such small gas scrubbers can be used in various industrial processes in which liquid or gaseous pollutants are released and enter the exhaust air. In order to prevent such pollutants from entering the atmosphere, the exhaust air is sucked in by such a small gas scrubber and cleaned and the cleaned air is then fed into the 5

Atmosphäre geleitet. :atmosphere. :

&iacgr;&iacgr;

Insbesondere bei der Herstellung von Halbleitern rEspecially in the production of semiconductors r

fallen bei verschiedenen Produktionsprozessen, |occur in various production processes, |

beispielsweise beim Ätzen, im sogenannten Cleaner, bei ^for example during etching, in the so-called cleaner, at ^

der Ionenimplantation, Schadgase an. Während größere &iacgr;of ion implantation, harmful gases. While larger &iacgr;

Gaswaschanlagen für die Industrie bereits bekannt * 30Gas scrubbing systems for industry already known * 30

sind, fehlt es an einem kompakten Kleingaswäscher, der für geringere Abluftmengen, bis zu ZOO m3/h und für die Abscheidung verschiedener Schadstoffe eingesetzt werden kann.There is a lack of a compact small gas scrubber that can be used for smaller exhaust air volumes, up to 200 m 3 /h, and for the separation of various pollutants.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einenThe invention is based on the object of

solchen kompakten Kleingaswäscher zu schaffen, der zur ,to create such a compact small gas scrubber, which can be used for ,

Beseitigung der verschiedensten Schadstoffe eingesetzt werden kann.can be used to remove a wide variety of pollutants.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Kombination folgender Bauteile gelöst» die in einen gemeinsamen Geräterahmen aus Profilstahl eingesetzt sind!This object is achieved according to the invention by the combination of the following components, which are inserted into a common device frame made of profile steel!

Einen Gaswaschturm mit FUl1korperschicht und Sprüh* einrichtung, einen Behälter für eine Waschfl üssigkeit mit umwälzpumpe, einen Tröpfen- üfid Aerosolabscheider, einen Ventilator am Ausgang des Abscheiders und die dazugehörigen Verbindungsrohre, Ventile, Meßinstrumente und Regeleinrichtungen sowie ein Schaltschrank, der die automatische Steuerung des Kleingaswäschers besorgt.A gas scrubbing tower with a filler layer and spray device, a container for a scrubbing liquid with a circulation pump, a droplet and aerosol separator, a fan at the outlet of the separator and the associated connecting pipes, valves, measuring instruments and control devices as well as a control cabinet that provides the automatic control of the small gas scrubber.

Vorzugsweise sind dabei auch Meß- und Regelvorrichtungen für das Flüssigkeitsniveau im Waschflüssigkeitsbehälter sowie für den pH-Wert der Waschflüssigkeit vorgesehen, sowie eine Sprühvorrichtung für Waschwasser zur Reinigung des Tropfen- und Aerosolabscheiders.Preferably, measuring and control devices for the liquid level in the washing liquid container and for the pH value of the washing liquid are also provided, as well as a spray device for washing water to clean the droplet and aerosol separator.

Dadurch, daß die einzelnen Bauteile des Kleingaswäschers dicht über- und nebeneinander angeordnet sind, ist eine kompakte Bauweise möglich geworden, die einen geringen Raumbedarf und einen problemlosen Transport an den gewünschten Einsatzort garantiert.Because the individual components of the small gas scrubber are arranged close together, a compact design has become possible, which guarantees a small space requirement and problem-free transport to the desired location.

Die Erfindung wird nachstehend in einem Aus-30 The invention is described below in an embodiment 30

führungsbeispiel anhand der Zeichnung näher erläutert.example is explained in more detail using the drawing.

Dabei zeigenShow Fig. 1 eine Seitenansicht des Kleingaswäschers;Fig. 1 is a side view of the small gas scrubber; Fig. 2 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles II inFig. 2 is a view in the direction of arrow II in

" - "■' "..&Ggr;,,&iacgr;-HrilMi!,..,,«.!1!! "I &mdash;J« -*■»" " - "■'"..&Ggr;,,&iacgr;-HrilMi!,..,,«.! 1 !! "I &mdash;J« -*■»" Fig. 3Fig.3 a <·. · . » (I
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Fig. 45
Fig.4 Fig. IiFig. Ii bis 3to 3 eine Ansicht ina view in Richtung des PfeilesDirection of the arrow Im UnterteiIn the lower part Fig. 1 undFig. 1 and !stahl!steel aufaebautbuilds up ein Fließschemaa flow chart des in den Fig. 1of the in Fig. 1 zu dento the dargestellten Klshown Kl eingaswäschers.single gas scrubber. 1 des Geräterahmens 19, der aus Profi1 of the device frame 19, which is made of professional ist und von a'and from a'

IOIO

eingebauten Bauteilen gestattet, befindet sich eininstalled components, there is a

Behälter 2 zur Aufnahme der Waschflüssigkeit. Je nach den abzuscheidenden bzw. unschädlich zu machenden f Schadgasen oder als Aerosol in der Abluft verteiltenContainer 2 for collecting the washing liquid. Depending on the harmful gases to be separated or rendered harmless or distributed as an aerosol in the exhaust air,

flüssigen Schadstoffen wird als Waschflüssigkeit 15liquid pollutants is used as washing liquid 15

verdünnte Säure, beispielsweise Schwefelsäure, oderdiluted acid, such as sulphuric acid, or

aber eine verdünnte Lauge, beispielsweise Kalilauge, verwendet.but a diluted alkali, for example potassium hydroxide, is used.

Im Waschflüssigkeitsbehälter 2 befindet sich eine 20In the washer fluid container 2 there is a 20

Umwälzpumpe 3, als Tauchpumpe, die die Waschflüssigkeit über Verbindungsrohre der Sprüheinrichtung 8 im Gaswaschturm 1 zuführt, die noch nachstehend besprochen werderi.Circulation pump 3, as a submersible pump, which supplies the washing liquid via connecting pipes to the spray device 8 in the gas washing tower 1, which will be discussed below.

OKOK

Außerdem befindet sich im Waschflüssigkeitsbehälter 2 ein Niveaufühler 21 mit angeschlossenem Regler, der nach Verbrauch einer gewissen Waschflüssigkeitsmenge "für selbsttätige Nachdosierung von Säure oder LaugeIn addition, the washing liquid tank 2 contains a level sensor 21 with a connected regulator, which after a certain amount of washing liquid has been used up "for automatic re-dosing of acid or alkali

über eine dem Behälter zugeordnete Dosierpumpe 20 vomvia a dosing pump 20 assigned to the container from the

3030

Zulauf 14 bzw. von Waschwasser zur AufrechterhaltungInlet 14 or wash water to maintain

der gewünschten Konzentration über einen Zulauf 12 sorgt.the desired concentration via an inlet 12.

Desweiteren ist ein Meßfühler 22 für den pH-Wert in der Rücklaufleitung dicht oberhalb des Waschf1üssigkeitsbehälters 2 angeordnet, der, in Verbindung mitFurthermore, a sensor 22 for the pH value is arranged in the return line just above the washing liquid container 2, which, in conjunction with

i tit ' · » i tit ' · »

den Reglern im Schaltschrank 7, in an sich bekannter Weise für die Aufrechterhaltung des gewünschten pH-Wertes bzw, der Konzentration der Waschlösung sorgt*the controllers in the control cabinet 7, in a known manner, ensure that the desired pH value or the concentration of the washing solution is maintained*

Überflüssige Waschflüssigkeit kann durch ein Ventil Vom Boden des Waschflüssigkeitsbehälters abgenommen I Und einem Auslauf 15 zugeführt werden.Excess washing liquid can be removed through a valve from the bottom of the washing liquid container I and fed to an outlet 15.

I Der Kleingaswäscher gestattet auch eine automatischeI The small gas scrubber also allows automatic

&Pgr; IQΠIQ

■i Absalzung, gesteuert von einem Mengenzäh'ler an der ■i Desalination, controlled by a flow meter on the

|| Dosierpumpe, durch den die Gesamtmenge der zudosierten|| Dosing pump, through which the total amount of the dosed

I Säure oder Lauge begrenzt wird. Diese Gesamtmenge kannI acid or alkali. This total amount can I individuell eingestellt werden. Wird dieser ein-I can be set individually. If this is set I gestellte Sollwert überschritten, dann wird ein TeilI set value is exceeded, then a part

* 15 der Waschvorlage über einen besonderen Ausla3 13 einer* 15 of the washing template via a special outlet 13 of a

I Abwasserbehandlungsanlaae zugeführt, die nichtI Wastewater treatment plants that are not I Gegenstand der Erfindung ist.I is the subject of the invention. I Direkt oberhalb des Waschfl üssigkeitsbehälters 2, aufI Directly above the washer fluid tank 2, on

1 20 diesen aufgebaut, befindet sich ein rohrförmiger1 20 This is built up, there is a tubular

i Gaswaschturm 1 mit einem seitlichen Eintrittsstutzen i Gas scrubbing tower 1 with a side inlet nozzle

&mgr; 18 an seinem unteren Ende, dem in Richtung des Pfeilesμ 18 at its lower end, in the direction of the arrow

J 10 (Fig. 4) die mit Schadstoffen belastete AbluftJ 10 (Fig. 4) the exhaust air contaminated with pollutants

1 zugeführt wird.1 is supplied.

S 25 S25

I Oberhalb dieses Eintrittsstutzens befindet sich imI Above this inlet nozzle is located in the I Gaswaschturm 1 eine Füllkörperschicht 9, der ins-I Gas scrubbing tower 1 a packing layer 9, which in total I besondere für eine gleichmäßige Geschwindigkeitsver-I especially for a uniform speed distribution I teilung im Gaswaschturm sorgt und sodann als Intensiv-I division in the gas scrubbing tower and then as intensive

|i 30 waschzone wirkt. Oberhalb dieser Füll körperschi cht befinden sich im Gaswaschturm 1 übereinander zwei Sprüheinrichtungen 8, die eine ihnen durch Verbindungsrohre von der Umwälzpumpe 3 zugeführte Waschflüssigkeit aufwärts und abwärts versprühen und damit 35 eine intensive Auswaschung der Schadstoffe bewirken.|i 30 washing zone. Above this packing layer, two spray devices 8 are located one above the other in the gas washing tower 1, which spray a washing liquid fed to them through connecting pipes from the circulation pump 3 upwards and downwards and thus bring about an intensive washing out of the pollutants.

Seitlich der Sprüheinrichtungen befinden sich Sicht-On the side of the spraying devices there are sight

V <· &igr; · - * It III LI · V <· &igr; · - * It III LI ·

stutzen 16 und 17 und am oberen Ende des Gaswaschturmes 1 ist eine Lampe zur Beleuchtung des Inneren des Gaswaschturmes 1 angeordnet. Man kann also den Sprühvorgang während des Betriebes durch die beiden Sichtstutzen 16 und 17 beobachten.nozzles 16 and 17 and at the upper end of the gas washing tower 1 there is a lamp for illuminating the interior of the gas washing tower 1. The spraying process can therefore be observed during operation through the two viewing nozzles 16 and 17.

Am oberen Ende des Gaswaschturmes 1 ist, direkt seitlich an den Gaswaschturm angesetzt, ein Tropfen- und Aerosol abscheider 4 angeordnet, an den sichAt the upper end of the gas scrubbing tower 1, directly on the side of the gas scrubbing tower, a droplet and aerosol separator 4 is arranged, to which

wiederum seitlich dicht ein Ventilator 5 anschließt, IOIn turn, a fan 5 is connected to the side, IO

der den erforderlichen Unterdruck zum Ansaugen der verunreinigten Abluft bei 10 und ihren Durchtritt durch den Gaswaschturm und den Abscheider erzeugt und die gereinigte Luft bei 11 in die Atmosphäre austretenwhich generates the necessary negative pressure to suck in the contaminated exhaust air at 10 and pass it through the gas scrubbing tower and the separator and the cleaned air to escape into the atmosphere at 11

läßt.
15leaves.
15

Der Geräterahmen des Kleingaswäschers enthält außer den vorgenannten Bauteilen sämtliche Verbindungsrohre, Ventile, Meßinstrumente und Regeleinrichtungen. Das zum Reinigen des Tropfen- und Aerosolabscheiders 4In addition to the aforementioned components, the device frame of the small gas scrubber contains all connecting pipes, valves, measuring instruments and control devices. The device for cleaning the droplet and aerosol separator 4

erforderliche Wasser wird diesem über eine (nicht bezeichnete) Sprüheinrichtung zugeführt, die über ein Ventil von der Frischwasserleitung 12 her versorgt wird.The required water is supplied to it via a (not designated) spray device, which is supplied via a valve from the fresh water line 12.

Es sei noch bemerkt, daß der Kleingaswäscher ohne weiteres mit einer zusätzlichen Einrichtung zur oxidativen Behandlung der Waschflüssigkeit ausgerüstet werden kann. Dadurch können auch gewisse Schadstoffe, wie beispielsweise Phosphorwasserstoff oder Arsenwas-It should also be noted that the small gas scrubber can easily be equipped with an additional device for the oxidative treatment of the scrubbing liquid. This also makes it possible to remove certain pollutants, such as phosphine or arsenic water.

v serstoff oxidiert werden. Die dadurch entstehenden Säuren, beispielsweise Phosphorsäure oder Arsensäure, können dann in der alkalischen Waschflüssigkeit neutralisiert werden. Das Oxidationsmittel kann von Hand oder auch automatisch über eine Redox-Meß- und v hydrogen. The resulting acids, such as phosphoric acid or arsenic acid, can then be neutralized in the alkaline washing liquid. The oxidizing agent can be added manually or automatically via a redox measuring and

Steuereinrichtung zugegeben werden.Control device must be added.

&bull; *· * * litt&bull; *· * * suffered

Claims (4)

Pipl.-lng. W. DahlTje-·. . · j»·. . ',··'. .·' DipL-Ing.H.-J.LippWrt···0 *··'···' \»' ' Patentanwälte Frankenforster Straße 137 -j 2 . Mai 1987 D/Sw =>OR0 Bergisch GIadbach 1 Kunststofftechnik KG Troisdorf AnsprüchePipl.-lng. W. DahlTje-·. . · j»·. . ',··'. .·' DipL-Ing.H.-J.LippWrt···0 *··'···' \»' ' Patent Attorneys Frankenforster Straße 137 -j 2 . May 1987 D/Sw =>OR0 Bergisch GIadbach 1 Kunststofftechnik KG Troisdorf Claims 1. Kleingaswäscher zum Abfangen von flüssigen und gasförmigen Schadstoffen aus der Abluft, g e-1. Small gas scrubbers for capturing liquid and gaseous pollutants from the exhaust air, kennze ichnet durch eine 15I identify myself by a 15 Kombination folgender Bauteile, eingebaut in einen gemeinsamen Geräterahmen aus Profilstahl:Combination of the following components, installed in a common device frame made of profile steel: a) Rohrförmigen vertikal angeordneter Gaswaschturm (1) mit einem Eintrittsstutzen (18) ama) Tubular vertically arranged gas scrubbing tower (1) with an inlet nozzle (18) on the unteren Ende, einer darüber eingesetztenlower end, a Füll körperschicht (9) und mindestens e\p.er Sprüheinrichtung (8);packing layer (9) and at least one spray device (8); b) Behälter (2) für eine Waschflüssigkeit, unter-25 b) Container (2) for a washing liquid, under-25 halb des Gaswaschturms (1), mit einer Umwälzpumpe (3);half of the gas scrubbing tower (1), with a circulation pump (3); c) Tropfen» und Aerosol abscheider (4) am oben liegenden Austrittsentie des Gaswaschturmesc) Droplet and aerosol separator (4) at the upper outlet of the gas scrubbing tower (Ds(Ds d) Ventilator (5) am Ausgang des Abscheiders (4);d) fan (5) at the outlet of the separator (4); e) Verbindungsrohre, Ventile, Meßinstrumente und Regeleinrichtungen sowie Schaltschrank (7).e) connecting pipes, valves, measuring instruments and control devices as well as control cabinet (7). 2. Kleingaswäscher nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Meß- und Regelvorrichtung für das Flüssigkeitsniveau im Waschflüssigkeitsbehälter vorgesehen ist.2. Small gas scrubber according to claim 1, characterized in that a measuring and regulating device for the liquid level in the scrubbing liquid container is provided. 3. Kleingaswäscher nach Anspruch 1 und 2, d a-3. Small gas scrubber according to claim 1 and 2, d a- durch gekennzeichnet, daß eine Meß- und Regelvorrichtung für den pH-Wert der Waschflüssigkeit vorgesehen ist.characterized in that a measuring and control device for the pH value of the washing liquid is provided. 4. Kleingaswäscher nach Anspruch 1 bis 3, d a-4. Small gas scrubber according to claim 1 to 3, d a- durch gekennzeichnet, daß eine Sprühvorrichtung für Waschwasser zur Reinigung des Tropfen- und Aerosolabscheidars vorgesehen ist.characterized in that a spray device for washing water is provided for cleaning the droplet and aerosol separator. #» * 11 &igr; ti#» * 11 &igr; ti
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Cited By (2)

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DE9101439U1 (en) * 1991-02-08 1991-05-08 KT Kunststofftechnik GmbH, 5210 Troisdorf Laboratory gas scrubber
DE19951184A1 (en) * 1999-10-23 2001-05-17 Wolfgang Adamski Mobile compact stripper, for removing dust from gas stream, has chassis, drive and removal machine consisting of housing divided into first shaft and second shaft by dividing wall

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