DE838167C - - Google Patents

Description

Dk vorliegende Erfindung t>etrifft keramische Körper, die mit einem Metallüberzug versehen sind, sowie ein Verfahren zum Metallisieren der Oberfläche keramischer Teile. Solche metallisierte Flächen sind zur Herstellung dichter Verbindungen zwischen Keramikteilen oder zwischen keramischen Körpern und Metallen von l>eson.derer Bedeutung. Die Erfindung hat sich insl>esondere auf dem Gebiet der hermetisch verschlossenen Hüllen für Elektronenentladungseinrichtungen, deren Wamdteile aus keramischem Werkstoff l>estehen, bewährt.The present invention relates to ceramic bodies which are provided with a metal coating, and a method for metallizing the surface ceramic parts. Such metallized surfaces are used to produce tight connections between ceramic parts or between ceramic bodies and metals of particular importance. The invention has proven itself particularly in the field the hermetically sealed covers for electron discharge devices, whose vest parts are made of ceramic material, proven.

Den Gegenstand der Erfindung bilden keramische, mit einer metallischen Oberfläche versehene Körper, insl>esondere für elektrische Ent'ladungseinrichtungen, die dadurch gekennzeichnet sind, daß die metallische Oberfläche ein dünner Ül>erzug aus einem Metall mit einem höheren Schmelzpunkt als Mangan, vorzugsweise aus Molybdän, Wolfram, Eisen oder Nickel ist, welcher Überzug miit dem keramischen Körper durch Mangan innig verbun- ao den ist. Das Verfahren gemäß der Erfindung zur Herstellung eines keramischen Körpers der angegebenen Art besteht im wesentlichen darin, daß zunächst ein Überzug aus einer Pulvermischung aus dem Metallpulver der Metalle mit einem höheren as Schmelzpunkt als Mangan und aus diem Pulver von metallischem Mangan, das vorzugsweise ungefähr 10 Gewichtsprozent der Mischung ausmacht, auf die Oberfläche des Körpers aus keramischem Material aufgebracht und diese Mischung auf eine genügend hohe Temperatur erhitzt wird, um sie mit dem keramischen Körper zu verbinden.The subject of the invention is formed by ceramic surfaces provided with a metallic surface Body, especially for electrical discharge devices, which are characterized in that the metallic surface consists of a thin oil a metal with a higher melting point than manganese, preferably made of molybdenum, tungsten, Iron or nickel is what coating with the ceramic body is intimately connected by manganese. The method according to the invention for Production of a ceramic body of the type specified consists essentially in that first a coating of a powder mixture of the metal powder of the metals with a higher as Melting point as manganese and from the powder of metallic manganese, which is preferably approximately 10 percent by weight of the mixture makes up the surface of the body of ceramic material applied and this mixture is heated to a temperature high enough to make it to connect with the ceramic body.

Zur Verbindung von Metallen und keramischem Werkstoff oder von Keramikteilen mitteinander sind verschiedene Verfahren bekannt. Neben mechanischen Mitteln, wie Niete oder Klammern, wurden schon früher Überzugsverfahren vorgeschlagen. Gemäß einem bekannten Verfahren zur Herstellung vakuumdichter Verbindungen zwischen einem metallischen Körper und keramischem Material wird das Metall des metallischen Körpers mitFor joining metals and ceramic material or ceramic parts with one another various methods are known. In addition to mechanical means, such as rivets or clamps, coating processes have been proposed previously. According to a known method for Manufacture of vacuum-tight connections between a metallic body and ceramic material becomes the metal of the metallic body with

ίο anderen Metallen, die, wie Silicium, Mangan, Zinn, Lithium, Phosphor, fähig sind, sich mit dem keramischen Material chemisch umzusetzen, legiert und die Legierung auf die keramische Ol>erfläche aufgeschmolzen. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird auf dem keramischen Material ein sehr dünner metallischer Überzug unter Verwendung metallischer Pulver vorgesehen.ίο other metals that are capable of chemically reacting with the ceramic material, such as silicon, manganese, tin, lithium, phosphorus, are alloyed and the alloy is melted onto the ceramic oil surface. According to the present invention, a very thin metallic coating is provided on the ceramic material using metallic powders.

Die Erfindung gewährleistet eine verbesserte Ausführung von größerer Festigkeit und Zuverlässig-The invention provides an improved performance of greater strength and reliability

ao keil. Das Verfahren nach der Erfindung ist besonders einfach und kann unter den üblichen Fertigungsljedingungen durchgeführt werden.ao wedge. The method according to the invention is particularly simple and can be among the usual Manufacturing conditions are carried out.

In der Technik der Elektronenentladungseinrichtungen !«sitzen keramische Materialien, l>esonders für solche, diein Verbindung mit Hochfrequenzfeldern verwendet werden, beträchtliche Vorteile, welche darauf !«ruhen, daß keramische Werkstoffe im allgemeinen Eigenschaften aufweisen, die den jetzt in Verwendung steinenden Materialien, wie Glas, nicht zukommen. Bei vielen zur Zeit !«kannten Röhrenkonstruktionen könnten daher solche Materialien mit Vorteil durch keramische Werkstoffe ersetzt werden, wenn verläßliche Verbindungen von ausreichender mechanischer Festigkeit und Dichtungseigenschaften in einer für die Massenproduktion umd die üblichem Fertigungeverfahren brauchbarem Form verfügbar wären. Unter den Eigenschaften keramischer Werkstoffe, welche für diese Technik Vorteile bieten, soll erwähnt werden, daß gewisse keramische Werkstoffe nur einen kleinen Bruchteil des dielektrischen Verlustes im Vergleich zu Glas aufweisen (bei bestimmtem Magnesiumsilicatmassen weniger als 25¹Vo des dielektrischen Verlustes der Ijesten Glassorten), daß die hohe Erweichungstemperatur von keramischen Werkstoffen die Anwendung wesentlich höherer Temperaturen sowohl bei den Herstellungsgängen als auch bei der bestimrnungsgemäßen Verwendung der Röhren gestattet, daß l>estimmte keramische Werkstoffe gegen rasches Erhitzen und Abkühlen widerstandsfähiger sind, ohne zu springen, daß das Fehlen von Rest spannungen in keramischen Massen nach der Herstellung eine Glühl>ehandlung und ein Schwinden zufolge von Restspamnungen vermeiden läßt, daß die hohen spezifischen Widerstandskonstanteti von keramischen Werkstoffen bei geringerer Gefahr einer Elektrolyse in den Dichtungsverbindungen dlie Anwendung erhöhter Betriebstemperaturen gestatten, daß die Dichtungen auch in einer anderen als einer oxydierenden Atmosphäre, welche die derzeitige Technik der Verbindung von Glas und Metall erfordert, hergestellt werden können, daß die Abwesenheit von Oxyden, welche sich bei Dichtungen mit Glas immer bilden, diie Schwierigkeiten auf ein Minimum herabsetzt, die mit diem problem des Restgases in der gedichteten Hülle zusammenhängen, daß keramische Massen auf einfache Weise gemahlen und maschinellen Arbeitsgäinigen, welche zu genau dimensionierten Teilen führen, unterworfen werden können.Ceramic materials, especially for those used in connection with high-frequency fields, have considerable advantages in the technology of electron discharge devices Glass, not to come. In the case of many tube constructions known at the time, such materials could therefore advantageously be replaced by ceramic materials if reliable connections of sufficient mechanical strength and sealing properties were available in a form suitable for mass production and the usual manufacturing processes. Among the properties of ceramic materials, which offer advantages for this technology, it should be mentioned that certain ceramic materials have only a small fraction of the dielectric loss compared to glass (with certain magnesium silicate ^{mass less than 25 1} Vo of the dielectric loss of the most recent types of glass), that the high softening temperature of ceramic materials allows the use of significantly higher temperatures both in the production processes and in the intended use of the tubes, that certain ceramic materials are more resistant to rapid heating and cooling without jumping, that the absence of residual stresses In ceramic masses after manufacture, annealing and shrinkage due to residual sponges can be avoided Higher operating temperatures allow the gaskets to be made in an atmosphere other than an oxidizing atmosphere which the current technique of joining glass and metal requires, the difficulty of the absence of oxides which always form in gaskets with glass a minimum, which is related to the problem of the residual gas in the sealed envelope, that ceramic masses can be ground in a simple manner and machine workers, which lead to precisely dimensioned parts, can be subjected.

Die Erfindung zielt im allgemeinen darauf ab, keramische Metallüberzüge auf keramischen Werkstoffen vorzusehen, welche die Herstellung dichter Verbindungen zwischen dem keramischen Material und einem arideren Teil aus keramischem Werkstoff oder Metallen erleichtert, sowie ein Verfahren, welches für die oben angegebenen Zwecke in ge-■eigneter Weise anwendbar ist und die erwähnten Vorteile zeigt.The invention generally aims to provide ceramic metal coatings on ceramic materials provide which the production of tight joints between the ceramic material and a different part made of ceramic material or metals, as well as a method, which is suitable for the purposes indicated above Is applicable and shows the advantages mentioned.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist ein Verfahren zur Aufbringung eines Metallüberzuges auf keramischen Werkstoffen zu schaffen, welches einfach in der Ausführung ist und dazu benutzt werden kann, hermetisch schließende Verbindungen großer Festigkeit und Starrheit herzustellen und das besondlers für den hermetischen Verschluß von Hüllen, wie Hüllen für Elektronenentladungseinrichtungen, geeignet ist, in welchen die in der Technik bisher, verwendeten Tei'lte aus Glas oder ähnlichem Material durch keramische Teile von niedrigem dielektrischem Verlust und hoher Temperaturbeständigkeit ersetzt sind.Another object of the invention is a method of applying a metal coating to ceramics To create materials that are easy to carry out and that can be used for this purpose able to produce hermetically sealed connections of great strength and rigidity and that extra special for the hermetic sealing of envelopes, such as envelopes for electron discharge devices, is suitable in which the parts previously used in technology are made of glass or similar material thanks to ceramic parts with low dielectric loss and high temperature resistance are replaced.

Die Erfindung selbst, ihre weiteren Zwecke und Vorteile werden im Zusammenhang mit den Zeichnungen, in der nachstehenden Beschreiibungerläutert. Die Fig. 1, 2 und 3 zeigen l>eispielsweise Ausführungeformen der Erfindung mit Bezug auf eine hermetisch gedichtete Hülle einer Elektronenentladungseinrichfuing, während Fig. 4 einen keramischen Teil mit einer gemäß der Erfindung metallisierten Oberfläche veranschaulicht.The invention itself, its further purposes and advantages are described in connection with the drawings, explained in the description below. FIGS. 1, 2 and 3 show exemplary embodiments the invention with reference to a hermetically sealed shell of an electron discharge device, while Fig. 4 shows a ceramic part with a metalized according to the invention Surface illustrated.

Das Grundprinzip der Erfindung l>eruht auf der Feststellung, daß bestimmte keramische Flächen mit einem festhaftenden Metallüberzug versehen werden können, wenn Metallpulver oder äquivalente Mischungen, die einen geeigneten Anteil Mangan enthalten, auf die Oberfläche des keramischen· Werkstoffes aufgebracht werden und das Ganze bei einer Temperatur über dem Schmelzpunkt des Mangans, vorzugsweise in einer reduzierenden Atmosphäre, wie Wasserstoff, oder im Vakuum erhitzt wird. Diese vorteilhafte Wirkung kommt offenbar dadurch zustande,' daß Mangan, !»sonders bei hohen Temperaturen, eine starke Affinität zu zahlreichen Substanzen, wie z. B. zu den die keramische Masse bildenden Elementen, besitzt. Keramische Teile mit derart metallisierten Ol>ernächen lassen sich mit Teilen aus gleichartigen keramischen Massen oder mit Metallteilen mit Hilfe von Lot mitteln, die auf die metallisierten Teile aufgebracht werden, festhaftend verlanden. Die auf diesen Grundlagen! beruhende Technik zur Verbindung von keramischem Werkstoff mit keramischem Werkstoff oder mit Metall ist in vielen Beziehungen, wie relative Einfachheit, niedrige Kosten und Leichtigkeit der Regelung der bei der Herstellung erforderlichenThe basic principle of the invention is based on the finding that certain ceramic surfaces can be provided with a firmly adhering metal coating, if metal powder or equivalent Mixtures containing a suitable proportion of manganese on the surface of the ceramic material applied and the whole thing at a temperature above the melting point of manganese, preferably heated in a reducing atmosphere such as hydrogen or in vacuo. This beneficial effect is evidently due to the fact that manganese, especially at high temperatures, a strong affinity for numerous substances, such as B. to the the ceramic mass constituent elements. Ceramic parts with such metallized oil can be wrought with Parts made of similar ceramic masses or with metal parts with the help of solder mean that on the metallized parts are applied, silt up firmly. Those on these bases! based Technology for joining ceramic material with ceramic material or with Metal is present in many relationships, such as relative simplicity, low cost, and ease of use Regulation of the necessary during manufacture

Apparaturen vorteilhaft. Außerdem hat das Verfahren den Vorteil, daß es den in der bisherigen Technik gebräuchlichen Fertigungsapparaturen und .YrtxMtsmethoden leicht angepaßt werden kanu. Als Beispiel der Anwendungsmöglichkeiten des ol>en angeführten Prinzips zeigen Fig. ι und 2 den Schnitt durch eineElektronenentladungseinrkhtung, welche aus den scheiljeniörmigen, parallelen metallischen Wänden ι und 2 und einer zentralen, quer ίο liegenden Metallwand 3 besteht, welche, zusammen mit dien zylindrischen S ei ten wänden 4 und 5 aus einer geeigneten keramischen Masse, eine hermeti'sch geschlossene Hülle bildet. Fig. 1 zeigt die Anordnung vor der endgültigen Fertigstellung, während Fig. 2 die fertige Einrichtung darstellt. Die Konstruktion ist im wesentlichen den bisher in der Technik verwendeten Konstruktionen, bei denen an Stelle der keramischen Zylinderwände 4 und 5 solche aus Glas verwendet werden, gleichartig. Um einen hermetischen Verschluß an den Verbindungsstellen, an welchen die Wände 4 und 5 mit den Metallteilen 1, 2 und 3 zusammenstoßen, zu bilden, werden die Endflächen der Wände 4 und 5 zuerst mit einem dünnen vorläufigen Überzug auis pulverisiertem Eisen, Molybdän, Wolfram oder Nickel, dem eine geeignete Menge (vorzugsweise etwa 10 Gewichtsprozent) pulverisierten Mangans beigemischt ist, versehen. Die Stoffe, mit welchen das Mangan vermischt wird, werden so gewählt, daß der Wärmeausdehnungskoeffizient des nach einer Hitzebehandlung erhaltenen Metallüberzuges den Ausdehnungskoeffizienten der jeweils für die Wände der Entladungsvorrichtung verwendeten keramischen Masse und Metalls angeglichen ist. Die mit diesem Olx*rrlächenül>erzug versehenen keramischen Wände 4 und 5 werden dann l>ei einer geeigneten Temperatur und vorzugsweise in einer reduzierenden Atmosphäre erhitzt, bis ein festhaftender metall iischer Überzug6 auf den Endflächen der Wände 4 und 5 erhalten worden ist. Der Zusammenbau kann beispielsweise ungefähr V2 Stunde lang bei etwa 1350⁰ C in einer Wasserstoffatmosphäre oder im Vakuum erhitzt werden, wenn die Mischung aus 90 Gewichtsprozent pulverisiertem Molybdän und io°/o (Gewicht) Mangan besteht.Apparatus advantageous. In addition, the method has the advantage that it can be easily adapted to the manufacturing equipment and methods used in the prior art. As an example of the possible applications of the above-mentioned principle, FIGS. 1 and 2 show the section through an electron discharge device, which consists of the sloping, parallel metallic walls 1 and 2 and a central, transverse metal wall 3 which, together with the cylindrical S. Ei th walls 4 and 5 made of a suitable ceramic mass, forming a hermetically sealed envelope. Fig. 1 shows the arrangement before the final completion, while Fig. 2 shows the finished device. The construction is essentially similar to the constructions previously used in the art, in which, instead of the ceramic cylinder walls 4 and 5, those made of glass are used. In order to form a hermetic seal at the joints where the walls 4 and 5 meet with the metal parts 1, 2 and 3, the end surfaces of the walls 4 and 5 are first coated with a thin preliminary coating of powdered iron, molybdenum, tungsten or Nickel mixed with a suitable amount (preferably about 10% by weight) of powdered manganese. The substances with which the manganese is mixed are chosen so that the coefficient of thermal expansion of the metal coating obtained after heat treatment is matched to the coefficient of expansion of the ceramic mass and metal used in each case for the walls of the discharge device. The ceramic walls 4 and 5 provided with this oil coating are then heated to a suitable temperature and preferably in a reducing atmosphere until a firmly adhering metallic coating 6 has been obtained on the end faces of the walls 4 and 5. The assembly can, for example, about V2 hour are heated at about 1350 ⁰ C in a hydrogen atmosphere or in a vacuum for, when the mixture of 90 weight percent of powdered molybdenum and io ° / o (weight) of manganese exists.

Es ist klar, daB die zu verwendende Manganmenge innerhalb weiter Grenzen variieren kann, ohne vom Erfindungsgedanken abzuweichen. Jedoch ergeben sich bessere Resultate, wenn diese Menge so niedrig als möglich gehalten wird. So wurde z. B. ein l'rozentgehalt der oIkmi angeführten Größenordnung als zweckmäßig befunden.It is clear that the amount of manganese to be used can vary within wide limits without deviating from the inventive concept. However better results will be obtained if this amount is kept as low as possible. So was z. B. a percentage of the order of magnitude listed found to be appropriate.

Heim Zusammenbau der Entladungseinrichtung in ihrer endgültigen Form kann, nachdem der Metallüberzug mit den Wandenden fest verbunden wurde, zwischen oder auf die Verbindungsstellen der Wände 4 und 5 und der Metallwände 1, 2 und 3 ein geeignetes Lötmittel, z. H. in Form des Ringes 7, eingebracht werden, welcher aus Silber, Gold, Kupfer oder einem anderen Metall bestehen kann. Das Lötmittel kann in irgendeiner Weise so aufgebracht werden, daß es beim Erhitzen zwischen die Flächen fließen kann. ,So kann es auch in dem durch die Verbindungsstellen gebildeten Winkel gegen die Wand gepreßt werden. Die entsprechenden Teile werden im wesentlichen in der in Fig. 1 gezeigten Stellung zusammengesetzt, um· die Verbindung der Teile zu vervollständigen, und anschließend in einer geeigneten, z. B. einer reduzierenden Wasserstoffatmosphäre oder im Vakuum auf eine Temperatur erhitzt, die ausreicht, das Lötmittel zu schmelzen. Es ist angezeigt, den letzteren Vorgang in einem Waseerstoffofen des herkömmlichen, bei den derzeit üblichen Herstellungsverfahren verwendeten Typs durchzuführen, obgleich dieser Vorgang auch in einem ähnlichen Vakuumapparat durchgeführt werden kann. In der Praxis läßt sich jedes beliebige geeignete Erhitzungsverfahren anwenden, wie z. B. Erhitzen durch Hochfrequeezinduktion elektrischer Ströme in den Metallteilen der Vorrichtung. Wenn die keramischen Wände 4 und 5 mit der Mangan-Metall-Mischung metallisiert und in der oben beschriebenen Art der Hi.tzebehandlung unterworfen werden, l>enetzt das Lötmittel diese Wände und haftet fest an diesen und zu gleicher Zeit leicht an den Metall wänden 1, 2 und 3.Home assembly of the discharge device in its final form can be done after the Metal coating was firmly connected to the wall ends, between or on the connection points the walls 4 and 5 and the metal walls 1, 2 and 3 a suitable solder, e.g. H. in the form of ring 7, be introduced, which can consist of silver, gold, copper or another metal. The solder can be applied in any way so that when heated it will be between the Surfaces can flow. So it can also be in the angle formed by the connection points against be pressed against the wall. The corresponding parts are essentially in that shown in FIG Position assembled to · complete the connection of the parts, and then in a suitable, e.g. B. a reducing hydrogen atmosphere or heated in vacuum to a temperature sufficient to melt the solder. It is indicated the latter operation in a conventional hydrogen furnace, at present conventional manufacturing process, although this process is also used in a similar vacuum apparatus can be performed. In practice, any one can be used use suitable heating methods, such as B. Heating by high frequency induction electrical Currents in the metal parts of the device. When the ceramic walls 4 and 5 with the manganese-metal mixture metallized and subjected to heat treatment in the manner described above the solder wets these walls and adheres firmly to them and at the same time lightly the metal walls 1, 2 and 3.

Selbstverständlich ist es auch möglich, unter geeigneten Bedingungen sowohl das Aufbringen des Metallüberzuges als auch das Verlöten gleichzeitig durchzuführen. Wenn z. B. die besondere, Mangan enthaltende Metallmischung und das Lötmittel bei oder um die gleiche Arbeitstemperatur gehandhabt werden können, ist es möglich, zu bewirken, daß beide gleichzeitig und einheitlich über die aneinanderstoßenden Flächen fließen.Of course, it is also possible, under suitable conditions, to apply the Metal coating and soldering to be carried out at the same time. If z. B. the special, manganese containing metal mixture and the solder is handled at or around the same working temperature It is possible to cause both to be simultaneously and uniformly across the abutting ones Surfaces flow.

Die Erfindung hat sich besonders bei keramischen Materialien l>ewährt, welche Zirkon- oder Magnesiumsilicate enthalten; jedoch sind je nach der Art der Reaktion auch andere Materialien gut brauchbar, sofern sie gegen die angegebenen Erhitzungstemperature^ widerstandsfähig sind. Derartige Materialien können andere Silicate, Titandioxyd, Berylliumoxyd, Tonerde usw. enthalten. Als Beispiel einer geeigneten Metailzusammensetzung für die Wände 1, 2 und 3 seien Molybdän oder Eisen mit einem Gehalt von 16 bis 30% Chrom mit Kupfer überzogen oder eine Legierung aus 54°/o Eisen, 28V0 Nickel, 18V0 Kobalt oder bestimmte Nickel-Ei sen-Legierungen, abhängig von den Ausdehnungskoeffizienten der gewählten Keramikmasse, erwähnt, no Die Materialien aller Teile der Vorrichtung sind so zu wählen, daß sie im wesentlichen den gleichen mittleren Ausdehnungskoeffizienten haben.The invention has proven particularly useful in ceramic materials which contain zirconium or magnesium silicates; however, depending on the nature of the reaction, other materials can also be used, provided they are resistant to the specified heating temperature. Such materials can include other silicates, titanium dioxide, beryllium oxide, clay, and the like. As an example of a suitable metal composition for walls 1, 2 and 3, molybdenum or iron with a content of 16 to 30% chromium are coated with copper or an alloy of 54% iron, 28% nickel, 18% cobalt or certain nickel-irons -Alloys, depending on the expansion coefficient of the selected ceramic mass, mentioned, no The materials of all parts of the device are to be selected so that they have essentially the same mean expansion coefficient.

Die Wände 1, 2 und 3 können als äußerlich zugängliche Elektroden für eine Anode 8, eine Kathode 9 und ein Gitter 10 dienen, wobei die Kathode mit einem geeigneten Erhitzern zur Erzeugung einer thermionischen Emission ausgestattet ist.The walls 1, 2 and 3 can serve as externally accessible electrodes for an anode 8, a cathode 9 and a grid 10 , the cathode being equipped with a suitable heater for generating a thermionic emission.

Fig. 3 zeigt eine wahlweise Ausführungsform der Erfindung, l>ei welcher, eine hermetisch verschlossene Hülle aus scheibenförmig gestalteten keramischen Abschlußwänden 12 uind 13 und keramischen zylindrischen Seitenwänden 14 und 15 vorgesehen ist. Die Metallanode 16 führt durch die Wand 12 in die Kammer der Einrichtung, während die Kathode 17 in gleicher Weise durch die Wand 13FIG. 3 shows an optional embodiment of the invention, 1 in which a hermetically sealed casing made of disc-shaped ceramic end walls 12 and 13 and ceramic cylindrical side walls 14 and 15 is provided. The metal anode 16 leads through the wall 12 into the chamber of the device, while the cathode 17 leads in the same way through the wall 13

hindurchgeführt ist. Ein scheibenförmiges Gitter 18, gleich dem in Fig. i, wird zwischen den Wänden 14 und 15 gehalten. Die Wände 14 und 15 werden mit den Wänden 12 und 13 dadurch verbunden, daß sie zuerst auf die gleiche Art, wie im Zusammenhang mit Fig. ι erläutert, mit einem metallischen Ül>erzug verseilen und die metallisierten Oberflächen anschließend verlötet werden. Die metallischen Teile, nämlich die Kathode 17, das Gitter 18 und die Anode 16 werden mit den Keramikteilen an den entsprechenden ßerührumgsstellen nach den l>ei Besprechung der Fig. 1 l>ereits beschriebenen Verfahren verbunden.is passed through. A disk-shaped grid 18, similar to that in Fig. I, is placed between the walls 14 and 15 held. The walls 14 and 15 are connected to the walls 12 and 13 in that they first in the same way as explained in connection with Fig. ι, with a metallic Wire rope and the metallized surfaces are then soldered. The metallic parts, namely the cathode 17, the grid 18 and the The anode 16 is connected to the ceramic parts at the appropriate contact points after the discussion 1 connected to the method previously described.

Fig. 4 zeigt einen Keramikteil mit einer auf diesem gebildeten Metalloberfläche. Dieser Teil besteht aus eimern zentralen Keramikkern 19, auf welchen Schichten 20 und 21 aus Molybdän, Wolfram, Eisen oder Nickel nach dem öl>eη beschriebenen Manganverfähren zum Überziehen von keramischem Werkstoff gebildet wurden. Ein derartiges Element kann z. B. als Kapazität verwendet werden, wobei die Überzüge 20 und 21 als gegenüberliegende Elektroden dienen.Fig. 4 shows a ceramic part with a metal surface formed thereon. This part consists from buckets central ceramic core 19 on which layers 20 and 21 made of molybdenum, tungsten, iron or nickel after the oil> eη described Manganese processes for coating ceramic material were formed. One such element can e.g. B. can be used as a capacitance, with the coatings 20 and 21 as opposing electrodes to serve.

Infolge der außerordentlich hoch liegenden Erweichungstemperaturen keramischer Massen behalten nach dem vorliegenden Verfahren hergestellte Teile ihre Stellung und Genauigkeit auch bei sehr hohen Temperaturen bei, so daß die Einrichtung ohne Gefahr, daß die Wände unter der Wirkung des äußeren Luftdruckes zusammenfallen, sehr hoch erhitzt werden kann.As a result of the extremely high softening temperatures Ceramic masses manufactured according to the present method keep their position and accuracy even with very high temperatures, so that the device without the risk of the walls under the action of the external air pressure collapse, can be heated very high.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS: i. Verfahren zur Herstellung eines metallischen Ül>erzu.ges auf einem keramischen Körper, vorzugsweise zur Herstellung eines vakuumdichten Verschlusses von elektrischen EntladungiSigefäßen, dadurch gekennzeichnet, daß ein dünner Überzug einer l'ulvermischung aus Mangan, das vorzugsweise 10 Gewichtsprozenit der Mischung ausmacht, und einem gepulverten hochschmelzenden Metall mit einem Schmelzpunkt ül>er dem des Mangans, vorzugsweise Molybdän, Wolfram, Eisen oder Nickel, auf die Oberfläche des Körpers aus keramischem Material aufgebracht und die Mischung zur Bindung mit dem keramischen Körper, vorzugsweise durch Hochfrequenzinduiktionserhitzunig in einer nichtoxydierenden Atmosphäre, über die S intertemperatur des Mangans erhitzt wird.i. Process for the production of a metallic oil on a ceramic body, preferably for making a vacuum-tight Closure of electrical discharge vessels, characterized in that a thin coating of a mixture of powder Manganese, which is preferably 10 percent by weight of the mixture, and one powdered Refractory metal with a melting point higher than that of manganese, preferably Molybdenum, tungsten, iron or nickel, on the surface of the body made of ceramic material applied and the mixture for bonding with the ceramic body, preferably through High frequency induction heating in a non-oxidizing Atmosphere, via the sinter temperature of the manganese is heated. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch- gekennzeichnet, daß die Pulvermischung auf eine Temperatur ü1)er dem Schmelzpunkt des Mangans, vorzugsweise auf etwa 1350⁰, während V2 Stunde erhitzt wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the powder mixture is heated to a temperature ü1) he the melting point of the manganese, preferably to about 1350 ⁰ , for V2 hour. 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Vereinigung von zwei stumpf aneinanderstoßenden Ol>erflächen, deren eine aus keramischem Material besteht, während die andere ebenfalls aus keramischem Material oder aber aus einem Metall besteht, die Pulvermischunig aus gepulvertem Mangan und aus diem gepulverten hochschmelzenden Metall, dessen Schmelzpunkt über dem des Mangans liegt, zusammen mit einem geeigneten Hartlot in die richtige Lage zur keramischen Oberfläche gebracht und die Gesamtverbinduing auf eine Temperatur erhitzt wird, l>ei der das Mangan und das Hartlot gleichzeitig über die stumpf aneinanderstoßenden Oberflächen fließen. ■3. The method according to claim 1 and 2, characterized in that for the union of two butt, butting oil surfaces, one of which is made of ceramic material, while the other also consists of ceramic material or of a metal, the powder mixture from powdered manganese and from the powdered refractory metal, its Melting point is above that of the manganese, together with a suitable braze in the brought the correct position to the ceramic surface and the overall connection to one temperature is heated, the manganese and the hard solder at the same time over the butt butted Surfaces flow. ■ Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings Q 5137 4.52 Q 5137 4.52