Polschuhsystem einer Magnetlinse mit auswechselbarer Aperturblende,
insbesondere für Elektronenmikroskope In; Korpuskullarstrahl!apparateni, Beispiels,
weise ,n hochauflösenden Elektronenmikro.-skopen, werd: magnetische Linsen verwendet,
die symmetrisch zur Strahlachse liegende Polschuhe aufweisen. Bei solchen Linsen
wird das die beiden Pols ,chuhie enthaltende System mit einem sie verbfindenden
Stück aus nicht magnetischem Material oft zu einem einheitlichen Lins,eneinsa@tzkärper
zusammenigefügt. In diesem Fall mach besondürs@ bei Systemen kleinster Brennweite
ein; Auswechseln der Aperturblend'e besondere Schwierni:gkaiten. Die für den Strahld'u:rchtritt
vorgesehenen Bohrungen, im Polschuhsystem werdend dabei nämlich, sio klein;, daß
die: Blende dann: nicht mehr durch, die Bohrungen hindurch in ihre Lage, beispielsweise
am bildseimigen Polschuh, gebracht werden, kann. Durch die Erfindung wird ein! Poilischuhsystem
gleschaffen, mit dem es gelingt, eine genügend große Blende, zu verwenden, ohne
bei sehr kleinen Bohrungen auf einte bequeme. Auswechiselbarkeit verzichten zu müssten.
Das. wird erfindungsgemäß dadurch; erreicht, d'aß einer der beiden. Linsenpol:schuhe,
vorzugsweise der bildseitige, aus zwei konzentrischen, meballiisch. gut anedn,
anderliegenden Teilen besteht, von denen der
innere als Blendenträger dient und bei zu-
sammengesetztem Polsch:ulisystem zusammen
mit der Blende aus dein äußeren Teil leicht
zu entfernen ist. Besonders vorteilhaft ist es.
den inneren Teil mit einer zvl.indrischen Pa:ß-
fläch2 zu versehen und in eine dazu passende
zylindrische Bohrung des äußeren Polschub-
teiles einzusetzen. Datei wird man mit Vor-
teil besondere Einstellvorriehtungen verwen-
den. die es gestatten, die Blende hinsichtlich
ilir2r axialen Lage zu verschieben. Man kann
zu diesem Zweck heispielsw,#ise den inneren
Teil des einen Polschuhes auf der dem wirk-
samen Linsenbereich abgewendeten Seite mit
einem Außengewinde versehen, das in. eine
mit Gewinde versehene Bohrung des äußeren
Polschuhteiles paßt. Die axiale Einstellung
der Blende «wird in diesem Fall bei geäffnetem
Mikroskop vorgenommen.
Für die zuletzt erwähnte Ausführungsform
der Erfindung ist in der Abbildung ein Aus-
Z5 dargestellt. Die Abbildung
zeigt einen Ouerschnitt durch den inneren
Einsa;tzlzörFer eines magnetischen Linsen-
svstems. Mit I und 2 sind die beiden ring-
förmigen Polschuhe des Systems bezeichnet.
Diese Polschuli:e sind mit Hilfe eines ring-
förmgen 24fessingstücl-zs 3 fest miteinander
verschraubt. Die äuliere Mantelfläche .l des
so gebildeten einheitlichen: Lin.se.neinsa.tz-
körpers ist in der aus. der Abbildung ersicht-
lichen tVe.ise konisch ausgebildet, so daß sie
in eine entsprech°n.de konische Paßfläche der
Linse eingesetzt werden kann.
Der untere-. bildseitige Polschuh 2 besteht
gemäß der Erfindung aus einem inneren Teil 5
und einem äußeren Teil 6. Der innere Teil j
ist a .n: seinem oberen Ende mit einer zvlin-
dri.sch,eii Paßfläche; versehen, die in eine-ent-
sprechende zylindrische Bohrung des Teiles 6
gut paßt. Das untere Ende des inneren Teiles
ist als ringförmi ger hopf 8 ausgebildet u nd
mit einem Gewinde 9 versehen, so. daß der
Teil 5 in das
io des Teiles t,
eingeschraubt werden kann. Durch diese -Ver-
schraubung ergibt sich auch leiht die 1-lög-
lichkeit, die Relativlage der vom Teil 5 ge-
haltenen Blende ii zum wirksamen
einzustellen. Die Teile j und 6 bilden
zusammen den unteren Polschuh der Linse.
Beide Teile bestehen daher aus magnetischem
Material. 'Man kann jedoch den Blendenträger i
auch aus unmagnetischein Material ausführen,
wenn man bei der Blendenverstellung jede
Änderung der Polschuliform vermeiden «will.
Abweichend von dem in der Abbildung
dargestellten Ausführungsheispiel kann man
die Verstelleinrichtung für die AxiaIlage der
Blenr_h i i auch so ausbil(h_n, da!3 die Blenden-
verstellung -,nährend des Betriebes des Elek-
tronenmikroskops möglich ist. 'Man wird zu
diesem Zweck den inneren Teil £ beispiels-
weise an geeigneter Stelle mit einem Zahntrieb
versehen, der durch ein von außen zu ver-
stellendes Zahnrad auf und ab bewegt «-erden
kann, bzw. den inneren Polschuhteil über eine
Schnecke und einen zum Polschuhteil konzen-
trischen Zahnkranz antreiben.
Pole shoe system of a magnetic lens with exchangeable aperture diaphragm, in particular for electron microscopes In; Korpuskullarstrahl! Apparateni, for example, n high-resolution electron microscopes, magnetic lenses are used that have pole pieces that are symmetrical to the beam axis. In such lenses, the system containing the two poles is often joined together with a piece of non-magnetic material connecting them to form a unitary lens, integral body. In this case, make a special @ for systems with the smallest focal length; Replacing the aperture diaphragm poses particular difficulties. The bores provided for the beam passage, in the pole shoe system, become namely small, so that the diaphragm can then no longer be brought through the bores into its position, for example on the symmetrical pole shoe. The invention makes a! Create a poly shoe system with which it is possible to use a sufficiently large aperture without having to resort to very small bores. To have to forego exchangeability. That. is according to the invention thereby; reached, d'ass one of the two. Lens pole: shoes, preferably the one on the image side, made up of two concentric, meballi-shaped. good anedn, there are other lying parts, of which the
inner serves as a panel support and when
composed Polsch: ulisystem composed
with the cover from your outer part easily
to be removed. It is particularly beneficial.
the inner part with a possibly Indian Pa: ß-
fläch2 and in a matching
cylindrical bore of the outer pole thrust
to use part. File is given with
sometimes use special adjustment devices
the. which allow the aperture in terms of
ilir2r axial position to shift. One can
for this purpose, for example, # ise the inner one
Part of one pole piece on the
seed lens area facing away with
provided with an external thread, which in. a
threaded hole of the outer
Pole piece fits. The axial setting
In this case, the shutter «is open when the shutter is open
Microscope made.
For the last-mentioned embodiment
the invention is shown in the figure
Z5 shown. The illustration
shows a cross section through the interior
Insertion of a magnetic lens
svstems. With I and 2 the two ring
shaped pole pieces of the system.
These Polschuli: e are with the help of a ring
form 24fessingstücl-zs 3 firmly together
screwed. The outer lateral surface .l of the
so formed uniform: Lin.se.neinsa.tz-
body is in the off. the figure shows
lichen tVe.ise conically designed so that they
into a corresponding conical fitting surface of the
Lens can be used.
The lower-. Face-side pole piece 2 consists
according to the invention from an inner part 5
and an outer part 6. The inner part j
is a .n: its upper end with a zvlin-
dri.sch, eii mating surface; provided, which are divided into
speaking cylindrical bore of part 6
fits well. The lower end of the inner part
is designed as a ringförmi ger hopf 8 u nd
provided with a thread 9, so. that the
Part 5 in the
io of part t,
can be screwed in. Through this -ver-
screw connection also results in the 1-bolt
opportunity to determine the relative position of the
hold aperture ii to be effective
to adjust. Parts j and 6 form
together the lower pole piece of the lens.
Both parts are therefore made of magnetic material
Material. 'However, you can use the cover bracket i
can also be made of non-magnetic material,
when you adjust the aperture every
Avoid changing the form of the Pole School «.
Different from the one in the picture
illustrated embodiment can be
the adjustment device for the axial position of the
Blenr_h ii also designed so (h_n, because! 3 the aperture
adjustment -, while the electric
electron microscope is possible. 'One becomes to
for this purpose the inner part £ for example
wisely at a suitable point with a pinion
provided, which can be accessed from the outside
adjusting gear moved up and down «-erden
can, or the inner pole piece via a
Screw and one concentric to the pole piece
drive tric ring gear.