DE7501153U - Ultraviolett-strahlungsquelle - Google Patents
Ultraviolett-strahlungsquelleInfo
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- H01J61/70—Lamps with low-pressure unconstricted discharge having a cold pressure < 400 Torr
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
Q 75 Ol 153.9 143/74
LU/Kn.
sszssssssssssssssssssssssssasssassssssassssssssxKsssssssssss
Die Neuerung betrifft eine Einrichtung zur Erzeugung ultravioletter Strahlung mit hoher spektraler Strahldichte, bei
welcher die Strahlung in einer eine thermoemissive Kathode aufweisenden Entladungsröhre mit einer Quecksilber/Argonfüllung durch eine Gleichstrom-Gasentladung bei einem Druck p„ des
Quecksilbers zwischen 5 x 10 und 5 x 10" Torr, einem Druck pAr des Ar8°ns zwischen 0,01 und 10 Torr und einer Stromdichte j
des Entladungsstromes I zwischen 1 und 25 A/cm erzeugt wird, und bei welcher die beiden Elektrodenräume ausser durch den
Entladungsraum auch durch einen Druckausgleichsraum miteinander verbunden sind.
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G 75 Ol 15?.9
Eine rolche Einrichtung - kurz: Hochstrom-Niederdruck-UV-Strahlungsquelle - ist weitgehend in der DT-OS 24 12 997 beschrieben.
Sie wird im allgemeinen derart ausgebildet, dass der Entladungsraum die Form eines U aufweist, an dessen Enden die Elektrodenräume sitzen, wobei der Druckausgleichsraum in der Form eines
geraden Rohres die Elektrodenräume verbindet.
Andere und ähnliche Formen von UV-Gasentladungs-Strahlungsquellen sind bekannt z.B. aus der US-PS 3·679'9?8, US-rs 3*117'218
und US-PS 3'617'792.
Die Strahlungsquelle nach DT-OS 24 1? 997 weist jedoch den Nachteil auf, dass sie aufgrund der geschilderten Form des Entladungsraumes in viele zu bestrahlende Räume nicht einführbar ist.
Ferner ist bei der Strahlungsquelle nach DT-OS 24 12 997 die
Strahlungsleistung räumlich noch keineswegs maximal konzentriert.
Der Neuerung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Strahlungsquelle nach DT-OS 24 12 997 derart zu verbessern, dass sie auch
in Räume mit tnger Eintrittsöffnung einführbar ist, und ausserdem auch eine maximale räumliche Leistungskonzentration erzielt
wird.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass neuerungsgemäss der Entladungsraum zwei Rohre umfasst, von denen sich das erste Rohr
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im Innern des zweiten Rohres erstreckt, und die genannten Rohre mit den Elektrodenräumen und miteinander derart verbunden und
selbst derart gestaltet sind., dass die Entladung auf ihrem Weg
von dem einen Elektrodenraum zum anderen zunächst das eine, und dann das andere der beiden genannten Rohre durchläuft.
Vorzugsweise ist das zweite, äussere Rohr als Sackrohr ausgebildet,
in welches das erste, innere Rohr hineinragt, wobei beide Rohre an der gleichen Seite jeweils mit einem Elektrodenraum verbunden
sind.
Eine derart ausgebildete Strahlungsquelle hat also die Form einer aus der Vakuumtechnik bekannten Kühlfalle. Die Entladung wird zunächst
zur Spitze des Rohres, und dann in einer scharfen Krümmung wieder zurückgezwungen.
Es ist für den Fachmann völlig überraschend, dass eine solche Entladung bei den hohen angegebenen Stromdichten brennt und nicht
abreisst oder in Plasmaschwingungen gerät. Denn bei den hohen
Stromstärken und der scharfen Krümmung an der Spitze der Rohre entstehen elektrische Felder grosser Stärke, die die ohnehin nur
sehr schwer zu stabilisierende Entladung erheblich beeinflussen. Im weiteren entstehen auch Temperaturdifferenzen zwischen dem
inneren und dem äusseren Rohr, die gleichfalls einen Einfluss auf die Entladung ausüben. Ferner war es auch vor Realisierung
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der Erfindung völlig unklar, ob die in dem äusseren Rohr ablaufende
Ringentladung überhaupt stabilisierbar ist.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den nachstehend anhand von Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen,
Dabei zeigt:
Fig. 1 Eine Strahlungsquelle nach der Erfindung mit einem Entladungsraum
aus zwei konzentrischen Rohren,
Fig. 2 den unteren Teil des Entladungsraumes der Strahlungsquelle nach Fig.-l, und
Fig. 3 einen Querschnitt durch einen Entladungsraum mit zwei . exzentrischen Rohren.
In Fig. 1 umfasst der Entladungsraum ein erstes, inneres Rohr 1, das sich in dem zveiten, äusseren, als Sackrohr ausgebildeten
Rohr 2 erstreckt. Das Rohr 1 ist mit dem Elektrodenraum 3, das
Rohr 2 mit dem Elektrodenraum 4 verbunden. Zum Auffangen der unterschiedlichen Wärmeausdehnungen der vorzugsweise aus Quarz
bestehenden Rohre 1,2 und der aus Normalglas bestehenden Elektrodenräume 3,4 sind Schachtelhalmverbindungen 11, 12 vorgesehen.
Im Elektrodenraum 3 ist die Anode 6, im Elektrodenraum 4 die Kathode
7 vorgesehen. Die Elektrodenräume 3> 1^ sind durch den Druck
ausgleichsraum 5 miteinander verbunden.
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Λ i.: :Χ. ν ιΚ
Q 75 Ol 153.9 — ^V"' : ''"' . · 1*3/7*
Anode 6 und Kathode 7 sind von elektrisch leitenden, isoliert aufgehängten Hohlsylindern 8, 9 umgeben. Bei der Kathode 7 ist
zusätzlich auch ein elektrisch leitend verbundener Hohlzylinder 10 vorgesehen. Die dargestellte Einrichtung ist mit Quecksilber
eines Druckes zwischen 5 x 10~* und 5 x 10 Torr, und Argon
eines Druckes zwischen 0,01 und 10 Torr gefüllt.
Der Betriebsdruck des Quecksilbers wird durch Regelung dsr Temperatur an der kältesten Stelle 13 der Einrichtung je nach
der gewünschten Entladungsstromdichte jQ auf ein Optimum einge«
stellt. f
Die Strahlungsquelle wird bzgl. Zündung und Regelung der Entladung
wie in der DT-OS 24 12 997 beschrieben betrieben. Der Druckausgleichsraum ist wie in DT-OS 24 33 557 beschrieben ausgebildet.
Aufgrund der besonderen Ausbildung des Entladungsraumes wird, in .Abweichung zum Betrieb gemäss DT-OS 24 12 997 zwectanässigerweise
der zu einer Stromdichte jQ gehörende Quecksilber-Druck
erhöht.
Vorteilhafterweise wird die Temperatur TH ^0' an der kältesten
Stelle 13 der Einrichtung in Punktion der Entladungsstromdichte
J-0 nach folgender Vorschrift eingestellt:
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THs <0) (grd) · 2,4 ( ) J0 (A/cm) ♦ 56 (grd).
Um die wegen der besonderen Form des Entladungsraumes sehr kritische
Entladung weit-gehend homogen zu gestalten, sind für die Dimensionierung der Rohre 1 und 2 gewisse Vorschriften zu bear;
ht en.
Demnach muss der lichte Radius r. des inneren Rohres 1 zwischen
2 und 10 mm liegen, und müssen die übrigen Radien, die in Fig. 2 bezeichnet sind, folgende Bedingungen erfüllen:
2 2 1^. /
L + r2 ^-Rl^2rl + r2
0,5 tin Su = r. - rn JL. 1,5 mm
Y2 2λ
T1 * r2 ~ R] entsPri°nt der Forderung,
T1 * r2 ~ R] entsPri°nt der Forderung,
dass die durch das innere Rohr 1 und das äussere Rohr 2 gebildete
2 2
Ringfläche RT- r„ TTgleich der Richten Querschnittsfläche
ρ
r Ifdes Innenrohres 1 ist. Eine kleinere Ringfläche erscheint deshalb nicht geraten, weil dadurch die Entladungsstromdichte j und damit die Temperatur im äuaseren Rohr 2 höher wäre als im inneren Rohr 1, wodurch eine Fehlanpassung der Plasmatemperaturen eintritt.
r Ifdes Innenrohres 1 ist. Eine kleinere Ringfläche erscheint deshalb nicht geraten, weil dadurch die Entladungsstromdichte j und damit die Temperatur im äuaseren Rohr 2 höher wäre als im inneren Rohr 1, wodurch eine Fehlanpassung der Plasmatemperaturen eintritt.
Die andere Grenzbedingung R. = 2r + r entspricht der Forderung,
dass die kürzesten Diffusionswege der angeregten Atome und Ionen
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in der Entladung bis zur Wand im inneren und äusseren Rohr etwa gleich sind. Wäre R1 - r_!>2r1, so würden im inneren Rohr 1 relativ
zum äusoeren Rohr 2 zuviele angeregte Zustände vorzeitig
zur Wand gelangen.
In diesem Zusammenhang ist zu bemerken, dass die Entladung in
einem Entladungsraum der angegebenen Form im weiteren nur deshalb funktionieren kann, weil und wenn die Plasmaten>r>ei'aturen
und Konzentrationen der angeregten Ionen im Aussen- und im Innenrohr etwa gleich sind. Wäre das Gas im Aussenr-ohr 2 kalt, wie
dies dann der Fall wäre, wenn das Aussenrohr als Druckausgleichsraum fungieren würde und die Elektrodenräume an den beiden Enden
der Rohre angebracht wären, so würde alle Strahlung aus dem Innenrohr
im Aussenrohr absorbiert: es träte eine Leistungsverminderung ein, und die Temperatur würde wegen der behinderten Abstrahlung
übermetssig steigen.
Die Bedingung 0,5 mm<C Δ = γ - r, -^i. 1,5 mm bezieht sich auf
die Wandstärke Δ des Innenrohres 1. Sie wird durch die notwendige mechanische Stabilität der Einrichtung einerseits, und 2ine möglichst
geringe Volumenverdrängung der Wandung andererseits festgelegt.
Das erste, innere Rohr 1 soll sich innerhalb des zweiten, äusseren
Rohres 2 möglichst weit zur Spitze 14 hin erstrecken, jedoch
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höchstens so weit, dass die Querschnittsfläche für die Entladung nirgends kleiner wird als die lichte Querschnittsfläche
des ersten, inneren Rohres 1. Sonst tritt hier eine Stromdichteerhöhung ein, die im Zusammenhang mit der scharfen Krümmung
eine Instabilität und Inhomogenität der Entladung weiter fördern würde. In der Tat konnte beobachtet werden, dass im Bereich
der Spitze 14 die Fusspunkte für sich nach oben erstreckende Inhomogenitäten liegen.
wenn das innere Rohr 1 sich nicht genügend weit zur Spitze
hin erstrecht, so wird dadurch zwar nicht die Entladung als solche gestört, jedoch entsteht dann im Bereich der Spitze
ein toter Raum ohne jede Entladung. Das Rohr 1 sollte sich daher zweckmässigerweise jedenfalls soweit zur Spitze 14 hin erstrecken,
dass die Querschnittsfläche für die Entladung auch nicht grosser wird als das Vierfache der lichten Querschnittsfläche des inneren Rohres 1.
Eine Strahlungsquelle nach der Erfindung wurde wie folgt dimensioniert:
Rp = 7,5 mm; R-i = 6,1 mm
r = 4,5 mm; r, = 3,55 mm
Länge L ca. 30 cm, Abstand h ca. 8 mm.
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• · ti I
Sie wurde mit folgenden elektrischen Werten betrieben: Entladungsstrom I =2,5A, Stromdichte j =6,25A/cm2
Eogenspannung ü\ ft = 90 V
Spezifische Bogenspannung u „ =1,5 V/cm
Qecksilbertemeratur an der Stelle 13 T ^0' = 710C, entsprechend
einem Hg-Druck pH =0,0? Torr.
Argon-Druck pAr = 0,03 Torr.
Die derart ausgebildete und betriebene Strahlungsquelle zündete und brannte einwandfrei. Bei kleiner Leistung war die Entladung
im äusseren ^ohr 2 fadenförmig und asymmetrisch. Bei Nennleistung
war die Entla^un^ jedoch nahezu vollkommen -symmetrisch und homogen.
In Fig. 3 ist eine exzentrische Anordnung des inneren Rohres I1
bzgl. des äusseren Rohres 21 dargestellt. Die Mittelpunkte M.
und M2, durch welche die Mittelachse laufen, fallen nicht aufeinander.
Das Verhältnis der Radien R und r der lichten Querschnitte der Rohre I1 und 2·, R/r liegt zweckmässigerweise zwischen y2 und 2.
Mit einer solchen. Anordnung wird erreicht, dass die Wandverluste im äusseren Rohr vermindert werden,
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- ίο -
Mit einer Strahlungsquelle, die wie oben angeführt dimensioniert war und betrieben wurde, wurden Entkeimungsversuche im Innern
von Weinflaschen ausgeführt. Es ergaben sich ausgezeichnete Resultate, wobei ausser der günstigen geometrischen Gestaltung des
Entladungsraumes von Bedeutung war, dass die Strahlungsleistung auf einen se-hr kleinen Durchmesser konzentriert war.
Die Strahlungsquelle nach der Erfindung kann nicht nur bei der Entkeimung von Flaschen, sondern auch bei der Entkeimung flaschenartiger
Behälter mit Vorteil eingesetzt werden. Darüberhinaus wird sie mit Vorteil in photochemischen Reaktoren eingesetzt,
aber auch bei flachen Packstoffen. Bei letzteren wird dann nur die hohe Leistungskonzentration ausgenutzt.
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[2
Claims (1)
- I t » ·ι · · IQ 75 Ol 153.9Schut zansprüche1. Einrichtung zur Erzeugung ultravioletter Strahlung mit hoher spektraler Strahldichte, bei welcher die Strahlung in einer eine thermoemissive Kathode aufweisenden Entladungsröhre mit einer Quecksilber/Argon-Füllung durch eine Gleichstrom-Gasentladung bei einem Druck p„ des Quecksilbers zwischen 5 x 10 und 5 x 10~ Torr, einem Druck p. des Argons zwischen 0,01 und 10 Torr, und einer Stromdichte j des Entladungsstromes I zwischen 1 und 25 A/cm erzeugt wir<*, und bei welcher die beiden Elektrodenräume ausser durch den Entladungsraum auch durch einen Druckausgleichsraum miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Entladungsraum zwei Rohre (1, 2) umfasst, von denen sich aas erste Rohr (1) im Innern des zweiten Rohres (2) erstreckt, und die genannten Rohre (1, 2) mit den Elektrodenräumen (5, ^) und miteinander derart verbunden und selbst darart gestaltet sind, dass die Entladung auf ihrem Weg von dem einen Elektrodenraum (3) zum anderen (Ό zunächst das eine (1), und dann das andere (2) der beiden genannten Rohre (1, 2) durchläuft.2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass7501153 25.11.76G 75 Ol 1?3.p '. " 'das zweite, äussere Rohr (2) als Sackrohr ausgebildet ist β in welches das erste, innere Rohr (1) hineinragt, und beide Rohre (1, 2) an der gleichen Seite jeweils mit einem Elektrodenraum (3, 4) verbunden sind.3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessungen der beiden Rohre (1, 2) so gewählt sind, dass .Vr 2 21J. fajL_
.112 'und0,5 τηαι^ζ,Λ 1S γ ~ 1N ^ 1»5 mm,■ mit r, s Innendurchmesser des ersten, inneren Rohres (1), r. = Aussendurchmesser des ersten, inneren Rohres (1), R. s Innendurchmesser des zweiten, äusseren Rohres (2),und Δ s r. - r. s Wandstärke des ersten inneren Rohres (1).>. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, innere Rohr (I1) in dem zweiten, äusseren Rohr • (2·) exzentrisch verläuft.5. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, innere Rohr (1) sich innerhalb des zweiten, äusseren Rohres (2) soweit erstreckt, dass die7501153 25.11.76G 75 Ol 153.9 'Querschnittsfläche für die Entladung nirgends kleiner wird als die lichte Querschnittsfläche des ersten, inneren Rohre3 (1), aber auch nicht grosser ale das Vierfache der genannten Querschnittsfläche.BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie.7501153 25.1176
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1583674A CH579826A5 (de) | 1974-11-29 | 1974-11-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE7501153U true DE7501153U (de) | 1976-11-25 |
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ID=4412364
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752501635 Expired DE2501635C2 (de) | 1974-11-29 | 1975-01-16 | Einrichtung zur Erzeugung von UV-C-Strahlung mit hoher spektraler Strahldichte |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3117248A (en) * | 1961-05-18 | 1964-01-07 | Gen Electric | Low pressure mercury vapor discharge lamp for direct current operation |
US3617792A (en) * | 1969-02-24 | 1971-11-02 | Gen Electric | Highly loaded flourescent lamp particularly for dc operation |
US3679928A (en) * | 1970-06-26 | 1972-07-25 | Gen Electric | High intensity far u.v. radiation source |
-
1974
- 1974-11-29 CH CH1583674A patent/CH579826A5/xx not_active IP Right Cessation
-
1975
- 1975-01-16 DE DE19757501153 patent/DE7501153U/de not_active Expired
- 1975-01-16 DE DE19752501635 patent/DE2501635C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2501635C2 (de) | 1984-05-17 |
DE2501635A1 (de) | 1976-08-12 |
CH579826A5 (de) | 1976-09-15 |
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