DE711080C - Thermocouple feed-through in a vacuum apparatus - Google Patents

Description

Thermoelementdurchführung in einen Vakuumapparat Die Einführung von Thermoelementen in einen Vakuumapparat bot bisher erhebliche Schwierigkeiten, wenn die metallische Gefäßwandung als Elektrode, insbesondere als Kathode, gegenüber einer Anode geschaltet ist, weil sich an den kathodischen Leiterteilen eine Glimmentladung ausbildet, die ein durch die Wandung hindurchgeführtes Thermoelement stört. Durch die Erfindung werden diese Schwierigkeiten beseitigt.Thermocouple feedthrough in a vacuum apparatus The introduction of Thermocouples in a vacuum apparatus previously presented considerable difficulties, though the metallic vessel wall as an electrode, in particular as a cathode, opposite an anode is connected because there is a glow discharge on the cathodic conductor parts that interferes with a thermocouple passed through the wall. By the invention overcomes these difficulties.

Die Erfindung betrifft eine Thermodementdurchführung in einen Vakuumapparat mit Stromdurchführung, insbesondere in Kathode denzerstäubungsapparate, elektrische Vakuumheiz- und Schmelzöfen oder chemische Vakuumreaktionsapparate, bei denen die metallische Gefäßwandung als Elektrode, insbesondere als Kathode gegenüber einer Anode geschaltet ist und zeichnet sich dadurch aus, daß das von einem Metallschutzrohr umhüllte Thermoelement im Inneren der kühlbaren Stromdurchführung angeordnet ist, die ihrerseits isoliert und abgeschirmt in das Vakuumgefäß eingeführt ist. In dem Metallschutzrohr wird vorteilhaft ein Steatitkörper oder ein ähnlicher Isolierkörper mit zwei Bohrungen für das Thermoelement in an sich bekannter Weise angeordnet. Zwischen der Stromdurchführung und der sie abschirmenden metallischen Gefäßwandung ist ein so enger, vorzugsweise labyrinthförmiger Spalt vorgesehen, daß in dem Spalt keine Glimmentladung möglich ist. Die Stromdurchführung kann ferner mit einer abnehmbaren Metallhaube versehen werden, die die eine Elektrode, vorzugsweise die Anode, gegenüber der als andere Elektrode, vorzugsweise Kathode, geschalteten Gefäßwandung bildet. Die Gefäßwand selber kann auch kühlbar ausgebildet werden. The invention relates to a thermodement leadthrough in a vacuum apparatus with current feedthrough, especially in cathode atomizing apparatus, electrical Vacuum heating and melting furnaces or vacuum chemical reaction apparatus where the metallic vessel wall as an electrode, in particular as a cathode compared to a The anode is connected and is characterized by the fact that it is connected by a metal protective tube encased thermocouple is arranged inside the coolable current feedthrough, which in turn is insulated and shielded and inserted into the vacuum vessel. By doing A metal protective tube is advantageously a steatite body or a similar insulating body arranged in a known manner with two bores for the thermocouple. Between the electrical feedthrough and the metallic vessel wall that shields it such a narrow, preferably labyrinthine gap is provided that in the gap no glow discharge is possible. The power feedthrough can also be detachable Metal hoods are provided which face one electrode, preferably the anode which forms the vessel wall connected as the other electrode, preferably the cathode. the The vessel wall itself can also be designed so that it can be cooled.

In der Zeichnung ist die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel schematisch näher erläutert, und zwar zeigt die Abb. 1 einen Schnitt durch einen Teil der Vakuumgefäßwandung mit eingeführtem Thermoelement und isolierter abgeschirmter Stromdurchführung und die Abb. 2 einen Querschnitt durch das metallische Schutzrohr mit Thermoelement in größerem Maßstabe. In the drawing, the invention is shown schematically in an exemplary embodiment explained in more detail, namely the Fig. 1 shows a section through part of the vacuum vessel wall with inserted thermocouple and isolated shielded power feedthrough and Fig. 2 shows a cross section through the metallic protective tube with thermocouple on a larger scale.

In der Abb. I und 2 ist das Thermoelement I in einem mit zwei Bohrungen versehenen Steatitkörper 2 angeordnet, der von einem metallischen Schutzrohr 3 umgeben ist. Der Teil 4 stellt eine Schutzkappe dar. Das von dem Metallschutzrohr umhüllte Thermoelement ist erfindungsgemäß im Innern einer kühlbaren Stromdurchführung 5 angeordnet, die ihrerseits durch den Isolator 6 isoliert und durch die Wandung 7 abgeschirmt in das Vakuumgefäß eingeführt ist. Zwischen der Stromdurchführung 5 und der Wandung 7 befindet sich ein so enger, vorzugsweise labyrinthförmiger Spalt 8, daß in dem Spalt keine Glimmentladung auftreten kann. Die Stromdurchführung ist mit einer abnehmbaren Metallhaube 9 versehen, die die eine Elektrode, vorzugsweise Anode, gegenüber der als andere Elektrode, vorzugsweise Kathode, geschalteten Gefäßwandungbildet. Die Gefäßwandungist-mit Kühlkanälen 10 und ii versehen. Der Stromdurchführung 5, die hohl ausgebildet ist, wird durch den Stutzen 12 ein Kühlmittel zugeführt und durch den Stutzen 13 abgeleitet. Die Stromdurchführung ist mittels der Schrauben 14 und des Isolier- und Anpreßringes 15 am Vakuumgefäß befestigt. In Fig. I and 2, the thermocouple I is in one with two holes provided steatite body 2 is arranged, which is surrounded by a metallic protective tube 3 is. Part 4 represents a protective cap. The one encased by the metal protective tube According to the invention, the thermocouple is inside a coolable electrical feedthrough 5 arranged, which in turn is isolated by the insulator 6 and by the wall 7 is inserted shielded into the vacuum vessel. Between the power feed-through 5 and the wall 7 is such a narrow, preferably labyrinthine gap 8 that no glow discharge can occur in the gap. The current feedthrough is provided with a removable metal hood 9, the one electrode, preferably Anode, opposite to the vessel wall connected as the other electrode, preferably cathode. The vessel wall is provided with cooling channels 10 and ii. The power feed-through 5, which is hollow, a coolant is supplied through the nozzle 12 and derived through the connecting piece 13. The power feed-through is by means of the screws 14 and the insulating and pressing ring 15 attached to the vacuum vessel.

Das metallische Schutzrohr 3 des Thermo elementes besitzt am unteren Ende einen Flansch 16, auf den die Abdichtungshülse I7 für die Enden I8 und 19 des Thermoelementes mittels der Dichtung 20 angeschlossen ist. The metallic protective tube 3 of the thermocouple has at the bottom End of a flange 16 on which the sealing sleeve I7 for the ends I8 and 19 of the Thermocouple is connected by means of the seal 20.

Die Masse 21 stellt eine Isolier- und Dich-Ün'gsmasse dar, und die Teile 22 und 23 sind Kle'mmschrauben für die Enden des Thermoeimentes, die an dem Isolierring 24 angeordnet sind.The mass 21 represents an insulating and you-Ün'gsmasse, and the Parts 22 and 23 are Kle'mmscrews for the ends of the Thermoeimentes, which are attached to the Isolating ring 24 are arranged.

TNTNSÜCE: I. Thermoelementdurchführung in einen Vakuumapparat mit Stromdurchführung, insbesondere in Kathodenzerstäubungsapparate, elektrische Vakuumheiz- und Schmelzöfen oder chemische Vakuumreaktionsapparate, bei denen die metallische Gefäßwandung als Elektrode, insbesondere als Kathode gegenüber einer Anode geschaltet ist, dadurch gekennzeidmet, daß das von einem Metallschutzrohr umhüllte Thermoeleinent im Innern der kühlbaren Stromdurchführung angeordnet ist, die ihrerseits isoliert und abgeschirmt in das Vakuumgefäß eingeführt ist. TNTNSÜCE: I. Thermocouple feed-through in a vacuum apparatus with Power feedthrough, especially in cathode sputtering devices, electrical vacuum heating and melting furnaces or vacuum chemical reactors in which the metallic The vessel wall is connected as an electrode, in particular as a cathode, opposite an anode is, characterized in that the thermocouple, which is encased in a protective metal tube is arranged inside the coolable power feedthrough, which in turn insulates and is inserted into the vacuum vessel in a shielded manner.

Claims (1)

2. Vorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Strom durchführung und der sie abschirmenden metallischen Gefäßwandung ein so enger, vorzugsweise labyrinthförmiger Spalt vorgesehen ist, daß in dem Spalt keine Glimmentladung möglich ist. 2. Apparatus according to claim I, characterized in that between the current leadthrough and the metallic vessel wall shielding it narrow, preferably labyrinthine gap is provided that none in the gap Glow discharge is possible. 3. Vorrichtung nach Anspruch I und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromdurchführung mit einer abnehmbaren Metallhaube versehen ist, die die eine Elektrode, vorzugsweise Anode, gegenüber der als andere Elektrode, vorzugsweise Kathode, geschalteten Gefäßwandung bildet. 3. Apparatus according to claim I and 2, characterized in that the power feedthrough is provided with a removable metal hood, the one Electrode, preferably anode, as opposed to the other electrode, preferably Cathode, connected vessel wall forms. 4. Vorrichtung nach Anspruch I bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gefäßwandung mit Kühlkanälen versehen ist. 4. Apparatus according to claim I to 3, characterized in that the vessel wall is provided with cooling channels.