DE708421C - Process for metallizing electrically stressed insulating materials - Google Patents

Description

Verfahren zum Metallisieren von elektrisch beanspruchten Isolierstoffen Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von Metallschichten auf elektrisch beanspruchten Isolierstoffen, insbesondere zur Herstellung leitender Beläge auf Kondensatordielektrika. .Process for metallizing electrically stressed insulating materials The invention relates to a method for producing metal layers on electrically stressed insulating materials, especially for the production of conductive ones Deposits on capacitor dielectrics. .

Unter den vielen Vorschlägen, die für die Herstellung solcher metallischer Überzüge gemacht wurden, ist auch angegeben, Metalle thermisch aufzudampfen und den Metallnebel auf den Isolierstoff niederzuschlagen oder die Metalle durch die Einwirkung .eines Hochspannungsfeldes zu zerstäuben. Diese beiden Verfahren haben je ihre Vor- und Nachteile; die bestimmend für die Wahl des gerade ,anzuwendenden Verfahrens sind. Unter anderem ist z. B. das Metallaufdampfver£ahren wegen der zur Verdampfung notwendigen Temperatur bei thermisch sehr unbeständigen Stoffen nicht anzuwenden, während das Kathodenzerstäubungsverfahren, 'das an sich mit geringeren Temperaturen arbeitet, verhältnismäßig unwirtschaftlich ist. Bei der Herstellung von hochwertigen elektrischen Kondensatoren ist es wegen der Einschlußfreiheit von Fremdstoffen zwischen Belag und Dielektrikum erforderlich, hochwertige Metallisierungsverfahren, zu denen auch die beiden genannten rerhneln, .anzuwenden.Among the many proposals that have been made for the manufacture of such metallic Coatings were made is also indicated to be thermally vapor deposited and metals to deposit the metal mist on the insulating material or the metals through the To atomize exposure to a high voltage field. These two procedures have each its advantages and disadvantages; the determining factor for the choice of the one to be used Procedural are. Among other things, z. B. the Metallaufdampfver £ ahren because of the Evaporation required temperature for thermally very unstable materials is not apply while the sputtering process, 'that in itself with lesser Temperatures works, is relatively uneconomical. In the preparation of of high quality electrical capacitors it is because of the freedom from inclusion of Foreign matter required between coating and dielectric, high-quality metallization process, to which the two mentioned are similar to. to apply.

Die Erfindung benutzt ebenfalls derartige Metallisierungsverfahren und schlägt vor, die auf den elektrisch beanspruchten Isolierstoff aufzubringende Metallschicht ,aus zwei Schichten durch thermisches Aufdampfen eines Metallles mit niedrigem Schmelzpunkt, wie z. B. Zink, 'und durch nachfolgende Bestäubung mittels Kathodenzerstäubung korrosionsfester Metalle, wie z. B. Nickel und Chrom, herzustellen.The invention also uses such metallization processes and suggests that to be applied to the electrically stressed insulating material Metal layer, made of two layers by thermal vapor deposition of a metal with low melting point, such as. B. zinc, 'and by subsequent pollination means Cathodic sputtering of corrosion-resistant metals, such as B. nickel and chromium to produce.

Dieses kombinierte Verfahren hat gegenüber dem einen oder dem anderen Verfahrensehr große Vorteile. Lediglich durch Aufdampfen hergestellte Schichten z. B. sind zwar wirtschaftlich aufzubringen, haften gut und bilden infolge der atomaren Struktur des Metallnebels einen dichten, zusammenhiingenden Überzug, jedoch kommen für die Bildung des Metallnebels wegen der notwendigen Temperatur hauptsiichlich solche Metalle in Frage, die nicht korrosionsfest sind und die keine große mechanische Widerstandsfähigkeit aufweisen. Das Aufdampfen einer zweiten, chemisch und mechanisch widerstandsfähigeren Schicht würde erhebliche Schwierigkeiten bereiten, da sich derartige Metalle gar nicht oder nur unter ganz bestimmten Voraussetzungen und besonderen Maßnahmen verdampfen lassen. Die Herstellung der Schicht selbst würde, abgesehen von der großen Heizleistung, durch die Wahl hochwertiger Metalle verteuert werden.This combined method has over one or the other Procedural great benefits. Manufactured solely by vapor deposition Layers z. B. are economical to apply, adhere well and form as a result the atomic structure of the metal mist creates a dense, cohesive coating, however, come for the formation of the metal mist because of the necessary temperature mainly those metals in question, which are not corrosion-resistant and which are not have great mechanical resistance. The evaporation of a second, chemically and mechanically more resistant layer would cause considerable difficulties prepare, since such metals are not at all or only under very specific conditions and take special measures to allow it to evaporate. The production of the layer itself would, apart from the large heating capacity, the choice of high-quality metals makes it more expensive will.

Das Kathodenzerstäubungsverfahren allein anzuwenden, um dadurch bei geringeren Temperaturen die für den guten Kontakt mit der Stromzuführung notwendigen korrosionsfesten und mechanisch widerstandsfähigen Metalle aufzubringen; ist äußerst unwirtschaftlich und ergibt, da die Schicht nicht aus atomaren Teilen, sondern aus ganzen Molekülverbänden aufgebaut wird, in dielektrischer Beziehung keine so guten Beläge.To use the sputtering process alone to thereby help lower temperatures necessary for good contact with the power supply apply corrosion-resistant and mechanically resistant metals; is extreme uneconomical and results because the layer is not made up of atomic parts, but from whole molecular assemblies is built up, not so good in dielectric relation Toppings.

Erst die aufeinanderfolgende Anwendung der beiden Verfahren, zweckmäßigerweise im gleichen Verdampfungsgefäß, gibt die Möglichkeit, Isolierstoffe, insbesondere Dielektrika, mit einer in jeder Beziehung günstigen Metallauflage zu versehen, wobei jeder, selbst der schärfsten Forderung in irgendeiner Dezieliung nachgekommen werden kann. Only the successive use of the two methods, expediently in the same evaporation vessel, gives the possibility of providing insulating materials, especially dielectrics, with a metal coating that is favorable in every respect, whereby each, even the most stringent requirement, can be met in any way.

Claims (1)

PATENTANSPRUCH: Verfahren zum 'Metallisieren von eIektrisch beanspruchten Isolierstoltcli, insbesondere zur Herstellung leitender Beläge auf Kondensatordielektrika, dadurch gekennzeichnet, daß die aus zwei Schichten bestehende Metallschicht durch thermisches Aufdampfen eines Metalls mit niedrigem Schmelzpunkt und nachfolgende Bestäubung mittels Kathodenzerstäubung eines korrosionsfesten Metalls hergestellt wird.PATENT CLAIM: Process for 'metallizing electrically stressed Isolierstoltcli, especially for the production of conductive coatings on capacitor dielectrics, characterized in that the two-layer metal layer through thermal vapor deposition of a low melting point metal and subsequent Dusting produced by cathodic sputtering of a corrosion-resistant metal will.