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Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf das Gebiet der Detektion
von elektromagnetischen Signalen und Hochenergiepartikeln und insbesondere
auf die exakte Messung von Beugungsmustern in Streudetektionsvorrichtungen.
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Hintergrund der Erfindung
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Messsysteme,
wie z. B. Röntgenbeugungsvorrichtungen,
Neutronenbeugungsvorrichtungen oder ähnliche Beugungsvorrichtungen,
bei welchen andere Strahlungsquellen verwendet werden, benötigen ein
Beugungsmuster von der von einer Probe gestreuten Strahlung, um
eine gewünschte
Messung vornehmen zu können.
Ein Röntgen-Beugungssystem,
das so funktioniert, ist in 1 schematisch
gezeigt. Diese zeigt, dass das System für Transmissionsbeugung eingerichtet
ist. Eine Röntgenstrahlungsquelle 10 richtet
einen Röntgenstrahl 12 auf
ein zu untersuchendes Objekt 14. Die Röntgenstrahlen werden von dem
Objekt in einem Muster gestreut, welches auf seine Atomstruktur
hinweist. Diese gestreute Energie kann danach von einem zweidimensionalen
(2D) Detektor 18 detektiert werden, welcher die Übertragungsvariation
des gestreuten Signals in der Ebene senkrecht zur Richtung des ursprünglichen
Strahls detektiert.
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Wie
bei den meisten Transmissionsbeugungssystemen, bei welchen 2D-Detektoren verwendet
werden, wird bei diesem System ein Strahlbegrenzer 20 verwendet,
um zu verhindern, dass der direkte Röntgenstrahl, der durch die
Probe gelangt, den Detektor erreicht. Dadurch wird verhindert, dass die
Detektion der gebeugten Energie durch die Wechselwirkung zwischen
dem übertragenen
Hochenergie-Röntgenstrahl
und dem Detektor gestört wird.
Unter gewissen Umständen
ist es jedoch erwünscht,
die Intensität
des übertragenen
Strahls zu messen, um eine Normalisierung der Beugungsdaten in Abhängigkeit
der Variation der Probendicke (oder Dichte) zu ermöglichen. 1 zeigt,
wie dies in herkömmlicher
Weise erreicht wird. Ein Glaskohlenstoff (GC) Filter 16,
welcher eine undeutliche Großwinkel-Streuung
hat, wird in den Pfad des übertragenen
Röntgenstrahls
eingebracht und das resultierende zweidimensionale Muster wird detektiert.
Daraus können
die gewünschten
Informationen in Bezug auf die Intensität des übertragenen Strahls festgestellt werden.
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Obwohl
die Verwendung eines GC-Filters zum Detektieren der Intensität des übertragenen Strahls
sich als zufrieden stellend erwiesen hat, muss dabei jedoch der
Filter eingeführt
und entfernt werden.
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Weiterhin
muss jeweils ein separater Detektionsschritt für den übertragenen Strahl und die
tatsächlich
gebeugte Röntgenenergie
ausgeführt
werden. Dadurch entstehen Verzögerungen
und zusätzliche
Schritte in dem letzten Röntgenbeugungs-Messvorgang
sind erforderlich.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Gemäß der vorliegenden
beanspruchten Erfindung ist ein Strahlenbeugungsmesssystem vorgesehen,
welches die von einer Probe gebeugte Strahlungsenergie misst. Das
System beinhaltet eine Strahlungsenergiequelle, von welcher ein
Strahlungsenergiestrahl gerichtet wird. Bei der bevorzugten Ausführungsform
ist die Strahlungsenergiequelle eine Röntgenquelle, die Erfindung
kann jedoch gleichermaßen
bei Systemen verwendet werden, bei welchen andere Arten von Quellen
verwendet werden. Ein Detektor ist ebenfalls vorgesehen, welcher die
Intensität
der Strahlungsenergie, die auf seine unterschiedlichen Bereiche
trifft, detektiert. Diese detektierte Energie kann die von der Probe
gebeugte Energie sowie die Energie, die von dem übertragenen Strahlungsenergiestrom
aufgenommen wird, beinhalten. Insbesondere, wenn der Strahl auf
die zu untersuchende Probe gerichtet wird, wird ein Teil der Strahlenergie
gebeugt, während
ein Teil durch die Probe übertragen
wird. Der Detektor der vorliegenden Erfindung detektiert sowohl
die gebeugte Energie als auch die übertragene Strahlenergie und
zwar gleichzeitig.
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Der
durch die Probe transmittierte Strahl wird gedämpft, um seine Intensität zu reduzieren,
bevor er auf den Detektor trifft. Dadurch kann ein Strahl verwendet
werden, welcher eine ausreichend hohe Energie hat, um eine gute
Energiebeugung von der Probe bereitzustellen, während verhindert wird, dass
die hohe Energie des übertragenen
Strahls den Detektor sättigt.
Das Dämpfungsglied
blockiert einen äußeren Abschnitt
des übertragenen
Strahls, so dass er nicht den Detektor erreicht. Dadurch erzeugt
das Dämpfungsglied
einen Bereich eines lokalen Intensitätsminimums auf der Detektionsfläche, welche
den Bereich des Detektors umgibt, auf welchen der Strahl auftrifft.
Dieser lokale Intensitätsbereich
ist eine leicht detektierbare Grenze zwischen einem Bereich des Detektors,
auf welchen der Strahl auftrifft, und einem Bereich, auf welchen
die gebeugte Energie von der Probe auftrifft. Somit enthält ein einzelner
Detektions-Frame des Detektors gleichzeitig Intensitätsinformationen über sowohl
den Strahl als auch die gebeugte Strahlung. Das Dämpfungsglied
stellt auch einen Filtriermechanismus bereit, welcher eine Breitbandreduzierung
der Intensität
des Strahls pro Flächeneinheit
liefert.
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Der
mit dem System verwendete Detektor muss eine Strahlungsintensität in unterschiedlichen Regionen
des Detektionsbereichs detektieren können. Dadurch können die
Strahlintensität
und die gebeugte Energie gleichzeitig detektiert werden. Vorzugsweise
ist der Detektor ein Multi-Element-Detektor und hat eine Mehrzahl
von Detektions-„Pixeln" über einer Detektionsfläche, die
jeweils eine individuelle Intensitätsmessung erzeugen. Wenn der
Strahl auf die Probe gerichtet wird, wird ein einzelner Detektions-„Frame" erzeugt. Vorzugsweise
wird dieser Frame in einem lokalen Datenspeichergerät gespeichert.
Danach können
die Bereiche des Detektors, auf welche der übertragene Strahl bzw. die
gebeugte Energie auftreffen, bestimmt werden.
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Ein
bevorzugtes Verfahren zum Feststellen der relativen Intensitäten des übertragenen
Strahls und der gebeugten Strahlenergie beinhaltet zuerst das Übertragen
des Strahls durch das Dämpfungsglied
in Richtung des Detektors ohne die angeordnete Probe. Diese „Luftstreuung" liefert eine Basislinie und
kann verwendet werden, um den Mittelpunkt des Bereichs des Detektors
zu bestimmen, auf welchen der übertragene
Strahl auftrifft. Der resultierende Detektorintensitäts-Frame
von der Luftbeugung wird gespeichert. Eine Probe wird danach in
das System geladen und eine Abtastung wird gestartet, indem der Anfangsstrahl
auf die Probe gerichtet wird, wenn der Detektor in einem aktiven
Zustand ist. Ein einzelner Frame von dem Detektor wird gespeichert
und kann dann analysiert werden, um den Bereich des Detektors zu
bestimmen, auf welchen der transmittierte Strahl auftrifft.
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Wenn
der Strahlmittelpunkt an dem Detektor bekannt ist, werden die Intensitätsmessungen
von dem Frame untersucht, um die Punkte eines lokalen Intensitätsminimums,
die den Mittelpunkt umgeben, zu lokalisieren. Bei einer bevorzugten
Ausführungsform
werden mehrere radiale Richtungen von dem Mittelpunkt untersucht,
bis ein lokales Minimum entlang jeder Richtung gefunden wird. Diese
Richtungen können
zueinander orthogonal sein, um die Intensitätsänderung in dem Frame in vier
Hauptrichtungen von dem Mittelpunkt zu bestimmen. Die Punkte minimaler
Intensität,
die entlang diesen Richtungen dem Mittelpunkt am nächsten sind,
liegen in dem Schattenbereich, der von dem Dämpfungsglied erzeugt wird,
welches den äußeren Abschnitt
des transmittierten Strahls blockiert. Aus diesen Punkten kann eine
Interpolation verwendet werden, um eine Grenze zu bestimmen, welche
den Bereich des Detektors umgibt, auf welchen der transmittierte
Strahl auftrifft.
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Sobald
die Strahlbereichsgrenze an dem Detektor bestimmt ist, werden die
Intensitäten,
die innerhalb dieses Bereichs an dem Detektor gemessen werden, über den
Bereich selbst aufintegriert, um eine durchschnittliche Intensität des transmittierten Strahls
zu bestimmen. Bei einer bevorzugten Ausführungsform können die
Messungen innerhalb des Strahlbereichs von der Luftstreuung auch
beim Aufintegrieren der Strahlintensität zusammen mit denjenigen verwendet
werden, die sich aus dem transmittierten Strahl während der
Probenmessung ergeben. Die Intensitätswerte, die von dem Detektor
außerhalb der
Strahlgrenze während
der Probenmessung gesammelt werden, werden dann über dem Bereich außerhalb
der Strahlgrenze aufintegriert, um die durchschnittliche Intensität der gebeugten
Strahlung zu bestimmen. Sobald die Intensitätsberechnungen erfolgt sind,
kann ein Transmissionskoeffizient berechnet werden.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine schaubildliche Ansicht eines Strahlungsenergie-Beugungsmesssystems
gemäß dem Stand
der Technik;
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2 ist
eine schaubildliche Ansicht eines Strahlungsenergie-Beugungsmesssystems
gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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3 ist
eine Ansicht im Querschnitt eines Strahlungsenergiestrahl-Dämpfungsglieds gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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4 ist
ein Ruhebild resultierend aus einer Messung unter Verwendung der
Messvorrichtung der vorliegenden Erfindung;
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5A und 5B zusammen
bilden ein Flussdiagramm, das im Allgemeinen einen Satz von Schritten
zeigt, die während
der Verwendung einer Messvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ausgeführt werden.
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Detaillierte Beschreibung
des bevorzugten Ausführungsbeispiels
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2 zeigt
eine Röntgenbeugungsvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung. Eine Röntgenstrahlungsquelle 10 richtet
einen Röntgenstrahl 12 auf
eine zu untersuchende Probe 14. Bekannterweise werden durch
die Wechselwirkung des Röntgenstrahls
mit der Molekülstruktur
der Probe die Röntgenstrahlen
gebeugt, so dass ein Beugungsmuster erzeugt wird. Dieses Beugungsmuster
wird von einem 2D-Detektor 18 detektiert und das Muster zeigt
die Art der Wechselwirkung mit der Probe 14 an und liefert
somit Informationen über
seine Molekülstruktur.
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2 zeigt
ebenfalls einen Strahlbegrenzer 22 gemäß der vorliegenden Erfindung.
Wie bei bekannten Strahlbegrenzern ist der Strahlbegrenzer 22 in
dem Pfad des Abschnitts des Röntgenstrahls
angeordnet, welcher durch die Probe 14 übertragen wird. Der Strahlbegrenzer 22 blockiert
jedoch nicht einfach den Röntgenstrahl,
so dass er den Detektor nicht erreicht, sondern funktioniert als
Dämpfungsglied
des Strahls, so dass ein Mittelabschnitt davon den 2D-Detektor 18 erreichen
kann. Das heißt,
ein äußerer Abschnitt
des Strahls wird vollständig
von dem Strahlbegrenzer blockiert, jedoch ein Mittelabschnitt kann
durch den Strahlbegrenzer gelangen, was von einem gewissen Maß zusätzlicher
Dämpfung
abhängt.
Im Folgenden wird der Begriff „Strahlbegrenzer" deshalb austauschbar
mit dem Begriff „Dämpfungsglied" für die Beschreibung
des Elements 22 der Figuren verwendet. Der Strahlbegrenzer 22 ist
detaillierter in 3 gezeigt.
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Der
Querschnitt von 3 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform
des Strahlbegrenzers 22, wobei der Pfeil in die Richtung
des auftreffenden Strahls zeigt. Das Gehäuse 24 umgibt eine
zentrale Bohrung 26 durch den Strahlbegrenzer. Die Bohrung 26 ist
vorzugsweise zylindrisch, kann jedoch auch andere Formen haben,
vorausgesetzt, dass die Form bei der letztendlichen Verteilung der
durch den Strahlbegrenzer transmittierten Energie berücksichtigt
wird. Der Fachmann wird erkennen, dass 3 nicht
unbedingt maßstabsgetreu
ist und der Durchmesser der Bohrung 26 und der Durchmesser
des Strahlbegrenzers 22 durch die gewünschte Strahlgröße, Strahldivergenz,
Distanz zwischen Probe und Detektor und anderen Anordnungsparametern
bestimmt werden. Der tatsächliche
Strahlbegrenzerdurchmesser ist größer als der primäre Strahlfleck
an dem Detektor. Bei einer Strahl begrenzenden Lochblende mit einem
Durchmesser von 0,2 mm z. B. kann der Strahlfleck an einem Detektor,
der 600 mm von der Probe entfernt angeordnet ist, bei einer bestimmten
Strahldivergenz 2,5 mm sein. Ein Strahlbegrenzer gemäß der vorliegenden
Erfindung, welcher für
diese Anordnung geeignet wäre,
hat einen Durchmesser von 4 mm und eine Bohrung 26 mit
einem Durchmesser von 1 mm. In diesem Fall wird ca. 84% des Kreuzungsbereichs
des Strahlflecks von dem Strahlbegrenzer 22 blockiert.
Aufgrund der unebenen Verteilung des Strahlintensitätsprofils
hat der Abschnitt des Strahls, der von dem Strahlbegrenzer 22 nicht
direkt blockiert wird, normalerweise eine höhere Intensität pro Flächeneinheit.
Dieser Abschnitt der Energie wird durchfahren, wird jedoch in dem
Verfahren gedämpft.
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Eine
Dämpfung
der nicht blockierten Energie wird von dem Filterelement 28 bereitgestellt,
welches in einem vorderen Befestigungsbereich 30 des Gehäuses 24 untergebracht
ist, welches einen größeren Bohrungsdurchmesser
als die Hauptbohrung 26 hat. Somit wird eine Dämpfung des
Strahls sowohl durch das direkte Blockieren eines Abschnitts des
Strahls durch den Strahlbegrenzer als auch durch die Filterung durch
das Filterelement bereitgestellt. Das Filterelement ist vorzugsweise
zylindrisch und kann aus einem beliebigen von einer Anzahl an Materialien einschließlich Kupfer,
Nickel, Gold, Aluminium oder jeglichem anderen homogenen Material
hergestellt sein, das den Strahl dämpft, ohne eine starke Fluoreszenz
zu erzeugen. Mit einem solchen Material kann das Maß der Dämpfung durch
Steuern der Dicke des Materials gesteuert werden. Bei der bevorzugten
Ausführungsform
der Erfindung bewirkt der Filter eine Breitbandreduzierung der Intensität des transmittierten
Strahls. Es ist jedoch höchst
wichtig, in den Wellenlängen
in dem primären
Detektionsbereich des Detektors 18 zu dämpfen. Natürlich kann das Maß der Dämpfung auch
durch andere Systemparameter gesteuert werden, wie z. B. Durchmesser der
Bohrung 26 und Intensität
des ursprünglichen Röntgenstrahls.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform
hat die Bohrung 26 einen Durchmesser von 1 mm, und das
Filterelement 28 ist aus Nickel gefertigt und hat eine
Dicke von 0,1 mm. Diese Angaben sind effektiv, wenn sie z. B. in
Verbindung mit einem „HI-STAR" Bereichsdetektor,
der von Bruker Analytical X-Ray Systems, Inc., Madison, WI hergestellt wird,
und einer voraussichtlichen transmittierten Röntgenstrahlintensität von 10–100 Zählimpulsen/Sekunde/Pixel
verwendet werden.
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Der
Strahlbegrenzer von 3 beinhaltet auch Befestigungsbohrungen 32 in
zwei senkrechten Richtungen. Diese Bohrungen erlauben die Befestigung
von Drähten
an dem Strahlbegrenzer, so dass dieser genau positioniert werden
kann. Die Drähte werden
in vier Richtungen zu einem linearen Verstellmechanismus straff
gehalten, so dass die Position des Strahlbegrenzers eingestellt
werden kann. Die lineare Verstellung kann auch durch Bewegungsdurchführungen
erfolgen, so dass der Strahlbegrenzer in einem Vakuum oder einer
anderen isolierten Umgebung gehalten werden kann. Der Fachmann wird
erkennen, dass stattdessen auch andere Positioniermechanismen verwendet
werden können,
ohne die Prinzipien der Erfindung zu verlassen.
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Nach
der Dämpfung
durch den Strahlbegrenzer 22 trifft der transmittierte
Strahl auf den Detektor 18 (2). In seiner
abgedämpften
Form sättigt
er den Detektor nicht und seine Intensität kann effektiv gemessen werden.
Durch Blockieren eines Abschnitts des Strahls, der den Mittelabschnitt
umgibt, wird ein Schattenbereich an dem Detektor erzeugt, welcher
den detektierten transmittierten Strahl von den detektierten gestreuten
Röntgenstrahlen
trennt. Durch diesen Schattenbereich kann der detektierte transmittierte
Strahl genau von dem detektierten gestreuten Röntgenmuster unterschieden werden.
Somit kann die detektierte Intensität des transmittierten Röntgenstrahls
festgestellt und verwendet werden, um das detektierte Signal der
gestreuten Röntgenstrahlen
zu normalisieren.
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Ein
Ruhebild des von dem Detektor 18 detektierten Signals während eines
Experiments, bei dem die vorliegende Erfindung verwendet wird, ist
in 4 gezeigt. Diese zeigt, dass im Mittelpunkt des Bilds
ein heller Fleck vorhanden ist, welcher die Stelle anzeigt, an welcher
der transmittierte und abgedämpfte
Röntgenstrahl
auf den Detektor aufgetroffen ist. Ein Schattenring umgibt den hellen
Fleck, wo der Strahlbegrenzer jegliche Röntgenenergie des transmittierten
Strahls blockiert hat, so dass er den Detektor nicht erreicht. Dieser
Schattenbereich trennt den hellen Fleck des transmittierten Strahls
von dem Rest der gebeugten Röntgenenergie,
welche das Muster bildet, das den Schattenbereich des Bilds in 4 umgibt.
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Um
die vorliegende Erfindung an modernes Verarbeitungsgerät richtig
anzupassen, wird die mit dem Detektor verwendete Software modifiziert,
um eine gleichzeitige Verarbeitung des Flecks von dem transmittierten
Strahl und dem ihn umgebenden Beugungsmuster zu ermöglichen.
Die allgemeinen Schritte zum Durchführen dieser Verarbeitung sind
in Flussdiagrammform in 5A und 5B gezeigt. Die
Softwareinstruktionen, um diese Schritte zu implementieren, sind
in einem Speichermedium angeordnet, welches in der Nähe der Scanvorrichtung
ist. Die spezifischen Instruktionen selbst können in Abhängigkeit des verwendeten Geräts variieren
und die Erzeugung eines Programms, das diese Instruktionen hat,
liegt genau im Bereich der Fähigkeiten
des Fachmanns bei Vorlage der vorliegenden Beschreibung.
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5A zeigt
einen ersten Abschnitt eines Verarbeitungsverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung.
In Schritt 501 wird ein Röntgenbeugungsscan ohne angeordnete
Probe initiiert, d. h. eine „Luft"Streuung erfolgt.
Die von der Detektoranordnung detektierten Signalpegel während der
Luftstreuung werden als einzelne Datei gespeichert. Aus diesem detektierten
Signal wird die ungefähre
Stelle des Mittelpunkts des transmittierten Strahls ebenfalls festgestellt
(Schritt 503). Da der Strahlbegrenzer die Bildung eines
Schattens um den transmittierten Strahlabschnitt herum bewirkt,
kann der Abschnitt der Detektoranordnung, auf welchen der Strahl
auftrifft, einfach detektiert werden. In der Praxis hat sich herausgestellt,
dass die Strahlposition innerhalb eines halben Pixels an der Detektoranordnung
detektiert werden kann. Wenn der Strahlmittelpunkt lokalisiert wurde,
wird eine Probe in das System geladen (Schritt 505). In
Schritt 507 wird ein Röntgenbeugungsscan
der Probe ausgeführt
und die von dem Detektor detektierten Intensitäten werden in einer Detektionsdatei
aufgezeichnet. Aus dieser Detektionsdatei kann eine Analyse der
gescannten Daten ausgeführt
werden.
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Nach
dem Sammeln der Daten wird die Größe des Bereichs des transmittierten
Strahls bestimmt. Zuerst werden vier Hauptrichtungen von dem Strahlmittelpunkt
ausgewählt
und ein detektiertes Intensitätspegelminimum
wird entlang jeder Richtung festgestellt (Schritt 509).
Das heißt,
vier zueinander orthogonale Achsen, die von dem zuvor bestimmten Strahlmittelpunkt
an dem Detektor aus strahlen, werden gewählt und die Intensitätswerte
werden entlang jeder dieser Achsen untersucht, bis ein minimaler Wert
erreicht wird. Da die Minima in den Schattenbereich fallen sollten,
welcher den transmittierten Strahl umgibt, können die festgestellten Minima
als Punkte verwendet werden, welche die Grenzen des transmittierten
Strahls in vier Richtungen auf der Oberfläche des Detektors begrenzen.
Die Grenze, die durch den Schattenbereich definiert ist, wird dann
von den vier Punkten der Intensitätsminimas und der bekannten Strahleigenschaften
interpoliert. Zum Beispiel ist die Strahlform in dem System von 2 elliptisch,
so dass eine Ellipse von den detektierten Minima interpoliert wird.
Diese Ellipse wird dann verwendet, um den Bereich, auf den der transmittierte
Strahl auf den Detektor auftrifft, zu begrenzen (Schritt 511).
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Wenn
die Bereiche der Detektorfläche
definiert sind, erfolgen Scanmessungen. In Schritt 513 wird
die Scanintensität
außerhalb
der Ellipse aufintegriert, wodurch man die Signalintensität der gestreuten
Röntgenstrahlen
erhält.
Die Scanintensität
innerhalb der Ellipse wird ebenfalls aufintegriert, um die Intensität des transmittierten
Strahls zu bestimmen (Schritt 515). Um die Qualität der Messung
des transmittierten Strahls zu verbessern, wird bei der Aufintegration
der Strahlintensität
bei der bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung sowohl die Strahlintensität, die während der Streumessung von
Schritt 507 gemessen wurde, als auch die Strahlintensität, die während der
Testmessung von Schritt 501 gemessen wurde, verwendet.
Alternativ dazu kann bei der Aufintegration nur die Strahlmessung
verwendet werden, die während
der Streuung erfolgte. Obwohl einige der gestreuten Röntgenstrahlen
in den elliptischen Bereich gestreut werden können, welcher den transmittierten
Strahl begrenzt, ist die Intensität des transmittierten Strahls
um mehrere Größenordnungen
größer als
die der gestreuten Röntgenstrahlen und
der Effekt kann deshalb vernachlässigt
werden.
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Nach
den Intensitätsmessungen
kann ein Transmissionskoeffizient berechnet werden, was in Schritt 517 gezeigt
ist. Der Transmissionskoeffizient ist das Verhältnis der Teststrahlintensität von Schritt 501 zu
der Transmissionsintensität
von Schritt 515. Sobald dieser Koeffizient bestimmt wurde,
kann er verwendet werden, um die Probendichte oder Dicke an der
bestimmten Probenposition zu berechnen.
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Schritt 519 von 5B zeigt
eine Rückkehr zu
Schritt 505 zum Laden einer weiteren Probe, falls dies
erwünscht
ist. Da die ursprüngliche
Luftstreuung zur Kalibrierung des Systems dient, muss dieser Schritt
nicht nochmals ausgeführt
werden bevor ein weiterer Scanvorgang begonnen wird. Sobald die letzte
Probe untersucht wurde, wird das Verfahren beendet. Vorzugsweise
werden die Kalibrierschritte für
jeden neuen Satz von Streumessungen wiederholt. Es wird dem Fachmann
klar sein, dass obwohl die Schritte des Berechnens der Intensitäten und
des Transmissionskoeffizienten vor dem Laden einer neuen Probe gezeigt
sind, die Messungen auch gespeichert werden können und die Berechnungen später erfolgen
können.
Die Berechnungen können auch
stattfinden, während
nachfolgende Proben untersucht werden.
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Während die
Erfindung in Bezug auf eine bevorzugte Ausführungsform gezeigt und beschrieben wurde,
wird es dem Fachmann klar sein, dass verschiedene Änderungen
der Form und der Einzelheiten vorgenommen werden können, ohne
den Rahmen der Erfindung, wie sie in den beiliegenden Ansprüchen definiert
ist, zu verlassen.