DE69901787T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Oberflächenpotentials - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Oberflächenpotentials

Info

Publication number
DE69901787T2
DE69901787T2 DE69901787T DE69901787T DE69901787T2 DE 69901787 T2 DE69901787 T2 DE 69901787T2 DE 69901787 T DE69901787 T DE 69901787T DE 69901787 T DE69901787 T DE 69901787T DE 69901787 T2 DE69901787 T2 DE 69901787T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mapping
surface potential
potential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69901787T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69901787D1 (de
Inventor
Juergen Dr Frosien
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Publication of DE69901787D1 publication Critical patent/DE69901787D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69901787T2 publication Critical patent/DE69901787T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/266Measurement of magnetic- or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy
    • H01J37/268Measurement of magnetic- or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy with scanning beams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/004Charge control of objects or beams
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2448Secondary particle detectors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
DE69901787T 1999-03-31 1999-03-31 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Oberflächenpotentials Expired - Fee Related DE69901787T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP99106654A EP1049132B1 (de) 1999-03-31 1999-03-31 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Oberflächenpotentials

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69901787D1 DE69901787D1 (de) 2002-07-18
DE69901787T2 true DE69901787T2 (de) 2002-11-21

Family

ID=8237904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69901787T Expired - Fee Related DE69901787T2 (de) 1999-03-31 1999-03-31 Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung eines Oberflächenpotentials

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6429427B1 (de)
EP (1) EP1049132B1 (de)
JP (1) JP2000329541A (de)
DE (1) DE69901787T2 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4093662B2 (ja) * 1999-01-04 2008-06-04 株式会社日立製作所 走査形電子顕微鏡
JP3996774B2 (ja) * 2002-01-09 2007-10-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ パターン欠陥検査方法及びパターン欠陥検査装置
JP4248382B2 (ja) * 2003-12-04 2009-04-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置
JP4519567B2 (ja) * 2004-08-11 2010-08-04 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査型電子顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法
JP4224039B2 (ja) 2005-05-25 2009-02-12 スミダコーポレーション株式会社 磁性素子
GB2442027B (en) * 2006-09-23 2009-08-26 Zeiss Carl Smt Ltd Charged particle beam instrument and method of detecting charged particles
US8604427B2 (en) * 2012-02-02 2013-12-10 Applied Materials Israel, Ltd. Three-dimensional mapping using scanning electron microscope images
US9715724B2 (en) 2014-07-29 2017-07-25 Applied Materials Israel Ltd. Registration of CAD data with SEM images

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1246744A (en) * 1969-01-02 1971-09-15 Graham Stuart Plows Electron beam apparatus
DE2005682C3 (de) * 1970-02-07 1974-05-09 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Vorrichtung zum Absaugen der Sekundärelektronen in einem Rasterelektronenmikroskop oder einem Elektronenstrahl-Mikroanalysator
JPS58197644A (ja) * 1982-05-13 1983-11-17 Akashi Seisakusho Co Ltd 電子顕微鏡およびその類似装置
DE3576213D1 (de) * 1984-09-18 1990-04-05 Integrated Circuit Testing Gegenfeld-spektrometer fuer die elektronenstrahl-messtechnik.
JP3341226B2 (ja) * 1995-03-17 2002-11-05 株式会社日立製作所 走査電子顕微鏡
DE69638126D1 (de) * 1995-10-19 2010-04-01 Hitachi Ltd Rasterelektronenmikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
EP1049132A1 (de) 2000-11-02
US6429427B1 (en) 2002-08-06
JP2000329541A (ja) 2000-11-30
DE69901787D1 (de) 2002-07-18
EP1049132B1 (de) 2002-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60015774D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines bohrloches
DE50008357D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur oberflächenbehandlung eines bauteils
DE60038638D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verrohrung eines Bohrloches
DE60023077D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Unterstützung der Bremsbetätigung eines Fahrzeugführers
DE59913456D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur stabilisierung eines fahrzeuges
DE59912621D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur stabilisierung eines fahrzeuges
DE60007688D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Werkzeugs
DE69916397D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Betätigung eines Bohrlochwerkzeuges
DE878824T1 (de) Verfahren und Gerät zur Ätzung eines Werkstücks
DE60132552D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur verteilung eines dateninhalts
DE69826538D1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Reinigung eines Gegenstandes
DE69820153D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Zementierung eines Bohrloches
DE69830454D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Zementierung eines Bohrloches
DE60036939D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur markierung von fehlern
DE60020956D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur regelung der verfügbaren fähigkeiten eines gerätes
DE50004671D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur dosierung eines reduktionsmittels
DE50015979D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ermittlung einer geschwindigkeitsgrösse
DE19983807T1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächemmarkierung eines Substrats
DE59901000D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines erzeugnisses
DE60039002D1 (de) Gerät und Verfahren zur Oberflächenmustererkennung
DE60029348D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bearbeitung eines lebensmittels
DE69835115D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Entleerung eines Rohres
DE69926137D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur befestigung eines bauelementes
DE69903937D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur reduzierung der einschaltzeit eines kristalloszillators
DE60031502D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Typbestimmung eines Formblatts

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee