DE69838154T2

DE69838154T2 - Belichtungseinheit, Belichtungssystem und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

Info

Publication number: DE69838154T2
Application number: DE69838154T
Authority: DE
Inventors: Takashi Ohta-ku Nakamura; Yasuyoshi Ohta-ku Yamada; Satoshi Ohta-ku Kyotoku
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-03-04
Filing date: 1998-02-25
Publication date: 2008-04-17
Anticipated expiration: 2018-02-26
Also published as: US6185474B1; EP0863439A2; EP0863439B1; DE69838154D1; KR19980079878A; EP0863439A3; TW376542B

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Belichtungseinheit für die Herstellung einer Halbleitervorrichtung, ein Halbleiter-Produktionssystem, welches durch ein Zusammenfassen von einer Mehrzahl solcher Belichtungseinheiten in ein Kommunikationsnetzwerk ausgebildet ist, und ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiters basierend auf ein solches System.
Bei einer unabhängigen Halbleiter-Belichtungseinheit (Stepper), welche im Allgemeinen nicht über ein Netzwerk, wie beispielsweise ein LAN oder dergleichen verbunden ist, ist es notwendig, eine Datendateigruppe, wie beispielsweise eine erforderliche Auftragsdatei oder Maskendatei (engl. reticle file), für jeden Stepper individuell bereitzustellen. Dies verursachte für einen Bediener einen mühsamen Betrieb zum Laden von notwendigen Daten in einen lokalen Speicher, welcher in einem gewünschten Stepper enthalten ist, welcher in einem Reinraum angeordnet ist, durch die Verwendung eines entnehmbaren Speichermediums, wie beispielsweise eine Floppy-Disk (FD) oder eine photomagnetische Disk (MO), welches eine notwendige Datendatei speichert.
Herkömmlicherweise gibt es viele Halbleiter-Herstellungswerke, welche in Übereinstimmung mit einem Protokoll des Halbleiter-Kommunikationsstandards (Semiconductor Communication Standard SECS) verwaltet werden, welcher allgemein als ein Online-System bekannt ist, wobei es andererseits durch eine serielle Leitung mit geringer Geschwindigkeit, wie beispielsweise RS232C, mit einem Host- Computer verbunden ist. Bei einem solchen Online-System ist es möglich, eine Steuerung des Steppers unter Verwendung eines Befehls, einer Statussteuerung des Steppers und einer teilweisen Modifikation von Datendateien durchzuführen.
Bei einem Online-System, wie oben beschrieben, kann eine Datendatei, wie beispielsweise eine Auftragsdatei oder eine Maskendatei, welche zum Belichtungsbetrieb verwendet wird, durch einen Online-Befehl umgeschaltet werden. Da eine Datendatei selber eine relativ hohe Datenkapazität hat, verwendet das Online-System jedoch in vielen Fällen eine Leitung mit niedriger Geschwindigkeit, und daraus folgend wird ein Aufbau, welcher eine Übertragung auf der Leitung zulässt, nicht verwendet. Es ist daher notwendig, zunächst diese Dateien an Steppern bereitzustellen, welche eine Belichtung durchführen.
In einem allgemeinen Halbleiter-Produktionssystem besteht die Funktion des Host-Computers lediglich darin, bei jedem der in einem Kommunikationsnetzwerk verbundenen Stepper eine Art des Belichtungsbetriebes zu bestimmen und einen Beginn des Belichtungsbetriebes anzufordern. Daraus folgend muss eine Datendatei, welche eine Belichtungsarbeitsinformation (ebenfalls als Auftrag bekannt) enthält, welche Inhalte der auszuführenden Arbeit zeigt, bei dem zum Belichten des Halbleiters zu verwendenden Stepper vorliegen. Daraus folgend, ist es, wenn eine Mehrzahl von Steppern verwendet wird, bei allen Steppern erforderlich, alle Stücke der Belichtungsarbeitsinformation zu haben, welche in den einzelnen Speicherbereichen notwendig sein kann.
Der wie oben beschriebene Aufbau hat jedoch dahingehend einen Nachteil, dass es notwendig ist, zuvor alle Stücke der Belichtungsarbeitsinformation, welche notwendig sein können, zu ermitteln und zu sammeln, welches eine komplizierte Wartung und Verwaltung der Belichtungsarbeitsinformation verursacht.
Es ist ferner wahrscheinlich, dass der Stepper in seinem Speicherbereich Stücke von einer Belichtungsarbeitsinformation hat, welche niemals verwendet werden. Es ist daher notwendig, die Kapazität des Speicherbereichs zu erhöhen, welches somit zu ökonomischen Nachteilen führt.
Insbesondere sind hunderte oder sogar tausende von Dateien zur Produktion von einigen Arten von Halbleitervorrichtungen erforderlich, und ein Bereitstellen all dieser Dateien beim Stepper belastet die Speicherkapazität des Steppers und führt letztendlich zu einem Kapazitätsengpass. Zusätzlich gibt es beim Belichtungsprozess unter Verwendung einer Anzahl von Datendateien, wie beispielsweise ASIC, eine Anforderung nach einer sanften und wirksamen Verwaltung dieser Dateien. Ein Vorbereiten und Kompilieren von Betrieben dieser Datendateien werden außerhalb eines Reinraums durchgeführt, und in vielen Fällen werden eine Korrektur von Defekten in Parametern und eine Modifikation von Probeparametern sehr häufig durchgeführt. Dies führt, sofern angefordert, zu einer Anforderung nach einer automatischen Aktualisierung von Dateien auf die neuesten, über ein Netzwerk.
Die EP-A-0507589 beschreibt ein System zur Verarbeitung von einer lithographischen Information, wobei ein Zentralcomputer Daten an eine Mehrzahl von Belichtungseinrichtungen bereitstellt.
Die US-A-4,974,166 offenbart ein System zum Speichern und Transportieren von Gegenständen, wie beispielsweise Container, wobei jeder Container eine Speichervorrichtung enthält, welche an eine Arbeitsstation verbindbar ist, um Daten bezüglich der Inhalte der Container zur Anzeige an der Arbeitsstation bereitzustellen.
Die US-A-5,126,932 beschreibt ein Verfahren zum Durchführen eines Computerprogramms, bei welchem Verarbeitungsbetriebe in einer Mehrzahl von autonomen Knoten eines verteilten Computersystems zufrieden stellend durchgeführt werden.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung wurde angesichts der vorhergehenden Probleme entwickelt und hat eine Aufgabe dahingehend, eine einfache Bestimmung zu erlauben, ob eine Belichtungsarbeitsinformation, welche zur Belichtungsverarbeitung notwendig ist, im System vorliegt oder nicht, und zwar im Hinblick auf eine Vermeidung von Problemen bei der Wartung und Verwaltung der Belichtungsarbeitungsinformation.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, eine Übertragung von einer Belichtungsarbeitsinformation, welche zur Belichtungsverarbeitung notwendig ist, zwischen Einheiten in einem System zu erlauben, die für eine Belichtungseinheit erforderliche Speicherkapazität zu reduzieren und eine Wartung und Verwaltung der Belichtungsarbeitsinformation zu erleichtern.
Um die vorhergehenden Aufgaben der Erfindung zu lösen, sind eine Belichtungseinheit, ein Steuerverfahren und ein Vorrichtungsherstellungsverfahren bereitgestellt, wie in den hier anliegenden Ansprüchen bestimmt.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung erlangt die zuvor genannte Arbeitsinformations-Verwaltungseinrichtung die Belichtungsarbeitsinformation für die spezifische Art der Belichtungsarbeit von der Belichtungseinheit oder dem Informationsprozessor, welcher eine positive Antwort auf eine Anfrage gegeben hat.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung bestimmt die Arbeitsinformations-Verwaltungseinrichtung nach einem Empfang von einer Anfrage ähnlich zu der oben beschriebenen, von der weiteren Belichtungseinheit, ob die Belichtungsarbeitsinformation von dieser Anfrage in der Speichereinrichtung ist oder nicht, und überträgt das Ergebnis davon an die weitere Belichtungseinheit, welche die Anfrage gestellt hat. Wenn ein positives Ergebnis an die weitere Belichtungseinheit übertragen wird, welche die Anfrage gestellt hat, kann die Arbeitsinformations-Verwaltungseinrichtung die Arbeitsinformation bezüglich der Anfrage in dem übertragenen Ergebnis einbeziehen.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung stellt die Arbeitsinformations-Verwaltungseinrichtung eine Anfrage darüber, ob es ein bestimmtes Stück von einer Belichtungsarbeitsinformation in einer Sequenz von Belichtungseinheiten oder Informationsprozessoren gibt oder nicht, und zwar von den niedrigsten zu den höchsten Kosten, welche erforderlich sind, um diese Arbeitsinformation zu erlangen, und erlangt diese Arbeitsinformation vom ersten positiven Antwortenden. Andererseits wird gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung die Anfrage, ob es die Belichtungsarbeitsinformation gibt oder nicht, an alle weiteren Belichtungseinheiten oder Informationsprozessoren soweit wie möglich gestellt, und die Belichtungsarbeitsinformation wird vom Antwortenden mit den niedrigsten Kosten, welche erforderlich sind, um die Belichtungsarbeitsinformation zu erlangen, unter den positiven Antwortenden erlangt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist ein Halbleiter-Belichtungssystem bereitgestellt, welches eine Mehrzahl von Netzwerk-Belichtungseinheiten, wie oben beschrieben, und einen Informationsprozessor, wie oben beschrieben, hat.
Bei dem Halbleiter-Belichtungssystem bestimmt der Informationsprozessor die Art der Belichtungsarbeit in jeder Belichtungseinheit und fordert jede Belichtungseinheit auf, die Belichtungsarbeit zu beginnen. Wenn die Belichtungsarbeitsinformation entsprechend der Art der Belichtungsarbeit, wie zusammen mit der Beginnanforderung der Belichtungsarbeit vom Informationsprozessor angewiesen, nicht vorliegt, fragt die Belichtungseinheit, welche die Arbeitsbeginnanforderung empfängt, die weiteren Belichtungseinheiten oder den Informationsprozessor an, ob derselbige die Belichtungsarbeitsinformation hat oder nicht, bestimmt, ob die Belichtungsarbeit der angewiesenen Art ausführbar ist, und zwar auf Basis von Antworten auf eine solche Anfrage, oder nicht, und überträgt das Ergebnis davon an den Informationsprozessor.
Ferner wird gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ein Halbleiterherstellungsverfahren bereitgestellt, bei welchem, wenn die spezifizierte Belichtungseinheit nach einem Durchführen von der Belichtungsarbeit der angewiesenen Art durch die Verwendung der entsprechenden Belichtungsarbeitsinformation, die Arbeitsinformation hat, die spezifizierte Belichtungseinheit die Belichtungsarbeit auf Basis dieser Arbeitsinformation durchführt, und sie erlangt, wenn die Einheit die zuvor genannte Arbeitsinformation nicht hat, diese Arbeitsinformation von den weiteren Belichtungseinheiten oder dem Informationsprozessor, welche über ein Kommunikationsnetzwerk mit dieser spezifizierten Belichtungseinheit verbunden sind, und sie führt die Belichtungsarbeit auf Basis von dieser Arbeitsinformation durch.
Bei dieser Ausführungsform wird die Belichtungsarbeitsinformation von der angewiesenen Art der Belichtungsarbeit erlangt, indem die weiteren Belichtungseinheiten oder der Informationsprozessor darüber abgefragt wird, ob die Belichtungsarbeitsinformation darin vorliegt oder nicht, und zwar von der Belichtungseinheit oder dem Informationsprozessor, welcher auf eine solche Anfrage eine positive Antwort gegeben hat. Die Anfrage über das Vorliegen oder Nichtvorliegen von der Belichtungsarbeitsinformation wird in einer Sequenz von einer Belichtungseinheit oder dem Informationsprozessor von den niedrigsten Kosten zum Erlangen dieser Arbeitsinformation gestellt, und es wird jene Arbeitsinformation von dem Antwortenden erlangt, welcher die erste positive Antwort gegeben hat. Andererseits wird eine Anfrage an alle möglichen weiteren Belichtungseinheiten oder an den Informationsprozessor gestellt, und diese Belichtungsarbeitsinformation wird von dem Antwortenden, welcher die minimalen Kosten zum Erlangen der Belichtungsarbeitsinformation bedarf, unter den positiven Antwortenden erlangt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist ein Halbleiter-Belichtungssystem bereitgestellt, bei welchem ein Server und Halbleiter-Belichtungseinheiten durch eine Netzwerkverbindungseinrichtung verbunden sind, um ein Netzwerk auszubilden. Dieses System hat einen Aufbau, bei welchem der Server eine Datendatei, welche zur Verarbeitung in der Halbleiter-Belichtungseinheit notwendig ist, an die Halbleiter-Belichtungseinheit in Ansprechen auf eine Anfrage davon überträgt. Dies erlaubt eine wirksame Verwendung von vielen und den neuesten Datendateien in der Halbleiter-Belichtungseinheit, während die Belastung auf die Speicherkapazität in der Halbleiter-Belichtungseinheit vermieden wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist eine Halbleiter-Belichtungseinheit bereitgestellt, welche in einem Halbleiter-Belichtungssystem verwendet wird, bei welchem ein Server und Halbleiter-Belichtungseinheiten durch eine Netzwerkverbindungseinrichtung zu einem Netzwerk verbunden sind. Die vorhergehende Einheit hat eine Einrichtung zum Anfordern einer Datendatei, welche zur Verarbeitung in der Halbleiter-Belichtungseinheit notwendig ist, vom Server, und zum Empfangen der vom Server übertragenen Daten in Ansprechen darauf.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist ein Vorrichtungsherstellungsverfahren zum Herstellen von einer Vorrichtung durch eine Belichtung unter Verwendung eines Halbleiter-Belichtungssystems bereitgestellt, bei welchem ein Server und Halbleiter-Belichtungseinheiten durch eine Netzwerkverbindungseinrichtung zu einem Netzwerk verbunden sind. Gemäß diesem Verfahren wird eine Datendatei, welche zur Verarbeitung durch die Halbleiter-Belichtungseinheit notwendig ist, vom Server an die Halbleiter-Belichtungseinheit übertragen, und zwar in Ansprechen auf eine Anforderung von der Halbleiter-Belichtungseinheit.
Bei dieser Ausführungsform fordert die Halbleiter-Belichtungseinheit den Server an, die Datendatei auf Wunsch (bei der Anforderung derer) zu übertragen, wenn die Datendatei im Belichtungsbetrieb notwendig wird. Der Server agiert so, dass er die Daten jederzeit in Ansprechen auf die Anforderung von der Halbleiter-Belichtungseinheit überträgt.
Bei diesem Verfahren ist eine gewünschte Datendatei auf Wunsch durch den Server verfügbar. Es ist daher notwendig, eine Speicherkapazität bereitzustellen, um alle Datendateien zu speichern, welche durch die Halbleiter-Belichtungseinheit auf Seiten derer erforderlich sind. Daraus folgend ist es möglich, die Kapazität des lokalen Speichers von der Halbleiter-Belichtungseinheit zu minimieren, und automatisch die neueste Datei zu aktualisieren, wodurch eine Verbesserung von einer Einfachheit einer Datendatei-Verwaltung erlaubt wird, welche für die Belichtungsarbeit notwendig ist.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden anhand der folgenden Beschreibung deutlich, wenn sie in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen genommen wird, bei denen gleiche Bezugszeichen über die Figuren hinweg die gleichen oder ähnlichen Teile kennzeichnen.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
Die begleitende Zeichnung, welche einbezogen ist, und einen Teil der Beschreibung bildet, stellt zusammen mit der Beschreibung Ausführungsformen der Erfindung dar, wobei sie zur Erläuterung der Prinzipien von der Erfindung dient.
1 ist ein Blockdiagramm, welches einen Teilaufbau des Halbleiter-Belichtungssystems von einer ersten Ausführungsform der Erfindung darstellt;
2 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der Belichtungseinheit der ersten Ausführungsform darstellt;
3 ist ein Ablaufdiagramm, welches die Abfrageverarbeitung der Belichtungsarbeitsinformation der ersten Ausführungsform darstellt;
4A bis 4G stellen Inhalte von Meldungen dar, welche zwischen Einheiten der ersten Ausführungsform übertragen werden;
5 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Verarbeitungsablauf durch ein Belichtungsarbeitsinformations- Verwaltungsprogramm beim Empfang von einer Anfragemeldung 51 darstellt;
6 ist ein Ablaufdiagramm, welches die Abfrageverarbeitung der Belichtungsarbeitsinformation in einer Variante der ersten Ausführungsform darstellt;
7 stellt den Netzwerkaufbau des Halbleiter-Belichtungssystems von einer zweiten Ausführungsform der Erfindung dar;
8 ist ein Blockdiagramm, welches den Hardware-Aufbau der Halbleiter-Belichtungseinheit darstellt, welche mit einem Netzwerk zurechtkommt, welches in dem in 7 gezeigten System verwendet wird;
9 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der zweiten Ausführungsform darstellt;
10 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der dritten Ausführungsform darstellt;
11 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der vierten Ausführungsform darstellt;
12A stellt einen Aufbau von gruppenregistrierten Daten in einer ^Halbleiter-Belichtungseinheit im System dar;
12B ist ein Ablaufdiagramm, welches den Verarbeitungsablauf beim Empfang von einer Datendatei-Übertragungsanforderung in einem Server in der fünften Ausführungsform darstellt;
13 stellt eine Verwaltungshierarchie eines Halbleiter-Belichtungssystems der sechsten Ausführungsform der Erfindung dar;
14 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der siebten Ausführungsform der Erfindung darstellt;
15 stellt ein Beispiel von einer Registrierungsliste der Datendatei-Löschzeit dar, welche in der Server-Ausführungsform der Erfindung verwendet wird;
16 ist ein Ablaufdiagramm, welches eine Vorrichtungsherstellungsverarbeitung darstellt, welche das Halbleiter-Belichtungssystem in einer Ausführungsform der Erfindung verwendet; und
17 ist ein Ablaufdiagramm, welches einen detaillierten Ablauf des in 16 gezeigten Wafer-Prozesses darstellt.
GENAUE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Es werden nun bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung detailliert gemäß den begleitenden Zeichnungen beschrieben.
[Erste Ausführungsform)
Es wird nun eine erste Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
1 ist ein Blockdiagramm, welches einen Teilaufbau des Halbleiter-Produktionssystems der ersten Ausführungsform der Erfindung darstellt. In 1 kennzeichnen 10 und 20 Halbleiter-Belichtungseinheiten, und 30 kennzeichnet einen Host-Computer, welcher das Produktionssystem verwaltet.
Die Halbleiter-Belichtungseinheit 10 ist mit einem Kommunikations-Steuerprogramm 11, einem Equipment-Steuerprogramm 12, einem Belichtungsarbeitsinformations- Verwaltungsprogramm 13 und einem Speicher 14 bereitgestellt, und kommuniziert mit den weiteren Halbleiter-Belichtungseinheiten 20 und dem Host-Computer 30 über ein Netzwerk 40 durch das Kommunikations-Steuerprogramm 11. Bei diesem Aufbau, führt das Equipment-Steuerprogramm 12 eine Steuerung des Equipments (nicht gezeigt) durch, welches zur Belichtungsarbeit notwendig ist. Eine Belichtungsarbeitsinformation (welche ebenfalls als Auftrag bekannt ist), welche zur Belichtungsarbeit notwendig ist, ist im Speicher 14 gespeichert. Das Equipment-Steuerprogramm 12 führt eine Belichtungsverarbeitung auf Basis der Belichtungsarbeitsinformation durch, welche in einem Arbeitsspeicher 12a geladen ist.
Das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 überprüft das Vorliegen oder Nichtvorliegen des Auftrages, welcher für die Belichtungsarbeit notwendig ist, und verwaltet eine Eingabe/Ausgabe in und aus dem Speicher 14. Das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 hat eine Funktion zum Abfragen der weiteren Halbleiter-Belichtungseinheiten und des Host-Computers nach der Belichtungsarbeitsinformation. Ferner hat das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 eine Funktion zum Verwalten des Auftrages und eine Funktion zum Beantworten von einer Anfrage von den weiteren Einheiten über die Belichtungsarbeitsinformation.
Die obige Beschreibung gilt ebenfalls beim Aufbau der Halbleiter-Belichtungseinheit 20.
Der Host-Computer 30 ist mit einem Kommunikations-Steuerprogramm 31, einem Produktions-Steuerprogramm 32, einem Belichtungsinformations-Verwaltungsprogramm 33 und einem Speicher 34 bereitgestellt. Programme 31 und 33 haben dann die gleichen Funktionen wie jene der Programme 11 und 13 von der Halbleiter-Belichtungseinheit 10. Es kann jegliches geeignetes Protokoll, wie beispielsweise TCP/IP, Net Ware oder Apple Talk, als Protokoll für das Netzwerk 40 verwendet werden.
Das Produktions-Steuerprogramm 32 weist den Halbleiter-Belichtungseinheiten 10 und 20, welche durch das Netzwerk 40 verbunden sind, den Start der Belichtungsarbeit an, und spezifiziert die Art und Weise der zu verwendenden Belichtungsarbeitsinformation.
Es wird nun eine Verarbeitung durch das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm in der ersten Ausführungsform mit Bezug auf die Ablaufdiagramme von 2 und 3 beschrieben. Bei dieser Ausführungsform wird angenommen, dass die Halbleiter-Belichtungseinheit 10 Stücke von einer Belichtungsarbeitsinformation 15 und 16 (welche jeweils Auftrag A und Auftrag B genannt werden) hat, die Halbleiter-Belichtungseinheit 20 hat eine Belichtungsarbeitsinformation 25 (welche Auftrag C genannt wird), und der Host-Computer 30 hat Stücke von einer Belichtungsarbeitsinformation 35 und 36 (welche jeweils Auftrag D und Auftrag E genannt werden).
Es wird nun angenommen, dass das Produktions-Steuerprogramm 32 des Host-Computers 30 die Halbleiter-Belichtungseinheit 10 dazu anweist, eine Belichtungsarbeit durch die Belichtungsarbeitsinformation, welche Auftrag C genannt wird, durchzuführen. Die durch den Computer 30 an die Halbleiter-Belichtungseinheit 10 gesendete Meldung nimmt die Form einer in 4A gezeigten Meldung 50 an.
Beim Empfang dieser Meldung überprüft das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 der Halbleiter-Belichtungseinheit 10 das Vorliegen oder Nichtvorliegen der Belichtungsarbeitsinformation, welche als Auftrag C benannt wird, im Speicher 14 (Schritte S101 und S102). Wenn ein entsprechendes Stück der Belichtungsarbeitsinformation vorliegt, wird die Belichtungsarbeitsinformation in den Arbeitsspeicher 12a geladen, und die Belichtungsarbeit wird durch die Verwendung dieser Information begonnen (Schritte S103, S107 und S108). Bei dieser Ausführungsform liegt jedoch die Belichtungsarbeitsinformation, welche Auftrag C genannt wird, nicht im Speicher 14 vor. Demgemäß fragt das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 die Belichtungsarbeitsinformation in Übereinstimmung mit dem in 3 gezeigten Ablaufdiagramm ab (Schritte S103 und S104). Bei dieser Ausführungsform wird zunächst eine Abfrage des Host-Computers 30 und dann auf die Halbleiter-Belichtungseinheit 20 vorgenommen.
Beim Start der Anfrage wählt das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 13 den Host-Computer 30 als das erste Gegenstück der Anfrage aus (Schritt S201): das Programm 13 überträgt eine Meldung 51 (4B) an den Host-Computer 30, um die Belichtungsarbeitsinformation abzufragen, und wartet eine Antwort ab (Schritt S202).
In Ansprechen auf diese Abfrage überprüft das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 33 des Host-Computers 30 das Vorliegen oder Nichtvorliegen des Auftrages C im Speicher 34. 5 ist ein Ablaufdiagramm, welches den Verarbeitungsablauf durch das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm beim Empfang der Anfragemeldung 51 darstellt. Wenn bestimmt ist, dass die Anfragemeldung 51 empfangen ist, wird der Belichtungsarbeitsinformations-Name von der Anfragemeldung erlangt (Schritte S151 und S152). Es werden Gruppen von einer Belichtungsarbeitsinformation, welche durch die Einheit gehalten werden, mit dem somit erlangten Belichtungsarbeitsinformations-Name gesucht, um zu bestimmen, ob die spezifizierte Belichtungsarbeitsinformation vorliegt oder nicht (Schritt S153). Wenn die spezifizierte Belichtungsarbeitsinformation vorliegt, wird eine positive Meldung 53 (4D) an die Einheit rückgekehrt, welche die Anfragemeldung gesendet hat (Schritte S154 und S155). Wenn die spezifizierte Belichtungsinformation nicht vorliegt, wird eine negative Meldung 52 (4C) an die Einheit zurückgegeben, welche die Anfragemeldung gesendet hat (Schritte S154 und S156).
Bei dieser Ausführungsform liegt der Auftrag C nicht im Speicher 34 vor. Demgemäß sendet der Host-Computer 30 eine negative Meldung 52 (4C) an die Halbleiter-Belichtungseinheit 10.
Beim Empfang der negativen Antwortmeldung 52 bestimmt die Halbleiter-Belichtungseinheit 10, dass die Meldung keine positive Antwort ist (Schritt S203). Dann wird bestimmt, ob die Anfrage an alle Einheiten vorgenommen wurde oder nicht (Schritt S204). Weil an diesem Punkt bestimmt ist, dass die Anfrage nicht an alle Einheiten vorgenommen wurde, wird die Halbleiter-Belichtungseinheit 20 als die Einheit ausgewählt, an welche die nächste Anfrage vorzunehmen ist (Schritt S201), und die Anfrage über die Belichtungsarbeitsinformation wird mittels der Meldung 51 vorgenommen, um nach einer Antwort darauf abzuwarten (Schritt S202).
Beim Empfang von dieser Meldung (Anfragebefehl) überprüft das Belichtungsarbeitsinformations-Verwaltungsprogramm 23 der Halbleiter-Belichtungseinheit 20, ob der Auftrag C im Speicher 24 vorliegt oder nicht. In dieser Ausführungsform liegt der Auftrag C im Speicher 24 vor. Demgemäß sendet die Halbleiter-Belichtungseinheit 20 eine positive Antwortmeldung 53 (4D) an die Halbleiter-Belichtungseinheit 10 durch eine in 5 gezeigte Verarbeitung.
Beim Empfang der positiven Antwortmeldung 53, bestimmt die Halbleiter-Belichtungseinheit 10, dass sie eine positive Antwort ist (Schritt S203), sendet eine Meldung 54 (4E), welche anzeigt, dass die Belichtungsarbeit begonnen werden kann, an den Host (Schritt S207), und vollendet die Anfrageverarbeitung nach der Belichtungsarbeitsinformation.
Wenn der Auftrag C nicht gefunden wird, wird bestimmt, dass die notwendige Belichtungsarbeitsinformation nicht im Produktionssystem vorliegt (Schritt S205), und es wird eine Meldung 55 (4F), welche anzeigt, dass es unmöglich ist, die Belichtungsarbeit zu beginnen, an den Host-Computer 30 übertragen (Schritt S207), wodurch die Anfrageverarbeitung der Belichtungsarbeitsinformation vollendet wird.
Es kann jegliche Sequenz für die Anfrage nach der Belichtungsarbeitsinformation vorgenommen werden, und es ist ausreichend, eine Anfrage gemäß einer zuvor bestimmten Sequenz vorzunehmen. Die ökonomischste Art und Weise liegt darin, eine Anfrage in einer Reihenfolge von einer Einheit vorzunehmen, welche die niedrigsten Kosten erfordert, um die Belichtungsarbeitsinformation zu erlangen, und die Belichtungsarbeitsinformation von der Einheit zu empfangen, welche die erste positive Antwort gegeben hat, welche das Vorliegen der Belichtungsarbeitsinformation anzeigt.
Nach der Vollendung der Anfrage nach der Belichtungsarbeitsinformation, wie oben beschrieben, wird eine Verarbeitung verzweigt, und zwar in Abhängigkeit davon ob die entsprechende Belichtungsarbeitsinformation resultierend von dieser Anfrage gefunden wurde oder nicht. Wenn die geeignete Belichtungsarbeitsinformation nicht gefunden ist, wird ein Belichtungsarbeits-Startbefehl ohne weitere Aktion missachtet, und die Verarbeitung kehrt zu Schritt S101 zur Verarbeitung des nächsten Befehls zurück (Schritt S105).
Wenn die Belichtungsarbeitsinformation resultierend aus der Verarbeitung in Schritt S104 gefunden wird, wird andererseits die Belichtungsarbeitsinformation übertragen und im Arbeitsspeicher 12a gespeichert (Schritt S106), und die Belichtungsverarbeitung wird durch die Verwendung derer durchgeführt (Schritt S108).
Bei der vorhergehenden Ausführungsform wird die Belichtungsarbeitsinformation in Schritt S106 übertragen, jedoch ist die Übertragung nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann eine Meldung, welche die Belichtungsarbeitsinformation selber enthält, zusammen mit einer positiven Antwort, welche das Vorliegen der Belichtungsarbeitsinformation anzeigt, wie beispielsweise die Meldung 56 (4G), anstelle der positiven Antwortmeldung 53 übertragen werden.
Die Anfrage kann an alle Einheiten vorgenommen werden. In diesem Fall, kann die Belichtungsarbeitsinformation der Einheit, welche die minimalen Kosten erfordert, um die Belichtungsarbeitsinformation zu erlangen, unter den Einheiten, welche die angeforderte Belichtungsarbeitsinformation haben, angefordert werden.
In diesem Fall kann die Verarbeitung auf dem vorhergehenden Schritt S104 (3) basieren, welcher in eine wie in 6 gezeigte Variante modifiziert ist. Gemäß 6, wird, wenn eine positive Antwort (Meldung 53) in Schritt S203 empfangen ist, die Verarbeitung mit Schritt S211 fortfahren, um den Einheiten-Namen beizubehalten, und mit Schritt S04 fortfahren. Daraus folgend, ist es möglich, ein Vorliegen oder Nichtvorliegen der in Frage stehenden Belichtungsarbeitsinformation für alle Einheiten und Registereinheiten zu bestätigen, welche die Belichtungsarbeitsinformation haben. Bei der Vollendung der Verarbeitung in Schritten S201 bis S204 und S211 für alle Einheiten, wird bestimmt, ob eine Einheit, welche diese Belichtungsarbeitsinformation hat, registriert ist oder nicht. Wenn zumindest eine Einheit registriert ist, wird mit Schritt S207 fortgefahren, und wenn keine registrierte Einheit vorliegt, fährt die Verarbeitung mit Schritt S205 fort. Bei der in 2 gezeigten Dateiübertragung in Schritt S106, wird eine Einheit, welche die minimalen Übertragungskosten der Belichtungsarbeitsinformation erfordert, unter den in Schritt S211 registrierten Einheiten ausgewählt, und die Belichtungsinformation wird an die ausgewählte Einheit zur Dateiübertragung angefordert.
Die Sequenz der Übertragungskosten sollte zuvor in den Speichern der einzelnen Belichtungseinheiten und des Host-Computers 30 in der Form von Tabellen gespeichert sein. Die Übertragungskosten sind proportional, beispielsweise zur Datenübertragungsdistanz.
Gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung, wie oben beschrieben, ist es, wenn eine Mehrzahl von Halbleiter-Belichtungseinheiten, welche zu einem Kommunikationsnetzwerk verbunden sind, verwendet wird, nicht bei allen Halbleiter-Belichtungseinheiten notwendig, alle Stücke der Belichtungsarbeitsinformation, welche notwendig werden können, zu haben, und es ist ein Vorteil von einer einfacheren Wartung und Verwaltung der Belichtungsarbeitsinformation bereitgestellt.
Eine Datenübertragung, wie in der ersten Ausführungsform beschrieben, kann durch einen Aufbau erreicht werden, welcher später in der zweiten und in nachfolgenden Ausführungsformen beschrieben wird.
Gemäß dem Aufbau der ersten Ausführungsform, wie oben beschrieben, wird bestimmt, ob eine Belichtungsarbeitsinformation in irgendeiner der Belichtungseinheiten, welche ein Produktionssystem bilden, vorliegt oder nicht, und zwar sogar dann, wenn die für die Belichtungsarbeit notwendige Belichtungsarbeitsinformation nicht in der eigenen Belichtungseinheit vorliegt. Daraus folgend, kann ein Bediener eine Möglichkeit bestimmen, die Belichtungsarbeit zu beginnen, und zwar ohne die Notwendigkeit, ein Vorliegen der geeigneten Belichtungsarbeitsinformation abzufragen. Ferner ist es, indem die entsprechende Belichtungsarbeitsinformation von der weiteren Einheit erlangt wird, möglich, die Belichtungsarbeit zu beginnen, wenn irgendeine der Einheiten des Produktionssystems die Belichtungsarbeitsinformation hat.
[Weitere Ausführungsformen]
Resultierend aus der jüngsten Entwicklung dahingehend, dass Halbleiter-Herstellungsfabriken dazu neigen ein Netzwerk auszubilden, sind Halbleiter-Belichtungseinheiten (welche im Folgenden hier als "Stepper" bezeichnet werden) in einer zunehmenden Anzahl von Fällen durch die Verwendung von zahlreichen LAN (Local Area Network)-Verbindungsvorichtungen oder privaten/öffentlichen Leitungsnetzwerken, in Übereinstimmung mit einem Standard-Netzwerkprotokoll, wie beispielsweise Ethernet (TCP/IP, Net Ware, Apple Talk, usw.), verbunden. Unter der Wirkung von einer Entwicklung und Popularisierung von einer Standard-Netzwerktechnologie, wird der Aufbau eines Halbleiter-Belichtungseinheitssystems zur Automatisierung eines Halbleiter-Belichtungsprozesses einfacher, indem Stepper über ein Netzwerk mit der Verwendung eines Halbleiter-Belichtungseinheit Verwaltungssystems (welches hier im Folgenden als "Server" bezeichnet wird), welches mit dem Netzwerk verbunden ist, gesteuert werden. Eine solche Netzwerkverbindung ermöglicht es daher, eine Vorbereitung und Kompilierung von Datendateien, und eine Verteilung und Aktualisierung von außerhalb eines Reinraums durchzuführen.
Herkömmliche Online-Systeme, welche eine Niedriggeschwindigkeits-Leitung verwenden, wie beispielsweise RS232C, werden ebenfalls als bestehende Systeme beibehalten und verwaltet.
Es wird daher gewünscht, ein System durch die gleichzeitige Verwendung eines Online-Systems, welches eine Niedriggeschwindigkeits-Leitung verwendet, und eines Netzwerk-System, welches ein LAN oder dergleichen, welches eine relative Hochgeschwindigkeits-Datenübertragungsfähigkeit hat, verwendet, aufzubauen.
In der zweiten bis siebten Ausführungsform der im Folgenden beschriebenen Erfindung, wird daher, beim Empfang von einer Anweisung, Datendateien umzuschalten, welche als ein Online-Befehl von einem Host-Computer zu verwenden sind, welcher über eine Niedriggeschwindigkeits-Schnittstelle in Übereinstimmung mit dem Halbleiter-Kommunikations-Standardprotokoll verbunden ist, die Halbleiter-Belichtungseinheit die Zuführung von notwendigen Datendateien an einen Server anfragen, welcher derart verbunden ist, um dazu in der Lage zu sein, eine Hochgeschwindigkeits-Kommunikation durchzuführen.
Bei der dritten Ausführungsform der Erfindung, wird, wenn die Halbleiter-Belichtungseinheit eine Umschalt-Anweisung von einer Datendatei vom Host-Computer empfängt, welcher durch eine relative Niedriggeschwindigkeits-Leitung als ein Online-System verbunden ist, eine notwendige Datendatei über ein Netzwerk basierend auf einem Hochgeschwindigkeits-LAN oder dergleichen an diese Halbleiter-Belichtungseinheit übertragen. Wenn die Datendatei im Speicher in der entsprechenden Halbleiter-Belichtungseinheit spezifiziert ist, wird eine Datendatei-Übertragung über ein Netzwerk auf Anforderung vom Server durchgeführt. Gemäß dieser Ausführungsform ist es möglich, eine vollständige Verwendung eines Netzwerksystems basierend auf einem Hochgeschwindigkeits-LAN oder dergleichen vorzunehmen, während der bestehende Aufbau als ein Online-System beibehalten wird.
In der vierten Ausführungsform empfängt die Halbleiter-Belichtungseinheit beim Empfang von einer Umschalt-Anweisung von einer Datendatei, ebenfalls zuvor eine Anweisung, eine Datendatei umzuschalten, welche in der Zukunft ausgeführt werden muss, und fordert den zuvor genannten Server dazu an, eine Mehrzahl von Datendateien in einem Stück zuzuführen, welche zum Umschalten dieser zukünftigen notwendig sind. Datendateien, welche zuvor übertragen sind, werden in einer Schlange angesammelt, und zwar bis zur Verwendung derer für einen Belichtungsbetrieb, und werden sequenziell bei der Verwendung der Daten verwendet. Gemäß diesem Ablauf, kann die Datenübertragungs-Wartezeit beim Umschalten der Datendateien reduziert werden.
In der fünften Ausführungsform empfängt eine Halbleiter-Belichtungseinheit, welche unter einer Halbleiter-Belichtungseinheit Gruppe in Ansprechen auf die Belichtungsarbeit ausgewählt ist, welche durch die einzelnen Halbleiter-Belichtungseinheiten auszuführen ist, eine Datendatei-Umschaltanweisung in der Form eines Online-Befehls vom Host-Computer, und empfängt eine Übertragung der Datendatei. In diesem Fall kann der Server zuvor Dateien übertragen, welche in der Zukunft notwendig werden, und zwar in Übereinstimmung mit einer Anweisung vom Host-Computer in den zuvor genannten weiteren Halbleiter-Belichtungseinheiten durch eine simultane Übertragung der übertragenen Datendatei ebenfalls an die weiteren Halbleiter-Belichtungseinheiten innerhalb der zuvor genannten Halbleiter-Belichtungseinheit Gruppe unter Verwendung der gleichen Datendatei wie jene, welche durch die zuvor genannte Halbleiter-Belichtungseinheit verwendet wird. Dies erlaubt eine Minimierung der Anzahl von Dateiübertragungs-Anforderungsanweisungen von den Halbleiter-Belichtungseinheiten innerhalb der gleichen Gruppe an den Server.
In der sechsten Ausführungsform der Erfindung kann, wenn Halbleiter-Belichtungseinheiten verwaltete Halbleiter-Belichtungseinheiten und allgemeine Halbleiter-Belichtungseinheiten enthalten, und die verwaltete Halbleiter-Belichtungseinheit einen fehlerhaften oder beispielsweise durch Wartung ausgefallenen Server erleidet, eine notwendige Datendatei an eine allgemeine Halbleiter-Belichtungseinheit übertragen werden. In diesem Fall sind eine Verifizierungseinrichtung und eine Verwaltungseinrichtung bereitgestellt, um zwischen den verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheiten und den allgemeinen Halbleiter-Belichtungseinheiten innerhalb der Halbleiter-Belichtungseinheit Gruppen zu unterscheiden, und die verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheiten haben eine Datendatei-Übertragungseinrichtung in Speichern der allgemeinen Halbleiter-Belichtungseinheiten. Wenn der Server aufgrund eines Versagens oder einer Wartung ausgefallen ist, werden die verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheiten untereinander innerhalb der Halbleiter-Belichtungseinheit Gruppen unterschieden. Die Leistung der Übertragung von einer Datendatei an den Speicher der allgemeinen Halbleiter-Belichtungseinheiten wird auf die verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheiten übertragen, um es somit der verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheit zu ermöglichen, eine Übertragungsverarbeitung von einer Datendatei an die allgemeinen Halbleiter-Belichtungseinheiten anstelle des Servers durchzuführen, und um somit einen Ausfall des gesamten Systems zu verhindern, welcher durch ein Serverproblem verursacht wird, indem die verwalteten Halbleiter-Belichtungseinheiten als ein Ersatz des Servers betrieben werden, und zwar sogar bei einem Ausfall des Servers.
Gemäß der siebten Ausführungsform der Erfindung, registriert der Server den Zeitpunkt, zu welchem die Datendatei, welche an die Halbleiter-Belichtungseinheit übertragen ist, unnötig werden wird, und zwar bei der Übertragung am Server oder an der Halbleiter-Belichtungseinheit. Wenn dieser Zeitpunkt erreicht ist, ist es wünschenswert, ihn zu erfassen und dann automatisch die Datendatei zu löschen. Dies erlaubt das Erlangen von einer wirksamen Verwaltung eines Speichers mit relativ geringer Kapazität von jeder Halbleiter-Belichtungseinheit, und die Reduktion einer Belastung auf einen Systemverwaltungsbediener durch eine automatische Wartung bezüglich einer Dateilöschung.
Als zuvor genanntes Netzwerk ist beispielsweise ein Ethernet anwendbar. Als Netzwerk-Verbindungseinrichtung kann beispielsweise ein Protokoll, wie beispielsweise TCP/IP, Net Ware oder Apple Talk verwendet werden. Die zweite bis siebte Ausführungsform wird nun ferner sequenziell detailliert beschrieben.
[Zweite Ausführungsform]
7 stellt eine Form von einer Netzwerkverbindung des netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheit Systems der zweiten Ausführungsform der Erfindung dar. Die netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheiten (Stepper) 1021, 1022 und 1023 sind über ein Ethernet-Kommunikationsnetzwerk 103 mit dem Server 105 verbunden. Der Server 105 führt eine Klassifikations-/Halte-Verwaltung von Datendateien, wie beispielsweise Auftragsdateien, Maskendateien und Equipment-Konstanten, welche in den einzelnen, mit dem Netzwerk verbundenen Steppern verwendet werden, und eine Vorbereitung und Kompilierung dieser Datendateien durch. Ferner überträgt der Server 105 Datendateien über das Ethernet-Kommunikationsnetzwerk 103 an die Stepper 1021 bis 1023.
Die Stepper 1021 und 1022 sind mit dem Host-Computer 101 über eine serielle Kommunikationsleitung 104 in Übereinstimmung mit einem seriellen Kommunikationsverfahren unter Verwendung von RS-232C oder dergleichen, und darin untergebracht, verbunden. Die Stepper 1021 und 1022 führen eine Datenkommunikation über die serielle Kommunikationsleitung 104 mit dem Computer 101 durch, empfangen verschiedene Betriebs- und Steuerbefehle vom Host-Computer 101, und übertragen verschiedene Messdaten an den Host-Computer 101. Es ist somit ein Online-System, welches eine automatische Steuerung ohne die Notwendigkeit eines Eingriffs durch den Menschen in einem Reinraum erlaubt, aufgebaut. Bei diesem Aufbau hat der Stepper 1023, welcher nicht an der Verwaltung im Online-System teilnimmt, eine Übertragungseinrichtung von Datendateien über eine Netzwerkverbindung durch Ethernet.
8 ist ein Blockdiagramm, welches einen Hardwaresystem-Aufbau der netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheiten 1021 bis 1023 darstellt. In 8 kennzeichnet 201 eine CPU für eine Konsole, welche eine Konsolenanzeige für die Halbleiter-Belichtungseinheiten und Betriebssteuerung durch eine Konsolen-Befehlseingabe steuert; 202 kennzeichnet einen RAM für die CPU 201 zum Speichern von Applikationsprogrammen und Daten; 203 kennzeichnet einen ROM zum Speichern von Programmen; 204 kennzeichnet einen Zusatzspeicher (Hard-Disk oder dergleichen), welcher zum Speichern von Daten und Programmen verwendet wird; und 205 kennzeichnet eine LAN-Schnittstelle zum Durchführen von einer Kommunikation mit einem Ethernet-Kommunikationsnetzwerk 103.
Obwohl ein Standard-Netzwerkprotokoll, wie beispielsweise TCP/IP oft verwendet wird, wenn eine Kommunikation über eine LAN-Schnittstelle 205 durchgeführt wird, kann ein Protokoll, welches allgemein verbreitet ist, wie beispielsweise Apple Talk oder Net Ware, verwendet werden. Ebenfalls wird in 8 mit 206 eine serielle Kommunikationsschnittstelle gekennzeichnet, welche über eine serielle Leitung 104, wie beispielsweise RS232C, mit dem Host-Computer verbunden ist, und einen Aufbau eines Systems erlaubt, welches dazu in der Lage ist, eine Fernbetriebssteuerung durchzuführen, welches im Allgemeinen als ein Online-System bekannt ist. Wenn eine Kommunikation mit dem Host-Computer durch die Verwendung der seriellen Kommunikationsleitung 104 durchgeführt wird, ist es in vielen Fällen allgemeine Praxis, ein Protokoll in Übereinstimmung mit dem Halbleiter-Kommunikationsstandard (SECS) zu verwenden, wohingegen ein nicht standardisiertes Protokoll unabhängig entworfen und angewendet werden kann.
Das Bezugszeichen 207 kennzeichnet eine Konsoleneinheit: Der Bediener kann eine Anweisung an die CPU 201 für die Konsole von dieser Konsoleneinheit aus ausgeben. Eine CRT, eine Flüssigkeitskristalleinheit, ein EL-Panel oder eine Plasmaanzeige wird für gewöhnlich als eine Anzeige für die Konsoleneinheit 207 verwendet. Als Eingabeeinheit für die Konsoleneinheit 207, wird in vielen Fällen eine Tastatur zur Tastatureingabe eines Befehls verwendet, hingegen kann eine Eingabeeinheit mit einer Stifteingabeneinheit (Tafel) basierend auf einem elektronischen Stift oder einem Berührungspanel aufgebaut sein. In 8 kennzeichnet 210 eine Haupt-CPU, welche verschiedene Steuerungen, welche die Halbleiter-Belichtungseinheiten ausbilden, vollständig steuert. Die Haupt-CPU 210 und die Konsolen-CPU 201 sind durch einen Haupt-CPU-Bus 208 verbunden und wirken zur Steuerung der Halbleiter-Belichtungseinheiten. In 8 kennzeichnet 211 eine Beleuchtungseinheit zum Steuern der Lichtquelle zum Belichten eines Wafers zur Herstellung eines Halbleiters; 212 kennzeichnet einen Maskenantrieb zum Steuern einer Übertragung von einer Maske (Fotomaske), welche ein darauf gezeichnetes Muster trägt, um einen Wafer zur Herstellung von einem Halbleiter zu belichten; 213 kennzeichnet einen Stufenantrieb zur Antriebssteuerung des Wafers auf einer XY-Stufe, um eine Step-Up-End-Repeat Belichtung des Wafers zur Herstellung eines Halbleiters durchzuführen; und 214 kennzeichnet ein TV-System zur genauen Positionierung des Wafers bei der Herstellung eines Halbleiters. Diese Vorrichtungen 211 bis 214 werden durch die Haupt-CPU 210 über den Peripherieequipment-Bus 215 gesteuert. In dieser Ausführungsform wird ein SCSI als Peripherieequipment-Bus 215 verwendet, hingegen kann der Bus 215 durch jeglichen Vielzweckstandard-Bus ausgebildet sein.
9 ist ein Ablaufdiagramm, welches ein Beispiel von einer Aktion der Halbleiter-Belichtungseinheit (Stepper) gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung darstellt. Wenn die Stepper 1021 bis 1023 einen Belichtungsbetrieb durchführen, wird eine notwendige Datendatei, wie beispielsweise eine Auftragsdatei oder eine Maskendatei, an den Server 105 angefordert. Die Datendatei kann somit auf Wunsch vorbereitet werden, ohne dass es notwendig ist, die Datendatei zuvor in den Steppern beizubehalten.
Genauer gesagt, wird eine Belichtungsverarbeitung begonnen, wenn eine Bedieneranweisung oder dergleichen während eines Belichtungs-Leerlaufzustandes empfangen wird, bei welchem die Stepper auf die nächste Belichtungsverarbeitung warten, wobei der Ablauf zu Schritt S301 geht. In Schritt S301 wird die zur Belichtung notwendige Datendatei untersucht. Wenn die gewünschte Datendatei bereits beim Stepper vorliegt, wird die Belichtungsverarbeitung durch die Verwendung der Datendatei in Schritt S306 begonnen. Nach einer Vollendung der Belichtungsverarbeitung, wird der begonnene Belichtungs-Leerlauf wieder aufgenommen.
Wenn in Schritt S310 die gewünschte Datendatei nicht im Stepper vorliegt, wird in Schritt S302 eine Übertragung von dieser Datendatei an den Server 105 angefordert. Dann wird in Schritt S303 die Antwort vom Server auf die Übertragungsanforderung von dieser Datendatei bestätigt, und wenn die geeignete Datendatei im Server vorliegt, und es eine Datenübertragungsanweisung vom Server gibt, wird die Datendatei in Schritt S304 empfangen. Nach einem Empfang der Datendatei geht der Ablauf zu Schritt S306, bei welchem eine Belichtungsverarbeitung durch die Verwendung von dieser Datendatei begonnen wird. Nach einer Vollendung der Belichtungsverarbeitung kehrt der Ablauf zum Belichtungs-Leerlaufzustand zurück.
Wenn die in Frage stehende gewünschte Datendatei in Schritt S301 nicht im Server vorliegt, wird ein Bediener-Ruffehler am Stepper erzeugt, um den Bediener über das Nichtvorliegen der Datendatei zu unterrichten, und der Ablauf kehrt zum Belichtungs-Leerlaufzustand zurück, ohne dass er sich auf die Belichtungsverarbeitung bewegt.
Gemäß der zweiten Ausführungsform, wie oben beschrieben, wird die Datendatei auf Wunsch (wie erfordert) vom Server an den Stepper übertragen, ohne dass die Datendatei, wie beispielsweise eine Auftragsdatei oder eine Maskendatei, auf der Stepper (Halbleiter-Belichtungseinheit)-Seite gespeichert wird. Es ist daher ein Vorteil von einer wirksamen Verwaltung des Systems mit minimaler Kapazität des Speichers davon bereitgestellt, ohne dass ein Speicher mit großer Kapazität zum lokalen Speichern der Dateien auf der Stepper-Seite benötigt wird.
[Dritte Ausführungsform]
10 ist ein Ablaufdiagramm, welches ein Beispiel eines Betriebes gemäß der dritten Ausführungsform der netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheit (Stepper), wie in der obigen Ausführungsform beschrieben, darstellt. Genauer gesagt, bezieht sich die dritte Ausführungsform auf einen Fall, bei welchem beim netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungssystem in der zweiten Ausführungsform, die netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheiten mit dem Host-Computer über eine serielle Kommunikationsleitung mit relativ niedriger Geschwindigkeit 104 verbunden sind, wie beispielsweise ein RS232C in Übereinstimmung mit einem Protokoll entsprechend dem Halbleiter-Kommunikationsstandard (SECS), und in einem bestehenden Online-System verwaltet werden. Das heißt, dass, wenn eine Umschaltanweisung von einer Datendatei, wie beispielsweise eine Auftragsdatei oder eine Maskendatei, in der Form von einer Onlineanweisung vom Host-Computer gegeben wird, die Datendatei-Gruppe vom Server übertragen wird, welcher mit dem Netzwerk mit relativer Hochgeschwindigkeit verbunden ist.
Genauer gesagt, wenn der Stepper einen Prozess vom Belichtungs-Leerlaufzustand aus beginnt, bei welchem die nächste Belichtungsverarbeitung abgewartet wird, wird zunächst in Schritt S401 eine Online-Anweisung zum Umschalten der Datendatei über die serielle Kommunikationsleitung vom Host-Computer empfangen. Dann wird in Schritt S402 die Datendatei, welche in der Online-Anweisung spezifiziert ist, überprüft. Wenn die gewünschte Datendatei bereits beim Stepper vorliegt, fährt der Prozess mit Schritt S407 fort, um die Belichtungsverarbeitung durch die Verwendung dieser Datendatei zu beginnen. Nach Vollendung der Belichtungsverarbeitung, wird das Ergebnis der Belichtungsverarbeitung in Schritt S408 an den Host-Computer unterrichtet, und die Verarbeitung kehrt zum Belichtungs-Leerlaufzustand zurück.
Wenn diese Datendatei in Schritt S204 nicht im Stepper vorliegt, wird in Schritt S403 eine Übertragung der geeigneten Datendatei an den Server 105 angefordert. In Schritt S404 wird die Antwort vom Server auf die Datendatei-Übertragungsanforderung bestätigt. Wenn die geeignete Datendatei im Server vorliegt, und eine Datenübertragungs-Anweisung durch den Server empfangen ist, wird die Datendatei in Schritt S405 empfangen. Nach Empfang der Datendatei wird die Belichtungsverarbeitung in Schritt S407 durch die Verwendung der Datendatei begonnen. Nach Vollendung der Belichtungsverarbeitung, wird das Ergebnis der Belichtungsverarbeitung in Schritt S408 an den Host-Computer unterrichtet, um zum Belichtungs-Leerlaufzustand zurückzukehren.
Wenn die geeignete Datendatei in Schritt S404 nicht im Server vorliegt, wird eine Fehlermeldung, welche das Nichtvorliegen der Datendatei anzeigt, in Schritt S406 an den Host-Computer gesendet, und die Verarbeitung kehrt zum Belichtungs-Leerlaufzustand zurück, ohne zur Belichtungsverarbeitung zu gehen.
Gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung, wie oben beschrieben, wird, wenn das Online-System, welches durch eine relativ geringe Geschwindigkeit in Übereinstimmung mit einem Protokoll entsprechend dem Halbleiter-Kommunikationsstandard aufgebaut ist, gewartet wird, während der bestehende Aufbau beibehalten wird, und eine Anweisung zum Umschalten der Datendatei, wie beispielsweise eine Auftragsdatei oder eine Maskendatei in Ansprechen auf die Online-Anweisung vom Host-Computer empfangen ist, ein Vorteil dahingehend bereitgestellt, dass es möglich ist, automatisch die Datendatei, welche im Online-System verwendet wird, vom Server zu übertragen, und automatisch dieselbige zu übertragen, indem diese Datendatei-Gruppe vom Hochgeschwindigkeits-Netzwerk verbundenen Server übertragen wird.
[Vierte Ausführungsform]
Die vierte Ausführungsform der Erfindung bezieht sich auf einen Fall, bei welchem die Datendatei-Umschaltanweisung vom Host-Computer eine Umschaltanweisung von einer Mehrzahl von Datendateien ist. Das heißt, dass dies ein Verfahren zum Empfangen einer Umschaltanweisung von einer Mehrzahl von Datendateien vom Host-Computer und Übertragen von Datendateien, welche zur Belichtungsverarbeitung notwendig sind, welche in einer Mehrzahl von Parameter-Umschaltanweisungen enthalten sind, und zwar auf einmal vom Server, ist. Die Aufgabe dieser Ausführungsform wird dadurch gelöst, indem vor der Durchführung der Belichtungsverarbeitung ein Empfangen der Datendatei-Umschaltanweisung von der dritten Ausführungsform und eine Übertragung der Datendateien vom Server auf einmal für die Mehrzahl von Datendateien zuvor durchgeführt werden.
11 ist ein Ablaufdiagramm, welches ein Beispiel eines Betriebes der Halbleiter-Belichtungseinheit in der vierten Ausführungsform darstellt. In dieser Ausführungsform wird beim Empfang von einer Mehrzahl von Datendatei-Umschaltanweisungen eine Anforderungsliste, welche Namen von notwendigen Datendateien von der empfangenen Anweisung aufzeichnet, in Schritt S501 erzeugt. Dann wird in Schritt S502, wenn die Datendatei, welche in der Halbleiter-Belichtungseinheit vorliegt, in der zuvor genannten Anforderungsliste vorliegt, der entsprechende Datendatei-Name von der Anforderungsliste gelöscht. Dies wird deshalb vorgenommen, um zu verhindern, dass die Datendatei, welche bereits in der Halbleiter-Belichtungseinheit vorliegt, abermals vom Server in einer nachfolgenden Verarbeitung geladen wird.
In Schritt S503 wird bestimmt, ob die zu erlangende Datendatei in der Anforderungsliste vorliegt oder nicht. Wenn die zu erlangende Datendatei vorliegt, fährt die Verarbeitung mit Schritt S504 fort. In Schritt S504 wird ein Datendatei-Name aus der Anforderungsliste ausgewählt, und in Schritt S505 wird eine Übertragung der geeigneten Datendatei an den Server angefordert. Wenn die geeignete Datendatei im Server vorliegt, wird diese Datendatei vom Server empfangen (Schritte S506 und S507). Wenn die entsprechende Datendatei nicht vorliegt, wird der Name dieser Datendatei in der nicht ausführbaren Liste registriert (Schritte S506 und S508). In Schritt S509 wird der Name der jüngst verarbeiteten Datendatei aus der Anforderungsliste gelöscht, um zu Schritt S503 zurückzukehren.
Nach Vollendung der Verarbeitung aller Datendateien, welche in der Anforderungsliste registriert sind, wie oben beschrieben, passiert die Verarbeitung von Schritt S503 zu Schritt S510. In Schritt S510 wird bestimmt, ob der Datendatei-Name in der nicht ausführbaren Liste registriert ist oder nicht, und wenn er nicht registriert ist, wird die Belichtungsverarbeitung in Übereinstimmung mit dieser Umschaltanweisung begonnen. Wenn der Datendatei-Name in der nicht ausführbaren Liste registriert ist, ist andererseits diese Umschaltanweisung nicht ausführbar, und es wird ein Hinweis über diese Wirkung an den Bediener gegeben. Dieser Hinweis kann dadurch gegeben werden, indem eine Meldung über diese Wirkung an den Host-Computer gesendet wird oder die Tatsache auf einem Anzeigeschirm von dieser Belichtungseinheit angezeigt wird. Die Namen der ausführbaren Datendateien können simultan unterrichtet werden.
Gemäß der vierten Ausführungsform der Erfindung, wie oben beschrieben, steht ein Vorteil zur Verfügung, dass die Datenübertragungs-Wartezeit reduziert wird, und zwar zu dem Zeitpunkt, bei welchem die Datendatei durch ein Empfangen erforderlich ist, und zwar nach einem Empfang von einer Datendatei-Umschaltanweisung online vom Host-Computer, nämlich Anweisungen dazu, zuvor eine Mehrzahl von Datendateien umzuschalten, und vorher die Datendateien, welche in der Mehrzahl von Parameter-Umschaltanweisungen gezeigt sind, auf einmal zum Server zu übertragen.
[Fünfte Ausführungsform]
Die fünfte Ausführungsform der Erfindung bezieht sich auf einen Fall, bei welchem ein Stepper eine Datendatei vom Server auf die gleiche Weise wie bei der dritten Ausführungsform unter Stepper-Gruppen empfängt, welche durch ein Gruppieren gemäß einer Ähnlichkeit von Inhalten der Belichtungsarbeit ausgebildet sind, wobei die Datendatei zuvor übertragen wird, und sogar dann, wenn eine Datendatei-Übertragungsanforderung nicht von dem weiteren Stepper an den Server erzeugt ist.
12A stellt ein Aufbaubeispiel von in Gruppen registrierten Daten der Halbleiter-Belichtungseinheit innerhalb des Systems dar. Die registrierten Daten werden im Server 105 beibehalten.
12B ist ein Ablaufdiagramm, welches den Verarbeitungsablauf des Servers in der fünften Ausführungsform nach einem Empfang von einer Datendatei-Übertragungsanforderung darstellt. Zunächst wird in Schritt S550 der Name der Datendatei, welche durch die Datendatei-Übertragungsanforderung angefordert ist, erlangt. Dann wird in Schritt S551 bestimmt, ob die angeforderte Datendatei im Server 105 vorliegt oder nicht. Wenn bestimmt ist, dass die entsprechende Datendatei nicht vorliegt, passiert die Verarbeitung zu Schritt S556, und es wird darüber unterrichtet.
Wenn die angeforderte Datendatei vorliegt, wird die Datendatei an die einzelnen Halbleiter-Belichtungseinheiten innerhalb einer Gruppe, zu welcher die Halbleiter-Belichtungseinheit, welche die Datendatei-Übertragungsanforderung ausgegeben hat, gehört, durch eine Verarbeitung von Schritten S552 bis S555 übertragen.
Zunächst wird in Schritt S552 die Gruppe, zu welcher die Halbleiter-Belichtungseinheit, welche die Datendatei-Übertragungsanforderung ausgegeben hat, gehört, mit Bezug auf die in 12A gezeigten in Gruppen registrierten Daten spezifiziert. Dann wird eine der spezifizierten, in Gruppen registrierten Halbleiter-Belichtungseinheiten ausgewählt (Schritt S553), und die angeforderte Datendatei wird an die ausgewählte Halbleiter-Belichtungseinheit übertragen (Schritt S554). Die Verarbeitung dieser Schritte S553 und S 554 wird bei allen Halbleiter-Belichtungseinheiten angewendet, welche in der Gruppe registriert sind, welche in Schritt S552 spezifiziert ist (Schritt S554).
Gemäß der fünften Ausführungsform der Erfindung, wie oben beschrieben, ist in einem Fall, bei welchem ein Stepper unter Stepper-Gruppen, welche hinsichtlich der Art der Belichtungsarbeit, welche durch die einzelnen Stepper durchzuführen ist, eingeteilt ist, eine Datendatei-Umschaltanweisung in der Form von einer Online-Anweisung vom Host-Computer empfängt, und die Datendatei vom Server übertragen wird, ein Vorteil verfügbar, dass eine vorherige Übertragung von Dateien, welche in Ansprechen auf eine Online-Anweisung notwendig sind, an die weiteren Stepper innerhalb der Gruppe durch eine simultane Übertragung der Dateien auf einmal ebenfalls an die weiteren Stepper in der Gruppe, welche die gleichen Datendateien verwenden, erlaubt wird.
[Sechste Ausführungsform]
Es ist eine Aufgabe der sechsten Ausführungsform der Erfindung, den Zustand zu vermeiden, bei welchem eine Datenübertragung während eines Ausfalls des Servers aufgrund eines Fehlers oder einer Wartung in der ersten Ausführungsform der Erfindung unmöglich wird. 13 stellt einen hierarchischen Aufbau einer Verwaltungsanlage des Servers, den verwalteten Stepper und den allgemeinen Stepper in der sechsten Ausführungsform dar. Wenn der Server 105 ausgefallen ist, und zwar beispielsweise während einer Wartung, hat ein verwalteter Stepper 501, welcher in 7 nicht gezeigt ist, eine Einrichtung dazu, Datendateien in Speichern von allgemeinen Steppern 1021 bis 1024 anstelle des Servers zu schreiben. Die allgemeinen Stepper erlauben ein Schreiben von Datendateien vom Server und den verwalteten Steppern. Der verwaltete Stepper erlaubt ein Schreiben von Datendateien vom Server. Das heißt, dass der hierarchische Aufbau einer Schreibleistung, eine Sequenz mit dem Server 105 an der obersten Position und dann den verwalteten Steppern 501 und den allgemeinen Steppern 1021 bis 1024 darlegt, wie in 13 gezeigt. Wenn der Server beispielsweise in Wartung ist, kann der Stepper-Bediener die Datendatei, welche für die allgemeinen Stepper notwendig ist, von den verwalteten Steppern ohne die Verwendung des Servers übertragen. In diesem Fall, hat der verwaltete Stepper 501 die gleiche Dateiübertragungsfunktion wie jene des Servers, und benutzt Datendateien innerhalb des Servers 105 gemeinsam.
Gemäß der sechsten Ausführungsform der Erfindung, wie oben beschrieben, gibt es, wenn der Server resultierend aus einem Fehler oder einer Wartung ausgefallen ist, Vorteile dahingehend, dass eine Vermeidung eines Ausfalls des gesamten Systems, eine Übertragung von einer notwendigen Datendatei vom verwalteten Stepper, sogar während eines Ausfalls des Servers, und ein Fortfahren der Belichtungsverarbeitung von einer Halbleitervorrichtung ohne die Notwendigkeit der Bereitstellung eines teuren Servers zum Backup, erlaubt werden, indem verursacht wird, dass der verwaltete Stepper die Rolle einer Datendatei-Übertragung an allgemeine Stepper übernimmt.
[Siebte Ausführungsform]
14 ist ein Ablaufdiagramm, welches Betriebe der netzwerkbasierenden Halbleiter-Belichtungseinheit (Stepper) der siebten Ausführungsform der Erfindung darstellt. Genauer gesagt, wird der Zeitpunkt, bei welchem eine an den Stepper übertragene Datendatei unnötig wird, zuvor im Server oder Stepper registriert, und es wird ein Löschen der Datendatei automatisch aus dem Speicher des Steppers vorgenommen, wodurch der Speicher mit geringer Kapazität dieses Steppers wirksam verwaltet wird.
Nach einem Übertragen von der Datendatei vom Server an den Stepper in einem Datenübertragungsschritt, wie in der vorhergehenden Ausführungsform beschrieben, wird das Ablaufdatum der übertragenen Datendatei für jede Datei oder für jede Dateigruppe registriert. Die Datendatei-Ablaufdaten werden in der Form von einer wie in 15 gezeigten Liste registriert, und werden auf der Server-Seite oder auf der Stepper-Seite beibehalten. Bei dieser Ausführungsform, wird die Ablaufdatum-Registrierungsliste auf der Server-Seite beibehalten. Der Stepper-Name 701, der Datendatei-Name 702 und das Ablaufdatum 703 werden in der in 15 gezeigten Liste registriert. Indem eine Spezifizierung unter Verwendung eines Platzhalters "a*.job" vorgenommen wird, ist es möglich, eine Mehrzahl von Dateilöschungen auf einmal zu registrieren. Es können verschiedene Löschobjekte spezifiziert werden, indem normale Ausdrücke verwendet werden.
Es wird nun der Ablauf, welcher zu einer Dateilöschung führt, mit Bezug auf das Ablaufdiagramm von 14 beschrieben. In der Dateilöschroutine des Servers überwacht der Server zunächst in Schritt S601 den Tageszeitpunkt: Wenn der Tageszeitpunkt von irgendwelchen registrierten Daten in der Ablaufdaten-Registrierungsliste, welche durch den Server beibehalten wird, abgelaufen ist, fährt die Verarbeitung mit Schritt 602 fort. In Schritt S602 wird die Datendatei des entsprechenden Steppers gelöscht. Das heißt, dass ein Protokoll zur Anweisung von einer Dateilöschung zuvor zwischen dem Server und dem Stepper bestimmt ist. Beim Empfang von einer Anweisung dazu, diese Datendatei zu löschen, wird die Datendatei durch einen Dateilöschbefehl oder dergleichen, und zwar auf der Stepper-Seite, gelöscht. Dann löscht der Server in Schritt S603, beim Empfang von einer Meldung hinsichtlich der Vollendung der Dateilöschung auf der Stepper-Seite, die entsprechende Registrierung von der Ablaufdatum-Registrierungsliste des Servers. In Schritt S602 wird, wenn ein Löschen von einer Datei fehlgeschlagen ist, weil diese Datei bereits manuell auf der Stepper-Seite gelöscht wurde, eine Fehler-Eintragung auf der Server-Seite hinterlassen. Jede Belichtungseinheit kann die Dateilöschfunktion, wie oben beschrieben, haben.
Gemäß der siebten Ausführungsform, wie oben beschrieben, wird der Zeitpunkt, bei welchem eine Datendatei, welche an den Stepper übertragen wird, unnötig wird, zuvor im Server oder Stepper registriert, und es wird eine Dateilöschung automatisch aus dem Speicher des Steppers vorgenommen. Daraus resultierend, ist es möglich, automatisch eine Datendatei zu löschen, welche in einer Belichtungsverarbeitung über eine lange Zeitperiode, wie beispielsweise drei oder sechs Monate, verwendet wurde, eine wirksame Verwaltung eines Speichers mit geringer Kapazität des Steppers zu erreichen, und einen Wegfall der komplizierten Beseitigung von Dateigruppen, welche an den Stepper übertragen werden, wie bisher manuell durch den Bediener durchgeführt, zu erlauben.
[Ausführungsform des Vorrichtungsherstellungsverfahrens]
Es wird nun eine Ausführungsform eines Verfahrens zum Herstellen einer Vorrichtung beschrieben, welche das oben beschrieben Halbleiter-Belichtungssystem verwendet.
16 ist ein Herstellungsablauf von einer Mikro-Vorrichtung (ein Halbleiterchip, wie beispielsweise ein IC oder LSI, ein Flüssigkristall-Panel, eine CCD, ein Dünnfilm-Magnetkopf oder eine Mikro-Maschine). In Schritt 1 (Schaltungsentwurf) wird ein Musterentwurf einer Vorrichtung durchgeführt. In Schritt 2 (Herstellung einer Maske) wird eine Maske, welche ein darauf ausgebildetes Muster hat, hergestellt. In Schritt 3 (Herstellung eines Wafers), wird andererseits ein Wafer aus einem Material, wie beispielsweise Silizium oder Glas, hergestellt. In Schritt 4 (Wafer-Prozess), welcher der Vorprozess genannt wird, wird eine aktuelle Schaltung auf einem Wafer durch die Verwendung der Maske ausgebildet, und der Wafer wird wie oben durch Lithographietechnologie vorbereitet. Im nächsten Schritt 5 (Zusammenbau), welcher der Nachprozess genannt wird, wird ein Halbleiterchip aus einem in Schritt 4 vorbereiteten Wafer hergestellt, und zwar durch Schritte wie einen Zusammenbauschritt (Dicing, Bonding) und einen Verpackschritt (Chip-Versiegelung). In Schritt 6 (Inspektion) werden Inspektionen, wie beispielsweise ein Betriebsbestätigungstest und ein Dauertest der in Schritt 5 hergestellten Halbleitervorrichtung durchgeführt. Eine Halbleitervorrichtung wird durch diese Schritte vollendet und versendet (Schritt 7).
17 stellt einen detaillierten Ablauf des zuvor genannten Wafer-Prozesses dar. In Schritt 11 (Oxidation) wird die Oberfläche des Wafers oxidiert. In Schritt 12 (CVD) wird ein Isolierfilm auf der Wafer-Oberfläche ausgebildet. In Schritt 13 (Elektroden-Ausbildung) wird eine Elektrode durch Aufdampfung auf dem Wafer ausgebildet. In Schritt 14 (Ionen-Implantierung) werden Ionen implantiert. In Schritt 15 (Fotolack-Verarbeitung) wird ein Fotolack auf dem Wafer ummantelt. In Schritt 16 (Belichtung) werden die Schaltmuster der Maske auf einer Mehrzahl von Belichtungsbereichen angeordnet und in der Belichtungseinheit oder durch das Belichtungsverfahren, wie oben beschreiben, druckbelichtet. In Schritt 17 (Entwicklung) wird der belichtete Wafer entwickelt. In Schritt 18 (Ätzen) werden Abschnitte, welche sich vom entwickelten Fotolack-Bild unterscheiden, abgekratzt. In Schritt 19 (Fotolack-Entfernung) wird Fotolack, welcher nach dem Ätzen verbleibt, entfernt. Es werden mehrere Schaltungsmuster auf dem Wafer durch ein Wiederholen dieser Schritte ausgebildet.
Durch Verwenden des Verfahrens dieser Ausführungsform kann eine Vorrichtung mit großem Ausmaß, deren Herstellung herkömmlicherweise schwierig war, bei geringen Kosten hergestellt werden.

Claims

Belichtungseinheit (10, 20) zum Durchführen einer Belichtungsverarbeitung, gekennzeichnet durch eine Empfangseinrichtung (11, 21, 5101) zum Empfangen einer Anweisung einen Belichtungsauftrag basierend auf Belichtungsarbeitsinformation durchzuführen; einer Bestimmungseinrichtung (13, 23, S102, S103) zum Bestimmen, ob die Belichtungseinheit über die Belichtungsarbeitsinformation verfügt; einer Frageeinrichtung (13, 23, S103, S104) zum Fragen einer externen Einheit über ein Netzwerk hinsichtlich der Belichtungsarbeitsinformation basierend auf einer negativen Bestimmung seitens der Bestimmungseinrichtung; und eine Steuereinrichtung (5105, S106, S203–S207) zum Steuern einer Belichtungsverarbeitung basierend auf einem Ergebnis der Frage seitens der Frageeinrichtung.
Belichtungseinheit nach Anspruch 1, wobei die Steuereinrichtung dazu ausgelegt ist, eine externe Einheit basierend auf dem Ergebnis der Frage (S206) über ein Netzwerk dahingehend zu unterrichten, dass die Belichtungseinheit den Belichtungsauftrag nicht bearbeiten kann.
Belichtungseinheit nach Anspruch 1, wobei die Empfangseinrichtung dazu ausgelegt ist, Anweisungen von einer externen Einheit über ein Netzwerk zu empfangen.
Belichtungseinheit nach Anspruch 1, wobei die Empfangseinrichtung zudem dazu ausgelegt ist, die Belichtungsarbeitsinformation von einer externen Einheit zu empfangen, die seitens der Frageeinrichtung befragt wurde (S106).
Belichtungseinheit nach Anspruch 1, wobei die Empfangseinrichtung weiter dazu ausgelegt ist, eine Frage hinsichtlich einer Belichtungsarbeitsinformation seitens einer externen Einheit über ein Netzwerk zu empfangen, und zudem eine Antworteinrichtung (S151–S156) aufweist, um über ein Netzwerk auf eine seitens der Empfangseinrichtung empfangene Frage zu antworten.
Belichtungseinheit nach Anspruch 5, wobei die Antworteinrichtung dazu ausgelegt ist, Belichtungsarbeitsinformation bezüglich der Frage zu senden.
Belichtungseinheit nach Anspruch 1, mit einer Löscheinrichtung zum Löschen der Belichtungsarbeitsinformation basierend auf in der Belichtungseinheit registrierten oder von einer externen Einheit empfangenen Zeitinformation, wobei die Zeitinformation einen Zeitpunkt angibt, zu dem die Belichtungsarbeitsinformation gelöscht werden soll.
Steuerverfahren, das an eine Belichtungseinheit zum Durchführen einer Belichtungsverarbeitung angepasst ist, gekennzeichnet durch die Schritte: Empfangen einer Anweisung, einen Belichtungsauftrag basierend auf Belichtungsarbeitsinformation einer externen Einheit durchzuführen; Bestimmen, ob die Belichtungseinheit über die Belichtungsarbeitsinformation verfügt; Fragen einer externen Einheit über ein Netzwerk bezüglich der Belichtungsarbeitsinformation basierend auf einer negativen Bestimmung in dem Bestimmungsschritt; und Steuern einer Belichtungsverarbeitung basierend auf dem Ergebnis der Frage in dem Frageschritt.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 8, wobei die von der Frageeinheit befragte externe Einheit entweder eine Zentraleinheit, ein Datenserver oder eine andere Belichtungseinheit ist.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 8, wobei die Empfangseinheit die Anweisung von einem Zentralcomputer erhält, der über ein anderes Protokoll als ein Protokoll des Netzwerks verbunden ist.
Belichtungsverfahren nach Anspruch 8, wobei die seitens der Frageeinheit befragte externe Einheit eine andere Belichtungseinheit (501) ist, die für einen Datenserver agieren kann.
Vorrichtungsherstellungsverfahren mit einem Schritt des Belichtens eines Wafers mit einem Muster unter Verwendung einer in Anspruch 1 definierten Belichtungseinheit und Herstellen einer Vorrichtung aus dem belichteten Wafer.