DE69821033D1 - Vorrichtung zur aufbewahrung von verschmutzungs empfindlichen gegenständen - Google Patents

Vorrichtung zur aufbewahrung von verschmutzungs empfindlichen gegenständen

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W Brooks
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4512505B2 (ja) * 2005-02-25 2010-07-28 株式会社住化分析センター 基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法
US7400383B2 (en) * 2005-04-04 2008-07-15 Entegris, Inc. Environmental control in a reticle SMIF pod
US20110114129A1 (en) * 2007-12-18 2011-05-19 Entegris, Inc. Methods and apparatuses for controlling contamination of substrates
CN110953875B (zh) * 2019-12-13 2024-06-11 重庆科技学院 一种回转窑的单向防回转驱动装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3191392B2 (ja) * 1992-04-07 2001-07-23 神鋼電機株式会社 クリーンルーム用密閉式コンテナ
US5740845A (en) * 1995-07-07 1998-04-21 Asyst Technologies Sealable, transportable container having a breather assembly
US5628121A (en) * 1995-12-01 1997-05-13 Convey, Inc. Method and apparatus for maintaining sensitive articles in a contaminant-free environment
US5724748A (en) * 1996-07-24 1998-03-10 Brooks; Ray G. Apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package

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