DE69810799T2 - DROPLET RECORDING DEVICE AND PRODUCTION METHOD - Google Patents

DROPLET RECORDING DEVICE AND PRODUCTION METHOD

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DE69810799T2
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Abstract

A piezoelectric printhead or other droplet deposition apparatus has parallel liquid containing channels defined by a base and displaceable walls, and covered by a cover number. The channels each have at least one nozzle for ejecting droplets. Each nozzle may be disposed in the base, the cover then having two ink supply parts spaced lengthwise of each channel on opposite sides of the nozzle. Alternatively two longitudinally spaced nozzles may be provided in the base of each channel. The cover may have a conductive track corrected to wall-displacing electrodes, the points of connection being outside the channels. <IMAGE>

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Tröpfchenablageapparat, insbesondere einen Tintenstrahl-Druckkopf, welcher aufweist: einen Kanal, welcher mit einem Vorrat an Tröpfchenflüssigkeit in Verbindung steht bzw. kommuniziert und eine Öffnung zum Ausstoßen von Tröpfchen daraus, wobei wenigstens eine Seitenwand des Kanals in Abhängigkeit von elektrischen Signalen verlagerbar ist, wodurch ein Ausstoß von Tröpfchen aus dem Kanal bewirkt wird.The present invention relates to a droplet deposition apparatus, in particular an inkjet printhead, comprising: a channel communicating with a supply of droplet liquid and an orifice for ejecting droplets therefrom, at least one side wall of the channel being displaceable in response to electrical signals, thereby causing droplets to be ejected from the channel.

Fig. 1a ist eine Querschnittsansicht der Kanäle einer Konstruktion eines Tintenstrahl- Druckkopfs nach dem Stand der Technik gemäß der WO 92/22429, welche zu der vorliegenden Anmelderin gehört und deren Inhalt hierdurch durch Bezugnahme eingeschlossen wird. Eine Platte 12 aus piezoelektrischem Keramikmaterial ist in der Richtung 17 ihrer Dicke gepolt und in einer Oberfläche mit Kanälen 11 ausgebildet, welche auf zwei parallel zur Kanalachse liegenden Seiten durch Kanalwände 13 begrenzt sind. Mittels Elektroden 23, welche auf beiden Seite von jeder Wand 13 ausgebildet sind kann ein elektrisches Feld an das piezoelektrische Material der Wände angelegt werden, was sie in einem Schermodus in einer Richtung quer zur Achse des Kanals auslenken bzw. verlagern lässt. Dadurch werden Druckwellen in der Tinte erzeugt, welche zu einem Ausstoß eines Tintentröpfchens führen. Diese Prinzipien sind aus dem Stand der Technik bekannt, zum Beispiel aus der EP-A-0 364 136, welche der vorliegenden Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird.Fig. 1a is a cross-sectional view of the channels of a prior art ink jet printhead construction according to WO 92/22429, which belongs to the present applicant and the contents of which are hereby incorporated by reference. A plate 12 of piezoelectric ceramic material is poled in the direction 17 of its thickness and formed in a surface with channels 11 which are delimited on two sides parallel to the channel axis by channel walls 13. By means of electrodes 23 formed on both sides of each wall 13, an electric field can be applied to the piezoelectric material of the walls, causing them to deflect or displace in a shear mode in a direction transverse to the axis of the channel. This creates pressure waves in the ink which lead to the ejection of an ink droplet. These principles are known from the prior art, for example from EP-A-0 364 136, which belongs to the present applicant and the contents of which are incorporated herein by reference.

Die Kanäle 11 sind entlang einer parallel zu der Kanalachse liegenden Seite durch die Oberfläche einer Abdeckung bzw. eines Deckels 14 verschlossen, welcher leitende Bahnen 16 mit gleichem Abstandsintervall wie die darauf geformten Kanäle hat. Zwischen den Bahnen 16 und den Kanalwand-Elektroden 23 sind Lötverbindungen 28 ausgebildet, wodurch die Abdeckung bzw. der Deckel an der Unterlage bzw. dem Boden befestigt ist und eine elektrische Verbindung zwischen den Elektroden und der Bahn in einem einzelnen Schritt schafft. Um sie davor zu schützen, später durch die Tinte korrodiert zu werden, werden die Elektroden und die Bahnen dann mit einer passivierenden Beschichtung versehen.The channels 11 are closed along a side parallel to the channel axis by the surface of a cover 14 having conductive tracks 16 at the same spacing interval as the channels formed thereon. Solder joints 28 are formed between the tracks 16 and the channel wall electrodes 23, whereby the cover is attached to the base and creates an electrical connection between the electrodes and the track in a single step. To To protect them from being later corroded by the ink, the electrodes and tracks are then provided with a passivating coating.

Wie in Fig. 1b gezeigt, welche eine Schnittansicht mit dem Schnitt entlang der Längsachse A eines einzelnen Kanals des Druckkopfs gemäß Fig. 1a gemäß dem Stand der Technik ist, ist eine Düsenplatte 20 welche jeweilige Düsen 22 für den Tintenausstoß aufweist, an der Vorderseite der Platte 12 montiert, während eine Sammelleitung 26 für die Tinte an der Rückseite durch einen Sammelleitungsaufbau 21 ausgebildet bzw. definiert ist. Die Bahnen 16 werden zur Rückseite der Abdeckung bzw. des Deckels 14 zur Verbindung mit einer Treiberschaltung geführt, welche typischerweise in einem Mikrochip 27 ausgebildet bzw. verkörpert ist, welche wiederum durch ein Signal angesteuert wird, welches durch Eingangsbahnen 18 erhalten wird.As shown in Fig. 1b, which is a sectional view taken along the longitudinal axis A of a single channel of the printhead of Fig. 1a according to the prior art, a nozzle plate 20 having respective nozzles 22 for ink ejection is mounted on the front of the plate 12, while a manifold 26 for the ink is defined on the rear by a manifold structure 21. The traces 16 are led to the rear of the cover 14 for connection to a driver circuit typically embodied in a microchip 27, which in turn is driven by a signal received through input traces 18.

In Druckköpfen von dieser Art sind die Kanalwände - und insbesondere die darauf ausgebildeten Elektroden - oft so passiviert, dass sie vor nachfolgender Korrosion durch die Tinte geschützt sind. In dieser Hinsicht wird auf die WO 95/07820 Bezug genommen, deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird.In printheads of this type, the channel walls - and in particular the electrodes formed thereon - are often passivated so as to be protected from subsequent corrosion by the ink. In this respect, reference is made to WO 95/07820, the contents of which are incorporated herein by reference.

In der oben erörterten Vorrichtung würde jedoch eine solche herkömmliche Passivierung vor Befestigung der Abdeckung bzw. des Deckels die Bildung von Lötverbindungen zwischen den Elektroden und den Bahnen behindern bzw. verhindern. Auf der anderen Seite kann die Passivierung, nachdem die Abdeckung bzw. der Deckel angebracht worden ist, nur von dem. Ende des Kanals her aufgebracht werden, was zu einer Beschichtung der Elektroden und Bahnen mit geringer Qualität führen würde, insbesondere im Mittelteil des Kanals entfernt von den Kanalenden.However, in the device discussed above, such conventional passivation prior to attaching the cover or lid would hinder or prevent the formation of solder joints between the electrodes and the traces. On the other hand, after the cover or lid has been attached, the passivation can only be applied from the. end of the channel, which would result in poor quality coating of the electrodes and traces, especially in the middle part of the channel away from the channel ends.

Ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in einem Apparat zur Ablagerung von Tröpfchen, welcher einen Apparat zur Ablagerung von Tröpfchen aufweist, welcher aufweist:A first aspect of the present invention is a droplet deposition apparatus comprising a droplet deposition apparatus comprising:

wenigstens einen langgestreckten oben offenen Tröpfchenflüssigkeitskanal, welcher durch einander zugewandte langgestreckte Seitenwände und eine langgestreckte Bodenfläche (44), welche sich zwischen den Seitenwänden erstreckt, definiert bzw. gebildet ist;at least one elongated open-topped droplet liquid channel defined by facing elongated side walls and an elongated bottom surface (44) extending between the side walls;

eine Einrichtung zum Anlegen eines elektrischen Feldes an piezoelektrisches Material in wenigstens einer der Seitenwände, wodurch eine Verlagerung der Wand in Bezug auf den besagten langgestreckten Kanal so bewirkt wird, dass ein Tröpfchen aus dem Kanal ausgestoßen wird; undmeans for applying an electric field to piezoelectric material in at least one of the side walls, thereby causing a displacement of the wall with respect to the said elongated channel is caused to eject a droplet from the channel; and

eine Abdeckung bzw. einen Deckel, welcher die offene langgestreckte Oberseite des Kanals verschließt;a cover or lid which closes the open elongated top of the channel;

dadurch gekennzeichnet, dass die langgestreckte Bodenfläche des Kanals mit einer Öffnung für den Ausstoß von Tröpfchen ausgebildet ist und;characterized in that the elongated bottom surface of the channel is formed with an opening for the ejection of droplets and;

die Abdeckung bzw. der Deckel zwei Öffnungen für die Zufuhr von Tröpfchenflüssigkeit enthält, wobei die Öffnungen entlang dem Kanal auf beiden Seiten der Öffnung beabstandet sind.the cover or lid contains two openings for the supply of droplet liquid, the openings being spaced along the channel on either side of the opening.

Eine solche Konstruktion vereinfacht die Herstellung von bekannten Druckköpfen, insbesondere jene der Oberstrahlbauart, welche in der WO 91/17051 diskutiert werden (welche der Anmelderin gehört und der Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird). Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht entlang der Kanäle eines solchen Druckkopfes nach dem Stand der Technik, wobei jene Merkmale, welche mit Fig. 1 übereinstimmen, durch entsprechende Bezugszeichen bezeichnet sind. Der Ausstoß von Tröpfchen findet von einer Düse 22 statt, welche in dem Abdeckungs- bzw. Deckelbauteil 60 des Kanals ausgebildet ist, wohingegen Tröpfchdnflüssigkeit zu dem Kanal über Öffnungen 33 zugeführt wird, welche im Boden des Kanals ausgebildet sind und welche typischerweise ihrerseits mit Versorgungsleitungen für die Tinte (nicht gezeigt), welche in einem Bodenbauteil 35, welches getrennt von dem mit Kanälen durchzogenen piezoelektrischen Bauteil 12 ist, verbunden sind.Such a construction simplifies the manufacture of known printheads, particularly those of the top-jet type discussed in WO 91/17051 (which is owned by the Applicant and the contents of which are incorporated herein by reference). Figure 2 shows a sectional view along the channels of such a prior art printhead, with those features corresponding to Figure 1 being designated by corresponding reference numerals. The ejection of droplets takes place from a nozzle 22 formed in the cover member 60 of the channel, whereas droplet liquid is supplied to the channel via openings 33 formed in the bottom of the channel and which are in turn typically connected to supply lines for the ink (not shown) formed in a bottom member 35 separate from the channeled piezoelectric member 12.

Gemäß der Erfindung ist eine Öffnung, welche mit einer Öffnung zum Ausstoß von Tröpfchen verbunden ist, in der Bodenfläche des Kanals ausgebildet, wodurch es bei dem Abdeckungs- bzw. Deckelbauteil möglich ist, Öffnungen zur Zufuhr von Tinte in dem Kanal unterzubringen. Ein weiteres getrenntes Bodenbauteil ist demzufolge nicht mehr erforderlich.According to the invention, an opening which is connected to an opening for ejecting droplets is formed in the bottom surface of the channel, whereby it is possible for the cover or lid component to accommodate openings for supplying ink in the channel. A further separate bottom component is therefore no longer required.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung schafft diese ein Verfahren der Herstellung eines Tröpfchenablagerungsapparats, welches die folgenden Schritte aufweist:According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a droplet deposition apparatus comprising the following steps:

Schaffen eines Körpers, welcher piezoelektrisches Material einschließt und wenigstens einen langgestreckten oben offenen Kanal aufweist, wobei der Kanal durch einander zugewandte langgestreckte Seitenwände und eine langgestreckte Bodenfläche, welche sich zwischen den Seitenwänden erstreckt, gebildet ist;providing a body enclosing piezoelectric material and having at least one elongated open-topped channel, the channel being formed by facing elongated side walls and an elongated bottom surface extending between the side walls;

gekennzeichnet durch Bilden einer Öffnung in der langgestreckten Bodenfläche des Kanals für den Ausstoß einer Tröpfchenflüssigkeit;characterized by forming an opening in the elongated bottom surface of the channel for the ejection of a droplet liquid;

Vorsehen einer Einrichtung zum Anlegen eines elektrischen Feldes an piezoelektrisches Material in wenigstens einer der besagten Wände um dadurch die Verlagerung der Wand in Bezug auf den besagten langgestreckten Kanal so zu bewirken, dass ein Tröpfchen aus dem Kanal ausgestoßen wird;providing means for applying an electric field to piezoelectric material in at least one of said walls to thereby cause displacement of the wall with respect to said elongated channel such that a droplet is ejected from the channel;

Schließen der langgestreckten offenen Oberseite des Kanals mittels einer Abdeckung bzw. eines Deckels, welcher zwei Versorgungsöffnungen für Tröpfchenflüssigkeit aufweist, welche so angeordnet sind, dass sie entlang dem Kanal auf jeder Seite der Öffnung beabstandet liegen.Closing the elongated open top of the channel by means of a cover or lid having two droplet liquid supply openings arranged to be spaced apart along the channel on either side of the opening.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in der Beschreibung, den Zeichnungen und den beigefügten Ansprüchen angegeben.Further advantageous embodiments of the invention are set out in the description, the drawings and the appended claims.

Die Erfindung wird nun beispielsweise durch Bezug auf die folgenden Zeichnungen beschrieben, in welchenThe invention will now be described by way of example with reference to the following drawings, in which

Fig. 3 eine Schnittansicht zeigt, wobei der Schnitt entlang der Kanalachse eines Druckkopfes gemäß einer ersten Ausführungsform eines ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung gelegt ist.Fig. 3 shows a sectional view, the section being taken along the channel axis of a print head according to a first embodiment of a first aspect of the present invention.

die Fig. 4a und 4b eine Einzelheit des rückwärtigen Teils des Druckkopfes gemäß Fig. 3 jeweils vor und flach dem Anbringen der Abdeckung bzw. des Deckels zeigen;Figures 4a and 4b show a detail of the rear part of the print head according to Figure 3 before and after fitting the cover and the lid respectively;

Fig. 5 eine Schnittansicht zeigt, wobei der Schnitt entlang der Kanalachse des Druckkopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform eines ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung gelegt ist;Fig. 5 shows a sectional view, the section being taken along the channel axis of the printhead according to a second embodiment of a first aspect of the present invention ;

Fig. 6 eine Schnittansicht zeigt, wobei der Schnitt entlang der Kanalachse eines Druckkopfes gelegt ist, welche sowohl den ersten wie auch den zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung einschließt;Figure 6 shows a sectional view, the section being taken along the channel axis of a printhead incorporating both the first and second aspects of the present invention;

Fig. 7 eine Schnittansicht zeigt, wobei der Schnitt entlang der Kanalachse eines Druckkopfes gemäß einer zweiten Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung gelegt ist:Fig. 7 shows a sectional view, the section being taken along the channel axis of a print head according to a second embodiment of a second aspect of the present invention:

Fig. 8 eine perspektivische. Detailansicht des Endes des piezoelektrischen Körpers des Druckkopfes gemäß Fig. 7 zeigt;Fig. 8 shows a perspective detailed view of the end of the piezoelectric body of the print head according to Fig. 7;

die Fig. 9 und 10 jeweils eine Schnittansicht und eine Detailschnittansicht einer alternativen Ausführungsform des in Fig. 7 gezeigten Kopfes zeigen.Figures 9 and 10 show a sectional view and a detailed sectional view, respectively, of an alternative embodiment of the head shown in Figure 7.

Fig. 3 stellt einen Druckkopf gemäß einer ersten Ausführungsform des ersten Aspektes der vorliegenden Erfindung dar, wobei jene Merkmale, die Fig. 3 und der den Stand der Technik betreffende Druckkopf der Fig. 1 und 2 gemeinsam haben, durch gemeinsame Bezugszeichen bezeichnet sind.Fig. 3 illustrates a printhead according to a first embodiment of the first aspect of the present invention, with those features common to Fig. 3 and the prior art printhead of Figs. 1 and 2 being designated by common reference numerals.

Wie in der Vorrichtung nach dem Stand der Technik ist ein Körper 12 aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial in der Richtung der Dicke mit Kanälen 11 ausgebildet, welche voneinander durch Kanalwände 13 getrennt sind. Wie aus der EP-A-0 364 136 bekannt, auf welche weiter oben Bezug genommen ist, sind Elektroden 23 entlang jeder Wand 13 in dem Tinte enthaltenden Kanal 11 ausgebildet und erstrecken sich auch entlang einer rückwärtigen Nut 100 zu der rückseitigen Stirnfläche 130 des Körpers. Zusätzlich ist eine Abdeckung bzw. ein Deckel 14 vorgesehen, dessen eine Seite 15 die offene Seite jedes der Kanäle 11 verschließt, eine Düsenplatte 20 mit Düsen 22 für den Ausstoß von Tröpfchen und eine Sammelleitung zur Versorgung von Tinte in den Kanal in der Form einer Querausnehmung welche in den Körper 12 eingearbeitet bzw. geschnitten ist. Auf der Seite 15 der Abdeckung bzw. des Deckels 14 sind Bahnen 16 (durch geeignete und gut bekannte Verfähren) ausgebildet, welche wiederum mit dem Mikrochip 27 (welcher figurativ in Fig. 3 und nicht maßstäblich dargestellt ist) verbunden, welcher wiederum Eingangssignale von Eingangsbahnen 18 erhält.As in the prior art device, a body 12 of piezoelectric ceramic material is formed in the thickness direction with channels 11 separated from each other by channel walls 13. As known from EP-A-0 364 136 referred to above, electrodes 23 are formed along each wall 13 in the ink-containing channel 11 and also extend along a rear groove 100 to the rear face 130 of the body. In addition, there is provided a cover 14, one side 15 of which closes the open side of each of the channels 11, a nozzle plate 20 with nozzles 22 for ejecting droplets and a manifold for supplying ink to the channel in the form of a transverse recess cut into the body 12. On the side 15 of the cover or lid 14, tracks 16 are formed (by suitable and well-known methods) which in turn are connected to the microchip 27 (which is shown figuratively in Fig. 3 and not to scale) which in turn receives input signals from input tracks 18.

Eine Einzelheit des rückwärtigen Teils des Druckkopfes vor der Befestigung der Abdeckung bzw. des Deckels ist in Fig. 4a gezeigt; eine Passivierungsschicht 140 (in Fig. 3 nicht gezeigt aber durch strichlinierte Schraffur in Fig. 4a gezeigt) wird über die Gesamtheit der Elektroden 23 (durch Schraffur mit ausgezogenen Linien sowohl in Fig. 3 als auch in Fig. 4a angegeben) in dem Kanal aufgebracht und teilweise entlang der rückwärtigen Nut (100). Im Gegensatz zu der Konstruktion nach dem Stand der Technik wird die Passivierung ausgeführt, bevor die Abdeckung bzw. der Deckel angebracht wird und vorzugsweise gemäß dem Verfahren, welches in der WO 95/07820 beschrieben ist, welche der vorliegenden Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird.A detail of the rear part of the print head before attachment of the cover is shown in Fig. 4a; a passivation layer 140 (not shown in Fig. 3 but shown by dashed line hatching in Fig. 4a) is deposited over the entirety of the electrodes 23 (shown by solid line hatching in both Fig. 3 and Fig. 4a) in the channel and partially along the rear groove (100). In contrast to the prior art construction, the passivation is carried out before the cover is fitted and preferably according to the method described in WO 95/07820, owned by the present applicant and the contents of which are incorporated herein by reference.

Eine mechanische Verbindung zwischen dem Körper und der Seite 15 der Abdeckung bzw. des Deckels 14 wird mittels einer Klebstoffschicht 160 erreicht, welche auf die Stirnflächen der Wände 13 in dem Bereich der Kanäle 11 aufgebracht wird, bevor die Abdeckung bzw. der Deckel und der Körper zusammengefügt werden und vorzugsweise gemäß dem Verfahren, welches in der WO 95/04658 erörtert wird, welche der vorliegenden Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird. Fig. 4b stellt den zusammengebauten Druckkopf dar, wobei die klebende Verbindung bei 220 angegeben ist. Solch eine. Klebeverbindung kann robuster sein und eine höhere Grenz-Lastspielzahl bzw. Ermüdungslebensdauer als die entsprechende Lötverbindung gemäß der Konstruktion nach dem Stand der Technik, wie sie oben beschrieben wurde, besitzen.A mechanical connection between the body and the side 15 of the cover 14 is achieved by means of an adhesive layer 160 which is applied to the faces of the walls 13 in the region of the channels 11 before the cover and the body are assembled and preferably according to the method discussed in WO 95/04658, owned by the present applicant and the contents of which are incorporated herein by reference. Figure 4b shows the assembled printhead with the adhesive connection indicated at 220. Such an adhesive connection may be more robust and have a higher fatigue life than the corresponding solder connection according to the prior art design as described above.

Die elektrische Verbindung zwischen den leitenden Bahnen 16 auf der Abdeckung bzw. dem Deckel und jenem Teil der Elektrode 23 in der rückwärtigen Nut 100 wird durch einen Vorsprung 170 eines dehnbaren, deformierbaren, leitenden Materials, wie etwa einem an dem Ende 180 der Bahn 16 angebrachten Lot erreicht. Beim Zusammenbau der Abdeckung bzw. des Deckels mit dem Körper, wie dies in Fig. 4b gezeigt ist, kommt der Vorsprung 170 mit der Elektrode 23 in Berührung und wird deformiert, wodurch ein wirksamer elektrischer Kontakt 200 zwischen der Elektrode 23 und Bahn 16 geschaffen wird.The electrical connection between the conductive traces 16 on the cover and that portion of the electrode 23 in the rear groove 100 is achieved by a projection 170 of a stretchable, deformable conductive material, such as solder, attached to the end 180 of the trace 16. Upon assembly of the cover to the body, as shown in Fig. 4b, the projection 170 contacts the electrode 23 and is deformed, thereby creating an effective electrical contact 200 between the electrode 23 and trace 16.

Eine Perle 190 einer Dichtungspaste oder eines Klebers hoher Viskosität wird auch so aufgebracht, dass beim Zusammenbau eine Tintendichtung 210 zwischen dem Ende des Tintenkanals 11 und des elektrischen Kontakts 200 gebildet wird. Eine solche Dichtung schützt den elektrischen Kontakt vor späterer Korrosion durch Tinte. Vorzugsweise ist die Dichtung so angeordnet, bzw. positioniert, dass sie das freie Ende 150 der Passivierungsschicht 140 überspannt und dadurch das Durchsickern von Tinte unter der Passivierungsschicht verhindert, von wo sie sonst das Elektrodenmaterial 23 angreifen könnte.A bead 190 of a high viscosity sealing paste or adhesive is also applied so that, during assembly, an ink seal 210 is formed between the end of the ink channel 11 and the electrical contact 200. Such a seal protects the electrical contact from subsequent corrosion by ink. Preferably, the seal is arranged or positioned so that it spans the free end 150 of the passivation layer 140, thereby preventing ink seepage beneath the passivation layer where it could otherwise attack the electrode material 23.

Fig. 5 zeigt eine zweite Ausführungsform des ersten Aspektes der vorliegenden Erfindung. Ein Körper 290 aus keramischem piezoelektrischem Material ist, wie in der vorhergehenden Ausführungsform, in der Richtung und der Dicke gepolt und mit Kanälen 11 ausgeformt, welche durch Kanalwände 13 getrennt sind, wobei auf jeder Seite der Kanalwände wiederum eine Elektrode 23 ausgebildet ist. Tintenausstoß findet von einer zentral angeordneten Düse 320 aus statt, welche entweder direkt in der Abdeckung bzw. dem Deckel 305 ausgebildet ist oder, wie hier gezeigt, in einer Düsenplatte 330 ausgebildet ist, welche mit dem Kanal über eine Öffnung 340, welche in der Abdeckung bzw. dem Deckel ausgebildet ist, in Verbindung steht. Der Körper 290 ist zusätzlich mit zwei Sammelleitungen 310 für die Zufuhr von Tinte von beiden Enden des Kanals ausgestattet, wie dies durch Pfeile 300 angegeben ist. Eine weitere Konstruktion (nicht gezeigt) versorgt die Sammelleitungen mit Tinte von einem Vorratsbehälter.Fig. 5 shows a second embodiment of the first aspect of the present invention. A body 290 of ceramic piezoelectric material is, as in the previous embodiment, poled in direction and thickness and formed with channels 11 separated by channel walls 13, with an electrode 23 formed on each side of the channel walls. Ink ejection takes place from a centrally located nozzle 320 which is either formed directly in the cover 305 or, as shown here, formed in a nozzle plate 330 which communicates with the channel via an opening 340 formed in the cover. The body 290 is additionally provided with two manifolds 310 for supplying ink from both ends of the channel, as indicated by arrows 300. Another design (not shown) supplies the manifolds with ink from a reservoir.

Eine solche "doppelendige" ("double-ended") Konfiguration eines Druckkopfes ist in der WO 91/17051 offenbart; welche der vorliegenden Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird, und hat Vorteile in Bezug auf eine niedrigere Betriebsspannung gegenüber der "Einzelenden"-("single-ended") Konfiguration, welche oben beschrieben worden ist. Weiterhin ist die Konfiguration des Bodens 290 geeignet durch Formen herzustellen - eine Technik, die potentiell attraktiver vom Standpunkt der Herstellbarkeit ist als herkömmliche Sägetechniken, welche in der vorerwähnten EP-A-0 364 136 beschrieben sind.Such a "double-ended" configuration of a print head is disclosed in WO 91/17051, which is owned by the present applicant and the contents of which are incorporated herein by reference, and has advantages in terms of lower operating voltage over the "single-ended" configuration described above. Furthermore, the configuration of the base 290 is suitable for manufacture by molding - a technique which is potentially more attractive from a manufacturability standpoint than conventional sawing techniques described in the aforementioned EP-A-0 364 136.

Die Verbindung der Kanalelektrode 23 mit leitenden Bahnen 370, welche auf der Oberfläche der Abdeckung bzw. des Deckels 350 ausgebildet sind, welche jedoch dem Körper 290 zugewandt ist, wurde bereits in Bezug auf die Fig. 3, 4a und 4b beschrieben, und ist in der an einer Seite des Körpers 290 ausgebildeten Nut 360 angeordnet. In ähnlicher Weise ist indem Bereich des Kanals selbst (seine Kanalwände sind vor dem Zusammenbau passiviert worden) und bei dem Ende 380 des Körpers, welches nicht durch eine elektrische Verbindung eingenommen ist, die Abdeckung bzw. der Deckel 350 an dem Körper aus piezoelektrischem keramischem Material durch eine herkömmliche Klebstoffverbindung (nicht gezeigt) befestigt.The connection of the channel electrode 23 to conductive traces 370 formed on the surface of the cover 350 but facing the body 290 has already been described with reference to Figures 3, 4a and 4b and is located in the groove 360 formed on one side of the body 290. Similarly, in the region of the channel itself (its channel walls have been passivated prior to assembly) and at the end 380 of the body not occupied by an electrical connection, the cover 350 is secured to the body of piezoelectric ceramic material by a conventional adhesive bond (not shown).

Um die von der Tinte von dem eigentlichen bzw. dazugehörigen Kanal 11 zu dem Auslass der Düse 320 zu durchlaufende Entfernung zu minimieren - und dadurch Druckverlust und demzufolge Verringerungen in der Geschwindigkeit des Tröpfchenausstosses zu reduzieren - kann die Düse 320 in der Abdeckung bzw. dem Deckel selbst ausgebildet sein. Vorteilhafterweise wird die Düse durch Abtragen bzw. Abdampfen bzw. Ablation mittels Laser geformt bzw. gebildet, wie dies zum Beispiel in der WO 93/15911 beschrieben ist, deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird, und zu diesem Zweck kann die Abdeckung bzw. der Deckel aus einem leicht abzutragenden bzw. abzudampfenden bzw. zu ablatierenden Material. geeigneterweise ein Polymer, wie etwa Polyimid, Polykarbonat, Polyester oder Polyetheretherketon mit typischerweise einer Dicke von 50 um hergestellt sein.In order to minimize the distance to be traveled by the ink from the actual or associated channel 11 to the outlet of the nozzle 320 - and thereby pressure loss and consequently reductions in the velocity of droplet ejection - the nozzle 320 may be formed in the cap itself. Advantageously, the nozzle is formed by laser ablation, for example as described in WO 93/15911, the contents of which are incorporated herein by reference, and for this purpose the cap may be made of an easily ablated material, suitably a polymer such as polyimide, polycarbonate, polyester or polyetheretherketone, typically having a thickness of 50 µm.

Die Steifigkeit einer Abdeckungs- bzw. Deckelplatte, welche aus einem solchen leicht abtragbaren bzw. abdampfbaren bzw. ablatierbaren Material gebildet ist, kann durch die Aufbringung einer Beschichtung eines steiferen Materials an der Innen- und Außenoberfläche der abtragbaren bzw. abdampfbaren bzw. ablatierbaren Abdeck- bzw. Deckplatte erhöht werden. Insbesondere ist für diesen Zweck Siliziumnitrid zweckmäßig; es kann auch verwendet werden als passivierende Beschichtung in dem Verfahren gemäß der vorerwähnten WO 95/07820 und wird als eine glatte Beschichtung niedergeschlagen, welche für die nachfolgende Aufbringung einer nicht benetzbaren Beschichtung geeignet ist und infolge ihrer Nichtleitungseigenschaften Elektroden benachbarter Kanäle nicht ausschaltet. Zwei Schichten eines solchen Materials, welche auf jeder Seite der Abdeckung bzw. des Deckels aus Polyimid angeordnet sind und von denen jede eine Dicke hat von etwa 5% von derjenigen der Abdeckung bzw. des Deckels (2,5 um im Falle von einer 50 um dicken Abdeckung bzw. eines solchen Deckels) erhöhen typischerweise die Biegesteifigkeit um einen Faktor von 5-10 (auf der Grundlage der Standard Compound Beam Theory (Standard-Verbundträgertheorie) und aufgrund der Annahme eines Weites des Young's Moduls für das Versteifungsmaterial von ungefähr 100 mal größer als diejenige des Polymers und einer guten Adhäsion zwischen den steifen und Polymermaterialien). Solch eine dünne Schicht hat keinen bedeutenden Einfluss darauf, wie leicht die Abdeckungs- bzw. Deckelplatte abgetragen bzw. abgedampft bzw. ablatiert werden kann, um eine Düse zu formen bzw. zu bilden, insbesondere wenn das Material der Schicht selbst in einem gewissen Grade abtragbar, abdampfbar bzw. ablatierbar ist.The stiffness of a cover plate formed from such an easily ablatable material can be increased by applying a coating of a stiffer material to the inner and outer surfaces of the ablatable cover plate. In particular, silicon nitride is suitable for this purpose; it can also be used as a passivating coating in the process according to the aforementioned WO 95/07820 and is deposited as a smooth coating suitable for the subsequent application of a non-wettable coating and, due to its non-conductive properties, does not turn off electrodes of adjacent channels. Two layers of such material placed on either side of the polyimide cover, each having a thickness of about 5% of that of the cover (2.5 µm in the case of a 50 µm thick cover) typically increase the bending stiffness by a factor of 5-10 (based on standard compound beam theory and assuming a Young's modulus for the stiffening material of about 100 times greater than that of the polymer and good adhesion between the stiffener and polymer materials). Such a thin layer does not significantly affect how easily the cover plate can be ablated to form a nozzle, particularly if the material of the layer itself is ablatable to some degree.

Breit formuliert weist die Abdeck- bzw. Deckelplatte für einen Tintenstrahldrucker eine Schicht eines ersten leicht abtragbaren bzw. abdampfbaren bzw. ablatierbaren Materials auf, mit welchem weitere Schichten auf dessen gegenüberliegenden Seiten verbunden sind, wobei die weiteren Schichten jeweils aus einem Material mit einer Steifigkeit von wenigstens einer Größenordnung größer als diejenige des ersten Materials sind und mit einer Dicke von wenigstens einer Größenordnung weniger als derjenigen der ersten Schicht.Broadly formulated, the cover plate for an inkjet printer has a layer of a first easily ablatable material, to which further layers are connected on its opposite sides, wherein the further layers are each made of a material having a stiffness of at least one order of magnitude greater than that of the first material and having a thickness of at least one order of magnitude less than that of the first layer.

Es wird nunmehr auf Fig. 6 Bezug genommen. Dort ist ein Druckkopf gezeigt, welcher sowohl erste und zweite Aspekte der vorliegenden Erfindung einschließt. Der Körper 400 aus piezoelektrischem keramischem Material ist mit Kanälen 11 ausgebildet, ferner mit die Kanäle trennenden Wänden 13 und Elektroden 23, welche mit Betätigungssignalen über leitende Bahnen 410 versorgt werden, welche mit einer Treiberschaltung (nicht gezeigt) verbunden sind. Anders als bei den vorhergehenden Ausführungsformen findet jedoch der Tröpfchenausstoss von einer Düse 420 statt, welche mit einer Öffnung 430 in Verbindung steht bzw. kommuniziert, welche in dem Körper 400 bei der geschlossenen Bodenfläche 440 des Kanals 11 ausgebildet ist - dies steht im Gegensatz zu Fig. 5, wo die Düse 320 in einer Abdeckung bzw. einem Deckel 350 angeordnet ist, welche bzw. welcher die offene obere Seite des Kanals 11 verschließt.Referring now to Figure 6, there is shown a printhead incorporating both first and second aspects of the present invention. The body 400 of piezoelectric ceramic material is formed with channels 11, walls 13 separating the channels, and electrodes 23 which are supplied with actuation signals via conductive tracks 410 connected to a driver circuit (not shown). However, unlike the previous embodiments, the droplet ejection takes place from a nozzle 420 which communicates with an opening 430 formed in the body 400 at the closed bottom surface 440 of the channel 11 - this is in contrast to Fig. 5 where the nozzle 320 is arranged in a cover 350 which closes the open top side of the channel 11.

Das Formen bzw. das Spritzgießen ist wiederum das bevorzugte Verfahren der Herstellung für den mit Kanälen versehenen Körper 400, und die Anordnung der Fig. 4a und 4b wird wiederum für die elektrische Verbindung zwischen den Elektroden 23 und leitenden Bahnen 410 verwendet. Das Verbindungsloch 430 kann auch während des Formungs- bzw. Spritzgießvorgangs gebildet werden oder kann nachfolgend zum Beispiel mittels eines Lasers gebildet werden. Die Abdeckung bzw. der Deckel 450 enthält nicht länger eine Düse, sondern ist anstelle dessen mit Öffnungen 460 für den Einlass von Tinte ausgebildet. Eine solche Anordnung weist eine geringere Anzahl von Bauteilen als früher erörterte Ausführungsformen auf und besitzt demzufolge auch Vorteile bei der Herstellung. Alternativ könnten die Öffnungen für die Zufuhr von Tinte auch in dem mit Kanälen versehenen Bauteil, zum Beispiel an den Enden der Kanäle ausgebildet sein.Molding is again the preferred method of manufacture for the channeled body 400, and the arrangement of Figures 4a and 4b is again used for the electrical connection between the electrodes 23 and conductive traces 410. The connection hole 430 may also be formed during the molding process or may be subsequently formed, for example, by means of a laser. The cover 450 no longer contains a nozzle, but is instead formed with openings 460 for the inlet of ink. Such an arrangement has a smaller number of components than previously discussed embodiments and thus also has advantages in manufacturing. Alternatively, the openings for the supply of ink could also be formed in the channeled member, for example at the ends of the channels.

Der Druckkopf gemäß Fig. 7 weist auch ein Abdeckungs- bzw. Deckelbauteil 500 mit Einlassöffnungen 520, 522 und 524 für die Tinte auf, welche an jedem Ende und in der Mitte eines Kanals 11, welcher in einem piezoelektrischen Körper 530 ausgebildet ist, angeordnet sind. Die Kanalwände sind durch einen Spalt 540 in zwei Sektionen 550, 560 unterteilt, welche jeweils durch Öffnungen 520, 522 bzw. 522, 524 versorgt werden, wobei jede Sektion unabhängig mittels jeweiliger Elektroden 570, 580, welche durch Treiberschaltungen (nicht gezeigt) überleitende Bahnen 650, 660 angesteuert werden, betätigbar sind. Für jede Sektion ist eine jeweilige Düse 610, 620 vorgesehen, welche in einer Düsenplatte 615 ausgebildet ist und mit einer Sektion des Kanals über Verbindungslöcher 630, 640, die in der Bodenfläche des Kanals an Stellen ausgebildet sind, welche im mittleren Bereich zwischen den jeweiligen Einlassöffnungen für diese Sektion ausgebildet sind, ausgeformt bzw. ausgebildet sind.The print head according to Fig. 7 also comprises a cover member 500 with inlet openings 520, 522 and 524 for the ink, which are arranged at each end and in the middle of a channel 11 formed in a piezoelectric body 530. The channel walls are divided by a gap 540 into two sections 550, 560, which are respectively supplied by openings 520, 522 and 522, 524, each section independently operable by respective electrodes 570, 580 which are controlled by driver circuits (not shown) via conductive paths 650, 660. For each section there is provided a respective nozzle 610, 620 which is formed in a nozzle plate 615 and is connected to a section of the channel via communication holes 630, 640 formed in the bottom surface of the channel at locations which are in the central region between the respective inlet openings for that section.

Eine solche Konfiguration ist in der gleichzeitig anhängigen britischen. Patentanmeldung Nr. 97 105 30.8 beschrieben, welche der Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen ist und einen Druckkopf ergibt, welcher zwei parallele Reihen von unabhängig voneinander betätigbaren Druckelementen aufweist, welcher somit kompakt bzw. von gedrängter Bauart ist und welcher eine verringerte Betätigungsspannung per Einheit von Geschwindigkeit des Tröpfchenausstosses hat, und zwar infolge der "doppelendigen" ("double-ended") Tintenversorgung zu jeder Kanalsektion.Such a configuration is described in the applicant's co-pending British Patent Application No. 97 105 30.8, the contents of which are incorporated herein by reference, and provides a printhead having two parallel rows of independently actuatable printing elements, which is thus compact in design and which has a reduced actuation voltage per unit of droplet ejection speed due to the "double-ended" ink supply to each channel section.

Anders als frühere Ausführungsformen sind die leitenden Bahnen 650, 660, welche die Kanalelektroden mit den Ansteuerungschips elektrisch verbinden, auf dem piezoelektrischen Körper selbst ausgebildet, vorteilhafterweise in dem gleichen Schritt, in welchem die Elektroden 570, 580 auf den Kanalwänden abgelagert, bzw. niedergeschlagen werden. Eine solche Anordnung ist aus der EP-A-0 397 441 bekannt, welche der Anmelderin gehört und deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen ist, und demzufolge wird sie hier nicht mehr in weiteren Einzelheiten beschrieben. Die Verbindung zwischen der Bahn 650, 660 und dem Ansteuerungschip 590, 600 kann durch irgendein herkömmliches Verfahren einschließlich Drahtbonding oder Goldkugelverbindung erreicht werden.Unlike previous embodiments, the conductive traces 650, 660 which electrically connect the channel electrodes to the drive chips are formed on the piezoelectric body itself, advantageously in the same step in which the electrodes 570, 580 are deposited on the channel walls. Such an arrangement is known from EP-A-0 397 441, owned by the Applicant and the contents of which are incorporated herein by reference, and accordingly will not be described in further detail here. The connection between the trace 650, 660 and the drive chip 590, 600 may be achieved by any conventional method including wire bonding or gold ball bonding.

Der piezoelektrische Körper 530 kann geformt bzw. spritzgegossen werden: zusätzlich dazu, dass sich dadurch kläre Herstellungsvorteile ergeben, erlaubt ein solches Verfahren, dass die Enden des Kanals so geformt werden, wie dies in Fig. 8 dargestellt ist, nämlich mit einem weichen bzw. glatten kontinuierlichen Übergang 700 von der oberen Fläche 720 des Körpers zu sowohl der Kanalwand 730 und der langgestreckten Bodenfläche 710 des Kanals. Dadurch werden wiederum Unstetigkeiten in dem nachfolgend niedergeschlagenen Elektrodenmaterial und den damit verbundenen Heizungseffekten vermieden, welche eine schädliche Wirkung auf die Betrieb-Lebensdauer des Druckkopfes als Ganzes haben könnten.The piezoelectric body 530 can be molded: in addition to providing clear manufacturing advantages, such a process allows the ends of the channel to be shaped as shown in Figure 8, with a smooth continuous transition 700 from the top surface 720 of the body to both the channel wall 730 and the elongated bottom surface 710 of the channel. This in turn avoids discontinuities in the subsequently deposited electrode material and the associated heating effects which could have a detrimental effect on the operational life of the printhead as a whole.

Alternativ könnten Kanäle in dem piezoelektrischen Bauteil durch Sägen unter Verwendung eines Scheibenschneiders ausgebildet werden, - wie dies zum Beispiel in der EP-A-0 309 148 beschrieben ist - und in den Schnitt- und Detailsehnittansichten der Fig. 9 und 10 dargestellt ist. Daraus folgt, dass die Tiefe des Kanals 11 mehr allmählich an jedem Ende ausläuft, wie dies bei 800 gezeigt ist, und dass die Wand des piezoelektrischen Kanals, welche zwischen benachbarten gesägten Kanälen 11 gebildet bzw. definiert ist, kontinuierlich zwischen den beiden aktiven Sektionen 550, 560 verläuft. Eine Unterbrechung 810 in den Elektroden auf den Kanalwänden an einer Stelle zwischen den beiden Sektionen stellt sicher, dass jede Wand in der aktiven Sektion unabhängig durch Signale betätigt werden kann die über einen elektrischen Eingang 820 zugeführt werden. Solch eine Unterbrechung kann zum Beispiel durch Maskieren während der Ablagerung der Metallplattierung oder durch Entfernen der Plattierung durch einen Laser erreicht werden.Alternatively, channels could be formed in the piezoelectric device by sawing using a disk cutter - as described for example in EP-A-0 309 148 - and shown in the section and detail section views of Figures 9 and 10. It follows that the depth of the channel 11 tapers off more gradually at each end, as shown at 800, and that the wall of the piezoelectric channel, which is defined between adjacent sawn channels 11, is continuous between the two active sections 550, 560. A break 810 in the electrodes on the channel walls at a location between the two sections ensures that each wall in the active section can be independently actuated by signals supplied via an electrical input 820. Such a disruption can be achieved, for example, by masking during the deposition of the metal plating or by removing the plating by a laser.

Die Verbindung zwischen den Elektroden auf den Kanalwänden und dem elektrischen Eingang 820 können, obwohl dies nicht im einzelnen gezeigt ist, erreicht werden, durch irgendeine der bekannten Techniken einschließlich Drahtbonden zwischen Bahnen, die in flachen "Auslauf"-("run-out"-)Nuten, welche in dem Bereich 900 im rückwärtigen Teil des Kanals 11 ausgebildet sind (beschrieben in der vorerwähnten EP-A-0 364 136) oder durch leitenden Kleber (zum Beispiel anisotroper leitender Kleber) zwischen leitenden Bahnen, die in dem Bereich 900 auf der Oberfläche der piezoelektrischen Platte selbst ausgebildet sind (was in der EP-A-0 397 441 beschrieben ist).The connection between the electrodes on the channel walls and the electrical input 820 may, although not shown in detail, be achieved by any of the known techniques including wire bonding between traces formed in shallow "run-out" grooves formed in the region 900 in the rear part of the channel 11 (described in the aforementioned EP-A-0 364 136) or by conductive adhesive (for example anisotropic conductive adhesive) between conductive traces formed in the region 900 on the surface of the piezoelectric plate itself (which is described in EP-A-0 397 441).

Wie in der Ausführungsform von Fig. 7 ist jeder Kanal 11 entlang seiner beiden aktiven Sektionen 550, 560 über geeignete Längen 820, 830 eines Abdeckungs- bzw. Deckelbauteils 500 geschlossen, welches ebenso mit Öffnungen 520, 522, 540 ausgebildet ist; welche es erlauben, dass Tinte zu jeder aktiven Sektion des Kanals geführt wird, und optional erlauben, dass Tinte durch jede Kanalsektion zu Reinigungszwecken zirkuliert wird, wie dies allgemein bekannt ist. Öffnungen können so angeordnet sein, dass der Rand einer aktiven Sektion definiert bzw. gebildet wird, wie im Falle der Öffnung 522, in welchem Falle die Herstellung vereinfacht ist. In dem gezeigten Beispiel sind die Breite der Abdeckungs- bzw. der Deckelöffnung 552 und die Abdeckungs- bzw. Deckelverschlußlängen 820, 803 von der gleichen Größenordnung, typischerweise 2 mm.As in the embodiment of Fig. 7, each channel 11 is closed along its two active sections 550, 560 by suitable lengths 820, 830 of a cover member 500 which is also formed with openings 520, 522, 540 which allow ink to be fed to each active section of the channel and optionally allow ink to be circulated through each channel section for cleaning purposes, as is well known. Openings may be arranged to define the edge of an active section, as in the case of opening 522, in which case manufacturing is simplified. In the example shown, the width of the cover opening 552 and the cover closure lengths 820, 803 are of the same order of magnitude, typically 2 mm.

Der Ausstoß von Tinte von jeder aktiven Sektion erfolgt wiederum über Öffnungen, welche den Kanal mit der entgegengesetzten Oberfläche des piezoelektrischen Bauteils (Platte 860) verbinden, zu derjenigen, in welcher der Kanal ausgebildet ist. In der vorliegenden Ausführungsform nehmen diese Öffnungen die Form von Schlitzen 840, 850 an, welche sich einige Entfernung (typischerweise 200 um - in der Längsrichtung des Kanals - erstrecken, um so etwas Spielraum in der Anordnung der jeweiligen Düsen 870, 880 in der Düsenplatte 890 zu erlauben. Das Versetzen von Düsen ist allgemein jedesmal notwendig, wenn ein gleichzeitiger Tröpfchenausstoss von benachbarten Kanälen nicht möglich ist, und ist zum Beispiel in Druckköpfen mit gemeinsamer Wand ("shared wall") von der dargestellten Art allgemein bekannt, zum Beispiel aus der EP-A-0 376, und wird deshalb nicht mehr im einzelnen erörtert.The ejection of ink from each active section is in turn via openings which connect the channel to the opposite surface of the piezoelectric device (plate 860) to that in which the channel is formed. In the present embodiment these openings take the form of slots 840, 850 which extend some distance (typically 200 µm) - in the longitudinal direction of the channel - so as to allow some latitude in the arrangement of the respective nozzles 870, 880 in the nozzle plate 890. Offsetting of nozzles is generally necessary whenever simultaneous droplet ejection from adjacent channels is not possible and is well known, for example, in shared wall printheads of the type illustrated, for example from EP-A-0 376, and will therefore not be discussed in detail.

Druckköpfe gemäß der vorliegenden Erfindung können auch in einem modularen Format erzeugt werden wie dies in der vorerwähnten WO 91/17051 beschrieben ist, wobei jeder Modul an seinen entgegengesetzten End- bzw. Stirnflächen mit jeweiligen Kanalteilen so ausgebildet ist, dass nach dem Anstoßender Module aneinander weitere Kanäle zwischen den jeweiligen Paaren von aneinander anstoßenden Modulen gebildet werden. In solchen Anordnungen können die jeweiligen Kanalteile wenigstens einen Teil eines Schlitzes aufweisen, der in dem Kanalboden, und mit ausreichender Länge ausgebildet ist, so dass selbst wenn ein Paar aneinander anstoßender Module und ihre jeweiligen Schlitzteile nicht genau fluchtend sind, eine Überlappung zwischen den beiden Schlitzhälften vorhanden ist, die ausreicht, um an eine Düse angepasst zu sein.Printheads according to the present invention may also be produced in a modular format as described in the aforementioned WO 91/17051, each module being formed at its opposite end faces with respective channel portions such that after the modules abut one another, further channels are formed between the respective pairs of abutting modules. In such arrangements, the respective channel portions may comprise at least a portion of a slot formed in the channel bottom and of sufficient length so that even if a pair of abutting modules and their respective slot portions are not precisely aligned, there is an overlap between the two slot halves sufficient to accommodate a nozzle.

Wie in der vorhergehenden Ausführungsform sind die Düsen 870, 880 in einer Düsenplatte 890 ausgebildet, welche sich, wie dargestellt, über die im wesentlichen gesamte Länge der piezoelektrischen Platte 860 so erstreckt; dass ein ausreichend großer Bereich für das Angreifen bzw. Anliegen eines Abdeckung- ("Capping") und/oder Wischmechanismus geschaffen Wird.As in the previous embodiment, the nozzles 870, 880 are formed in a nozzle plate 890 which, as shown, extends over substantially the entire length of the piezoelectric plate 860 so that a sufficiently large area for the engagement of a capping and/or wiping mechanism is created.

Die piezoelektrischen Kanalwände können zum Beispiel in entgegengesetzten Richtungen senkrecht zu der Ebene der Kanalachsen polarisiert sein, wie dies zum Beispiel aus der EP- A-0 277 703 bekannt ist, deren Inhalt hierin durch Bezugnahme eingeschlossen wird. Alternativ kann die Polarisation der Kanalwände parallel zu der Ebene der Kanalachsen erfolgen, wobei Elektroden in den Kanalwänden selbst ausgebildet sind, wie dies zum Beispiel aus der EP-A-0 528 647 bekannt ist.The piezoelectric channel walls may, for example, be polarized in opposite directions perpendicular to the plane of the channel axes, as is known, for example, from EP-A-0 277 703, the content of which is incorporated herein by reference. Alternatively the polarization of the channel walls can be parallel to the plane of the channel axes, with electrodes being formed in the channel walls themselves, as is known for example from EP-A-0 528 647.

Es muss auch nicht jeder Kanal in einem Druckkopf in der Lage sein, Tröpfchen auszustoßen: aktive Kanäle, welche in der Lage sind, Tröpfchen auszustoßen, können sich in dem Druckkopf mit inaktiven - sogenannten Dummy-Kanälen - abwechseln, wie dies zum Beispiel in der zuvor erwähnten EP-A-0 277 703 beschrieben ist.Not every channel in a print head has to be able to eject droplets: active channels that are able to eject droplets can alternate in the print head with inactive - so-called dummy - channels, as described, for example, in the aforementioned EP-A-0 277 703.

Claims (15)

1. Apparat zur Ablagerung von Tröpfchen, welcher aufweist:1. Apparatus for depositing droplets, comprising: wenigstens einen langgestreckten oben offenen Tröpfchenflüssigkeitskanal (11), welcher durch einander zugewandte langgestreckte Seitenwände (13) und eine langgestreckte Bodenfläche (440), welche sich zwischen den Seitenwänden erstreckt, definiert bzw. gebildet ist;at least one elongated open-topped droplet liquid channel (11) defined by facing elongated side walls (13) and an elongated bottom surface (440) extending between the side walls; eine Einrichtung zum Anlegen eines elektrischen Feldes an piezoelektrisches Material in wenigstens einer der Seitenwände (13), wodurch eine Verlagerung der Wand in Bezug auf den besagten langgestreckten Kanal (11) so bewirkt wird, dass ein Tröpfchen aus dem Kanal ausgestoßen wird; undmeans for applying an electric field to piezoelectric material in at least one of the side walls (13) thereby causing displacement of the wall with respect to said elongate channel (11) such that a droplet is ejected from the channel; and eine Abdeckung bzw. einen Deckel (450), welcher die offene langgestreckte Oberseite des Kanals verschließt;a cover or lid (450) which closes the open elongated top of the channel; dadurch gekennzeichnet, dass die langgestreckte Bodenfläche (440) des Kanals mit einer Öffnung (430) für den Ausstoß von Tröpfchen ausgebildet ist und;characterized in that the elongated bottom surface (440) of the channel is formed with an opening (430) for the ejection of droplets and; die Abdeckung bzw. der Deckel (450) zwei Öffnungen (460) für die Zufuhr von Tröpfchenflüssigkeit enthält, wobei die Öffnungen entlang dem Kanal auf beiden Seiten der Öffnung beabstandet sind.the cover or lid (450) contains two openings (460) for the supply of droplet liquid, the openings being spaced along the channel on either side of the opening. 2. Apparat gemäß Anspruch 1, wobei die Zufuhröffnungen (460) auf beiden Seiten der Öffnung (430) um einen gleichen Betrag beabstandet sind.2. Apparatus according to claim 1, wherein the supply openings (460) on either side of the opening (430) are spaced apart by an equal amount. 3. Apparat gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die langgestreckte Bodenfläche des Kanals wenigstens mit zwei Öffnungen ausgebildet, deren Öffnungen entlang dem Kanal beabstandet sind.3. Apparatus according to claim 1 or 2, wherein the elongated bottom surface of the channel is formed with at least two openings, the openings of which are spaced apart along the channel. 4. Apparat gemäß Anspruch 3, wobei die Abdeckung bzw. der Deckel Tröpfchenversorgungsöffnungen einschließt bzw. aufweist, welche entlang dem Kanal so beabstandet sind, dass sie zu beiden Seiten von jeder Öffnung liegen.4. Apparatus according to claim 3, wherein the cover includes droplet supply openings spaced along the channel so as to be on either side of each opening. 5. Apparat gemäß irgendeinem vorgehenden Anspruch, wobei das piezoelektrische Material in einem Schermodus deformiert wird, wenn es dem elektrischen Feld ausgesetzt wird.5. Apparatus according to any preceding claim, wherein the piezoelectric material is deformed in a shear mode when subjected to the electric field. 6. Apparat gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei eine Elektrode (23) auf einer dem Kanal zugewandten Fläche der Kanalwand (13) ausgebildet ist.6. Apparatus according to any preceding claim, wherein an electrode (23) is formed on a surface of the channel wall (13) facing the channel. 7. Apparat gemäß Anspruch 6, wobei die Elektrode auch auf der Kanalwand auf einer Oberfläche entgegengesetzt zu der dem Kanal zugewandten Oberfläche der Kanalwand ausgebildet ist.7. Apparatus according to claim 6, wherein the electrode is also formed on the channel wall on a surface opposite to the surface of the channel wall facing the channel. 8. Apparat gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die besagte Kanalwand in Abhängigkeit von elektrischen Signalen in einer Richtung quer zu den Achsen der Kanäle verlagerbar ist.8. Apparatus according to any preceding claim, wherein said channel wall is displaceable in a direction transverse to the axes of the channels in response to electrical signals. 9. Apparat gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch, wobei die besagte langgestreckte Bodenfläche (440) durch eine Basis bzw. einen Boden definiert bzw. gebildet ist, wobei die Basis bzw. der Boden und die besagten langgestreckten Seitenwände. (13) integral bzw. einstückig ausgebildet sind.9. Apparatus according to any preceding claim, wherein said elongated floor surface (440) is defined by a base, the base and said elongated side walls (13) being integrally formed. 10. Apparat gemäß irgendeinem vorhergehenden Anspruch und welcher eine Mehrzahl von langgestreckten Kanälen aufweist, welche parallel zueinander angeordnet sind.10. Apparatus according to any preceding claim and comprising a plurality of elongate channels arranged parallel to each other. 11. Verfahren der Herstellung eines Tröpfchenablagerungsapparats, welches die folgenden Schritte aufweist:11. A method of manufacturing a droplet deposition apparatus comprising the following steps: Schaffen eines Körpers, welcher piezoelektrisches Material einschließt und wenigstens einen langgestreckten oben offenen Kanal (11) aufweist, wobei der Kanal durch einander zugewandte langgestreckte Seitenwände (13) und eine langgestreckte Bodenfläche (440), welche sich zwischen den Seitenwänden erstreckt, gebildet ist;Providing a body enclosing piezoelectric material and having at least one elongated open-topped channel (11), the channel being formed by facing elongated side walls (13) and an elongated bottom surface (440) extending between the side walls; gekennzeichnet durch Bilden einer Öffnung (430) in der langgestreckten Bodenfläche des Kanals für den Ausstoß einer Tröpfchenflüssigkeit;characterized by forming an opening (430) in the elongated bottom surface of the channel for the ejection of a droplet liquid; Vorsehen einer Einrichtung (23) zum Anlegen eines elektrischen Feldes an piezoelektrisches Material in wenigstens einer der besagten Wände, wodurch die Verlagerung der Wand in Bezug auf den besagten langgestreckten Kanal so bewirkt wird, dass ein Tröpfchen aus dem Kanal ausgestoßen wird;Providing means (23) for applying an electric field to piezoelectric material in at least one of said walls, whereby the displacement of the wall in relation to said elongated channel so as to cause a droplet to be ejected from the channel; Schließen der langgestreckten offenen Oberseite des Kanals mittels einer Abdeckung bzw. eines Deckels, welche bzw. welcher zwei Versorgungsöffnungen für Tröpfchenflüssigkeit aufweist, welche so angeordnet sind, dass sie entlang dem Kanal auf beiden Seiten der Öffnung beabstandet liegen.Closing the elongated open top of the channel by means of a cover having two droplet liquid supply openings arranged to be spaced along the channel on either side of the opening. 12. Verfahren nach Anspruch 11, welches den Schritt der Bildung der besagten langgestreckten Bodenfläche (440) und der besagten langgestreckten Seitenwände (13) so aufweist, dass diese integral bzw. einstückig miteinander sind.12. The method of claim 11, including the step of forming said elongated bottom surface (440) and said elongated side walls (13) so that they are integral with each other. 13. Verfahren gemäß Anspruch 12, welches die Schritte des Schaffens eines Körpers (530) aus piezoelektrischem Material und der Entfernung von Material von dem besagten Körper aufweist, wodurch der besagte Kanal in dem besagten Körper geformt bzw. gebildet wird.13. The method of claim 12, comprising the steps of creating a body (530) of piezoelectric material and removing material from said body, thereby forming said channel in said body. 14. Verfahren gemäß Anspruch 11, welches die Schritte aufweist:14. The method according to claim 11, comprising the steps: Vorsehen eines Körpers (530) in der Form einer Platte mit ersten und zweiten gegenüberliegenden Flächen bzw. Oberflächen;providing a body (530) in the form of a plate having first and second opposing surfaces; Entfernen von Material von der ersten Oberfläche des besagten Körpers und dadurch Formen bzw. Ausbilden des Kanals (11);removing material from the first surface of said body and thereby forming the channel (11); Formen bzw. Bilden einer Öffnung (430) in der langgestreckten Bodenfläche (440) des Kanals, wobei die Öffnung mit der zweiten Oberfläche der Platte kommuniziert bzw. in Verbindung steht.Forming an opening (430) in the elongated bottom surface (440) of the channel, the opening communicating with the second surface of the plate. 15. Verfahren nach Anspruch 14, welches den Schritt der Polarisierung des piezoelektrischen Materials der Platte in einer Richtung senkrecht zu der ersten und der zweiten Oberfläche aufweist.15. The method of claim 14, comprising the step of polarizing the piezoelectric material of the plate in a direction perpendicular to the first and second surfaces.
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