DE69315975T2

DE69315975T2 - Herstellungsverfahren einer keramischen komponente

Info

Publication number: DE69315975T2
Application number: DE69315975T
Authority: DE
Inventors: Keiichi Noi; Yoichi Ogoshi; Iwao Ueno; Yasuo Wakahata
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1992-09-03
Filing date: 1993-09-02
Publication date: 1998-07-16
Anticipated expiration: 2013-09-03
Also published as: DE69315975D1; KR100217012B1; EP0610516B1; US5520759A; JP2870317B2; CN1087443A; EP0610516A1; JPH0684686A; EP0610516A4; CN1036228C; WO1994006129A1; TW240328B

Description

TECHNISCHES GEBIET

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Keramikteilen, die zum Schutz der von elektronischen Geräten und elektrischen Geräten verwendeten Halbleitervorrichtungen, wie etwa IC und LSI, gegen Hochfrequenzrauschen und anormal hohe Spannungen, wie etwa Rauschen, Impulse und statische Elektrizität, verwendet werden.

STAND DER TECHNIK

In jüngerer Zeit fanden Halbleitervorrichtungen, wie etwa IC und LSI, breite Ahwendung in elektronischen Geräten oder elektrischen Geräten zur Miniaturisierung der Geräte und um den Vorrichtungen mehrere Funktionen zu verleihen. Die Verwendung von Halbleitervorrichtungen verursacht jedoch eine Verminderung des Widerstandes der elektronischen Geräte und elektrischen Geräte gegen anormal hohe Spannungen, wie etwa Rauschen, Impulse oder statische Elektrizität.
Um die Widerstandsfähigkeit von elektronischen Geräten und elektrischen Geräten gegen anormal hohe Spannungen, wie etwa Rauschen, Impulse oder statische Elektrizität, sicherzustellen, werden Filmkondensatoren, Elektrolytkondensatoren, keramische Halbleiterkondensatoren, keramische Schichtkondensatoren verwendet. Diese haben hervorragende Eigenschaften hinsichtlich der Absorbtion und Kontrolle von Rauschen mit relativ niedriger Spannung oder Hochfrequenzrauschen, zeigen jedoch keine Wirkung hinsichtlich Impulsen oder statischer Elektrizität mit hoher Spannung und verursachen manchmal eine Fehlfunktion oder eine zerstörung von Halbleitervorrichtungen.
Um Impulse oder statische Elektrizität mit hoher Spannung zu absorbieren und zu kontrollieren, werden Varistoren des SiC- und ZnQ-Typs verwendet. Diese haben jedoch keine Wirkung hinsichtlich der Absorbtion und Kontrolle von Rauschen mit relativ niedriger Spannung und Hochfrequenzrauschen und bringen die Gefahr einer Fehlfunktion mit sich.
Unter diesen Umständen wurden Varistoren des SrTiO&sub3;-Typs entwickelt, die gegen Rauschen mit relativ niedriger Spannung oder Hochfrequenzrauschen und Impulse oder statische Elektrizität mit hoher Spannung wirksam sind.
Bedingt durch die hohe Impedanz der Elemente haben die Vanstoren des SrTiO&sub3;-Typs ebenfalls Probleme in der Hinsicht, daß sie eine geringe Wirkung hinsichtlich der Absorbtion und der Kontrolle von Impulsen mit relativ niedriger Spannung oder Hochfrequenzrauschen haben, das an Signalleitungen angelegt wird.
Die Erfinder haben festgestellt, daß die hohe Impedanz durch eine Sperrschicht verursacht wird, die an dem Elektrodenteil gebildet wird. Entsprechend ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine hohe Wirksamkeit bei der Absorbtion und Kontrolle von Impulsen mit relativ niedriger Spannung und Hochfrequenzrauschen zu erzielen, die an Signalleitungen angelegt werden, und zwar dadurch, daß die Impedanz verringert wird, indem die an dem Elektrodenteil gebildete Sperrschicht zerstört wird.

KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Zur Lösung der vorstehend genannten Aufgabe schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Keramikteils, mit welchem eine Impulsspannung, die einen Maximalwert von 50 kV und eine Energie von 0,5 Joule oder weniger hat und eine Zeit von 200 Nanosekunden oder weniger benotigt, um von einem Ausgangswert den Maximalwert zu erreichen, und eine Zeit von einer Mikrosekunde oder weniger, um über den Maximalwert zu dem Ausgangswert zurückzukehren, einmal oder mehrmals zwischen Elektroden angelegt wird.
Gemäß dem vorstehend beschriebenen Verfahren werden die folgenden Effekte erzielt. Wenn eine Elektrodenschicht auf einem Keramikelement gebildet wird, das eine Zusammensetzung enthält, die hauptsächlich beispielsweise aus SrTiO&sub3; besteht und in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt ist, und anschließend die Keramikschicht und die Elektrodenschicht gleichzeitig in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre gebrannt werden, wird die Oberfläche der Elektrodenschicht oxidiert, so daß ein Abschnitt mit hohem Widerstand erzeugt wird und eine Sperrschicht auf der Oberfläche und innerhalb der Elektrodenschicht gebildet wird, was eine Erhöhung der Impedanz des Elements und eine Erhöhung von tan 8 zusammen mit einer Verringerung der elektrischen Kapazität verursacht und als Folge werden die Wirkungen zur Absorbtion und Kontrolle von Rauschen beschädigt. Diese Sperrschicht wird durch Oxidation der Oberfläche und des Inneren der Elektrode erzeugt, und da die Höhe der Sperrschicht relativ gering ist, kann die Sperrschicht durch Anlegen einer relativ geringen Energie, wie elektrischer Energie, entfernt werden, ohne daß eine Veränderung der Varistorspannung oder Verschlechterung des nicht linearen Koeffizienten der Spannung von Teilen verursacht wird, die andere Eigenschaften als die Varistoreigenschaft haben.
Wie die vorliegende Erfindung zeigt, wird durch Anlegen einer Steilwellenimpulsspannung, die eine kurze Zeitdauer zum Erreichen des Maximalwertes benötigt und zum Rückkehren zum Ausgangswert benotigt, die Energie auf denabschnitt konzentriert, der in der an der Grenzfläche der Elektrodenschicht gebildeten Sperrschicht am schwächsten ist, und durchbricht einen Teil der Sperrschicht, wodurch der Widerstand der Sperrschicht verringert werden kann. Wenn die angelegte elektrische Energie zu groß ist, wird die an der Korngrenze der Keramikschicht gebildete Sperrschicht beschädigt und die den Teilen eigenen Funktionen, insbesondere die Kondensatorfunktion, wird verschlechtert. Entsprechend kann durch Anlegen einer Steilwellenimpulsspannung mit relativ geringer Energie nur die an der Grenzfläche der Elektrodenschicht gebildete Sperrschicht entfernt werden und die den Teilen eigene Impedanz kann beseitigt werden, ohne daß eine Verschlechterung der Kondensatoreigenschaften der Teile verursacht wird und ohne daß die Varistoreigenschaften beeinflußt werden. Auf diese Weise kann der Rauschdämpfungsfaktor unter Verringerung der Impedanz erhöht werden und das Hochfrequenzrauschen, das in die Signalleitungen eintritt, kann absorbiert und kontrolliert werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Figur 1 ist ein Flußdiagramm, das die Herstellungsschritte in Beispiel 1 der vorliegenden Erfindung zeigt.
Figur 2 ist eine Schnittansicht des in Beispiel 1 hergestellten Keramikteils.
Figur 3 ist eine Schnittansicht des in Beispiel 2 hergestellten Keramikteils.
Figur 4 ist eine Schnittansicht des in Beispiel 3 hergestellten Keramikteils.

BESTE AUSFUHRUNGSWEISE DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele erläutert.

Beispiel 1

99,2 mol% SrCO&sub3;, CaCO&sub3; und TiO&sub2;, so daß das Zusammensetzungsverhältnis (Sr0,98Ca0,02)0,995TiO&sub3; erreicht wird, als eine erste Komponente, 0,3 mol% Nb&sub2;O&sub5; als eine zweite Komponente, 0,2 mol% MnCO&sub3; und 0,1 mol% Cr&sub2;O&sub3; als eine dritte Komponente und 0,2 mol% SiO&sub2; als eine vierte Komponente wurden gewogen, gemischt und in einer Kugelmühle 20 Stunden lang gemahlen, bei 800 ºC 2 Stunden lang in trockener Luft kalziniert und 22 Stunden lang in einer Kugelmühle gemahlen, so daß ein Pulver von 2,0 um oder weniger durchschnittlicher Partikelgröße erhalten wurde. Zu dem auf diese Weise erhaltenen Pulver wurden 10 Gew.-% eines organischen Bindemittels, wie etwa Polyvinylalkohol, zugegeben und das Pulver wurde granuliert. Ein plattenartiges keramisches Element 1 mit 10 mm Durchmesser und 1 mm Dicke, wie in Figur 2 dargestellt, wurde daraus hergestellt.
Anschließend wurde dieses keramische Element 1 bei 1000 ºC 1 Stunde lang kalziniert. Dann wurde eine Elektrodenpaste, die Pd oder dergleichen enthielt, auf die Vorderseite und die Rückseite des keramischen Elements 1 durch Siebdruck oder Rückseite des keramischen Elements 1 durch Siebdruck oder dergleichen aufgetragen und bei 120 ºC getrocknet. Das beschichtete Keramikelement wurde beispielsweise bei 1410 ºC 5 Stunden lang in einer reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;:H&sub2;=9:1 gebrannt und anschließend bei 1080 ºC 2 Stunden lang an der Luft reoxidiert, um Elektroden 2 auf der Vorder- und der Rückseite des Keramikelements 1 zu bilden. Anschließend wurde ein Zuleitungsdraht 3 an den jeweiligen Elektroden 2 durch einen elektrisch leitfähigen Klebstoff 4, wie etwa ein Lot, angebracht, und diese wurden äußerlich mit Harz 5, wie etwa Epoxidharz, beschichtet. Ein Steilwellenimpuls, wie in Tabelle 1 angegeben, wurde zwischen den beiden Elektroden 2 des resultierenden Keramikteils durch den Zuleitungsdraht 3 angelegt. Veränderungen der Eigenschaften vor und nach dem Anle gen des Impulses sind ebenfalls in Tabelle 1 angegeben.
Die Schritte sind in Figur 1 dargestellt. Tabelle 1 Tabelle 1 (Fortsetzung)
(1) Die Kennzeichnung * bezeichnet das Anlegen keines Impulses.
(2) Die Kennzeichnung ** zeigt Vergleichsbeispiele.
(3) Die Steilheit des Wellenkammes bezeichnet die Zeit, die der Impuls benötigt, um von dem Ausgangswert den Maximalwert zu erreichen.
(4) Der Wellenrücken bezeichnet die Zeit, die der Impuls benotigt, um über den Maximalwert auf den Anfangswert zurückzukehren.
(5) Die Spitzenspannung bezeichnet den maximalen Wert des Impulses.
(6) Die Energie bezeichnet die Energie eines Impulses.
(7) ΔC zeigt die Veränderungsrate der elektrischen Kapazität vor und nach dem Anlegen des Impulses.
(8) ΔV0,1mA zeigt die Veränderungsrate der Varistorspannung vor und nach dem Anlegen des Impulses.
(9) Δα zeigt die Veränderungrate des nicht linearen Indexes vor und nach dem Anlegen des Impulses.
(10) ESR bezeichnet den Äquivalentreihenwiderstand in der Resonanz frequenz.

Beispiel 2

99.2 mol-% SrCO&sub3;, CaCo&sub3; und TiO&sub2;, so daß das Zusammensetzungsverhältnis (Sr085Ca0,15)0,985TiO&sub3; erzielt wurde, alseine erste Komponente, 0,3 mol% Nb&sub2;O&sub5; als eine zweite Komponente, 0,2 mol% MnCO&sub3; und 0,1 mol% Cr&sub2;O&sub3; als eine dritte Komponente und 0,2 mol% SiO&sub2; als eine vierte Komponente wurden gewogen, gemischt und in einer Kugelmühle 20 Stunden lang gemahlen, bei 800 ºC 4 Stunden lang in trockener Luft kalziniert und erneut 80 Stunden lang in einer Kugelmühle gemischt und gemahlen, um ein Pulver mit 1,0 um oder weniger durchschnittlicher Partikelgröße zu erhalten. Das auf diese Weise erhaltene Pulver wurde mit einem organischen Binder, wie etwa Butyralharz, und einem organischen Lösemittel gemischt, um eine Schlämme herzustellen. Die Schlämme wurde durch ein Plattenformverfahren, wie etwa ein Abstreifmesserverfahren, geformt, um eine grüne Platte 6 zu erzielen, die eine Dicke von etwa 50 um hatte, wie in Figur 3 gezeigt.
Eine gegebene Anzahl von grünen Platten 6 wurden übereinandergeschichtet, um eine unterste unzugängliche Schicht zu bilden. Eine innere Elektrode 7, die Pd oder dergleichen enthielt, wurde auf diese Schicht durch Siebdruck oder dergleichen aufgedruckt und getrocknet. Darauf wurde weiterhin eine gegebene Anzahl von grünen Platten 6 übereinandergeschichtet und anschließend wurde die innere Elektrode, die Pd oder dergleichen enthielt, erneut durch Siebdruck oder dergleichen aufgedruckt und getrocknet. In diesem Fall wurden die inneren Elektroden 7 so gedruckt, daß sie abwechselnd nacheinander in entgegengesetzte (unterschiedliche) Richtungen in den Laminaten verteilt sind. Auf diese Weise wurde eine gegebene Anzahl von grünen Platten 6 und eine gegebene Anzahl der inneren Elektroden 7 übereinandergeschichtet und schließlich wurde eine gegebene Anzahl der grünen Platten 6 übereinandergelegt, um eine oberste nicht zugängliche Schicht zu bilden. Diese wurden unter Erwärmung gepreßt und verbunden, um sie zu laminieren. Das Laminat wurde auf eine gegebene Form geschnitten, um ein in Figur 3 gezeigtes Laminat 8 zu bilden.
Anschließend wurde dieses Laminat 8 bei 800 ºC 40 Stunden lang an der Luft kalziniert und entfettet, anschließend bei 1310 ºC 5 Stunden lang in einer reduzierenden Atmosphäre aus beispielsweise N&sub2;:H&sub2;=9:1 gebrannt und daraufhin bei 980 ºC 2 Stunden lang an der Luft reoxidiert. Daraufhin wurde eine Elektrodenpaste, die Ag oder dergleichen enthielt, auf die Randflächen der inneren Elektroden 7 aufgetragen, die an den verschiedenen Rändern freilagen, und bei 700 ºC 10 Minuten lang an der Luft gebrannt, um äußere Elektroden 9 zu bilden. Ein Steilwellenimpuls, wie in Tabelle 2 angegeben, wurde zwischen den äußeren Elektroden 9 des auf diese Weise erzielten Keramikteils angelegt. Die Veränderungen der Eigenschaften vor und nach dem Anlegen des Impulses sind ebenfalls in Tabelle 2 angegeben. Tabelle 2
Die Kennzeichnung * zeigt das Anlegen keines Impulses.
Die Impulse wurden 10 mal angelegt.

Beispiel 3

Eine grüne Platte 6 wurde in derselben Weise wie in Beispiel 2 erhalten. Eine gegebene Anzahl der grünen Platten 6 wurde übereinandergelegt, um eine unzugängliche Schicht als eine unterste Schicht zu bilden. Eine innere Elektrode 10, die NiO oder dergleichen enthielt, wurde mittels Siebdruck oder dergleichen darauf gedruckt und getrocknet. Darauf wurde weiter eine gegebene Anzahl der grünen Platten 6 gelegt und eine innere Elektrode 10, die NiO oder dergleichen enthielt, wurde erneut durch Siebdruck oder dergleichen gedruckt und getrocknet. In diesem Fall wurden die inneren Elektroden 7 so gedruckt, daß sie abwechselnd nacheinander in entgegengesetzte (unterschiedliche) Richtungen in den Laminaten verteilt sind. Auf diese Weise wurde eine gegebene Anzahl der grünen Platten 6 und eine gegebene Anzahl der inneren Elektroden 10 übereinandergelegt und schließlich wurde eine oberste unzugängliche Schicht durch übereinanderlegen einer gegebenen Anzahl der grünen Platten 6 gebildet. Diese wurden unter Erwärmen gepreßt und verbunden, um sie zu laminieren. Anschließend wurde das Laminat in eine gegebene Form geschnitten, um ein in Figur 4 gezeigtes Laminat 11 zu bilden.
Anschließend wurde das Laminat 11 bei 900 ºC 20 Stunden lang an der Luft kalziniert und entfettet. Anschließend wurde eine Elektrodenpaste, die NiO oder dergleichen enthielt, auf die Randf lächen der inneren Elektroden 10 aufgetragen, die an den verschiedenen Rändern freilagen, und bei 1210 ºC 10 Stunden lang in einer reduzierenden Atmosphäre aus beispielsweise N&sub2;:H&sub2;=9:1 gebrannt , um gleichzeitig die Reduzierung des Laminats 11 und die Reduzierung der äußeren Elektrode 12, die NiO oder dergleichen enthielt, durchzuführen.
Anschließend wurde eine Elektrodenpaste, die Ag oder dergleichen enthielt, auf die Oberfläche der äußeren Elektrode 12 aufgetragen und bei 900 ºC 3 Stunden lang an der Luft reoxidiert, um eine äußere Elektrode 9 zu bilden. Anschließend wurde auf die äußere Elektrode 9 eine Ni-Plattierung beispielsweise durch einen elektrolytischen Prozeß und dann eine Lötzinnplattierung (nicht dargestellt) aufgetragen. Ein Steilwellenimpuls, wie in Tabelle 3 angegeben, wurde zwischen den äußeren Elektroden 9 des auf diese Weise erhaltenen Keramikteils angelegt. Veränderungen der Eigenschaften vor und nach dem Anlegen des Impulses sind ebenfalls in Tabelle 3 an gegeben. Tabelle 3
Die Kennzeichnung * zeigt das Anlegen keines Impulses.
Die Kennzeichnung ** zeigt ein Vergleichsbeispiel
Die Impulse wurden 10 mal angelegt.
Bei den vorstehenden Beispielen 1-3 sind die dargestellten Zusammensetzungen der Keramikpulver nur ein Teil der Kombinationen einiger Komponenten mit der Hauptkomponente, die die Basiszusammensetzung von SrTiO&sub3; hat, dargestellt durch ABO&sub3;, wobei ein Teil des Sr mit mindestens einem Element von Ba, Ca und Mg ersetzt ist. Es können jedoch beliebige Zusammensetzungen verwendet werden, sofern sie SrTiO&sub3; als eine Hauptkomponente enthalten und sowohl die Funktionen eines Kondensators als auch eines Varistors haben. Ferner ist in diesem Fall das Verhältnis A/B 0,95 ≤ (A/B) ≤ 1,05. Der Grund dafür liegt darin, daß dann, wenn das Verhältnis kleiner ist als 0,95, eine zweite, hauptsächlich aus Ti zusammengesetzte Phase gebildet wird und die Varistoreigenschaften verschlechtert werden, und wenn es mehr als 1,05 beträgt, die Dielektrizitätskonstante abnimmt und die Kondensatoreigenschaften verschlechtert werden. Darüber hinaus kann das Keramikpulver ZnO oder TiO&sub2; sein. Die Elektrode 2, die inneren Elektroden 7, 10 und die äußeren Elektroden 9, 12 können aus mindestens einem Element von Au, Pt, Rh, Pd, Ni, Cr, Zn und Cu oder Legierungen daraus gebildet werden. Die unzugängliche Schicht und die zugängliche Schicht in Figur 3 und 4 wurden durch Übereinanderlegen von dünnen grünen Platten 6 gebildet, können aber eine dicke grüne Platte enthalten. Wie aus Tabelle 1, Tabelle 2 und Tabelle 3 ersichtlich ist, veränderten sich die Kondensatoreigenschaften, wie etwa die elektrische Kapazität, tan δ und ESR durch das Anlegen des Impulses stark, während die Varistoreigenschaften im wesentlichen keine Veränderungen hinsichtlich sowohl des absoluten Wertes als auch der Standardabweichung zeigten. Ferner ist in vorliegender Erfindung die Welle des angelegten steilen Impulses so festgelegt, daß die zum Erreichen der Maximaispannung erforderliche Zeit 200 Nanosekunden oder weniger beträgt, da die höhere Anstiegssteilheit (Steilheit des Kammes) der Impulsspannung wirksam ist, die oxidierte Schicht auf der Oberfläche und im Inneren der Elektrode zu durchbrechen, und wenn die Steilheit 200 Nanosekunden übersteigt, nimmt der Effekt deutlich ab. Darüber hinaus ist die Zeit, die erforderlich ist, auf den Ausgangswert zurückzukehren. (Wellenrücken), so festgelegt, daß sie eine Mikrosekunde oder weniger beträgt, da der längere Wellenrücken einen nachteiligen Einfluß auf die Eigenschaften, insbesondere die Kondensatoreigenschaften hat, und wenn der Wellenrücken eine Mikrosekunde übersteigt, nimmt die elektrische Kapazität stark ab.
Der maximale Wert der anzulegenden Spannung ist auf 50 kV oder weniger festgelegt, da mit der Zunahme der angelegten Spannung die Verschlechterung der an der Korngrenze des Keramikelements gebildeten Sperrschicht deutlich wird, und wenn die angelegte Spannung 50 kV übersteigt, werden sowohl die Kondensatoreigenschaften als auch die Varistoreigenschaften verschlechtert. Darüber hinaus ist die Energie des angelegten Impulses auf 0,5 Joule oder weniger festgelegt, da bei Übersteigen von 0,5 Joule die Vorrichtung viel Wärme erzeugt, was die Verschlechterung sowohl der Kondensatoreigenschaften als auch der Varistoreigenschaften verursacht. Die bevorzugten Bedingungen zum Anlegen des Impulses sind wie folgt: die zum Erreichen der Maximalspannung erforderliche Zeit: 50 Nanosekunden oder weniger; die zum Zurückkehren auf die Ausgangsspannung erforderliche Zeit: 500 Nanosekunden oder weniger; die angelegte Spannung: 3-25 kV; und die Energie: 0,3 Joule oder weniger.

INDUSTRIELLE ANWENDBARKEIT

Wie vorstehend erläutert wird gemäß vorliegender Erfindung ein Steilwellenimpuls, der eine kurze Zeit zum Erreichen der Maximalspannung und zum Rückkehren auf die Ausgangsspannung benötigt, an ein Keramikteil angelegt, wodurch die Energie auf den Abschnitt der schwächsten Sperrschicht konzentriert werden kann, die durch die oxidierte Schicht erzeugt wird, die auf der Oberfläche und im Inneren der Elektrode gebildet wird, so daß dadurch ein Teil der Sperrschicht durchbrochen wird und der Widerstand der Sperrschicht verringert wird. Entsprechend kann nur die Sperrschicht, die an der Grenzfläche der Elektroden gebildet ist, lokal durchbrochen werden und die Impedanz des Keramikteils kann verringert werden, ohne daß eine Verschlechterung der Kondensatoreigenschaften des Keramikteils verursacht wird und ohne daß die Varistoreigenschaften beeinträchtigt werden.
Ferner kann mit abnehmender Impedanz die Dämpfungsrate des Rauschens gesteigert werden und in Signalleitungen eindringendes Hochfrequenzrauschen kann effektiv absorbiert und unterdrückt werden.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines Keramikteils, welches den ersten Schritt des Bildens eines Keramikelements mit einer vorgegebenen Form aus einem keramischen Halbleitermaterial, den zweiten Schritt des Bildens von mindestens zwei Elektroden auf der Oberfläche des Keramikelements, den dritten Schritt des Brennens des die Elektroden aufweisenden Keramikelements und den vierten Schritt des mindestens einmaligen Anlegens einer Impulsspannung mit einem Maximalwert von 50 kV zwischen den Elektroden, welche eine Zeit von 200 Nanosekunden oder weniger erfordert, um von einem Anfangswert den Maximalwert zu erreichen, und eine Zeit von einer Mikrosekunde oder wentger, um über den Maximalwert zum Anfangswert zurückzukehren, und welche eine Energie von 0,5 Joule oder weniger hat, umfaßt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das Keramikmaterial als eine Hauptkomponente ein Material von SrTiO&sub3;, Ca- TiO&sub3;, BaTiO&sub3;, ZnO, TiO&sub2; und MgTiO&sub3; enthält.

3. Verfahren nach Anspruch 2, bei welchem die Elektroden mindestens ein Material von Au, Pt, Rh, Pd, Ni, Cr, Zn und Cu enthalten.

4. Verfahren nach Anspruch 3, bei welchem das Keramikelement, nachdem es dem ersten Schritt unterzogen wurde, in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre kalziniert wird und in dem dritten Schritt das die Elektroden aufweisende Keramikelement in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird und anschließend in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre erneut gebrannt wird.

5. Verfahren zur Herstellung eines Keramikteils, welches den ersten Schritt des Bildens einer Platte aus einer Mischung eines keramischen Halbleitermaterials, eines organischen Binders und eines Lösemittels, den zweiten Schritt des Übereinanderlegens einer Vielzahl der Platten, um ein Laminat zu bilden, das eine Vielzahl von inneren Elektroden zwischen den übereinandergelegten Platten hat, den dritten Schritt des Bildens von mindestens zwei äußeren Elektroden auf der äußeren Oberfläche des Laminats, die mit den verschiedenen inneren Elektroden elektrisch verbunden sind, den vierten Schritt des Brennens des die äußeren Elektroden aufweisenden Laminats und den fünften Schritt des mindestens einmaligen Anlegens einer Impulsspannung mit einem Maximalwert von 50 kV zwischen den äußeren Elektroden des gebrannten keramischen Laminats, welche eine Zeit von 200 Nanosekunden oder weniger erfordert, um von einem Anfangswert den Maximalwert zu erreichen, und eine Zeit von einer Mikrosekunde oder weniger, um über den Maximalwert zum Anfangswert zurückzukehren, und welche eine Energie von 0,5 Joule oder weniger hat, umfaßt.

6. Verfahren nach Anspruch 5, bei welchem das Keramikmaterial als eine Hauptkomponente ein Material von SrTiO&sub3;, Ca- TiO&sub3;, BaTiO&sub3;, ZnO, TiO&sub2; und MgTiO&sub3; enthält.

7. Verfahren nach Anspruch 6, bei welchem die Elektroden mindestens ein Material von Au, Pt, Rh, Pd, Ni, Cr, Zn und Cu enthalten.

8. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem das Laminat, nachdem es dem ersten Schritt unterzogen wurde, in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre kalziniert wird und in dem vierten Schritt das die Elektroden aufweisende Keramikelement in einer reduzierenden Atmosphäre gebrannt wird und anschließend erneut in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre gebrannt wird.

9. Verfahren zur Herstellung eines Keramikteils, welches den ersten Schritt des Bildens einer Platte aus einer Mischung eines keramischen Halbleitermaterials, eines organischen Binders und eines Lösemittels, den zweiten Schritt des Übereinanderlegens einer Vielzahl der Platten, um ein Laminat zu bilden, das eine Vielzahl von inneren Elektroden zwischen den übereinandergelegten Platten hat, den dritten Schritt des Bildens von mindestens zwei äußeren Elektroden auf der äußeren Oberfläche des Laminats, die mit den verschiedenen inneren Elektroden elektrisch verbunden sind, als eine erste Schicht, den vierten Schritt des Brennens des Laminats, das die äußeren Elektroden als eine erste Schicht hat, in einer reduzierenden Atmosphäre, den fünften Schritt des Bildens einer äußeren Elektrode als eine zweite Schicht auf der äußeren Elektrode, die als die erste Schicht gebildet ist, und anschließend das Brennen des Laminats, das die erste und die zweite äußere Elektrode hat, in einer neutralen oder oxidierenden Atmosphäre, und den sechsten Schritt des mindestens einmaligen Anlegens einer Impulsspannung mit einem Maximalwert von 50 kV zwischen den zweiten äußeren Elektroden nach dem Brennen in einer neutralen oder oxidierenen Atmosphäre, welche eine Zeit von 200 Nanosekunden oder weniger erfordert, um von einem Anfangswert den Maximalwert zu erreichen, und eine Zeit von einer Mikrosekunde oder weniger, um über den Maximalwert zum Anfangswert zurückzukehren, und welche eine Energie von 0,5 Joule oder weniger hat, umfaßt.

10. Verfahren nach Anspruch 9, bei welchem das Keramikmaterial als eine Hauptkomponente ein Material von SrTiO&sub3;, Ca- TiO&sub3;, BaTiO&sub3;, ZnO, TiO&sub2; und MgTiO&sub3; enthält.

11. Verfahren nach Anspruch 10, bei welchem die Elektroden mindestens ein Material von Au, Pt, Rh, Pd, Ni, Cr, Zn und Cu 4 enthalten.