DE69307205T2 - Vorrichtung zum Entziehen, Aufeinandersetzen und Verankern von Folien für Grünband-Schaltungen - Google Patents

Vorrichtung zum Entziehen, Aufeinandersetzen und Verankern von Folien für Grünband-Schaltungen

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DE69307205T2
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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Entnahme, zum Stapeln und zum Verankern von Folien für Green-Tape-Schaltungen nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Vorrichtung, mit der es möglich ist, nacheinander und in einer vorbestimmten Reihenfolge plattenförmige Träger zu entnehmen, von denen jeder eine dünne Folie aufnimmt, wie sie in Green-Tape-Schaltungen verwendet wird. Die Träger sind dabei in geeigneten Behältern angeordnet, die im wesentlichen seitlich nebeneinander angeordnet sind und von denen jeder dadurch gekennzeichnet ist, daß er einen speziellen Typ der grünen Folie aufnimmt.
  • Wenn in der folgenden Beschreibung von grünen Folien die Rede ist, werden darunter Folien verstanden, die aus einer bei niedrigen Temperaturen vorgebrannten und Glasfasern enthaltenden Keramik bestehen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich Viskosität und Temperatur aufweist. Die Folien können auch aus feuerfesten Werkstoffen bestehen, die zum Füllen verwendet werden, um dem Wärmeausdehnungskoeffizienten von Aluminiumoxid gerecht zu werden.
  • Die Erfindung wird bei Folien angewandt, die im Lieferzustand auf einem dünnen Film aus MYLAR-Polyester gehalten sind, der als Trennorgan zwischen Folie und Träger dient; derartige Folien werden von der Firma Du Pont unter der Bezeichnung Green-Tape vertrieben. Die Erfindung kann auch bei jedem anderen, ähnlichen Folientyp eingesetzt werden, der ähnliche Eigenschaften hat und von anderen Herstellern unter anderem Namen auf dem Markt ist.
  • Die Einrichtung gemäß der Erfindung übergibt die Träger mit den jeweiligen grünen Folien in wenigstens eine Zentrierstation, wo die grünen Folien exakt positioniert werden können, damit die folgenden Folien so aufeinander gestapelt werden können, daß eine Mehrschichtenpackung gebildet wird. Die auf diese Weise in vorbestimmter Reihenfolge gestapelten grünen Folien, die die Mehrschichtenpackung bilden, werden dann zur Herstellung einer zusammenhängenden Einheit verbunden, beispielsweise durch Kleben oder in vorteilhafter Weise, aber nicht ausschließlich, mit Hilfe eines Verankerungssystems gemäß EP-A 535 341 der Patentinhaberin oder durch ein Mikrowellen-Schweißsystem, ein Ultraschall-Schweißsystem oder andere Verbindungssysteme, die für diesen Zweck geeignet sind.
  • Die Einrichtung gemäß der Erfindung kann auch eingesetzt werden, um andere, ähnliche Produkte in Form flexibler Folien zu bearbeiten, die einen starren Träger für ihre Manipulierung benötigen.
  • Hybridschaltungen nach der sogenannten Green-Tape-Technik bestehen aus dünnen Folien aus Auluminiumoxid im Rohzustand oder aus anderen, analogen oder ähnlichen Werkstoffen. Die Folien haben auf einer oder auf beiden Seiten gedruckte Schaltungen, wobei die einzelnen Schaltungen über enge Löcher miteinander verbunden sind. Diese grünen Folien oder die analogen Folien werden in einer Zahl übereinandergelegt, die selbst mehrere zehn Folien betragen kann, worauf sie komprimiert und miteinander verbunden werden, um ein Mehrschichtenprodukt geringer Stärke zu erzeugen.
  • Bei diesem Schritt tritt das Problem auf, daß die einzelnen, entsprechend gelagerten grünen Folien in einer geordneten Reihenfolge aus den entsprechenden Behältern entnommen und vor dem Verbinden übereinandergelegt werden müssen. Die Handhabung dieser grünen Folien hat eine Reihe von Nachteilen, da die Dicke der Folien in der Größenordnung von 0,1 bis 0,5 mm liegt; aufgrund der fehlenden Steifigkeit benötigen sie daher einen Träger für ihre Handhabung. Hinzu kommt, daß zur Herstellung eines einwandfreien Endproduktes die Übereinanderschichtung der grünen Folien zur Bildung eines Mehrlagenpaketes Toleranzen von fünf Mikron eingehalten werden müssen, wodurch die Ausrichtung und Zentrierung problematisch werden.
  • Zum Verbinden der grünen Folien untereinander kann so vorgegangen werden, daß die Ränder jeder Folie zur Bildung der Green-Tape-Schaltung mit Klebstoff versehen werden; wie bereits erwähnt, kann stattdessen auch ein Schweißverfahren eingesetzt werden, beispielsweise nach der EP-A 535 341 der Patentinhaberin, oder jedes andere Verbindungsverfahren. Auf diese Weise wird jede Relativverschiebung zwischen den grünen Folien verhindert, die die Mehrschichtenpackung der Schaltung bilden, die dann einer Druckbehandlung unterzogen werden.
  • Die Aufgaben, die mit der Erfindung gelöst werden sollen, können kurz wie folgt zusammengefaßt werden: organisierte Magazinierung der verschiedenen Green-Tape-Schaltungen, Entnahme dieser Schaltungen in programmierter Reihenfolge aus dem Speicher, Ausrichten und gegenseitige Zentrierung der einzelnen Schaltungen und Verbinden der einzelnen Schaltungen untereinander.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wurde zur Lösung dieser Aufgaben ein System entwickelt, getestet und realisiert, das weitere Vorteile aufweist.
  • Die der Erfindung zugrundeliegende Lösung ergibt sich aus dem kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1, während die Unteransprüche weiterbildungen und Varianten der Lösungsidee betreffen.
  • Gemäß der Erfindung ist ein System zur Entnahme, zum Stapeln und zum gegenseitigen Verankern von grünen Folien vorgesehen, das vollständig automatisiert ist und mit dessen Hilfe eine Vielzahl von Behältern geordnet und positioniert werden kann.
  • Die Behälter dienen zur Aufnahme, zur Positionierung und zum Transport der Träger, die die Form dünner Platten haben oder aus dünnen Platten bestehen. Die Platten haben definierte Umfangsmaße und einen quadratischen oder rechteckigen Grundriß oder allgemeiner eine definierte Polygonform. Die Träger, die auch unregelmäßige Seiten aufweisen können, haben immer wenigstens zwei Seiten, welche hinsichtlich ihrer Ausbildung als parallele Seiten angesehen werden können.
  • Der Behälter besteht aus einer Palette, die als untere Basis dient, auf der die Seitewände zum Aufnehmen und Positionieren angebracht werden, und aus einem oberen Deckel, der diese Seitenwände miteinander verbindet. Jeder Behälter hat zwei um 180º gegenüberliegende, symmetrische Seiten, durch welche die Träger beladen und entladen werden können. Die Seitenwände der Gehäuse sind parallel zueinander angeordnet und haben auf ihren einander gegenüberliegenden Seiten eine Vielzahl von Nuten, in welche die Träger eingeschoben werden können. Diese Nuten sind so angeordnet, daß die darin eingreifenden Träger in Ebenen liegen, die im wesentlichen parallel zur Ebene der Palette liegen. Die Seitenwände wirken mit Führungen in der Palette zusammen und werden in gewünschten Stellungen blockiert, um auf diese Weise die innere Breite zwischen den Seitenwänden einzustellen. Der Deckel ist an den Seitenwänden befestigt.
  • An der Palette können Speicherkodierungen und/oder Erkennungsplättchen angebracht sein, die mit Kodierungslesern und Kodierungsschreibern für die genaue Information über das System zusammenwirken.
  • Um das Einführen der Träger in die Ebenen zu erleichtern, die durch die einzelnen Nuten an den einander gegenüberliegenden Seitenwänden des Behälters definiert sind, haben die Nuten an ihrem Eingang Einführhilfen. Um zu vermeiden, daß die Träger von selbst aus in Nuten herausrutschen können, können diese an einem Ende unterbrochen oder an beiden Enden frei sein. An dem oder den freien Enden sind mechanische Schließorgane vorgesehen. Diese Schließorgane können mechanisch oder manuell betätigt werden, um die Nuten zu öffnen und die Träger durch eine einfache, lineare Druck- oder Zugkraft einzuschieben bzw. herauszuziehen. Die mechanischen Schließorgane können entweder an nur einer Kante oder an beiden Kanten einer Seitenwand vorgesehen sein. Sie werden in elastischer Weise so betätigt, daß sie im Ruhezustand die Nuten geschlossen halten; sie können dabei entweder gegen die Außenseite der Nuten oder innerhalb der Nuten wirken. Die mechanischen Schließorgane dienen dazu, die in den Nuten liegenden Träger zeitweise festzuhalten.
  • Die unten angeordnete Palette kann von beliebiger Bauart sein, ist jedoch personifizierbar in Abhängigkeit vom Typ der jeweiligen Übergabelinie, mit der sie zusammenarbeiten muß.
  • Vorzugsweise, jedoch nicht notwendigerweise kann die Palette einen mittig angeordneten, vertikal ausgerichteten Raum aufweisen.
  • Bei einer variante der Erfindung hat der oben angebrachte Deckel Mittel zur zeitweise Befestigung eines Griffes, mit dessen Hilfe die Behälter bewegt und von Hand transportiert werden können, wenn sich das als erforderlich erweist.
  • Bei einer anderen Variante der Erfindung ist der Deckel mit Zentriermitteln versehen, die zur exakten Positionierung von Kupplungselementen dienen, wenn die Behälter durch eine automatische Einrichtung entnommen und transportiert werden sollen.
  • Gemäß der Erfindung hat die Palette Führungen, die mit Aussparungen im unteren Teil der Seitenwände zusammenwirken. Diese Führungen sichern über Klemmelemente die Paletten fest an den Seitenwänden und fixieren diese Seitenwände in ihrer Position. Diese Führungen erlauben es, die Seitenwände in einem weiten Bereich zueinander auf der Palette stufenlos einzustellen, so daß die Breite des Behälters an die Abmessungen der aufzunehmenden und genau zu positionierenden Träger angepaßt werden kann. Jeder Behälter dient zur Aufnahme einer Mehrzahl steifer Träger, von denen jeder eine grüne Folie hält. Jeder Behälter nimmt einen spezifischen Typ von grünen Folien auf.
  • Die steifen Träger haben Löcher zum Feststellen der Präsenz der grünen Folie sowie eine Vielzahl von kleinen Bohrungen, die auf einem Teil der Oberfläche angeordnet sind. Diese kleinen Bohrungen haben die Aufgabe, die grüne Folie auf dem Träger zu halten, wenn unterhalb des Trägers ein Unterdruck herrscht, bzw. die grüne Folie von dem Träger abzuheben, wenn von der Unterseite durch den Träger Druckluft hindurchgeblasen wird.
  • Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, daß die Einrichtung Mittel aufweist, über welche eine gewünschte Anzahl von Trägern mit der darauf liegenden grünen Folie in definierter Reihenfolge entnommen werden kann. Dabei wird jeder Träger von einem spezifischen Behälter entnommen. Diese Entnahmemittel entnehmen gemäß der Erfindung von dem jeweiligen Träger die grüne Folie und übergeben diese in derselben Reihenfolge wie bei der Entnahme an eine erste Station zum Zentrieren und an eine zweite Station für die Stapelung und Verankerung, in der die grünen Folien untereinander zumindest Folie auf Folie verbunden werden.
  • Gemäß einer Variante arbeitet der Träger mit der entsprechenden grünen Folie mit einer Vorzentrierstation zusammen.
  • Die Einrichtung gemäß der Erfindung verwendet Behälter, in denen eine Vielzahl steifer, plattenförmiger Träger übereinander mit geeignetem Abstand voneinander getrennt angeordnet sind; auf jedem Träger ist eine grüne Folie abgelegt.
  • Gemäß der Erfindung werden die Behälter in einer definierten Reihenfolge der Einrichtung nach der Erfindung zugeführt und in einer vorbestimmten Stellung blockiert, so daß wenigstens eine Reihe gebildet wird, in der die Entnahmeseiten aller Behälter auf derselben Seite dieser Reihe liegen.
  • Bei einer Variante der Erfindung weden die Behälter so angeordnet, daß sie zwei parallele und ggf. symmetrische Reihen bilden.
  • Gemäß einer weiteren Variante werden die Behälter so angeordnet, daß sie zwei parallele und zueinander versetzte Reihen bilden.
  • Die Einrichtung gemäß der Erfindung hat einen Wagen, der vorwärts und rückwärts beweglich ist und mit den Entnahmeseiten der Behälter zusammenwirkt.
  • Im Fall von zwei parallelen Reihen von Behältern kann sich der Wagen auf der mittleren Bahn bewegen, die durch die beiden Reihen der Behälter gebildet wird, welche sich auf den Seiten der Bahn befinden, wobei die Entnahmeseite der Behälter zu dieser mittleren Bahn weist.
  • Der Wagen kann sich schrittweise bewegen und in programmierter Weise gegenüber jedem gewählten Behälter positioniert werden.
  • An dem Wagen sind Öffnungsmittel angebracht, die mit mechanischen Schließorganen zusammenwirken, welche die zu dem verschiebbaren Wagen weisende Entnahmeseite wenigstens teilweise elastisch verschließen. Wenn die mechanischen Schließorgane entaktiviert sind, können die Träger aus dem entsprechenden Behälter herausgezogen werden.
  • Im Fall von zwei parallelen Reihen von Behältern befindet sich der Wagen bei jedem Halt in vorteilhafter Weise in einer zu zwei Behältern ausgerichteten Lage, die in seiner Vorschubstellung rechts bzw. links von diesem angeordnet sind.
  • Auf dem Wagen ist wenigstens ein Entnahmeorgan gelagert, das vertikal positioniert werden kann und in einer im wesentlichen horizontalen Ebene rechtwinklig zur Vorschubrichtung des Wagens beweglich ist. Im Fall von zwei parallelen Reihen von Behältern kann sich das Entnahmeorgan in beiden Richtungen bewegen, so daß es alternierend mit den rechts und links angeordneten Behältern zusammenwirkt.
  • Bei einer Variante der Erfindung hat der Wagen zwei Entnahmeorgane, die in vorteilhafter Weise vorn und hinten gelagert sind und mit einer oder beiden Behältereihen zusammenwirken.
  • Wenn das Entnahmeorgan in das Innere eines Behälters eingeführt wird, wirkt es mit dem zu entnehmenden Träger zusammen, wozu es dann wieder zurückgezogen wird, um diesen Träger aus dem Behälter herauszunehmen und ihn in eine im wesentlichen mittige Position auf dem Wagen zu bringen.
  • Der Wagen ist mit Mitteln zur Kontrolle der Stellung des nächsten aus dem Behälter herauszunehmenden Trägers ausgerüstet, so daß das Entnahmeorgan automatisch vertikal so eingestellt wird, daß es zu dem zu entnehmenden Träger ausgerichtet ist.
  • Im Fall von in zwei parallelen Reihen angeordneten Behältern hat das Entnahmeorgan an seinen beiden Längsenden je eine Entnahmeebene, wobei die beiden Entnahmeebenen in vertikaler Richtung einen Abstand voneinander aufweisen, der einer Stufenhöhe des Behälters entspricht. Damit ist es möglich, nach der Entnahme eines Trägers aus einem Behälter aus dem gegenüberliegenden Behälter einen weiteren Träger zu entnehmen, ohne hierzu das Entnahmeorgan wieder absenken zu müssen.
  • An dem Wagen ist ferner eine Entnahme- und Abgabevorrichtung angebracht, die jeweils den Träger mit der darauf liegenden grünen Folie von dem Entnahmeorgan übernimmt und diesen auf einem Förderer ablegt, der sich darunter befindet und schrittweise vorwärtsbewegt wird.
  • Im Fall von zwei parallelen Behälterreihen befinden sich die Behälter vorzugsweise in alternierender Reihenfolge in der einen und in der anderen Reihe, so daß der Entnahme- und Übergabezyklus für die Träger kontinuierlich abläuft. Wenn nämlich das Entnahmeorgan mit einem der beiden gegenüberliegenden Behälter zusammenwirkt, arbeitet die Entnahme-und Abgabevorrichtung mit dem Furderer zusammen, der die abgelegten Träger vorschiebt, so daß diese kontinuierlich in die folgenden Bearbeitungsstationen gelangen.
  • Mit der Einrichtung gemäß der Erfindung ist es daher möglich, einen hohen Ausstoß der Montagelinie für die mehrschichtigen Green-Tape-Schaltungen zu erzielen, da Totzeiten praktisch ausgeschaltet oder zumindest auf ein Minimum beschränkt sind.
  • Gemäß einer Variante der Erfindung sind in der Montageanlage wenigstens zwei erste Übergabelinien vorgesehen, die vorzugsweise aber nicht notwendigerweise im wesentlichen parallel zueinander verlaufen und von denen jede mit wenigstens einer Behälterreihe zusammenwirkt. In diesem Fall geben die ersten Übergabelinien in gewünschter Reihenfolge die Träger an eine zweite Übergabelinie ab, die in einer im wesentlichen rechtwinklig zu den ersten beiden Übergabelinien laufenden Richtung verläuft und die mit deren Endabschnitten zusammenwirkt. Die zweite Übergabelinie gibt die Träger, von denen jeder eine grüne Folie trägt, an die nächste Bearbeitungsstation oder an verschiedene, nachfolgende Bearbeitungsstationen ab.
  • Bei einer weiteren Variante der Erfindung sind mehr als eine der zweiten Übergangslinien vorhanden.
  • Die Träger werden in vorteilhafter Weise durch Unterdruck auf dem Förderer gehalten, wobei der Unterdruck gegen die Unterseite der Träger wirkt.
  • Der Förderer bringt die Träger einzeln nacheinander in eine Vorzentrierstation, in der die Träger seitlich zueinander ausgerichtet werden.
  • Um Längsspannungen und/oder Querspannungen in dem Mehrschichtpaket grüner Folien zu vermeiden, ist gemäß einer Variante vorgesehen, daß ein Träger von jeder vorgegebenen Zahl von Trägern hinter der Vorzentrierstation mit einer Drehstation zusammenarbeitet, in der der Träger auf seiner Stützebene um 90º gedreht wird.
  • Gemäß einer weiteren Variante der Erfindung befindet sich die Drehstation in Arbeitsrichtung vor der Vorzentrierstation. Hierbei wird die grüne Folie in eine Abgabestation geleitet, in der sie von ihrem Träger abgenommen wird. Um die Abnahme von dem Träger zu erleichtern, hat wenigstens ein Teil des Trägers in vorteilhafter Weise eine Anzahl von kleinen, durchgehenden Bohrungen, durch die ein Luftstrom geleitet wird, der die grüne Folie anhebt. Sobald die grüne Folie von ihrem Träger abgehoben worden ist, wird sie in eine Zentrierstation überführt, in der sie aufgrund geeigneter Markierungen, Löcher oder anderer Erkennungsmarken an der Folie sowohl längs als auch quer und bezüglich einer im wesentlichen horizontalen Ebene in einem Winkel ausgerichtet wird. Diese Zentrierstation kann von bekannter Bauart sein und eine oder mehrere Telekameras sowie einen Tisch aufweisen, der in der Ebene um drei Achsen beweglich ist.
  • Wenn die grüne Folie abgenommen worden ist, werden die leeren Träger in einen Speicher überführt, so daß die Träger für die folgende Wiederverwendung bereitstehen.
  • Bei einer Variante der Erfindung werden die von den Trägern abgenommenen grünen Folien in eine Zwischenstation gebracht.
  • Die einzelnen grünen Folien werden dann zu einer Stapel- und Verbindungsstation geleitet, in der sie entsprechend ihrer Eingangsreihenfolge einzeln übereinander positioniert werden, so daß eine Mehrschichtpackung gebildet wird.
  • In der Stapelstation erfolgt auch die gegenseitige Verankerung der Folien, beispielsweise durch Kleben oder ein Verankerungsverfahren, wie es in der italienischen Patentanmeldung Nr. UD 91 A 000 156 (EP 535 341) der Patentinhaberin erläutert ist; zur Verankerung können auch andere Systeme eingesetzt werden, beispielsweise Mikrowellenschweißen oder Ultraschallschweißen.
  • Wenn die Mehrschichtpackung hergestellt worden ist, wird diese an eine Abnahme- und Übergabeeinrichtung transportiert, welche die Packungen auf einer Tragplatte ablegt, die mit einer Abgabelinie zusammenarbeitet. Die Abnahme- und Übergabeeinrichtung kann in vorteilhafter Weise entsprechend der EP-A 535 399 ausgebildet sein.
  • Jede Trägerplatte mit der darauf liegenden, mehrschichtigen Green-Tape-Schaltung wird nun in Kunststoffbeuteln verpackt, die bei Unterdruck versiegelt und anschließend einer Laminierung unterzogen werden. Gemäß einer Variante werden die Mehrschichtenpackungen der grünen Folien von ihrer jeweiligen Trägerplatte abgenommen und anschließend komprimiert.
  • Mit Hilfe der Einrichtung gemäß der Erfindung ist es möglich, automatisch Mehrschichtenschaltungen herzustellen, die aus einer unbegrenzten Zahl von grünen Folien zusammengesetzt sind, wobei eine manuelle Handhabung der grünen Folien vermieden und die Gefahr ausgeschlossen ist, daß sich Fehler bei der Überlagerung und/oder Zentrierung der Folien einstellen. Darüber hinaus hat die Einrichtung gemäß der Erfindung eine sehr hohe Produktionsrate und einen geringen Platzbedarf, der im wesentlichen von der Anzahl der grünen Folien für eine Mehrschichtpackung und damit von der Zahl der Behälter abhängt, die nebeneinander angeordnet und für diese bestimmte Anzahl von Folien erforderlich sind.
  • Die Erfindung ist nachstehend an einigen bevorzugten Ausführungsbeispielen erläutert, die in der Zeichnung dargestellt sind. Es zeigen:
  • Figur 1 eine Draufsicht einer ersten Ausführungsform der Einrichtung gemäß der Erfindung,
  • Figur 2 eine Seitenansicht der Einrichtung der Figur 1,
  • Figur 3 eine Stirnansicht der Einrichtung der Figur 1,
  • Figur 4 eine axonometrische Darstellung des Wagens der Einrichtung, der mit zwei gegenüberliegenden Behältern zusammenwirkt,
  • Figur 5 in schematischen Draufsichten vier mögliche Varianten der Einrichtung gemäß Figur 1,
  • Figur 6 einen schematischen Längsschnitt in der Ebene A-A der Einrichtung gemäß Figur 1,
  • Figur 7 eine Draufsicht eines Trägers, wie er in der Einrichtung gemäß der Erfindung verwendet wird,
  • Figur 8 eine axonometrische Darstellung eines Behälters gemäß der Erfindung und
  • Figur 9 einen horizontal Schnitt des Behälters in der Ebene B-B der Figur 8.
  • In der Zeichnung ist mit 10 eine Einrichtung bezeichnet, die dazu dient, Folien 11 für Green-Tape-Schaltungen gemäß der Erfindung zu entnehmen, übereinanderzulegen und gegenseitig miteinander zu verbinden.
  • Im Fall der Figur 1 hat die Einrichtung 10 gemäß der Erfindung einen Wagen 12, der auf einer mittigen Bahn 13 verschiebbar ist, die von zwei Reihen 14 von Behältern 15 begrenzt wird, nämlich einer rechten Reihen 14a und einer linken Reihe 14b. Jeder Behälter 15 nimmt eine Mehrzahl von plattenförmigen Trägern 16 auf, von denen jeder eine grüne Folie 11 trägt. Die Träger 16 sind übereinander angeordnet und auf Abstand voneinander gehalten, wobei ihre Seitenkanten jeweils in zwei Nuten 17 eingreifen, die in die Innenseite 18a der Seitenwände 18 der Behälter 15 eingearbeitet sind. Die Träger 16 können aus Platten aus Aluminiumoxid, Eisen, rostfreiem Stahl, Kunststoff oder jedem anderen, hierzu geeigneten Werkstoff bestehen.
  • Jeder Behälter 15 hat einen Boden, der von einer Palette 57 gebildet wird, sowie an der Oberseite einen Deckel 58. Palette 57 und Deckel 58 sind untereinander durch die beiden Seitenwände 18 verbunden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Deckel 58 über Schrauben 72 an den Seitenwänden befestigt.
  • Die Palette 57 trägt im gezeigten Ausführungsbeispiel Identifikationsplättchen 59 und hat Aussparungen 74 für die Aufnahme von Anzeige- und Identifikationsmitteln.
  • Die Palette 17 hat ferner in der Mitte einen Raum 75.
  • Die Außenseite der Grundplatte 60 der Palette 57 ist personifiziert ausgestaltet, so daß sie mit entsprechenden Fördersystemen zusammenwirkt, die im vorliegenden Fall aus Förderbändern 23 bestehen.
  • Im gezeigten Ausführungsbeispiel hat die Palette 57 eine im wesentlichen quadratische Form, sie kann aber auch eine rechteckige Form haben, bei der die Längsseiten jedes gewünschte Verhältnis zu den kurzen Seiten haben können.
  • Der Deckel 58 weist zwei Löcher 61 auf, die zur Aufnahme eines nicht gezeigten Handgriffes dienen, der durch einfache Drehung verriegelt werden kann, wenn seine beiden Enden in die Löcher 61 eingesteckt worden sind; auf diese Weise kann der Behälter 15 von Hand getragen werden.
  • Auf dem Deckel 58 sind ferner Zentriermittel 70 vorgesehen, die beispielsweise aus einer Zentrierbohrung 71 bestehen und zur exakten Posi?£ionierung eventueller Hubeinrichtungen für den Behälter 15 dienen, wenn dieser durch nicht gezeigte, automatische Vorrichtungen abgehoben und transportiert werden muß. In den unteren Endabschnitt der Seitenwände 18 des Behälters 15 sind Führungsaussparungen 65 eingearbeitet, die mit Führungsschienen 64 zusammenarbeiten, welche auf der Oberseite der Palette 57 angeordnet sind. In die Führungsschienen 64 sind Führungsschlitze 62 eingearbeitet, in die Verriegelungsschrauben 63 für die Seitenwände 18 eingreifen, so daß diese auf der Palette 57 exakt positioniert und fixiert werden können. Mit diesem System ist es mögich, die Seitenwände 18 in einer Vielzahl von Stellungen stufenlos zueinander und zu der Palette 57 einzustellen.
  • Die Seitenwände 18 haben an ihrer Innenseite 18a Nuten 17, die mit den Nuten 17 der gegenüberliegenden Seitenwand 18 zusammenwirken und damit die Aufnahme, Positionierung und Ausrichtung der Träger 16 ermöglichen. Die Nuten 17 können an ihren beiden Enden, wie dargestellt, offen sein, sie können aber auch ein geschlossenes Ende haben. An den offenen Enden der Nuten 17 sind Einführhilfen 66 vorgesehen, die das Einschieben der Träger 16 in den Behälter 15 erleichtern. Im dargestellten Ausführungsbeispiel bestehen diese Einführhilfen 66 aus jeweils einer Rampe, die in der Höhe jeder Nut 17 in die Seitenwand 18 eingearbeitet ist.
  • Die offenen Enden werden an wenigstens einer Seite des Behälters 15 durch mechanische Schließorgane 19 abgeschlossen, die zeitweise entaktivierbar sind. Im Ausführungsbeispiel hat das Schließorgan 19 eine Führungsstange 67, um welche sich das Schließorgan 19 drehen kann, sowie ein elastisches Rückdrehelement 73, das aus einer Feder besteht. Das Schließorgan 19 hat außerdem einen Schließschenkel 68, der das freie Ende der Nut 17 abdeckt.
  • Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist nur ein mechanisches Schließorgan 19 vorgesehen, das gleichzeitig alle Nuten 17 an einer Kante der Seitenwand 18 abdeckt; es können aber auch zwei oder mehr Schließorgane 17 vorgesehen sein, die sowohl unabhängig oder unabhängig und gleichzeitg betätigt werden können. Die Betätigung kann manuell oder automatisch erfolgen.
  • Im gezeigten Ausführungsbeispiel dient zur automatischen Betätigung der mechanischen Schließorgane 19 ein Betätigunsstift 69, der unten absteht und dessen Funktion nachstehend noch erläutert wird. Anstelle des Betätigungsstiftes 69 können auch Vorsprünge, Hebel oder andere, hierzu geeignete Systeme verwendet werden.
  • Wie Figur 7 zeigt, haben die starren Träger 16 Löcher 54, über die das Vorhandensein einer grünen Folie 11 erkannt werden kann; ferner haben sie einen Reihe kleiner Bohrungen 55, die auf einem Teil der Fläche des Trägers 16 angebracht sind. Der Zweck dieser kleinen Bohrungen 55 wird nachstehend noch erläutert.
  • Die Behälter 15 sind durch den Typ der grünen Folie 11 charakterisiert, der in ihnen aufgenommen ist.
  • Die Behälter 15 sind wenigstens auf der Seite geöffnet, die zu dem Wagen 12 weist, so daß die Träger 16 aus dem Behälter 15 herausgezogen werden können.
  • Die mechanischen Schließorgane 19 werden im gezeigten Ausführungsbeispiel durch einen Öffnungsvorsprung 20 betätigt, der an dem Wagen 12 angebracht ist und beispielsweise von einer Kolben- Zylinder-Einheit betätigt wird.
  • Wie die Figuren zeigen, werden die Behälter 15 in vorbestimmter und genau festgelegter Reihenfolge in die Anlage 10 gemäß der Erfindung auf zwei Beschickungsförderern 22 geleitet, nämlich auf einem rechten Förderer 22a und einem linken Förderer 22b. An ihren Enden leiten die Beschickungsförderer 22a, 22b über zu entsprechenden Förderbändern 23, nämlich zu einem rechten Förderband 23a und einem linken Förderband 23b, welche über die gesammte Längserstreckung der Anlage 10 parallel zueinander verlaufen. An den Beschickungsförderern 23 sind versenkbare Positionier- und Blockiermittel 21 für die Behälter 15 vorgesehen, die auf diese Weise an vorbestimmten Stellen positioniert werden können, um die Reihen 14 zu bilden, nämlich die rechte Reihe 14a und die linke Reihe 14b.
  • An dem Wagen 12 ist ein doppeltwirkendes Entnahmeorgan 24 in Form eines Schlittens angebracht, der in einer horizontalen Ebene rechtwinklig zur Vorschubebene des Wagens - 12 beweglich ist. Dieses Entnahmeorgan 24 in Form eines Schlittes wird in Eingriff mit den Trägern 16 in den Behältern 15 gebracht, die gerade neben dem Wagen 12 stehen.
  • Da im gezeigten Ausführungsbeispiel zwei Reihen 14 von einander gegenüberliegenden Behälter 15 vorgesehen sind, verschiebt sich das schlittenförmige Entnahmeorgan 24 in horizontaler Richtung alternierend nach rechts und nach links, um die Träger 16 aus den beiden Behältern 15 der rechten Reihe 14a und der linken Reihe 14b zu entnehmen. Das Entnahmeorgan 24 hat an seinen beiden Längsenden eine erste Entnahmeebene 24a bzw. eine zweite Entnahmeebene 24b, die einen vertikalen Abstand voneinander aufweisen, welcher einer Vertikallage in dem Behälter 15 entspricht. Mit dieser Ausbildung ist es möglich, aus einem Behälter 15 einen Träger 16 über die erste Entnahmeebene 24a und anschließend einen weiteren Träger 16 aus dem gegenüberliegenden Behälter 15 durch die zweite Entnahmeebene 24b herauszuziehen, ohne das schlittenförmige Entnahmeorgan 24 vertikal zu verstellen.
  • Das schlittenförmige Entnahmeorgan 24 wirkt mit einem ersten Vertikal-Positionierorgan 25 zusammen, das beispielsweise aus einer Kolben-Zylinder-Einheit besteht und das Entnahmeorgan 24 in vertikaler Richtung auf die Höhe des untersten Trägers 16 verschiebt, der sich am unteren Ende des Stapels von Trägern 16 in diesem Behälter 15 befindet.
  • Bei der Variante der Figur 5a hat die Einrichtung 10 gemäß der Erfindung Behälter 15, die nebeneinanderliegen und nur eine einzige Reihe 14 bilden, so daß nur ein einseitiges Entnahmeorgan 24 in Form eines Schlittens vorgesehen ist.
  • Bei weiteren Varianten, die in den Figuren 5b und 5c gezeigt sind, hat der Wagen 12 jeweils zwei Entnahmeorgane 24 in Form von Schlitten, die vor und hinter dem Wagen 12 angebracht sind. In Fall der Figur 5b sind die Entnahmeorgane 24 einseitig, da sie jeweils mit den Behältern einer Reihe 14 zusammenwirken. In Fall der Figur 5c sind die Entnahmeorgane 24 zweiseitig, da sie jeweils alternierend mit den Behältern 15 sowohl der rechten Reihe 14a als auch der linken Reihe 14b zusammenwirken.
  • Bei einer weiteren Variante, die in Figur 5d gezeigt ist, hat die Montageanlage wenigstens zwei erste Übergabelinien 27a, 27b, die vorzugsweise, aber nicht notwendigerweise im wesentlichen parallel zueinander verlaufen und von denen jede mit wenigstens einer Reihe 14 von Behältern 15 zusammenwirkt. Jede erste Übergabelinie 27a, 27b arbeitet im gezeigten Ausführungsbeispiel mit zwei Reihen 14a, 14b von Behältern 15 zusammen. Die ersten Übergabelinien 27a, 27b übergeben in gewünschter Reihenfolge die jeweiligen Träger 16 an eine zweite Übergabelinie 127, deren Förderrichtung im wesentlichen rechtwinklig zur Förderrichtung der ersten Übergabelinien 27a, 27b verläuft, mit deren Endabschnitten sie zusammenwirkt. Die zweite Übergabelinie 127 befördert die Träger 16, von denen jeder eine grüne Folie 11 enthält, in eine nachfolgende Bearbeitungsstation oder in mehrere Bearbeitungsstationen, die hier nicht dargestellt sind.
  • In einer weiteren, hier nicht gezeigten Variante können auch mehr als zwei zweite Übergabelinien 127 vorgesehen sein.
  • Die Anordnung der Behälter 15 in den Reihen 14 hängt von dem Typ und der Anzahl der an dem Wagen 12 vorgesehenen, schlittenförmigen Entnahmeorgane 24 und der eingestellten Entnahmesequenz ab.
  • An dem Wagen 12 ist eine mit dem Entnahmeorgan 24 zusammenwirkende Entnahme- und Abgabevorrichtung 26 angebracht, die dazu dient, den jeweiligen Träger 16 mit der darauf liegenden grünen Folie 11 zu übernehmen, wenn sich dieser im wesentlichen in der Mitte des Entnahmeorgans 24 befindet, um diesen Träger 16 dann an die erste Übergabelinie 27 abzugeben.
  • Die erste Übergabelinie 27 bewegt sich schrittweise vorwärts, um die Träger 16 schrittweise vorzuschieben; sie hat für die Aufnahme der Träger 16 Sitze 30, die vorzugsweise zeitweilig unter Unterdruck-Einfluß stehen, um die Träger 16 in ihrer Position zu halten.
  • Die Entnahme- und Abgabevorrichtung 26 besteht im Ausführungsbeispiel aus einer Greifzange 28, die an einem zweiten Vertikal- Positionierorgan 29 angebracht ist, welches seinerseits an dem ersten Positionierorgan 25 gelagert ist. Die Greifzange 28 kann in einer im wesentlichen horizontalen Ebene in der Verschiebeachse der ersten Übergabelinie 27 bewegt und positioniert werden, beispielsweise mit Hilfe einer ersten Kolben-Zylinder- Einheit 31. Sobald ein Träger 16 aus dem rechten Behälter 15a auf die erste Übergabelinie 27 abgelegt worden ist, bewegt sich diese um einen Schritt weiter, worauf ein Träger 16 aus dem linken Behälter 15b, der dem rechten Behälter 15a gegenüberliegt, auf die Übergabelinie 27 abgelegt wird. Danach wird der Wagen 12 vorwärtsbewegt und zwischen den beiden nachfolgenden Behältern 15 angehalten, so daß die beschriebenen Operationen erneut durchgeführt werden, bis der Wagen 12 am Ende der beiden Reihen 14 ankommt. Nun wird der Wagen 12 zurückbewegt, bis er sich vor den ersten beiden Behältern 15 der Reihen 14 befindet, worauf das Positionierorgan 25 so angehoben wird, daß das sich Entnahmeorgan 24 in der Höhe der darüberliegenden Ebene der Träger 16 befindet. Der erläuterte Zyklus des Herausziehens, der Abnahme und der Ablage der Träger 16 auf der ersten Übergabelinie 27 wird solange wiederholt, bis alle Behälter 15 leer sind.
  • Die erste Übergabelinie 27 befördert jeden Träger 16 mit der darauf liegenden grünen Folie 11 in eine Vorzentrierstation 32, in der die Seitenkanten der Träger 16 der Einwirkung von Positionierelementen 33 unterliegen, welche im Ausführungsbeispiel von zweiten Kolben-Zylinder-Einheiten 34 betätigt werden, die sich in koordinierter Weise bewegen und den jeweiligen Träger 16 in Querrichtung ausrichten.
  • Die erste Übergabelinie 27 befördert den Träger 16 dann in eine Entnahmestation 35, in der erste Entnahmemittel 36a auf die grüne Folie 11 einwirken. Diese ersten Entnahmemittel 36a haben eine erste Platte 37a, die über eine dritte Kolben-Zylinder- Einheit 50a vertikal bewegt wird und an deren Unterseite zeitweise Unterdruck herrscht.
  • Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die ersten Entnahmemittel 36a zusammen mit zweiten Entnahmemitteln 36b und dritten Entnahmemitteln 36c mit gleichem Abstand untereinander am Ende einer Kugelumlaufschraube 38 befestigt. Die Kugelumlaufschraube 38 führt in Vorschubrichtung der grünen Folien 11 alternierend eine Linearbewegung nach vorn und nach hinten aus.
  • In der Entnahmestation 35 werden die Sitze 30 auf der Oberseite der Übergabelinie 27 zeitweise unter Unterdruck gehalten, um die jeweiligen Träger 16 festzuhalten und zu verhindern, daß diese durch die erste Platte 37a, an der ebenfalls Unterdruck herrscht, abgehoben werden. Um die grüne Folie 11 besser von dem Träger 16 trennen zu können, wird durch die kleinen Bohrungen 55 des Trägers 16 ein Luftstrom gedrückt, der die grüne Folie 11 anhebt und von dem Träger 16 trennt. Danach übernimmt die erste Platte 37a die grüne Folie 11, hält sie fest und übergibt sie durch Betätigung der Kugelumlaufschraube 38 an eine Drehstation 56.
  • Der entsprechende Träger 16 wird hingegen in einen ersten Speicher 48a überführt, der sich im gezeigten Ausführungsbeispiel- unter der Bewegungsebene der ersten Übergabelinie 27 befindet.
  • In der Drehstation 46 wird jede zweite grüne Folie 11 um 90º gedreht, bevor sie in einer Zentrierphase zentriert wird, so daß sich am Ausgang ein Mehrschichtenstapel 45 einstellt, in welchem sich die grünen Folien 11 alternierend um 90º in ihrer Ebene gedreht übereinander gestapelt befinden. Sobald die jeweilige grüne Folie 11 gedreht worden ist, wird sie von zweiten Entnahmemitteln 36b abgenommen, welche aus einer zweiten ebenen Platte 37b bestehen, deren flache Seite zeitweise unter Unterdruck gehalten wird.
  • Bei einer Variante der Erfindung werden die grünen Folien 11 in der Drehstation 36 nicht gedreht, so daß diese nur als Zwischenstation dient.
  • Die zweite Platte 37b nimmt nun die grüne Folie 11 auf und bringt sie durch Betätigung der Kugelumlaufschraube 38 in eine Zentrierstation 39. In dieser Zentrierstation 39 wird die grüne Folie 11 auf der ebenen Oberfläche eines beweglichen Tisches 40 abgelegt, auf der ebenfalls zeitweise Unterdruck herrscht. Mit diesem Tisch 40 arbeitet ein Überwachunssystem zusammen, das aus zwei Telekameras 41 besteht, die im Bereich von zwei vorzugsweise diametral gegenüberliegenden Bezugsmarken auf der grünen Folie 11 angebracht sind. Der bewegliche Tisch 40 kann sowohl in Längsrichtung als auch in Querrichtung und winklig verstellt werden, so daß die grüne Folie 11 in ihrer Ebene exakt zentriert werden kann. Aus konstruktiven Gründen ist im Ausführungsbeispiel die Zentrierstation 39 außerhalb der Achse der Vorschubrichtung der Träger 16 angeordnet.
  • Die grüne Folie 11 wird nun von dritten Entnahmemitteln 36c abgenommen, die aus einer dritten ebenen Platte 37c bestehen, an deren ebener Oberfläche zeitweise Unterdruck herrscht.
  • Danach wird die grüne Folie 11 in eine Stapel- und Blockierstation 42 überführt, in der die erste grüne Folie 11 von der dritten Platte 37c befreit und auf ein Förderband 43 positioniert wird, das durchlässig ist, um die grüne Folie 11, die als erste abgelegt worden ist, in positionierter Stellung zu halten. Die nachfolgende grüne Folie 11 wird dann auf die erste grüne Folie 11 gelegt und von der dritten Platte 37c festgehalten, bis eine Schweißeinrichtung 44 mit vorzugsweise wenigstens zwei Schweißpunkten die obere grüne Folie 11 auf der zuvor abgelegten grünen Folie befestigt.
  • Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die drei ebenen Platten 37a, 37b und 37c an der Kugelumlaufschraube 38 angebracht und bewegen sich damit gleichzeitig in horizontaler Richtung, während ihre Positionierung in vertikaler Richtung unabhängig voneinander ist und durch Kolben-Zylinder-Einheiten 50 durchgeführt wird, nämlich dritten 50a, vierten 50b und fünften 50c Kolben-Zylinder-Einheiten.
  • Wie bereits erwähnt, kann die gegenseitige Verankerung in der Einrichtung 10 gemäß der Erfindung vorteilhaft mit einem System durchgeführt werden, wie es in der italienischen Patentanmeldung UD 91 A 156 der Patentinhaberin (EP 535 341) beschrieben und dargestellt ist; es können aber auch andere Verbindungssysteme verwendet werden.
  • Die Operationen zur Stapelung und nachfolgenden Verbindung der Folien werden solange wiederholt, bis der gewünschte Mehrschichtenstapel 45 fertiggestellt ist.
  • Im Ausführungsbeispiel wird das durchlässige Förderband 43 in Bewegung gesetzt, wenn der Mehrschichtenstapel 45 fertiggestellt ist, so daß dieser in eine nachfolgende Abnahme- und Übergabeeinrichtung 51 überführt wird. Diese ist so aufgebaut, wie es in der italienischen Patentanmeldung UD 91 A 157 (EP-A 535 399) der Patentinhaberin erläutert ist.
  • Die Abnahme- und Übergabeeinrichtung 51 besteht aus einer ebenen Platte 52, die in horizontaler Richtung von einer sechsten Kolben-Zylinder-Einheit 53 verschoben wird, um den Mehrschichtenstapel 45 auf einer Tragplatte 46 abzulegen und zu positionieren, welche sich unterhalb befindet, aus einem zweiten Speicher 48b kommt und auf einem Abgabeförderer 47 positioniert ist.
  • Dieser Zyklus wird wiederholt, bis alle Behälter 15 leer sind, wonach die Förderbänder 23a und 23b in Bewegung gesetzt werden, um die leeren Behältern 15 über die rechte Abgabelinie 49a bzw. die linke Abgabelinie 49b wegzuführen. Gleichzeitig werden über den rechten Beschickungsförderer 22a bzw. den linken Beschickungsförderer 22b neue Behälter 15 herangeführt, die mit Trägern 16 und grünen Folien 11 gefüllt sind.
  • Nachstehend werden Schritt für Schritt die einzelnen Phasen der Entnahme und Übergabe der Träger 16 aus ihren Behältern 15 mit der Einrichtung 10 gemäß der Erfindung anhand der Figur 4 erläutert:
  • - Positionierung des Wagens 12 zwischen zwei einander gegenüberliegenden Behältern 15a und 15b;
  • - Betätigung des Öffnungsvorsprungs 20, der auf die mechanischen Schließorgane 19 des rechten Behälters 15a und des linken Behälters 15b einwirkt, wodurch die darin enthaltenen Träger 16 freigegeben werden;
  • - Betätigung des ersten Positionierorgans 25, wodurch das Entnahmeorgan 24 mit seinem Schlitten in eine Höhe verfahren wird, die etwas unterhalb der Ebene der zu entnehmenden Träger 16 liegt;
  • - Verschieben des Entnahmeorgans 24 nach links, bis dessen erste Entnahmeebene 24a unter dem Träger 16b des linken Behälters 15b liegt;
  • - Betätigung des ersten Positionierorgans 25, so daß die erste Entnahmeebene 24a an dem linken Träger 16a anliegt und dieser dabei angehoben wird;
  • - Verschiebung des Entnahmeorgans 24 nach rechts, so daß die zweite Entnahmeebene 24b am rechten Ende des Entnahmeorgans 24 unter dem Träger 16a im rechten Behälter 15a liegt;
  • - Betätigung des ersten Positionierorgans 25, so daß die zweite Entnahmeebene 24b in Eingriff mit dem rechten Träger 16a kommt, der dadurch angehoben wird;
  • - Betätigung der Entnahme- und Abgabevorrichtung 26, so daß der linke Träger 16b, der sich auf der linken Seite des Entnahmeorgans 24 befindet, von der Greifzange 28 erfaßt wird, wenn sich diese linke Seite des Entnahmeorgans 24 gerade in der Mitte des Wagens 12 befindet;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29, um den linken Träger 16b anzuheben;
  • - Verschiebung des Entnahmeorgans 24 nach links, um dessen zweite Entnahmeebene 24b, auf der sich der rechte Träger 16a befindet, in die Mitte des Wagens 12 zu transportieren;
  • - Betätigung der ersten Kolben-Zylinder-Einheit 31 zur Verschiebung der Greifzange 28 nach vorn und gleichzeitige Betätigung des ersten Positionierorgans 25, um die Greifzange 28 auf eine Höhe abzusenken, die etwas über der Übergabelinie 27 liegt;
  • - Verschiebung des Entnahmeorgans 24 in die Position der zweiten Entnahmeebene 24b;
  • - Betätigung der Entnahme- und Abgabevorrichtung 26 zum Öffnen der Greifzange 28 und Ablegen des linken Trägers 16b auf der Übergabelinie 27;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29, um den rechten Träger 16a auf der Übergabelinie 27 abzulegen;
  • - Einschalten der Übergabelinie 27, die sich um eine Position weiterbewegt;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29 zur Verschiebung der Greifzange 28 in ihre obere Stellung;
  • - Betätigung der ersten Kolben-Zylinder-Einheit 31, welche die Greifzange 28 zurückzieht;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29, um die Greifzange 28 in ihre Entnahmestellung zu bringen;
  • - Betätigung der Entnahme- und Abgabevorrichtung 26, so daß die Greifzange 28 den rechten Träger 16a erfaßt, der sich auf der Entnahmeebene 24b des Entnahmeorgans 24 befindet;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29 zur Verschiebung der Greifzange 28 in ihre obere Stellung;
  • - Betätigung des Öffnungsvorsprungs 20, der die mechanischen Schließorgane 19 sowohl des rechten Behälters 15a als auch des linken Behälters 15b freigibt und gleichzeitige Betätigung des Entnahmeorgans 24, das den Schlitten in die mittlere Stellung zurückführt, während die erste Kolben-Zylinder-Einheit 31 die Greifzange 28 nach vorn verschiebt;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29, wodurch die Greifzange 28 in ihre Abgabestellung gelangt;
  • - Betätigung der Entnahme- und Abgabevorrichtung 26 zum Öffnen der Greifzange 28 und Ablegen des rechten Trägers 16a auf der Übergabelinie 27;
  • - Betätigung des zweiten Positionierorgans 29 zur Verschiebung der Greifzange 28 in ihre obere Stellung, während sich das erste Positionierorgan 25 in seine Entnahmestellung zurückbewegt;
  • - Betätigung der ersten Kolben-Zylinder-Einheit 31 zum Zurückbewegen der Greifzange 28;
  • - Betätigung des Wagens 12, um diesen zwischen die beiden folgenden Behälter 15a, 15b zu verschieben, worauf sich der oben erläuterte Zyklus wiederholt.

Claims (19)

1. Einrichtung zur Entnahme, zum Stapeln und zum Verankern von Folien für Green-Tape-Schaltungen, welche zum Vorgruppieren von Mehrschichtschaltungen verwendet wird, die aus einer Mehrzahl von in geordneter Reihung übereinanderliegender grüner Folien (11) bestehen, die nacheinander entnommen, übereinandergelegt, gepreßt und dann miteinander verschweißt werden, umfassend
- eine Übergabelinie (27),
- eine Mehrzahl von Behältern (15), die in organisierter Zusammenwirkung mit wenigstens einer Seite der Übergabelinie (27) angeordnet sind und von denen jeder eine Mehrzahl grüner Folien (11) aufnimmt, die einzeln auf beweglichen, vertikal voneinander beabstandeten Trägern (16) liegen, wobei die grünen Folien (11) in jeweils einem Behälter (15) vom selben Typ sind und die Behälter (15) wenigstens eine Entnahmeseite haben, die zu der Übergabelinie (27) weist und zeitweise mit entaktivierbaren Mitteln (19, 69) zum Unterbrechen des Zugangs in Verbindung bringbar sind,
- auf der Übergabelinie (27) verschiebbare Wageneinrichtungen (12), welche Entnahmeorgane (24), Träger (16) sowie Abgabevorrichtungen (26) für die Träger (16) auf die Übergabelinie (27) aufweisen und welche für die aufeinanderfolgende Entnahme von jeweils einem Träger (16) mit einem vorbestimmten Behälter (15) zusammenwirken und den Träger (16) auf die Übergabelinie (27) ablegen,
- Öffnungsmittel (20), die mit dem beweglichen Wagen (12) verbunden sind und mit den entaktivierbaren Mitteln (19) zum Unterbrechen des Zugangs zusammenwirken, um den zeitweisen Zugang zu dem Behälter (15) während der Entnahmephase durch Mittel (24) zur Abnahme der Träger (16) zu ermöglichen,
- eine Vorzentrierstation (32),
- eine Entnahmestation (35),
- eine Drehstation (56),
- eine Zentrierstation (39),
- eine Stapel- und Blockierstation (42) sowie
- eine Abnahme- und Übergabeeinrichtung (51),.
wobei die genannten Stationen (32, 35, 56, 39, 42) in Reihe hintereinander hinter der Übergabelinie (27) angeordnet sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Übergabelinie (27) eine schrittweise Bewegung ausführt.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wageneinrichtung (12) jeweils ein erstes Positionierorgan (25) und ein zweites Positionierorgan (29) zur vertikalen Positionierung der Mittel (24) zur Abnahme der Träger (16) aufweist.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (24) zur Abnahme der Träger (16) jeweils einen Schlitten aufweisen, der rechtwinklig zur Bewegungsrichtung des Wagens (12) horizontal verschiebbar und mit dem ersten Vertikal-Positionierorgan (25) verbunden ist.
5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abgabevorrichtung (26) zum Ablegen der Träger (16) eine Greifzange (28) aufweist, die horizontal in der Vorschubrichtung des Wagens (12) axial beweglich und mit dem zweiten Vertikal-Positionierorgan (29) verbunden ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Fall von zwei geordneten Reihen von Behältern (15), die seitlich von der Übergabelinie (27) angeordnet sind, die Mittel (24) zur Abnahme der Träger (16) an jedem zur Seite weisenden Ende eine erste Entnahmeebene (24a) bzw. eine zweite Entnahmeebene (24b) aufweisen, die in vertikaler Richtung entsprechend einer vertikalen Ebene des Behälters (15) von einander beabstandet sind.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorzentrierstation (32) mit den die jeweiligen grünen Folien (11) aufnehmenden Trägern (16) zusammenwirkt und Positionierelemente (33) aufweist, die seitlich gegen die Seitenkanten der Träger (16) wirken.
8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die Entnahmestation (35) wenigstens erste Entnahmemittel (36a) aufweist, die zeitweise unter Unterdruck gehalten werden und zeitweise mit den grünen Folien (11) für ihre Entnahme von dem jeweiligen Träger (16) zusammenwirken.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Entnahmestation (35) mit einem Speicher (48a) für leere Träger (16) zusammenwirkt, der sich unter der Verschiebeebene der Übergabelinie (27) befindet.
10. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehstation (56) einen wenigstens um 90º drehbaren Tisch aufweist.
11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehstation (56) zweite Entnahmemittel (36b) aufweist, die zeitweise unter Unterdruck gehalten werden.
12. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierstation (39) einen Tisch (40) aufweist, der in der horizontalen Ebene in Längsrichtung, seitlich und um einen Winkel beweglich ist.
13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die- Positionierung des beweglichen Tisches (40) gesteuert wird durch Telekameras (41), welche Bezugsmarkierungen auf den grünen Folien (11) erfassen.
14. Einrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierstation (39) dritte, zeitweise unter Unterdruck gehaltene Entnahmemittel (36c) aufweist.
15. Einrichtung nach einem der vorhergehenden. Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stapel- und Blockierstation (42) ein unten angeordnetes, zeitweise mit Saugmitteln zusammenwirkendes Förderband (43) sowie eine Schweißeinrichtung (44) aufweist, die von oben auf die jeweils gebildeten Mehrschichtstapel einwirkt, um jede grüne Folie (11) mit der jeweils darunterliegenden grünen Folie (11) zu verbinden.
16. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abnahme- und Übergabeeinrichtung (51) Mitteln mit einer Platte (52) aufweist, die wenigstens in honzontaler Richtung verschiebbar und zeitweise mit Mittel mit einer Tragplatte (46) in Wirkverbindung bringbar sind, die auf einem Abgabeförderer (47) vorgesehen sind.
17. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Träger (16) Licher (54) zum Feststellen der Präsenz einer grünen Folie (11) sowie Bohrungen (55) zum Halten/Lösen der grünen Folie (11) aufweist.
18. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Behälter (15) eine Palette (57) mit einem mittig angeordneten, wenigstens nach einer Seite hin offenen Raum (75) und mit einer Grundplatte (60) aufweist, die an ihrer Außenseite entsprechend den jeweiligen Bewegungssystemen personifizierbar ist, ferner Mittel zur Personifizierung und Identifizierung (59, 74) von wenigstens der im Inneren gelagerten grünen Folie (11), einen Deckel (58) mit ersten Löchern (61) zum Positionieren eines Griffes und wenigstens einem zweiten Loch (70) für die Zentrierung, seitliche Nuten (17) zur Halterung der voneinander beabstandeten Träger (16) sowie die zeitweise entaktivierbaren Mittel (19, 69) zum Unterbrechen des Zugangs.
19. Verfahren zur Entnahme, zum Stapeln und zum Verankern von Folien für Green-Tape-Schaltungen zum Vorgruppieren von Mehrschichtschaltungen, die aus einer Mehrzahl von in geordneter Reihung übereinanderliegender grüner Folien (11) bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß die Träger (16) für die jeweiligen grünen Folien (11) in geordneter und programmierter Folge aus den spezifischen Behältern (15) entnommen werden, die durch den Typ der darin aufgenommenen grünen Folien (11) gekennzeichnet sind, welche in einer Entnahmestation (35) von den jeweiligen Trägern (16) abgenommen und in einer Zentrierstation (39) mit der vorausgehenden grünen Folie (11) zentriert werden, wonach sie in einer Stapel- und Blockierstation (42) übereinandergelegt und verschweißt werden.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1310555B1 (it) 1999-04-02 2002-02-18 Gisulfo Baccini Apparecchiatura per la produzione di circuiti elettronici
IT1310557B1 (it) * 1999-04-02 2002-02-18 Gisulfo Baccini Apparecchiatura per la produzione di circuiti elettronicimultistrato
WO2001045923A1 (en) * 1999-12-21 2001-06-28 Pirelli Pneumatici S.P.A. Method and apparatus for automatically detaching the supporting fabric from an elastomeric band
JP3528045B2 (ja) * 2000-07-31 2004-05-17 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造装置
US6572321B1 (en) * 2000-10-05 2003-06-03 Applied Materials, Inc. Loader conveyor for substrate processing system
JP2002329965A (ja) * 2001-05-07 2002-11-15 New Create Kk 薄膜積層体の製造方法および製造装置
JP2004087561A (ja) * 2002-08-23 2004-03-18 Fuji Mach Mfg Co Ltd 多層基板製造工程集約機
KR101379811B1 (ko) * 2007-06-26 2014-05-07 애프코 씨브이 실리콘계 전자 회로용 건조 장치 및 방법
JP5931389B2 (ja) * 2011-09-29 2016-06-08 川崎重工業株式会社 搬送システム
JP5973813B2 (ja) * 2012-07-06 2016-08-23 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4149925A (en) * 1975-10-23 1979-04-17 Mintz Leonard A Machine for applying magnetic strips
CA1215220A (en) * 1982-01-18 1986-12-16 Usm Corporation Automatic board loaders
US4599122A (en) * 1984-09-13 1986-07-08 Nakamura Purosesu Kogei Kabushiki Kaisha Method of taping separation films for photoengraving and apparatus therefor
DE69207136T2 (de) * 1991-09-30 1996-05-15 Gisulfo Baccini Vorrichtung zur Bearbeitung von elektrischen Schaltungen
IT1252949B (it) * 1991-09-30 1995-07-06 Gisulfo Baccini Procedimento per la lavorazione di circuiti tipo green-tape e dispositivo adottante tale procedimento

Also Published As

Publication number Publication date
EP0578061A1 (de) 1994-01-12
ITUD920122A0 (it) 1992-07-07
US6109323A (en) 2000-08-29
EP0578061B1 (de) 1997-01-08
ITUD920122A1 (it) 1994-01-07
DE69307205D1 (de) 1997-02-20
IT1259732B (it) 1996-03-26

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