DE69122054D1 - Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters

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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
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    • G—PHYSICS
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