DE69009039T2

DE69009039T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Aufbereiten des dielektrischen Fluids, insbesondere von Funkenerosionsmaschinen.

Info

Publication number: DE69009039T2
Application number: DE1990609039
Authority: DE
Inventors: Takuji Magara
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-02-13
Filing date: 1990-12-20
Publication date: 1994-10-06
Anticipated expiration: 2010-12-21
Also published as: EP0442119B1; EP0442119A3; JPH03239415A; EP0442119A2; JPH07115259B2; DE69009039D1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine elektrische Entladungsverarbeitungsvorrichtung, umfassend:
Einen Behälter mit einer oder mehreren Kammern, die ein Dielektrikum zur elektrischen Entladungsbearbeitung enthalten;
eine erste Filtereinrichtung für ein Dielektrikum, die in einem Flüssigkeitsverbindungspfad angeordnet ist, die den Behälter und einen Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung verbindet, zur Filterung eines Dielektrikums zur elektrischen Entladungsbearbeitung, welches für Aufrauhungsoperationen verwendet wird; und
eine zweite Filtereinrichtung für ein Dielektrikum, zur Filterung eines Dielektrikums zur elektrischen Entladungsbearbeitung, welches für Endbearbeitungsoperationen verwendet wird.
Im technischen Gebiet der elektrischen Entladungsbearbeitung ist es hinreichend bekannt, eine Schmelzverarbeitung oder Wärmebehandlung eines aus einem elektrisch leitenden Material, zum Beispiel Metall, hergestellten Werkstückes durch Verwendung der in einem elektrischen Entladungspfad erzeugten Hochtemperaturenergie durchzuführen. Der Entladungsspalt wird mit einem Dielektrikum mit elektrischen Isolationseigenschaften gefüllt, um die zur Entladung erforderliche elektrische Isolation zu erhalten. Gewöhnlicherweise wird für das Dielektrikum ein Öl oder eine Öl/Wasser-Mischung verwendet. Abgesehen von der Erzielung einer elektrischen Isolation besitzt das Dielektrikum die Funktion, die während des Bearbeitungsprozesses erzeugten Späne zu entfernen und die sich von der Bearbeitungsstelle ergebende Wärme abzuleiten, wobei es als wesentlicher Faktor zur Aufrechterhaltung einer stabilen elektrischen Entladungsbearbeitung dient.
Die japanische Patentanmeldung Nr. 1990-15813, die im Besitz des Anmelders der vorliegenden Patentanmeldung ist, lehrt, daß das Mischen des Dielektrikums mit gewissen Arten von Materialien in der Form von Pulvern mit einem Partikeldurchmesser von ungefähr 10 bis 40 um bis zu einer Mischdichte von ungefähr 20 g/Liter die Stabilität einer Entladung verbessert. In Abhängigkeit von dem Material wirkt das Pulverdielektrikum zur Verbesserung der mechanischen Eigenschaften, zum Beispiel der Korrosionswiderstandsfähigkeit und Abnutzungswiderstandsfähigkeit der EDM-Elektrode und der Werkstückoberfläche. Zusätzlich zur Entfernung eines Materials (z.B. des Metalls) von dem Werkstück erlaubt die elektrische Entladungsbearbeitung eine Oberflächenbehandlung des Metalls. Die verwendeten Pulvermaterialien umfassen Halbleitermaterialien, z.B. Silizium (Si), Zinkoxid (ZnO), Zinkdioxid (ZnO&sub2;), Siliziumdioxid (SiO&sub2;), Wolframkarbid (WC) und Zirkonborid (ZrB&sub2;) und feine keramische Materialien, beispielsweise Karbid und Borid.
Es ist vorgeschlagen worden, ein Werkstück zu bearbeiten oder darauf eine Oberflächenschicht zu bilden, indem derartige Materialien in Pulverform mit dem Dielektrikum gemischt werden. Dieser Ansatz würde den Anwendungsbereich einer EDM (elektrischen Entladungsbearbeitung) beträchtlich erweitern. Das Problem liegt darin, eine praktische Verwirklichung dieses Ansatzes zu schaffen. Insbesondere ist es ein Ziel, eine Vorrichtung zur effizienten Behandlung bzw. Aufbereitung des bei der elektrischen Entladungsbearbeitung verwendeten Dielektrikums zu entwerfen.
Eine Vorrichtung zur Behandlung eines Dielektrikums für eine EDM gemäß dem Stand der Technik ist aus Fig. 23 ersichtlich. Dort sind eine Elektrode 1 und ein Werkstück 2 in einem Dielektrikum in einem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung eingetaucht. Ein Dielektrikumbehälter 4 ist mit dem Behälter 3 verbunden und nimmt das aus dem Boden des Behälters 3 über das Ventil 10 abgelassene Dielektrikum auf. Das abgelassene Dielektrikum kann, wie oben erwähnt, während Aufrauhungs-EDM-Operationen (Grobbearbeitungs-EDM-Operationen) erzeugte Aufrauhungsspäne (Grobbearbeitungsspäne) 5, während Endbearbeitungs-EDM-Operationen (Feinbearbeitungs-EDM-Operationen) erzeugte Endbearbeitungs-Späne 6 (Feinbearbeitungsspäne) und ein pulverartiges Halbleitermaterial 7, wie beispielsweise Silizium, enthalten. Ein Behälter 8 enthält ein von einem Behälter 4 über eine Pumpe 14 und ein Filter 12 zugeführtes Dielektrikum und empfängt von einer Zuführungseinrichtung 9 für Pulvermaterial Rohpulver. Die Funktion einer Pumpe 13 besteht darin, an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung von dem Dielektrikumbehälter 4 über ein Filter 11 ein Dielektrikum zuzuführen. Die Filter 11 und 12 besitzen die Funktion, Späne von dem durch die Pumpen 13 bzw. 14 gepumpten Dielektrikum zu entfernen. Außerdem wird das fein verteilte Pulver entfernt. Eine Pumpe 15 führt das Dielektrikum von dem Behälter 8 an einen Entladungsspalt zwischen dem Werkstück 2 und der Elektrode 1 in dem Behälter 3 zu.
Der Betrieb der oben beschriebenen elektrischen Entladungsmaschine kann unter Bezugnahme auf Fig. 23 verstanden werden. Bei einem gewöhnlichen Aufrauhungsprozeß wird das in dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung angeordnete Werkstück 2 durch elektrische Entladungen in einem zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 gebildeten Entladungsspalt elektroerosiv bearbeitet. Bei diesem Prozeß werden Späne 5 erzeugt, die in dem Dielektrikum in dem Dielektrikumbehälter 4 fein verteilt werden. Die während des Bearbeitungsprozesses so gebildeten Späne werden über das Ventil 10 an den Behälter 4 geliefert, wenn das Dielektrikum zurückgeführt wird. Die Späne und die dielektrische Lösung wird dann durch die Pumpe 13 an ein Filter 11 gepumpt, in dem die Späne und irgendwelche Pulver entfernt werden und das zurückgewonnene Dielektrikum wird an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zurückgeführt. Wenn nach der Aufrauhung durch eine Feinbearbeitung bzw. Endbearbeitung eine Oberflächenbehandlung oder dergleichen ausgeführt werden soll, wird reines Dielektrikum, welches mit den Pulvermaterialien 7 von der Zuführungseinrichtung 9 in dem Behälter 8 gemischt wird, durch die Pumpe 15 von dem Behälter 8 an den durch die Elektrode 1 und das Werkstück 2 gebildeten Entladungsspalt gepumpt. Gleichzeitig wird das Dielektrikum in dem Behälter 4 mit einer Lösung aus Spänen und Pulvermaterialien 7 von dem Dielektrikumbehälter 4 über ein Filter 12 zur Entfernung von irgendwelchen Spänen und Pulver in den Behälter 8 gepumpt. Die durch dielektrische Entladungsbearbeitung und durch die Filterung verbrauchten Pulvermaterialien 7 werden durch Pulver von der Zuführungseinrichtug 9 für Pulvermaterial ersetzt, die betrieben wird, so daß sie automatisch die Pulvermaterialien 7 an den Behälter 8 zuführt.
Wie oben erwähnt, werden die Pulvermaterialien und die Späne in der herkömmlichen elektrischen Entladungsmaschine, die die Trennung der Späne von den Pulvermaterialien nicht berücksichtigt, zusammen behandelt bzw. aufbereitet. Zusätzlich wird bei der Durchführung einer Endbearbeitung, insbesondere wenn dies mit einer Oberflächenbehandlung einhergeht, nach einem Aufrauhungsschritt, der viele Späne erzeugt, die Endbearbeitungsgenauigkeit wesentlich von den zahlreichen in dem Endbearbeitungsdielektrikum enthaltenen Spänen beeinflußt. Es ist deshalb im Stand der Technik erforderlich, fortwährend die Späne herauszufiltern. Da die Pulvermaterialien aus dem Dielektrikum mit den Spänen durch den Filterprozeß entfernt und dann beseitigt werden, wird außerdem eine große Menge von Pulvermaterialien verbraucht, weiches einen Kostennachteil zur Folge hat.
Aus der EP 0 286 686 A1 ist ein Bearbeitungsflüssigkeits- Versorgungssteuersystem für elektrische Drahtschnitt-Entladungsmaschinen bekannt, welches umfaßt eine Dielektrikum-Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme eines Dielektrikums zur elektrischen Entladungsbearbeitung, eine in einem Flüssigkeitsverbindungspfad angeordnete erste Filtereinrichtung für ein Dielektrikum und einen Behälter zur Durchführung der elektrischen Entladungsbearbeitung; eine erste Filtereinrichtung für ein Dielektrikum zur Filterung eines ersten Dielektrikums für die Aufrauhungsoperation und eine zweite Filtereinrichtung für ein Dielektrikum zur Filterung eines zweiten Dielektrikums nach der elektrischen Entladungsbearbeitung mit dem zweiten Dielektrikum.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine elektrische Entladungsbearbeitungsvorrichtung vorzusehen, die mit einer einfachen Vorrichtung eine Filterung und eine Speicherung von Pulvermaterial zur Wiederverwendung ermöglicht.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die zweite Dielektrikum Filtereinrichtung eine bidirektionale Filtereinrichtung umfaßt, deren Funktion darin besteht, Partikelmaterial von dem Dielektrikum im Ansprechen auf einen Dielektrikumfluß in einer ersten Richtung zu filtern und deren Funktion darin besteht, vorher gefiltertes Partikelmaterial an das Dielektrikum im Ansprechen auf einen Dielektrikumfluß in eine zweite, der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung zurückzuführen.
Die vorliegende Erfindung ermöglicht, den Verbrauch von Pulvermaterial zu verkleinern und ermöglicht, daß die gleichen Pulvermaterialien über eine lange Zeitperiode hinweg wiederverwendet werden können.
Eine oder mehrere Behälter für die Dielektrika, die jeweils eine oder mehrere Kammern aufweisen, sind mit einem Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung über Leitungen verbunden, die Eingangs- und Ausgangs-Dielektrikumpfade definieren und selektiv darin plazierte Pumpen und Steuerventile aufweisen. Ferner können zur Entfernung von in dem Dielektrikum aufgelösten Partikeln Filter hinzugefügt werden.
In einer Ausführungsform werden ein Aufrauhungs-Behälter und ein Endbearbeitungs-Behälter zur Aufnahme eines Dielektrikums während jeweiliger Aufrauhungs- und Endbearbeitungsoperationen verwendet. Der Aufrauhungs-Behälter kann eine Vielzahl von Kammern aufweisen, um das Dielektrikum von dem Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung zu speichern. Die Abfallpartikel in dem Dielektrikum können vor ihrer Abgabe in dem Aufrauhungs-Behälter gefiltert werden oder zur Speicherung vor einer Filterung und Speicherung in einer zweiten Kammerin eine erste Kammer in den Aufrauhungs-Behälter gerichtet werden. Vorzugsweise kann ein getrennter Behälter zur Speicherung von während Endbearbeitungsoperationen verwendetem Dielektrikum vorgesehen sein, um eine Spanverunreinigung zu minimieren. Das Dielektrikum in dem Behälter kann gefiltert werden, um Verunreinigungen und verschlechterte Endbearbeitungspulver zu entfernen. Die Aufrauhungs- und Endbearbeitungsbehäiter können in einem einzigen Behälter mit mehreren Kammern kombiniert werden.
In einer weiteren Ausführungsform wird ein Einzelbehälter mit einer einzelnen Kammer verwendet. Während einer Aufrauhungsoperation tritt eine Filterung von Verunreinigungen, die in der Entladung von dem Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung aufgelöst werden, vor der Speicherung des Dielektrikums in dem Behälter auf. Außerdem kann eine Filterschleife mit Eingangs- und Ausgangspfaden, die ein bidirektionales Filter enthalten, verwendet werden, um die Pulver zu filtern, die sich in dem gespeicherten Dielektrikum befinden. Während einer Endbearbeitungsoperation wird der Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung direkt in den Einzelbehälter abgelassen. Am Ende der End- bzw. Fein-Bearbeitungsoperation kann das Pulver durch das bidirektionale Filter entfernt und darin gespeichert werden, während das Dielektrikum für die Aufrauhungsoperation wiederverwendet wird. Die darauffolgende Endbearbeitungsoperation wird durchgeführt, indem das Filter mit sauberem Dielektrikum von hinten bespült wird, um das Pulver in das Dielektrikum zurückzuspülen.
Ein Filter kann in dem Dielektrikum-Zuführungspfad zwischen dem Dielektrikum-Behälter und dem Behälter zur elektrischen Entladungsbearbeitung selektiv eingebunden und zur Entfernung von Verunreinigungen verwendet werden.
Verschiedene Kombinationen von Eingängen, Abgabe- und Filterwegen können mit verschiedenen Ausführungen von dielektrischen Behältern mit einer oder mit mehreren Kammern verwendet werden, um den bestimmten Betriebsanforderungen gerecht zu werden.
Der Betrieb der Ventile und der Filter in der offenbarten Erfindung kann im Ansprechen auf den Ausgang von verschiedenen zur Identifizierung von jeweiligen Systemparametern angeordneten Detektoren automatisch vorgenommen werden.

KURZBESCHRElBUNG DER ZEICHNUNGEN

In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum zur elektrischen Entladungsbearbeitung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 bis 4 eine Konfiguration einer in Fig. 1 gezeigten Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum;
Fig. 5 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 7 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für eine Dielektrikum gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 8 bis 10 Operationen der Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 11 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 12 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 13 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 14 bis 16 Operationen der in Fig. 13 gezeigten Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum;
Fig. 17 eine Konfiguration einer Behandlungvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 18 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 19 bis 21 Operationen der in Fig. 18 gezeigten Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum;
Fig. 22 eine Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum gemäß einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 23 eine Konfiguration einer mit einer herkömmlichen Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum ausgerüsteten elektrischen Entladungsmaschine (EDM).

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Fig. 1 zeigt die Konfiguration einer Behandlungsvorrichtung füi ein Dielektrikum für eine elektrische Entladungsmaschine (EDM) gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Fig. 2 bis 4 zeigen Operationen der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung. Identische oder entsprechende Teile zu denjenigen der herkömmlichen Vorrichtung in Fig. 23 sind in diesen Zeichnungen mit identischen Bezugszeichen bezeichnet und die Erklärung ihrer Funktionen wird nicht wiederholt.
In Fig. 1 werden mehrere Behälter für Dielektrika verwendet, einschließlich eines Behälters 20 für ein Aufrauhungs-Dielektrikum mit einer Kammer 21 für ein verschmutztes Dielektrikum zur Aufnahme eines von dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung wiedergewonnenen verschmutzten Dielektrikums und mit einer Kamer 22 für ein sauberes Dielektrikum zur Aufnahme eines durch eine Filterung des verschmutzten Dielektrikums in der Kammer 21 für ein verschmutztes Dielektrikum erhaltenen sauberen Dielektrikums und einen Behälter 23 für ein Endbearbeitungs- bzw. Feinbearbeitungs-Dielektrikum. Mehrere Steuerventile 10 und 24 - 26 werden in der Vorrichtung verwendet, wobei die Steuerventile 10 und 26 in während der Aufrauhungs- bzw. Endbearbeitungsoperationen verwendeten Abflußleitungen verwendet werden. Die Aufrauhungs- und Endbearbeitungs-Abflußleitungen von dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung gewinnen das Dielektrikum zurück und leiten dieses in die Behälter 20 bzw. 23. Eine Pumpe 27 ist für den Behälter 20 für ein Aufrauhungs-Dielektrikum vorgesehen und verbindet die Kammer 22 für sauberes Dielektrikum des Behälters 20 über das Steuerventil 24 mit dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung. Eine Pumpe 28 wird verwendet, um aus der Kammer 21 für verschmutztes Dielektrikum ein Dielektrikum mit einer Lösung von Aufrauhungs-Spänen zu saugen und um das Dielektrikum über ein Filter 29 an die Kammer 22 für sauberes Dielektrikum zu leiten.
Eine Pumpe 30 ist für den Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum vorgesehen und verbindet den Behälter 23 mit dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung über das Steuerventil 25. Eine Pumpe 31 it zur Einzelbearbeitung des Dielektrikums in dem Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum vorgesehen, um über das Filter 12 die Pulvermaterialien und Späne in den Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum zu entfernen.
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen der Betrieb der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Fig. 2 zeigt einen Ablauf des Dielektrikumflusses wahrend des Aufrauhens. Das Dielektrikum in der Kammer 22 für das saubere Dielektrikum des Behälters 20 für das Aufrauhungs-Dielektrikum wird von der Pumpe 27 angesaugt und in den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung eingeführt. Das Dielektrikum in dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung verschmutzt aufgrund der Späne, die während der Aufrauhungs-Operationen gebildet werden und wird durch das Steuerventil 10 in die Kammer 21 für verschmutztes Dielektrikum des Behälters 20 für das Aufrauhungs-Dielektrikum zurückgeführt. Das Dielektrikum mit den Aufrauhungs-Spänen 5 wird durch die Pumpe 28 an das Filter 29 gesaugt und als Folge davon wird ein sauberes Dielektrikum zur Speicherung in der Kammer 22 für ein sauberes Dielektrikum geliefert. Die Aufrauhungs-Späne 5 werden während der Aufrauhung fortwährend oder intermittierend so gefiltert, daß das von den Aufrauhungs-Spänen 5 befreite saubere Dielektrikum während einer Aufrauhungs-Operation immer an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung geführt wird.
Im folgenden wird der Ablauf des Dielektrikumflusses während der Endbearbeitung gemäß Fig. 3 beschrieben. Das als das Dielektrikum in dem Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum verwendete Endbearbeitungs-Dielektrikum wird so ausgewählt, daß es hervorragende Endbearbeitungseigenschaften aufweist, insbesondere wenn es von einem Benutzer oder von der Zuführungseinrichtung 9 für das Pulvermaterial mit den Pulvermaterialien 7 gemischt wird. Dieses Dielektrikum wird von der Pumpe 30 aus dem Behälter 23 angesaugt und an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung und an den Entladungsspalt geführt. Das für die Endbearbeitung verwendete Dielektrikum wird aus dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung über das Abflußleitungs-Steuerventil 26 an den Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum zurückgeführt. Allgemein werden die somit in das Dielektrikum gemischten Pulvermaterialien 7 wiederholt zur elektrischen Entladungsverarbeitung verwendet. Falls eine elektrische Entladungsbearbeitung allerdings für eine lange Zeitperiode wiederholt wird, erhöht sich die Anzahl von Spänen 6 in dem Dielektrikum und die Pulvermaterialien verschlechtern sich, was zu verschlechterten elektrischen Entladungsbearbeitungseigenschaften führt. Um dies zu verhindern, wird die Pumpe 31 während einer gewöhnlichen Endbearbeitung, so wie sie in Fig. 4 dargestellt wird, wiederholt betätigt, um die verschlechterten Pulvermaterialien 7 und die Späne 6 für eine Entfernung herauszufiltern. Diese Entfernung muß jedoch auf der Grundlage einer Chargenbehandlung nur nach jeden mehreren hundert Stunden ausgeführt werden, da die Pulvermaterialien 7 eine relativ lange Lebensdauer aufweisen und nur eine geringe Menge von Spänen 6 während einer End- bzw. Feinbearbeitung erzeugt werden. Nach der Befreiung von den Pulvermaterialien 7 wird das in dem Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum akkumulierte saubere Dielektrikum durch den Benutzer oder durch die Zuführungseinrichtung 9 für Pulvermaterial mit neuen Pulvermaterialien 7 zur Verwendung als das neue Endbearbeitungs-Dielektrikum beschickt.
Fig. 5 zeigt eine Konfiguration einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die mit einem Spandichte-Sensor 32 in dem Behälter für das Endbearbeitungs-Dielektrikum, das heißt in dem Behälter 23, versehen ist, um so automatisch die Späne 6 zu entfernen und die Pulvermaterialien 7 zu ändern Die zweite Ausführungsform ermöglicht, daß die Pulvermaterialien 7 gemäß der elektrischen Entladungsverarbeitungsmenge automatisch in einer Charge geändert werden. Da der Verschlechterungsgrad der Pulvermaterialien 7 eine umgekehrte Beziehung zum Partikeldurchmesser der Pulver aufweisen (die Partikelgröße nimmt mit der Verwendung ab), kann der Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum zusätzlich mit einem Pulverpartikel-Durchmessersensor oder mit einer Partikelgrößenverteilungs-Meßeinrichtung 33 zur optischen Messung der Anzahl von pro Einheitsvolumen enthaltenen Pulverpartikeln oder dergleichen versehen sein, um automatisch eine Filterung und/oder Hinzufügung der Pulvermaterialien 7 zu steuern.
Während in sowohl der ersten als auch in der zweiten Ausführungsform der Behälter 20 für das Aufrauhungs-Dielektrikum und der Behälter 23 für das Endbearbeitungs-Dielektrikum getrennt vorgesehen sind, kann die gleiche Wirkung erzielt werden, indem anstelle von zwei Dielektrikum-Behältern ein Dielektrikum-Behälter mit einer Vielzahl von Kammern vorgesehen wird. Fig. 6 zeigt eine Konfiguration einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die einen Einzeltank verwendet, aber mehrere Kammern vorsieht, so daß die Aufrauhungs- und Endbearbeitungs-Dielektrika nicht miteinander gemischt werden.
Fig. 7 zeigt die Konfiguration einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und die Fig. 8 bis 10 zeigen den Betrieb der Ausführungsform in Fig. 7. Die Teile in diesen Zeichnungen, die mit denjenigen des Standes der Technik in Fig. 23 identisch sind oder diesen entsprechen, sind mit identischen Bezugszeichen bezeichnet und eine Erklärung davon wird nicht nochmal vorgenommen.
In den Fig. 7 bis 10 ist ein einzelner Dielektrikum-Behälter, zum Beispiel ein Tank, verbunden, um das von dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung abgeflossene Dielektrikum aufzunehmen. Eine Pumpe 44 wird für das abgeflossene Dielektrikum verwendet und ist in einem Abflußleitungsweg von dem Behälter 3 an den Dielektrikum-Behälter 40 über das Schlammfilter 45 und die Nebenschlußleitung 46 für abfließendes Dielektrikum verbunden. Die Steuerventile 41 und 42 werden in den Abflußleitungsweg während einer Aufrauhung bzw. einer Endbearbeitung verwendet. Die zwei Ventile werden verwendet, um das aus dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung abgeflossene und in den Dielektrikum-Behälter 40 zurückgewonnenes Dielektrikum an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zu leiten. Während einer Aufrauhungs-Operation ist das Ventil 42 geschlossen und das Ventil 41 offen, wodurch das Dielektrikum an das Filter 45 gerichtet wird, in dem es von Verunreinigungen gereinigt wird und von dem es an den Tank 40 abgeleitet wird. Eine Pumpe 43 ist vorgesehen, um das Dielektrikum in den Dielektrikum-Behälter 40 an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zu leiten.
Während einer Endbearbeitungs-Operation leitet die Pumpe 44 das Dielektrikum über das offene Ventil 42 in den Behälter 40, aus dem es von der Pumpe 43 in den Behälter 3 zurückgepumpt wird. Die Pumpe 47 kann verwendet werden, um das Dielektrikum aus dem Behälter 40 an das bidirektionale Filter 48 zu saugen. Das Filter 48 kann Pulvermaterialien entfernen, wenn diese in dem Behälter für das Endbearbeitungs-Dielektrikum vorhanden sind.
Außerdem wird eine Pumpe 49 verwendet, um Dielektrikum aus dem Behälter 40 zu saugen und um eine Rückspülung der sich in dem Filter 48 angesammelten Pulvermaterialien 7 durchzuführen. Dieser Prozeß mischt die sich in dem Filter 48 angesammelten Pulvermaterialien 7 in das Dielektrikum in dem Dielektrikumbehälter 40, indem ein Dielektrikumfluß in einer entgegengesetzten Richtung zu derjenigen der Pumpe 47 bewirkt wird.
Im folgenden wird der Betrieb der vierten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die Fig. 8 zeigt den Ablauf des Dielektrikumflusses während des Aufrauhensoder der Grobbearbeitung. Das Dielektrikum in dem Dielektrikumtank 40 wird von der Pumpe 43 angesaugt und in den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung gerichtet Das Dielektrikum in dem Behälter 3 zur elektrichen Entladungsbearbeitung wird durch die Abflußpumpe 44 abgelassen, über das Abflußleitungs-Steuerventil 41 an das Filter 45 geliefert, in dem es von den Aufrauhungs-Spänen 5 befreit wird und in den Dielektrikum-Behälter 40 zurückgewonnen. Die Aufrauhungs-Späne 5 werden während einer Aufrauhung entweder fortwährend oder intermittierend herausgefiltert, so daß das abgeflossene Dielektrikum immer in den Dielektrikumbehälter 40 zurückgewonnen wird, nachdem es von den Aufrauhungs-Spänen 5 gesäubert worden ist. Infolgedessen wird an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung immer ein von Aufrauhungs-Spänen 5 befreites sauberes Dielektrikum zugeführt und zur Aufrauhung verwendet.
Eine Abfolge des Dielektrikumflusses während der Endbearbeitung wird im folgenden gemäß Fig. 9 beschrieben. Vor der Endbearbeitungs-Operation wird die Pumpe 49 betätigt, um eine Rückspülung des das Filters 48 durchzuführen und um die Pulvermaterialien 7, die sich in dem Filter 48 angesammelt haben, in den Dielektrikum-Behälter 40 zu mischen. Sobald das Dielektrikum vollständig mit den Pulvermaterialien 7 gemischt worden ist, wird es von der Pumpe 43 angesaugt und an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung und an den Entladungsspalt geführt. Das zur Endbearbeitung verwendete Dielektrikum wird aus dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung über das Abflußleitungs-Steuerventil 42 durch die Nebenflußleitung 46 für das abfließende Dielektrikum an den Dielektrikum-Behälter 40 zurückgeführt. Dabei wird das Ventil 41 geschlossen. Dementsprechend wird während der Endbearbeitung das abgeflossene Dielektrikum in den Dielektrikum-Behälter 40 zurückgewonnen, ohne daß es gefiltert wird, aber dies stellt kein praktisches Problem dar, da die Menge der während einer Endbearbeitung erzeugten Späne extrem gering ist.
Nach der Endbearbeitung wird die Pumpe 47 betätigt, so wie dies in Fig. 10 dargestellt ist, um das Dielektrikum mit den Pulvermaterialien 7 und die geringe Menge von Spänen 6 in dem Dielektrikum-Behälter 40 über das Filter 48 zu leiten, wodurch das Dielektrikum in dem Dielektrikum-Behälter 40 gereinigt wird. Insbesondere wird das Pulver 7 in dem Filter 48 bis zur nächsten Endbearbeitungs-Operation gespeichert.
Allgemein werden die in das Dielektrikum gemischten Pulvermaterialien 7 wie oben beschrieben wiederholt zur elektrischen Entladungsbearbeitung verwendet. Falls die elektrische Entladungsbearbeitung jedoch für eine lange Zeitperiode wiederholt wird, erhöht sich allerdings die Anzahl der Späne in dem Dielektrikum und die Pulvermaterialien verschlechtern sich, was verschlechterte elektrische Entladungsbearbeitungs-Eigenschaften zur Folge hat. Um dies zu verhindern, müssen die Pulvermaterialien 7 während einer gewöhnltichen Endbearbeitung periodisch ausgewechselt werden. Da die Pulvermaterialien 7 jedoch eine relativ lange Lebensdauer besitzen und während einer Endbearbeitung nur eine kleine Menge von Spänen 6 erzeugt werden, muß nur das Filter 48 ausgewechselt werden und eine vorgegebene Menge von neuem Pulvermaterialien 7 nur nach jeden mehreren hundert Stunden zugeführt werden.
Fig. 11 zeigt eine Konfiguration einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die mit einem Spandichtesensor 50 in dem Dielektrikum-Behälter, beispielsweise in dem Behälter 40, versehen ist, um festzustellen, wenn die Späne 6 enfernt und die Pulvermaterialien 7 ausgewechselt werden müssen.
Da der Grad, um den sich die Pulvermaterialien 7 verschlechtert haben, durch den Partikeldurchmesser der Pulver angezeigt wird, kann ein Pulverpartikel-Durchmessersensor, eine Partikelgrößenverteilungs-Meßeinrichtung 51 zur optischen Messung der pro Einheitsvolumen enthaltenen Anzahl von Partikeln oder dergleichen in dem Dielektrikum-Behälter 40 installiert sein, um zu erfassen und festzustellen, wenn die Pulvermaterialien einen Verschlechterungsschwellwert überschritten haben, so daß dies durch die Partikelgröße bestimmt wird.
Obwohl die Nebenflußleitung 46 für abgeflossenes Dielektrikum in der fünften Ausführungsform in Reihe mit der Pumpe 44 angeordnet ist, kann sie parallel zu der Leitung für das abgeflossene Dielektrikum angeordnet werden, ohne die Pumpe 44 für das abgeflossene Dielektrikum anzuschließen, so wie dies in Fig. 12 gezeigt ist, die eine Konfiguration einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Die Fig. 13 zeigt die Konfiguration einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und die Fig. 14 bis 16 zeigen den Betrieb der siebten Ausführungsform in Fig. 13. Die Teile in diesen Zeichnungen, die mit denjenigen des Standes der Technik in Fig. 23 identisch sind oder diesen entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und werden hier nicht nochmals besprochen.
In Fig. 13 weist ein Dielektrikum-Behälter 50, beispielsweise ein Tank, eine Kammer 51 für verschmutztes Dielektrikum zur Aufnahme von aus dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsverarbeitung zurückgewonnenem verschmutztem Dielektrikum und eine Kammer 52 für sauberes Dielektrikum zur Aufnahme von sauberem Dielektrikum, welches durch Filterung des verschmutzten Dielektrikums in der Kammer 51 für das verschmutzte Dielektrikum erhalten wird. Die Steuerventile 53 und 54 werden verwendet, um von dem Behälter 3 während Aufrauhungs- bzw. Endbearbeitungs-Operationen Abflußleitungswege herzustellen. Der Abfluß von dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung wird in die Kammern 51 bzw. 52 geleitet. Eine Pumpe 43 ist zwischen dem Dielektrikum-Behälter 52 und dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung angeschlossen. Eine Pumpe 55 ist zwischen den Kammern 51 und 52 verbunden und leitet das Dielektrikum über ein Filter 56, um die Aufrauhungs-Späne in dem verschmutzten Dielektrikum herauszufiltern. Eine Pumpe 57 wird verwendet, um das Dielektrikum aus der Kammer 52 über das Filter 58 zu leiten, um die Pulvermaterialien 7 zu filtern und um über ein Filter 58 sauberes Dielektrikum an die Kammer 52 zu leiten. Eine Pumpe 59 wird verwendet, um eine Rückspülung der Pulvermaterialien 7 in dem Filter 58 durchzuführen und um aus dem Behälter 52 sauberes Dielektrikum zu gewinnen, um so die Pulvermaterialien 7 in dem Filter 58 in den Behälter 52 für das saubere Dielektrikum zu mischen, nämlich indem ein Fluß des Dielektrikums in entgegengesetzte Richtung bewirkt wird.
Der Betrieb der siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die Fig. 14 zeigt die Abfolge des Dielektrikumflusses während einer Aufrauhung. Das Dielektrikum in der Kammer 52 für sauberes Dielektrikum des Behälters 50 für das Aufrauhungs-Dielektrikum wird durch die Pumpe 43 angesaugt und in den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung eingeleitet. Das Dielektrikum in dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung wird durch das Steuerventil 53 an die Kammer 51 für verschmutztes Dielektrikum zurückgeführt, dann leitet die Pumpe 55 das verschmutzte Dielektrikum mit den Aufrauhungs-Spänen 5 über das Filter 56 und das saubere Dielektrikum sammelt sich in der Kammer 52 für das saubere Dielektrikum an. Die Aufrauhungs-Späne 5 werden während der Aufrauhung immer oder intermittierend so herausgefiltert, daß das saubere, von Aufrauhungs-Spänen 5 befreite Dielektrikum während der Aufrauhung an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zugeführt wird.
Im folgenden wird der Ablauf des Dielektrikumflusses während der Endbearbeitung in Anlehnung an Fig. 15 beschrieben. Vor der Endbearbeitungs-Operation wird die Pumpe 59 betätigt, um eine Rückspülung des Filterw 58 durchzuführen und um die in dem Filter 58 angesammelten Pulvermaterialien 7 in die Kammer 52 für das saubere Dielektrikum zu mischen. Das vollständig mit den Pulvermaterialien 7 gemischte Dielektrikum wird von der Pumpe 43 angesaugt und an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsverarbeitung und an den Entladungsspalt geführt. Das zur Endbearbeitung verwendete Dielektrikum wird aus dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung für das Abflußleitungs-Steuerventil 54 an die Kammer 52 über sauberes Dielektrikum zurückgeführt. Nach der Endbearbeitung wird die Pumpe 57, wie in Fig. 16 gezeigt, betätigt, um zu bewirken, daß die Pulvermaterialien 7 und die Späne 6 in der Kammer 52 für das saubere Dielektrikum von dem Filter 58 beseitigt werden, wodurch das Dielektrikum in der Kammer 52 für das saubere Dielektrikum gesäubert wird. Da die Pulvermaterialien 7 eine relativ lange Lebensdauer aufweisen und eine geringe Menge von Spänen 6 während der End- bzw. Feinbearbeitung erzeugt werden, muß das Filter 58 (wie vorher erläutert) und eine vorgegebene Menge von neuen Pulvermaterialien 7 nur nach jeden mehreren hundert Stunden geändert bzw. zugeführt werden.
Fig. 17 zeigt die Konfiguration einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die mit einem Spandichte-Sensor 50 in der Kammer 52 für das saubere Dielektrikum versehen ist, um so festzustellen, wenn die Späne 6 entfernt und die Pulvermaterialien 7 ausgewechselt werden sollten. Da der Verschlechterungsgrad der Pulvermaterialien 7 als eine Änderung des Partikeldurchmessers der Pulver angezeigt wird, kann ferner eine Partikelgrößenverteilungs-Meßeinrichtung 61 zur optischen Messung des pro Einheitsvolumen enthaltenen Pulvers oder dergleichen in der Kammer 52 für das saubere Dielektrikum angeordnet werden, um festzustellen, wann die Pulvermaterialien ausgewechselt werden sollten.
Fig. 18 zeigt die Konfiguration einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und die Fig. 19 bis 21 zeigen den Betrieb dieser Ausführungsform. Die Teile in diesen Zeichnungen, die mit denjenigen des Standes der Technik in Fig. 23 identisch sind oder diesen entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet und eine erneute Erklärung wird hier nicht vorgenommen.
Ein Dielektrikum-Behälter 70, zum Beispiel ein Tank und Steuerventile 71 und 72, werden verwendet, um das Dielektrikum während der Aufrauhungs- bzw. Endbearbeitungs-Operationen zuzuführen. Das Dielektrikum von dem Dielektrikum-Behälter 70 wird direkt in den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zugeführt. Eine Pumpe 73 wird verwendet, um das Dielektrikum zuzuführen und ist zwischen dem Dielektrikum-Behälter 70 und dem Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung über ein Filter 74 und über eine Zuführungsnebenschlußleitung 75 für das Dielektrikum verbunden. Die Steuerventile 71 und 72 besitzen die Aufgabe, zwischen dem Filter 74 und der Zuführungsnebenschlußleitung 75 für das Dielektrikum umzuschalten. Nach einer Endbearbeitungs-Operation wird die Pumpe 76 verwendet, um das Dielektrikum mit den Pulvermaterialien 7 an ein Filter 77 zu leiten, in dem das Pulver gespeichert ist und um sauberes Dielektrikum an den Dielektrikumbehälter 70 zur Verwendung während einer nachfolgenden Aufrauhungs-Operation, so wie dies oben beschrieben wurde, zurückzuführen. Nach einer Aufrauhungs-Operation und wenn eine andere Endbearbeitungs-Operation durchgeführt werden soll, wird eine Pumpe 78 verwendet, um eine Rückspülung der Pulvermaterialien 7 mit sauberem Dielektrikum durchzuführen und um das Endbearbeitungs-Dielektrikum an dem Behälter 70 bereitzustellen. Die in dem Filter 77 gespeicherten Pulvermaterialien 7 werden in das Dielektrikum gebracht und in den Dielektrikum-Behälter 70 gespeichert, indem ein Dielektrikumfluß in die entgegengesetzte Richtung bewirkt wird.
Der Betrieb der neunten Ausführungsform wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Die Fig. 19 zeigt die Abfolge des Dielektrikumflusses während einer Aufrauhung bzw. Grobbearbeitung. Das Dielektrikum in dem Dielektrikum-Behälter 70 wird durch die Dielektrikum-Zuführungspumpe 73 an das Filter 74 geliefert, dann von den Aufrauhungs-Spänen 5 gereinigt und an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung geschickt. Die Aufrauhungs-Späne 5 werden während der Aufrauhung immer gefiltert, so daß ein sauberes Dielektrikum ohne Aufrauhungs-Späen 5 immer an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung zugeführt und zur Aufrauhung verwendet wird.
Der Ablauf eines Dielektrikumflusses während einer End- bzw. Feinbearbeitung wird im folgenden gemäß Fig. 20 beschrieben. Vor der Endbearbeitung wird die Pumpe 78 betätigt, um eine Rückspülung des Filters 77 durchzuführen und um die in dem Filter 77 akkumulierten Pulvermaterialien 7 in den Dielektrikum-Behälter 70 zu mischen. Das vollständig mit den Pulvermaterialien 7 gemischte Dielektrikum wird durch die Pumpe 73 angesaugt und durch die Dielektrikum-Zuführungnebenschlußleitung 75 über das Dielektrikum-Zuführungssteuerventil 72 an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung geliefert. Obwohl das während der Endbearbeitung zugeführte Dielektrikum an den Behälter 3 zur elektrischen Entladungsbearbeitung ohne eine Filterung geliefert wird, stellt dies kein praktisches Problem dar, da die während einer Endbearbeitung erzeugte Menge von Spänen äußerst gering ist. Nach der Endbearbeitung wird die Pumpe 76, wie in Fig. 21 gezeigt, betätigt, so daß die Pulvermaterialien 7 und die Späne 6 in dem Dielektrikumbehälter 70 durch das Filter 77 entfernt werden, wodurch das Dielektrikum in dem Dielektrikum-Behälter 70 gereinigt wird. Das Filter 77 und die vorgegebene Menge von neuen Pulvermaterialien 7 muß nur nach jeden mehreren hundert Stunden ausgewechselt bzw. zugeführt werden.
Fig. 22 zeigt die Konfiguration einer zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die mit einem Spandichtesensor 79 in dem dielektrischen Behälter, z.B. einem Tank 70, versehen ist, um so festzustellen, wenn die Späne 6 entfernt werden und die Pulvermaterialien 7 ausgewechselt werden sollten.
Eine Partikelgrößenverteilungs-Meßeinrichtung 80 zur optischen Messung der pro Einheitsvolumen enthaltenen Pulver oder dergleichen kann in dem Dielektrikum-Behälter 70 eingebaut werden, um festzustellen, wann die Pulvermaterialien 7 ausgewechselt werden sollten.
Es ist nunmehr augenscheinlich, daß die Erfindung, so wie sie oben beschrieben wurde, eine Behandlungsvorrichtung für ein Dielektrikum vorsieht, die eine wiederholte Verwendung eines Dielektrikums mit Pulvermaterialien für eine lange Zeitperiode ermöglicht, wodurch kostenträchtige Pulvermaterialien mit hohem Wirkungsgrad verwendet werden können und wodurch eine Bearbeitung oder Oberflächenbehandlung unter Verwendung einer elektrischen Entladungsbearbeitung in wirtschaftlicher Weise ausgeführt werden kann.
Deshalb kann die vorliegende Erfindung eine wirtschaftliche elektrische Entladungsmaschine vorsehen, die eine hervorragende Bearbeitungsgenauigkeit und Bearbeitungseigenschaften und geringe Betriebskosten besitzt.
Obwohl die Erfindung in Verbindung mit mehreren bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist nicht beabsichtigt, daß sie darauf beschränkt ist und der vollständige Schutzumfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert.

Claims

1. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung, umfassend:

- einen Behälter (40, 50, 70) mit einer oder mehreren Kammern (51, 52), die ein Dielektrikum zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung enthalten;

- eine erste Filtereinrichtung für ein Dielektrikum (45, 56, 74), die in einem Flüssigkeitsverbindungsweg angeordnet ist, der den Behälter (40, 50, 70) und einen Behälter (3) zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung verbindet, zur Filterung eines Dielektrikums zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung, welches für Grobbearbeitungs-Operationen verwendet wird; und

- eine zweite Filtereinrichtung (48, 58, 77) für ein Dielektrikum, zur Filterung eines für Endbearbeitungs-Operationen verwendeten Dielektrikums zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung;

dadurch gekennzeichnet, daß

- die zweite Filtereinrichtung (48, 58, 77) für ein Dielektrikum eine bidirektionale Filtereinrichtung (47, 48, 49; 57, 58, 59; 76, 77, 78) umfaßt, deren Funktion darin besteht, im Ansprechen auf einen Dielektrikumfluß in einer ersten Richtung Partikelmaterial aus dem Dielektrikum zu filtern und im Ansprechen auf

einen Dielektrikumfluß in einer zweiten, zu der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung an das Dielektrikum vorher gefiltertes Partikelmaterial zurückzuführen.

2. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung, dadurch gekennzeichnet, daß das Dielektrikum zur elektrischen Entladungsbearbeitung, welches für eine Grobbearbeitungs-Operation verwendet wird und das Dielektrikum zur elektrischen Entladungsverarbeitung, welches für eine Endbearbeitungs-Operation verwendet wird, in zwei getrennten Behältern (20, 23) gespeichert werden.

3. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (40, 50, 70) in zwei Kammern (51, 52) unterteilt ist, die das Grobbearbeitungs-Dielektrikum bzw. das Endbearbeitungs-Dielektrikum enthalten.

4. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Einzelbehälter zur Aufnahme eines Dielektrikums zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung vorgesehen ist.

5. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Pumpe (59) zur Rückspülung von Pulvermaterialien (7) in der bidirektionalen Filtereinrichtung (58) und zur Schaffung von sauberem Dielektrikum aus dem Behälter (52), um so das Pulvermaterial (7) in der bidirektionalen Filtereinrichtung (58) in den Behälter (52), der das saubere Dielektrikum enthält, zu mischen, indem ein Fluß des Dielektrikums in die zweite Richtung bewirkt wird.

6. Eine Vorrichtung zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweites Dielektrikum zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung erstellt wird, indem Pulvermaterialien mit einem ersten Dielektrikum zur elektrischen Entladungs-Bearbeitung gemischt werden.