DE68905913T2

DE68905913T2 - Beschleunigungsmessaufnehmer.

Info

Publication number: DE68905913T2
Application number: DE89123528T
Authority: DE
Inventors: Shunichi C O Himeji Seisa Wada; Masayuki C O Himeji Jigyo Yano
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1988-12-23
Filing date: 1989-12-20
Publication date: 1993-09-30
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: EP0374870A3; AU599540B1; EP0374870B1; DE68905913D1; US5095751A; EP0374870A2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Beschleunigungssensor, der von einem oder mehreren piezoelektrischen Elementen Gebrauch macht, welche eine Vibration in einem Kraftfahrzeug od. dgl. ermitteln können.
Zum Ermitteln einer Vibration in einem Kraftfahrzeug ist ein Sensor der piezoelektrischen Art bisher verwendet worden. Dieser piezoelektrische Sensor ist beispielsweise in "Force and Acceleration Sensor (1)", S. 81 bis 85, von Keras, Folge Nr. 5, keramischer Sensor, 1975, Nr. 32, Ele- Cera Publishing Co., beschrieben.
Ein Beschleunigungssensor, der einen piezoelektrischen Sensor, wie er vorstehend beschrieben ist, eine Beschwerung und einen Ladungsverstärker verwendet, wird z. B an eine elektronische Steueraufhängungseinrichtung angebracht, welche eine Vibration in einem Kraftfahrzeug steuern kann, damit das Lenk- und Fahrgefühl verbessert wird.
Falls der piezoelektrische Sensor an die elektronische Steueraufhängungseinrichtung angebracht ist, wird, da der piezoelektrische Sensor eine hohe lmpedanz besitzt und kapazitiv ist, die Auseinandersetzung mit externem Geräusch zu einem Problem.
Dementsprechend sind Maßnahmen wie Einbauen einer Impedanzwandlungsschaltung und Erden einer der Elektroden eines piezoelektrischen Sensors über ein Gehäuse bisher vorgeschlagen worden, so daß das Gehäuse einen Abschirmeffekt schafft.
Bei diesem Anwendungsbeispiel wie bei einem Kraftfahrzeug, bei dem eine einzige Batterie-Stromquelle für die Aktivierung zur Verfügung steht und die Karosserie des Kraftfahrzeugs geerdet ist, ist jedoch, wenn eine der Elektroden eines piezoelektrischen Sensors über das Gehäuse geerdet ist, ein Signal zum Ermitteln der Beschleunigung hauptsächlich relativ zum Bodenpegel variabel, während ein Verstärker veranlaßt wird, das Signal auf der Basis des Gleichstrompegels zu verstärken, der durch Teilen der Quellenspannung durch Zwei erhalten wird. Unter dieser Bedingung ist es schwierig, die Variation in der Quellenspannung von den ermittelten Beschleunigungssignalen zu trennen, und daher sind die Signale gestört, was zur Folge hat, daß eine Quellenspannungsvariation sowie externe Geräusche auftreten.
Die GB-PS 1 258 176 zeigt eine elektrische Schaltung zum Senden und Verstärken des Ausgangssignals eines piezoelektrischen Sensors, der bipolar ist, von einem Gehäuse abgeschirmt wird und von dem aus sich eine isolierte und abgeschirmte, bipolare Signalleitung erstreckt. Die Schaltung ist eine Verstärkerschaltung, welche vom Erdpotential elektrisch isoliert ist und zwei Eingangsklemmen sowie zwei Ausgangsklemmen aufweist, wobei die Signalleitung mit den Eingangsklemmen verbunden ist. Zwei Eingangsklemmen eines Differentialverstärkers sind mit den Ausgangsklemmen der Verstärkerschaltung verbunden. Da diese elektrische Schaltung nur an einem Punkt geerdet ist, fließen keine Erdströme, so daß die Interferenz auf der hochohmischen Signalleitung unterdrückt wird.
Die US-PS 4 083 349 offenbart des weiteren einen Beschleunigungssensor mit einer Beschwerungseinrichtung und einer piezoelektrischen Einrichtung zum Erzeugen eines Signals durch eine von der Beschwerungseinrichtung bewirkte Druckbelastung in Abhängigkeit von der Beschleunigungsrate einer Vorrichtung. Eine auf Geschwindigkeit ansprechende Ladung wird einem Ladungswandler zugeführt, der ein elektrisches Signal erzeugt, das eine Spannung besitzt, welche proportional der Geschwindigkeit der Vorrichtung ist. Die piezoelektrische Einrichtung besteht aus einem Stapel piezoelektrischer Kristallelemente, die, zusammen mit der Beschwerungseinrichtung, durch einen Spannverbindungsbolzen auf einer kreisförmigen Grundplatte befestigt sind, welche aus nichtmagnetischem Stahl besteht. Diese Grundplatte ist auf der Vorrichtung ortsfest montiert und bildet einen Teil des die Beschwerungseinrichtung und die piezoelektrische Einrichtung umgebenden Gehäuses.
Der Beschleunigungssensor soll lediglich die Beschleunigung in der vertikalen Richtung, d. h. in der Richtung des Spannbolzens, ermitteln. Es sei jedoch bemerkt, daß die piezoelektrische Einrichtung aufgrund einer Beschleunigung in einer seitlichen Richtung einer von einer Rollbewegung bewirkten Kraft unterworfen wird, und folglich kann die piezoelektrische Einrichtung eine Ausgabe als Ergebnis der Rollbewegung erzeugen.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, der eine stabile Ermittlungssensitivität in der vertikalen Richtung der Beschleunigung, aber eine verminderte Ermittlungssensitivität in der seitlichen Richtung hat.
Diese Aufgabe wird durch einen Beschleunigungssensor gelöst, der eine Isolierungsplatte zum ortsfesten Montieren der Beschwerungseinrichtung und der piezoelektrischen Einrichtung, wobei die Platte am leitenden Gehäuse fixiert ist, und eine starre, metallene Einrichtung zum Stützen der Beschwerungseinrichtung und der piezoelektrischen Einrichtung umfaßt, wobei die starre, metallene Einrichtung einen U-förmigen Abschnitt hat, wobei die Isolierungsplatte in den U-förmigen Abschnitt eingesetzt ist und wobei die Beschwerungseinrichtung, die piezoelektrische Einrichtung sowie die starre, metallene Einrichtung an dem eingesetzten Abschnitt der Isolierungsplatte durch eine Fixiereinrichtung zusammen fixiert sind.
Weiter ist es, wenn ein Beschleunigungsmesser, der von einem piezoelektrischen Sensor und einer Beschwerung Gebrauch macht, in einem Kraftfahrzeug verwendet wird, notwendig, irgendwie die Pyroelektrizität oder die Charakteristik zu tilgen, bei der der piezoelektrische Sensor eine Ladung in Abhängigkeit von der Temperaturänderung erzeugt, damit nur stabile Beschleunigungssignale aufgenommen werden, und zwar ungeachtet einer Änderung in der Umgebungstemperatur.
Es ist daher ebenfalls eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Beschleunigungssensor zu schaffen, der in einem weiten Temperaturbereich und unter starker Temperaturänderung mit höchster Genauigkeit Verwendung findet.
Um diese Aufgabe zu lösen, umfaßt die piezoelektrische Einrichtung zwei piezoelektrische Elemente, welche elektrisch parallelgeschaltet und zwischen der Beschwerungseinrichtung und der Isolierungsplatte über einen Teil der starren, metallenen Einrichtung hintereinander angeordnet sind, und schließt die Fixiereinrichtung eine metallene Schraube und eine Mutter ein, wodurch die beiden piezoelektrischen Elemente thermisch symmetriert werden.
Nunmehr werden Ausführungsbeispiele eines Beschleunigungssensors gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert.
Fig. 1 zeigt ein schematisches Blockschaltbild, das ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
Fig. 2 ist ein Verdrahtungsschema des in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels, und
Fig. 3 ist eine Ansicht einer anderen piezoelektrischen Einrichtung im Schnitt, welche zur Verwendung in einem weiten Temperaturbereich geeignet ist.
In der Zeichnung bezeichnet bzw. bezeichnen das Bezugszeichen 1 ein leitendes Gehäuse, das Bezugszeichen 2 eine metallene Beschwerung, das Bezugszeichen 4 ein piezoelektrisches Element, die Bezugszeichen 5 und 15 eine Befestigungsschraube und eine Mutter, das Bezugszeichen 6 einen Ladungsverstärker und das Bezugszeichen 9 eine Isolierungsplatte, die eine Platine ist.
Das piezoelektrische Element 4 und die Beschwerung 2 sind an der Isolierungsplatte 9 durch die Befestigungsschraube 5 und die Mutter 15 befestigt, und die Platte wiederum ist an einer genau bestimmten (nicht gezeigten) Stelle auf dem leitenden Gehäuse 1 fixiert. Als Isolierungsplatte 9 findet, wie gesagt, eine Platine Verwendung, welche aus Epoxydharz oder aus Keramik besteht. Diese Platte 9 ermöglicht ein ortsfestes Montieren des Elements 4 und der Beschwerung 2 an das Gehäuse in einem nichtleitenden Zustand.
An der vorderen Seitenfläche und an der hinteren Seitenfläche des Elements 4 sind Elektroden 3a und 3b vorgesehen.
Die Elektrode 3b an der hinteren Seitenfläche des Elements 4 wird gegen die obere Fläche der Platte 9 gedrückt, während die Elektrode 3a zwischen die Beschwerung 2 und das Element 4 eingefügt ist. Diese Elektroden 3a und 3b sind jeweils mit Eingangsklemmen des Ladungsverstärkers 6 über Ausgangsleitungen 13 und 14 verbunden.
Der Ladungsverstärker 6 ist ebenfalls an der Platte 9 befestigt und dient zur Verstärkung eines Ermittlungssignals aus dem Element 4. Der Verstärker 6 wird zur Verringerung einer Fluktuation in einer Quellenspannung und einer Beeinflussung durch Geräusche verwendet, weil er über das leitende Gehäuse 1 nicht geerdet ist, dessen Potential sich auf Erdniveau befindet.
Das Bezugszeichen 7 bezeichnet einen Verstärker, der an der Isolierungsplatte 9 befestigt ist. Dieser Verstärker 7 wird zur Verstärkung der Ausgabe aus dem Ladungsverstärker 6 verwendet und weist eine Ausgangsklemme auf, welche mit der Eingangsklemme einer elektrischen Steuereinheit 11 über einen Drei-Klemmen-Kondensator 8b und einen Kondensator 10b der Durchgriffsart verbunden ist.
Das Bezugszeichen 12 bezeichnet eine Stabilisierungs- Stromquelle, welche aus der (nicht dargestellten) Stabilisierungs-Stromauellenschaltung der Steuereinheit 11 erhalten werden kann und dazu dient, die piezoelektrische Beschleunigungssensoreinheit einschließlich des Elements 4 und der Verstärker 6 und 7 mit der Stromquelle vom positiven Pol derselben her über eine Zuführungsleitung 31, einen Kondensator 10a der Durchgriffsart und einen Drei- Klemmen-Kondensator 8a zu versehen.
Der negative Pol der Stabilisierungs-Stromquelle 12 ist geerdet und über eine Erdungsleitung 32 ebenfalls mit dem elektrisch leitenden Gehäuse 1 verbunden. Das leitende Gehäuse 1 ist mit einem auf die Isolierungsplatte 9 gedruckten Erdabschnitt über eine Erdungsleitung 16 verbunden.
Die Erdabschnitte der auf diese Weise eingerichteten elektronischen Schaltungen auf der Isolierungsplatte 9 oder des Ladungsverstärkers 6 und des Verstärkers 7 sind über das leitende Gehäuse 1 mit der Erdungsleitung 32 verbunden. Somit wird der Abschirmeffekt durch das Gehäuse genutzt, und dadurch kann die Beeinträchtigung durch externes Geräusch gemindert werden.
Fig. 1 veranschaulicht ein verbessertes Verfahren zum Fixieren des Elements 4 und der Beschwerung 2, bei dem die Ermittlung in einer vertikalen Beschleunigungsrichtung stabil ist, während die unnötige Ermittlungssensitivität in einer seitlichen Richtung verringert wird.
Gemäß dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel soll der Beschleunigungssensor lediglich die Beschleunigung in einer vertikalen Richtung ermitteln. Es sei jedoch darauf hingewiesen, daß das piezoelektrische Element einer Kraft unterworfen wird, welche von einer Rollbewegung aufgrund einer Beschleunigung in einer seitlichen Richtung hervorgerufen wurde, und folglich kann das piezoelektrische Element eine Ausgabe als Ergebnis der Rollbewegung erzeugen.
Spezifischer ausgedrückt, gibt es ein Problem bezüglich des Verfahrens einer zuverlässigen mechanischen Fixierung des piezoelektrischen Elements 4 am Gehäuse, und zwar derart, daß es entsprechend der Fixiereinrichtung elektrisch isoliert ist.
Unter Berücksichtigung dieses Problems wird, wie in Fig. 1 dargestellt, von einer Platte 30 zur Verstärkung des Fixierabschnitts Gebrauch gemacht. Die Platte 30 besteht aus einem starren Material wie Metall und ist U-förmig ausgebildet. Die lsolierungsplatte 9 wird in die U-förmige Platte 30 eingeschoben, und das piezoelektrische Element 4 und die Beschwerung 2 werden auf der die Isolierungsplatte 9 einschließenden Platte 30 plaziert und an dieser durch die Befestigungsschraube 5 und die Mutter 15 fixiert, wodurch jede Rollbewegung verringert werden kann.
Da diese Platte 30 über die Isolierungsplatte 9 am leitenden Gehäuse 1 fixiert ist, kann sie ihre Isolierfunktion hinsichtlich des Gehäuses 1 beibehalten, während sie am Gehäuse mittels nicht dargestellter Schrauben od. dgl. auf zuverlässige Weise mechanisch fixiert ist, wodurch die Beschleunigungsermittlungsfähigkeit im mechanischen Sinn wie beim Stand der Technik realisiert werden kann.
Der Ladungsverstärker 6 ist wie in Fig. 2 gezeigt eingerichtet. Aus Fig. 2 geht hervor, daß das piezoelektrische Element 4 vom Erdungspotential abgenommen ist und daß das Potential einer der Elektroden 3b an dem durch die Widerstände R&sub1; und R&sub2; geteilten Potential festgemacht ist.
Im Verstärker 6 sind (+) Eingangs- und (-) Eingangsklemmen eines Rechenverstärkers 20 mit einer FET-Eingangsstufe über einen Widerstand R&sub3; miteinander verbunden. Demgemäß bewegen sich, selbst wenn der Pegel der Stromquelle fluktuiert, die Potentiale sowohl der (+) als auch der (-) Eingangsklemmen im Gleichklang, und dadurch kann die Beeinträchtigung des Ladungsverstärkers 6 durch irgendeine Fluktuation in der Stromquelle gemildert werden.
Ein Kondensator C&sub1; ist mit dem Widerstand R&sub3; parallelgeschaltet, und die Elektrode 3a des piezoelektrischen Elements 4 ist mit der (+) Eingangsklemme des Rechenverstärkers 20 verbunden, während die Elektrode 3b mit der (-) Eingangsklemme des Verstärkers 20 über den Widerstand R&sub4; verbunden ist. Der Kondensator C&sub1; wird eingebracht, um die Minimal-Ermittlungsfrequenz der zu ermittelnden Beschleunigung herabzusetzen. So kann beispielsweise, wenn die Minimal-Ermittlungsfrequenz auf 0,2 Hz eingestellt ist, der Wert von C&sub1; auf 0,047 µF und der von R&sub3; auf 15 MΩ eingestellt werden.
Durch Verwendung der Parallelschaltung des Kondensators C&sub1; und des Widerstands R&sub3; kann eine unnötige Driftspannung, die auf die Temperaturänderung zurückzuführen ist, verhindert werden, und zwar selbst wenn kein besonderes Tiefpaßfilter eingebracht ist.
Weiter ist es möglich, die Zeitkonstante wahlfrei und höchst genau auf einen Niederfrequenzbereich einzustellen, indem der Wert des Widerstands R&sub3; geringer als die Eingangsimpedanz des Rechenverstärkers 20 gemacht wird. Die Eingangsimpedanz des Verstärkers 20 mit der FET-Eingangsstufe liegt über 10&sup9;Ω und kann daher dem vorerwähnten Erfordernis entsprechen.
Der Widerstand R&sub5; ist zwischen die Ausgangsklemme des Rechenverstärkers 20 und die (-) Eingangsklemme desselben geschaltet. Der Ausgang des Rechenverstärkers 20 ist über den Verstärker 7, den Drei-Klemmen-Kondensator 8b und den Kondensator 10b der Durchgriffsart mit der Steuereinheit 11 verbunden.
Die Erdungselektrode des Kondensators 10b ist mit dem negativen Pol der Stromquelle 12 der Steuereinheit 11 über die Erdungsleitung 32 verbunden.
Die Stromquellenklemme des Verstärkers 7 ist mit dem positiven Pol der Stromquelle 12 über den Drei-Klemmen-Kondensator 8a, den Kondensator 10a der Durchgriffsart und eine Zuführungsleitung 31 verbunden.
Nunmehr wird die Arbeitsweise des in Fig. 1 und 2 dargestellten Beschleunigungssensors erläutert.
Wenn dem piezoelektrischen Element 4 aufgrund einer Beschleunigung die Druckbelastung der Beschwerung auferlegt wird, wird die Änderung der Ladung auf dem Element 4 in Abhängigkeit von der Rate der Beschleunigung hervorgerufen und auf den Ladungsverstärker 6 aufgebracht.
Die vom Element 4 erzeugte Ladung wird durch den Kondensator C&sub1; in ein Spannungssignal umgewandelt und zwischen die (-) und (+) Eingangsklemmen des Verstärkers 20 gelegt. Die Eingangsspannung wird durch den Rechenverstärker 20 und die Widerstände R&sub4; und R&sub5; (1 + R&sub5;/R&sub4;)mal verstärkt und weiter verstärkt durch den Verstärker 7 und danach über den Drei-Klemmen-Kondensator 8b und den Kondensator 10b der Durchgriffsart in die Steuereinheit 11 eingegeben.
Der Ladungsverstärker 6 ist so ausgelegt, daß er die durch das piezoelektrische Element 4 bewirkte Aenderung der Ladung in Spannung umwandelt und die umgewandelte Spannung präzise verstärkt, indem das Potential am piezoelektrischen Element 4 trotz Fluktuation in der Quellenspannung erdfrei gemacht wird. Folglich wird der Ladungsverstärker 6 durch Fluktuation in der Quellenspannung weniger betroffen und benötigt insbesondere keine Stabilisierungs-Stromquelle ausschließlich für die Beschleunigungssensoreinheit.
Daher kann, selbst wenn die Stabilisierungs-Stromquelle 12 der Steuereinheit 11 für die Sensoreinheit verwendet wird und der Strom von der Zuführungsleitung 31 aus zugeführt wird, der Verstärker 6 in einem stabilisierten Zustand betrieben werden.
Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, bei dem statt des in Fig. 1 und 2 dargestellten, einzigen piezoelektrischen Elements 4 zwei piezoelektrische Elemente 4a und 4b Verwendung finden, die miteinander elektrisch parallelgeschaltet sind.
Bei diesem zweiten Ausführungsbeispiel sind auf der oberen Fläche des Elements 4a und auf der unteren Fläche des Elements 4b Elektroden 3a und 3a vorgesehen, während eine Elektrode 3b zwischen der unteren Fläche des Elements 4a und der oberen Fläche des Elements 4b vorgesehen ist. Das U-förmige, starre, metallene Teil 30 ist, zusammen mit den Elementen 4a und 4b sowie der Beschwerung 2, an der Isolierungsplatte 9 durch die metallene Fixierschraube 5 und die (in Fig. 3 nicht dargestellte) Mutter fixiert.
Da die metallene Beschwerung 2 und das starre, metallene Teil 30 mittels der metallenen Fixiereinrichtung, also der Fixierschraube 5 und der Mutter 15, fixiert und thermisch verbunden sind, werden sie auf diese Weise thermisch symmetriert.
Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel wird, da sich eine Luftschicht im Inneren des Gehäuses 1 befindet und die Elemente 4a und 4b an der Isolierungsplatte 9 derart fixiert sind, daß sie vom Gehäuse thermisch isoliert sind, jeder von der Änderung in der Temperatur außerhalb des Gehäuses 1 herrührender Einfluß auf die Elemente 4a und 4b gemildert. Dieses Merkmal ist das gleiche wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel. Des weiteren kann bei dem zweiten Ausführungsbeispiel, da die Elemente 4a und 4b aufgrund der metallenen Beschwerung 2, des starren Teils 30 und der Befestigungsschraube 5 und der Mutter 15 Wärme zurückhalten, die Temperatur der Elemente abgeglichen werden und der Gradient der Temperaturänderung derselben sanfter verlaufen. Weiterhin werden, da die Elemente 4a und 4b symmetrisch angeordnet und elektrisch parallelgeschaltet sind, die Pyroelektrizitätscharakteristika auf diese Weise unschädlich gemacht.
Dementsprechend kann durch das zweite Ausführungsbeispiel die Beeinträchtigung durch die Pyroelektrizität, welche durch die Änderung in der Temperatur hervorgerufen wird, gemildert werden, und einer solchen Pyroelektrizität kann durch die Vielzahl von piezoelektrischen Elementen die Schädlichkeit genommen werden. Dieses Ausführungsbeispiel ist, spezifischer ausgedrückt, gegenüber Fluktuation in der Quellenspannung stabil, widerstandsfähig gegen ein Temperaturdriften und wird unnötiges Geräusch, das durch Vibration hervorgerufen wurde, nicht verstärken, weshalb der Beschleunigungssensor auch am besten zu einem Kraftfahrzeug paßt.
Obwohl zunächst die Beschleunigungsermittlung in der vertikalen Richtung beschrieben worden ist, kann eine ähnliche Wirkung im Falle einer Beschleunigungsermittlung in der linken und der rechten Richtung sowie in der Vorwärts- und der Rückwärtsrichtung erwartet werden, falls die Richtung der Fixierung des piezoelektrischen Elements und der Beschwerung (2) geändert wird.
Die Erfindung wurde im einzelnen mit speziellem Bezug auf bestimmte bevorzugte Ausführungsbeispiele derselben beschrieben, aber es versteht sich von selbst, daß Variationen und Modifikationen im Rahmen der vorliegenden Erfindung möglich sind, wie sie durch die beigefügten Ansprüche definiert ist. So kann bei den betreffenden Ausführungsbeispielen z. B. der Kondensator C&sub1; zum Umwandeln der Anderung der Ladung an dem piezoelektrischen Element oder an den piezoelektrischen Elementen in die entsprechende spannungsänderung derart ausgewählt werden, daß er einen positiven kapazitiven Temperaturkoeffizienten aufweist, wodurch eine Temperaturcharakteristik der Ermittlung kompensiert werden kann. Des weiteren sollten der Ladungsverstärker 6 und die starre, metallene Platte 30 nicht als auf die vorstehend beschriebenen beschränkt angesehen werden; auch andere Einrichtungen können Verwendung finden.

Claims

1. Beschleunigungssensor, bestehend aus:

einer Beschwerungseinrichtung (2);

einer piezoelektrischen Einrichtung (4; 4a, 4b) zum Erzeugen eines Signals durch eine von der Beschwerungseinrichtung (2) verursachte Druckbelastung in Abhängigkeit von der Beschleunigungsrate;

einer mit der piezoelektrischen Einrichtung (4; 4a, 4b) verbundenen Ladungsverstärkereinrichtung (6) zum Verstärken des von der piezoelektrischen Einrichtung (4; 4a, 4b) erzeugten Signals;

einem leitenden Gehäuse (1), dessen Potential auf dem Erdniveau gehalten wird, und

einer mit dem leitenden Gehäuse (1) gekoppelten Erdungsschaltung der Ladungsverstärkereinrichtung, so daß Eingangsklemmen des Verstärkers (6) im potentialfreien Zustand verbleiben,

gekennzeichnet durch

eine Isolierungsplatte (9) zum ortsfesten Anbringen der Beschwerungseinrichtung (2) und der piezoelektrischen Einrichtung (4; 4a, 4b), wobei die Platte am leitenden Gehäuse (1) befestigt ist, und

eine starre, metallene Einrichtung (30) zum Stützen der Beschwerungseinrichtung (2) und der piezoelektrischen Einrichtung (4; 4a, 4b) , wobei die starre, metallene Einrichtung (30) einen U-förmigen Abschnitt hat, wobei die Isolierungsplatte (9) in den U-förmigen Abschnitt eingesetzt ist und wobei die Beschwerungseinrichtung (2), die piezoelektrische Einrichtung (4; 4a, 4b) sowie die starre, metallene Einrichtung (30) an dem eingesetzten Abschnitt der Isolierungsplatte (9) durch eine Fixiereinrichtung (5, 15) zusammen fixiert sind.

2. Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische Einrichtung zwei piezoelektrische Elemente (4a, 4b) umfaßt, welche elektrisch parallelgeschaltet und zwischen der Beschwerungseinrichtung (2) und der Isolierungsplatte (9) über einen Teil der starren, metallenen Einrichtung (30) hintereinander angeordnet sind, und daß die Fixiereinrichtung eine metallene Schraube (5) und eine Mutter (15) einschließt, wodurch die beiden piezoelektrischen Elemente (4a, 4b) thermisch symmetriert werden.

3. Beschleunigungssensor nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierungsplatte (9) eine Platine umfaßt, auf der die Ladungsverstärkereinrichtung (6) angebracht ist.