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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft allgemein Knochensägeblätter und
Verfahren zur Herstellung von Knochensägeblättern. Insbesondere betrifft
die vorliegende Erfindung Knochensägeblätter mit einem harten verschleißfesten Überzug an
der Schneidfläche.
Die vorliegende Erfindung ist insbesondere, jedoch nicht ausschließlich, verwendbar
für ein
Knochensägeblatt
mit einem verformbaren Schneidabschnitt, der mit einem verschleißfesten Überzug beschichtet
ist und einer harten verschleißfasten Nabe
zum Anbringen des Blatts an einem Antriebswerkzeug.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Es
ist oftmals notwendig, einen Teil eines Patientenknochens auf chirurgischem
Weg herauszuschneiden. Um dies durchzuführen, ist eine Öffnung oder
ein Pfad zu dem Knochen notwendig, um den Knochen freizulegen. Um
die Größe dieses
Pfads zu minimieren, werden bei dem Herausschneidvorgang für gewöhnlich speziell
ge stattete Knochensägeblätter verwendet.
Genauer gesagt, ein typisches Knochensägeblatt hat eine dünne, flache,
langgestreckte Form mit einer Schneidkante an einem Ende. Die dünne flache
Ausgestaltung minimiert die Größe des notwendigen
Pfads und erlaubt, dass das Blatt während des Schnitts gegen eine
Schnittführung
gehalten werden kann, um einen genauen geraden Schnitt sicher zu
stellen. Die Schneidkante ist für
gewöhnlich entlang
einer Richtung ausgerichtet, die senkrecht zur Blattlänge ist
und enthält
eine Mehrzahl von Zähnen.
Wenn somit das Blatt in den Pfad eingeführt wird, kann die Schneidkante
gegen die Fläche
des Knochens gedrückt
werden, wo der Schnitt notwendig ist.
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Am
anderen Ende des Knochensägeblattes enthält das Blatt
einen Nabenabschnitt zur Anbringung an einem handbetätigten Antriebswerkzeug. Das
Antriebswerkzeug bringt auf das Blatt eine Hin- und Herbewegung
auf, was veranlasst, dass die Zähne
des Blatts sich entlang einer Schnittlinie, die co-linear mit der
Schneidkante ist, vor und zurück
bewegen.
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Während dieses
Vorgangs ist das Blatt verschiedenen Kräften unterworfen. Die Zähne und
Abschnitte des Blatts nahe der Zähne
unterliegen oftmals stoßartigen
Kräften,
wenn die oszillierenden Zähne
auf den harten Knochen auftreffen. Wenn die Zähne zu hart und bruchempfindlich
sind, können
die Stoßkräfte Risse
in den Zähnen
(oder Abschnitten des Blatts nahe den Zähnen) verursachen, die sich ausbreiten
und zu Mikrorissen im Blatt führen.
Im schlimmsten Fall kann einer oder können mehrere Zähne oder
sehr kleine Bruchstücke
von dem Blatt abbrechen und in dem Patienten verbleiben, was zu „Metalosis" führen kann.
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Zusätzlich zu
den stoßartigen
Kräften
unterliegen die Flächen
der Zähne
auch abnutzungsartigen Kräften,
welche Materialabtrag und Abnutzen der Zähne verursachen können. Diese
Vorgänge
neigen dazu, ein unerwünschtes
Abstumpfen der Zähne und
der Schneidkante zu verursachen. Andererseits ist im Gegensatz zu
den Kräften,
die auf die Zähne
an dem Schneidabschnitt einwirken, der dünne Schaft des Blatts (d. h.
der Abschnitt des Blatts zwischen dem Schneidabschnitt und dem Nabenabschnitt) üblicherweise
Dreh- und Biegekräften
während
eines Schnitts ausgesetzt, die dazu neigen, die Form des Blatts
zu ändern.
Um diese Formänderungen
zu minimieren, ist der Schaft bevorzugt aus einem relativ starken
und festen Material gemacht. Am Nabenabschnitt des Blatts werden
Schwingungskräfte
von dem Antriebswerkzeug auf das Blatt übertragen. Es versteht sich,
dass die Oberfläche
des Nabenabschnitts abnutzungsartigen Kräften unterworfen ist, die Materialabtrag
und Abnutzung verursachen können.
Unglücklicherweise
neigen diese Vorgänge
dazu, einen losen, nicht mehr passgenauen Sitz zwischen Blatt und
Antriebswerkzeug zu verursachen, was zu einem ungenauen Schnitt
führt.
Zusätzlich
ist der Nabenabschnitt ähnlich
wie der Schaft oftmals Dreh- und Biegekräften während eines Schnitts ausgesetzt,
welche die Form des Blatts verändern
können.
Somit ist der Nabenabschnitt des Blatts bevorzugt aus einem harten
festen Material gemacht, um Oberflächenabnutzung zu verhindern
und Verformungen zu minimieren.
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Es
ist eine wichtige Tatsache, das Festigkeit, Härte und Verformbarkeit vieler
technischer Werkstoffe unter Verwendung von Hitzebehandlung, Tempern
und Kaltbearbeitungsvorgängen
selektiv geändert
werden können.
Tempern ist eine thermische Behandlung, die oftmals verwendet wird,
um die Verformbarkeit und Zähigkeit
(auf Kosten der Härte)
von Stahl (einschließlich
rostfreien Stählen)
zu erhöhen. Metallurgisches
Tempern umfasst das Aussetzen eines Materials einer erhöhten Temperatur,
um Dislokationen, Fehlstellen und andere metastabile Zustände in dem
Material zu verringern. Andererseits erhöht eine Kaltbearbeitung von
Stahl durch Vorgängen
wie Kaltziehen oder Rollen die Dislokationsdichte im Material und
erhöht
somit die Festigkeit und Härte
(auf Kosten der Verformbarkeit) des Materials. Somit ist ein großer Bereich
mechanischer Eigenschaften für ein
gegebenes Material durch die selektive Verwendung von Kaltbearbeitungs-
und Tempervorgängen erhaltbar.
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Bislang
ist eine typische Vorgehensweise bei der Herstellung eines Knochensägeblattes
das Stanzen des Blatts aus einer kalt gewalzten Schicht aus rostfreiem
Stahl mit einer Härte über 42 auf
der Rockwelt-C-Skala (Rc 42). Danach werden,
während
das Blatt noch hart ist, die Zähne
herausgearbeitet. Unglücklicherweise
mangelt es in diesem kalt gewalzten Zustand den Zähnen an
Verformbarkeit und Zähigkeit.
Um im nachfolgenden Gebrauch Mikrorisse in oder nahe den Zähnen zu
verhindern, wird das gesamte Blatt typischerweise getempert, was
zu einem Blatt mit einer wesentlichen gleichförmigen Härte zwischen beispielsweise
annähernd
Rc 49 bis Rc 51 führt. Obgleich
diese Temperbehandlung den Zähnen
eine gewisse Verformbarkeit verleiht, werden die Oberflächen der
Zähne des
Nabenabschnitts auch weicher, was zu erhöhter Abnutzung führt. Ein
anderer Nachteil, der auftritt, wenn das gesamte Blatt getempert
wird, ist, dass die Festigkeit des Blattschafts wesentlich verringert
wird, was die Neigung des Blatts erhöht, sich im Gebrauch zu verformen.
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Angesichts
des obigen ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Knochensägeblatt
bereit zu stellen, das zusammen mit einem Schneidabschnitt einen
starken Nabenabschnitt hat, wobei eine Beschichtung aus hartem verschleißfesten
Material vorhanden ist. Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, Verfahren zur Herstellung eines Knochensägeblatts
aus rostfreiem Stahl mit einem Schneidabschnitt mit einer Härte von
zwischen annähernd
Rc 42 und Rc 58
und ei nem Schaft- und Nabenabschnitt mit einer Härte zwischen annähernd Rc 49 und Rc 63 bereit
zu stellen. Es ist noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
ein Verfahren zur Herstellung eines Knochensägeblatts aus rostfreiem Stahl
mit einem bruchbeständigen
und verformungsbeständigen
Schneidabschnitt zusammen mit einem starken verschleißfesten
Schaft- und Nabenabschnitt zu schaffen. Noch eine andere Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein Knochensägeblatt aus rostfreiem Stahl
zu schaffen, das sicher im Gebrauch ist, sich nicht ohne weiteres
abstumpft und vergleichsweise kosteneffizient ist.
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ZUSAMMENFASSUNG BEVORZUGTER
AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Die
vorliegende Erfindung ist auf ein Knochensägeblatt und ein Verfahren zur
Herstellung eines Knochensägeblatts
gerichtet. Allgemein gesagt, das Knochensägeblatt enthält einen
Blattkörper,
der teilweise mit einem harten verschleißfesten Überzug beschichtet ist. Was
die Form betrifft, so ist der Blattkörper mit einer ersten im Wesentlichen
flachen Oberfläche
und einer gegenüberliegenden
zweiten im Wesentlichen flachen Oberfläche versehen. Zwischen den
flachen Oberflächen
kann der Blattkörper als
relativ dünn
im Querschnitt charakterisiert werden. Folglich kann eine Blattdicke
t als die Dicke zwischen den flachen Oberflächen definiert werden. Zusätzlich ist
der dünne
Blattkörper
langgestreckt und definiert in Richtung der Längserstreckung eine Längsachse.
Für die
vorliegende Erfindung lässt
sich der Blattkörper
weiterhin dadurch charakterisieren, dass er drei unterscheidbare
Abschnitte hat. Insbesondere enthält der Blattkörper an
einem Ende des Blattkörpers
einen Schneidabschnitt, am gegenüberliegenden
Ende des Blattkörpers
einen Nabenabschnitt und zwischen dem Schneidabschnitt und dem Nabenabschnitt
einen Schaft.
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Innerhalb
des Nabenabschnitts ist der Blattkörper bevorzugt mit einer oder
mehreren Vertiefungen, Löchern
oder Schlitzen für
einen Eingriff mit einem handbetätigten
Antriebswerkzeug versehen. Am anderen Ende des Blattkörpers enthält der Schneidabschnitt
eine Mehrzahl von Zähnen,
die eine Schneidkante definieren. Bevorzugt erstreckt sich die Schneidkante
in eine Richtung, die senkrecht zur Längsachse ist und liegt innerhalb
der Ebene des dünnen
Knochensägeblatts.
Der Schneidabschnitt enthält
weiterhin annähernd
3 bis 7 mm des Blatts, welche zwi schen den Zähnen und dem Blattkörper liegen.
Wie nachfolgend noch beschrieben wird, ist auf die Oberfläche des
Schneidabschnitts ein harter verschleißfester Überzug aufgebracht.
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Für die vorliegende
Erfindung ist der Blattkörper
bevorzugt aus einem rostfreien Stahlmaterial hergestellt, kann jedoch
auch unter Verwendung von Titan- und Zirkonlegierungen hergestellt
sein. Wesentlich ist, dass das Herstellungsverfahren, das zur Bereitstellung
des Blatts verwendet wird, so gesteuert wird, das bestimmte mechanischen
Eigenschaften innerhalb der unterschiedlichen Blattkörperabschnitte
erzeugt werden. Genauer gesagt, das Blatt wird hergestellt mit einem
Schneidabschnitt, der relativ verformbar mit einer Rockwelt-Härte zwischen
annähernd
Rc 42 und Rc 58
ist. Diese Verformbarkeit erlaubt, dass der Schneidabschnitt einschließlich der Zähne stoßartige
Kräfte
ohne Brüche
aufnehmen kann. Dem gegenüber
werden der Schaft- und Nabenabschnitt so hergestellt, dass sie relativ
stark und hart mit einer Rockwell-Härte zwischen annähernd Rc 49 und Rc 63 sind.
Der starke Schaft verhindert eine unerwünschte Verformung des Blatts
während
des Schnitts und der harte Nabenabschnitt unterbindet Abnutzung
und verhindert, dass die Befestigung zwischen Blatt und Antriebswerkzeug
lose und nicht mehr passgenau wird.
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Gemäß dem Verfahren
der vorliegenden Erfindung wird der Blattkörper zunächst mit einer im Wesentlichen
gleichförmigen
und durchgängigen Rockwell-Härte zwischen
annähernd
Rc 42 und Rc 63 gebildet.
Nachfolgend wird die Oberfläche
des Schneidabschnitts mit einem harten verschleißfesten Überzug beschichtet. Bevorzugt
ist der Überzug
ein Metallnitridüberzug,
der auf dem Schneidabschnitt unter Verwendung eines kathodischen
Lichtbogenprozesses abgeschieden wird. Während des Abscheidungsprozesses
erzeugt das Auftreffen von Ionen auf der Oberfläche des Schneidabschnitts Hitze, welche
den Schneidabschnitt tempert. Wie für die vorliegende Erfindung
angestrebt, verringert dieses Tempern die Härte des Schneidabschnitts von
einer Härte
im Bereich zwischen Rc 49 und Rc 63
auf eine Härte
in einem Bereich zwischen annähernd
Rc 42 und Rc 58,
was von den verwendeten Materialien abhängig ist.
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Es
ist wichtig, dass bei den Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung
ein wesentliches Tempern von Schaft- und Nabenabschnitt während des Beschichtungsvorgangs
verhindert wird. Insbesondere wird während des Beschichtungsvorgangs
eine Mehrzahl von Blattkörpern
in einer Befestigung aufeinander gestapelt. Blattrohlinge werden
zwischen benachbarten Blattkörpern
innerhalb des Stapels angeordnet. Jeder Rohling hat im Wesentlichen
die gleiche Form wie die Blattkörper,
wobei jeder Rohling etwas größer als
die Blattkörper
ist. Diese Rohlinge unterscheiden sich auch von den Blättern dahingehend, dass
die Rohlinge keinen Schneidabschnitt enthalten. Somit sind die Rohlinge
etwas kürzer
als die Blätter.
Durch Kooperation in diesem Aufbau werden der Schaft- und Nabenabschnitt
eines jeden Blatts zwischen einem Paar von Rohlingen in dem Stapel eingeschlossen.
Andererseits liegt der Schneidabschnitt eines jeden Blattkörpers frei
und ein Spalt (mit einer Dicke gleich der Dicke d eines jeden Rohlings)
ist zwischen benachbarten Schneidabschnitten gebildet.
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Während der
Beschichtung der Schneidabschnitte sind die Blattkörper und
die Rohlinge miteinander kombiniert, um eine große Masse zu bilden, welche
die Hitze absorbiert, die auf Grund des Ionenauftreffens auf die
Schneidabschnitte erzeugt wird. Durch die Gestaltung ist die Masse
(aus Blättern
und Rohlingen) groß genug,
um zu verhindern, dass die Hitze die Masse über die Temperatur bringt,
die zum Tempern des Materials des Blattkörpers notwendig ist. Der freiliegende
Schneidabschnitt wird jedoch durch die Hitze in einen verformbaren
Zustand getempert. Die vorab gebildete Festigkeit von Schaft- und
Nabenabschnitten wird jedoch während
des Beschichtungsvorgangs beibehalten.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
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Die
neuen Merkmale dieser Erfindung, sowie die Erfindung selbst sowohl
hinsichtlich Aufbau als auch Arbeitsweise lässt sich am Besten aus der
beigefügten
Zeichnung verstehen, die in Zusammenschau mit der beigefügten Zeichnung
zu sehen ist, wobei gleiche Bezugszeichen gleiche Teile betreffen und
in der:
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1 eine
perspektivische Ansicht eines Knochensägeblatts gemäß der vorliegenden
Erfindung ist;
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2A eine
vergrößerte Schnittdarstellung eines
Teils des Schneidabschnitts des Blatts entlang Linie 2-2 in 1 ist,
wobei ein Überzug
in Form einer einzelnen Schicht gezeigt ist;
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2B eine
vergrößerte Schnittdarstellung wie
in 2A ist, wobei eine andere Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung gezeigt ist, wo ein Überzug
mit zwei Schichten verwendet wird;
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2C eine
vergrößerte Schnittdarstellung wie 2A ist,
wo eine andere Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gezeigt ist, bei der ein Überzug mit
vier Schichten verwendet wird;
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2D eine
nicht maßstabsgerechte
vergrößerte Schnittdarstellung
entlang Linie 2-2 in 1 ist, wo ein Zahn gezeigt ist,
der beschichtet worden ist, wonach dann ein Teil des Überzugs
entfernt wurde, um einen Zahn bereit zu stellen, der selbstschärfend ist;
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3 eine
perspektivische Ansicht einer Befestigung ist, welche das Blatt
von 1 zwischen zwei Blattrohlingen eingeschlossen
hält;
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4 eine
Draufsicht auf das Blatt von 1, positioniert
auf einem Blattrohling ist;
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5 einen
Seitenansicht eines Stapels aus Blättern und Rohlingen, positioniert
in einer Beschichtungsbefestigung, ist;
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6 eine
schematische Draufsicht und ein Steuerdiagramm einer Abscheidungsvorrichtung
zur Verwendung bei der Erfindung ist;
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7 eine
schematische perspektivische Ansicht eines Details der Abscheidungsvorrichtung von 6 ist;
und
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8 eine
schematische Schnittdarstellung einer bevorzugten kathodischen Lichtbogenquelle entlang
Linie 8-8 in 7 ist.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORM
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Bezugnehmend
auf 1, so ist dort ist ein Knochensägeblatt
gemäß der vorliegenden
Erfindung gezeigt und insgesamt mit 10 bezeichnet. Wie in 1 gezeigt,
hat das Blatt 10 einen Blattkörper 11, der im Wesentlichen
flach und bevorzugt relativ dünn
im Querschnitt ist. Zusätzlich
ist der dünne Blattkörper 11 langgestreckt
und definiert in Richtung der Längserstreckung
eine Längsachse 12.
Für die vorliegende
Erfindung gemäß 1 lässt sich
der Blattkörper 11 dadurch
charakterisieren, dass er drei unterscheidbare Abschnitte hat, nämlich einen Schneidabschnitt 14,
einen Nabenabschnitt 16 und einen Schaft 18, der
zwischen dem Schneidabschnitt 14 und dem Nabenabschnitt 16 liegt.
Wie nachfolgend genauer beschrieben (und in 2A gezeigt) wird,
ist ein Überzug 19 auf
dem Schneidabschnitt 14 des Blattkörpers 11 abgeschieden.
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Weiterhin
bezugnehmend auf 1, kann gesehen werden, dass
der Nabenabschnitt 16 mit Vertiefungen 21a, 21b für einen
Eingriff mit einem handbetätigten
Antriebswerkzeug (nicht gezeigt) versehen ist. Der Fachmann auf
dem vorliegenden Gebiet erkennt, dass andere Arten von Nabenausgestaltungen,
welche verschiedene Schlitze, Löcher oder
Vertiefungen enthalten, bei dem Blatt 10 der vorliegenden
Erfindung verwendet werden können.
Es versteht sich weiterhin, dass das Antriebswerkzeug im Betrieb
das Blatt 10 hin- und herzubewegen vermag und dass ein
passgenauer Sitz zwischen dem Nabenabschnitt 16 und dem
Antriebswerkzeug notwendig ist, um einen genauen Schnitt erreichen
zu können.
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Weiterhin
bezugnehmend auf 1, so kann man sehen, dass der
Schneidabschnitt 14 des Blatts 10 eine Mehrzahl
von auf einer Linie liegenden oder zueinander versetzten Zähnen 20 enthält, die
eine Schneidkante 22 definieren. Wie gezeigt erstreckt sich
die Schneidkante 22 bevorzugt in eine Richtung, die senkrecht
zur Längsachse 12 ist
und innerhalb der Ebene des dünnen
Knochensägeblatts 10 liegt. Zusätzlich zu
den Zähnen 20 enthält der Schneidabschnitt 14 weiterhin
einen Ab schnitt des Blatts 10, der zwischen den Zähnen 20 und
dem Schaft 18 liegt. In einer bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung enthält
der Schneidabschnitt 14 die Zähne 20 und einen Abschnitt
des Blattkörpers 11,
der sich entlang der Achse 12 um annähernd 3 bis 7 mm nach innen
in Richtung des Schafts 18 erstreckt.
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Gemeinsam
bezugnehmend auf die 1 und 2A erkennt
man, dass ein Überzug 19 auf der
Oberfläche 26 des
Schneidabschnitts 14 abgeschieden ist (d.h. ein Überzug 19 ist
auf der Oberfläche
der Zähne 20 abgeschieden
und auf dem oben beschriebenen Abschnitt des Blattkörpers 11,
der zwischen den Zähnen 20 und
dem Schaft 18 liegt). Wie nachfolgend noch genauer erläutert, ist
der Überzug 19 bevorzugt
unter Verwendung einer kathodischen Lichtbogenquelle abgeschieden,
er kann aber auch unter Verwendung einer thermischen Verdampfung
oder durch Magnatron-Sputtern
abgeschieden sein. Wie gezeigt enthält der Überzug 19 eine Schicht 28,
die bevorzugt aus einem Metallnitridmaterial ist. Beispiele von
Metallnitriden, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden
können, umfassen
Nitride von Vanadium, Chrom, Zirkon, Titan, Niob, Molybdän, Hafnium,
Tantal und Wolfram. In bevorzugteren Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
werden Metallnitride von Chrom, Zirkon, Titan oder Hafnium verwendet.
Kohlenstoff kann hinzugefügt
werden, um Kohlenstoffnitride der gleichen Metalle zu bilden.
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Wie
in 2B gezeigt, kann in einer anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung ein mehrschichtiger Überzug 19' auf der Oberfläche 26 des
Schneidabschnitts 14 abgeschieden werden. Wie weiterhin
gezeigt, kann der mehrschichtige Überzug 19' eine Metallschicht 30 und
eine Schicht 28 enthalten, die bevorzugt ein Metallnitridmaterial wie
oben beschrieben ist. Beispiele von Metallen, die in der Metallschicht 30 der
für die
vorliegende Erfindung verwendet werden können, enthalten Vanadium, Chrom,
Zirkon, Titan, Niob, Molybdän,
Hafnium, Tantal und Wolfram. Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird die Metallschicht 30 verwendet, um eine Anhaftung
zwischen der Metallnitridschicht 28 und der Oberfläche 26 des
Schneidabschnitts 14 zu fördern.
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Bezugnehmend
auf 2C, so ist dort eine andere Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gezeigt, wo der Überzug 19'' einander abwechselnde Schichten aus
Metall 30a, b (wie oben beschrieben) und Metallnitrid 28a,
b (wie oben beschrieben) auf der Oberfläche 26 des Schneidabschnitts 14 enthält. Obgleich
in der 2C vier Schichten gezeigt sind, versteht
sich, dass ein Überzug 19'' mit jeder Anzahl von Metallschichten 30a,
b und jeder Anzahl von Schichten aus Metallnitrid 28a,
b gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet werden kann.
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Falls
gewünscht
kann der Überzug 19 von
einer Oberfläche 31 entfernt
werden, wie in 2D gezeigt. Funktionell schafft
das Entfernen des Überzugs 19 von
einer Oberfläche 31 eines
jeden Zahns 20 eine Klinge 10, die selbstschärfend ist.
In einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung erfolgt die Entfernung des Überzugs
durch einen Schleifvorgang.
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Zurückkehrend
zu 1, kann erkannt worden, dass der Blattkörper 11,
der den Schneidabschnitt 14, den Schaft 18 und
Nabenabschnitt 16 enthält,
bevorzugt einstückig
ausgebildet ist. Für
die vorliegende Erfindung ist der Blattkörper 11 bevorzugt
aus einem Stahlmaterial. In bevorzugteren Ausführungsformen ist der Blattkörper 11 aus
rostfreiem Stahl wie 716, 440, 420, 410, 301, 302, 316 oder anderen,
wobei rostfreie Nicht-Stahlmaterialien wie Titan- und Zirkonlegierungen
enthalten seien. Dies sind bevorzugte Materialien auf Grund ihrer
Korrosionsfestigkeit und Biokompatibilität. Es ist wichtig, dass das
Herstellungsverfahren, das zur Herstellung des Blatts 10 verwendet
wird, so ausgelegt ist, dass bestimmte mechanische Eigenschaften
innerhalb der unterschiedlichen Abschnitte des Blattkörpers 11 (d. h.
des Schneidabschnitts 14, des Schafts 18 und des Nabenabschnitts 16)
erzeugt werden. Genauer gesagt, das Blatt 10 wird hergestellt
mit einem Schneidabschnitt 14, der relativ verformbar mit
einer Rockwelt-Härte
zwischen annähernd
Rc 42 und Rc 58
ist. Andererseits werden der Schaft 18 und der Nabenabschnitt 16 relativ
fest und hart mit einer Rockwelt-Härte zwischen annähernd Rc 42 und Rc 63 hergestellt.
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Gemäß den Verfahren
der vorliegenden Erfindung wird der Körper 11 des Blatts 10 zunächst mit einer
im Wesentlichen gleichförmigen
durchgängigen Rockwell-Härte zwischen annähernd Rc 49 und Rc 63 gestellt.
Beispielsweise wird der Körper 11 aus
einer Schicht eines Materials mit gleichförmiger Härte gestanzt oder der Blattkörper 11 kann
unter Verwendung von Techniken, die im relevanten Stand der Technik
bekannt sind, geschmiedet werden. Sobald die allgemeine Form des
Körpers 11 erreicht
worden ist, können
Einzelheiten wie die Zähne 20 herausgearbeitet
werden.
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Mit
dem Körper 11 mit
gleichförmiger
Härte zwischen
annähernd
Rc 49 und Rc 63
ist der nächste Schritt
des erfindungsgemäßen Verfahrens,
den Schneidabschnitt 14 mit einem harten verschleißfesten Überzug 19 zu
beschichten (s. 2A). Wie nachfolgend beschrieben
wird, wird bevorzugt ein kathodischer Lichtbogenprozess verwendet,
um den Überzug 19 abzuscheiden.
Bei diesem Vorgang wird auf Grund eines Ionenauftreffens Hitze erzeugt,
welche den Schneidabschnitt 14 tempert. Es ist wichtig, dass
gemäß dem Verfahren
der vorliegenden Erfindung ein herkömmliches Tempern des Schafts 18 und
des Nabenabschnittes 16 während des Beschichtungsprozesses
verhindert wird. Genauer gesagt, eine Befestigung wird verwendet,
um die Temperatur des Schafts 18 und des Nabenabschnitts 16 während des
Beschichtens des Schneidabschnittes 14 zu steuern, um ein
wesentliches Tempern des Schafts 18 und Nabenabschnitts 16 zu
verhindern.
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Bezugnehmend
auf 3, so ist dort eine Befestigung 32 zur
Verwendung während
des Beschichtungsschritts der vorliegenden Erfindung gezeigt. Wie
gezeigt hat die Befestigung 32 eine Basis 34 und
Stäbe 36a,
b, die sich von der Basis 34 aus erstrecken. Wie weiterhin
gezeigt ist eine Mehrzahl von Blattrohlingen 38a, b auf
den Stäben 36a,
b angeordnet. Bezugnehmend auf 4, so kann
gesehen werden, dass jeder Rohling 38 im Wesentlichen die gleiche
Form wie der Blattkörper
hat, mit der Ausnahme, dass der Rohling 38 etwas breiter
als der Blattkörper 11 ist
und der Rohling 38 keinen Schneidabschnitt 14 enthält. Somit
ist jeder Rohling 38 etwas kürzer als der Blattkörper 11.
Bezugnehmend auf die 3 und 4 kann gesehen
werden, dass der Schaft 18 und der Nabenabschnitt 16 eines
jeden Blattkörpers 11 zwischen
einem Paar von Rohlingen 38a, b eingeschlossen ist. Wenn
der Schaft 18 und der Nabenabschnitt 16 zwischen
den Rohlingen 38a, b eingeschlossen ist, bleibt der Schneidabschnitt 14 eines
jeden Blattkörpers 11 freiliegend,
um den Überzug 19 aufzunehmen
(s. 2A).
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung gemäß 5 wird
ein Stapel 40 mit einer Mehrzahl von Blattkörpern, wie
den Blattkörpern 11a bis
c und einer Mehrzahl von Rohlingen, wie 38c bis f auf der
Befestigung 32 für
den Beschichtungsschritt angeordnet. Für die vorliegende Erfindung
kann zwischen einem und Hundert oder mehr Blattkörpern 11 in jedem
Stapel 40 angeordnet werden. Wie in 5 gezeigt
hat jeder Blattkörper 11 eine
Dicke t und jeder Rohling 38 hat eine Dicke d. Somit sind
benachbarte Blattkörper 11 innerhalb
des Stapels 40 um einen Spalt voneinander getrennt, der eine
Dicke gleich der Dicke d eines jeden Rohlings 38 hat.
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Funktionell
sind die Blattkörper 11 und
Rohlinge 38 im Stapel 40 kombiniert, um eine relativ
große
Masse zu bilden. Auf Grund dieser relativ großen Masse ist die auf Grund
von Ionenauftreffen während des
Beschichtens der Schneidabschnitte 14 erzeugte Hitze unzureichend,
den Schaft 18 und den Nabenabschnitt 16 eines
jeden Blattkörpers 11 über die Tempertemperatur
des Blattmaterials (z. B. rostfreien Stahls) zu erhitzen. Somit
wird nur der freiliegende Schneidabschnitt 14 während des
Beschichtens in einen verformbaren Zustand getempert. Das beschichtete
Blatt 10, das sich ergibt, hat einen Schneidabschnitt 14,
der relativ formbar mit einer Rockwell-Härte zwischen annähernd Rc 42 und Rc 58 ist
und einem Schaft 18 und Nabenabschnitt 16, die relativ
fest und hart mit einer Rockwelt-Härte zwischen annähernd Rc 49 und Rc 63 sind.
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Verschiedene
Faktoren werden bei der Auswahl der Dicke d der Blattrohlinge 38 berücksichtigt. Eine
erste Berücksichtigung
ist, wie oben ausgeführt, die
Masse, die notwendig ist, um ein Tempern des Schafts 18 und
des Nabenabschnitts 16 eines jeden Blattkörpers 11 zu
verhindern. Werden andere Faktoren konstant gehalten, erkennt man,
dass eine Erhöhung
der Dicke d der Rohlinge 38 effektiv die Masse des Stapels 40 erhöht. Eine
andere Berücksichtigung ist
der Betrag des Ionenauftreffens, der im Schneidabschnitt 14 erfolgt.
Für progressiv
dickere Blattkörper 11 sind
zunehmende Pegel an Ionenauftreffung notwendig, um den dickeren
Schneidabschnitt 14 zu tempern. Diese erhöhten Pegel
an Ionenauftreffung lassen sich erhalten, in dem der Abstand zwischen benachbarten
Schneidabschnitten 14 im Stapel 40 erhöht wird,
was erreicht werden kann, wenn dickere Blattrohlinge 38 verwendet werden.
Somit fördert
die Dicke t des Blattkörpers 11 die
Dicke d der Blattrohlinge 38, die notwendig ist, um sowohl
sicher zu stellen, dass der Schneidabschnitt 14 passend
getempert wird, als auch zu verhindern, dass der Schaft 18 und
der Nabenabschnitt 16 eines jeden Blattkörpers 11 getempert
werden.
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Die 6 und 7 zeigen
eine bevorzugte Abscheidungsvorrichtung 50 zum Beschichten
der Blattkörper 11,
obgleich andere betreibbare Abscheidungsvorrichtungen verwendet
werden können.
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Die
Abscheidungsvorrichtung 50 enthält eine Kammer 52 mit
einem Körper 54 und
einer Tür 56, die
für einen
Zugang in das Innere der Kammer 52 geöffnet werden kann und die hermetisch
den Körper 54 verschließt, wenn
die Kammer 52 in Betrieb ist. Das Innere der Kammer 52 ist
durch eine Vakuumpumpe 58 über ein Rückschlagventil 60 gesteuert evakuierbar.
Die Vakuumpumpe 58 enthält
eine mechanische Pumpe und eine Diffusionspumpe, die auf übliche Weise
zusammenwirken. Das Innere der Kammer 52 kann steuerbar
mit einem bestimmten Gas von einer Gasquelle 62 über ein
Füllventil 64 auf Partialdruck
zurückbefüllt werden.
Die Gasquelle 62 enthält
typischerweise verschiedene separat betätigbare Gasquellen. Die Gasquelle 62 enthält für gewöhnlich eine
Quelle 62a eines in Inertgases wie Argon, eine Quelle 62b von
Stickstoffgas und eine Quelle 62c eines kohlenstoffhaltigen
Gases wie Acetylen, wobei jedes Gas selektiv und unabhängig über ein
entsprechendes Wahlventil 65a, 65b oder 65c zuführbar ist.
Andere Gasarten können
bei Wunsch ebenfalls bereit gestellt werden.
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Der
Druck innerhalb der Kammer 52 wird durch ein Unterdruckmeter 66 überwacht,
dessen Ausgangssignal einer Drucksteuerung 68 zugeführt wird.
Die Drucksteuerung 68 steuert die Einstellungen des Rückschlagventils 60 und
des Füllventils 64 (und
optional der Wahlventile 65), was einen Ausgleich aus Abpumpen
und Rückfüllgasfluss
hervorruft, womit ein gewünschter
Druck in der Kammer 52 und somit Druckwert am Unterdruckmeter 66 erzeugt.
Somit ist die gasförmige
Rückflussatmosphäre innerhalb
der Kammer 52 bevorzugt eine strömende oder dynamische Atmosphäre.
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Wenigstens
zwei und bevorzugt (wie gezeigt) vier lineare Abscheidungsquellen 70 sind
im Inneren der Kammer 52 in einer umfangsseitig beabstandeten
Weise angeordnet. In 6 sind die vier Abscheidungsquellen
als voneinander getrennte Quellen 70a, 70b, 70c und 70d bezeichnet
und sie werden individuell in der nachfolgenden Beschreibung angesprochen.
Die vier Abscheidungsquellen 70 sind im Wesentlichen rechteckförmige Körper deren
größte rechteckförmige Abmessung
parallel/langgestreckt zu einer Quellenachse 72 ist. Diese Art
von Abscheidungsquelle unterscheidet sich von entweder einer ortsfesten
Punktquelle oder einer Punktquelle die sich entlang der Länge des
Substrats während
der Abscheidungsvorgänge
bewegt.
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Ein
Substratträger 74 ist
in der Kammer 52 angeordnet. Der Substratträger 74 erzeugt
eine zusammengesetzte Drehbewegung eines hierauf angeordneten Substrats.
Ein bevorzugter Substratträger 74 enthält einen
Drehträger 76,
der um eine Drehachse 78 unter Antrieb eines Antriebsmotors 80 unterhalb
des Drehträgers 76 dreht.
Auf dem Drehträger 76 befindet
sich wenigstens eine und bevorzugt (wie gezeigt) sechs Planetenträger 82.
Die Planententräger 82 werden
um eine Drehachse 84 durch einen Planetenantriebsmotor 86 unterhalb
der Planetenträger 82 angetrieben.
Die Drehzahlen des Drehantriebsmotors 80 und Planetenantriebsmotor 86 werden
durch eine Drehsteuerung 88 gesteuert. Die Drehsteuerung 88 dreht
den Drehträger 76 bevorzugt mit
ungefähr
einer Umdrehung pro Minute (rpm).
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Weiterhin
bezugnehmend auf die 6 und 7 sind zur
Abscheidungsbearbeitung einer oder mehrere Stapel, beispielsweise
Stapel 40a, b mit den Blattkörpern 11 und den Rohlingen 38 (s. 5)
an Befestigungen 32a, b angeordnet, wie oben beschrieben
und die Befestigungen 32a, b sind wie gezeigt auf dem Planetenträger 82 angeordnet.
Für übliche Vorgänge sind
typischerweise zwei Stapel 40 mit Blattkörpern 11 auf
jedem Planetenträger 82 in beschriebener
Weise angeordnet und wie für
einen der Planetenträger 82 in 7 gezeigt.
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Die
Temperatur in der Kammer 52 während der Abscheidung wird
unter Verwendung einer Heizung 92 gesteuert, die sich parallel
zu den Abscheidungsquellen 70 an einer Seite im Inneren
der Kammer 52 erstreckt. Die Heizung 92 ist bevorzugt ein Strahlungsheizer,
der mit elektrischen Widerstandselementen arbeitet. Die Temperatur
der Heizungsanordnung wird durch einen Temperatursensor 94,
beispielsweise einen Infrarotsensor überwacht, der in das Innere
der Kammer 52 blickt. Die vom Sensor 94 gemessene
Temperatur wird einem Temperatursteuerschaltkreis 96 geliefert,
der den Leistungsausgang an den Heizer 92 liefert. Derart
rückkoppelnd
arbeitend erlaubt die Temperatursteuer 96, dass die Temperatur
in der Heizanordnung eingestellt wird. Bei einer bevorzugten Bearbeitung
wird die Heizanordnung auf eine Temperatur von ungefähr 205°C bis ungefähr 900°C (ungefähr 400°F bis ungefähr 1650°F) erhitzt.
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8 zeigt
eine kathodische Lichtbogenquelle 100, die in der bevorzugten
Form der Abscheidungsquelle 70 verwendet wird. Die kathodische Lichtbogenquelle 100 enthält einen
kanalförmigen Körper 102 und
ein Abscheidungstarget 104. Das Abscheidungstarget 104 ist
in Form einer Platte, die unter Verwendung eines O-Rings 106 hermetisch
an den Körper 102 angedichtet
ist und einen wasserdichten und gasdichten hohlen Innenraum 108 bildet. Der
Innenraum 108 wird mit Kühlwasser, das von einem Wassereinlass 110 ein-
und über
einen Wasserauslass 112 abfließt, gekühlt. Zwei spiralförmige Permanentmagneten 114 (nur
Abschnitte der Spirale sind in 8 zu sehen)
verlaufen parallel zur Quellenachse 72. Oberhalb des Abscheidungstargets 104 außerhalb
des Körpers 102 ist
eine Gegenelektrode 118. Eine Spannung VARC wird
zwischen der Gegenelektrode 118 und dem Abscheidungstarget 104 durch
eine Lichtbogenenergieversorgung 120 angelegt. VARC liegt bevorzugt zwischen ungefähr 10 und ungefähr 50 V.
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Das
metallische Material, das anfänglich
das Abscheidungstarget 104 bildet, wird auf dem Schneidabschnitt 14 des
Blattkörpers 11 zusammen mit
Gasatomen (falls gewünscht)
abgeschieden, die gasförmige
Stoffe aus der Atmosphäre
der Kammer 52 erzeugen. In der bevorzugten Ausführungsform
ist das Abscheidungstarget 104 aus Zirkon (Zr) oder Titan
(Ti). Andere metallische Arten, die als Abscheidungstargetmaterial
funktionieren, enthalten Metalle in den Gruppen IV-VI des Periodensystems,
einschließlich,
jedoch nicht ausschließlich
Vanadium, Chrom, Niob, Molybdän,
Hafnium, Tantal und Wolfram. Andere Metalle wie Aluminium können verwendet
werden. Das Abscheidungstarget 104 kann auch aus Legierungen
oder zwischenmetallischen Verbindungen sein wie beispielsweise Ti-6Al-4V,
Ti3Al, TiAl oder AlTi.
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Um
die Abscheidung durchzuführen,
wird ein Lichtbogen zwischen der Gegenelektrode 118 und dem
Abscheidungstarget 104 geschlagen, der das Abscheidungstarget 104 örtlich erhitzt
und veranlasst, dass Zirkon- oder Titanatome und/oder Ionen von
dem Abscheidungstarget 104 ausgestoßen werden. (Das Abscheidungstarget 104 wird
daher mit fortlaufender Abscheidung allmählich verdünnt.) Der Auftreffpunkt des
Lichtbogens auf dem Abscheidungstarget 104 bewegt sich
auf einem Kurs entlang der Länge
des Abscheidungstargets 104. Eine negative Vorspannung
VBIAS wird zwischen das Abscheidungstarget 104 und
dem Blattkörper 11 durch
eine Vorspannungsquelle 122 angelegt, so dass jegliche
positiv geladene Ionen in Richtung des Substrats beschleunigt werden.
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VBIAS liegt bevorzugt zwischen ungefähr –30 und
ungefähr –600 V.
Der für
VBIAS gewählte Wert bestimmt die Energie
des Ionenauftreffens an der Oberfläche der Substrate, ein Phänomen, das
Ionenhämmern
bezeichnet wird. In einem typischen Fall wird VBIAS anfänglich auf
eine relativ große
negative Spannung gesetzt, um gute Anhaftung der ersten Metallschicht
am Substrat zu erreichen. VBIAS wird nachfolgend
verringert (weniger negativ gemacht), wenn darüberliegende harte Schichten
abgeschieden werden, um eine gleichförmige feine Mikrostruktur in
den Schichten zu erreichen. Die Werte von VBIAS werden wünschenswerterweise
so niedrig wie möglich
bei Erhalt einer anhaftenden Beschichtung 19 gehalten. VBIAS ist positiver als –600 V und besonders bevorzugt
positiver als –400
V. Wenn VBIAS zu negativ ist, kann an bestimmten
Bereichen des Schneidabschnitts 14 des Blattkörpers 11 ein
Coronaeffekt und ein Rück-Sputtern
auftreten. Obwohl somit höhere
Spannungen VBIAS unter manchen Umständen verwendet
werden können,
ist es für
gewöhnlich
bevorzugt, dass VBIAS positiver als –600 V ist.
Die kathodische Lichtbogenquelle 100 ist bevorzugt, jedoch
andere Quellentypen wie Sputter-Quellen können auch verwendet werden.
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Die
zusammenwirkende Wahl aus Material des Abscheidungstargets 104 und
Gasen, die in die Abscheidungskammer 52 von der Gasquelle 62 eingebracht
wer den, erlaubt, dass eine Vielzahl von Beschichtungen 19 auf
dem Schneidabschnitt 14 des Blattkörpers 11 innerhalb
der voranstehend erläuternden
Beschränkungen
abgeschieden werden kann. In allen Fällen beträgt die Gesamtdicke der Beschichtung 19 bevorzugt
zwischen ungefähr
1 bis ungefähr
10 Mikrometer. Wenn die Beschichtungsdicke weniger als ungefähr ein Mikrometer
ist, sind die physikalischen Eigenschaften der Beschichtung 19 unzureichend,
um die gewünschten
Ergebnisse zu erzeugen. Wenn die Beschichtungsdicke "mehr als ungefähr 10 Mikrometer
beträgt,
hat die Beschichtung 19 eine hohe interne Spannung, die
dazu führt,
dass die Beschichtung 19 zur Rissbildung und zum Abschälen von
dem Substrat während
der Abscheidung oder während
des Betriebs neigt.
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Diese
allgemeinen Prinzipien werden bei der Herstellung bei der Beschichtungen 19,
welche interessieren, angewendet, wie voranstehend unter Bezugnahme
auf die 2A bis C beschrieben. Die Beschichtung 19 von 2A enthält eine
Schicht 28 aus Metallnitrid, die abgeschieden wird durch
Rückfüllen der
Abscheidungskammer 52 mit einem kleinen Partialdruck von
ungefähr
5 Mikron von strömendem
Stickstoff (mit einer Flussrate von ungefähr 150 bis 500 in einer Vorrichtung
der Erfinder) und dann durch Abscheiden eines Metalls wie Titan
oder Zirkon von dem Abscheidungstarget 104 mit VBIAS von ungefähr –50 V. Das Metall kombiniert
mit dem Stickstoff, um die Metallnitridbeschichtung 19 in
der Schicht 28 zu erzeugen.
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Die
Beschichtung 19' von 2B enthält eine
Metallschicht 30, beispielsweise metallisches Zirkon oder
metallisches Titan, welche die Oberfläche 26 des Schneidabschnitts 14 kontaktiert.
Die Metallschicht 30 unterstützt die Anhaftung der darüber liegenden
Schicht oder darüberliegenden
Schichten an der Oberfläche
des Substrats. Die Metallschicht 30 ist bevorzugt ziemlich
dünn und
liegt in der Größenordnung
von ungefähr
100 Angström
bis 1000 Angström
Dicke. Die Metallschicht 30 wird abgeschieden durch Rückfüllen der
Abscheidungskammer 52 mit einem kleinen Partialdruck von
ungefähr 5
Mikron eines Inertgases, beispielsweise strömenden Argon (mit einer Flussrate
von ungefähr
200 bis 450 Standartkubikzentimeter pro Minute (sccm) in der von
den Erfindern verwendeten Vorrichtung) und dann durch Abscheidung
eines Metalls wie Zirkon oder Titan von dem Abscheidungstarget 104 mit
VBIAS von ungefähr –400 V. Da das Argon nicht
chemisch mit dem Metall reagiert, wird eine Metallschicht 30 abgeschieden.
Wie in 2B gezeigt, überdeckt eine Schicht 28,
die Metallnitrid ist, die Metallschicht 30. Die Schicht 38 wird
abgeschieden durch Rückfüllen der
Abscheidungskammer 52 mit einem geringen Partialdruck von
ungefähr
500 Mikron strömenden Stickstoffs
(mit einer Flussrate von ungefähr
150 bis 500 in der Vorrichtung der Erfinder) und dann durch Abscheiden
von Metall wie Zirkon oder Titan von dem Abscheidungstarget 104 mit
VBIAS von ungefähr –50 V. Das Metall kombiniert
mit dem Stickstoff, um die Metallnitridbeschichtung 19 in
der Schicht 28 zu bilden. Die Schicht 28 hat bevorzugt
eine Dicke derart, dass die Gesamtdicke des Überzugs 19 zwischen ungefähr 1 bis
ungefähr
10 Mikrometer beträgt.
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Dieses
Muster kann fortgeführt
werden, wobei eine dritte Schicht, die Metall aufweist, abgeschieden
wird und dann eine vierte Schicht, die Metallnitrid aufweist, abgeschieden
wird, wie in 2C gezeigt. Die oberste Schicht
ist in allen Fällen
ein Metallnitrid. In diesem Fall werden die Dicken der einzelnen
Schichten so gewählt,
dass die Gesamtdicke des Überzugs 19 zwischen
ungefähr
1 bis ungefähr
10 Mikrometer liegt. Verschiedene andere Zusammensetzungen können genauso
gut eine oder mehrere dieser Schichten ersetzen.
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Wenn
eine einzelne Metallart in dem Überzug 19 abgeschieden
werden soll, wie in den Ausführungsformen
der 2A bis 2C, verwenden
alle Abscheidungsquellen 70A, 70B, 70C und 70D Abscheidungstargets 104 aus
diesen Arten. Wenn zwei Metallarten wie Titan oder Aluminium abzuscheiden sind,
verwenden einige der Abscheidungsquellen 70 Titan und/oder
Aluminiumabscheidungstargets 104 und einige der Abscheidungsquellen 70 können Legierungsabscheidungstargets 104 wie
TiAl-Abscheidungstargets verwenden. Beispielsweise könnten die Abscheidungsquellen 70A und 70C mit
Titanabscheidungstargets 104 gemacht sein und die Abscheidungsquellen 706 und 70D können mit
Titan-Aluminium-Abscheidungstargets 104 gemacht sein. Alle
Abscheidungsquellen 70 würden während der Abscheidung der Titanschicht
(mit Erdgas in der Kammer 52) betrieben werden und nur
die Abscheidungsquellen 70 TiAl-Targets würden verwendet
werden, um eine (TiAl) N-Schicht (mit Stickstoffgas in der Kammer 52) abzuscheiden.
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Obgleich
das bestimmte Knochensägeblatt, wie
es hier gezeigt und im Detail beschrieben worden ist, vollständig in
der Lage ist, die Aufgaben zu lösen und
die voranstehend genannten Vorteile zu schaffen, versteht sich,
dass es rein illustrativ für
die momentan bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung ist und das keine Einschränkungen hinsichtlich der Details
in Aufbau oder in Gestaltung beabsichtigt sind, wie hier gezeigt
oder in den beigefügten
Ansprüchen
beschrieben.