DE60224218T2 - METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING LIQUID CANDLES FROM A MIXING LIQUID - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING LIQUID CANDLES FROM A MIXING LIQUID Download PDF

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Description

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit und eine Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen dafür.The The present invention relates to a method for forming droplets of a Mixed liquid and an apparatus for forming droplets therefor.

Hintergrund des Standes der TechnikBackground of the state of the technology

Wenn eine Entwicklung einer Reaktion zur Synthese eines gewünschten Produkts aus einer Mehrzahl von Ausgangsmaterialien durchgeführt wird und die Reaktion analysiert wird, ist es bei einer chemischen Reaktion in einer flüssigen Phase, welche als ein Reaktionsbereich genommen wird, konventionellerweise notwendig, zum Beispiel Arbeiten zum Optimieren der Reaktionsbedingungen durchzuführen, indem die Konzentrationsabhängigkeit von jedem Ausgangsmaterial, die Konzentrationsabhängigkeit eines Katalysators (einschließend eines Enzyms), eine Wirkung in dem Fall, wenn ein anderer Katalysator verwendet wird, eine Wirkung in dem Fall, wenn ein anderes Lösungsmittel verwendet wird, oder das Entsprechenden erfasst wird, um das gewünschte Produkt in einer vielversprechenden Reaktion zu erhalten.If a development of a reaction for the synthesis of a desired Product is carried out from a plurality of starting materials and the reaction is analyzed, it is in a chemical reaction in a liquid Phase, which is taken as a reaction region, conventionally necessary, for example, work to optimize the reaction conditions perform, by the concentration dependence from each source material, the concentration dependence a catalyst (including an enzyme), an effect in the case when another catalyst is used, an effect in the case when another solvent is used, or the corresponding is detected to the desired product to get in a promising reaction.

In diesem Fall kann es notwendig sein, eine enorme Probenanzahl unter Reaktionsbedingungen zu analysieren, welche wie in einem Wirkstoffscreen oder dem Entsprechenden verändert werden, zum Beispiel bei der Entwicklung von Pharmazeutika. Aus diesem Grund wurde die Entwicklung einer Technologie studiert, dass eine Anzahl von Mischflüssigkeiten, welche jeweils eine gewünschte Zusammensetzung der Bestandteile aufweisen, welche als eine Tröpfchenspur verwendet werden, schnell und regulär auf einem vorbestimmten Punkt auf einem Substrat angeordnet wird, von einem Standpunkt, dass die Arbeitseffizienz verbessert wird und die Kosten reduziert werden.In In this case, it may be necessary to take a huge number of samples Reaction conditions to analyze which, as in a drug screen or the corresponding changed for example, in the development of pharmaceuticals. For this Reason was the development of a technology that studied a Number of mixed liquids, which each one desired Composition of the ingredients, which as a droplet trace be used quickly and regularly at a predetermined point is placed on a substrate, from a standpoint that the Work efficiency is improved and costs are reduced.

Konkreter wurde die Entwicklung der Technologie des Verfahrens zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit studiert, dass die Ausgangsflüssigkeiten, welche die Materialien einschließen, welche in die Reaktionen der Ausgangsmaterialien involviert sind, ein Katalysator oder das Entsprechende jeweils hergestellt werden, und dass, wenn eine Analyse durchgeführt wird, diese Tröpfchen jeweils in einem vorbestimmten Volumenverhältnis in situ gemischt werden und die Tröpfchen der Mischflüssigkeit mit verschiedenen Zusammensetzungen der Bestandteile sofort auf dem Substrat gebildet werden.concretely became the development of the technology of the process of making from droplets of mixed liquid studied that the starting fluids, which include the materials involved in the reactions the starting materials involved, a catalyst or the like Corresponding to each produced, and that if an analysis carried out will, those droplets each mixed in situ in a predetermined volume ratio and the droplets the mixed liquid with different compositions of the ingredients immediately on the substrate are formed.

Zum Beispiel schlägt JP 2001-116750 A vor, dass das Verfahren durch Verwenden einer Mehrzahl von Tintenstrahlerdüsen, Aufbringen einer vorbestimmten Menge von Wirkstoffen (Nukleotid, cDNA, DNA-Fragment, Enzym, Antigen, Antikörper, Epitop, Protein oder das Entsprechende) auf einen vorbestimmten Punkt auf einem Substrat bei hoher Geschwindigkeit und Fixieren der Substanz auf der Punktoberfläche ein aktiver Chip, wobei die Substanzen (DNA-Fragment, cDNA, Polypeptid, Oligonukleotid oder das Entsprechende), welche als eine Sonde oder das Entsprechende für Analysen oder das Entsprechende von DNA oder das Entsprechende verwendet werden, auf dem Substrat fixiert werden, hergestellt wird, und dass das Verfahren, dass der oben genannte Wirkstoff auf dem vorbestimmten Punkt auf dem Substrat durch Verwenden des Reaktionsmaterials anstelle der oben genannten Wirkstoffe mit demselben Verfahren hergestellt wird.For example, beats JP 2001-116750 A prior to that, by using a plurality of ink jet nozzles, applying a predetermined amount of drugs (nucleotide, cDNA, DNA fragment, enzyme, antigen, antibody, epitope, protein, or the like) to a predetermined point on a substrate at high speed and fixing the substance on the dot surface to an active chip, wherein the substances (DNA fragment, cDNA, polypeptide, oligonucleotide or the like) used as a probe or the like for analysis or the like of DNA or the like to the substrate, and that the method that the above-mentioned drug is prepared at the predetermined point on the substrate by using the reaction material in place of the above-mentioned drugs by the same method.

US-B1-6,242,266 offenbart eine Vorrichtung zur Herstellung eines Biopolymer-Arrays auf einem Substrat, wobei ein Biopolymer oder eine Biopolymer-Flüssigkeit verwendet wird. Tröpfchen werden mit einem Jet in einer Kopfkammer verteilt, indem ein Gasfluss durch die Kopfkammer geführt wird. US B1-6,242,266 discloses an apparatus for making a biopolymer array on a substrate using a biopolymer or a biopolymer liquid. Droplets are distributed with a jet in a head chamber by passing a gas flow through the head chamber.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Jedoch gab es im Falle des oben genannten konventionellen Verfahrens zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit ein Problem, dass, je kleiner die Tröpfchen von jeder Rohmaterial-Flüssigkeit wurden, welche verwendet werden sollten, desto geringer die Fluidität innerhalb des Tröpfchens durch die Wirkung der Oberflächenspannung auf dem Tröpfchen wurde, und dass, obwohl eine Mehrzahl von Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten physikalisch vereinigt wurde, es schwierig war, ein Tröpfchen in einem Stadium zu erhalten, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt waren.however there was in the case of the above-mentioned conventional method for Forming droplets a mixed liquid a problem that, the smaller the droplets of each raw material liquid became, which should be used, the lower the fluidity within of the droplet through the effect of surface tension on the droplet was, and that, though a plurality of droplets of raw material liquids was physically united, it was difficult to get a droplet in To obtain a stage in which the components evenly distributed were.

Des Weiteren gab es ein Problem, dass, je kleiner die Tröpfchen von einer jeden Rohmaterial-Flüssigkeit wurden, bevor das Mischen der Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten vollständig abgeschlossen war, desto wahrscheinlicher es war, dass die Verdampfung der Tröpfchen von jeder Rohmaterial-Flüssigkeit in einem Stadium, worin die Tröpfchen tropften oder nachdem die Tröpfchen das Substrat erreichten, in einer kurzen Zeit fortschritt, es schwierig war, ein Tröpfchen unter Bedingungen zu erhalten, dass die Bestandteile von diesem Standpunkt aus gleichmäßig verteilt waren.Of Furthermore, there was a problem that, the smaller the droplets of every raw material fluid were before mixing the droplets of raw material liquids Completely was completed, the more likely it was that the evaporation the droplet from every raw material liquid at a stage where the droplets are dripped or after the droplets The substrate progressed in a short time, making it difficult was a droplet Under conditions that preserve the ingredients of this Standpoint evenly distributed were.

Wenn das Tröpfchen einer Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, nicht auf diese Weise gebildet werden kann, ist es schwierig, eine chemische Reaktion präzise zu beobachten und zu analysieren, welche in den Tröpfchen der Mischflüssigkeit fortschreitet, welche jeweils als die Reaktionsgebiete funktionieren. Des Weiteren ist die Zuverlässigkeit unzureichend, da sich die Reproduzierbarkeit eines analytischen Ergebnisses verschlechtert.If the droplet of a mixed liquid in which the components are evenly distributed can not be formed in this manner, it is difficult to precisely observe and analyze a chemical reaction which progresses in the droplets of the mixed liquid functioning as the reaction regions respectively. Furthermore, the reliability is insufficient because the Reprodu deterioration of an analytical result deteriorates.

Die vorliegende Erfindung wurde in Betracht der vorangehenden Probleme entwickelt und soll das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit bereitstellen, dass, obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von Tröpfchen der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf einem Substrat angeordnet wird, und die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit.The The present invention has been made in consideration of the foregoing problems developed and intended the method for forming droplets of a mixed liquid Provide that, although the amount is one track, a number of droplets the mixed liquid, wherein the ingredients are evenly distributed are, fast and regular is placed at a predetermined position on a substrate, and the device for forming droplets of the mixed liquid.

Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit wie in Anspruch 1 beschrieben bereit.The The present invention provides a method of forming droplets of Mixed liquid like described in claim 1 ready.

Hier verwendet die vorliegende Erfindung das Verfahren, dass eine elektrostatische Anziehung verwendet wird, wenn das Tröpfchen an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat gebildet wird. Dieses Verfahren ist ein Verfahren, dass eine Pulsspannung angewendet wird zwischen der Flüssigkeit, welche in den Kapillaren zum Bilden von Tröpfchen bereitgehalten wird (worauf nachstehend als "Rohmaterial-Flüssigkeit" bezuggenommen wird) und dem Substrat, welches gegenüber den Kapillarspitzen angeordnet ist, welche die Auslässe zum Tropfen der Tröpfchen sind, um die Flüssigkeit von den Kapillarspitzen zur Substratseite durch eine elektrische Kraft anzuziehen und die Tröpfchen auf das Substrat zu tropfen.Here For example, the present invention uses the process of having an electrostatic Attraction is used when the droplets at a predetermined Position is formed on the substrate. This procedure is a Method that a pulse voltage is applied between the liquid, which is held in the capillaries to form droplets (hereinafter referred to as "raw material liquid") and the substrate opposite the capillary is arranged, which the outlets to the drop the droplet are to the liquid from the capillary tips to the substrate side by an electrical Put on the power and the droplets to drip on the substrate.

Wie oben beschrieben, können die Mischflüssigkeiten selbst gemischt werden, indem man sie miteinander im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat kollidieren läßt, bevor jedes Rohmaterial, welches durch eine elektrische Kraft aus jeder Kapillarspitze gezogen wird, das Substrat erreicht, durch Anwenden der Pulsspannung zwischen jeder Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, und dem Substrat. Da sich die Tröpfchen der Mischflüssigkeit, welche durch die Kollision der Rohmaterial-Flüssigkeiten selbst im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat gebildet werden, in einem turbulenten Fluss innerhalb der Tröpfchen befinden, kann das Mischen der Rohmaterial-Flüssigkeiten selbst für eine kurze Zeit ausreichend beschleunigt werden. Des Weiteren kann das Mischen zwischen den Rohmaterial-Flüssigkeiten bestimmt durchgeführt werden, indem ermöglicht wird, dass die Tröpfchen der Mischflüssigkeit mit dem Substrat durch eine elektrische Kraft kollidieren.As described above the mixed fluids even be mixed by putting them in the space between each capillary and the substrate collide before any raw material, which is pulled by an electric force from each capillary tip As the substrate reaches, it is interposed by applying the pulse voltage every raw material liquid, which is held in a plurality of capillaries, and the substrate. Because the droplets the mixed liquid, which is due to the collision of the raw material fluids themselves in the space between Each capillary and the substrate are formed in a turbulent Flow within the droplets can be mixing the raw material liquids for a short time be sufficiently accelerated. Furthermore, the mixing between the raw material liquids determined performed be enabled by that will be the droplets the mixed liquid collide with the substrate by an electric force.

Des Weiteren kann im erfindungsgemäßen Verfahren zum Bilden von Tröpfchen ein Tröpfchen, welches aus wenigstens einer Art von Rohmaterial-Flüssigkeit besteht, welche in wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, zuerst auf dem Substrat durch Verzögern des Zeitpunkts der Anwendung der Pulsspannung gebildet werden. Sogar in diesem Fall werden durch Anwenden der Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den anderen Kapillaren direkt nach dem Vorangehenden bereitgehalten werden, die Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche aus den Kapillaren durch eine elektrostatische Anziehung gezogen werden, durch die existierenden Tröpfchen auf dem Substrat angezogen und werden darin schnell bewegt. Selbst wenn die Tröpfchen später aus den Kapillaren injiziert werden, um mit den existierenden Tröpfchen zu kollidieren, welche zuvor auf dem Substrat wie diesem gebildet wurden, tritt ein turbulenter Fluss innerhalb der Tröpfchen der Mischflüssigkeit auf, welche durch die Kollision gebildet wird, und das Mischen zwischen den Rohmaterial-Flüssigkeiten kann für eine kurze Zeit ausreichend beschleunigt werden.Of Further can in the process according to the invention to make droplets a droplet, which from at least one kind of raw material liquid which consists of a plurality in at least one capillary capillaries, first on the substrate Delaying the Time of application of the pulse voltage can be formed. Even in this case, by applying the pulse voltage to the raw material liquids, which are kept in the other capillaries immediately after the previous one be, the raw material fluids, which from the capillaries by an electrostatic attraction pulled, attracted by the existing droplets on the substrate and are moved fast in it. Even if the droplets are out later The capillaries are injected to with the existing droplets collide, which were previously formed on the substrate like this, If a turbulent flow occurs within the droplets of the mixed liquid, which is formed by the collision, and the mixing between the raw material liquids can for one be sufficiently accelerated for a short time.

Als erfindungsgemäßes Ergebnis kann, obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von Tröpfchen der Mischflüssigkeiten, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an der vorbestimmten Position auf dem Substrat angeordnet werden. Außerdem können das Verkleinern des Arbeitsmaßstabs einer Arbeit, welche eine Behandlung benötigt, dass verschiedene Arten von Mischflüssigkeiten durch Mischen verschiedener Flüssigkeiten bei einer gegebenen Rate hergestellt werden, und eine Beschleunigung der Arbeit simultan verwirklicht werden.When inventive result Although the amount is a trace, the number of droplets may be a few Mixing liquids wherein the ingredients are evenly distributed are, fast and regular be arranged at the predetermined position on the substrate. Furthermore can downsizing the working scale a job that requires a treatment that different types of mixed liquids by mixing different liquids be made at a given rate, and an acceleration the work can be realized simultaneously.

Des Weiteren können in der vorliegenden Erfindung, um die Tröpfchen der Mischflüssigkeiten im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat zu bilden, indem ermöglicht wird, dass jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche durch eine elektrische Kraft aus einer Mehrzahl der Kapillarspitzen gezogen werden, mit jeder anderen kollidiert, um sich mit ihnen zu mischen, die Anwendungsbedingungen der Pulsspannung oder die Anordnungsbedingungen einer Mehrzahl von Kapillaren zum Substrat so eingestellt werden, dass sie die elektrischen Flusslinien konzentrieren, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat erzeugt werden, nachdem die Pulsspannung auf ein Tröpfchen von den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche von jeder Kapillarspitze freigesetzt werden.Of Further can in the present invention, to the droplets of the mixed liquids in the space between each capillary and the substrate to form by allows is that each of the raw material liquids, which by a electrical force are drawn from a plurality of the capillary tips, collided with each other to mix with them, the Application conditions of the pulse voltage or the arrangement conditions a plurality of capillaries are adjusted to the substrate that they concentrate the electric flux lines, which between each of the raw material liquids and the substrate are generated after the pulse voltage on droplet from the droplets of raw material liquids applied, which are released from each capillary tip.

Beachte, dass in der vorliegenden Erfindung, wenn die Pulsspannung zwischen jeder Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat angewendet wird, die Spannung so angewendet werden kann, um zu ermöglichen, dass jedes Potential der Rohmaterial-Flüssigkeiten höher ist als das des Substrats, und die Spannung so angewendet werden kann, um zu ermöglichen, dass jedes Potential der Rohmaterial-Flüssigkeiten niedriger ist als das des Substrats.Note in the present invention, when the pulse voltage is between every raw material liquid and the substrate is applied, the voltage is thus applied can to enable that every potential of the raw material fluids is higher than that of the substrate, and the tension can be applied so to enable that every potential of the raw material fluids lower than that of the substrate.

Des Weiteren zeigt "die Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt werden" eine Flüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig gelöst sind, wenn die Bestandteile, welche verwendet werden sollen, in einer Flüssigkeit (einem Lösungsmittel), welche verwendet werden soll, gelöst sind und zeigt. Auf der anderen Seite zeigt das Vorangehende eine Dispersionsflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig dispergiert sind, wenn die Bestandteile, welche verwendet werden sollen, nicht in einer Flüssigkeit (Dispersionsmedium) gelöst sind. Außerdem können in der vorliegenden Erfindung Substanzen, welche gegenseitig eine chemische Reaktion triggern, in einer Mischflüssigkeit enthalten sein, nachdem sie als Bestandteile gebildet wurden, es kann eine Substanz, welche in der Flüssigkeit stabil vorliegt, gemischt werden, und beide Substanzen können in einem gemischten Zustand enthalten sein.Of Further shows "the Mixed liquid wherein the ingredients are evenly distributed become "a liquid, wherein the ingredients are dissolved evenly, if the ingredients to be used are in one liquid (a solvent), which is to be used, solved and shows. On the On the other hand, the foregoing shows a dispersion liquid. wherein the ingredients uniformly dispersed are when the ingredients to be used are not in a liquid (Dispersion medium) dissolved are. Furthermore can in the present invention, substances which mutually one trigger chemical reaction, be contained in a mixed liquid after they were formed as constituents, it may be a substance which in the liquid Stable, mixed, and both substances can in be included in a mixed state.

Des Weiteren kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit so gekennzeichnet werden, dass der Wert der Pulsspannung, welche auf die Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet wird, welche in wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, größer gemacht wird als diejenigen der Pulsspannungen, welche auf jede der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet werden.Of Further, the inventive method to make droplets the mixed liquid be characterized in that the value of the pulse voltage, which on the raw material liquid is applied, which in at least one capillary of a Plurality of capillaries is made larger than those the pulse voltages applied to each of the other raw material fluids be applied.

Wenn die Anwendungsbedingungen der Pulsspannung, welche zwischen den Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche durch eine Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten werden, und dem Substrat angewendet wird, wie oben beschrieben festgesetzt werden, können die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat nach der Anwendung der Pulsspannung erzeugt werden, auf ein Tröpfchen konzentriert werden, auf welches die maximale Pulsspannung von den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche aus jeder Kapillarspitze freigesetzt werden. Als Ergebnis können alle Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten konsolidiert werden, welche verwendet werden sollen, um das Tröpfchen von einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat zu bilden.If the conditions of use of the pulse voltage, which are between the Raw material liquids which are held by a plurality of capillaries, and the substrate is applied as described above, can the electrical flux lines that exist between each raw material fluid and the substrate are generated after application of the pulse voltage, on a droplet are concentrated to which the maximum pulse voltage of the droplets of the Raw material liquids is applied, which are released from each capillary tip. As a result, can all droplets of raw material liquids which are to be used to remove the droplet from one mixed liquid in the space between each capillary and the substrate.

Außerdem kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass bei der Anwendung der Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, zuerst gestartet wird und als nächstes die Anwendung der Pulsspannung auf jede der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten gestartet wird, bevor die erste Anwendung der Pulsspannung beendet wird.In addition, can the inventive method to make droplets the mixed liquid be characterized in such a way that in the application of the pulse voltage on the raw material liquid, which in at least one capillary of a plurality of capillaries is kept ready, is started first and next the Apply the pulse voltage to each of the other raw material fluids is started before the first application stops the pulse voltage becomes.

Wenn die Anwendungsbedingungen der Pulsspannung, welche angewendet werden soll zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in jeder aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, und dem Substrat wie oben beschrieben festgesetzt werden, können die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat erzeugt werden, nachdem die Pulsspannung angewendet wurde, auf ein Tröpfchen zum frühesten Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welches jeweils von jeder Kapillarspitze freigesetzt werden, konzentriert werden. Als Ergebnis können alle Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche verwendet werden sollen, zum Bilden der Tröpfchen aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat konsolidiert werden.If the conditions of use of the pulse voltage which are used should be between the raw material liquid, which is held in each of a plurality of capillaries, and the substrate are set as described above, the electrical flux lines which exist between each raw material fluid and the substrate are generated after the pulse voltage is applied was on a droplet the earliest Time of application of the pulse voltage from the droplets of the Raw material liquids which are released from each capillary tip, concentrated become. As a result, can all droplets of raw material liquids, which are to be used to form the droplets a mixed liquid in Space between each capillary and the substrate to be consolidated.

Des Weiteren kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass der Abstand zwischen wenigstens einer Kapillarspitze aus einer Mehrzahl von Kapillarspitzen und dem Substrat größer ist als die Abstände zwischen jeder Spitze der anderen Kapillaren und dem Substrat.Of Further, the inventive method to make droplets the mixed liquid be characterized in such a way that the distance between at least a capillary tip of a plurality of capillary tips and the substrate is larger as the distances between each tip of the other capillaries and the substrate.

Wenn die Anordnungsbedingungen einer Mehrzahl von Kapillaren zum Substrat wie oben beschrieben festgesetzt werden, können die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat nach dem Anwenden der Pulsspannung erzeugt werden, auf ein Tröpfchen konzentriert werden, welches von einer Kapillare mit dem längsten Abstand vom Substrat aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten freigesetzt wird, welche jeweils aus jeder Kapillarspitze freigesetzt werden. Als Ergebnis können alle Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche verwendet werden sollen, zum Bilden des Tröpfchens aus einer Mischflüssigkeit konsolidiert werden.If the arrangement conditions of a plurality of capillaries to the substrate as described above, the electrical flux lines, which is between each of the raw material liquids and the substrate are generated after applying the pulse voltage, concentrated on a droplet which is from a capillary with the longest distance from the substrate the droplet of the raw material liquids released which are released from each capillary tip. As a result, can all droplets of raw material liquids, which should be used to make the droplet from a mixed liquid be consolidated.

Des Weiteren kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass die Pulsspannung nacheinander auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten zu allen verschiedenen Zeitpunkten angewendet wird, welche in einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten werden. Nämlich kann das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass nachdem die Anwendung der Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in einer der Kapillaren bereitgehalten wird, beendet wird, die Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet wird, welche in einer anderen Kapillare bereitgehalten wird.Of Further, the inventive method to make droplets the mixed liquid be characterized in that the pulse voltage in succession on each of the raw material fluids is applied at all different times, which in one Majority of capillaries are kept. Namely, the education process can be characterized in such a way that after the application of the pulse voltage the raw material liquid, which is held in one of the capillaries, is terminated, the pulse voltage is applied to the raw material liquid which held in another capillary.

Die elektrischen Flusslinien, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat erzeugt werden, können auf das Tröpfchen konzentriert werden, welches vorher durch Einstellen der Anwendungsbedingungen der Pulsspannung auf jedes Rohmaterial gebildet wurde, welches in einer Mehrzahl von Kapillaren wie oben beschrieben bereitgehalten wird. Als Ergebnis ist jede Rohmaterial-Flüssigkeit nacheinander und gleichmäßig gemischt, indem sie mit den existierenden Tröpfchen kollidiert wird.The electric flux lines generated between the raw material liquid and the substrate can be concentrated on the droplet previously by adjusting the application conditions of the pulse voltage to each Raw material is formed, which is kept in a plurality of capillaries as described above. As a result, each raw material liquid is sequentially and uniformly mixed by being collided with the existing droplets.

Außerdem kann, wenn das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit die oben genannten Pulsspannungsanwendungsbedingungen übernimmt, das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass das Volumen oder die Tröpfchenmasse, welche auf dem Substrat gebildet wird, jeweils gemessen wird, wenn die Anwendung von jeder Pulsspannung beendet wird. Nämlich kann das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass das Volumen oder die Masse der Tröpfchen, welche auf dem Substrat gebildet werden, an diesem Punkt in einem Zustand gemessen wird, bevor die Pulsspannungsanwendung auf die nächste Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet wird (in einem Zustand, dass ein Verfahren zum Bilden von Tröpfchen zeitweise suspendiert wird), nachdem die Pulsspannungsanwendung auf die Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in einer Kapillare bereitgehalten werden, beendet wurde.In addition, when the inventive method to make droplets the mixed liquid assumes the above-mentioned pulse voltage application conditions, the formation process be characterized such that the volume or the droplet mass, which is formed on the substrate, respectively measured when the Application of each pulse voltage is stopped. Namely, the education process can be characterized in that the volume or the mass the droplet, which are formed on the substrate, at this point in one State is measured before the pulse voltage application to the next Raw material liquid is started (in a state that is a method of forming of droplets temporarily suspended) after the pulse voltage application on the raw material liquids, which are kept in a capillary has been terminated.

Das Volumen oder die Masse der Tröpfchen, welche auf dem Substrat zu einem mittleren Zeitpunkt gebildet werden, kann, wenn das endgültige Tröpfchen der Mischflüssigkeit gebildet wird, genau als ein zeitweise etablierter Wert ohne den Einfluss auf die Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten gemessen werden, welche danach mit den oben genannten Tröpfchen kollidieren, durch Setzen des Zeitpunkts, dass das Volumen oder die Masse der Tröpfchen, welche auf dem Substrat gebildet werden, wie oben beschrieben gemessen wird. Als Ergebnis kann die Information wie zum Beispiel das Volumen und die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in einer chemischen Reaktionsanalyse wichtig sind, oder das Entsprechende der Reihe nach gemessen werden.The Volume or mass of droplets which can be formed on the substrate at a medium time, if the final droplet of the mixed liquid is formed, exactly as a temporarily established value without the Influence on the droplets of raw material liquids which subsequently collide with the above-mentioned droplets, by setting the time that the volume or mass of the droplets, which are formed on the substrate, measured as described above becomes. As a result, the information such as the volume and the mass of raw material liquids, which are important in a chemical reaction analysis, or that Corresponding to be measured in turn.

Des Weiteren kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass, wenn der Zeitpunkt zum Messen des Volumens oder der Masse des Tröpfchens, welches auf dem Substrat an diesem Punkt gebildet wird, wie oben beschrieben festgesetzt wird, das Volumen oder die Masse des Tröpfchens, welches auf dem Substrat gebildet wird, jeweils gemessen wird, wenn eine Pulsspannungsanwendung beendet wird, und das Volumen oder die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus jeder Kapillare injiziert wird, unabhängig bei jeder Pulsspannungsanwendung basierend auf dem gemessenen Wert des Volumens oder der Masse des vorangehenden Tröpfchens gemessen wird. Nämlich kann das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass das Volumen oder die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus einer vorbestimmten Kapillare injiziert wird, erhalten werden kann, um das Tröpfchen Pn aus dem Tröpfchen Pn – 1 zu bilden, indem die Differenzoperation durchgeführt wird zwischen dem Volumen oder der Masse des Tröpfchens ("Tröpfchen Pn") der Mischflüssigkeit auf dem Substrat, welches/welche gemessen wird, wenn das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen zeitweise wie oben beschrieben suspendiert wird und das Volumen oder die Masse des Tröpfchens ("Tröpfchen Pn – 1") von einer anderen Mischflüssigkeit, welche gemessen werden, wenn das Verfahren direkt vor dem Verfahren zum Bilden von Tröpfchen suspendiert wird.Of Further, the inventive method to make droplets the mixed liquid be labeled such that when the time to measure the volume or mass of the droplet which is on the substrate is formed at this point as stated above is the volume or mass of the droplet which is on the substrate is measured, respectively, when a pulse voltage application is stopped, and the volume or mass of the raw material liquid, which is injected from each capillary, independently for each pulse voltage application based on the measured value of the volume or mass of the preceding droplet is measured. Namely the education process can be characterized in such a way that the volume or mass of the raw material fluid, which is injected from a predetermined capillary, obtained can be to the droplet Pn from the droplet Pn - 1 by making the difference operation between the volumes or the mass of the droplet ("droplet Pn") of the mixed liquid on the substrate which is measured when the method to make droplets temporarily suspended as described above and the volume or the mass of the droplet ("Droplet Pn - 1") from another Mixed liquid which are measured when the procedure is right before the procedure to make droplets is suspended.

Wie oben beschrieben kann das Volumen oder die Masse von jeder Rohmaterial-Flüssigkeit, welche von jeder Kapillare injiziert wird, in jedem Verfahren genau gemessen werden durch Messen des Volumens oder der Masse des Tröpfchens auf dem Substrat, jeweils wenn das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeitweise suspendiert wird.As As described above, the volume or mass of each raw material fluid may be injected by each capillary, measured accurately in each procedure are measured by measuring the volume or mass of the droplet on the substrate, respectively, when the method for forming droplets of the mixed liquid temporarily suspended.

Außerdem kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass im oben beschriebenen Fall die Menge des Tröpfchens, welches auf dem Substrat gebildet wird, durch Durchführen einer Rückkopplungskontrolle eingestellt wird, welche auf dem gemessenen Wert des Volumens oder der Masse des Tröpfchens basiert, welches auf dem Substrat für jedes Verfahren des Pulsspannungsanwendungsverfahrens gebildet wird. Nämlich kann das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass eine Rückkopplungskontrolle auf die Menge des Tröpfchens der Mischflüssigkeit durchgeführt werden kann, welche auf dem Substrat gebildet wird, basierend auf der Information über das Volumen oder die Masse des Tröpfchens auf dem Substrat zum Zeitpunkt der Beendung von jedem Verfahren, welches/welche für jedes Verfahren der Pulsspannungsanwendung gemessen wird, oder basierend auf der Information über das Volumen oder die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus jeder Kapillare für jedes Verfahren injiziert wird, welches/welche durch eine Differenzoperation gemäß der vorangehenden Information gefunden wird.In addition, can the inventive method to make droplets the mixed liquid be characterized in that in the case described above the amount of the droplet, which is formed on the substrate by performing a Feedback control which is set on the measured value of the volume or the mass of the droplet based on the substrate for each method of pulse voltage application method is formed. Namely, can the education process be characterized in such a way that a Feedback control on the amount of the droplet the mixed liquid carried out which is formed on the substrate based on the information about the volume or mass of the droplet on the substrate to Time of termination of each procedure, which for each Pulse voltage application method is measured, or based on the information about the volume or mass of raw material liquid coming out of each capillary for each Method is injected, which by a differential operation according to the preceding Information is found.

Das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen wird zu einem Zeitpunkt beendet, wenn das Volumen oder die Masse des Tröpfchens auf dem Substrat einen gewünschten Wert durch Durchführen der Kontrolle wie oben beschrieben erreicht oder eine Kontrolle, dass die Art einer Rohmaterial-Flüssigkeit, welche ins Tröpfchen injiziert werden soll, in der Mitte eines Verfahrens verändert wird, durchgeführt werden kann.The Method of forming droplets becomes finished at a time when the volume or mass of the droplet on the substrate a desired Value by performing the control as described above or a control, that kind of raw material liquid that injects into the droplet should be, in the middle of a process is changed, can be performed.

Außerdem stellt die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit wie in Anspruch 9 beschreiben bereit.In addition, the present invention provides a device for forming droplets of the mixed liquid as described in claim 9 ready.

Die Anwendungsbedingungen der Pulsspannung können so eingestellt werden, dass sie es ermöglichen, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat nach dem Anwenden der Pulsspannung erzeugt werden, auf ein Tröpfchen aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten konzentriert werden, welche jeweils aus den Spitzen von jeder Kapillare freigesetzt werden, durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung durch den Regler.The Application conditions of the pulse voltage can be adjusted that they make it possible the electrical flux lines that exist between each raw material fluid and the substrate are generated after applying the pulse voltage, on a droplet from the droplets of raw material liquids be concentrated, each consisting of the tips of each capillary be released by controlling the device for use a voltage through the regulator.

Als Ergebnis können alle Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche verwendet werden soll, zum Bilden des Tröpfchens aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen jeder Kapillare und dem Substrat konsolidiert werden, eine Anzahl von Tröpfchen der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, kann schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat angeordnet werden.When Result can all droplets the raw material liquid, which is to be used for forming the droplet from a mixed liquid to be consolidated in the space between each capillary and the substrate, a number of droplets of Mixed liquid wherein the ingredients are evenly distributed even though the crowd is one track can quickly and regularly at one predetermined position can be arranged on the substrate.

Des Weiteren kann die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der vorliegenden Information derartig gekennzeichnet werden, dass der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung kontrolliert, um zu ermöglichen, dass der Wert der Pulsspannung, welche auf die Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet werden soll, welche in wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, größer ist als derjenige der Pulsspannungen, welche auf jede der anderen Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet werden sollen.Of Further, the apparatus may be for forming droplets of the mixed liquid according to the present Information be labeled such that the controller the Device for applying a voltage controlled to allow that the value of the pulse voltage applied to the raw material fluid to be applied, which in at least one capillary a plurality of capillaries is held larger as that of the pulse voltages applied to each of the other raw material fluids should be applied.

Daher können durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung durch den Regler und Einstellen der Anwendungsbedingungen der Pulsspannung, welche zwischen den Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche für jede aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten werden, und dem Substrat wie oben beschrieben angewendet werden soll, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat erzeugt werden, nachdem die Pulsspannung angewendet wurde, auf ein Tröpfchen konzentriert werden, auf welches die höchste Pulsspannung aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet wird, welche jeweils aus jeder Kapillarspitze freigesetzt wird.Therefore can by controlling the device for applying a voltage through the regulator and adjusting the conditions of use of the pulse voltage, which between the raw material liquids, which for each a plurality of capillaries, and the substrate as described above, the electrical flux lines, which is between each of the raw material liquids and the substrate are generated after the pulse voltage has been applied to droplet be concentrated, to which the highest pulse voltage from the droplet the raw material liquid is applied, which is released from each capillary tip.

Außerdem kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung kontrolliert, so dass er die Anwendung der Pulsspannung ermöglicht, welche zuerst auf die Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet werden soll, welche in wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten wird, welche von Ermöglichen der Anwendung der Pulsspannung gefolgt wird, welche auf jede der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten gestartet werden soll, bevor die erste Anwendung der Pulsspannung beendet wird.In addition, can the device according to the invention to make droplets the mixed liquid be labeled such that the controller, the device controlled to apply a voltage, so he the application allows the pulse voltage, which should first be started on the raw material liquid, which in at least one capillary of a plurality of capillaries which is made possible by allowing the application of the pulse voltage followed, which started on each of the other raw material liquids should be before the first application of the pulse voltage stops becomes.

Daher können durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung durch den Regler und Einstellen der Anwendungsbedingungen der Pulsspannung, welche zwischen den Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche für jede einer Mehrzahl von Kapillaren bereitgehalten werden, und dem Substrat wie oben beschrieben angewendet werden soll, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat erzeugt werden, nachdem die Pulsspannung angewendet wurde, auf ein Tröpfchen zum frühesten Zeitpunkt des Anwendungsbeginns konzentriert werden, wenn die Pulsspannung aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet wird, welche aus jeder Kapillarspitze freigesetzt werden.Therefore can by controlling the device for applying a voltage through the regulator and adjusting the conditions of use of the pulse voltage, which between the raw material liquids, which for each one Majority of capillaries are kept, and the substrate like described above, the electrical flux lines, which is between each of the raw material liquids and the substrate are generated after the pulse voltage has been applied to droplet the earliest Time of application start to be concentrated when the pulse voltage from the droplets the raw material liquid is applied, which are released from each capillary tip.

Des Weiteren kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass der Abstand zwischen der Spitze mit wenigstens einer Kapillare aus einer Mehrzahl von Kapillaren und dem Substrat so festgesetzt wird, dass er größer ist als die Abstände zwischen jeder Spitze der anderen Kapillaren und dem Substrat.Of Furthermore, the device according to the invention to make droplets the mixed liquid be marked such that the distance between the tip with at least one capillary of a plurality of capillaries and the substrate is set to be larger than the intervals between each tip of the other capillaries and the substrate.

Wenn die Anordnungsbedingungen einer Mehrzahl von Kapillaren zum Substrat daher eingestellt werden, nachdem die Pulsspannung angewendet wurde, können die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial- Flüssigkeiten und dem Substrat erzeugt werden, auf ein Tröpfchen konzentriert werden, welches aus einer Kapillare mit dem größten Abstand zum Substrat aus den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten freigesetzt wird, welche jeweils von jeder Kapillarspitze freigesetzt werden.If the arrangement conditions of a plurality of capillaries to the substrate therefore be adjusted after the pulse voltage has been applied, can the electrical flux lines that exist between each of the raw material fluids and be generated on the substrate, be concentrated on a droplet, which consists of a capillary with the greatest distance to the substrate the droplet of raw material liquids is released, which are released from each capillary tip.

Außerdem kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung so kontrolliert, dass die Pulsspannung nacheinander auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche in einer Mehrzahl von Kapillaren zu allen verschiedenen Zeitpunkten bereitgehalten werden. Nämlich kann das Bildungsverfahren derartig gekennzeichnet werden, dass der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung so kontrolliert, dass die Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit anwendet wird, welche in einer anderen Kapillare nach Beenden der Anwendung der Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit bereitgehalten wird, welche in einer Kapillare bereitgehalten wird.In addition, the device according to the invention for forming droplets of the mixing liquid can be characterized in that the controller controls the device for applying a voltage so that the pulse voltage is successively applied to each of the raw material liquids, which in a plurality of capillaries at all different times be kept ready. Namely, the forming method can be characterized such that the controller controls the apparatus for applying a voltage so that the pulse voltage is applied to the raw material liquid which is in another capillary after the application of the pulse voltage is kept ready on the raw material liquid which is kept in a capillary.

Durch Einstellen der Anwendungsbedingungen der Pulsspannung auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in einer Mehrzahl von Kapillaren wie oben beschrieben bereitgehalten werden, können die elektrischen Flusslinien, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat erzeugt werden, auf das Tröpfchen konzentriert werden, welches vorher gebildet wurde. Als Ergebnis wird jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten nacheinander und gleichmäßig gemischt, indem sie mit den existierenden Tröpfchen kollidiert wird.By Setting the application conditions of the pulse voltage to each of Raw material liquids which are kept in a plurality of capillaries as described above can, can the electrical flux lines that exist between the raw material fluid and the substrate to which droplets are concentrated, which was formed before. As a result, each of the raw material liquids mixed successively and evenly, by colliding with the existing droplets.

Des Weiteren kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass eine Volumenmessvorrichtung zum Messen des Volumens eines Tröpfchens, welches auf einem Substrat gebildet wird, und/oder ein Massesensor zum Messen der Masse des Tröpfchens weiter bereitgestellt werden und der Regler die Volumenmessvorrichtung und/oder den Massesensor zusammen mit der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung kontrolliert.Of Furthermore, the device according to the invention to make droplets the mixed liquid be characterized in that a volume measuring device for measuring the volume of a droplet, which is formed on a substrate, and / or a mass sensor for measuring the mass of the droplet be provided further and the controller, the volume measuring device and / or the mass sensor together with the device for using a Tension controlled.

Dies ermöglicht, dass das Tröpfchen einer Mischflüssigkeit mit einer gewünschten Zusammensetzung der Bestandteile schnell und bestimmt gebildet wird. Wenn zum Beispiel der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung so kontrolliert, dass die Pulsspannung nacheinander auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche in einer Mehrzahl von Kapillaren zu allen verschiedenen Zeitpunkten bereitgehalten werden, kann das Volumen oder die Masse des Tröpfchens, welches auf dem Substrat gebildet wird, gemessen werden, jeweils wenn die Anwendung von jeder Pulsspannung beendet ist, indem ermöglicht wird, dass der Regler die Volumenmessvorrichtung und/oder den Massesensor kontrolliert.This allows that the droplet a mixed liquid with a desired Composition of ingredients is formed quickly and definitely. For example, if the controller is the device for using a Voltage controlled so that the pulse voltage turns on each of the raw material liquids which is used in a plurality of capillaries to all At various times, the volume can be kept or the mass of the droplet, which is formed on the substrate to be measured, respectively when the application of each pulse voltage is terminated by allowing in that the controller is the volume measuring device and / or the mass sensor controlled.

Als Ergebnis kann das Volumen oder die Masse des Tröpfchens der Mischflüssigkeiten, welche auf dem Substrat zu einem mittleren Zeitpunkt gebildet wird, wenn das Tröpfchen der endgültigen Mischflüssigkeit gebildet wird, als ein zeitweise etablierter Wert ohne irgend einen Einfluss der Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche nacheinander mit dem oben genannten Tröpfchen kollidieren, genau gemessen werden. Als Ergebnis kann die Information wie zum Beispiel das Volumen und die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in chemischen Reaktionsanalysen oder dem Entsprechenden wichtig sind, nacheinander gemessen werden.When Result can be the volume or mass of the droplet of mixed fluids, which is formed on the substrate at a medium time, if the droplet the final mixed liquid is formed as a temporarily established value without any Influence of the droplets of the Raw material liquid, which collide sequentially with the above-mentioned droplet, measured accurately become. As a result, the information such as the volume and the mass of raw material liquid, which are important in chemical reaction analyzes or the corresponding are measured one after the other.

Des Weiteren kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass der Regler die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung und das Volumen und/oder den Massesensor so kontrolliert, dass der Regler das Volumen oder die Masse des Tröpfchens, welches auf dem Substrat gebildet wird, jeweils zu dem Zeitpunkt misst, wenn die Anwendung der Pulsspannung beendet ist, und das Volumen oder die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus jeder Kapillare injiziert wird, kann für jedes Verfahren unabhängig gemessen werden, dass jede Pulsspannung basiert auf dem gemessenen Wert des Volumens oder der Masse des oben genannten Tröpfchens angewendet wird.Of Furthermore, the device according to the invention to make droplets the mixed liquid be labeled such that the controller, the device for applying a voltage and the volume and / or the mass sensor so controls that the regulator controls the volume or mass of the droplet, which is formed on the substrate, at the time of each measures when the application of the pulse voltage is finished, and that Volume or mass of raw material liquid coming out of each Capillary can be injected for each procedure independent be measured, that each pulse voltage is based on the measured Value of the volume or mass of the above droplet is applied.

Wie oben beschrieben kann durch zeitweises Suspendieren des Verfahrens zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit und Messen des Volumens oder der Masse des Tröpfchens auf dem Substrat für eine jede Suspension das Volumen oder die Masse von jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche aus jeder Kapillare injiziert werden, in jedem Verfahren genau gemessen werden.As described above can be achieved by temporarily suspending the process to make droplets the mixed liquid and measuring the volume or mass of the droplet on the substrate for each one Suspension the volume or mass of each of the raw material liquids, which are injected from each capillary, in each procedure be measured exactly.

Außerdem kann die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit derartig gekennzeichnet werden, dass die Menge der Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche auf dem Substrat gebildet werden, eingestellt wird, indem ermöglicht wird, dass der Regler eine Rückkopplungskontrolle auf die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung durchführt, welche auf dem gemessenen Wert des Volumens oder der Masse der Tröpfchen basiert, welche auf dem Substrat gebildet werden, jedesmal, wenn die Spannung, welche von der Volumenmessvorrichtung und/oder dem Massesensor erhalten wurde, angewendet wird.In addition, can the device according to the invention to make droplets the mixed liquid be characterized in that the amount of droplets of the Raw material liquid, which are formed on the substrate is adjusted by allows that will give the controller a feedback control on the device for applying a voltage performs, which based on the measured value of the volume or mass of the droplets, which are formed on the substrate every time the voltage, which are obtained from the volume measuring device and / or the mass sensor was, is applied.

Durch Durchführen einer Kontrolle wie oben beschrieben kann eine Kontrolle, dass das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen beendet ist, wenn das Volumen oder die Masse des Tröpfchens auf dem Substrat einen gewünschter Wert oder die Art einer Rohmaterial-Flüssigkeit erreicht, welche in ein Tröpfchen injiziert werden soll, während eines Verfahrens verändert wird, verwirklicht werden.By Carry out a control as described above, a control that the Method for forming droplets stopped when the volume or mass of the droplet on the substrate a desired Value or type of raw material liquid reached, which in injected a droplet should be while of a procedure changed will be realized.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

1 ist ein Systemdiagramm, welches schematisch die grundlegende Konstitution einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit zeigt. 1 Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of a first embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention.

2 ist eine Frontsicht einer Kapillare, welche bei einem Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereich der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit bereitgestellt wird, welche in 1 gezeigt wird, wie aus der Normalrichtung einer Substratoberfläche gezeigt. 2 is a front view of a capillary, which is provided in a raw material-liquid-releasing portion of the device for forming droplets of the mixed liquid, which in 1 is shown as shown from the normal direction of a substrate surface.

3A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster einer Pulsspannung zeigt, welche von einer Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung ausgegeben werden, welche durch einen Regler in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird. 3B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Freisetzungsbereich und dem Substrat gebildet wird, wenn eine Pulsspannung, welche in 3A gezeigt wird, angewendet wird. 3A is a graphic, which is an example Fig. 10 shows the pattern of a pulse voltage outputted from a voltage application apparatus controlled by a regulator in the apparatus for forming droplets of the mixed liquid, which is shown in Figs 1 will be shown. 3B FIG. 16 is a view showing the formation method of the droplet formed between the raw material release region and the substrate when a pulse voltage which is in 3A is shown being applied.

4A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung ausgegeben werden, welche durch den Regler in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird. 4B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens der Mischflüssigkeiten zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Freisetzungsbereich und dem Substrat gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 4A gezeigt wird, angewendet wird. 4A FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage outputted from the voltage application apparatus controlled by the regulator in the mixed liquid droplet forming apparatus shown in FIG 1 will be shown. 4B FIG. 14 is a view showing the formation process of the droplet of the mixed liquids formed between the raw material releasing section and the substrate when the pulse voltage applied in FIG 4A is shown being applied.

5A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung ausgegeben werden, welche durch den Regler in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird. Die 5B und 5C sind Ansichten, welche jeweils das Bildungsverfahren des Tröpfchens zeigen, welches zwischen dem Rohmaterial-Freisetzungsbereich und dem Substrat gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 5A gezeigt wird, angewendet wird. 5A FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage outputted from the voltage application apparatus controlled by the regulator in the mixed liquid droplet forming apparatus shown in FIG 1 will be shown. The 5B and 5C FIG. 11 are views each showing the formation method of the droplet formed between the raw material release region and the substrate when the pulse voltage applied in FIG 5A is shown being applied.

6A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster einer Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung ausgegeben werden, welche durch den Regler in einer zweiten Ausführungsform in der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird. 6B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Freisetzungsbereich und dem Substrat gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 6A gezeigt wird, angewendet wird. 6A Fig. 12 is a graph showing an example of the patterns of pulse voltage outputted from the voltage application apparatus controlled by the regulator in a second embodiment in the mixed liquid droplet forming apparatus of the present invention. 6B FIG. 14 is a view showing the formation process of the droplet formed between the raw material release region and the substrate when the pulse voltage applied in FIG 6A is shown being applied.

7 ist eine Frontsicht, welche andere Ausführungsformen des Rohmaterial-Freisetzungsbereichs in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeigt, welche in 1 gezeigt wird. 7 FIG. 11 is a front view showing other embodiments of the raw material releasing section in the device for forming droplets of the mixed liquid, which is shown in FIG 1 will be shown.

8 ist ein Systemdiagramm, welches schematisch die grundlegende Konstitution einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeigt. 8th Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of a third embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention.

9 ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung ausgegeben werden, welche durch den Regler in der dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird. 9 Fig. 12 is a graph showing an example of the patterns of pulse voltage outputted from the voltage application apparatus controlled by the regulator in the third embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention.

Die 10A bis 10C sind Ansichten, welche jeweils das Bildungsverfahren des Tröpfchens der Mischflüssigkeit zeigen, welches zwischen einem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und einem Substrat 30 gebildet wird, wenn eine Pulsspannung, welche in 9 gezeigt wird, angewendet wird.The 10A to 10C Figs. 15 are views each showing the formation process of the mixed liquid droplet interposed between a raw material supply area 20 and a substrate 30 is formed when a pulse voltage, which in 9 is shown being applied.

Die 11A bis 11C sind Ansichten, welche jeweils das Bildungsverfahren des Tröpfchens der Mischflüssigkeit zeigen, welches zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet wird, wenn eine Pulsspannung, welche in 9 gezeigt wird, angewendet wird.The 11A to 11C Figs. 15 are views each showing the formation process of the droplet of the mixed liquid existing between the raw material supply area 20 and the substrate 30 is formed when a pulse voltage, which in 9 is shown being applied.

12 ist ein Systemdiagramm, welches schematisch die grundlegende Konstitution einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeigt. 12 Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of a fourth embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention.

Beste AusführungsformenBest embodiments

Nachstehend werden unten die bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit und der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Beachte, dass in der Beschreibung unten dieselben Symbole in denselben oder äquivalenten Anteilen bezeichnet werden, und die doppelte Beschreibungen werden weggelassen.below below are the preferred embodiments of the method according to the invention to make droplets of mixed fluid and the device for forming droplets of the mixed liquid described with reference to the drawings. Note that in the description below, the same symbols in the same or equivalent Shares are called, and the duplicate descriptions are omitted.

[Erste Ausführungsform]First Embodiment

1 ist ein Systemdiagramm, welches schematisch die grundlegende Konstitution einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit zeigt. Des Weiteren ist 2 eine Frontsicht einer Kapillare, welche in einem Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereich der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit bereitgestellt wird, welche in 1 gezeigt wird, wie aus der Normalrichtung einer Substratoberfläche gesehen. 1 Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of a first embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention. Furthermore is 2 a front view of a capillary, which is provided in a raw material-liquid release area of the device for forming droplets of the mixed liquid, which in 1 is shown as seen from the normal direction of a substrate surface.

Wie in 1 gezeigt wird, ist eine Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit in der ersten Ausführungsform eine Vorrichtung, welche basierend auf dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeiten betrieben wird, und umfasst den Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 mit drei Kapillaren 1, 2 und 3, wobei die Rohmaterial-Flüssigkeit zum Bilden des Tröpfchens der Rohmaterial-Flüssigkeit jeweils bereitgehalten wird, ein Substrat 30, auf welches ein Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, welche aus Rohmaterial-Flüssigkeiten gebildet wird, welche jeweils aus den Spitzen der drei Kapillaren freigesetzt werden, geladen wird, eine bewegliche Bühne 60, auf welcher das Substrat montiert wird, eine Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40, welche eine Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in jeder Kapillare 1, 2 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 anwendet, und einen Regler 50, welcher die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 und die bewegliche Bühne 60 kontrolliert.As in 1 is shown is a device for forming droplets 10 the mixing liquid in the first embodiment, a device which, based on the inventive method for forming droplets of the mixed liquid is operated and includes the raw material liquid supply area 20 with three capillaries 1 . 2 and 3 wherein the raw material liquid is provided for forming the droplet of the raw material liquid, respectively, a substrate 30 on which a droplet 70 the mixed liquid, which is formed from raw material liquids, which are respectively released from the tips of the three capillaries is loaded, a movable stage 60 on which the substrate is mounted, a device for applying a voltage 40 which provides a pulse voltage between each of the raw material liquids contained in each capillary 1 . 2 and 3 be kept ready, and the substrate 30 applies, and a regulator 50 , which is the device for applying a voltage 40 and the moving stage 60 controlled.

Der Regler 50 wird elektrisch mit der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 und der beweglichen Bühne 60 verbunden. Der Regler 50 kann willkürlich eine relative Position zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits- Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 verändern, welches auf der beweglichen Bühne 60 innerhalb eines vorbestimmten Bereichs geladen wird. Des Weiteren wird die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 elektrisch mit dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 verbunden und hat eine Konstitution, worin die Pulsspannung unabhängig auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet werden kann, welche im Abstand von drei Kapillaren im Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 bereitgehalten wird.The regulator 50 becomes electrically connected to the device for applying a voltage 40 and the moving stage 60 connected. The regulator 50 can arbitrarily set a relative position between the raw material-liquid supply area 20 and the substrate 30 change, which is on the moving stage 60 is loaded within a predetermined range. Furthermore, the device for applying a voltage 40 electrically with the raw material-liquid supply area 20 and the substrate 30 and has a constitution in which the pulse voltage can be independently applied to each of the raw material liquids spaced three capillaries in the raw material-liquid supply region 20 is kept ready.

Außerdem ist wie in 2 gezeigt für die drei Kapillaren 1, 2 und 3, welche den Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 umfassen, die Querschnittsform des Freisetzungsauslasses fast zirkulär, und sie haben in jedem Kapillarrohr zum Beispiel einen inneren Durchmesser von 5 bis 50 μm. Des Weiteren wird für die drei Kapillaren 1, 2 und 3 die Kapillare 2 zwischen den Kapillaren 1 und 3 angeordnet, und wie in 2 gezeigt sind die zirkulären Freisetzungsauslässe der drei Kapillaren 1, 2 und 3 so angeordnet, dass sie linear ausgerichtet sind, wenn sie aus der Normalrichtung der Oberfläche des Substrats 30 gesehen werden.Besides, like in 2 shown for the three capillaries 1 . 2 and 3 containing the raw material-liquid supply area 20 For example, the cross-sectional shape of the release outlet is almost circular, and they have, for example, an inner diameter of 5 to 50 μm in each capillary tube. Furthermore, for the three capillaries 1 . 2 and 3 the capillary 2 between the capillaries 1 and 3 arranged, and as in 2 The circular release outlets of the three capillaries are shown 1 . 2 and 3 arranged so that they are linearly aligned when moving from the normal direction of the surface of the substrate 30 be seen.

Außerdem sind wie in 1 gezeigt die Freisetzungsauslässe von jeder Kapillare 1, 2 und 3 so angeordnet, dass sie die Freisetzungsauslässe der Kapillaren 1 und 3 mit dem Freisetzungsauslass der Kapillare 2 mit einem Fokus auf dem Freisetzungsauslass der Kapillare 2 kontaktieren können. Des Weiteren sind die Abstände zwischen jeder der drei Kapillaren 1, 2 und 3 und dem Substrat 30 so festgesetzt, dass sie derselbe Abstand d20 sind.Besides, like in 1 shown the release outlets of each capillary 1 . 2 and 3 arranged so that they are the release outlets of the capillaries 1 and 3 with the release outlet of the capillary 2 with a focus on the release outlet of the capillary 2 can contact. Furthermore, the distances between each of the three capillaries 1 . 2 and 3 and the substrate 30 so set that they are the same distance d20.

Diese Kapillaren 1, 2 und 3 können hergestellt werden, indem zum Beispiel 3 gläserne Rohre oder 3 quarzene Rohre so hergestellt werden, dass sie sich mit diesen Kapillaren in einem gebündelten Zustand erstrecken. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass für eine jede Kapillare 1, 2 und 3 das Verhältnis r1/r2 des inneren Durchmessers (siehe 2) zum äußeren Durchmesser (siehe 2) des Freisetzungsauslasses 0,5 bis 0,9 von einem Standpunkt ist, dass den Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche von den Freisetzungsauslässen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 freigesetzt werden, die stärker bestimmte Kollision jeweils miteinander und ihr Mischen im Raum zwischen dem Substrat 30 und dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 ermöglicht wird.These capillaries 1 . 2 and 3 can be made by, for example, making 3 glass tubes or 3 quartene tubes so as to extend in a bundled state with these capillaries. In this case, it is preferable that for each capillary 1 . 2 and 3 the ratio r1 / r2 of the inner diameter (see 2 ) to the outer diameter (see 2 ) of the release outlet is 0.5 to 0.9 from a standpoint that the droplets of raw material liquids coming from the release outlets of each capillary 1 . 2 and 3 are released, the more specific collision each with each other and their mixing in the space between the substrate 30 and the raw material supply area 20 is possible.

Des Weiteren sind die Elektroden (nicht dargestellt), welche elektrisch mit der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 verbunden sind, so angeordnet, dass sie die Rohmaterial-Flüssigkeit innerhalb jeder Kapillare 1, 2 und 3 kontaktieren. Und der Regler 50 die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so kontrolliert, dass alle Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit jeweils miteinander kollidieren können, um hierdurch das Tröpfchen aus einer Mischflüssigkeit (siehe das Tröpfchen 74 in 4B, später beschrieben) im Raum zwischen jeder Kapillare 1, 2 und 3 und dem Substrat 30 zu bilden, bevor die Tröpfchen (siehe die Tröpfchen 71, 72 und 73 in 4B, später beschrieben) der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche jeweils aus den Spitzen von jeder Kapillare 1 2 und 3 freigesetzt werden, das Substrat 30 erreichen.Furthermore, the electrodes (not shown), which are electrically connected to the device for applying a voltage 40 are connected so that they are the raw material liquid within each capillary 1 . 2 and 3 to contact. And the regulator 50 the device for applying a voltage 40 controlled so that all the droplets of raw material liquid can collide with each other, thereby forming the droplets of a mixed liquid (see the droplet 74 in 4B , described later) in the space between each capillary 1 . 2 and 3 and the substrate 30 to form before the droplets (see the droplets 71 . 72 and 73 in 4B , described later) of the raw material liquids, each consisting of the tips of each capillary 1 2 and 3 be released, the substrate 30 to reach.

Außerdem kann als das Substrat 30 zum Beispiel eine rechteckige Platte, welche aus Metall wie zum Beispiel Silizium und Aluminium gemacht ist, oder eine rechteckige Platte, welche aus Plastik wie zum Beispiel Acrylharz und Polyvinylchlorid gemacht ist, verwendet werden. Des Weiteren kann, wenn eine rechteckige Metallplatte als das Substrat 30 verwendet wird, ein organischer Film, ein Reaktionsreagenz oder das Entsprechende auf die Oberfläche geschichtet werden, auf welcher das Tröpfchen der Mischflüssigkeit gebildet wird. Außerdem kann, wenn eine rechteckige Plastikplatte als das Substrat 30 verwendet wird, die Elektrode (nicht dargestellt), welche elektrisch mit der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 verbunden wird, innerhalb der Platte angeordnet sein.In addition, as the substrate 30 For example, a rectangular plate made of metal such as silicon and aluminum, or a rectangular plate made of plastic such as acrylic resin and polyvinyl chloride are used. Furthermore, if a rectangular metal plate than the substrate 30 is used, an organic film, a reaction reagent or the like layered on the surface on which the droplet of the mixed liquid is formed. Also, if a rectangular plastic plate than the substrate 30 is used, the electrode (not shown), which is electrically connected to the device for applying a voltage 40 is connected to be disposed within the plate.

Das Betriebsprinzip der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit wird zuerst beschrieben, wobei 3 verwendet wird. 3A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster einer Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 ausgegeben werden, welche durch den Regler 50 in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird. 3B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens 72 zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 3A gezeigt wird, angewendet wird. Beachte, dass in 3A die vertikale Achse die Intensität der Pulsspannung von ΔE zeigt und die horizontale Achse die Zeit T zeigt.The operating principle of the device for forming droplets 10 the mixed liquid is first described, wherein 3 is used. 3A Fig. 12 is a graph showing an example of the patterns of pulse voltage applied by the voltage application device 40 issued by the regulator 50 in the device for forming droplets 10 the mixing fluid is controlled, which in 1 shown becomes. 3B is a view showing the formation process of the droplet 72 shows which between the raw material supply area 20 and the substrate 30 is formed when the pulse voltage, which in 3A is shown being applied. Note that in 3A the vertical axis shows the intensity of the pulse voltage of ΔE and the horizontal axis shows the time T.

Zuerst wird die Rohmaterial-Flüssigkeit in der Kapillare 2 gegen die Schwerkraft durch die Oberflächenspannung in die Kapillare 2 gebracht. Jedoch wird, wie in 3A gezeigt, wenn die Pulsspannung von ΔE2 mit einer vorbestimmten Pulsbreite zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit in der Kapillare 2 und dem Substrat 30 wie in 3B gezeigt angewendet wird, das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit von der Spitze der Kapillare 2 durch eine elektrische Kraft gezogen, und das Tröpfchen wird als ein säulenförmiges Tröpfchen im Raum zwischen der Kapillare 2 und dem Substrat 30 gebildet. Dann wird das Tröpfchen mit einer vorbestimmten Menge auf dem Substrat 30 gebildet, indem ermöglicht wird, dass das Tröpfchens 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit mit dem Substrat 30 kollidiert und darauf abgelegt wird.First, the raw material liquid in the capillary 2 against gravity by the surface tension in the capillary 2 brought. However, as in 3A shown when the pulse voltage of ΔE2 with a predetermined pulse width between the raw material liquid in the capillary 2 and the substrate 30 as in 3B is applied, the droplet 72 the raw material liquid from the top of the capillary 2 pulled by an electric force, and the droplet is called a columnar droplet in the space between the capillary 2 and the substrate 30 educated. Then, the droplet with a predetermined amount on the substrate 30 formed by allowing that droplet 72 the raw material liquid with the substrate 30 collided and stored on it.

In diesem Fall wird, falls der Spitzenwert oder die Pulsbreite der Pulsspannung, welche durch die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 angewendet werden soll, durch den Regler 50 erhöht wird, das Volumen des Tröpfchens, welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, erhöht. Des Weiteren wird, falls der Spitzenwert oder die Pulsbreite der Pulsspannung, welche angewendet werden soll, vermindert wird, das Volumen des Tröpfchens, welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, vermindert, und das Volumen des gebildeten Tröpfchens kann durch Kontrollieren des Spitzenwerts und/oder die Pulsbreite kontrolliert werden.In this case, if the peak value or the pulse width of the pulse voltage applied by the device for applying a voltage 40 to be applied by the regulator 50 increases the volume of the droplet, which is on the substrate 30 is formed, increased. Furthermore, if the peak value or pulse width of the pulse voltage to be applied is reduced, the volume of the droplet deposited on the substrate will be reduced 30 is formed, and the volume of the formed droplet can be controlled by controlling the peak value and / or the pulse width.

Nämlich können in der Bildungsvorrichtung 10 der Mischflüssigkeit die Volumina der Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche jeweils aus den Spitzen einer Mehrzahl von Kapillaren 1, 2 und 3 freigesetzt werden, unabhängig von jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten durch Verändern der Intensität und/oder die Pulsbreite der Pulsspannung eingestellt werden, welche zwischen jeder Kapillare und dem Substrat 30 angewendet werden soll, und die Rohmaterial- Flüssigkeit, welche verwendet werden soll, kann präzise in einem beliebigen Verhältnis gemischt werden. Deshalb kann das Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile im Tröpfchen 70 der erhaltenen Mischflüssigkeit präzise kontrolliert werden.Namely, in the educational device 10 the mixing liquid the volumes of the droplets 71 . 72 and 73 the raw material liquids, each consisting of the tips of a plurality of capillaries 1 . 2 and 3 be set independently of each of the raw material liquids by varying the intensity and / or the pulse width of the pulse voltage which is between each capillary and the substrate 30 is to be applied, and the raw material liquid to be used can be mixed precisely in any proportion. Therefore, the composition ratio of the components in the droplet can be 70 the mixing fluid obtained are precisely controlled.

Beachte, dass der Abstand d20 zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 festgesetzt wird, wobei das Volumen des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit beachtet wird, welche auf dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden gebildet wird. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass die Pulsspannung so angewendet wird, dass ermöglicht wird, dass die Position von Pm, bei welcher alle Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten jeweils miteinander kollidieren, die folgenden Bedingungen von einem Standpunkt erfüllen, dass alle Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 von einer Mischflüssigkeit genauer zu bestimmen. Es ist nämlich bevorzugt, dass die Pulsspannung so angewendet wird, um zu ermöglichen, dass das Verhältnis von dm/d20 des Abstands dm zwischen dem Substrat 30 und der oben genannten Position von Pm zum Abstand d20 zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 im Bereich von 0,3 bis 0,8 (siehe 4B und 5C) liegt.Note that the distance d20 between the raw material feed area 20 and the substrate 30 is set, taking the volume of the droplet 70 the mixing fluid is observed, which on the substrate 30 or the corresponding is formed. Furthermore, it is preferable that the pulse voltage is applied so as to enable the position of Pm at which all the droplets are made 71 . 72 and 73 each of the raw material liquids collide with each other, satisfying the following conditions from a standpoint that all droplets 71 . 72 and 73 the raw material liquids are consolidated to the columnar droplets 74 to determine more accurately a mixed fluid. Namely, it is preferable that the pulse voltage is applied so as to enable the ratio of dm / d20 of the distance dm between the substrate 30 and the above position of Pm to the distance d20 between the raw material supply area 20 and the substrate 30 in the range of 0.3 to 0.8 (see 4B and 5C ) lies.

Als nächstes wird unten ein Beispiel der Arbeitsweise der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit unter Bezugnahme auf 4 und eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Tröpfchenspurbildungsverfahrens der Mischflüssigkeit beschrieben.Next, an example of the operation of the droplet forming apparatus will be described below 10 the mixed liquid with reference to 4 and a preferred embodiment of the droplet trace forming method of the mixed liquid according to the present invention will be described.

4A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 ausgegeben werden, welche durch den Regler 50 in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird, und 4B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens 74 zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 4A gezeigt wird, angewendet wird. 4A FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage applied by the voltage application device 40 issued by the regulator 50 in the device for forming droplets 10 the mixing fluid is controlled, which in 1 is shown, and 4B is a view showing the formation process of the droplet 74 shows which between the raw material supply area 20 and the substrate 30 is formed when the pulse voltage, which in 4A is shown being applied.

Beachte, dass in 4A die vertikale Achse die Intensität der Pulsspannung von ΔE zeigt und die horizontale Achse die Zeit T zeigt.Note that in 4A the vertical axis shows the intensity of the pulse voltage of ΔE and the horizontal axis shows the time T.

Wie in 4 gezeigt ist, kontrolliert, wenn die Pulsspannung von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 angewendet wird, der Regler 50 die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so, dass es ermöglicht wird, dass der Wert ΔE2 der Pulsspannung, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 aus den drei Kapillaren 1, 2 und 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 angewendet werden soll, größer ist als die Werte ΔE1 und ΔE3 der Pulsspannungen, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 angewendet werden sollen.As in 4 is shown, controlled when the pulse voltage from the device for applying a voltage 40 is applied, the regulator 50 the device for applying a voltage 40 such that it allows the value ΔE2 of the pulse voltage, which is between the raw material liquid present in the capillary 2 from the three capillaries 1 . 2 and 3 is kept ready, and the substrate 30 is to be applied, is larger than the values ΔE1 and ΔE3 of the pulse voltages which exist between each of the raw material liquids contained in the capillaries 1 and 3 be kept ready, and the substrate 30 should be applied.

Wenn die Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in jeder Kapillare 1, 2 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 unter den Anwendungsbedingungen der Pulsspannung wie oben beschrieben angewendet wird, können, nachdem wie in 4B gezeigt die Pulsspannung angewendet wird, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat 30 erzeugt werden, auf das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit konzentriert werden, welche aus der Kapillare 2 freigesetzt wird, auf welche die höchste Pulsspannung von den säulenförmigen Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche jeweils aus den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 freigesetzt werden.When the pulse voltage between each of the Raw material liquids, which are in every capillary 1 . 2 and 3 be kept ready, and the substrate 30 under the conditions of use of the pulse voltage as described above, after, as in 4B shown applying the pulse voltage, the electrical flux lines that exist between each of the raw material fluids and the substrate 30 be produced on the droplet 72 the raw material liquid is concentrated, which from the capillary 2 is released, to which the highest pulse voltage from the columnar droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquids are applied, each consisting of the tips of each capillary 1 . 2 and 3 be released.

Als Ergebnis können die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche von den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 gezogen werden, alle mit einem Fokus auf dem Zentrum des Tröpfchens 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit konsolidiert werden, welche aus der Kapillare 2 freigesetzt wird, auf welche die höchste Pulsspannung durch eine elektrische Kraft angewendet wird, und das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit kann im Raum zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und das Substrat 30 gebildet werden. Deshalb kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, das Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 gebildet werden.As a result, the droplets can 71 . 72 and 73 the raw material liquids coming from the tips of each capillary 1 . 2 and 3 be pulled, all with a focus on the center of the droplet 72 the raw material liquid, which is from the capillary 2 is released, to which the highest pulse voltage is applied by an electric force, and the columnar droplet 74 from a mixed liquid may be in the space between the raw material supply area 20 and the substrate 30 be formed. Therefore, even though the amount is a trace, the droplet may 70 the mixing liquid, wherein the components are evenly distributed, quickly at a predetermined position on the substrate 30 be formed.

Beachte, dass die Intensität der Werte ΔE1 und ΔE3 der Pulsspannung kleiner als der Wert ΔE2 der Pulsspannung sein kann, derselbe Werte sein kann wie in der oben genannten 4A gezeigt, oder verschiedene Werte sein können. In diesem Fall können die Werte ΔE1 und ΔE3 der Pulsspannung bestimmt werden, indem das Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile im Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, welche auf dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden gebildet wird, berücksichtigt wird.Note that the intensity of the values ΔE1 and ΔE3 of the pulse voltage may be smaller than the value ΔE2 of the pulse voltage, which may be the same as in the above 4A shown, or can be different values. In this case, the values of the pulse voltage ΔE1 and ΔE3 can be determined by adjusting the composition ratio of the constituents in the droplet 70 the mixed liquid which is on the substrate 30 or the corresponding is formed is taken into account.

Und es kann, wenn eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeiten kontinuierlich auf dem Substrat 30 gebildet wird, die Zusammensetzung des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit, welche gebildet werden soll, willkürlich wie oben beschrieben verändert werden durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 mit dem Regler 50, um die Werte ΔE1 zu ΔE3 der Pulsspannung zu verändern, oder durch Verändern jeder Pulsbreite oder des Entsprechenden. Des Weiteren kann das Volumen der Rohmaterial-Flüssigkeit willkürlich durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 und der beweglichen Bühne 60 mit den Regler 50 verändert werden, um den Abstand d20 zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden zu verändern.And it can if a number of the droplets 70 the mixed fluids continuously on the substrate 30 is formed, the composition of the droplet 70 the mixing liquid to be formed may be arbitrarily changed as described above by controlling the apparatus for applying a voltage 40 with the regulator 50 to change the values ΔE1 to ΔE3 of the pulse voltage, or by changing each pulse width or the like. Furthermore, the volume of the raw material liquid can be arbitrarily controlled by controlling the apparatus for applying a voltage 40 and the moving stage 60 with the regulator 50 be changed by the distance d20 between the raw material-liquid supply area 20 and the substrate 30 or the corresponding change.

Als Ergebnis kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 angeordnet werden.As a result, even though the amount is a trace, a number of the droplets 70 the mixing liquid, wherein the components are evenly distributed, quickly and regularly at a predetermined position on the substrate 30 to be ordered.

Hier ist in den 4A und 4B, obwohl der Fall beschrieben wurde, dass die höchste Pulsspannung zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 bereitgehalten wird, welche in der Mitte von jeder Kapillare 1, 2 und 3 angeordnet ist, und dem Substrat 30 angewendet wird, in der vorliegenden Erfindung die Kombination der Rohmaterial-Flüssigkeit und dem Substrat, auf welches die höchste Pulsspannung angewendet wird, nicht durch die Anordnungsposition einer Kapillare, worin die Rohmaterial-Flüssigkeit bereitgehalten wird, beschränkt.Here is in the 4A and 4B Although the case has been described as having the highest pulse voltage between the raw material liquid entering the capillary 2 is kept in the middle of each capillary 1 . 2 and 3 is arranged, and the substrate 30 is applied, in the present invention, the combination of the raw material liquid and the substrate to which the highest pulse voltage is applied is not limited by the arrangement position of a capillary in which the raw material liquid is kept.

Jedoch ist es bevorzugt, dass die Kapillare aus jeder Kapillare, auf welche die höchste Pulsspannung angewendet wird, eine Kapillare ist, welche an einer Position angeordnet ist, auf welche die elektrischen Flusslinien leicht konzentriert werden (zum Beispiel die Position, welche einem geometrischen Zentrum am nächsten liegt, wenn die geometrische Anordnungsbedingung des Freisetzungsauslasses in jeder Kapillare beachtet wird), wenn die Anordnungsbedingungen von jeder Kapillare aus der Normalrichtung der Substratoberfläche (siehe 2 oder 7) wie gezeigt in den 4A und 4B von einem Standpunkt gesehen werden, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um effizient das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 zu bilden.However, it is preferable that the capillary of each capillary to which the highest pulse voltage is applied is a capillary which is located at a position to which the electric flux lines are easily concentrated (for example, the position which corresponds to a geometric center at next, if the geometrical arrangement condition of the release outlet in each capillary is heeded), if the arrangement conditions of each capillary from the normal direction of the substrate surface (see 2 or 7 ) as shown in the 4A and 4B be seen from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 All of the raw material liquids are consolidated to efficiently the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 to build.

Deshalb ist es, wenn die Rohmaterial-Flüssigkeit, welche der Hauptbestandteil ist, bereitgestellt wird, wobei das Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit berücksichtigt wird, welche auf dem Substrat 30 gebildet werden soll, bevorzugt, dass eine Kapillare, welche die Rohmaterial-Flüssigkeit enthält, an der oben genannten Position angeordnet ist und die höchste Pulsspannung zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche der Hauptbestandteil ist, und dem Substrat 30 angewendet wird.Therefore, it is when the raw material liquid, which is the main ingredient, is provided, wherein the composition ratio of the constituents of the droplet 70 the mixing fluid is taken into account, which on the substrate 30 It is preferable that a capillary containing the raw material liquid is located at the above position and the highest pulse voltage is between the raw material liquid which is the main component and the substrate 30 is applied.

Des Weiteren kann in diesem Fall die Pulsbreite der Pulsspannung, welche auf jede Kapillare 1, 2 und 3 angewendet werden soll, gemäß dem Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit verändert werden, welche auf dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden gebildet wird, und die Pulsbreite kann jeweils ein verschiedener Wert sein, oder es können alle dieselben Werte sein.Furthermore, in this case, the pulse width of the pulse voltage applied to each capillary 1 . 2 and 3 is to be applied according to the composition ratio of the constituents of the droplet 70 the mixing liquid can be changed, which on the substrate 30 or the like, and the pulse width can each be because they are a different value, or they can all be the same value.

Außerdem ist die Größe des Durchmessers des Freisetzungsauslasses an den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 nicht besonders beschränkt. Zum Beispiel kann für die Kapillare einer Rohmaterial-Flüssigkeit, worin die Rohmaterial- Flüssigkeit, welche den Bestandteil enthält, welcher der Hauptbestandteil des Tröpfchens der Mischflüssigkeit ist, bereitgehalten wird, die Größe des Freisetzungsauslasses größer sein als diejenige der anderen Kapillaren.In addition, the size of the release outlet diameter is at the tips of each capillary 1 . 2 and 3 not particularly limited. For example, for the capillary of a raw material liquid in which the raw material liquid containing the ingredient which is the main constituent of the droplet of the mixed liquid is provided, the size of the discharge outlet may be larger than that of the other capillaries.

Als nächstes wird unten ein anderes Beispiel der Arbeitsweise der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit unter Bezugnahme auf 5 und eine bevorzugte andere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Tröpfchenspurbildungsverfahrens beschrieben.Next, another example of the operation of the droplet forming apparatus will be described below 10 the mixed liquid with reference to 5 and a preferred alternative embodiment of the droplet tracking method of the invention.

5A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 ausgegeben werden, welche durch den Regler 50 in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit kontrolliert wird, welche in 1 gezeigt wird. Die 5B und 5C sind Ansichten, welche jeweils das Bildungsverfahren des Tröpfchens 74 der Mischflüssigkeit zeigen, welche zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 5A gezeigt wird, angewendet wird. Des Weiteren zeigt in 5 die vertikale Achse die Intensität der Pulsspannung ΔE, und die horizontale Achse zeigt die Zeit T. 5A FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage applied by the voltage application device 40 issued by the regulator 50 in the device for forming droplets 10 the mixing fluid is controlled, which in 1 will be shown. The 5B and 5C are views, each of which is the formation process of the droplet 74 show the mixing liquid, which between the raw material supply area 20 and the substrate 30 is formed when the pulse voltage, which in 5A is shown being applied. Furthermore, shows in 5 the vertical axis shows the intensity of the pulse voltage ΔE, and the horizontal axis shows the time T.

Wie in 5A gezeigt, kontrolliert, wenn die Pulsspannung von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 angewendet wird, der Regler 50 die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so, dass zuerst die Anwendung der Pulsspannung zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 aus den drei Kapillaren 1, 2 und 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 gestartet wird, und dann so, dass die Anwendung der Pulsspannung zwischen den Rohmaterialien, welche in den anderen Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 gestartet wird, bevor die zuerst gestartete Anwendung der Pulsspannung beendet wird.As in 5A shown controlled when the pulse voltage from the device for applying a voltage 40 is applied, the regulator 50 the device for applying a voltage 40 so that first the application of the pulse voltage between the raw material liquid, which in the capillary 2 from the three capillaries 1 . 2 and 3 is kept ready, and the substrate 30 is started, and then so that the application of the pulse voltage between the raw materials, which in the other capillaries 1 and 3 be kept ready, and the substrate 30 is started before the first started application of the pulse voltage is terminated.

Nämlich kontrolliert, wenn die Pulsspannung von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 angewendet wird, der Regler 50 die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so, dass der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns t2 der Pulsspannung, welche zwischen jeder der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 angewendet werden soll, gegenüber dem Zeitpunkt des Anwendungsbeginns t1 der Pulsspannung, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet werden soll, welche in der Kapillare 2 aus den drei Kapillaren 1, 2 und 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30, mit vorbestimmten Zeitintervallen (t2 bis t1) verzögert wird.Namely, when the pulse voltage from the device for applying a voltage is controlled 40 is applied, the regulator 50 the device for applying a voltage 40 so that the time of application t2 of the pulse voltage, which is between each of the other raw material liquids, which in the capillaries 1 and 3 be kept ready, and the substrate 30 is to be applied to the timing of the application start t1 of the pulse voltage to be applied between the raw material liquid contained in the capillary 2 from the three capillaries 1 . 2 and 3 is kept ready, and the substrate 30 is delayed at predetermined time intervals (t2 to t1).

Wenn die Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in jeder Kapillare 1, 2 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 unter den Anwendungsbedingungen der Pulsspannung wie oben beschrieben angewendet wird, können, nachdem die Pulsspannung angewendet wird, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat 30 erzeugt werden, auf das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit konzentriert werden, welche von der Kapillare 2 freigesetzt wird, wobei der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung der früheste von den Tröpfchen 71, 72 und 73 ist, welche jeweils aus den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 freigesetzt werden.When the pulse voltage between each of the raw material liquids, which in each capillary 1 . 2 and 3 be kept ready, and the substrate 30 is applied under the conditions of use of the pulse voltage as described above, after the pulse voltage is applied, the electric flux lines formed between each of the raw material liquids and the substrate 30 be produced on the droplet 72 the raw material liquid is concentrated, that of the capillary 2 is released, wherein the time of application of the pulse voltage of the earliest of the droplets 71 . 72 and 73 which is each made up of the tips of each capillary 1 . 2 and 3 be released.

Nämlich erreicht zuerst, wie in 5B gezeigt, das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus der Kapillare 2 freigesetzt wird, wobei der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung der früheste ist, das Substrat 30. Als nächstes kollidieren, wie in 5C gezeigt, die säulenförmigen Tröpfchen 71 und 72, welche aus den Kapillaren 1 und 3 freigesetzt werden, wobei der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung spät ist, mit dem Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche früher freigesetzt wurden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit zu bilden.Namely achieved first, as in 5B shown the droplet 72 the raw material liquid, which from the capillary 2 is released, wherein the time of application of the pulse voltage is the earliest, the substrate 30 , Next collide, as in 5C shown the columnar droplets 71 and 72 from the capillaries 1 and 3 are released, wherein the time of application of the pulse voltage is late, with the droplet 72 the raw material liquid released earlier to the columnar droplet 74 to form from a mixed liquid.

Als Ergebnis können die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche von den Spitzen von jeder Kapillare 1 2 und 3 gezogen werden, alle durch eine elektrische Kraft konsolidiert werden, mit einem Fokus auf dem Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit, welches früher freigesetzt wurde, und das säulenförmige Tröpfchen 74 kann aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet werden. Deshalb kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, das Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 schnell gebildet werden.As a result, the droplets can 71 . 72 and 73 the raw material liquids coming from the tips of each capillary 1 2 and 3 be pulled, all consolidated by an electric force, with a focus on the droplet 72 the raw material liquid released earlier and the columnar droplet 74 may consist of a mixed liquid in the space between the raw material supply area 20 and the substrate 30 be formed. Therefore, even though the amount is a trace, the droplet may 70 the mixing liquid, wherein the components are evenly distributed, at a predetermined position on the substrate 30 be formed quickly.

Beachte, dass in 5A, obwohl der Fall beschrieben wurde, worin der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung auf die Kapillaren 1 und 3 nach der Pulsspannung auf Kapillare 2 angewendet wird, dieselbe Zeit ist, der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung auf die Kapillaren 1 und 3 verschieden sein kann, der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns kann bestimmt werden, indem die Bedingungen des Zusammensetzungsverhältnisses der Bestandteile der Mischflüssigkeit, welche gebildet werden soll, oder das Entsprechende berücksichtigt wird. In der vorliegenden Erfindung können nämlich die Zeitpunkte des Anwendungsbeginns der Pulsspannung auf andere Kapillaren zur Kapillare, worin der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung der früheste Zeitpunkt ist, alle gleich oder verschieden sein.Note that in 5A although the case has been described in which the time of application of the pulse voltage to the capillaries 1 and 3 after the pulse voltage on capillary 2 is the same time, the time of application of the pulse voltage to the capillaries 1 and 3 may be different, the time of application start can be determined by the conditions of the composition ratio of the components of the mixed liquid, which ge should be formed, or the corresponding is taken into account. Namely, in the present invention, the instants of application of the pulse voltage to other capillaries to the capillary, wherein the timing of application of the pulse voltage is the earliest time point, may all be the same or different.

Des Weiteren wird das Zeitintervall (t2 bis t1) des Zeitpunkts des Anwendungsbeginns der Pulsspannung, d. h. der Zeitpunkt zum Starten der Anwendung der Pulsspannung auf die Kapillaren 1 und 3, nachdem die Pulsspannung auf Kapillare 2 angewendet wurde, durch Berücksichtigen des Volumens und des Zusammensetzungsverhältnisses der Bestandteile des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit, welche auf dem Substrat 30 gebildet werden soll, des Abstandes d20 zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30, der Größe des Freisetzungsauslasses der Kapillare 2 oder des Entsprechenden bestimmt.Further, the time interval (t2 to t1) of the instant of application start of the pulse voltage, that is, the timing for starting the application of the pulse voltage to the capillaries 1 and 3 after the pulse voltage on capillary 2 by taking into account the volume and compositional ratio of the constituents of the droplet 70 the mixed liquid which is on the substrate 30 is to be formed, the distance d20 between the raw material supply area 20 and the substrate 30 , the size of the capillary release outlet 2 or the corresponding determined.

Jedoch ist es in der vorliegenden Erfindung bevorzugt, dass der Zeitpunkt zum Starten der Anwendung der Pulsspannung auf die Kapillare, auf welche die Pulsspannung als nächstes auf die Kapillare angewendet werden soll, worin der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der früheste ist, so bestimmt wird, dass die Anwendung der Pulsspannung auf andere Kapillaren gleichzeitig gestartet wird, als wenn das Tröpfchen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus der Kapillare freigesetzt wird, wobei der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der früheste ist, das Substrat erreicht, wie durch die folgenden Beispiele von einem Standpunkt erläutert, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeitszuführungsauslass 20 und dem Substrat 30 wirksam zu bilden.However, in the present invention, it is preferable that the timing for starting the application of the pulse voltage to the capillary to which the pulse voltage is to be next applied to the capillary, wherein the application start time is the earliest, be determined Application of the pulse voltage to other capillaries is started at the same time as when the droplet of raw material liquid released from the capillary, the earliest time of application being reached, reaches the substrate as explained by the following examples from a standpoint the droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquids are all consolidated to the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material liquid supply outlet 20 and the substrate 30 to be effective.

Dann wird wie in 1 gezeigt, wenn eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit kontinuierlich auf dem Substrat 30 gebildet wird, der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 mit dem Regler 50 wie oben beschrieben verändert, oder die Zusammensetzung des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit, welche gebildet werden soll, kann durch Verändern jeder Pulsbreite oder des Entsprechenden willkürlich verändert werden.Then it will be like in 1 shown when a number of the droplets 70 the mixed liquid continuously on the substrate 30 is formed, the timing of application start of the pulse voltage by controlling the device for applying a voltage 40 with the regulator 50 as described above, or the composition of the droplet 70 The mixed liquid to be formed may be arbitrarily changed by changing each pulse width or the like.

Des Weiteren kann das Volumen der Rohmaterial-Flüssigkeit willkürlich durch Verändern des Abstands d20 zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 und der beweglichen Bühne 60 mit dem Regler 50 verändert werden. Als Ergebnis kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 angeordnet sein.Furthermore, the volume of the raw material liquid can be arbitrarily changed by changing the distance d20 between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 or the like, by controlling the device for applying a voltage 40 and the moving stage 60 with the regulator 50 to be changed. As a result, even though the amount is a trace, a number of the droplets 70 the mixing liquid, wherein the components are evenly distributed, quickly and regularly at a predetermined position on the substrate 30 be arranged.

Beachte, dass in der vorliegenden Erfindung, wenn der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns, wenn die Pulsspannung auf jede Kapillare angewendet wird, durch Verzögern des Zeitpunkts des Anwendungsbeginns wie durch ein Beispiel erläutert festgesetzt wird, die Werte der Pulsspannung, welche für eine jede Kapillare angewendet werden sollen, jeweils verschieden sein können oder alle gleich sein können.Note that in the present invention, when the time of application start, when the pulse voltage is applied to each capillary, through Delay of the beginning of the application as stated by an example is the values of the pulse voltage applied to each capillary should be, can be different or all can be the same.

Jedoch ist es in diesem Fall auf dieselbe Weise wie in der früher beschriebenen Arbeitsweise, wobei 4 verwendet wurde, bevorzugt, dass die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so kontrolliert wird, dass es ermöglicht wird, dass der Wert ΔE2 der Pulsspannung, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 aus den drei Kapillaren 1, 2 und 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 angewendet werden soll, größer ist als die Werte ΔE1 und ΔE3 der Pulsspannung, welche zwischen jeder der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat angewendet werden soll, wie in 5A gezeigt, von einem Standpunkt, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Auslassbereich 20 und dem Substrat 30 wirksam zu bilden.However, in this case, it is the same as in the earlier described operation, wherein 4 was preferred, that the device for applying a voltage 40 is controlled so that it allows the value .DELTA.E2 of the pulse voltage, which is between the raw material liquid, which in the capillary 2 from the three capillaries 1 . 2 and 3 is kept ready, and the substrate 30 is to be applied, is greater than the values ΔE1 and ΔE3 of the pulse voltage which exist between each of the other raw material liquids present in the capillaries 1 and 3 be held and applied to the substrate, as in 5A shown from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquids are all consolidated to the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid outlet portion 20 and the substrate 30 to be effective.

Des Weiteren können in diesem Fall ebenso die Pulsbreiten, wenn die Pulsspannung auf jede Kapillare 1, 2 und 3 angewendet wird, gemäß dem Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile der Mischflüssigkeit verändert werden, welche auf dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden gebildet werden soll, können jeweils verschieden sein oder alle gleich sein.Furthermore, in this case as well, the pulse widths when the pulse voltage on each capillary 1 . 2 and 3 is changed according to the composition ratio of the components of the mixed liquid, which on the substrate 30 or the corresponding one may be different or all the same.

Außerdem ist in den 5A bis 5C, obwohl der Fall beschrieben wurde, worin die Pulsspannung zum frühesten Zeitpunkt des Anwendungsbeginns zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 bereitgehalten wird, welche in der Mitte der Kapillaren 1, 2 und 3 angeordnet ist, und dem Substrat 30 angewendet wird, in diesem Fall ebenso wie oben beschrieben die Kombination der Rohmaterial-Flüssigkeit und des Substrats 30, auf welche die Pulsspannung zum frühesten Zeitpunkt angewendet wird, nicht durch die Anordnungspositionen von jeder Kapillare 1, 2 und 3, worin jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten bereitgehalten werden, beschränkt.Moreover, in the 5A to 5C Although the case has been described, wherein the pulse voltage at the earliest time of application start between the raw material liquid, which in the capillary 2 is held in the middle of the capillaries 1 . 2 and 3 is arranged, and the substrate 30 is applied, in this case also as described above, the combination of the raw material liquid and the substrate 30 to which the pulse voltage at the earliest time is applied, not by the arrangement positions of each capillary 1 . 2 and 3 in which each of the raw material liquids are kept ready, limited.

Jedoch ist es bevorzugt, dass die Kapillare aus jeder Kapillare, auf welche die Pulsspannung zum frühesten Zeitpunkt angewendet wird, eine Kapillare ist, welche an einer Position angeordnet ist, auf welche die elektrischen Flusslinien leicht konzentriert werden, wenn die Anordnungsbedingungen von jeder Kapillare aus der Normalrichtung der Substratoberfläche (siehe 2 oder 7) wie gezeigt in 5A bis 5C gesehen werden, von einem Standpunkt, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um effizient das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 zu bilden.However, it is preferable that the capillary from each capillary to which the pulse voltage is applied at the earliest time be a capillary which is located at a position to which the electric flux lines are easily concentrated when the arrangement conditions of each capillary are Normal direction of the substrate surface (see 2 or 7 ) as shown in 5A to 5C be seen from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 All of the raw material liquids are consolidated to efficiently the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 to build.

[Zweite Ausführungsform]Second Embodiment

Als nächstes wird die zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit beschrieben. Die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit (nicht dargestellt) gemäß der zweiten Ausführungsform ersetzt den Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der ersten Ausführungsform, welche in 1 gezeigt wird, mit einer unterschiedlichen Konstitution davon, und die Konstitution ist bis auf den Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 dieselbe wie in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit gemäß der ersten Ausführungsform.Next, the second embodiment of the device for forming droplets of the mixed liquid according to the present invention will be described. The apparatus for forming droplets of the mixed liquid (not shown) according to the second embodiment replaces the raw material supply portion 20 in the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to the first embodiment, which is incorporated herein by reference 1 is shown with a different constitution thereof, and the constitution is except for the raw material liquid supply region 20 the same as in the device for forming droplets 10 the mixed liquid according to the first embodiment.

Unten wird der Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 beschrieben, welcher auf der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der zweiten Ausführungsform bereitgestellt wird. Wie in der später beschriebenen 6B gezeigt wird, zeigt, dass der Abstand d2 zwischen der Spitze der Kapillare 2 aus den drei Kapillaren 1, 2 und 3, welche den Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 umfasst, und dem Substrat 30 festgesetzt wird, so dass er größer ist als der Abstand d1 zwischen jeder Spitze der anderen Kapillaren 1 und 3 und dem Substrat.Below is the raw material liquid feed area 20 described which is provided on the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to the second embodiment. As in the later described 6B shown, shows that the distance d2 between the top of the capillary 2 from the three capillaries 1 . 2 and 3 containing the raw material-liquid supply area 20 includes, and the substrate 30 is set to be larger than the distance d1 between each tip of the other capillaries 1 and 3 and the substrate.

Als nächstes wird die Arbeitsweise der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der zweiten Ausführungsform unter Bezugnahme auf 6 und eine bevorzugte andere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Tröpfchenspurbildungsverfahrens beschrieben.Next, the operation of the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to the second embodiment will be described with reference to FIG 6 and a preferred alternative embodiment of the droplet tracking method of the invention.

6A ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 ausgegeben werden, welche durch den Regler 50 in der zweiten Ausführungsform in der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert wird. 6B ist eine Ansicht, welche das Bildungsverfahren des Tröpfchens 74 zeigt, welches zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet wird, wenn die Pulsspannung, welche in 6A gezeigt wird, angewendet wird. Beachte, dass in 6A die vertikale Achse die Intensität ΔE der Pulsspannung zeigt und die horizontale Achse die Zeit T zeigt. 6A FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage applied by the voltage application device 40 issued by the regulator 50 is controlled in the second embodiment in the device according to the invention for forming droplets of the mixed liquid. 6B is a view showing the formation process of the droplet 74 shows which between the raw material supply area 20 and the substrate 30 is formed when the pulse voltage, which in 6A is shown being applied. Note that in 6A the vertical axis shows the intensity ΔE of the pulse voltage and the horizontal axis shows the time T.

Zuerst wird die Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in jeder Kapillare 1, 2 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 durch den Regler 50 angewendet. In diesem Fall können, da jede Kapillare 1, 2 und 3, welche den Roh material-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 umfasst, basierend auf den oben genannten Anordnungsbedingungen angeordnet ist, die elektrischen Flusslinien, welche zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten und dem Substrat 30 erzeugt werden, auf das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit konzentriert werden, wobei der Abstand zu dem Substrat 30 der größte von den Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche jeweils von den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 freigesetzt werden, ist.First, the pulse voltage between each of the raw material liquids, which in each capillary 1 . 2 and 3 be kept ready, and the substrate 30 from the device for applying a voltage 40 through the regulator 50 applied. In this case, since every capillary 1 . 2 and 3 , which the raw material-liquid supply area 20 comprises, based on the above-mentioned arrangement conditions, the electric flux lines existing between each of the raw material liquids and the substrate 30 be produced on the droplet 72 the raw material liquid are concentrated, the distance to the substrate 30 the biggest of the droplets 71 . 72 and 73 the raw material liquids, each from the tips of each capillary 1 . 2 and 3 is to be released.

Als Ergebnis können die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche von den Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 gezogen werden, alle durch eine elektrische Kraft konsolidiert werden, mit einem Fokus auf das Tröpfchen 72 der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche von der Kapillare 2 freigesetzt wird, wobei der Abstand zu dem Substrat 30 der größte ist, und das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet werden kann. Deshalb kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeiten, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 angeordnet werden.As a result, the droplets can 71 . 72 and 73 the raw material liquids coming from the tips of each capillary 1 . 2 and 3 be pulled, all consolidated by an electric force, with a focus on the droplet 72 the raw material liquid coming from the capillary 2 is released, with the distance to the substrate 30 the largest is, and the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 can be formed. Therefore, even though the amount is a trace, a number of the droplets can 70 the mixed liquids, wherein the ingredients are evenly distributed, quickly at a predetermined position on the substrate 30 to be ordered.

Beachte, dass der Abstand zwischen jede der Kapillaren 1 und 3 und dem Substrat 30 kürzer als der Abstand d2 zwischen der Kapillare 2 und dem Substrat 30 sein kann, können derselbe Wert d1 wie in der oben beschriebenen 6 gezeigt sein oder verschiedene Werte sein. Und das Verhältnis des Abstands zwischen der Spitze der Kapillare 2, welche an der am weitesten entfernten Position vom Substrat 30 angeordnet ist, und dem Substrat 30 (zum Beispiel d2 in 6B) zum Abstand zwischen der Spitze von einer anderen Kapillare und dem Substrat 30 (zum Beispiel d1 in 6B) kann bestimmt werden, indem zum Beispiel das Volumen und das Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit, der Abstand d20 zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30, die Größe des Freisetzungsauslasses der Kapillare 2 oder das Entsprechende berücksichtigt wird.Note that the distance between each of the capillaries 1 and 3 and the substrate 30 shorter than the distance d2 between the capillary 2 and the substrate 30 can be the same value d1 as described above 6 be shown or be different values. And the ratio of the distance between the top of the capillary 2 which are at the farthest position from the substrate 30 is arranged, and the substrate 30 (for example d2 in 6B ) to the distance between the tip of another capillary and the substrate 30 (for example d1 in 6B ) can be determined, for example, by the volume and the compositional ratio of the components of the droplet 70 the mixed liquid, the distance d20 zwi the raw material-liquid supply area 20 and the substrate 30 , the size of the release outlet of the capillary 2 or the corresponding is taken into account.

Jedoch ist es bevorzugt, dass die Pulsspannung so angewendet wird, dass ermöglicht wird, dass die Position Pm, bei welcher alle Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten jeweils miteinander kollidieren, die folgenden Bedingungen von einem Standpunkt erfüllen, dass alle Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 von einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 genauer zu bestimmen. Es ist nämlich bevorzugt, dass die Pulsspannung so angewendet wird, um zu ermöglichen, dass das Verhältnis dm/d1 des Abstands dm zwischen dem Substrat 30 und der oben genannten Position Pm zum Abstand d1 zwischen dem Freisetzungsauslass einer Kapillare aus den Kapillaren des Rohmaterialien-Flüssigkeits-Zuführungsbereichs 20, welcher an einer Position angeordnet ist, welche am nächsten zum Substrat 30 liegt, und dem Substrat 30 im Bereich von 0,3 bis 0,8 (siehe 6B) liegt.However, it is preferable that the pulse voltage is applied so as to enable the position Pm at which all the droplets 71 . 72 and 73 each of the raw material liquids collide with each other, satisfying the following conditions from a standpoint that all droplets 71 . 72 and 73 the raw material liquids are consolidated to the columnar droplets 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply portion 20 and the substrate 30 to determine more precisely. Namely, it is preferable that the pulse voltage is applied so as to enable the ratio dm / d1 of the distance dm between the substrate 30 and the above-mentioned position Pm at the distance d1 between the release outlet of a capillary from the capillaries of the raw material-liquid supply region 20 which is located at a position closest to the substrate 30 lies, and the substrate 30 in the range of 0.3 to 0.8 (see 6B ) lies.

Des Weiteren ist die Intensität der Werte ΔE1, ΔE2 und ΔE3 der Pulsspannung, welche auf jede Kapillare 1, 2 und 3 angewendet werden soll, nicht besonders beschränkt, und können zum Beispiel alle dieselben Werte darstellen. Jedoch ist es in diesem Fall ebenso bevorzugt, dass der Regler 50 die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so kontrolliert, dass es ermöglicht wird, den Wert ΔE2 der Pulsspannung, welche zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 bereitgehalten wird, wobei der Abstand zu dem Substrat 30 der größte ist, und dem Substrat 30 angewendet werden soll, größer ist als die Werte ΔE1 und ΔE3 der Pulsspannung, welche zwischen jeder der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 angewendet werden soll, zum Beispiel wie in 6B gezeigt, von einem Standpunkt, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 zu bilden.Furthermore, the intensity of the values ΔE1, ΔE2 and ΔE3 of the pulse voltage applied to each capillary 1 . 2 and 3 is to be applied, not particularly limited, and may for example all represent the same values. However, in this case, it is also preferable that the regulator 50 the device for applying a voltage 40 so controlled that it allows the value ΔE2 of the pulse voltage, which is between the raw material liquid, which in the capillary 2 is maintained, with the distance to the substrate 30 the biggest one is, and the substrate 30 is to be applied, is greater than the values ΔE1 and ΔE3 of the pulse voltage which exist between each of the other raw material liquids present in the capillaries 1 and 3 is kept ready, and the substrate 30 to be applied, for example as in 6B shown from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquids are all consolidated to the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 to build.

Außerdem wird in diesem Fall für den Zeitpunkt des Anwendungsbeginns, wenn die Pulsspannung auf jede Kapillare 1, 2 und 3 angewendet wird, gleichzeitig wie durch ein Beispiel in 6A erläutert. Jedoch kann in diesem Fall der Regler 50 ebenso die Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 so kontrollieren, dass es ermöglicht wird, dass der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns, wenn die Pulsspannung zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in der Kapillare 2 bereitgehalten wird, wobei der Abstand zu dem Substrat 30 der größte ist, und dem Substrat 30 angewendet wird, früher ist als der Zeitpunkt des Anwendungsbeginns, wenn die Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in den anderen Kapillaren 1 und 3 bereitgehalten werden, und dem Substrat 30 angewendet wird, wie früher unter Verwendung von 5A beschrieben wurde, von einem Standpunkt, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeiten alle konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 wirksam zu bilden.Also, in this case, for the time of application start, when the pulse voltage on each capillary 1 . 2 and 3 is applied at the same time as by an example in 6A explained. However, in this case, the controller 50 as is the device for applying a voltage 40 So check that it allows the time of application to start when the pulse voltage between the raw material liquid entering the capillary 2 is maintained, with the distance to the substrate 30 the biggest one is, and the substrate 30 is applied earlier than the time of application start, when the pulse voltage between each of the raw material liquids, which in the other capillaries 1 and 3 be kept ready, and the substrate 30 is applied as previously using 5A has been described, from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquids are all consolidated to the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 to be effective.

Und wenn eine Anzahl von den Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontinuierlich auf dem Substrat 30 gebildet wird, kann die Zusammensetzung des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit, welche gebildet werden soll, durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 mit dem Regler 50 willkürlich verändert werden, um das Verhältnis des Abstands zwischen jeder der oben genannten Kapillaren 1, 2 und 3 und dem oben beschriebenen Substrat 30 zu verändern, um ΔE1 bis ΔE3 der Pulsspannung zu verändern, den Zeitpunkt des Anwendungsbeginns der Pulsspannung zu verändern, jede Pulsbreite zu verändern, oder das Entsprechende.And if a number of the droplets of mixed liquid continuously on the substrate 30 is formed, the composition of the droplet can 70 the mixed liquid to be formed by controlling the device for applying a voltage 40 with the regulator 50 be arbitrarily changed to the ratio of the distance between each of the above capillaries 1 . 2 and 3 and the substrate described above 30 to change ΔE1 to ΔE3 of the pulse voltage, change the timing of application start of the pulse voltage, change each pulse width, or the like.

Des Weiteren kann das Volumen der Rohmaterial-Flüssigkeit willkürlich durch Kontrollieren der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 mit dem Regler 50 verändert werden, um den Abstand zwischen jeder Kapillare 1, 2 und 3 und dem Substrat 30 oder das Entsprechende zu verändern. Als Ergebnis kann, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, eine Anzahl von den Tröpfchen 70 der Mischflüssigkeit, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf dem Substrat 30 angeordnet werden.Furthermore, the volume of the raw material liquid can be arbitrarily controlled by controlling the apparatus for applying a voltage 40 with the regulator 50 be changed to the distance between each capillary 1 . 2 and 3 and the substrate 30 or change the corresponding. As a result, even though the amount is a trace, a number of the droplets 70 the mixing liquid, wherein the components are evenly distributed, quickly and regularly at a predetermined position on the substrate 30 to be ordered.

Außerdem ist in den 6A und 6B, obwohl der Fall beschrieben wurde, worin der Abstand zwischen der Spitze der Kapillare 2, welche in der Mitte jeder Kapillare 1, 2 und 3 angeordnet ist, und dem Substrat 30 maximiert wird, in diesem Fall ebenso wie oben beschrieben die Kombination der Kapillare und des Substrats 30, welches den Abstand zwischen dem Substrat 30 und der Spitze einer Kapillare maximiert, nicht durch die Anordnungsspositionen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 beschränkt.Moreover, in the 6A and 6B although the case has been described wherein the distance between the tip of the capillary 2 which is in the middle of each capillary 1 . 2 and 3 is arranged, and the substrate 30 is maximized, in this case also as described above, the combination of the capillary and the substrate 30 indicating the distance between the substrate 30 and maximizes the tip of a capillary, not through the placement positions of each capillary 1 . 2 and 3 limited.

Jedoch ist es in diesem Fall ebenso bevorzugt, dass das, was den Abstand zwischen der Spitze und dem Substrat 30 maximiert, eine Kapillare ist, welche an einer Position angeordnet ist, an welcher die elektrischen Flusslinien leicht konzentriert werden, da die Anordnungsbedingungen von jeder Kapillare von der Normalrichtung der Substratoberfläche (siehe 2 oder 7) gesehen werden, wie in den 6A und 6B gezeigt, von einem Standpunkt, dass die Tröpfchen 71, 72 und 73 der Rohmaterial-Flüssigkeit alle konsolidiert werden, um das säulenförmige Tröpfchen 74 aus einer Mischflüssigkeit im Raum zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 wirksam zu bilden.However, in this case, it is also preferable that what the distance between the tip and the substrate 30 is a capillary, which is located at a position where the electric flux lines are slightly concentrated, since the arrangement conditions of each capillary are different from the normal direction of the substrate surface (see FIG 2 or 7 ), as in the 6A and 6B shown from a standpoint that the droplets 71 . 72 and 73 The raw material liquid all consolidates to the columnar droplet 74 from a mixed liquid in the space between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 to be effective.

Des Weiteren kann in diesem Fall ebenso die Pulsbreite der Pulsspannung, wenn die Pulsspannung auf jede Kapillare 1, 2 und 3 angewendet wird, gemäß dem Zusammensetzungsverhältnis der Bestandteile des Tröpfchens 70 der Mischflüssigkeit verändert werden, welche auf dem Substrat 30 oder dem Entsprechenden gebildet wird, die Werte können jeweils verschieden sein oder alle dieselben Werte sein.Furthermore, in this case as well, the pulse width of the pulse voltage when the pulse voltage on each capillary 1 . 2 and 3 is applied according to the composition ratio of the constituents of the droplet 70 the mixing liquid can be changed, which on the substrate 30 or the like, the values may each be different or all the same values.

[Dritte Ausführungsform]Third Embodiment

Als nächstes wird die dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit beschrieben. 8 ist ein Systemdiagramm, welches schematisch die grundlegende Konstitution der dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeigt. Die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10A der Mischflüssigkeit gemäß der dritten Ausführungsform, welche in 8 gezeigt wird, ist dieselbe wie die in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10 der Mischflüssigkeit gemäß der ersten Ausführungsform, welche in 1 gezeigt wird, bis auf die Volumenmessvorrichtung 80, welche weiter bereitgestellt wird, um das Volumen des Tröpfchens 70 (einschließend der Tröpfchen während der Bildung), welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, zu messen.Next, the third embodiment of the device for forming droplets of the mixed liquid according to the present invention will be described. 8th Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of the third embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus of the present invention. The device for forming droplets 10A the mixed liquid according to the third embodiment, which in 8th is the same as that in the apparatus for forming droplets 10 the mixed liquid according to the first embodiment, which in 1 is shown, except for the volume measuring device 80 , which is further provided to the volume of the droplet 70 (including the droplets during formation), which are on the substrate 30 is formed to measure.

Zuerst wird die Volumenmessvorrichtung 80 unter Bezugnahme auf 8 beschrieben. Die Volumenmessvorrichtung 80 wird elektrisch mit dem Regler 50 und der Volumenmessvorrichtung 80 verbunden, überträgt eine Information über das Volumen des Tröpfchens 70 (einschließend der Tröpfchen während der Bildung), welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, als ein elektrisches Signal zum Regler 50.First, the volume measuring device 80 with reference to 8th described. The volume measuring device 80 becomes electric with the regulator 50 and the volume measuring device 80 connected, transmits information about the volume of the droplet 70 (including the droplets during formation), which are on the substrate 30 is formed as an electrical signal to the controller 50 ,

Die Volumenmessvorrichtung 80 beobachtet das Tröpfchen 70 (einschließend die Tröpfchen während der Bildung), welches auf dem Substrat 30 in der vertikalen Richtung zur Normale des Substrats 30 gebildet wird, und hat eine optische Funktion, um das Seitenbild zu erhalten, und eine Funktion zum Berechnen des Volumens des Tröpfchens 70 aus den Seitenbilddaten. Das Volumen des Tröpfchens 70 kann so berechnet werden, als wenn das Tröpfchen 70 als Rotationskörper relativ zur Normalrichtung des Substrats 30 betrachtet wird.The volume measuring device 80 watch the droplet 70 (including the droplets during formation), which are on the substrate 30 in the vertical direction to the normal of the substrate 30 is formed, and has an optical function to obtain the page image, and a function for calculating the volume of the droplet 70 from the page image data. The volume of the droplet 70 can be calculated as if the droplet 70 as a rotational body relative to the normal direction of the substrate 30 is looked at.

Ein Tröpfchen 70 mit relativ kleinem Volumen hat nämlich eine Eigenschaft, welche seine Profilform als eine hochsymmetrische Form eines Rotationskörpers durch seine Oberflächenspannung aufrechterhält. Deshalb wird das Seitenbild des Tröpfchens 70 erhalten, die Profilform des Tröpfchens 70 wird zu Rotationskörpern angenähert, welche auf den Bilddaten basieren, und hierdurch kann das Volumen gemessen werden. Und die Volumenmessvorrichtung 80 misst das Volumen des Tröpfchens 70 mit dem Regler 50 zu einem geeigneten Zeitpunkt.A droplet 70 namely, having a relatively small volume has a property which maintains its profile shape as a highly symmetrical shape of a body of revolution by its surface tension. Therefore, the side picture of the droplet becomes 70 get the profile shape of the droplet 70 is approximated to rotational bodies based on the image data, and thereby the volume can be measured. And the volume measuring device 80 measures the volume of the droplet 70 with the regulator 50 at a suitable time.

Als nächstes wird unten die Arbeitsweise der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der dritten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die 9, 10 und 11 und eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Tröpfchenspurbildungsverfahrens beschrieben.Next, the operation of the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to the third embodiment will be described below with reference to FIGS 9 . 10 and 11 and a preferred embodiment of the droplet tracking method of the invention will be described.

9 ist eine Graphik, welche ein Beispiel der Muster der Pulsspannung zeigt, welche von der Vorrichtung zur Anwendung einer Spannung 40 ausgegeben werden, welche durch den Regler 50 in der dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit kontrolliert werden, und die 10A bis 10C und 11A bis 11C sind Ansichten, welche die Bildungsverfahren der Tröpfchen 75 bis 77 der Mischflüssigkeiten zeigen, welche im Raum zwischen dem Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 gebildet werden, wenn die Pulsspannung, welche in 9 gezeigt wird, angewendet wird. Beachte, dass in 9 die vertikale Achse die Intensität ΔE der Pulsspannung zeigt und die horizontale Achse die Zeit T zeigt. 9 FIG. 12 is a graph showing an example of the patterns of the pulse voltage applied by the voltage application device 40 issued by the regulator 50 be controlled in the third embodiment of the device according to the invention for forming droplets of the mixed liquid, and the 10A to 10C and 11A to 11C are views showing the formation process of the droplets 75 to 77 of the mixed liquids which are in the space between the raw material feed area 20 and the substrate 30 be formed when the pulse voltage, which in 9 is shown being applied. Note that in 9 the vertical axis shows the intensity ΔE of the pulse voltage and the horizontal axis shows the time T.

Wie in 9 gezeigt, wird für die Pulsspannung in dieser Reihenfolge ΔE2 zuerst auf die Kapillare 2 des Rohmaterial-Zuführungsbereichs 20 angewendet, ΔE3 wird danach auf die Kapillare 3 angewendet, und ΔE1 wird schließlich auf die Kapillare 1 angewendet. Die Verfahren zum Bilden von Tröpfchen werden wie beschrieben durch die Übernahme der angewendeten Spannungsmuster wie diesem fortgesetzt.As in 9 For the pulse voltage in this order ΔE2 is first applied to the capillary 2 of the raw material supply area 20 applied, ΔE3 is then applied to the capillary 3 applied, and ΔE1 is finally applied to the capillary 1 applied. The methods of forming droplets are continued as described by the adoption of applied voltage patterns such as this.

Zuerst findet, wie in 10A gezeigt wird, wenn ΔE2 auf die Kapillare 2 angewendet wird, ein Verfahren zum Bilden von Tröpfchen zu einem Zeitpunkt t1 ≤ T < t2 direkt unter der Kapillare 2 statt. Und es wird, wie in 10B gezeigt wird, das Tröpfchen 75, welches aus der Rohmaterial-Flüssigkeit 72 besteht, welche aus der Kapillare 2 injiziert wird, auf dem Substrat 30 zu einem Zeitpunkt T = t2 gebildet. Die Volumenmessvorrichtung 80 erhält das Bild des Tröpfchens 75 zu dem Zeitpunkt, bei dem der Wert V1–2 des Tröpfchenvolumens gemessen wird. Da das Tröpfchen 75 ein erstes Tröpfchen ist, welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, ist das Volumen ΔV2 der Rohmaterial-Flüssigkeit ΔV2 = V1–2.First, as in 10A is shown when ΔE2 on the capillary 2 is applied, a method of forming droplets at a time t1 ≦ T <t2 directly under the capillary 2 instead of. And it will, as in 10B is shown the droplet 75 which is from the raw material liquid 72 which consists of the capillary 2 is injected on the substrate 30 formed at a time T = t2. The volume measuring device 80 gets the picture of the droplet 75 at the time when the value V1-2 of the droplet volume is measured. Because the droplet 75 a first droplet is on the substrate 30 is formed, the volume ΔV2 of the raw material liquid ΔV2 = V1-2.

Danach wird, wie in 10C gezeigt wird, die Pulsspannung ΔE3 auf die Kapillare 3 zum Zeitpunkt t2 ≤ T < t3 angewendet. In diesem Fall werden die elektrischen Flusslinien zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit 73, welche in der Kapillare 3 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 auf das Tröpfchen 75 konzentriert, welches als eine Protrusion auf dem flachen Substrat 30 schon vorhanden ist. Die Rohmaterial-Flüssigkeit 73 wird durch eine elektrostatische Anziehung angezogen, um mit dem Tröpfchen 75 zu kollidieren, und um sich hinreichend zu mischen, indem es einen turbulenten Fluss innerhalb des Tröpfchens 75 verursacht.After that, as in 10C is shown, the pulse voltage ΔE3 on the capillary 3 applied at time t2 ≦ T <t3. In this case, the electric flux lines between the raw material liquid 73 which are in the capillary 3 is kept ready, and the substrate 30 on the droplet 75 concentrated, which acts as a protrusion on the flat substrate 30 already exists. The raw material liquid 73 is attracted by an electrostatic attraction to the droplet 75 to collide, and to mix sufficiently, creating a turbulent flow within the droplet 75 caused.

Und es wird, wie in 11A gezeigt wird, das Tröpfchen 76, worin die zwei Arten der Rohmaterial-Flüssigkeiten hinreichend gemischt sind, auf dem Substrat 30 zum Zeitpunkt T = t3 gebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird das Bild des Tröpfchens 76 durch die Vorrichtung zum Messen des Tröpfchenvolumens 80 erhalten, und der Wert V2–3 des Tröpfchenvolumens wird gemessen. Da das Tröpfchen 76 ein Tröpfchen ist, worin die zwei Arten der Rohmaterial-Flüssigkeiten gemischt sind, ist das Volumen ΔV3 der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche aus der Kapillare 3 injiziert werden, ΔV3 = V2–3 – V1–2.And it will, as in 11A is shown the droplet 76 wherein the two kinds of raw material liquids are sufficiently mixed on the substrate 30 formed at the time T = t3. At this time, the picture of the droplet 76 by the device for measuring the droplet volume 80 and the value V2-3 of the droplet volume is measured. Because the droplet 76 is a droplet wherein the two kinds of raw material liquids are mixed, the volume .DELTA.V3 of the raw material liquids resulting from the capillary 3 be injected, ΔV3 = V2-3 - V1-2.

Danach wird, wie in 11B gezeigt, die Pulsspannung ΔE1 auf die Kapillare 1 zum Zeitpunkt t3 ≤ T < t4 angewendet. In diesem Fall werden die elektrischen Flusslinien zwischen der Rohmaterial-Flüssigkeit 71, welche in der Kapillare 1 bereitgehalten wird, und dem Substrat 30 auf das Tröpfchen 76 konzentriert, welches als eine Protrusion auf dem flachen Substrat 30 schon vorhanden ist. Da die Rohmaterial-Flüssigkeit 71 durch eine elektrostatische Anziehung gezogen wird, um mit dem Tröpfchen 76 zu kollidieren, mischt es sich hinreichend, indem ein turbulenter Fluss innerhalb des Tröpfchens 76 gebildet wird.After that, as in 11B shown, the pulse voltage ΔE1 on the capillary 1 applied at time t3 ≦ T <t4. In this case, the electric flux lines between the raw material liquid 71 which are in the capillary 1 is kept ready, and the substrate 30 on the droplet 76 concentrated, which acts as a protrusion on the flat substrate 30 already exists. Because the raw material liquid 71 is pulled by an electrostatic attraction to get in contact with the droplet 76 To collide, it mixes sufficiently, creating a turbulent flow within the droplet 76 is formed.

Und es wird, wie in 11C gezeigt wird, das Tröpfchen 77, worin drei Arten der Rohmaterial-Flüssigkeiten hinreichend gemischt werden, auf dem Substrat 30 zum Zeitpunkt T = t4 gebildet. Es wird gefunden, dass das Volumen ΔV1 der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus der Kapillare 1 injiziert wird, ΔV1 = V3–4 – V2–3 ist, indem der Volumenwerts V3–4 des Tröpfchens 77 durch die Vorrichtung zum Messen des Tröpfchenvolumens 80 gemessen wird.And it will, as in 11C is shown the droplet 77 wherein three kinds of the raw material liquids are sufficiently mixed on the substrate 30 formed at the time T = t4. It is found that the volume .DELTA.V1 of the raw material liquid coming out of the capillary 1 is injected, ΔV1 = V3-4 - V2-3, adding the volume value V3-4 of the droplet 77 by the device for measuring the droplet volume 80 is measured.

Das Verfahren zum Bilden von Tröpfchen wird zu dem Zeitpunkt beendet, wenn das Volumen oder die Masse des Tröpfchens auf dem Substrat 30 einen gewünschten Wert durch Übertragen der Information über die flüssigen Tröpfchenvolumina der Mischflüssigkeiten V1–2, V2–3, V3–4 oder die Volumina ΔV1, ΔV2, ΔV3 von jeder Rohmaterial-Flüssigkeit erreicht, welche wie oben beschrieben erhalten werden, zum Regler 50 oder eine Rückkopplungskontrolle, so dass ermöglicht wird, dass die Art einer Rohmaterial-Flüssigkeit, welche in das Tröpfchen auf dem Substrat 30 injiziert wird, während eines Verfahrens verändert wird.The method of forming droplets is terminated at the time when the volume or mass of the droplet on the substrate 30 reaches a desired value by transmitting the information about the liquid droplet volumes of the mixed liquids V1-2, V2-3, V3-4 or the volumes ΔV1, ΔV2, ΔV3 of each raw material liquid obtained as described above to the controller 50 or a feedback control, so as to allow that kind of raw material liquid, which is in the droplet on the substrate 30 is injected during a procedure is changed.

In diesem Fall werden die Pulsspannungswerte (ΔE1, ΔE2, ΔE3), der Abstand zwischen dem Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Substrat 30 und die Anordnungspositionen der Kapillaren im Rohmaterial-Zuführungsbereich 20 zuvor von einem Standpunkt eingestellt, dass jede Rohmaterial-Flüssigkeit, welche von den Öffnungen der Spitzen von jeder Kapillare 1, 2 und 3 gezogen wird, richtig mit dem existierenden Tröpfchen (dem Tröpfchen 75 oder dem Tröpfchen 76) auf dem Substrat 30 kollidiert.In this case, the pulse voltage values (ΔE1, ΔE2, ΔE3) become the distance between the raw material-liquid supply region 20 and the substrate 30 and the arrangement positions of the capillaries in the raw material supply area 20 previously adjusted from a standpoint that any raw material liquid coming from the openings of the tips of each capillary 1 . 2 and 3 properly drawn with the existing droplet (the droplet 75 or the droplet 76 ) on the substrate 30 collided.

Es ist hier erwünscht, dass das erste Tröpfchen direkt unter der Kapillare 2 im Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 gebildet wird, weil es eine Wirkung gibt, dass die Einstellungen wie oben beschrieben erleichtert werden, indem die Positionsbeziehung zwischen der Öffnung der Spitze von jeder Kapillare im Rohmaterial-Flüssigkeits-Zuführungsbereich 20 und dem Tröpfchen auf dem Substrat 30 so symmetrisch und mit gleichen Abständen wie möglich gebildet werden. Wenn jedoch die Einstellungen wie oben beschrieben getätigt werden können, kann insbesondere das erste Tröpfchen nicht direkt unter der Kapillare 2 gebildet werden.It is desirable here that the first droplet is directly under the capillary 2 in the raw material-liquid supply area 20 is formed because there is an effect that the adjustments are facilitated as described above by the positional relationship between the opening of the tip of each capillary in the raw material-liquid supply region 20 and the droplet on the substrate 30 be formed as symmetrically and with equal distances as possible. However, if the adjustments can be made as described above, especially the first droplet can not be directly under the capillary 2 be formed.

[Vierte Ausführungsform]Fourth Embodiment

Als nächstes wird die vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit beschrieben. 12 ist ein Systemdiagramm, welche schematisch die grundlegende Konstitution der vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zeigt.Next, the fourth embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus of the present invention will be described. 12 Fig. 10 is a system diagram schematically showing the basic constitution of the fourth embodiment of the mixed liquid droplet forming apparatus according to the present invention.

In der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10B der Mischflüssigkeit gemäß der vierten Ausführungsform, welche in 12 gezeigt wird, wird der Massesensor 90 zwischen dem Substrat 30 und der beweglichen Bühne 60 anstelle der Vorrichtung zum Messen des Tröpfchenvolumens 80 in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10A der Mischflüssigkeit gemäß der dritten Ausführungsform, welche in 8 gezeigt wird, angeordnet, und die Konstitution ist bis auf das Vorangehenden dieselbe wie in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10A der Mischflüssigkeit gemäß der dritten Ausführungsform.In the device for forming droplets 10B the mixed liquid according to the fourth embodiment, which in 12 is shown, the mass sensor 90 between the substrate 30 and the moving stage 60 instead of the device for measuring the droplet volume 80 in the device for forming droplets 10A the mixed liquid according to the third embodiment, which in 8th is shown, and the constitution is the same as in the apparatus for forming droplets, except for the foregoing 10A the mixed liquid according to the third embodiment.

Als nächstes wird der Massesensor 90 unter Bezugnahme auf 12 beschrieben. Der Massesensor 90 wird zwischen dem Substrat 30 und der beweglichen Bühne 60 angeordnet und misst die flüssige Tröpfchenmasse des Tröpfchens 70 (einschließend der Tröpfchen während der Bildung). Der Massesensor 90 misst die Masse des Tröpfchens 70, welches auf dem Substrat 30 gebildet wird, zu einem geeigneten Zeitpunkt durch den Regler 50.Next is the mass sensor 90 with reference to 12 described. The mass sensor 90 will be between the substrate 30 and the moving stage 60 arranged and measures the liquid droplet mass of the droplet 70 (one closing the droplets during formation). The mass sensor 90 measures the mass of the droplet 70 which is on the substrate 30 is formed at an appropriate time by the regulator 50 ,

Die Arbeitsweise der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10B wird weggelassen, da die Arbeitsweise abweichend von den unten erwähnten Punkten dieselbe ist, wie diejenige in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10A gemäß der dritten Ausführungsform. Es bildet nämlich die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10B das Tröpfchen 70 auf dieselbe Arbeitsweise wie in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen 10A gemäß der dritten Ausführungsform, wovon abgewichen wird, dass der Regler 50 den Massesensor 90 anstelle der Volumenmessvorrichtung 80 kontrolliert, und dass die Daten (die gemessenen physikalischen Mengen), welche in jedem Verfahren erhalten werden, die Masse des Tröpfchens 70 während der Bildung sind, da das Tröpfchen 70 der gewünschten Zusammensetzung der Bestandteile und Menge (Volumen oder Masse) gebildet wird.The operation of the device for forming droplets 10B is omitted since the operation is different from the below-mentioned points the same as that in the device for forming droplets 10A according to the third embodiment. Namely, it forms the device for forming droplets 10B the droplet 70 in the same procedure as in the device for forming droplets 10A according to the third embodiment, which deviates from that of the regulator 50 the mass sensor 90 instead of the volume measuring device 80 and that the data (measured physical quantities) obtained in each process is the mass of the droplet 70 during the formation, there are the droplets 70 the desired composition of the constituents and amount (volume or mass) is formed.

Obwohl in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß der oben genannten Ausführungsform der Fall beschrieben wurde, worin die drei Kapillaren so angeordnet werden, um zu ermöglichen, dass die fast zirkulären Freisetzungsauslässe der drei Kapillaren 1, 2 und 3 linear ausgerichtet werden, wenn die drei Kapillaren 1, 2 und 3 aus der Normalrichtung der Oberfläche des Substrats 30 gesehen werden, ist in der vorliegenden Erfindung die Art der Anordnung einer Mehrzahl von Kapillaren nicht besonders beschränkt. Wenn zum Beispiel die drei Kapillaren wie in der oben genannten Ausführungsform verwendet werden, können die drei Kapillaren so angeordnet werden, um zu ermöglichen, dass die Linien, welche die geometrischen Zentren von jedem Freisetzungsauslass der drei Kapillaren verbinden, ein Dreieck bilden, wenn die Freisetzungsauslässe der drei Kapillaren von der Normalrichtung der Oberfläche des Substrats gesehen werden.Although in the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to the above embodiment, the case where the three capillaries are arranged so as to enable the almost circular release outlets of the three capillaries 1 . 2 and 3 be aligned linearly when the three capillaries 1 . 2 and 3 from the normal direction of the surface of the substrate 30 In the present invention, the type of arrangement of a plurality of capillaries is not particularly limited. For example, when the three capillaries are used as in the above embodiment, the three capillaries may be arranged to allow the lines connecting the geometric centers of each release outlet of the three capillaries to form a triangle when the release outlets of the three capillaries are seen from the normal direction of the surface of the substrate.

Obwohl in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß jeder oben beschriebenen Ausführungsform der Fall beschrieben wurde, worin die Querschnittsformen der Freisetzungsauslässe von jeder Kapillare fast zirkulär sind, sind in der vorliegenden Erfindung die Querschnittsformen der Freisetzungsauslässe einer Mehrzahl von Kapillaren nicht besonders beschränkt. Zum Beispiel können sie jeweils fast dreieckig oder fast rechteckig sein.Even though in the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to everyone embodiment described above the case was described in which the cross-sectional shapes of the release outlets of each capillary almost circular are in the present invention, the cross-sectional shapes the release outlets a plurality of capillaries not particularly limited. To the Example can they each be almost triangular or almost rectangular.

Obwohl außerdem zum Beispiel in der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit gemäß jeder oben beschriebenen Ausführungsform der Fall beschrieben wurde, worin die Kapillarenanzahl, welche die Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereiche umfasst, drei Kapillaren ist, ist in der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit die Anzahl der Kapillaren, welche die Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereiche umfassen, nicht besonders beschränkt, die Anzahl der Kapillaren, welche die Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereiche umfassen, können willkürlich festgesetzt werden gemäß den Bedingungen wie zum Beispiel der Zusammensetzung der Bestandteile des Tröpfchens der Mischflüssigkeit, welche gebildet werden soll, und dem Volumen des Tröpfchens. Wie zum Beispiel in 7 gezeigt wird, können die sieben Kapillaren 1 bis 7 verwendet werden, um die Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereiche zu umfassen.Also, for example, although in the apparatus for forming droplets of the mixed liquid according to each embodiment described above, the case where the number of capillaries comprising the raw material liquid-releasing areas is three capillaries, in the droplet-forming apparatus of the present invention The number of capillaries comprising the raw material liquid-releasing regions is not particularly limited, the number of capillaries comprising the raw material liquid-releasing regions may be arbitrarily set according to the conditions such as the composition of the constituents of the droplet Mixed fluid to be formed and the volume of the droplet. Like in 7 The seven capillaries can be shown 1 to 7 used to encompass the raw material liquid release areas.

Industrielle AnwendbarkeitIndustrial applicability

Wie oben beschrieben können in Übereinstimmung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit und der Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit, sogar obwohl die Menge eine Spur ist, die Tröpfchen einer Anzahl von Mischflüssigkeiten, worin die Bestandteile gleichmäßig verteilt sind, schnell und regulär an einer vorbestimmten Position auf einem Substrat angeordnet werden.As described above in accordance with the inventive method for Forming droplets the mixed liquid and the device for forming droplets of the mixed liquid, even though the amount is a trace, the droplets of a number of mixed liquids, wherein the ingredients are evenly distributed are, fast and regular be arranged at a predetermined position on a substrate.

Zum Beispiel kann das erfindungsgemäße Verfahren zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit und die Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen der Mischflüssigkeit zur Wirkstoffentdeckung und Krankheitsdiagnose verwendet werden, wobei ein Wirkstoffscreen durchgeführt wird und die Technologie der analytischen Chemie in den Gebieten angewendet wird, welche eine Behandlung zum Mischen von Flüssigkeiten benötigen, welche verschiedene Proben in der kombinatorischen Chemie oder das Entsprechende enthalten, um hierdurch die Verkleinerung des Arbeitsmaßstabs, welcher für die oben genannten Behandlungen benötigt wird, zu erleichtern. Als Ergebnis ermöglicht dies, in der relevanten Industrie eine wirksame Verwendung von Proben, eine hohe Effizienz der Arbeit, eine Verbesserung der Sicherheit und eine Kostenreduktion zu erleichtern.To the Example may be the inventive method to make droplets the mixed liquid and the device for forming droplets of the mixed liquid be used for drug discovery and disease diagnosis, where a drug screen is performed and the technology analytical chemistry is applied in the fields which need a treatment for mixing liquids, which different samples in combinatorial chemistry or the like thereby reducing the working scale, which for the above treatments is needed to facilitate. As a result allows this, in the relevant industry, an effective use of samples, one high efficiency of work, improvement of safety and security to facilitate a cost reduction.

Claims (13)

Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit, wobei durch Anwenden einer Pulsspannung zwischen Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche für jede einer Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten werden, und einem Substrat (30), welches gegenüber den Spitzen von jeder Kapillare (1, 2, 3) angeordnet ist, die Rohmaterial-Flüssigkeiten jeweils von den Spitzen von jeder Kapillare (1, 2, 3) freigesetzt werden, um ein Tröpfchen (70) der Mischflüssigkeit zu bilden, welche die Materialflüssigkeit auf dem Substrat (30) einschließt.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed liquid, wherein by applying a pulse voltage between raw material liquids, which for each of a plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ) and a substrate ( 30 ), which faces the tips of each capillary ( 1 . 2 . 3 ), the raw material liquids are respectively separated from the tips of each capillary ( 1 . 2 . 3 ) are released to a droplet ( 70 ) of the mixed liquid, which the material liquid on the substrate ( 30 ). Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 1, wobei ein Wert der Pulsspannung, welche auf die Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet werden soll, welche in wenigstens einer Kapillare aus der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten wird, größer ist als der Wert der Pulsspannung, welche auf jede der anderen Flüssigkeiten der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet werden soll.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed liquid according to claim 1, wherein a value of the pulse voltage to be applied to the raw material liquid contained in at least one capillary of the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ) is greater than the value of the pulse voltage to be applied to each of the other liquids of the raw material liquids. Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 1, wobei eine Anwendung der Pulsspannung zuerst auf die Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet wird, welche in wenigstens einer Kapillare einer Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten wird, und danach die Anwendung der Pulsspannung auf jede der anderen Flüssigkeiten der Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet wird, bevor die erste Anwendung der Pulsspannung beendet wird.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed fluid according to claim 1, wherein application of the pulse voltage is first started on the raw material fluid contained in at least one capillary of a plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ), and then the application of the pulse voltage to each of the other liquids of the raw material liquid is started before the first application of the pulse voltage is terminated. Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 1, wobei der Abstand zwischen einer Spitze von wenigstens einer Kapillare der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) und dem Substrat (30) größer ist als der Abstand zwischen jeder Spitze der anderen Kapillaren der Kapillaren (1, 2, 3) und dem Substrat (30).Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed fluid according to claim 1, wherein the distance between a tip of at least one capillary of the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ) and the substrate ( 30 ) is greater than the distance between each tip of the other capillaries of the capillaries ( 1 . 2 . 3 ) and the substrate ( 30 ). Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 1, wobei die Pulsspannung nacheinander auf jede der Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet wird, welche in der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten werden.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed fluid according to claim 1, wherein the pulse voltage is successively applied to each of the raw material liquids contained in the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ). Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 5, wobei ein Volumen oder eine Masse des Tröpfchens (70), welches auf dem Substrat (30) gebildet wird, jedes Mal gemessen wird, wenn die Anwendung der jeweiligen Pulsspannung beendet ist.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed liquid according to claim 5, wherein a volume or a mass of the droplet ( 70 ), which on the substrate ( 30 ) is measured each time the application of the respective pulse voltage is completed. Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 6, wobei das Volumen oder die Masse des Tröpfchens (70), welches auf dem Substrat (30) an diesem Punkt gebildet wird, gemessen wird, wenn die Anwendung der jeweiligen Pulsspannung beendet ist, und das Volumen oder die Masse der Rohmaterial-Flüssigkeit, welche aus jeder Kapillare injiziert wird, unabhängig in jedem Verfahrensschritt gemessen wird, wenn die jeweilige Pulsspannung basierend auf dem gemessenen Wert des Volumens oder der Masse des Tröpfchens (70) angewendet wird.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed liquid according to claim 6, wherein the volume or the mass of the droplet ( 70 ), which on the substrate ( 30 ) is measured at this point, when the application of the respective pulse voltage is finished, and the volume or mass of the raw material liquid injected from each capillary is measured independently in each process step, when the respective pulse voltage is based on the measured value of the volume or mass of the droplet ( 70 ) is applied. Verfahren zum Bilden eines Tröpfchens (70) einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 7, wobei die Menge des Tröpfchens (70) der Mischflüssigkeit, welche auf dem Substrat (30) gebildet wird, durch Durchführen einer Rückkopplungskontrolle eingestellt wird, welche auf dem Volumen oder der Masse des Tröpfchens basiert, welches auf dem Substrat (30) in jedem Verfahrensschritt gebildet wird, wenn die jeweilige Pulsspannung angewendet wird.Method for forming a droplet ( 70 ) of a mixed liquid according to claim 7, wherein the amount of the droplet ( 70 ) of the mixed liquid which is deposited on the substrate ( 30 ) is set by performing a feedback control based on the volume or mass of the droplet deposited on the substrate ( 30 ) is formed in each process step when the respective pulse voltage is applied. Vorrichtung (10) zum Bilden von Mischflüssigkeitströpfchen (30), umfassend: einen Rohmaterial-Flüssigkeits-Freisetzungsbereich (20), welcher eine Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) aufweist, worin Rohmaterial-Flüssigkeiten zum Bilden eines Tröpfchens (70) der Mischflüssigkeit jeweils bereitgehalten werden, ein Substrat (30), welches gegenüber den Spitzen jeder Kapillare angeordnet ist und auf welches das Tröpfchen (70) der Mischflüssigkeit aufgebracht wird, welches aus der Rohmaterial-Flüssigkeit gebildet wird, wobei es jeweils von den Spitzen von jeder Kapillare freigesetzt wird, eine Vorrichtung zum Anlegen einer Spannung (40), welche eine Pulsspannung zwischen jeder der Rohmaterial-Flüssigkeiten, welche in jeder Kapillare bereitgehalten wird, und dem Substrat (30) anwendet, und einen Regler (50), welcher zur Kontrolle der Vorrichtung zum Anlegen einer Spannung (40) eingerichtet ist.Contraption ( 10 ) for forming mixed liquid droplets ( 30 ) comprising: a raw material liquid release region ( 20 ), which has a plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 in which raw material liquids for forming a droplet ( 70 ) of the mixed liquid are each kept ready, a substrate ( 30 ), which is arranged opposite the tips of each capillary and on which the droplet ( 70 ) is applied to the mixed liquid, which is formed from the raw material liquid, wherein it is released in each case by the tips of each capillary, a device for applying a voltage ( 40 ) which provides a pulse voltage between each of the raw material liquids held in each capillary and the substrate ( 30 ) and a controller ( 50 ), which is used to control the device for applying a voltage ( 40 ) is set up. Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit (10) gemäß Anspruch 9, wobei der Regler (50) so zur Kontrolle der Vorrichtung (40) zur Anwendung einer Pulsspannung eingerichtet ist, dass der Wert der Pulsspannung, welche auf die Rohmaterial-Flüssigkeit angewendet werden soll, welche in wenigstens einer Kapillare der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten wird, größer werden kann als der Wert der Pulsspannung, welche auf jede der anderen Rohmaterial-Flüssigkeiten angewendet werden soll.Device for forming droplets of a mixed liquid ( 10 ) according to claim 9, wherein the controller ( 50 ) so to control the device ( 40 ) is arranged to apply a pulse voltage such that the value of the pulse voltage to be applied to the raw material liquid contained in at least one capillary of the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ) is allowed to become larger than the value of the pulse voltage to be applied to each of the other raw material liquids. Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit (10) gemäß Anspruch 9, wobei der Regler (50) so zur Kontrolle der Vorrichtung (40) zur Anwendung einer Pulsspannung eingerichtet ist, dass zuerst die Anwendung der Pulsspannung auf die Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet wird, welche in wenigstens einer Kapillare der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) bereitgehalten wird, und danach die Anwendung der Pulsspannung auf jede der anderen Flüssigkeiten der Rohmaterial-Flüssigkeit gestartet wird, bevor die erste Anwendung der Pulsspannung beendet wird.Device for forming droplets of a mixed liquid ( 10 ) according to claim 9, wherein the controller ( 50 ) so to control the device ( 40 ) is adapted to apply a pulse voltage by first starting the application of the pulse voltage to the raw material liquid which is present in at least one capillary of the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ), and then the application of the pulse voltage to each of the other liquids of the raw material liquid is started before the first application of the pulse voltage is terminated. Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer gemischten Flüssigkeit (10) gemäß Anspruch 9, wobei der Abstand zwischen der Spitze von wenigstens einer Kapillare der Mehrzahl von Kapillaren (1, 2, 3) und dem Substrat (30) so bestimmt ist, dass er größer ist als der Abstand zwischen jeder Spitze der anderen Kapillaren und dem Substrat (30).Device for forming droplets of a mixed liquid ( 10 ) according to claim 9, wherein the distance between the tip of at least one capillary of the plurality of capillaries ( 1 . 2 . 3 ) and the substrate ( 30 ) is determined to be greater than the distance between each tip of the other capillaries and the substrate ( 30 ). Vorrichtung zum Bilden von Tröpfchen einer Mischflüssigkeit gemäß Anspruch 9, weiter umfassend eine Volumenmessvorrichtung (80) zum Messen des Volumens eines Tröpfchens (70), welches auf dem Substrat (30) gebildet wird, und/oder einen Massesensor (90) zum Messen der Masse des Tröpfchens und wobei der Regler (50) zur Kontrolle der Volumenmessvorrichtung (80) und/oder des Massesensors (90) zusammen mit der Vorrichtung zum Anlegen einer Spannung (40) eingerichtet ist.Apparatus for forming droplets of a mixed fluid according to claim 9, further comprising a volumetric measuring device ( 80 ) for measuring the volume of a droplet ( 70 ), which on the substrate ( 30 ), and / or a mass sensor ( 90 ) for measuring the mass of the droplet and wherein the regulator ( 50 ) for controlling the volume measuring device ( 80 ) and / or the mass sensor ( 90 ) together with the device for applying a voltage ( 40 ) is set up.
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