DE60204279T2 - Vakuum- und gasdichter Behälter zur thermischen Isolierung von Induktionsheizeinrichtungen - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 19
- 230000006698 induction Effects 0.000 title description 17
- 238000009413 insulation Methods 0.000 title 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 8
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 3
- 239000005340 laminated glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 3
- 239000011449 brick Substances 0.000 claims description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005269 aluminizing Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009730 filament winding Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/22—Furnaces without an endless core
- H05B6/24—Crucible furnaces
- H05B6/26—Crucible furnaces using vacuum or particular gas atmosphere
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
- C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
- C21D9/56—Continuous furnaces for strip or wire
- C21D9/561—Continuous furnaces for strip or wire with a controlled atmosphere or vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
- C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
- C21D9/56—Continuous furnaces for strip or wire
- C21D9/60—Continuous furnaces for strip or wire with induction heating
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/04—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity adapted for treating the charge in vacuum or special atmosphere
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/06—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated
- F27B9/062—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated electrically heated
- F27B9/067—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity heated without contact between combustion gases and charge; electrically heated electrically heated heated by induction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/28—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity for treating continuous lengths of work
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/36—Arrangements of heating devices
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
- F27D1/0003—Linings or walls
- F27D1/0033—Linings or walls comprising heat shields, e.g. heat shieldsd
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
- F27D1/12—Casings; Linings; Walls; Roofs incorporating cooling arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
- F27D11/12—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces with electromagnetic fields acting directly on the material being heated
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D5/00—Supports, screens, or the like for the charge within the furnace
- F27D5/0062—Shields for the charge
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D7/00—Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
- F27D7/06—Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
- F27D2007/063—Special atmospheres, e.g. high pressure atmospheres
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D9/00—Cooling of furnaces or of charges therein
- F27D2009/0002—Cooling of furnaces
- F27D2009/0018—Cooling of furnaces the cooling medium passing through a pattern of tubes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F27D99/0001—Heating elements or systems
- F27D99/0006—Electric heating elements or system
- F27D2099/0015—Induction heating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Beheizen eines metallischen Produktes durch elektromagnetische Induktion im kontinuierlichen Durchlauf unter Schutzatmosphäre oder im Vakuum.
- Der Gebrauch von Vorrichtungen zum Beheizen durch elektromagnetische Induktion für die Wärmebehandlung unter Schutzatmosphäre, wie sie in Heißbeschichtungsanlagen (Galvanisierung, Aluminierung, etc. ...) oder in Anlagen zur kontinuierlichen Wärmebehandlung (Temper-Anlagen z. B.) angewendet wird, ist seit langer Zeit bekannt.
- Man benutzt allgemein zwei Typen von Induktions-Heizvorrichtungen für diese Anlagen: den mit Längsfluss (der Induktor wird von mehreren von Strom durchflossenen Windungen gebildet, die das durchlaufende Produkt derart umgeben, dass ein magnetischer Fluss in der Richtung des Durchlaufs der Produkte erzeugt wird) und den mit quer verlaufendem Fluss (die Windungen des Induktors sind in einer Ebene parallel zur Oberfläche des Produktes derart angeordnet, dass der magnetische Fluss senkrecht zu dieser Ebene ist).
- Der Gebrauch des einen oder des anderen Typs dieser Vorrichtungen wird abhängig vom Typ des zu behandelnden Produkts ausgewählt. So passt die Induktion mit Längsfluss im Allgemeinen zu magnetischen Produkten, bei denen man eine in der Nähe von 750°C (Curie-Punkt) liegende Temperatur zu erreichen wünscht, während die Induktion mit Querfluss besser tauglich ist für eine Beheizung auf höhere Temperatur, insbesondere für nicht-magnetische Produkte.
- Außerdem muss die Induktionsbeheizung, wenn es sich um ein nicht beschichtetes Produkt handelt, das bei einer Temperatur behandelt werden muss, bei der es zu oxidieren droht, unter Schutzatmosphäre, wie einer Mischung aus Wasserstoff und Stickstoff, ablaufen. Daraus ergibt sich, dass die Heizvorrichtung unter anderem eine Hülle umfasst, die von dem zu behandelnden Produkt durchlaufen wird und die vollständig dicht gegen die Luft sein muss, um jede Oxidation des Produkts zu vermeiden.
- In den bekannten Anwendungen dieses Typs der Induktionsheizung benutzt man Vorrichtungen zum induktiven Beheizen unter Schutzatmosphäre, in denen die Heizvorrichtung direkt im Inneren der dichten Hülle angeordnet ist. Die Abdichtung umhüllt also dabei die Indultionsmittel vollständig, was zahlreiche Nachteile mit sich bringt, insbesondere bei Wartungsarbeiten an diesen Induktoren, welche die Demontage der Hülle erzwingen, oder bei der Ausführung der Abdichtung der Durchlässe der Zuführung und der Abführung des elektrischen Stroms, der die Induktoren speist, und für die Durchlässe der Kühlwasserleitungen für diese letzteren.
- Um dieses Problem zu lösen, kennt man Anwendungen, wie sie zum Beispiel in der europäischen Patentanmeldung beschrieben sind, die unter der Nr. 0 822 733 veröffentlicht wurde, welche eine Heizvorrichtung verwendet, die Induktionsmittel und eine gasdichte Hülle umfasst, der um das durchlaufende Produkt herum zwischen diesem letzteren und den Induktoren angeordnet ist, wobei sich diese Hülle in der Durchlaufrichtung des Produkts stromauf und stromab der Induktoren erstreckt.
- In dieser europäischen Patentanmeldung ist die Abdichtungs-Hülle in ihrem Mittelteil, der von den eigentlichen Induktionsmitteln eingefasst ist, von einer Manschette gebildet, die eine oder mehrere thermisch und elektrisch isolierende Gewebelagen umfasst, und von einer gasdichten Folie bekleidet ist, die gegen eine mindestens 100°C betragende, jedoch niemals 750°C überschreitende Temperatur beständig ist (eine Vorrichtung, die mit Induktion im Längsfluss arbeitet).
- Hingegen ist die in diesem Dokument offenbarte Manschette, wenn es darum geht, ein Produkt auf eine höher als 750°C liegende Temperatur zu erhitzen (beispiels weise zum Glanztempern von rostfreiem Stahl), wobei eine Vorrichtung mit Induktion durch Querfluss oder Längsfluss verwendet wird, nicht mehr brauchbar bei solchen Temperaturen, was das Risiko mit sich bringt, die Induktoren zu beschädigen, die typischerweise nicht bei mehr als 100°C arbeiten dürfen.
- Die vorliegende Erfindung zielt also darauf ab, diesen Nachteilen abzuhelfen, indem sie eine gegen Gas und Vakuum dichte und elektrisch isolierende (d. h. für den magnetischen Fluss durchlässige) Hülle vorschlägt, die an einen thermisch isolierenden Schirm gekoppelt ist, der es ermöglicht, die Induktionsmittel und einen eventuellen magnetischen Schaltkreis der Vorrichtung zum Beheizen mit elektromagnetischer Induktion zu schützen, und dies unabhängig davon, welche Betriebsart diese letztere hat (Längsfluss oder Querfluss).
- Erfindungsgemäß ist diese gegen Gas und Vakuum dichte Hülle um das durchlaufende Produkt herum zwischen diesem letzteren und den Induktionsmitteln der Heizung angeordnet.
- Zu diesem Zweck zeichnet sich das gas- und vakuumdichte Gehäuse, das bestimmt ist zur Verwendung in einer Vorrichtung zum Beheizen eines im Inneren des besagten Gehäuses durchlaufenden Produktes durch elektromagnetische Induktion, dadurch aus, dass es zumindest in seinem mittleren, von den besagten Mitteln zum induktiven Beheizen eingefassten Teil ein Futter umfasst, das aus einem elektrisch isolierenden Material geformt ist und dicht gegen Gas und Vakuum ist, wobei die Innenseiten des besagten Futters durch einen Hitzeschild geschützt sind, der aus einer Matrix von Ofensteinen aus einem thermisch isolierenden Material und aus einer Mehrzahl von durch Umlauf einer Flüssigkeit gekühlten Rohren besteht, wobei diese letzteren in besagter Matrix von Ofensteinen eingeschlossen sind.
- Die Rolle des Hitzeschildes ist, eine Temperatur in der Nähe von 100°C des das Futter bildenden Materials sicherzustellen, während das zu erhitzende Produkt bei einer Temperatur in der Größenordnung von 1200°C liegt.
- Andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden sich aus der Beschreibung ergeben, die hiernach unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen gegeben wird, die ein von jeglicher beschränkenden Wirkung freies Ausführungsbeispiel dazu darstellen.
- In den Zeichnungen ist
-
1 eine Quer-Schnittansicht der Hülle gemäß der Erfindung; -
2 eine vergrößerte Teilansicht eines Details der1 ; -
3 eine Schnittansicht entlang der Linie III-III der1 ; -
4 eine Teilansicht des Schnitts entlang der Linie IV-IV eines Details der3 ; -
5 eine schematische Ansicht zur Darstellung eines Teils einer Anlage zur Wärmebehandlung, die eine Hülle gemäß der Erfindung umfasst. - Wie in den
1 bis4 wiedergegeben, stellt sich die gas- und vakuumdichte und elektrisch isolierende Hülle nach der Erfindung in der Form eines länglichen Futters1 dar, das mit einem Hitzeschild2 gekoppelt ist. - Der im Inneren des besagten Futters definierte Raum
3 wird an die Form des zu behandelnden Produktes angepasst. Zum Beispiel stellt das Futter von parallelepipedischer Form, wie in den1 bis4 dargestellt, typischerweise eine Anwendung dieser Vorrichtung für ein zu behandelndes Band dar. - Wohlgemerkt kann dieser Hüllentyp auch bei jedem anderen Produkt angewendet werden, ob dieses nun durchläuft oder nicht (Draht aus Stahl, Kupfer, Aluminium, etc ...).
- Das Futter
1 ist also zum Umhüllen des zu behandelnden durchlaufenden Produkts bestimmt und zwischen diesem und den Induktionsmitteln der Heizvorrichtung angeordnet. Es kann sich über die gesamte Höhe der Induktionsmittel erstrecken, aber man wird vorzugsweise ein Futter wählen, das sich über diese Induktoren hinaus stromauf und stromab der letzteren erstreckt, derart, dass nicht die Endstücke durch die Rückführung des Induktionsflusses erhitzt werden. - Erfindungsgemäß werden übliche Mittel zum Abdichten gegen Gas und Vakuum vorgesehen, jeweils am Eingang und am Ausgang des Futters an den Enden dieses letzteren, durch die das im kontinuierlichen Durchlauf zu beheizende Band eintritt und austritt. Diese Mittel von üblicher Gestaltung sind in den Zeichnungen nicht dargestellt worden.
- Wie in
1 dargestellt, wird das Futter gemäß der Erfindung aus einem für den magnetischen Fluss durchlässigen, also elektrisch isolierenden Material hergestellt. - In einem nicht einschränkenden Ausführungsbeispiel der Erfindung wird dieses Futter durch Fadenwickeln von Epoxy-Harz oder gleichwertigem hergestellt.
- Jedoch sind andere Ausführungen möglich, ohne insoweit aus dem Rahmen der vorliegenden Erfindung auszubrechen, und es ist möglich, andere Materialien zu verwenden, um das Futter herzustellen, unter der Bedingung, dass diese Materialien für den magnetischen Fluss durchlässig sind. So kann beispielsweise ein erfindungsgemäßes Futter aus keramischem Material oder aus Glas hergestellt werden.
- Der Innenraum
3 des besagten Futters wird mit einer Schutzatmosphäre gefüllt (im Allgemeinen aus einer Mischung von Stickstoff und Wasserstoff zusammengesetzt), und erlaubt es, jede Oxidation des Produkts während der Behandlung dieses letzteren zu vermeiden. Es ist also notwendig, dass das Futter1 gegen diese Gase und auch gegen Vakuum dicht ist. - Außerdem muss das Futter auch elektrisch nicht leitend sein, damit es keinen durch den Induktionsfluss induzierten Strom führt.
- Darüber hinaus besitzt es gute mechanische Eigenschaften, insbesondere eine hohe Steifigkeit, um den Hitzeschild
2 zu tragen, der aus einer Mehrzahl von Rohren4 gebildet ist, die in einer Matrix aus Ofensteinen5 aus Keramik oder gleichartigem Material eingebettet sind, wie hiernach noch beschrieben wird. - Tatsächlich wird der Hitzeschild von einer Baugruppe aus einer Mehrzahl von Rohren
4 gebildet, die über sämtliche Innenflächen des Futters verteilt angeordnet sind und in denen eine Flüssigkeit fließt, insbesondere Wasser, um das Futter zu kühlen. - In dem vorteilhaften Ausführungsbeispiel, das in den
1 bis4 dargestellt ist, sind die besagten Kühlrohre gleichmäßig über alle inneren Flächen des Futters1 verteilt. - Gemäß einem weiteren vorteilhaften Merkmal der Erfindung (vgl.
3 ) sind die Rohre vorzugsweise aus rostfreiem Stahl mit geringer Dicke (in der Größenordnung von 0,5 mm) hergestellt und sie bilden eine Mehrzahl von Nadeln (schlangenförmige Konfiguration). Diese Rohre können auch aus einem elektrisch isolierenden, folglich für den magnetischen Fluss durchlässigen Material hergestellt werden, zum Beispiel aus Glas, aus Glas mit Epoxy-Harz ... - Außerdem ist eine Matrix aus Ofensteinen
5 , die aus Keramik oder aus anderen isolierenden gleichwertigen Materialien (Beton, etc. ...) hergestellt sind, zwischen jedem Kühl-Rohr4 angeordnet, um die Wärmestrahlung des zu behandelnden Produkts zu unterbrechen. - Die besagten Ofensteine weisen eine besondere geometrische Form auf derart, dass sie sich auf oder zwischen den Rohren
4 einfädeln und so eine Matrix bilden können, die diese Rohre einfassen kann, derart, dass diese letzteren nicht direkt dem vorbeilaufenden Produkt ausgesetzt sind. - Da das die Ofensteine
5 bildende Material (Keramik, Beton, etc. ...) ein sehr guter Wärmeisolator ist, werden diese Steine folglich den vom erhitzten Produkt abgestrahlten Wärmefluss unterbrechen. - Im Übrigen wird der geringe Anteil der von besagtem Produkt abgestrahlten Wärme, der noch zu den Rohren gelangt, die in den besagten Ofensteinen
5 eingefasst sind, durch Wärmeabfuhr mit der Kühlflüssigkeit abgeführt werden können, die in besagten Rohren fließt. - Der Hitzeschild
2 , der durch die Baugruppe aus Rohren4 und Ofensteinen5 gebildet ist, wird mechanisch an der Innenseite des Futters1 mithilfe von Schrauben6 oder analogen Befestigungsmitteln festgelegt. - Vorteilhaft legt man zwischen diesen Hitzeschild und das Futter
1 eine Verbundglasplatte7 (die beispielsweise eine Dicke von ungefähr 3 mm hat), um so den Einbau und folglich die Befestigung der Rohre4 und Ofensteine5 auf dem besagten Futter zu vereinfachen, wobei die besagte Verbundglasplatte7 selbst zwischen zwei dünnen Schichten8 und9 aus keramischem Gewebe oder gleichartigem angeordnet ist. - Wohlgemerkt sieht man vor, um einen optimalen Wirkungsgrad dieses Hitzeschildes zu erreichen, dass bei dessen Montage ein möglichst geringes Spiel zwischen dem Futter
1 und dem Hitzeschild2 sowie zwischen den Rohren4 und den Ofensteinen5 vorliegt. - Nun wird ein Anwendungsbeispiel der dichten und isolierenden Hülle gemäß der Erfindung in einer Anlage zur Wärmebehandlung eines durchlaufenden Bandes beschrieben.
- In diesem Beispiel ist die Anlage zum Erhitzen eines Bandes aus rostfreiem Stahl unter einer Schutzatmosphäre mit starkem Wasserstoffgehalt bestimmt. Dieser Typ der Wärmebehandlung erfordert typischerweise eine Heiztemperatur in der Größenordnung von 1150°C. Um dahin zu gelangen, verwendet man eine Vorrichtung zum Heizen mit elektromagnetischer Induktion, wie sie in
5 dargestellt ist. - Diese Heizvorrichtung umfasst mindestens eine von Strom durchflossene Spule
10 , die in einer Ebene parallel zur Oberfläche des durchlaufenden und zu behandelnden Bandes11 angeordnet ist, so dass der magnetische Querfluss senkrecht zur Hauptfläche des besagten Bandes verläuft. Außerdem ist um das Band herum zwischen diesem letzteren und den Spulen10 eine erfindungsgemäße Hülle12 angeordnet und erstreckt sich vorzugsweise in einer Ebene, die senkrecht zur Durchlaufrichtung des besagten Bandes ist, stromauf und stromab der Windungen der besagten Spulen. - Die den Hitzeschild der besagten Hülle bildenden Rohre
13 werden dann an einen Zulauf und Ablaufsammler für die Kühlflüssigkeit angeschlossen, so dass ein geringer Anteil der Hitze, die von dem Band abgestrahlt wird, das die Matrix aus Keramik-Ofensteinen durchlaufen hat, abgeführt werden kann. So erlaubt es diese Hülle, eine doppelte Funktion zu erfüllen: sie spielt die Rolle eines gas- oder vaku umdichten Kastens, der zum Behandeln des Bandes notwendig ist, und sie erlaubt es, das besagte Futter wirksam zu schützen. - Diese Hülle erlaubt es auch, direkt auf die Induktionsspulen zuzugreifen (insbesondere bei der Wartung dieser letzteren), ohne dass man die Dichtheit der besagten Hülle unterbrechen muss. Die erfindungsgemäße Hülle ist so gänzlich an jede Anlage anpassbar, die eine Schutzatmosphäre benutzt oder unter Vakuum arbeitet.
- Es bleibt wohlverstanden, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die hiervor beschriebenen und dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass sie alle deren Varianten einbezieht.
Claims (7)
- Gas- und vakuumdichte Hülle, bestimmt zur Verwendung in einer Vorrichtung zum Erhitzen eines im Inneren des besagten Gehäuses durchlaufenden Produktes durch elektromagnetische Induktion, wobei sie ein Futter (
1 ) umfasst, das aus einem elektrisch isolierenden Material geformt und gas- und vakuumdicht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenseiten des besagten Futters durch einen Hitzeschild (2 ) geschützt sind, der aus einer Matrix von Ofensteinen (5 ) aus einem thermisch isolierenden Material und aus einer Mehrzahl von durch Umlauf einer Flüssigkeit gekühlten Rohren (4 ) besteht, wobei diese letzteren in besagter Matrix von Ofensteinen eingeschlossen sind. - Hülle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass besagtes Futter (
1 ) durch Wickeln von mit Epoxy-Harz oder gleichartigem Material getränkten Fäden hergestellt ist. - Hülle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass besagtes Futter (
1 ) aus einem keramischen Material oder aus Glas hergestellt ist. - Hülle nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Rohre (
4 ) gleichmäßig über alle Innenseiten des besagten Futters verteilt sind. - Hülle nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Rohre (
4 ) eine Mehrzahl von Hohlnadeln vorzugsweise aus rostfreiem Stahl mit geringer Dicke bilden. - Hülle nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten Rohre (
4 ) aus einem elektrisch isolierenden, also für den magnetischen Fluss durchlässigen Material, insbesondere aus Glas oder Glas-Harz-Mischung ausgeführt sind. - Hülle nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Platte (
7 ) aus Verbundglas zwischen dem besagten Futter (1 ) und den besagten Rohren (4 ) und Ofensteinen (5 ) so angeordnet ist, dass das Einsetzen und damit die Befestigung der Ofensteine auf dem besagten Futter vereinfacht wird.
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0103044A FR2821925B1 (fr) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Enceinte d'etancheite au gaz et au vide d'isolation thermique destinee a un dispositif de chauffage par induction |
EP02290769A EP1349431B1 (de) | 2001-03-06 | 2002-03-27 | Vakuum- und gasdichter Behälter zur thermischen Isolierung von Induktionsheizeinrichtungen |
CA2380812A CA2380812C (fr) | 2001-03-06 | 2002-04-10 | Enceinte d'etancheite au gaz et au vide d'isolation thermique destinee a un dispositif de chauffage par induction |
US10/122,135 US6693264B2 (en) | 2001-03-06 | 2002-04-15 | Vacuum and gas tight enclosure for induction heating system |
JP2002115200A JP4085307B2 (ja) | 2001-03-06 | 2002-04-17 | 誘導加熱装置用の断熱性ガス密封且つ真空密封チャンバ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60204279D1 DE60204279D1 (de) | 2005-06-30 |
DE60204279T2 true DE60204279T2 (de) | 2006-03-02 |
Family
ID=30119352
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE0001349431T Pending DE02290769T1 (de) | 2001-03-06 | 2002-03-27 | Vakuum- und gasdichter Behälter zur thermischen Isolierung von Induktionsheizeinrichtungen |
DE60204279T Expired - Lifetime DE60204279T2 (de) | 2001-03-06 | 2002-03-27 | Vakuum- und gasdichter Behälter zur thermischen Isolierung von Induktionsheizeinrichtungen |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE0001349431T Pending DE02290769T1 (de) | 2001-03-06 | 2002-03-27 | Vakuum- und gasdichter Behälter zur thermischen Isolierung von Induktionsheizeinrichtungen |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6693264B2 (de) |
EP (1) | EP1349431B1 (de) |
JP (1) | JP4085307B2 (de) |
AT (1) | ATE296528T1 (de) |
CA (1) | CA2380812C (de) |
DE (2) | DE02290769T1 (de) |
ES (1) | ES2212929T3 (de) |
FR (1) | FR2821925B1 (de) |
TR (1) | TR200400173T3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010015263A1 (de) * | 2010-04-15 | 2011-10-20 | Leybold Optics Gmbh | Hitzeschild in einer thermischen Bearbeitungskammer und Verfahren zu seiner Herstellung |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030233314A1 (en) * | 2001-11-14 | 2003-12-18 | Christopher Kokis | General montage layout |
KR100813083B1 (ko) * | 2002-04-17 | 2008-03-14 | 셀레스 | 유도 가열 장치용 단열 가스 밀봉 및 진공 밀봉 챔버 |
US8029454B2 (en) * | 2003-11-05 | 2011-10-04 | Baxter International Inc. | High convection home hemodialysis/hemofiltration and sorbent system |
US7655160B2 (en) * | 2005-02-23 | 2010-02-02 | Electromagnetics Corporation | Compositions of matter: system II |
US7479621B2 (en) * | 2005-12-06 | 2009-01-20 | Praxair Technology, Inc. | Magnetic annealing tool heat exchange system and processes |
FR2895871B1 (fr) * | 2006-01-04 | 2008-02-29 | Celes Sa | Ecran d'isolation thermique pour isoler un inducteur electromagnetique, et installation de traitement thermique comportant un tel ecran |
JP2009522816A (ja) * | 2006-01-09 | 2009-06-11 | インダクトサーム・コーポレイション | 電磁的にシールドした誘導加熱装置 |
EP2620952A3 (de) * | 2006-03-16 | 2016-03-09 | Electromagnetics Corporation | Zusammensetzungen von Materie: System II |
JP5051875B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP5162949B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2013-03-13 | 新日鐵住金株式会社 | 誘導加熱炉 |
JP4833922B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2011-12-07 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼帯の連続誘導加熱炉およびそれを用いた鋼帯の連続熱処理方法 |
US7809254B2 (en) * | 2007-07-05 | 2010-10-05 | Baxter International Inc. | Dialysis fluid heating using pressure and vacuum |
EP2283496B1 (de) | 2008-04-14 | 2021-04-07 | Inductotherm Corp. | Elektrische transversalflussspulen variabler breite |
JP5350747B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2013-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
US8803046B2 (en) * | 2009-08-11 | 2014-08-12 | Radyne Corporation | Inductor assembly for transverse flux electric induction heat treatment of electrically conductive thin strip material with low electrical resistivity |
US9790574B2 (en) | 2010-11-22 | 2017-10-17 | Electromagnetics Corporation | Devices for tailoring materials |
EP2756248A4 (de) * | 2011-09-16 | 2015-02-25 | Inductotherm Corp | Gasversiegelter tunnelofen mit elektrischer induktion |
KR101461761B1 (ko) * | 2012-12-27 | 2014-11-13 | 주식회사 포스코 | 가열 장치 |
EP3116636B1 (de) | 2014-03-11 | 2020-07-08 | Tekna Plasma Systems Inc. | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von pulverpartikeln durch zerstäubung eines einsatzmaterials in form eines länglichen elements |
CN108025364A (zh) * | 2015-06-05 | 2018-05-11 | 派洛珍尼西斯加拿大公司 | 用于以高产能生产高品质球形粉末的等离子设备 |
KR102533933B1 (ko) | 2015-07-17 | 2023-05-17 | 에이피앤드씨 어드밴스드 파우더스 앤드 코팅스 인크. | 플라즈마 분무화 금속 분말 제조 프로세스 및 플라즈마 분무화 금속 분말 제조 프로세스를 위한 시스템 |
CN105714085B (zh) * | 2016-03-14 | 2024-04-26 | 东莞市朗赛德五金工具有限公司 | 一种用于刀具加工的真空密封加热装置 |
CN105704852B (zh) * | 2016-04-08 | 2018-10-02 | 核工业理化工程研究院 | 真空电磁感应加热用超高温热屏蔽装置 |
AU2017249439B2 (en) | 2016-04-11 | 2022-10-20 | Ap&C Advanced Powders & Coatings Inc. | Reactive metal powders in-flight heat treatment processes |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR673243A (fr) * | 1928-09-06 | 1930-01-13 | Liptak Firebrick Arch Company | Voûtes de four à refroidissement d'eau |
DE939526C (de) * | 1949-12-03 | 1956-02-23 | Hoerder Huettenunion Ag | Luftgekuehlter, feuerfester Stein, insbesondere fuer Gewoelbe von Siemens-Martin-OEfen |
US2858404A (en) * | 1957-04-18 | 1958-10-28 | Westinghouse Electric Corp | Induction heating apparatus |
US3180917A (en) * | 1961-05-31 | 1965-04-27 | Union Carbide Corp | Low frequency induction furnace |
US3674971A (en) * | 1971-05-13 | 1972-07-04 | United States Steel Corp | Induction heating coil constructed to minimize vibration and noise |
US3735082A (en) * | 1972-02-02 | 1973-05-22 | Park Ohio Industries Inc | Induction heating coil support |
DE2217407A1 (de) * | 1972-04-11 | 1973-11-29 | Siemens Ag | Induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen |
GB1439137A (en) * | 1972-10-19 | 1976-06-09 | Didier Werke Ag | Cooling element for furnace linings |
WO1983001792A1 (en) * | 1981-11-16 | 1983-05-26 | Kudinov, Gennady, Alexandrovich | Cooling plate for metallurgical furnaces |
US4431901A (en) * | 1982-07-02 | 1984-02-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Induction plasma tube |
GB8404767D0 (en) * | 1984-02-23 | 1984-03-28 | Davy Mckee Poole | Transverse flux induction heaters |
FR2630612B1 (fr) * | 1988-04-26 | 1996-05-24 | Siderurgie Fse Inst Rech | Dispositif de protection des poles d'inducteurs et inducteur pourvu de ce dispositif |
AU4043293A (en) * | 1992-02-13 | 1993-09-13 | Igor Mikhailovich Maximov | Method and installation for treating metal articles with induction magnetic field in gaseous medium |
US5461215A (en) * | 1994-03-17 | 1995-10-24 | Massachusetts Institute Of Technology | Fluid cooled litz coil inductive heater and connector therefor |
FR2752134B1 (fr) | 1996-08-02 | 2003-12-26 | Selas Sa | Dispositif de chauffage par induction et installation de traitement thermique en continu comportant un tel dispositif |
JP3479868B2 (ja) * | 1997-12-29 | 2003-12-15 | 北芝電機株式会社 | 誘導加熱装置 |
US6229126B1 (en) * | 1998-05-05 | 2001-05-08 | Illinois Tool Works Inc. | Induction heating system with a flexible coil |
SE515593C2 (sv) * | 1999-03-01 | 2001-09-03 | Avesta Sheffield Ab | Apparat för värmning av ett metallband |
-
2001
- 2001-03-06 FR FR0103044A patent/FR2821925B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-03-27 TR TR200400173T patent/TR200400173T3/xx unknown
- 2002-03-27 AT AT02290769T patent/ATE296528T1/de active
- 2002-03-27 DE DE0001349431T patent/DE02290769T1/de active Pending
- 2002-03-27 EP EP02290769A patent/EP1349431B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-27 DE DE60204279T patent/DE60204279T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-27 ES ES02290769T patent/ES2212929T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-10 CA CA2380812A patent/CA2380812C/fr not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-15 US US10/122,135 patent/US6693264B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-17 JP JP2002115200A patent/JP4085307B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010015263A1 (de) * | 2010-04-15 | 2011-10-20 | Leybold Optics Gmbh | Hitzeschild in einer thermischen Bearbeitungskammer und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE102010015263B4 (de) * | 2010-04-15 | 2013-06-27 | Leybold Optics Gmbh | Hitzeschild in einer thermischen Bearbeitungskammer und Verfahren zu seiner Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1349431A1 (de) | 2003-10-01 |
TR200400173T3 (tr) | 2004-04-21 |
DE60204279D1 (de) | 2005-06-30 |
ES2212929T1 (es) | 2004-08-16 |
ATE296528T1 (de) | 2005-06-15 |
ES2212929T3 (es) | 2005-09-16 |
US20030192878A1 (en) | 2003-10-16 |
CA2380812A1 (fr) | 2003-10-10 |
FR2821925B1 (fr) | 2003-05-16 |
EP1349431B1 (de) | 2005-05-25 |
US6693264B2 (en) | 2004-02-17 |
JP4085307B2 (ja) | 2008-05-14 |
FR2821925A1 (fr) | 2002-09-13 |
CA2380812C (fr) | 2014-08-12 |
JP2003317912A (ja) | 2003-11-07 |
DE02290769T1 (de) | 2004-07-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |