DE602005022150D1 - Verfahren und Gerät zur Vorbereitung von Proben - Google Patents

Verfahren und Gerät zur Vorbereitung von Proben

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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4037809B2 (ja) * 2003-08-20 2008-01-23 日本電子株式会社 イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置
JP5033314B2 (ja) * 2004-09-29 2012-09-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ イオンビーム加工装置及び加工方法
JP4851365B2 (ja) * 2007-03-02 2012-01-11 日本電子株式会社 イオンミーリング試料作製装置用マスクおよび試料作製装置
JP4920494B2 (ja) * 2007-05-25 2012-04-18 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 試料作成方法
JP4890373B2 (ja) * 2007-07-19 2012-03-07 新日本製鐵株式会社 試料作製方法
JP4952474B2 (ja) * 2007-09-20 2012-06-13 住友電気工業株式会社 断面観察試料の作製方法
JP5009126B2 (ja) * 2007-10-26 2012-08-22 真則 尾張 アトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置
DE102008042179B9 (de) * 2008-09-17 2013-10-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zur Analyse einer Probe
FR2940468B1 (fr) * 2008-12-23 2011-02-11 Commissariat Energie Atomique Dispositif et procede pour l'encastrement d'une piece dans un anneau
GB201002645D0 (en) * 2010-02-17 2010-03-31 Univ Lancaster Method and apparatus for ion beam polishing
US8384050B2 (en) * 2010-04-11 2013-02-26 Gatan, Inc. Ion beam sample preparation thermal management apparatus and methods
US8283642B2 (en) * 2010-04-11 2012-10-09 Gatan, Inc. Ion beam sample preparation apparatus and methods
KR20110114026A (ko) * 2010-04-12 2011-10-19 삼성전자주식회사 시편 제조 장치 및 방법
JP5657435B2 (ja) * 2011-03-15 2015-01-21 日本電子株式会社 薄膜試料作製方法
US8506828B1 (en) * 2011-06-28 2013-08-13 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing a magnetic recording transducer using an ion beam scan polishing planarization
JP6174584B2 (ja) * 2011-09-12 2017-08-02 エフ・イ−・アイ・カンパニー 視射角ミル
US10026590B2 (en) 2012-12-31 2018-07-17 Fei Company Fiducial design for tilted or glancing mill operations with a charged particle beam
US20160189929A1 (en) * 2014-10-29 2016-06-30 Omniprobe, Inc. Rapid tem sample preparation method with backside fib milling
CN108348700B (zh) 2015-10-30 2022-04-29 强生消费者公司 单位剂量无菌气溶胶雾化装置
WO2017075315A1 (en) 2015-10-30 2017-05-04 Johnson & Johnson Consumer Inc. Aseptic aerosol misting device
JP7215147B2 (ja) * 2018-03-14 2023-01-31 住友金属鉱山株式会社 透過電子顕微鏡観察用試料
JP7424204B2 (ja) * 2019-05-24 2024-01-30 住友金属鉱山株式会社 透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法
JP7285884B2 (ja) * 2021-06-04 2023-06-02 日本電子株式会社 試料加工装置および試料加工方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01159949A (ja) * 1987-12-16 1989-06-22 Hitachi Ltd 透過型電子顕微鏡結合加速器用試料ホールダ
US5225771A (en) * 1988-05-16 1993-07-06 Dri Technology Corp. Making and testing an integrated circuit using high density probe points
JPH03239945A (ja) * 1990-02-19 1991-10-25 Matsushita Electron Corp イオンミリング装置
JP2932650B2 (ja) * 1990-09-17 1999-08-09 松下電器産業株式会社 微細構造物の製造方法
JP3119959B2 (ja) * 1993-02-05 2000-12-25 セイコーインスツルメンツ株式会社 集束イオンビーム装置および加工観察装置
JP3041565B2 (ja) 1993-11-30 2000-05-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 試料加工方法
JP3221797B2 (ja) * 1994-06-14 2001-10-22 株式会社日立製作所 試料作成方法及びその装置
JP3058394B2 (ja) * 1994-06-23 2000-07-04 シャープ株式会社 透過電子顕微鏡用断面試料作成方法
JP3263920B2 (ja) 1996-02-01 2002-03-11 日本電子株式会社 電子顕微鏡用試料作成装置および方法
US5916424A (en) * 1996-04-19 1999-06-29 Micrion Corporation Thin film magnetic recording heads and systems and methods for manufacturing the same
US6020677A (en) * 1996-11-13 2000-02-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Carbon cone and carbon whisker field emitters
TW430871B (en) 1998-06-18 2001-04-21 United Microelectronics Corp Method for milling test piece of transmission electron microscope
JP2000028800A (ja) * 1998-07-08 2000-01-28 Jeol Ltd ビーム照射装置
JP2003173754A (ja) * 2001-12-06 2003-06-20 Jeol Ltd 試料加工装置及び試料加工方法並びに試料観察装置及び試料観察方法
US7002152B2 (en) * 2003-02-15 2006-02-21 Bal-Tec Ag Sample preparation for transmission electron microscopy

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