DE60021660T2

DE60021660T2 - Verfahren zur Konditionierung der Lichtemission eines eine Anordnung von Laserdioden umfassenden Lasergenerators

Info

Publication number: DE60021660T2
Application number: DE60021660T
Authority: DE
Inventors: Giuliano Piccinno; Antoniangelo Agnesi
Original assignee: Bright Solutions Soluzioni Laser Innovative Srl
Current assignee: BRIGHT SOLUTIONS S.R.L, CURA CARPIGNANO, IT
Priority date: 1999-06-08
Filing date: 2000-06-05
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2020-06-06
Also published as: EP1059713A3; EP1059713B1; ITMI991271A0; ATE301295T1; ITMI991271A1; DE60021660D1; EP1059713A2

Description

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Konditionierung oder zum geeigneten Verändern der räumlichen Verteilung der Laserlichtemission einer Anordnung von Leistungslaserdioden (welche einen Laserdiodenbarren definieren), um die Nutzung des von der Anordnung emittierten resultierenden Laserstrahls zu optimieren, gemäß dem Hauptanspruch. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Realisierung des vorgenannten Verfahrens.
Es ist bekannt, dass ein Lasergenerator von einer Laserdiodenbarrenart für eine geeignete Nutzung eine Optimierung erfordert; falls z.B. optische Fasern verwendet werden, muss die Kopplungseffizienz beim Koppeln einer solchen Vorrichtung mit einer optischen Multimodenfaser optimiert werden. Diese Anforderung ergibt sich aus der Tatsache, dass Lichtemission von einem Laserdiodenbarren aus dem Zusammensetzen einer Mehrzahl von Laserstrahlen resultiert, von welchen jeder durch eine entsprechende Leistungsdiode der Laserdiodenanordnung emittiert wird. Aufgrund der geometrischen Merkmale dieser Anordnung neigt jeder Strahl dazu, sich als ein „Fächer" zu öffnen, und muss daher geeignet konditioniert werden, damit der Laserstrahl, welcher aus dem Zusammensetzen aller einzelner Laserstrahlen resultiert, die richtigen Abmessungen (im Wesentlichen punktartig auf einem Ziel) und die richtige Winkelöffnung für seine Einführung in eine optische Faser erreicht.
Barren aus Hochleistungslaserdioden erfordern auch häufig Vorrichtungen für ihre Kopplung mit der optischen Multimodenfaser, um ihre Verwendung in verschiedenen Anwendungen zu erleichtern, bei welchen es wünschenswert ist, den Barren von dem Gegenstand, auf welchen der Laser anzuwenden ist, physikalisch zu trennen. Dies stellt unter anderem einen besseren Schutz des Barrens selbst sicher, wobei dies häufig ein Güteelement bei der Bauweise der Laserquelle ist, während man gleichzeitig ein modulares System mit einer einfachen Verbindung über eine optische Faser erhält, welches z.B. eine Arbeit erleichtert, welche zum Ersetzen des Barrens selbst oder zum Koppeln mehrerer laserstrahlerzeugender Barren an diese Faser erforderlich ist.
Die Schwierigkeit, ein Verfahren zu realisieren, um Lichtenergie effizient von dem Barren zur optischen Faser zu übertragen (und eine entsprechende Vorrichtung bereitzustellen), rührt von der Emissionscharakteristik (oder Modeneigenschaft) des Barrens her, welche, wie dargelegt, stark asymmetrisch ist. Seine einzelnen Bestandteilsemitter sind entlang einer ersten Raumachse X in eine Linie gebracht, sie sind rechtecksförmig, wobei die Seite entlang der zweiten Achse Y (senkrecht zu X) viel kürzer als diejenige entlang der X-Achse ist, und sie emittieren Licht entlang einer dritten Achse Z (senkrecht zu X und Y).
Um den Begriff einer räumlichen Qualität eines Laserstrahls mit einer Wellenlänge λ zu quantifizieren, wird normalerweise das Produkt Q = πθW/λ für den (mit Beugung zusammenhängenden) Divergenzwinkel θ_x und θ_y in jeder der zwei Richtungen X, Y und die entsprechende charakteristische Abmessung W_x und W_y der Lichtverteilung in der Ebene senkrecht zur Ausbreitungsachse ausgewertet, in welcher die Fläche dieser Verteilung minimal ist. Die Bedeutung des Güteparameters Q (räumliche Qualität, welche auf eine bekannte Art in einer Beziehung zur Helligkeit steht) stellt daher das Verhältnis der tatsächlichen Strahldivergenz θ zur theoretischen minimalen Divergenz λ/(πW) dar, welche er aufgrund von Beugung besitzen kann, woraus folgt, dass Q ≥ 1. Die Richtungen X bzw. Y können mit einer charakteristischen Helligkeit in Verbindung gebracht werden, welche umgekehrt proportional zu Qx bzw. Qy ist.
Bei der Emission von einem einzelnen Barrenelement ist z.B. Qy nahe bei 1, und Qx = 20–30.
Auf jeden Fall ist die Gesamtemission entlang der X-Richtung, welche durch eine inkohärente Überlagerung der Emissionen der verschiedenen Bestandteilsdioden (normalerweise > 10) eines Barrens erreicht wird, im Hinblick auf räumliche Qualität and Helligkeit deutlich schlechter (Qx > 1000) als die gesamte Verteilung in der X-Richtung (Qy ist ungefähr gleich 1), wo sich die Emitterstrahlen nicht vermischen.
Dies bedeutet, dass die Verteilung des von einem Laserdiodenbarren emittierten Lichts in der Y-Richtung leicht fokussiert werden kann, aber schwer auf einer kleinen Abmessung in der X-Richtung mit einem Fokussierungswinkel zu fokussieren ist, welcher z.B. dazu geeignet ist, den Laserstrahl effizient in die optische Faser zu treiben (d.h. einzuführen).
Sogar bei direkten Leistungsbarrenanwendungen (d.h. jenen, welche nicht die Verwendung von optischen Fasern zur Lichtbeförderung erfordern) bleibt das Problem der räumlichen Qualität des Laserstrahls. In dieser Hinsicht ist es oft wünschenswert, dass das Laserlicht nicht nur in hinreichend kleine Abmessungen fokussiert werden kann, sondern auch über eine bestimmte Länge entlang seiner Ausbreitungsachse angemessen innerhalb dieser Abmessungen verbleibt.
Die WO 98 19 202 und US 5 805 748 offenbaren eine Vorrichtung und ein Verfahren nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 und 4.
Eine Aufgabe dieser Erfindung ist es, ein Verfahren zum Verändern der ursprünglichen Emissionsverteilung eines Laserbarrens bereitzustellen, um seine räumliche Qualität (und daher Helligkeit) in der X- und Y-Richtung im Fall von direkten Anwendungen und seine Kopplungseffizienz in eine optische Faser auszugleichen.
Eine weitere Aufgabe ist es, eine Vorrichtung zur Realisierung des vorgenannten Verfahrens bereitzustellen, welche niedrige Herstellungs- und Betriebskosten aufweist.
Diese und weitere Aufgaben, welche für einen Fachmann ersichtlich sein werden, werden durch ein Verfahren und eine Vorrichtung nach den beigefügten Ansprüchen erreicht.
Die Erfindung ist in den Ansprüchen 1 und 4 definiert. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen dargelegt.
Die Erfindung wird besser ersichtlich aus der beigefügten Zeichnung, welche mittels eines nicht beschränkenden Beispiels bereitgestellt wird, und in welcher:
1 eine schematische Draufsicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist;
2 eine Seitenansicht der Vorrichtung von 1;
3 ein Querschnitt entlang der Linie 3-3 von 1 ist;
4 ein Querschnitt entlang der Linie 4-4 von 1 ist;
5 ein Querschnitt entlang der Linie 5-5 von 1 ist;
6 eine schematische Draufsicht ist, welche eine erste Einrichtung zur Fokussierung des Laserstrahls zeigt, der die erfindungsgemäße Vorrichtung verlässt;
7 eine Seitenansicht der Einrichtung von 6 ist;
8 eine schematische Draufsicht ist, welche eine zweite Einrichtung zur Fokussierung des Laserstrahls zeigt, der die erfindungsgemäße Vorrichtung verlässt;
9 eine Seitenansicht der Einrichtung von 8 ist;
10 eine Draufsicht ist, welche eine Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt, die mit der Fokussierungseinrichtung von 6 und 7 verbunden ist;
11 eine Seitenansicht der Vorrichtung von 10 ist.
In den 1, 2, 6, 7, 8, 9, 10, 11 sind die kartesischen Achsen gezeigt, um die Beschreibung zu verdeutlichen. Weiterhin sind die Fokussierungseinrichtungen von 6–11, welche mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung gekoppelt sind, an sich bekannt.
Unter Bezugnahme auf 1–5 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung in Verbindung mit einem Lasergenerator 1 gezeigt, welcher einen Barren oder eine Anordnung 2 von Leistungsdio den umfasst, die eine kontinuierliche oder pulsierende Laserlichtemission bereitstellen. Der Barren 2 wird durch eine herkömmliche Einheit 3 zur elektrischen Stromversorgung des Barrens und zur Steuerung seiner Betriebstemperatur mit Energie versorgt. Der Barren 2 weist eine bekannte Form auf. Er weist eine rechteckige Spatform auf und erstreckt sich in Bezug auf die in 1 und 2 gezeigten kartesischen Achsen entlang der X- und Y-Achse. Die Laserstrahlen von den Leistungsdioden werden in der Richtung der Z-Achse emittiert. Wie aus den Figuren ersichtlich und wie es die Regel ist, erstreckt sich der Barren 2 weiter entlang der X-Achse als entlang der Y-Achse.
Zur besseren Deutlichkeit der Erläuterung wird in dieser Beschreibung ein Barren betrachtet, welcher aus drei einzelnen Emittern oder drei Emittergruppen besteht, welchen drei Laserstrahlen L1, L2, L3 entsprechen. Diese Betrachtung dient nur dazu, die Beschreibung der Erfindung zu erleichtern, und stellt auf keine Weise eine Beschränkung für das erfindungsgemäße Verfahren oder für die erfindungsgemäße Vorrichtung dar.
Vor dem Barren 2 ist ein Separatorelement 5 angeordnet, welches z.B. eine zylindrische Mikrolinse 6 oder eine Linse umfasst, welche eine von Null verschiedene Brechkraft entlang nur einer der Richtungen senkrecht zur Ausbreitungsachse des Laserstrahls oder des Lichts im Allgemeinen aufweist. Es weist einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt auf und erstreckt sich entlang einer Hauptachse W. Diese Mikrolinse ist geeignet zum Barren 2 geneigt, so dass ihre Achse A einen Winkel α mit der Ebene der X-Achse bildet, wie in 3 gezeigt. Der Zweck des Elements 5 ist es, die Strahlen L1, L2 und L3 (mit einem im Wesentlichen klingenförmigen Quer schnitt) in der Richtung der Y-Achse zu kollimieren, wobei ihre Ausbreitungsachsen winklig in der Richtung der Y-Achse (in 2 und 4 sichtbar) in einem Umfang verschoben sind, welcher auf der Basis von bekannten Beziehungen der geometrischen Optik von der von jedem einzelnen Emitter in dem Barren 2 eingenommenen Position abhängt.
Wie erklärt ist die Achse W des Elements 5 zur Ebene der X-Achse um einen Winkel α von z.B. zwischen 0,1° und 5° geneigt. Um Bewegungen der Strahlen L1, L2, L3 entlang der Y-Achse zu vermeiden, welche zu klein sind, sollte der Winkel α nicht unter einen zu kleinen Wert (z.B. 0,05°) fallen; dieser Winkel hängt auf jeden Fall von der Ebenheit des Barrens 2 entlang der X-Achse ab.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst ein Wiedervereinigungselement 8, welches von dem Element 5 beabstandet ist. Zwischen den zwei Elementen kann (wie beim Ausführungsbeispiel von 1 und 2) eine sphärische Linse 10 eingefügt sein. Der Zweck des Wiedervereinigungselements 8 ist es, die Ausbreitungsrichtungen der Flächenmittelpunkte der einzelnen Strahlen L1, L2 und L3 vollkommen parallel zu machen, indem sie in der Richtung der Y-Achse (oder entlang dieser) in eine Linie gebracht werden, wie in 5 gezeigt.
Dem Element 8 nachgelagert weist das Bild der auf diese Weise konditionierten Barrenemission eine räumliche Qualität (und damit Helligkeit) auf, welche in der X- und Y-Richtung ausgeglichen ist, und kann daher auf eine optimale Weise mit einer minimalen Divergenz für direkte Anwendungen oder für eine Kopplung mit einer optischen Faser 12 fokussiert werden. Falls N die Zahl von Strahlen ist, weist in dieser Hinsicht die nun konditionierte räumliche Verteilung Q'y = NQy und Q'x = Qx/N auf, so dass daher mit Q'x = Q'y die optimale Wahl für die Strahlzahl N = √(Qx/Qy) ist.
Beispielhaft werden im Folgenden vier mögliche Anordnungen für das Wiedervereinigungselement 8 unter Bezugnahme auf 6–11 beschrieben.
Bei dem Ausführungsbeispiel von 6 und 7 umfasst das Element 8 eine Mehrzahl von plankonvexen zylindrischen Linsen mit einer positiven Brennweite 13, welche zueinander benachbart sind, wobei ihre Mitten entlang einer Achse positioniert sind, welche in einer Ebene senkrecht zur Z-Achse liegt und schräg zur Y-Achse ist, um die Ausbreitungsrichtungen der Flächenmittelpunkte der Strahlen L1, L2 und L3, die das Element 8 verlassen, gemäß Beziehungen aus der geometrischen Optik parallel zur Z-Achse zu machen.
In den Figuren unter Betrachtung sind zwei zylindrische Linsen 14 und 15 in einer geeigneten Entfernung von dem Element 8 positioniert, so dass das Bild der Strahlen L1, L2 und L3, welches durch das Element 8 neu konditioniert ist, in den zwei Richtungen X und Y in ein und derselben Ebene F-F mit auf der Basis der Anwendung des resultierenden Laserstrahls, welcher diese Linsen verlässt, definierten Abmessungen fokussiert wird. Zum Beispiel muss, damit der Strahl L in eine optische Faser 50 eingeführt werden kann, dieser Strahl in den Faserkern fokussiert werden, wobei ein Eintrittskegel im Akzeptanzkegel der optischen Faser enthalten ist.
In den Figuren unter Betrachtung weist die Linse 10 eine Brennweite F auf und ist in einer Entfernung F von dem Element 5 positioniert, um so die von den Laserdioden emittierten Strahlen zu kollimieren und auf dem Wiedervereinigungs element 8, welches ebenfalls in einer Entfernung F von der Linse angeordnet ist, eine Figur zu bilden, welche aus einem Bild der einzelnen Strahlen ausgerichtet in der Richtung der Y-Achse besteht (siehe 5).
Bei dem in 8 und 9 gezeigten Ausführungsbeispiel umfasst das Element 8 eine Mehrzahl von plankonkaven zylindrischen Linsen mit einer negativen Brennweite 20, wobei ihre Mitten auf einer geraden Linie positioniert sind, welche in einer Ebene senkrecht zur Z-Achse liegt und schräg zur Y-Achse ist, um die Ausbreitungsrichtungen der Flächenmittelpunkte der Strahlen L1, L2 und L3, welche das Element 8 verlassen, parallel zur Z-Achse zu machen.
Wie im Fall von 6 und 7, sind in den Figuren unter Betrachtung die Linse 10 und die Fokussierungslinsen 21 und 22 ebenfalls vorgesehen, wobei ihr Zweck gleich dem der vorhergehend beschriebenen Linsen 19 und 15 ist. In diesem Fall ist die Linse 21 eine zylindrische Linse, deren Brennweite und Position gewählt sind, um den neu konditionierten Laserstrahl in der X-Richtung mit einer geeigneten Richtung auf eine solche Weise zu kollimieren, dass man in der Brennebene der sphärischen Linse 22 eine Lichtverteilung mit definierten Abmessungen in der X- und Y-Richtung erhält.
In 10 und 11 umfasst das Element 8 eine Mehrzahl von flachen Spiegeln 25, deren Lotrechten stufenweise (fortschreitend entlang einer Achse parallel zur Y-Achse) parallel zur X-Z-Ebene gedreht sind. Diese Spiegel lenken die Laserstrahlen L1, L2 und L3 in eine Richtung senkrecht zur Z-Achse und daher entlang der X-Achse ab, wo Linsen 26 und 27 ähnlich zu den Linsen 14 und 15 von 6 und 7 positioniert sind. 11 zeigt den Querschnitt durch die Strahlen L1, L2 und L3 auf der Linse 26. Die Linsen 26 und 27 wirken wie die Linsen 14 und 15, und folglich sollte auf die Beschreibung dieser letzteren Bezug genommen werden.
Wiederum fallen in den Figuren unter Betrachtung die Strahlen L1, L2 und L3 auf die (nicht gezeigte) Linse 10 auf, welche zwischen dem Element 8 und dem Element 5 positioniert ist.
Durch Verwendung des Elements 8, wie es in einer der vorhergehend beschriebenen 6–11 dargestellt ist, kann der Eintrittsebene einer optischen Multimodenfaser 50 eine nahezu quadratische Lichtverteilung mit ähnlichen und entgegengesetzten X- und Y-Abmessungen und Divergenzwinkeln in den zwei senkrechten Richtungen dargeboten werden, welche mit dem charakteristischen Akzeptanzwinkel verträglich sind. Dies ermöglicht, dass Licht effizient von dem Laserdiodenbarren zur optischen Faser übertragen wird.

Claims

Verfahren zur Konditionierung der Lichtemission eines eine Anordnung (2) von Laserdioden umfassenden Lasergenerators (1), um eine Helligkeit entlang einer ersten Achse in der Richtung (X) der Anordnung (2) und entlang einer zweiten Achse in der Richtung (Y) senkrecht dazu auszugleichen, wobei die Konditionierung derart ist, dass sie eine optimale Nutzung des aus dem Zusammensetzen der von den Laserdioden emittierten einzelnen Strahlen (L1, L2, L3) resultierenden Laserstrahls (L) ermöglicht, zum Beispiel für seine optimale Kopplung an eine optische Faser (50), wobei die Laserdioden nebeneinander entlang der ersten Raumachse (X) positioniert sind, senkrecht zu der die einzelnen Laserstrahlen entlang einer dritten Achse (Z) emittiert werden, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: a) Trennen der von den Laserdioden emittierten Laserstrahlen (L1, L2, L3) durch Ablenken, wobei die Trennung in Nähe zu der Laserdiodenanordnung stattfindet; b) winkliges Verschieben bezüglich zueinander in der durch die zweite und dritte Achse (Y, Z) definierten Ebene, um wenigstens die von der Laserdiodenanordnung (2) emittierten benachbarten Laserstrahlen (L1, L2, L3) in verschiedene räumliche Ebenen überzuführen; c) Wiedervereinigen der Strahlen (L1, L2, L3) in verschiedenen Ebenen entlang der zweiten Achse (Y) senkrecht zu der Achse (X), entlang der die Laserdioden liegen, durch derartiges Ablenken der Strahlen, dass die Flächenmittelpunkte der Strahlen entlang der Richtung der zweiten Achse (Y) ausgerichtet sind und sich in parallelen Richtungen ausbreiten; und d) Kollimieren der Laserstrahlen in einen resultierenden einzelnen Laserstrahl (L), dadurch gekennzeichnet, dass es einen Schritt e) Kollimieren der Strahlen entlang der Richtung der zweiten Achse (Y) zwischen dem Schritt b) des Überführens und dem Schritt c) des Wiedervereinigens umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass anschließend an das Wiedervereinigen der von der Laserdiodenanordnung (2) emittierten Laserstrahlen (L1, L2, L3) die Strahlen (L1, L2, L3) entlang der Emissionsrichtung (Z) ausgebreitet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass anschließend an das Wiedervereinigen der von der Laserdiodenanordnung (2) emittierten Laserstrahlen (L1, L2, L3) die Strahlen (L1, L2, L3) entlang einer Richtung senkrecht zu der Emissionsrichtung (Z) ausgebreitet werden.
Vorrichtung zur Konditionierung der Lichtemissionen eines Lasergenerators (1), umfassend eine Laserdiodenanordnung (2), welche einen rechteckigen Spatkörper aufweist, der sich hauptsächlich entlang einer Hauptraumachse (X) und in einem geringeren Umfang entlang einer zweiten Achse (Y) senkrecht zu dieser letzteren erstreckt, wobei die Laserstrahlen (L1, L2, L3) von den Dioden entlang einer dritten Achse (Z) senkrecht zu den Achsen (X, Y) emittiert werden, wobei die Vorrichtung für die Laserstrahlen (L1, L2, L3) ein Trenner- und Ablenkmittel (5), welches in Nähe zu der Laserdiodenanordnung (2) positioniert ist und angeordnet ist, die Strahlen winklig zueinander zu verschieben und die Strahlen in verschiedene räumliche Ebenen parallel zu der durch die vorgenannte erste und dritte Achse (X, Z) definierten Ebene überzuführen, und ein Wiedervereinigungsmittel (8) umfasst, welches angeordnet ist, um die Strahlen so abzulenken, dass sich ihre Flächen mittelpunkte entlang einer Achse parallel zu der zweiten Achse ausbreiten, wobei die Laserstrahlen (L1, L2, L3) dann durch Fokussierungsmittel (14, 15; 21, 22; 26, 27) in der Brennebene fokussiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass eine Linse (10) zwischen dem Trennermittel (5) und dem Wiedervereinigungsmittel (8) positioniert ist, wobei die Linse (10) eine Brennweite F in der zweiten Richtung (Y) aufweist und in einer Entfernung F von dem Trenner- und Ablenkmittel (5) positioniert ist, um so die von den Laserdioden emittierten Strahlen entlang der zweiten Richtung (Y) zu kollimieren.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Trenner- und Ablenkmittel eine Linse ist, welche eine von null verschiedene Brechkraft entlang nur einer der Richtungen senkrecht zu der Ausbreitungsachse des Laserstrahls aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (6) ihre Symmetrieachse (W) zur durch die erste und die dritte Achse (X, Z) definierten Ebene geneigt hat.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Wiedervereinigungsmittel (8) eine Mehrzahl von benachbarten plankonvexen zylindrischen Linsen (13) mit positiver Brennweite umfasst, wobei ihre Mitten entlang einer Achse positioniert sind, welche in einer Ebene senkrecht zu der Achse (Z) liegt und schräg zur zweiten Achse (Y) ist, wobei die Linsen (13) entlang der dritten Achse (Z) an einer Stelle platziert sind, wo die Strahlen entlang der zweiten Achse (Y) ausgerichtet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Wiedervereinigungsmittel (8) eine Mehrzahl von überlagerten plankonkaven zylindrischen Linsen (20) mit negativer Brennweite umfasst, wobei ihre Mitten entlang einer Achse positioniert sind, welche in einer Ebene senkrecht zu der Achse (Z) liegt und schräg zu der zweiten Achse (Y) ist, wobei die Linsen (20) entlang der dritten Achse (Z) an einer Stelle platziert sind, wo die Strahlen entlang der zweiten Achse (Y) ausgerichtet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Wiedervereinigungsmittel (8) eine Mehrzahl von Spiegeln (25) umfasst, deren Lotrechten, fortschreitend entlang einer Achse parallel zu der zweiten Achse (Y), stufenweise parallel zu der durch die erste und dritte Achse (X, Z) definierten Ebene rotiert sind.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussierungsmittel nacheinander entlang des Pfads der Laserstrahlen (L1, L2, L3) positionierte zylindrische Linsen (14, 15) sind.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussierungsmittel eine entlang des Pfads der Laserstrahlen (L1, L2, L3) positionierte zylindrische Linse (21) und sphärische Linse (22) sind.