DE4432982C2

DE4432982C2 - Device for irradiating surfaces with electrons

Info

Publication number: DE4432982C2
Application number: DE19944432982
Authority: DE
Inventors: Peter Anderl; Klaus Bloemer; Alfred Dr Mueller; Ulrich Dr Schwab; Eberhard Dr Hartmann; Reiner Prof Dr Mehnert; Alexander Dr Mende
Original assignee: Igm Robotersysteme AG
Current assignee: Igm Robotersysteme AG
Priority date: 1994-09-16
Filing date: 1994-09-16
Publication date: 1998-07-09
Anticipated expiration: 2014-09-17
Also published as: DE4432982A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.The invention relates to a device for irradiation of surfaces with electrons according to the generic term of Claim 1.

Solche Vorrichtungen werden zur Elektronenstrahlhärtung fester und flexibler Materialien sowie im Druckbereich eingesetzt. In diesen Bereichen werden unterschiedliche Anforderungen an die Vorrichtungen bezüglich der Elek tronenenergien und Elektronenstrahlleistungen gestellt.Such devices are used for electron beam hardening solid and flexible materials as well as in the printing area used. These areas are different Device requirements for elec tron energies and electron beam powers.

Es werden hierfür Vorrichtungen mit Elektronenenergien zwischen 150 und 280 keV und Strahlströmen zwischen 30 und 300 mA eingesetzt. In 'Nuclear Instruments & Methods in Physics Research', Section B 1992, Article "LEA electron accelerators for radiation processing" ist eine Vorrichtung mit einer drahtförmigen Linearkathode be schrieben. Die Linearkathode wird mit Stromdurchgang erhitzt, so daß sie thermische Elektronen emittiert. Diese Elektronen werden ohne Steuergitter über eine rohrförmige Elektrode formiert und durch ein Elektronen strahlfenster ausgeschleust. Unterhalb des Elektronen strahlfensters treffen die Elektronen auf die Ober fläche der Materialien, die über Einrichungen an dem Elektronenstrahlfenster vorbeigeführt werden.For this purpose, devices with electron energies are used between 150 and 280 keV and beam currents between 30 and 300 mA are used. In 'Nuclear Instruments & Methods in Physics Research ', Section B 1992, Article "LEA electron accelerators for radiation processing "is one Device with a wire-shaped linear cathode wrote. The linear cathode comes with continuity heated so that it emits thermal electrons. These electrons are over a without a control grid tubular electrode and formed by an electron blast window ejected. Below the electron beam window, the electrons hit the surface area of the materials, which have facilities on the Electron beam windows are passed.

Beim Erhitzen der drahtformigen Kathode entsteht eine große Wärmebelastung der unmittelbar oder mittelbar mit der Kathode verbundenen Teile bzw. Baugruppen, insbeson dere des Innenraumes der Formierelektrode. Zur Vermei dung einer thermischen und elektrischen Überbelastung ist die Hochspannungs- und Strahlstromzuführung der bekannten Vorrichtungen zum Erzeugen von Niederenergie- Elektronen über einen mit Isolieröl gefüllten Behälter auf die Kathode und Formierelektrode geschaltet. Der ölgefüllte Behälter, der zur Aufnahme des Steckers dient, hat eine hohe Isolationsfestigkeit. Die Wärme belastung wird durch eine Ölumlaufkühlung kompensiert. Es besteht die Gefahr, daß Luftblasen sich am Stecker oder dem Steckeraufnahmebehälter bilden, die die Isolationsfestigkeit beeinträchtigen.One forms when the wire-shaped cathode is heated large heat load of directly or indirectly with parts or assemblies connected to the cathode, in particular that of the interior of the forming electrode. To avoid formation of a thermal and electrical overload is the high voltage and beam current supply of the known devices for generating low-energy Electrons over a container filled with insulating oil connected to the cathode and forming electrode. Of the oil-filled container to hold the plug serves, has a high insulation strength. The warmth load is compensated by oil circulation cooling. There is a risk of air bubbles on the connector or the connector receptacle that form the Impair insulation strength.

Durch die Ölumlaufkühlung entsteht eine großbauende Baugruppe, die in erheblichem Maß die Kosten der Vor richtung erhöht und damit die Wirtschaftlichkeit für bestimmte Anwendungen, wie das Elektronenstrahlhärten, gegenüber kostengünstigeren, technologisch jedoch schlechter für das Härten der Materialien geeigneter Einrichtungen, bestimmt. Oil circulation cooling creates a large-scale one Assembly, which to a significant extent the cost of the pre direction increased and thus the profitability for certain applications, such as electron beam hardening, compared to cheaper, but technologically less suitable for hardening the materials Facilities, determined.

Es wäre bei derartigen Vorrichtungen daher wünschens wert, wenn die Hochspannungs- und Strahlstromzuführung vereinfacht und baulich kleiner ausgebildet werden könnte, ohne daß hierdurch die Gefahr einer thermischen Überbelastung der Isolierteile auftritt.It would therefore be desirable in such devices worth if the high voltage and beam current supply simplified and structurally smaller could, without the risk of thermal Overloading of the insulating parts occurs.

Ferner ist aus der EP 186 558 A1 eine Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen bekannt, bei der in einer mit einem Elektronenstrahlaustrittsfenster versehenen Vakuumkammer ein Elektronenstrahlerzeugungs system angeordnet ist, das aus einer Kathode und einer Formierelektrode besteht, die von einem Rohr getragen werden, das über einen hohlen Isolator mit der Wand der Vakuumkammer verbunden ist und über das Hochspannung und Strahlstrom zur Formierelektrode und zur Kathode ölfrei zugeführt werden.Furthermore, EP 186 558 A1 describes a device for Irradiation of surfaces known with electrons the one in one with an electron beam exit window provided vacuum chamber an electron gun System is arranged, which consists of a cathode and a Forming electrode is made up of a tube be that over a hollow insulator with the wall of the Vacuum chamber is connected and through the high voltage and beam current to the forming electrode and the cathode be supplied oil-free.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich tung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen zu schaffen, mit der die Hochspannungs- und Strahlstrom zuführung über eine einfache Verbindung auf die Kathode und die Formierelektrode geschaltet werden kann.The invention has for its object a Vorrich device for irradiating surfaces with electrons create with the the high voltage and beam current supply via a simple connection to the cathode and the forming electrode can be switched.

Ausgehend von dem im Oberbegriff des Anspruches 1 be rücksichtigten Stand der Technik, ist diese Aufgabe ge löst mit den im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angegebenen Merkmalen.Based on the be in the preamble of claim 1 considered state of the art, this task is ge solves with in the characterizing part of claim 1 specified features.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous developments of the invention are in the Subclaims specified.

Durch die Merkmale des Anspruches 1 wird eine einfache Steckverbindung zur Hochspannungs- und Strahlstromzu führung erreicht, weil ein ölfreier Stecker mit einer an der Formierelektrode befestigten ölfreien Steck aufnahme koppelbar ist. Durch die Erfindung können die Vorrichtungskosten für die Hochspannungs- und Strahl stromzuführung um bis zu 25% gesenkt werden. Hinzu kommt, daß die Handhabung für Wartungszwecke verein facht wird und gleichzeitig ein betriebssicherer Zu stand erreicht wird.The features of claim 1 make it simple Plug connection for high voltage and beam current leadership achieved because an oil-free connector with a oil-free plug attached to the forming electrode Recording can be coupled. Through the invention, the Device costs for the high voltage and beam power supply can be reduced by up to 25%. In addition comes that handling for maintenance purposes united is at the same time as an operationally reliable Zu status is reached.

Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. An embodiment is schematic in the drawing shown and is described in more detail below.

Es zeigenShow it

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Vorrichtung, Fig. 1 is a schematic representation of the device,

Fig. 2 eine schematische Darstellung der Steckverbindung. Fig. 2 is a schematic representation of the connector.

Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung mit der erfindungsgemäßen ölfreien Steckverbindung 10. Die Vorrichtung besteht aus einer rohrförmigen Vakuumkammer 11 mit doppelwandigem, wassergekühltem Gehäuse 12. In einer Seite befindet sich eine Öffnung 13 für den Anschluß einer Vakuumpumpe. Die Vorrichtung besitzt ferner ein Elektronenstrahlfenster 14. Es besteht aus einer Metallfolie 15, vorzugsweise einer Titanfolie und einem Metallstützgitter 16, vor zugsweise aus Kupfer, das an einem rechteckigen Flansch 17 befestigt ist. In der Vakuumkammer 11 ist vorzugs weise konzentrisch ein Elektronenstrahlerzeugersystem angeordnet. Es besteht aus einem rohrförmigen, zum Elektronenstrahlfenster 14 hin geschlitzten Hohlkörper 18 mit innenliegendem Hohlraum-Längsteiler 19 (in Fig. 1 verdeckt), welche die Formierelektrode bilden und je einer drahtförmigen Kathode 20, 21 in jedem vom Hohl raum-Längsteiler abgeteilten Hohlraumsegment. Die Kathoden 20, 21 bestehen aus zwei Wolframdrähten, die mit Stromdurchgang erhitzt werden, so daß thermische Elektronen emittieren. Die Formierelektrode liegt zu sammen mit den Kathoden 20, 21 auf negativem Hochspan nungspotential. Hochspannung- und Strahlstrom werden über die ölfreie Steckverbindung 10 auf die Kathoden 20, 21 und die Formierelektrode geschaltet. Die Ver bindung zu dem Hochspannungs- und Strahlstromerzeuger wird über den ölfreien Stecker 23 und die ölfreie Steckaufnahme 24 hergestellt. Die Steckaufnahme 24 ist in Fig. 2 vergrößert dargestellt. Sie besteht aus einem hohlen Isolierteil 26, dessen Innenraum den Stecker 23 aufnimmt. In das Isolierteil 26 sind Kontakte 27, 28 zusammen mit elektrischen Zuleitungen 29, 32, die mit Steckerstiften 30, 31 verbunden sind, eingegossen. Aus Übersichtsgründen ist der Steckerstift 30 und die mit ihm verbundenen Bauteile in Fig. 2 um 90° versetzt gezeichnet. Der Steckerstift 30 liegt hinter dem in Fig. 2 nicht eingezeichneten Hohlraum-Längsteiler auf der gleichen Ebene wie der Steckerstift 31 mit den daran befestigten Bauteilen. Das Isolierteil 26 ist mit einem rohrförmigen Fortsatz 33, der ein Außengewinde 34 auf weist vakuumdicht verklebt. Mit einer nur schematisch dargestellten Mutter 35, die auf den Fortsatz 33 ge schraubt wird, erfolgt die Verbindung des Steckers 23 mit der Steckeraufnahme 24. Der Stecker 23 besitzt ebenfalls in ein Isolierteil eingegossene Kontakte 36, 37, die über elektrische Leiter des Kabels 38 mit dem Erzeuger 25 verbunden sind. Der Stecker 23 und die Steckeraufnahme sind an ihrer Verbindungsstelle konisch ausgebildet. Auf dem Konus des Steckers 23 ist eine isolierende, elastische Materialschicht 39 aufgebracht, die sich beim Anschließen dehnt und einen guten mecha nischen luftfreien Kontakt zu der Verbindungsstelle zwischen Stecker 23 und Steckeraufnahme 24 bildet. Fig. 1 shows a device according to the invention with the oil-free plug-in compound 10. The device consists of a tubular vacuum chamber 11 with a double-walled, water-cooled housing 12 . In one side there is an opening 13 for connecting a vacuum pump. The device also has an electron beam window 14 . It consists of a metal foil 15 , preferably a titanium foil and a metal support grid 16 , preferably of copper, which is attached to a rectangular flange 17 . In the vacuum chamber 11 , an electron gun system is preferably arranged concentrically. It consists of a tubular, to the electron beam window 14 slotted hollow body 18 with internal cavity longitudinal divider 19 (hidden in Fig. 1), which form the forming electrode and a wire-shaped cathode 20 , 21 in each cavity segment divided by the cavity longitudinal divider. The cathodes 20 , 21 consist of two tungsten wires, which are heated with passage of current, so that thermal electrons emit. The forming electrode is together with the cathodes 20 , 21 at negative high voltage potential. High voltage and beam current are switched to the cathodes 20 , 21 and the forming electrode via the oil-free plug connection 10 . The connection to the high voltage and jet current generator is made via the oil-free connector 23 and the oil-free plug receptacle 24 . The plug receptacle 24 is shown enlarged in FIG. 2. It consists of a hollow insulating part 26 , the interior of which receives the plug 23 . Contacts 27 , 28 are cast into the insulating part 26 together with electrical leads 29 , 32 , which are connected to plug pins 30 , 31 . For reasons of clarity, the plug pin 30 and the components connected to it are shown offset by 90 ° in FIG. 2. The plug pin 30 lies behind the cavity longitudinal divider (not shown in FIG. 2) on the same level as the plug pin 31 with the components attached to it. The insulating part 26 is vacuum-sealed with a tubular extension 33 which has an external thread 34 . With a nut 35 , only shown schematically, which is screwed onto the extension 33 , the connector 23 is connected to the connector receptacle 24 . The plug 23 also has contacts 36 , 37 cast into an insulating part, which are connected to the generator 25 via electrical conductors of the cable 38 . The connector 23 and the connector receptacle are conical at their connection point. On the cone of the plug 23 , an insulating, elastic material layer 39 is applied, which expands when connected and forms a good mechanical African air-free contact to the connection point between plug 23 and plug receptacle 24 .

Das Isolierteil 26 der Steckeraufnahme 24 ist mit der Formierelektrode und gasdicht mit dem Gehäuse 12 der Vakuumkammer 11 verbunden. In der Stirnseite des Ge häuses 12 ist eine Öffnung 61 für das Einführen des Steckers 23 in die Steckeraufnahme 24 vorgesehen. Das Isolierteil 26 trägt zusammen mit einem an der gegen überliegenden Wand befestigten Stützisolator 40 das Elektronenstrahlerzeugersystem. Die rohrförmige Formierelektrode ist an der zum Stützisolator 40 weisenden Seite in einem Koronaring 42 befestigt. Auf der gegenüberliegenden Seite steckt die Formierelektrode in einer zylinderförmig fortgesetzten Aufnahme 43 eines Koronaringes 44.The insulating part 26 of the plug receptacle 24 is connected to the forming electrode and gas-tight to the housing 12 of the vacuum chamber 11 . In the front of the Ge housing 12 , an opening 61 is provided for the insertion of the plug 23 into the connector receptacle 24 . The insulating part 26 , together with a post insulator 40 attached to the opposite wall, supports the electron gun system. The tubular forming electrode is fastened in a corona ring 42 on the side facing the support insulator 40 . On the opposite side, the forming electrode is inserted in a cylindrical receptacle 43 of a corona ring 44 .

Die thermische Belastung beim Betrieb der Vorrichtung ist mit einer Längenausdehnung des rohrförmigen Hohl körpers 18 verbunden. Zur Vermeidung einer Stauchung des Hohlkörpers 18 kann sich dieser auf der zylinder förmigen Aufnahme 43 des Koronaringes 44 ausdehnen. Eine Reduzierung des Wärmeflusses wird durch eine punkt förmige Auflage des Hohlkörpers 18 auf der zylinder förmigen Aufnahme 43 erreicht. Zu diesem Zweck ist am Umfang der Aufnahme 43 eine schneidenartige Fase 45 ausgebildet, die zudem kleiner im Außendurchmesser als die Formierelektrode im Innendurchmesser ist. Der Hohl körper 18 liegt punktförmig auf der Fase 45 auf. Zur weiteren Reduzierung des Wärmeflusses vom Hohlkörper 18 zum Isolierteil 26 hin ist der Hohlkörper 18 in dem vor der Steckverbindung 10 liegenden Bereich 46 zur Redu zierung des leitenden Querschnitts stark perforiert, das gleiche gilt für den Bereich 47 vor dem Stütz isolator 40.The thermal load during operation of the device is connected to a longitudinal expansion of the tubular hollow body 18 . To avoid compression of the hollow body 18 , the latter can expand on the cylindrical receptacle 43 of the corona ring 44 . A reduction in the heat flow is achieved by a point-shaped support of the hollow body 18 on the cylindrical receptacle 43 . For this purpose, a cutting-like chamfer 45 is formed on the circumference of the receptacle 43 , which chamfer is also smaller in outer diameter than the forming electrode in the inner diameter. The hollow body 18 lies on the chamfer 45 at points. To further reduce the heat flow from the hollow body 18 to the insulating part 26 , the hollow body 18 is strongly perforated in the area 46 lying in front of the plug connection 10 to reduce the conductive cross section, the same applies to the area 47 in front of the support insulator 40 .

Eine weitere Absenkung der Wärmebelastung des Isolier teils 26 und des Stützisolators 40 wird durch die Wärme abstrahlringe 48 und 49 auf dem Hohlkörper 18 erreicht. Die Wärmeabstrahlringe 48, 49 besitzen in dem Hohlkörper 18 angeordnete Befestigungsflansche 62, 63, an denen die Kathodenhalterungen befestigt sind. Zur weiteren Reduzierung der Wärmeableitung sind die Wärmeabstrahl ringe 48, 49 hohlförmig ausgebildet. Die Wirkung der Wärmeabstrahlringe 48, 49 wird durch die Wärmeableit ringe 50 und 51 verstärkt. Koronaringe 42, 44 und Wärme abstrahlringe 48, 49 strahlen die in dem Elektronen strahlerzeugersystem entstehende Wärme ab. Über das was sergekühlte Gehäuse 12 der Vakuumkammer 11 in Verbin dung mit den am Gehäuse 12 befestigten Wärmeableitringe 50, 51 wird die Wärme abgeführt. Diese Wärmeableit- und -abstrahlringe 48 bis 51, ebenso wie die Koronaringe 42 und 44 haben möglichst große Radien, die alleine durch die Spannungsfestigkeit des Elektronenstrahlerzeuger systems begrenzt sind.A further reduction in the thermal load of the insulating part 26 and the support insulator 40 is achieved by the heat radiation rings 48 and 49 on the hollow body 18 . The heat radiation rings 48 , 49 have fastening flanges 62 , 63 which are arranged in the hollow body 18 and to which the cathode holders are fastened. To further reduce the heat dissipation, the heat radiation rings 48 , 49 are hollow. The effect of the heat radiation rings 48 , 49 is increased by the heat dissipation rings 50 and 51 . Corona rings 42 , 44 and heat radiation rings 48 , 49 radiate the heat generated in the electron beam generating system. About what is cooled case 12 of the vacuum chamber 11 in conjunction with the heat dissipation rings 50 , 51 attached to the housing 12 , the heat is dissipated. This heat dissipation and radiation rings 48 to 51 , as well as the corona rings 42 and 44 have the largest possible radii, which are limited only by the dielectric strength of the electron gun system.

Zur Reduzierung des Wärmeflusses aus den Kathoden 20, 21 in die elektrischen Kontaktstifte 30 und 31 des Isolationsteils 26 der Steckeraufnahme befinden sich in den Kathodenhalterungen gefederte Kontaktstife 52 und 53 aus schlecht wärmeleitendem Edelstahl. Die Federn 54 und 55 der Kontaktstifte gleichen die Längenausdehnung der Kathoden 20, 21 und der Formierelektrode aus. Die Kontaktstifte 52, 53 sind in Führungsbuchsen 56 und 57 geführt und besitzen konische Enden um den elektrischen Kontakt in den Kontaktbüchsen 58 und 59 zu gewähr leisten. Die Führungsbüchsen 56 und 57 selbst sind auf die Steckerstifte 30 und 31 des Isolierteils 26 aufge schraubt. Der Steckerstift 31 ist durch ein Isolations stück 60 getrennt, um einen Kurzschluß zum Koronaring 44 zu vermeiden, während der andere Steckerstift 30 in elektrischem Kontakt mit dem Koronaring 44 steht.In order to reduce the heat flow from the cathodes 20 , 21 into the electrical contact pins 30 and 31 of the insulating part 26 of the plug receptacle, there are spring-loaded contact pins 52 and 53 made of poorly heat-conducting stainless steel. The springs 54 and 55 of the contact pins compensate for the linear expansion of the cathodes 20 , 21 and the forming electrode. The contact pins 52 , 53 are guided in guide bushes 56 and 57 and have conical ends to ensure electrical contact in the contact bushes 58 and 59 . The guide bushes 56 and 57 themselves are screwed onto the connector pins 30 and 31 of the insulating part 26 . The connector pin 31 is separated by an insulation piece 60 to avoid a short circuit to the corona ring 44 , while the other connector pin 30 is in electrical contact with the corona ring 44 .

Claims

1. Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen, insbesondere zum Härten von Oberflächen schichten,

1. - mit einer Vakuumkammer, die ein Elektronenstrahl austrittsfenster aufweist, und
2. - mit einem Elektronenstrahlerzeugersystem, be stehend aus mindestens einer drahtförmigen Ka thode und einer Formierelektrode, die an eine Hochspannungs- und Strahlstromzuleitung ange schlossen sind,

dadurch gekennzeichnet, daß an der Formierelektrode (18, 19) eine ölfreie Steckeraufnahme (24) für die Hochspannungs- und Strahlstromzuleitung befestigt ist, die aus einem hohlen, mit seinem von der Formierelektrode (18, 19) entfernten Ende an der Vakuumkammer (11) gasdicht befestigten Isolierteil (26) besteht, in dem elek trische Kontakte (27, 28) angeordnet sind, daß die Kontakte (27, 28) über Mittel (29, 32, 30, 31, 56, 57, 52, 53, 58, 59) mit der Formierelektrode (18, 19) und der Kathode (20, 21) elektrisch verbunden sind und daß die Vakuumkammer (11) eine Öffnung (61) für das Einführen eines ölfreien Steckers (23) in die Steckeraufnahme (24) aufweist, der über Mittel (38) mit einem Hochspannungs- und Strahlstromer zeuger (25) verbunden ist.1. Device for irradiating surfaces with electrons, in particular for hardening surface layers,

1. - with a vacuum chamber, which has an electron beam exit window, and
2. - with an electron gun system, consisting of at least one wire-shaped Ka method and a forming electrode, which are connected to a high voltage and beam current feed line,

characterized in that an oil-free plug receptacle ( 24 ) for the high-voltage and beam current feed line is attached to the forming electrode ( 18 , 19 ) and has a hollow end at the vacuum chamber ( 11 ) with its end remote from the forming electrode ( 18 , 19 ) there is a gas-tight insulating part ( 26 ) in which elec trical contacts ( 27 , 28 ) are arranged that the contacts ( 27 , 28 ) via means ( 29 , 32 , 30 , 31 , 56 , 57 , 52 , 53 , 58 , 59 ) are electrically connected to the forming electrode ( 18 , 19 ) and the cathode ( 20 , 21 ) and that the vacuum chamber ( 11 ) has an opening ( 61 ) for the insertion of an oil-free plug ( 23 ) into the plug receptacle ( 24 ), which is connected via means ( 38 ) with a high voltage and beam current generator ( 25 ).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stecker (23) über ein koaxial ausgebildetes Kabel (38) mit dem Hochspannungs- und Strahlstrom erzeuger (25) verbunden ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the plug ( 23 ) via a coaxial cable ( 38 ) with the high voltage and beam current generator ( 25 ) is connected.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß an dem Isolierteil (26) Steckerstifte (30, 31) befestigt und mit elastisch gelagerten Kontakt stiften (52, 53) verbunden sind,
daß die Kontaktstifte (52, 53) unter Spannung in Kontaktbuchsen (58, 59) anliegen, die innerhalb der Formierelektrode (18, 19) an Mitteln (62, 63) befestigt sind, und daß die Kontaktbuchsen (58, 59) mit den Kathoden (20, 21) verbunden sind.3. Device according to claim 1 or 2, characterized in
that on the insulating part ( 26 ) connector pins ( 30 , 31 ) attached and with elastically mounted contact pins ( 52 , 53 ) are connected,
that the contact pins ( 52 , 53 ) bear under tension in contact sockets ( 58 , 59 ) which are fastened to means ( 62 , 63 ) within the forming electrode ( 18 , 19 ), and that the contact sockets ( 58 , 59 ) with the cathodes ( 20 , 21 ) are connected.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kontaktstifte (52, 53) in Führungsbuchsen (56, 57) gelagert sind, welche mit den Stecker stiften (30, 31) verbunden sind, und
daß zwischen den Führungsbuchsen (56, 57) und dem vorzugsweise konisch geformten Kopf der Kontakt stifte (52, 53) Federn (54, 55) angeordnet sind.4. The device according to claim 3, characterized in
that the contact pins ( 52 , 53 ) are mounted in guide bushes ( 56 , 57 ) which are connected to the plug pins ( 30 , 31 ), and
that between the guide bushes ( 56 , 57 ) and the preferably conical head of the contact pins ( 52 , 53 ) springs ( 54 , 55 ) are arranged.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Befestigung der Kontaktbuchsen (58, 59) innerhalb der Formierelektrode (18, 19) an Befestigungsflanschen (62, 63) erfolgt, die als Wärmeabstrahlringe (48, 49) ausgebildet sind.5. Apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that the attachment of the contact sockets ( 58 , 59 ) within the forming electrode ( 18 , 19 ) on mounting flanges ( 62 , 63 ), which are designed as heat radiation rings ( 48 , 49 ).

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmeabstrahlringe (48, 49) hohlförmig aus gebildet sind.6. The device according to claim 5, characterized in that the heat radiation rings ( 48 , 49 ) are formed from a hollow shape.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Steckeraufnahme (24) und Formier elektrode (18, 19) ein Koronaring (44) angeordnet ist, der eine zylinderförmige Aufnahme (43) auf weist, auf dem die Formierelektrode (18, 19) längen ausdehnbar aufliegt.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that between the plug receptacle ( 24 ) and the forming electrode ( 18 , 19 ) a corona ring ( 44 ) is arranged, which has a cylindrical receptacle ( 43 ) on which the forming electrode ( 18 , 19 ) is extensible.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahme (43) eine schneidenförmige Fase (45) aufweist, deren Durchmesser kleiner ist als der Durchmesser der Formierelektrode (18, 19) und die Formierelektrode (18, 19) punktförmig auf der Fase (45) angeordnet ist.8. The device according to claim 7, characterized in that the receptacle ( 43 ) has a cutting-shaped chamfer ( 45 ), the diameter of which is smaller than the diameter of the forming electrode ( 18 , 19 ) and the forming electrode ( 18 , 19 ) point on the chamfer ( 45 ) is arranged.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Endbereiche (46, 47) der Formierelektrode (18, 19) perforiert sind.9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the end regions ( 46 , 47 ) of the forming electrode ( 18 , 19 ) are perforated.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (11) ein doppelwandiges Gehäuse (12) aufweist, das mit einer Wasserkühlung verbun den ist.10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the vacuum chamber ( 11 ) has a double-walled housing ( 12 ) which is the verbun with a water cooling.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Gehäuse (12) Wärmeableitringe (50, 51) angeordnet sind, die an der wassergekühlten Innen wand des Gehäuses (12) befestigt sind.11. The device according to claim 10, characterized in that in the housing ( 12 ) heat dissipation rings ( 50 , 51 ) are arranged, which are attached to the water-cooled inner wall of the housing ( 12 ).