DE4404663A1 - Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung des Abstandes zweier paralleler Meßflächen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung des Abstandes zweier paralleler MeßflächenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Messung
des gegenseitigen Abstandes zweier zueinander im wesentli
chen paralleler Meßflächen eines Gegenstandes durch Streu
lichtinterferenz mit Licht kurzer Kohärenzlänge sowie eine
Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Beispielsweise bei der Blechherstellung tritt das Problem
auf die Blechdicke der kontinuierlich durchlaufenden Blech
bahn auf Mykrometer genau zu messen. Dabei sollen störende
Einflüsse wie Erwärmung, Lage und Flatterbewegungen des Ble
ches vermieden oder kompensiert werden.
Mit Hilfe eines eingangs genannten Verfahrens wird diese
Aufgabe dadurch gelöst, daß ein von einer Lichtquelle ausge
hender Lichtstrahl in einen Meßstrahl und einen Referenz
strahl unterteilt wird, daß der Meßstrahl auf eine erste
Meßfläche gerichtet und der an der ersten Meßfläche ge
streute Meßstrahl anschließend auf die zweite Meßfläche ge
richtet wird, daß der Referenzstrahl an mindestens einem Re
flexionselement in sich reflektiert und anschließend mit dem
an der zweiten Meßfläche gestreuten Meßstrahl wieder verei
nigt wird, worauf der vereinigte Strahl auf einen Strahlde
tektor gelenkt wird, wobei die Länge des Referenzstrahles
zwischen dem Strahlteilungspunkt und dem Strahlvereinigungs
punkt in einer Nullstellung des Reflexionselementes gleich
der Länge des Meßstrahles zwischen diesen Punkten zuzüglich
dem Wert des zu messenden Abstandes ist, und daß das Refle
xionselement um seine Nullstellung parallel zur Einfalls
richtung des Referenzstrahles periodisch hin - und herbewegt
wird.
Bei interferometrischen Messungen mit Licht kurzer Kohärenz
länge < 20 µm tritt ein interferometrisches Signal nur dann
auf, wenn der Meßstrahlengang und der Referenzstrahlengang
so abgestimmt sind, daß ihr Wegunterschied kleiner als die
Kohärenzlänge des Lichtes der Lichtquelle ist.
Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen wird ein gleichsam
ringförmiger Strahlengang geschaffen. An einer Stelle dieses
ringförmigen Strahlenganges, nämlich zwischen den beiden Ab
schnitten des Meßstrahles wird der zu messende Gegenstand
angeordnet. Die genaue Lage des zu messenden Gegenstandes
zwischen den beiden Abschnitten des Meßstrahles spielt dabei
keine Rolle, da es nur auf die Gesamtlänge des Strahlengan
ges des Meßstrahles ankommt. Daher können Flatterbewegungen
einer Blechbahn, deren Dicke gemessen werden soll, elimi
niert werden. Temperatureinflüsse heben sich ebenfalls her
aus, da sie gleichmäßig den Meß- und den Referenzstrahlen
gang betreffen.
Bei der Messung der Dicke eines Blechbandes ist diese Dicke
im wesentlichen bekannt. Es dreht sich nur darum, Abweichun
gen von der gewünschten Dicke feststellen zu können. Daher
können der Referenzstrahlengang und der Meßstrahlengang vor
Beginn einer Messung auch für beliebige Blechdicken vorein
gestellt werden. Es werden anschließend nur die Abweichungen
der Blechdicke von diesem Festwert gemessen. Damit braucht
das Reflexionselement nur über eine sehr geringe Strecke be
wegt zu werden, um eine Abstimmung zwischen dem Meßstrahl
und dem Referenzstrahl zu erzielen. Dies wiederum ermöglicht
eine sehr rasche Hin- und Herbewegung des Reflexionselemen
tes.
Durch diese Hin- und Herbewegung wird die Länge des Referenz
strahles auf die Länge des Meßstrahles abgestimmt. Bei Ab
stimmung im Bereich der Kohärenzlänge erfolgt ein
"Dopplerburst", dessen Frequenz von der Bewegungsgeschwin
digkeit des Reflexionselementes bestimmt wird. Da das Detek
torsystem nur auf diese Frequenz abgestimmt zu werden
braucht, ergibt sich ein exzellentes Signal/Rausch-Verhält
nis.
Theoretisch liegt die Meßgenauigkeit bei der Messung mit
Licht der oben angegebenen Kohärenzlänge unterhalb von 1 µm.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durchfüh
rung des vorstehend beschriebenen Verfahrens mit einer
Lichtquelle zur Erzeugung von Licht kurzer Kohärenzlänge,
einer Fotodetektoranordnung und einer Auswerteeinheit. Die
erfindungsgemäße Vorrichtung ist in der Weise ausgebildet,
daß sie einen sich an die Lichtquelle anschließenden ersten
Meßzweig und einen mit der Detektoranordnung verbundenen
zweiten Meßzweig umfaßt, dessen Abstand von dem ersten Meß
zweig größer als der gegenseitige Abstand der beiden Meßflä
chen ist, daß jeder Meßzweig einen Strahlteiler zum Teilen
des auf ihn einfallenden Lichtstrahles in einen zum Einfall
auf die jeweilige Meßfläche bestimmten Meßstrahl und einen
Referenzstrahl sowie ein Reflexionselement zum Reflektieren
des jeweiligen Referenzstrahles umfaßt, wobei der Strahlen
gang für den Meßstrahl und den Referenzstrahl jeweils so ge
wählt ist, daß der Meßstrahl und der Referenzstrahl nach der
Streuung bzw. Reflexion an der Meßfläche bzw. dem Reflexi
onselement im Strahlteiler wieder vereinigt werden, daß eine
Strahlumlenkungseinrichtung vorgesehen ist, um den aus dem
Strahlteiler des ersten Meßzweiges austretenden vereinigten
Strahl dem zweiten Meßzweig zuzuführen, daß die Strahlteiler
und die Reflexionselemente beider Meßzweige und die Strah
lumlenkeinrichtung relativ zueinander so angeordnet bzw.
ausgebildet sind, daß die Länge des Referenzstrahles zwi
schen dem Teilungspunkt im Strahlengang des ersten Meßzwei
ges und dem Vereinigungspunkt im Strahlengang des zweiten
Meßzweiges gleich der Länge des Meßstahles zwischen diesen
Punkten zuzüglich des Abstandes zwischen den Meßflächen ist,
und daß eines der Reflexionselemente parallel zur Richtung
des auf es einfallenden Referenzstrahles mittels eines An
triebs periodisch hin- und herbewegbar ist. Wird die erfin
dungsgemäße Vorrichtung in der oben beschriebenen Weise zum
Messen der Stärke eines Blechbandes oder dergleichen einge
setzt, so können die beiden Meßzweige zusammen mit dem für
die Strahlumlenkung vorgesehenen Bereich C-förmig angeordnet
sein. Die Vorrichtung kann so über den Rand der zu vermes
senden Bahn geschoben werden, daß ein Meßzweig oberhalb und
ein Meßzweig unterhalb der Bahn liegt, wobei die gegen Ober
seite und Unterseite der zu vermessenden Bahn gerichteten
Abschnitte des Meßstrahles in den beiden Meßzweigen kolinear
zueinander und im wesentlichen senkrecht zur jeweiligen Meß
fläche gerichtet sind.
Die Strahlumlenkeinrichtung kann zwei halbdurchlässige Spie
gel umfassen, die in den Strahlengängen der beiden Meßzweige
so angeordnet sind, daß der aus dem ersten Meßzweig austre
tende Strahl zum zweiten Meßzweig umgelenkt wird.
Um das Meßlicht möglichst vollständig nutzen zu können, ist
es zweckmäßig, wenn im Strahlengang jedes Meßzweiges eine
Fokussierungseinrichtung angeordnet ist, um den Meßstrahl
und den Referenzstrahl auf die jeweilige Meßfläche bzw. das
jeweilige Reflexionselement zu fokussieren.
Wenn gemäß der oben beschriebenen Lösung Referenzstrahl und
Meßstrahl auf die jeweilige Dicke des zu messenden Gegen
standes voreingestellt werden, genügt es, das Reflexionsele
ment um sehr kleine Strecken zu bewegen, die im Bereich der
Kohärenzlänge des Lichtes liegen. In diesem Falle kann der
Antrieb für das bewegte Reflexionselement von einem pie
zoelektrischen Schwinger gebildet sein, mit dem das Reflexi
onselement gekoppelt ist. Damit läßt sich auf sehr einfache
und doch präzise Weise das Reflexionselement mit hoher Fre
quenz hin- und herbewegen.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann zumin
dest ein Teil des freien Strahlenganges in der erfindungsge
mäßen Vorrichtung auch durch Lichtleiter, das heißt Monomo
defasern oder Multimodefasern geringen Durchmessers (z. B. <
100 µm) ersetzt werden, die mit geeigneten Koppelelementen
zum Ein- und Ausblenden von Meßstrahl und Referenzstrahl so
wie zum Teilen und Zusammenführen dieser Strahlen verbunden
sind.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus
der folgenden Beschreibung, welche in Verbindung mit den
beigefügten Zeichnungen die Erfindung anhand von Ausfüh
rungsbeispielen erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer
ersten Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer
zweiten Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Vorrichtung,
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer
dritten Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Vorrichtung.
In Fig. 1 erkennt man eine Lichtquelle 10, beispielsweise
einen Laser, der Licht kurzer Kohärenzlänge zwischen 10 und
50 µm erzeugt. Der von dem Laser 10 ausgehende parallele Ge
samtstrahl 12 gelangt über einen ersten teildurchlässigen
Spiegel 14 in einen allgemeinen mit 16 bezeichneten ersten
Meßzweig. In diesem wird der Strahl 12 nach dem Durchtritt
durch eine Fokussierungslinse 18 durch einen als Strahltei
ler wirkenden halbdurchlässigen Spiegel 20 in einen Meß
strahlabschnitt 22 und einen Referenzstrahlabschnitt 24 un
terteilt. Der Meßstrahlabschnitt 22 fällt von dem Strahltei
ler 20 im wesentlichen senkrecht auf eine erste Meßfläche 26
eines Gegenstandes 28, dessen Dicke d gemessen werden soll.
Beispielsweise handelt es sich bei einem solchen Gegenstand
um eine kontinuierliche Blechbahn, deren Dicke bei der Her
stellung überwacht werden soll.
Der Referenzstrahlabschnitt 24 tritt durch den Strahlteiler
20 hindurch und wird auf einen Spiegel 30 fokussiert, der
mittels eines Antriebes 32 in Richtung des Doppelpfeiles A
periodisch hin- und herbewegbar ist.
Der an der ersten Meßfläche 26 reflektierte oder gestreute
Meßstrahlabschnitt 22 und der an dem Spiegel 30 reflektierte
oder gestreute Referenzstrahlabschnitt 24 werden jeweils im
Strahlteiler 20 wieder vereinigt und werden von dem Strahl
teiler 20 durch die Fokussierungslinse 18 auf den Spiegel 14
gelenkt, der den vereinigten Strahl rechtwinklig in Richtung
auf einen zweiten Meßzweig 34 der Meßvorrichtung umlenkt.
Dieser umfaßt wie der erste Meßzweig 16 einen teildurchläs
sigen Umlenkspiegel 36, eine Fokussierungslinse 38 und einen
als Strahlteiler wirkenden teildurchlässigen Spiegel 40, der
einen Meßstrahlabschnitt 42 in Richtung auf eine zweite Meß
fläche 44 des Gegenstandes 28 und einen Referenzstrahlab
schnitt 46 in Richtung auf einen feststehenden Spiegel 48
richtet. Der an der zweiten Meßfläche reflektierte oder ge
streute Meßstrahlabschnitt 42 und der an dem feststehenden
Spiegel 48 reflektierte Referenzstrahlabschnitt 46 werden in
dem Strahlteiler 40 wieder vereinigt und fallen anschließend
durch die Fokussierungslinse 38, den teildurchlässigen Spie
gel 36 und eine weitere Fokussierungslinse 50, welche den
aus der Fokussierungslinse 38 austretenden parallelen Licht
strahl wieder bündelt, auf eine Detektoranordnung 52. Das
von dieser Detektoranordnung 52 erzeugte Signal wird in ei
ner Auswerteeinheit 54 verarbeitet.
Wie der Darstellung in Fig. 1 entnommen werden kann, erhält
man zwischen den teildurchlässigen Spiegeln 14, 20, 36, 40
einen ringförmigen Strahlengang mit symmetrischen Abschnit
ten in den beiden Meßzweigen 16, 34. Wenn der Mittenabstand
zwischen den Spiegeln 14, 20 bzw. 36, 40 jeweils mit a und
der Mittenabstand zwischen den Spiegeln 14, 36 einerseits
und den Spiegeln 20, 40 andererseits jeweils mit b bezeich
net wird, so erhält man für den Gesamtweg des Meßstrahles
vom Spiegel 20 (Teilungspunkt) über die erste Meßfläche 26,
die Spiegel 20, 14, 36, 40, die zweite Meßfläche 44 bis zum
Spiegel 40 (Vereinigungspunkt) die Strecke
1m = 2a + 3b - 2d.
Der Abstand zwischen der Mitte des Spiegels 20 und dem Spie
gel 30 in der Nullstellung des letzteren sowie der Abstand
zwischen der Mitte des Spiegels 40 und dem Spiegel 48 ist
jeweils zu b/2 gewählt. Dann erhält man für den Gesamtweg des
Referenzstrahles zwischen dem obengenannten (Teilungspunkt)
und dem obengenannten (Vereinigungspunkt) die Strecke
1r = 2a + 3b ± 2s
wobei s die Strecke bezeichnet, die der Spiegel 30 aus sei
ner Nullage durch den Antrieb 32 in der einen oder der ande
ren Richtung ausgelenkt werden kann. Die Strecke s ist
gleich der Dicke des zu messenden Gegenstandes 28, das heißt
s = d.
Die Frequenz des Referenzstrahles erhält durch die Bewegung
des Spiegels 30 eine Dopplerverschiebung. Wenn sich der Meß
strahl und der Referenzstrahl auf dem Detektor 52 überla
gern, führen die geringfügig unterschiedlichen Frequenzen
von Meßstrahl und Referenzstrahl zu einer Schwebung, deren
Frequenz gleich der Frequenzänderung des Referenzstrahls und
damit abhängig von der Bewegungsgeschwindigkeit des Spiegels
30 ist. Ein Signal erhält man allerdings nur, solange die
Differenz der vom Referenzstrahl und vom Meßstrahl zurückge
legten Wege kleiner als die Kohärenzlänge des von der Licht
quelle 10 ausgehenden Lichtes ist. Der Ort des periodisch
hin- und herbewegten Spiegels 30 und damit die Weglänge des
Referenzstrahles sind zu jedem Zeitpunkt bekannt. Durch Aus
wertung der gemessenen Schwebungsfrequenz in Relation zu der
bekannten Position des Spiegels 30 läßt sich eine Längenän
derung des Meßstrahles und damit eine Änderung des Abstandes
zwischen den Meßflächen 26, 44 ermitteln. Die erreichbare
Genauigkeit liegt dabei bei ca. 1 µm unter der Vorausset
zung, daß Licht mit einer Kohärenzlänge von ca. 10 bis 20 µm
verwendet wird. Eine Höhenänderung des Gegenstandes 28, bei
spielsweise die Flatterbewegung einer Materialbahn, deren
Stärke gemessen werden soll, spielt dabei keine Rolle, da
beispielsweise eine Verkürzung des Meßstrahlabschnittes 22
durch eine entsprechende Verlängerung des Meßstrahlabschnit
tes 42 ausgeglichen wird.
Temperatureinflüsse auf das Meßsystem heben sich ebenfalls
heraus, da sie gleichmäßig den Meß- und Referenzstrahlengang
betreffen. Das Meßsystem kalibriert sich auch vor der Mes
sung selbst. Dies wird durch den ringförmigen Strahlengang
ermöglicht.
Fig. 2 zeigt eine etwas abgewandelte Ausführungsform der in
Fig. 1 dargestellten Meßanordnung, wobei gleichwirkende
Teile mit gleichen Bezugsziffern versehen sind. Die Ausfüh
rungsform gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von der Ausfüh
rungsform gemäß Fig. 1 im wesentlichen dadurch, daß der von
der Lichtquelle 10 ausgehende Strahl über einen Umlenkspie
gel 56 auf den Strahlteiler 20 gelenkt wird und daß der vom
Strahlteiler 40 ausgehende vereinigte Strahl über einen Um
lenkspiegel 58 in Richtung auf den Detektor 52 abgelenkt
wird. Der einfallende Strahl und der austretende Strahl sind
somit von dem ringförmigen Strahlengang des Meß- und Refe
renzstrahles getrennt.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines Ausfüh
rungsbeispieles, bei dem der Strahlengang zum Teil durch
Lichtleiter verläuft. Die mit den Ausführungsformen gemäß
Fig. 1 und 2 übereinstimmenden Teile sind wieder mit glei
chen Bezugszeichen versehen.
Der von der Lichtquelle 10 ausgehende Lichtstrahl gelangt
über eine erste Lichtleitfaser 60 zu einer Teilungsstelle
62, an der er in einen Referenzstrahl und einen Meßstrahl
aufgespaltet wird. Der Referenzstrahl gelangt durch einen
Lichtleiter 64 und eine Linse 66 auf den hin- und herbeweg
ten Spiegel 30, an dem er in den Lichtleiter 64 zurückre
flektiert wird. Der Meßstrahl gelangt über einen Lichtleiter
68 und eine Linse 70 zu einem Spiegel 72 an dem er in Rich
tung auf die Meßfläche 26 gelenkt wird. Der an der Meßfläche
26 gestreute Meßstrahl gelangt über den Spiegel 72 und die
Linse 70 zurück in den Lichtleiter 68. Meßstrahl und Refe
renzstrahl 64 treten an dem Teilungspunkt 62 gemeinsam in
einen Lichtleiter 64 ein, der den Teilungspunkt 62 mit einem
weiteren Teilungspunkt 76 verbindet, an den sich wiederum
ein Lichtleiter 78 anschließt, der den Meßstrahl über eine
Linse 80 und einen Umlenkspiegel 82 auf die zweite Meßfläche
44 lenkt. Von dort nimmt der Meßstrahl wieder den Weg zurück
zu dem Punkt 76. Der Referenzstrahl gelangt über einen
Lichtleiter 84 und eine Linse 86 zu einem Prisma 88, an dem
er in den Lichtleiter 84 zurückreflektiert wird. Meßstrahl
und Referenzstrahl gelangen von dem Punkt 76 über einen
Lichtleiter 90 auf den Detektor 52. Als Lichtleiter werden
Monomodefasern verwendet. Das Meßprinzip stimmt mit dem an
hand der Fig. 1 beschriebenen Meßprinzip überein.
Claims (7)
1. Verfahren zur optischen Messung des gegenseitigen Abstan
des zweier zueinander im wesentlichen paralleler Meßflä
chen (26, 44) eines Gegenstandes (28) durch Streulichtin
terferenz mit Licht kurzer Kohärenzlänge, dadurch gekenn
zeichnet, daß ein von einer Lichtquelle (10) ausgehender
Lichtstrahl in einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl
unterteilt wird, daß der Meßstrahl auf eine erste Meßflä
che (26) gerichtet und der an der ersten Meßfläche (26)
gestreute Meßstrahl anschließend auf die zweite Meßfläche
(44) gerichtet wird, daß der Referenzstrahl an mindestens
einem Reflexionselement (30) in sich reflektiert und an
schließend mit dem an der zweiten Meßfläche (44) gestreu
ten Meßstrahl wieder vereinigt wird, worauf der vereinigte
Strahl auf einen Strahldetektor (52) gelenkt wird, wobei
die Länge des Referenzstrahles zwischen dem Strahltei
lungspunkt (20) und dem Strahlvereinigungspunkt (40) in
einer Nullstellung des Reflexionselementes (30) gleich der
Länge des Meßstrahles zwischen diesen Punkten zuzüglich
dem Wert des zu messenden Abstandes ist, und daß das Re
flexionselement (30) um seine Nullstellung parallel zur
Einfallsrichtung des Referenzstrahles periodisch hin- und
herbewegt wird.
2. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach An
spruch 1 mit einer Lichtquelle (10) zur Erzeugung von
Licht kurzer Kohärenzlänge, einer Fotodetektoranordnung
(52) und einer Auswerteeinheit (54), dadurch gekennzeich
net, daß sie einen sich an die Lichtquelle (10) anschlie
ßenden ersten Meßzweig (16) und einen mit der Detektoran
ordnung (52) verbundenen zweiten Meßzweig (34) umfaßt,
dessen Abstand von dem ersten Meßzweig (16) größer als der
gegenseitige Abstand der beiden Meßflächen (26, 44) ist,
daß jeder Meßzweig (16) einen Strahlteiler (20, 40) zum
Teilen des auf ihn einfallenden Lichtstrahles in einen zum
Einfall auf die jeweilige Meßfläche (26, 44) bestimmten
Meßstrahl und einen Referenzstrahl sowie ein Reflexions
element (30, 48) zum Reflektieren des jeweiligen Referenz
strahles umfaßt, wobei der Strahlengang für den Meßstrahl
und den Referenzstrahl jeweils so gewählt ist, daß der
Meßstrahl und der Referenzstrahl nach der Streuung bzw.
Reflexion an der Meßfläche (26, 44) bzw. dem Reflexionsele
ment (30, 48) im Strahlteiler (20, 40) vereinigt werden,
daß eine Strahlumlenkeinrichtung (14, 36) vorgesehen ist,
um den aus dem Strahlteiler (20) des ersten Meßzweiges
(16) austretenden vereinigten Strahl dem zweiten Meßzweig
(34) zuzuführen, daß die Strahlteiler (20, 40) und die
Reflexionselemente (30, 48) beider Meßzweige (16, 34) und
die Strahlumlenkeinrichtung (14, 36) relativ zueinander so
angeordnet bzw. ausgebildet sind, daß die Länge des Refe
renzstrahles zwischen dem Teilungspunkt im Strahlengang
des ersten Meßzweiges (16) und dem Vereinigungspunkt im
Strahlengang des zweiten Meßzweiges (34) gleich der Länge
des Meßstrahles zwischen diesen Punkten zuzüglich des Ab
standes zwischen den Meßflächen (46, 44) ist, und daß ei
nes der Reflexionselemente (30, 48) parallel zur Richtung
des auf es einfallenden Referenzstrahles mittels eines An
triebes (32) periodisch hin- und herbewegbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Meßstrahlabschnitte (22, 42) in den beiden Meßzweigen
(16, 34) kolinear zueinander auf die beiden Meßflächen
(26, 44) gerichtet sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeich
net, daß im Strahlengang jedes Meßzweiges (16, 34) halb
durchlässige Spiegel (14, 36) so angeordnet sind, daß der
Strahl von dem ersten Meßzweig (16) zum zweiten Meßzweig
(34) umgelenkt wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Strahlen in der Strahlenumlenkeinrichtung und in min
destens einem Teil der beiden Meßzweige (16, 34) in Licht
leitern (60, 64, 68, 74, 90, 78, 84) geführt sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Antrieb (32) von einem mit dem Re
flexionselement (30) gekoppelten piezoelektrischen Schwin
ger gebildet ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß im Strahlengang jedes Meßzweiges (16,
34) eine Fokussiereinrichtung (18, 38) angeordnet ist, um
den Meßstrahl und den Referenzstrahl auf die Meßflächen
(26, 44) bzw. das Reflexionselement (30) zu fokussieren.
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DE19944404663 DE4404663A1 (de) | 1994-02-14 | 1994-02-14 | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung des Abstandes zweier paralleler Meßflächen |
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