DE4329708C2 - Connection method and apparatus - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer elektrisch leitfähigen Verbindung von zwei Kontaktelementen, bei dem die beiden über deckend angeordneten Kontaktelemente mittels einer in einer Kapillare geführten, stempelartig ausgebil deten Energieübertragungseinrichtung zur Ausbildung eines Kontaktbereichs aneinandergedrückt und durch die Energieübertragungseinrichtung hindurch zur Ver bindung im Kontaktbereich mit Energie beaufschlagt werden. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Herstellung einer elektrisch leitfä higen Verbindung von zwei Kontaktelementen mit einer in einer Kapillare eines Bondkopfs geführten, stem pelartig ausgebildeten Energieübertragungsein richtung zum Anschluß an eine Energiequelle und zum Aneinanderdrücken der zu verbindenden Kontaktelemen te.The present invention relates to a method for Establishing an electrically conductive connection of two contact elements, in which the two over opaque contact elements by means of a guided in a capillary, stamp-like trained Deten energy transfer device for training of a contact area pressed together and by through the energy transmission device to Ver binding in the contact area with energy will. Furthermore, the invention relates to a Device for producing an electrically conductive able connection of two contact elements with one guided in a capillary of a bondhead, stem pel-like energy transfer direction for connection to an energy source and Press the contact elements to be connected together te.
Ein Verfahren sowie eine Vorrichtung der vorstehend genannten Art sind aus der DE 42 00 492 A1 bekannt. Bei dem dort beschriebenen Verfahren wird eine Lichtleitfaser, die mit einer Laseranordnung verbun den ist, gegen einen Kontaktleiter gedrückt, der sich oberhalb einer Anschlußfläche eines Chips be findet. Dabei dient das Andrücken des Kontaktleiters auf die Anschlußfläche zur Verhinderung einer Spalt ausbildung zwischen den beiden Kontaktelementen und Ausbildung eines sicheren Kontaktbereichs. Zur Ver bindung der Kontaktelemente werden diese durch die Lichtleitfaser mit Laserenergie beaufschlagt. A method and an apparatus of the above mentioned type are known from DE 42 00 492 A1. In the method described there, a Optical fiber combined with a laser arrangement that is pressed against a contact conductor that be above a pad of a chip finds. The contact conductor is pressed on on the pad to prevent a gap training between the two contact elements and Establishment of a safe contact area. Ver The contact elements are bound by the Optical fiber applied with laser energy.
Das bekannte Verfahren sowie die bekannte Vorrich tung eignen sich für die Inner-Lead-Bondtechnik, die beispielsweise beim Tape-Automated-Bonding (TAB) Anwendung findet. Hierbei werden in sich starre Lei terbahnen (Inner Leads) einer Leiterbahnanordnung (Lead Frame) mit den mit Bumps versehenen Anschluß flächen (Pads) eines Chips verbunden.The known method and the well-known Vorrich are suitable for the inner lead bonding technique for example in tape automated bonding (TAB) Application. Here are rigid lei Inner tracks of an interconnect arrangement (Lead frame) with the bumped connector surfaces (pads) of a chip connected.
Im Gegensatz hierzu werden in der Drahtbondtechnik flexible, vom Material her bondfähige Anschlußdrähte an einem Ende mit der Anschlußfläche eines Chips oder eines anderen elektronischen Bauelements und am anderen Ende mit einer Anschlußfläche eines weiteren elektronischen Bauelements verbunden. Die bekannte sten Verbindungstechniken, die in der Draht-bond technik angewandt werden, sind das Thermosonic- Schweißverfahren, das Ultraschall-Schweißverfahren und das Thermokompressions-Schweißverfahren. Diese Verfahren werden mit Drahtbond-Werkzeugen durchge führt, die im Fall des Thermosonic-Schweißverfahrens und des Thermokompressions-Schweißverfahrens die Herstellung einer sogenannten Ball-Wedge-Verbindung ermöglichen und im Fall des Ultraschall-Schweißver fahrens eine sogenannte Wedge-Wedge-Verbindung schaffen.In contrast, in wire bonding technology flexible connecting wires that are bondable at one end with the pad of a chip or another electronic component and on other end with a pad of another connected electronic component. The well-known Most joining techniques used in wire bond technology, these are Thermosonic Welding process, the ultrasonic welding process and the thermocompression welding process. This Procedures are carried out with wire bond tools leads in the case of the Thermosonic welding process and the thermocompression welding process Establishment of a so-called ball-wedge connection enable and in the case of ultrasonic welding a so-called wedge-wedge connection create.
Die mit Ultraschall arbeitenden Verfahren, also das Thermosonic-Schweißverfahren und das Ultraschall schweißverfahren sind zur Verbindung ultraschallemp findlicher Bauteile nicht verwendbar. Das Thermokom pressions-Schweißverfahren ist wegen der hohen Ar beitstemperaturen bei temperatursensiblen Bauelemen ten nur begrenzt anwendbar.The processes using ultrasound, that is Thermosonic welding process and ultrasound welding processes are ultrasonic for joining sensitive components cannot be used. The thermocom pressure welding process is due to the high ar working temperatures for temperature-sensitive components can only be used to a limited extent.
Aus der DE 39 41 558 A1 ist eine Laser-Verbindungs- Vorrichtung mit einer Lichtleitfaser bekannt, bei der die als Energieübertragungseinrichtung verwen dete Lichtleitfaser lediglich zur Übertragung der Laserenergie und nicht zur Übertragung des für die Kontaktierung notwendigen Anpreßdrucks dient. Die bekannte Laser-Verbindungsvorrichtung wird zur Ver bindung zweier in einem Kontaktbereich aufeinander liegender Drahtleiter verwendet.DE 39 41 558 A1 describes a laser connection Device with an optical fiber known, at who use it as an energy transmission device Optical fiber used only for the transmission of Laser energy and not for the transmission of that Contacting necessary contact pressure is used. The known laser connection device is used for ver binding two in a contact area horizontal wire conductor used.
Aus der DE 27 34 759 A1 ist eine ebenfalls mit La serenergie arbeitende Verbindungsvorrichtung be kannt, wobei auch hier keine stempelartig ausgebil dete Energieübertragungsvorrichtung vorgesehen ist und, wie im Fall der vorstehend erläuterten Vor richtung, auch nicht die Durchführung einer Draht bondtechnik möglich ist.From DE 27 34 759 A1 is also with La energy-efficient connecting device be knows, here also no stamp-like training Dete energy transmission device is provided and, as in the case of the foregoing direction, not even performing a wire bond technology is possible.
Die DE 40 22 664 A1 zeigt ein in der Drahtbondtech nik verwendetes Bondwerkzeug, das die Verbindung eines freien Drahtendes mit einem Kontaktleiter er möglicht, wobei der Drahtquerschnitt des durch eine Kapillare zugeführten Bonddrahts durch das Mund stück des Bondwerkzeugs mit Druck und/oder Tempera tur beaufschlagt wird.DE 40 22 664 A1 shows one in wire bonding tech nik used bonding tool that the connection of a free wire end with a contact conductor possible, the wire cross section of the through a Capillary fed bond wire through the mouth piece of the bonding tool with pressure and / or tempera tur is applied.
Aus der DD 1 45 147 A und aus Tschernev, R.: "Bondverfahren in der Hybrid-Mikroelektronik", ELEK TRONIK PRODUKTION UND PRÜFTECHNIK, Mai 1983, Heft 5, Seite 258, Bild 1, ist ein Verfahren zur Ausbil dung einer Kugel am Ende eines Bonddrahts bekannt. Dabei erfolgt die zur Verbindung des kugelförmig ausgebildeten Bonddrahtendes mit einem Kontaktlei ter notwendige Energiebeaufschlagung ähnlich, wie bei dem vorstehend beschriebenen, aus der DE 40 22 664 A1 bekannten Bondwerkzeug, über das Mundstück des Bondwerkzeugs.From DD 1 45 147 A and from Tschernev, R .: "Bonding Process in Hybrid Microelectronics", ELEK TRONIK PRODUKTION UND PRÜFTECHNIK, May 1983, Issue 5, page 258, Figure 1, is a process for training a ball at the end of a bond wire. This is done to connect the spherical trained bond wire ends with a contact wire the necessary energy input similar to how in the above described, from DE 40 22nd 664 A1 known bonding tool, via the mouthpiece of the bonding tool.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrun de, ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung zu schaffen, das bzw. die den Einsatz einer stempelartig ausge bildeten Energieübertragungseinrichtung in der Drahtbondtechnik ermöglicht.The present invention is based on the object de to create a method and a device, the or the use of a stamped out formed energy transmission facility in the Wire bonding technology enables.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merk malen des Anspruchs 1 gelöst.This task is accomplished by a procedure with the Merk paint the claim 1 solved.
Erfindungsgemäß wird am Ende eines in einen Überdeck ungsbereich mit dem Endquerschnitt der Energieüber tragungseinrichtung hineingeführten Drahtleiters als erstes Kontaktelement eine Kugel ausgebildet, die nachfolgend unter Verformung durch die Energieüber tragungseinrichtung gegen eine Anschlußfläche des zweiten Kontaktelements gedrückt und zur Verbindung mit dem zweiten Kontaktelement mit Energie beauf schlagt wird.According to the invention, one ends up in an overdeck area with the final cross section of the energy transfer carrying device inserted wire conductor as first contact element formed a ball that subsequently with deformation by the energy transfer carrying device against a pad of the second contact element pressed and for connection energized with the second contact element is struck.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Ener gieübertragungseinrichtung nicht nur zur Erzeugung eines Kontaktgegendrucks zwischen den Kontaktelemen ten verwendet, sondern darüber hinaus zur Verformung eines Drahtleiters, der durch die Energieübertra gungseinrichtung auf die Anschlußfläche des zweiten Kontaktelements aufgepreßt wird, um die zur Durchführung der Draht-Bond-Technik notwendige Preß schweißung auszuführen.In the process according to the invention, the ener Energy transmission device not only for generation a contact back pressure between the contact elements ten used, but also for deformation of a wire conductor that is transmitted through the energy transfer supply device on the pad of the second Contact element is pressed on to the Carrying out the wire bonding technique necessary press to carry out welding.
Im Gegensatz zu dem erfindungsgemäßen Verfahren er folgt bei den konventionellen Drahtbondtechniken die Verformung des Drahtleiters durch den Randbereich der Kapillarenöffnung im sogenannten Bondkopf, durch die der Drahtleiter austritt.In contrast to the method according to the invention follows with conventional wire bonding techniques Deformation of the wire conductor through the edge area the capillary opening in the so-called bond head which the wire conductor exits.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ermöglicht die Verwendung der Energieübertragungseinrichtung als Druckstempel eine möglichst flache Ausgestaltung des Verbindungsbereichs. Darüber hinaus kann bei dem erfindungsgemäßen Verfahren der Öffnungsbereich ei ner Kapillare zur Führung der Energieübertragungs einrichtung im Bondkopf quasi als Formmatrize zur Festlegung der äußeren Abmessungen der Drahtleiter verbindung nach Stauchung der Kugel durch die Ener gieübertragungseinrichtung verwendet werden.In the method according to the invention, the Use of the energy transfer device as Stamp a flat design of the Connection area. In addition, the method of the opening area according to the invention ner capillary for guiding the energy transfer device in the bond head as a form die Definition of the outer dimensions of the wire conductor connection after compression of the ball by the energy Gie transmitters are used.
In bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemä ßen Verfahrens werden als Energieübertragungsein richtung alternativ eine Lichtleitfaseranordnung oder ein Thermo-Kompressionswerkzeug verwendet. Die Lichtleitfaseran ordnung dient dabei zur Übertragung von Laserener gie; das Thermo-Kompressionswerkzeug zur Übertragung von Wärmeenergie.In preferred embodiments of the invention This process is called energy transfer alternatively an optical fiber arrangement or used a thermal compression tool. The optical fiber order is used to transmit Laserener gie; the thermal compression tool for the transfer of thermal energy.
Die nachfolgend angeführten, vorteilhaften Ausfüh rungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens gelten, wenn nicht ausdrücklich anderes festgestellt wird, sowohl in Verbindung mit einer Lichtleitfaseranord nung als Energieübertragungseinrichtung als auch in Verbindung mit einem Thermo-Kompressionswerkzeug als Energieübertra gungseinrichtung.The advantageous versions listed below forms of the method according to the invention apply, unless expressly stated otherwise, both in connection with an optical fiber arrangement tion as an energy transmission device as well Connection with a thermal compression tool as energy transfer supply device.
Als vorteilhaft erweist es sich, die Ausbildung der Kugel mittels einer Kathoden/Anoden-Anordnung durch zuführen, wobei das Aufschmelzen der Kugel am Draht leiterende durch die bei einer Funkenentladung frei werdende Energie erfolgt. Hierzu kann ein Bereich einer Drahtleiterkapillare, die zur Zuführung des Drahtleiters dient, als Kathodenanschluß und ein Be reich der Kapillare, die zur Zuführung der Energie übertragungseinrichtung dient, als Anodenanschluß verwendet werden.It proves to be advantageous to train the Ball through a cathode / anode arrangement feed, melting the ball on the wire conductor end by the free at a spark discharge energy is taking place. This can be an area a wire conductor capillary, which is used to feed the Wire conductor serves as a cathode connection and a Be realm of the capillary, which supplies energy serves as an anode connection be used.
Alternativ ist es auch möglich, die Ausbildung der Kugel mittels der von der Energieübertragungsein richtung in das Ende des Drahtleiters eingeleiteten Energie durchzuführen. Dies erweist sich als beson ders vorteilhaft, da somit zur Realisierung der Ein richtung zur Ausbildung der Kugel am Drahtleiterende keine besonderen Vorkehrungen notwendig sind.Alternatively, it is also possible to train the Sphere by means of energy transfer direction introduced into the end of the wire conductor Perform energy. This turns out to be special ders advantageous because it is thus to realize the one Direction for forming the ball at the end of the wire conductor no special precautions are necessary.
Wenn nach Ausbildung der Kugel und vor der Verbin dung der Kugel mit der Anschlußfläche eine Abtren nung der Kugel vom Drahtleiter erfolgt, ist es mög lich, die vom Drahtleiterende abgetrennte Kugel quasi als Bump auf die Anschlußfläche aufzubringen. Wie vorstehend schon erwähnt, kann dabei durch das Zusammenwirken der stempelartig ausgebildeten Ener gieübertragungseinrichtung und der als Formmatrize wirkenden Austrittsöffnung der Energieübertragungs einrichtungskapillare ein in seinen Abmessungen ge nau festgelegter Bump erzeugt werden. Darüber hinaus ist bei entsprechender Gestaltung des Endquer schnitts der Energieübertragungseinrichtung eine beliebige Oberflächengestaltung möglich. Im Gegen satz zu den bislang bekannten Bumps, die bedingt durch ihr Herstellungsverfahren eine konvexe Ober fläche aufweisen, ist somit auch die Erzeugung von flachen Bumps möglich. Dies wirkt sich nicht nur vorteilhaft auf die Höhe der mit den Bumps versehenen Bauelemente aus, sondern erleichtert auch die nach folgende Verbindung der Bumps mit Leads oder Draht leitern.If after training the ball and before the verb the ball with the connection surface an partition ball from the wire conductor, it is possible Lich, the ball separated from the end of the wire to apply as a bump to the pad. As already mentioned above, the Interaction of the stamp-trained Ener transfer device and as a form die acting outlet of the energy transfer device capillary a in its dimensions ge bump specified. Furthermore is with appropriate design of the end cross section of the energy transmission device any surface design possible. In the opposite set to the previously known bumps that conditionally a convex upper due to its manufacturing process have area, is therefore also the production of flat bumps possible. This not only affects advantageous to the level of those provided with the bumps Components from, but also facilitates the post then connect the bumps with leads or wire conductors.
Wenn die Kugel nach ihrer Abtrennung von einer Hal teeinrichtung gegen den Endquerschnitt der Energie übertragungseinrichtung gehalten wird, kann der Bondkopf nach Art einer pick-and-place-Einrichtung gegenüber der Anschlußfläche bewegt werden, ohne daß mit einem Verlust der Kugel gerechnet werden muß.If the sphere is separated from a hal device against the final cross section of the energy transmission device is held, the Bond head in the manner of a pick-and-place device be moved relative to the pad without a loss of the ball must be expected.
In der vorstehend beschriebenen bevorzugten Ausfüh rungsform ist das erfindungsgemäße Verfahren beson ders zur Aufbringung von Bumps auf Anschlußflächen elektronischer Bauelemente geeignet. Wenn das erfin dungsgemäße Verfahren zur Verbindung zweier An schlußflächen mittels der Drahtbondtechnik angewen det werden soll, kann gemäß einer vorteilhaften Aus führungsform nach Verbindung des durch die Kugel gebildeten, ersten Kontaktelements mit dem zweiten Kontaktelement der Drahtleiter unter Ausbildung ei ner Drahtleiterschleife (Loop) zu einem weiteren Kontaktelement geführt, das laufende Ende der Draht leiterschleife von einer Halteeinrichtung an der Drahtleiterkapillare gehalten, am Drahtleiterschlau fenende eine Kugel ausgebildet und diese nach Durchtrennung des Drahtleiters unterhalb der Ener gieübertragungseinrichtung unter Verformung durch die Energieübertragungseinrichtung gegen eine An schlußfläche des weiteren Kontaktelements gedrückt und zur Verbindung mit dem weiteren Kontaktelement mit Energie beaufschlagt werden.In the preferred embodiment described above The method according to the invention is special to apply bumps to pads electronic components. If that is the case inventive method for connecting two to Apply end faces using wire bonding technology det should, according to an advantageous Aus leadership form after connection by the ball formed, first contact element with the second Contact element of the wire conductor under training egg ner wire conductor loop (loop) to another Contact element guided, the running end of the wire conductor loop from a holding device on the Wire conductor capillary held on the wire conductor hose a ball formed and this after Cutting the wire conductor below the ener gie transmission device under deformation by the energy transmission device against an end surface of the further contact element pressed and for connection to the further contact element be energized.
Mittels der vorbeschriebenen Variante des erfin dungsgemäßen Verfahrens ist es erstmalig möglich abweichend von dem bislang bekannten Wedge-Wedge- Verfahren und dem Ball-Wedge-Verfahren ein Ball- Ball-Verfahren in der Drahtbondtechnik durchzufüh ren. Bei den bekannten Verfahren wurde die Verbin dung des Drahtleiters mit der Anschlußfläche des weiteren Kontaktelements stets in der Wedge-Technik ausgeführt, bei der der Drahtleiter unter Ausführung einer Preßschweißung gegen die Anschlußfläche ge drückt wird und nach ausgeführter Preßschweißung eine Durchtrennung des Drahtleiters erfolgt. Dies hat zur Folge, daß bei derartigen Verbindungen stets ein Drahtüberstand im Bereich der Anschlußfläche vorhanden ist, der seitlich nach oben vorsteht. Dies wirkt sich ungünstig auf die Gesamtdicke eines mit einer derartigen Drahtverbindung versehenen Bauele ments aus. Darüber hinaus erweist sich der Draht überstand auch als störend, wenn ein weiterer Draht leiter mit einer derartig beschaffenen Verbindungs stelle verbunden werden soll. Ein weiterer Nachteil, der vorbeschriebenen, in der Wedge-Bond-Technik her gestellten Verbindungsstellen besteht darin, daß die durch Abreißen oder Durchtrennen geschaffene Trenn stelle des Drahtleiters sich als besonders korro sionsgefährdet erweist. Wenn die Verbindungsstelle jedoch in der Ball-Bond-Technik hergestellt wird, ergibt sich eine gleichmäßige, unverletzte Oberflä che der Verbindungsstelle, die keine exponierten Angriffspunkte für eine Korrosion aufweist.Using the previously described variant of the invent process according to the invention is possible for the first time deviating from the previously known wedge-wedge Procedure and the ball wedge procedure a ball Ball procedure in wire bonding technology ren. In the known methods, the verb the wire conductor with the pad of the additional contact element always in wedge technology executed where the wire conductor is under execution a pressure weld against the pad ge is pressed and after pressure welding has been carried out the wire conductor is cut. This has the consequence that with such connections always a wire protrusion in the area of the pad is present, which protrudes laterally upwards. This has an adverse effect on the overall thickness of one such a wire connection provided components ment. In addition, the wire proves to be survived as annoying if another wire conductor with such a connection place to be connected. Another disadvantage, the wedge bond technique described above liaison points is that the separation created by tearing or severing place the wire conductor as particularly corro endangered. If the junction but is made in the ball-bond technique, the result is a uniform, undamaged surface area of the junction that did not expose Has points of attack for corrosion.
Sowohl die Durchführung des erfindungsgemäßen Ver fahrens zur Bumpapplikation als auch der Verfahrens variante zur Herstellung einer Ball-Ball-Verbindung kann in einer Schutzgasatmosphäre oder unter Vakuum erfolgen.Both the implementation of the Ver driving to the bump application as well as the procedure variant for establishing a ball-ball connection can be in a protective gas atmosphere or under vacuum respectively.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist die Merkmale des Anspruchs 8 auf.The device according to the invention has the features of claim 8.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Bond kopf mit einer Drahtleiterkapillare zur Zuführung eines Drahtleiters und einer Einrichtung zur Ausbil dung einer Kugel am Drahtleiter versehen. Eine der artige Ausbildung der Vorrichtung ermöglicht in der vorbeschrieben, vorteilhaften Art und Weise die Aus führung des erfindungsgemäßen Verfahrens.In the device according to the invention is the bond head with a wire conductor capillary for feeding a wire conductor and a device for training a ball on the wire conductor. One of the like design of the device allows in the described above, advantageous way the off implementation of the method according to the invention.
Die Energieübertragungseinrichtung kann in besonde ren Ausführungsformen aus einem Thermo-Kompressionswerkzeug oder einer Lichtleitfaseranordnung mit zumindest einer Licht leitfaser gebildet sein. Die Ausbildung als Licht leitfaser erweist sich als besonders vorteilhaft, da es hiermit möglich ist, in sehr konzentrierter Weise große Energiemengen innerhalb kürzester Zeit in die Verbindungsstelle einzubringen. Hierzu kann die mit dem Lichtleitfaser zu verbindende Laserquelle im Pulsverfahren betrieben werden, so daß trotz eines hohen Energieeintrags eine unzulässige Erwärmung des Bauelements, auf dessen Anschlußfläche die Verbin dung durchgeführt werden soll, vermieden wird.The energy transmission device can in particular Ren embodiments from a thermal compression tool or a Optical fiber arrangement with at least one light be formed fiber. Training as a light Conducting fiber proves to be particularly advantageous because it is possible in a very concentrated way large amounts of energy in the shortest possible time To bring in the connection point. You can do this with the optical fiber to be connected in the laser source Pulse procedures are operated, so that despite one high energy input an inadmissible heating of the Component, on the connection surface the Verbin to be carried out is avoided.
Um einerseits eine Abtrennung eines zu einer Kugel ausgebildeten Drahtleiterendes, wie es zur Ausfüh rung einer, wie vorstehend im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren beschriebenen Bumpver bindung notwendig ist, andererseits eine Durchtren nung des Drahtleiters am Ende einer Drahtleiter schleife zur Ausbildung einer Ball-Ball-Verbindung zu ermöglichen, ist die Vorrichtung mit einer Ab trenneinrichtung versehen.On the one hand, a separation from a ball trained wire conductor end as it is to the Ausfüh tion as described above in connection with the Bumpver described method according to the invention binding is necessary, on the other hand a puncture wire conductor at the end of a wire conductor loop to form a ball-ball connection to enable, the device with an Ab provided separation device.
Auf besonders einfache Art und Weise läßt sich eine derartige Abtrenneinrichtung realisieren, wenn die Lichtleitfaseranordnung mit einer den Endquerschnitt der Lichtleitfaseranordnung zumindest teilweise überragenden Ummantelung versehen ist, die eine Schneidkante aufweist.In a particularly simple manner, one can realize such a separation device if the Optical fiber arrangement with a final cross section of the optical fiber arrangement at least partially outstanding sheathing is provided, the one Has cutting edge.
Weiterhin kann die erfindungsgemäße Vorrichtung eine etwa als Vakuumeinrichtung ausgebildete Halteein richtung zum Halten eines durch die Abtrennungsein richtung abgetrennten Drahtleiterendes gegen den Endquerschnitt der Energieübertragungseinrichtung aufweisen. Eine derartige Halteeinrichtung ermög licht in vorteilhafter Weise ein besonders einfaches und sicheres Handling des abgetrennten, zu einer Kugel ausgebildeten Drahtleiterendes. Im Fall der Ausbildung als Vakuumeinrichtung kann die Halteein richtung besonders einfach in den Bondkopfinte griert werden, wenn sie als eine konzentrisch zur Kapillare für die Energieübertragungseinrichtung angeordnete Vakuumleiteinrichtung ausgebildet ist. Furthermore, the device according to the invention can approximately as a vacuum device direction to hold one through the partition direction of the separated wire conductor end against the Final cross section of the energy transmission device exhibit. Such a holding device enables light advantageously a particularly simple and safe handling of the separated one Ball trained wire conductor end. In the case of Training as a vacuum device can be the holding direction particularly easy in the bondhead ink be grated if they are as a concentric to the Capillary for the energy transmission device arranged vacuum guide device is formed.
Darüber hinaus besteht auch die Möglichkeit, die Halteeinrichtung mechanisch, etwa durch eine Klemm einrichtung zu realisieren.There is also the option of Holding device mechanically, for example by a clamp to implement the facility.
Um mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Durch führung einer Ball-Ball-Drahtverbindung zu ermögli chen, kann benachbart der Kapillarenaustrittsöffnung für die Energieübertragungseinrichtung eine Halte einrichtung vorgesehen sein. Diese Halteeinrichtung ist besonders einfach realisierbar, wenn sie als eine an der Bondkopfoberfläche angeordnete Vakuum einrichtung ausgebildet ist. Auch diese Halteein richtung kann mechanisch wirkend ausgebildet sein.To with the device according to the invention Ball-ball wire connection possible chen, can be adjacent to the capillary outlet a stop for the energy transmission device facility may be provided. This holding device is particularly easy to implement if it is a a vacuum located on the bondhead surface device is formed. This stop too direction can be designed to act mechanically.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren so wie die erfindungsgemäße Vorrichtung anhand bei spielhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:The process according to the invention is as follows how the device according to the invention based on playful embodiments with reference to FIG the accompanying drawings explained in more detail. It demonstrate:
Fig. 1 die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer ersten Ausführungsform zur Applizierung eines Bumps auf einer Anschlußfläche eines Bauelements in sche matischer Darstellung; Figure 1 shows the device according to the invention in a first embodiment for applying a bump on a pad of a component in cal matic representation.
Fig. 2 eine Teilschnittansicht der in Fig. 1 darge stellten Vorrichtung entlang dem Schnittlinienver lauf II-II; Fig. 2 is a partial sectional view of the device shown in Figure 1 Darge along the Schnittlinienver run II-II;
Fig. 3 die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer Ausführungsform zur Durchführung einer Drahtbond technik; Figure 3 shows the device according to the invention in an embodiment for performing a wire bonding technology.
Fig. 4 die Darstellung einer mittels der in Fig. 3 dargestellten Vorrichtung zwischen zwei Anschlußflä chen durchführbaren Drahtverbindung. Fig. 4 shows the representation of a by means of the device shown in Fig. 3 between two connection surfaces Chen feasible wire connection.
Fig. 1 zeigt einen Bondkopf 10 mit einer Kapillare 11 zur längsverschiebbaren Aufnahme einer Lichtleit faser 12′′ und einer quer hierzu angeordneten Draht leiterkapillare 13 zur Zuführung eines Drahtleiters 14 in einen Kugelausbildungsraum 15, der durch den Austrittsbereich der Kapillare 11 in einem Bondkopf körper 16 gebildet ist. Fig. 1 shows a bond head 10 with a capillary 11 for the longitudinally displaceable reception of an optical fiber 12 '' and a transversely arranged wire conductor capillary 13 for supplying a wire conductor 14 in a ball formation space 15 , the body through the exit region of the capillary 11 in a bond head 16 is formed.
Die Lichtleitfaser 12 ist mit einer Ummantelung 17 versehen, die zur Ausbildung einer Abtrenneinrich tung in ihrem über einen Endquerschnitt 18 der Lichtleitfaser 12′′ hinausragenden Bereich mit einer Schneidkante 19 versehen ist. Es ist aber auch mög lich, die Lichtleitfaser selbst im Bereich ihres Endquerschnitts mit einer Schneidkante zu versehen.The optical fiber 12 is provided with a sheath 17 , the device for forming a Abtrenneinrich device in its over an end cross section 18 of the optical fiber 12 '' projecting area is provided with a cutting edge 19 . However, it is also possible to provide the optical fiber with a cutting edge even in the area of its end cross section.
Wie auch aus Fig. 2 zu ersehen ist, ist die Licht leitfaser 12′′ bzw. deren Ummantelung 17 von einer rohrförmig ausgebildeten Vakuumleiteinrichtung 20 umgeben, die fest in die Kapillare 11 eingesetzt ist, und gegenüber der die Lichtleitfaser 12′′ mit ihrer Ummantelung 17 längsverschiebbar ist.As can also be seen from Fig. 2, the optical fiber 12 '' or its sheath 17 is surrounded by a tubular vacuum guide 20 which is firmly inserted into the capillary 11 , and opposite the optical fiber 12 '' with its sheath 17 is longitudinally displaceable.
In dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Vakuumleiteinrichtung mit konzentrisch zur Mittelachse 21 der Lichtleitfaser 12′′ angeordneten Längsnuten 22 versehen, die durch Längsstege 23 von einander beabstandet Röhren bilden, welche eine Va kuumverbindung zwischen dem Kugelausbildungsraum 15 und einer nicht näher dargestellten Einrichtung zur Erzeugung eines Vakuums bilden.In the embodiment shown in Fig. 2, the vacuum guide is provided with concentric to the central axis 21 of the optical fiber 12 '' arranged longitudinal grooves 22 , which form longitudinally spaced tubes 23 by longitudinal webs 23 , which a Va vacuum connection between the ball formation chamber 15 and a device, not shown to create a vacuum.
Wie in Fig. 1 dargestellt, ist der Bondkopf 10 dar über hinaus im Bereich des Kugelausbildungsraums 15 mit einer Kathoden/Anoden-Anordnung 24 versehen, wobei in dem dargestellten Ausführungsbeispiel ein Anodenanschluß 25 gegenüberliegend einer Aus trittsöffnung der Drahtleiterkapillare 13 und ein Kathodenanschluß 27 im Austrittsbereich der Draht leiterkapillare 13 um diese herum angeordnet ist. Sowohl der Anodenanschluß 25 als auch der Kathoden anschluß 27 sind mit hier nicht näher dargestellten elektrischen Zuleitungen versehen. Weiterhin befin det sich im Bereich der Drahtleiterkapillare 13 eine Drahtvorschubeinrichtung 28, die auch außerhalb des Bondkopfkörpers 16 angeordnet sein kann.As shown in Fig. 1, the bond head 10 is also provided in the region of the spherical formation 15 with a cathode / anode arrangement 24 , in the illustrated embodiment an anode connection 25 opposite an outlet opening from the wire conductor capillary 13 and a cathode connection 27 in the exit region the wire conductor capillary 13 is arranged around it. Both the anode connection 25 and the cathode connection 27 are provided with electrical leads, not shown here. Furthermore, in the area of the wire conductor capillary 13 there is a wire feed device 28 , which can also be arranged outside the bondhead body 16 .
Zur Erläuterung der Funktion des in Fig. 1 darge stellten Bondkopfs 10 ist dieser neben der Darstel lung mit ausgezogenen Linien auch mit durchbrochenem Linienverlauf in einem auf die Anschlußfläche 29 eines Chips 30 abgesenkten Zustand dargestellt.To explain the function of the in Fig. 1 Darge presented bond head 10 this is shown in addition to the presen- tation with solid lines and broken lines in a lowered state on the pad 29 of a chip 30 .
Zu Beginn des Verfahrens zur Applikation eines Bumps 31 auf die Anschlußfläche 29 des Chips 30 befindet sich der Bondkopf 10 in seiner in ununterbrochenem Linienverlauf dargestellten Position oberhalb der Anschlußfläche 29. Zur Ausbildung der in Fig. 1 dar gestellten Kugel 32 (Ball) wird der Drahtleiter 14 durch die Drahtleiterkapillare 13 mit seinem im Querschnitt noch mit dem übrigen Drahtleiter 14 übereinstimmenden Drahtleiterende mittels der Draht vorschubeinrichtung 28 bis in den Kugelausbildungs raum 15 im Austrittsbereich der Kapillare 11 vorge schoben. Hierbei befindet sich die Lichtleitfaser 12′′ mit ihrem Endquerschnitt 18 in etwa in der in Fig. 1 dargestellten Position.At the beginning of the method for applying a bump 31 to the connection area 29 of the chip 30 , the bond head 10 is in its position shown in a continuous line above the connection area 29 . To form the ball 32 (ball) shown in FIG. 1, the wire conductor 14 is passed through the wire conductor capillary 13 with its wire conductor end, which in cross section is still the same as the rest of the wire conductor 14 , by means of the wire feed device 28 into the ball formation chamber 15 in the outlet region of the capillary 11 pushed forward. Here is the optical fiber 12 '' with its end cross section 18 approximately in the position shown in Fig. 1.
Zur Ausbildung der in Fig. 1 dargestellten Kugel 32 wird an die Kathoden/Anoden-Anordnung 24 eine elek trische Spannung angelegt, die ausreichend groß ist, um eine Funkenentladung zwischen dem Anodenanschluß 25 und dem Kathodenanschluß 27 zu bewirken. Infolge dieser Funkenentladung und der damit verbundenen großen Hitze im Kugelausbildungsraum 15 ergibt sich eine Aufschmelzung des Drahtleiterendes, so daß die ses eine kugelförmige Gestalt annimmt. Dabei wird durch die Drahtvorschubeinrichtung 28 Draht nachge führt. Die Ausbildung der in Fig. 1 dargestellten Kugel 32 kann durch eine entsprechende Gestaltung des Kugelausbildungsraums 15 gefördert werden.To form the ball 32 shown in Fig. 1, an elec tric voltage is applied to the cathode / anode assembly 24 , which is sufficiently large to cause a spark discharge between the anode terminal 25 and the cathode terminal 27 . As a result of this spark discharge and the associated great heat in the spherical formation space 15 , the end of the wire conductor is melted, so that it assumes a spherical shape. In this case, 28 wire is fed through the wire feed device. The formation of the ball 32 shown in FIG. 1 can be promoted by a corresponding design of the ball formation space 15 .
Nach Ausbildung der Kugel 32 im Kugelausbildungsraum 15 wird der Bondkopf 10 in seine durch den unterbro chenen Linienverlauf dargestellte Position auf den Chip 30 überführt. Hierbei liegt der Bondkopf 10 im wesentlichen drucklos auf dem Chip 30 auf oder ist zumindest sehr dicht an diesen herangeführt. Durch ein Absenken der Lichtleitfaser 12′′ in Richtung auf die Anschlußfläche 29 kommt die Schneidkante 19 der Ummantelung 17 in Berührung mit dem Drahtleiter 14 und trennt die Kugel 32 von diesem ab. Um auch nach Abtrennung der Kugel 32 einen Kontakt zwischen dem Endquerschnitt 18 der Lichtleitfaser 12′′ und der Ku gel 32 aufrechtzuerhalten, wird spätestens in diesem Stadium die in Fig. 1 nicht dargestellte Vakuumein richtung aktiviert, so daß durch die Vakuumleitein richtung 20 eine Saugkraft auf die Kugel 32 ausgeübt wird. Wenn die Vakuumeinrichtung bereits bei der Kugelausbildung aktiviert wird, verhindert dies das Entstehen von Oxidschichten, wodurch die Kugelbil dung vereinfacht wird.After formation of the ball 32 in the ball formation space 15 , the bonding head 10 is transferred to the chip 30 in its position shown by the broken line. In this case, the bond head 10 lies essentially without pressure on the chip 30 or is at least brought very close to it. By lowering the optical fiber 12 '' in the direction of the connecting surface 29 , the cutting edge 19 of the sheath 17 comes into contact with the wire conductor 14 and separates the ball 32 from it. In order to maintain contact between the end cross section 18 of the optical fiber 12 '' and the Ku gel 32 even after separation of the ball 32, the vacuum device not shown in FIG. 1 is activated at the latest at this stage, so that the suction device by the vacuum guide device 20 is exerted on the ball 32 . If the vacuum device is already activated during the ball formation, this prevents the formation of oxide layers, which simplifies the ball formation.
Die abgetrennte Kugel 32 wird dann zusammen mit der Lichtleitfaser 12′′ gegen die Anschlußfläche 29 be wegt. Spätestens zu diesem Zeitpunkt, aber auch schon vorher kann über den eine Kontaktfläche zur Kugel 32 bildenden Endquerschnitt 18 eine Übertra gung von Laserenergie von der Lichtleitfaser 12′′ in die Kugel 32 erfolgen. Die erwärmte und somit leicht verformbare Kugel 32 wird schließlich durch die als Druckstempel wirkende Lichtleitfaser 12′′ gegen die Anschlußfläche 29 gedrückt. Dabei bildet der auf den Chip abgesenkte Kugelausbildungsraum 15 eine Formma trize, die für die hier beispielhaft dargestellte, rechteckförmige Querschnittsausbildung des Bumps 31 auf der Anschlußfläche 29 sorgt. Gleichzeitig mit der Formgestaltung des Bumps 31 erfolgt aufgrund der Temperatur- und Druckeinwirkung eine Preßschweißung zwischen dem Bump 31 und der Anschlußfläche 29.The separated ball 32 is then moved together with the optical fiber 12 '' against the pad 29 be. At the latest at this time, but even before forming end section 18 can on the one contact surface for the ball 32 a Übertra supply of laser energy from the optical fiber 12 '' in the ball 32 take place. The heated and thus easily deformable ball 32 is finally pressed by the optical fiber acting as a plunger 12 '' against the pad 29 . In this case, the lowered onto the chip ball formation space 15 forms a trize Formma, ensures that shown by way of example here for, rectangular cross-sectional configuration of the bumps 31 on the pad 29th Simultaneously with the shaping of the bumps 31 occurs due to the temperature and pressure a pressure welding between the bump 31 and the pad 29th
Sowohl bei der möglichen Ausbildung der Kugel 32 infolge eines Energieeintrags durch die Lichtleitfa ser 12′′ als auch beim Einbringen von Laserenergie in die ausgebildete Kugel 32 zur Verbindung der Kugel 32 mit der Anschlußfläche erweist es sich als vor teilhaft, wenn, wie in Fig. 1 durch den strichpunk tierten Linienverlauf angedeutet, im Bereich der Verbindungsstelle eine, etwa trichterartig ausgebil dete, zur Anschlußfläche 29 hin geöffnete, reflek tierende Laserstrahlabschirmung 44 vorgesehen ist. Diese Laserstrahlabschirmung 44 kann balgartig aus geführt sein, so daß sie sich beim Absenken des Bondkopfs 10 in Richtung auf die Anschlußfläche 29 zusammenschiebt. Die Laserstrahlabschirmung 44 be wirkt zum einen infolge der Reflexion eine Konzen tration der Laserenergie im Kugelausbildungsraum 15 und verhindert Abstrahlverluste, wodurch die zur Ausbildung der Kugel 32 und zur Verbindung der Kugel 32 mit der Anschlußfläche 29 notwendige Laser leistung reduziert werden kann. Zum anderen wird verhindert, daß Laserstrahlung in die Umgebung aus tritt und etwa in der Nähe des Bondkopfs 10 befind liches Bedienungspersonal gefährden kann.Both in the possible formation of the ball 32 due to an energy input by the Lichtleitfa water 12 '' as well as when introducing laser energy into the trained ball 32 for connecting the ball 32 to the pad, it proves to be geous before, as in Fig. 1 indicated by the dash-dotted line course, in the area of the connection point, an approximately funnel-like design, which is open towards the connection surface 29 and is provided with reflecting laser beam shielding 44 . This laser beam shield 44 can be made bellows so that it pushes together when lowering the bondhead 10 in the direction of the pad 29 . The laser beam shielding 44 acts on the one hand as a result of reflection, a concentration of the laser energy in the ball formation chamber 15 and prevents radiation losses, as a result of which the laser power required to form the ball 32 and to connect the ball 32 to the connecting surface 29 can be reduced. On the other hand, it prevents laser radiation from entering the environment and, for example, in the vicinity of the bondhead 10 may endanger operating personnel.
Durch das Zusammenwirken von Stempel und Formmatrize ist eine reproduzierbare, flache Ausgestaltung des Bumps möglich. Darüber hinaus kann durch eine ent sprechende Ausbildung des Endquerschnitts 18 eine beliebige Oberflächengestaltung des Bumps 31 erzielt werden.The interaction of the stamp and the form die enables a reproducible, flat design of the bump. In addition, any surface design of the bump 31 can be achieved by a corresponding design of the end cross section 18 .
Wenn während der Verbindung zwischen dem Bump 31 und der Anschlußfläche 29 die Vakuumeinrichtung betätigt bleibt, kann eine Oxydation der Bumpoberfläche im wesentlichen verhindert werden. Statt der Ausbildung eines Vakuums im Kugelausbildungsraum 15 kann jedoch auch über die Vakuumleiteinrichtung 20 ein Schutzgas zur Erzeugung einer Schutzgasatmosphäre im Kugelaus bildungsraum 15 eingeleitet werden.If the vacuum device remains actuated during the connection between the bump 31 and the pad 29 , oxidation of the bump surface can be substantially prevented. Instead of the formation of a vacuum in the ball formation chamber 15 but can also be initiated via the Vakuumleiteinrichtung 20, a protective gas for producing a protective gas atmosphere in the forming space Kugelaus 15th
Fig. 3 zeigt in einer schematischen Darstellung ei nen Bondkopf 33, der abweichend von dem in Fig. 1 dargestellten Bondkopf neben der durch die Vakuum leiteinrichtung 20 gebildeten Halteeinrichtung mit einer weiteren Halteeinrichtung 34 versehen ist. Die Halteeinrichtung 34 besteht in dem in Fig. 3 darge stellten Ausführungsbeispiel aus einer mit einer nicht näher dargestellten Vakuumeinrichtung verbun denen Saugleitung 35, deren Saugöffnung 36 in der Bondkopfoberfläche dazu dient, ein Drahtleiterende 37 gegen die Bondkopfoberfläche zu halten. Die in Fig. 3 dargestellte Konfiguration des Bondkopfs 33 wird erreicht, wenn der Bondkopf 33 zur Herstellung einer in Fig. 4 dargestellten Drahtverbindung zwi schen zwei Anschlußflächen 38 und 39 verwendet wird. Hierbei wird eine erste Drahtverbindung 40 zwischen dem Drahtleiter 14 und der ersten Anschlußfläche 38 nach Ausbildung einer Kugel 32, wie in Fig. 1 darge stellt, durchgeführt. Im Unterschied zu der anhand von Fig. 1 erläuterten Bump-Applikation auf die An schlußfläche 29 des Chips 30 erfolgt bei dem in Fig. 4 dargestellten Drahtbond-Verfahren kein Ab trennen der Kugel 32 vom Drahtleiter 14. Vielmehr wird der Bondkopf 33 unter Ausbildung einer Drahtleiterschleife 41 zur zweiten Anschlußfläche 39 be wegt, um auch dort eine Drahtverbindung 42 zwischen dem Drahtleiter 14 und der Anschlußfläche 39 durch zuführen. Fig. 3 zeigt den Bondkopf 33 vor Ausbil dung der zweiten Drahtverbindung 42 oberhalb der Anschlußfläche 39. Nachdem die Drahtleiterschleife 41 von der Halteeinrichtung 34 am Drahtleiterschlei fenende 37 erfaßt worden ist, erfolgt eine Aktivie rung der Kathoden/Anoden-Anordnung 24, wobei gleich zeitig über die Drahtvorschubeinrichtung 28 der Drahtleiter 14 in den Kugelausbildungsraum 15 nach geführt wird. Hierbei bildet sich in ähnlicher Wei se, wie vorstehend anhand der Fig. 1 bereits be schrieben, am Drahtleiterschleifenende 37 eine Kugel 32 aus. Nach Ausbildung der Kugel 32 wird die Licht leitfaser 12′′ abgesenkt, wodurch eine Durchtrennung des Drahtleiters 14 an einer Trennstelle 43 erfolgt und die Kugel 32 zur Ausbildung der Drahtverbindung 42 gegen die Anschlußfläche 39 gepreßt wird. Fig. 3 shows in a schematic representation ei NEN bonding head 33, which is provided deviating from shown in Fig. 1 Bond head beside the guide 20 formed by the vacuum holding means with another holding means 34. The holding device 34 consists in the embodiment shown in FIG. 3 Darge verbun with a vacuum device, not shown, which suction line 35 , the suction opening 36 in the bondhead surface serves to hold a wire conductor end 37 against the bondhead surface. The configuration of the bondhead 33 shown in FIG. 3 is achieved when the bondhead 33 is used to produce a wire connection shown in FIG. 4 between two pads 38 and 39 . Here, a first wire connection 40 between the wire conductor 14 and the first pad 38 after forming a ball 32 , as shown in Fig. 1 Darge performed. In contrast to the bump application explained on the basis of FIG. 1 on the connection surface 29 of the chip 30 , in the wire bonding method shown in FIG. 4 there is no separation of the ball 32 from the wire conductor 14 . Rather, the bonding head 33 is moved to form a wire conductor loop 41 to the second connection surface 39 to also perform a wire connection 42 between the wire conductor 14 and the connection surface 39 there . Fig. 3 shows the bonding head 33 before training the second wire connection 42 above the pad 39th After the wire conductor loop 41 has been detected by the holding device 34 on the wire conductor loop end 37 , the cathode / anode arrangement 24 is activated, the wire conductor 14 being guided into the ball formation space 15 via the wire feed device 28 at the same time. Here, in a similar way, as already described above with reference to FIG. 1, a ball 32 forms on the wire conductor loop end 37 . After formation of the ball 32 , the light guide fiber 12 '' is lowered, thereby cutting the wire conductor 14 at a separation point 43 and the ball 32 to form the wire connection 42 is pressed against the pad 39 .
Wie bereits zuvor unter Bezugnahme auf Fig. 1 be schrieben, erfolgt die Verformung der Kugel 32 zur Ausbildung der Drahtverbindung 42 unter gleichzeiti ger Einleitung von Laserenergie in die Kugel 32. Um auch bei der zweiten Drahtverbindung 42 die Bildung von Korrosion während der Ausführung der Drahtver bindung zu verhindern, kann auch hier die Vakuum leiteinrichtung 20 zur Erzeugung eines Vakuums oder der Ausbildung einer Schutzgasatmosphäre im Kugelausbildungsraum 15 genutzt werden.As already described above with reference to FIG. 1, the deformation of the ball 32 to form the wire connection 42 takes place with simultaneous introduction of laser energy into the ball 32 . In order to prevent the formation of corrosion during the execution of the wire connection also in the second wire connection 42 , the vacuum guide device 20 can also be used here to generate a vacuum or to form a protective gas atmosphere in the ball formation space 15 .
Um sowohl bei dem vorstehend beschriebenen Verfahren zur Bump-Applikation als auch bei dem Verfahren zur Durchführung der Drahtbondtechnik ein Vakuum oder eine Schutzgasatmosphäre im Bereich der Verbindungs stelle zu erzeugen, ist es auch möglich, den Bond kopf oder zumindest den Austrittsbereich der Kapillare 11 zur Führung der Energieübertragungseinrich tung 12 in einer Vakuum- oder Schutzgaskammer anzu ordnen. Um gegenseitige Störeinflüsse zwischen den vorgenannten Halteeinrichtungen und dem in der Kam mer ausgebildeten Vakuum bzw. der Schutzgasatmosphä re auszuschließen, können die Halteeinrichtungen in diesem Fall als mechanische Klemmeinrichtungen aus gebildet sein.In order to generate a vacuum or a protective gas atmosphere in the area of the connection point both in the above-described method for bump application and in the method for performing the wire bonding technique, it is also possible to head the bond or at least the exit area of the capillary 11 for guidance to arrange the energy transfer device 12 in a vacuum or protective gas chamber. In order to rule out mutual interference between the aforementioned holding devices and the vacuum formed in the chamber or the protective gas atmosphere, the holding devices can in this case be designed as mechanical clamping devices.
Abweichend von dem in Fig. 4 dargestellten Verfahren kann natürlich auch bei entsprechender Ausbildung des Bondkopfs bzw. des Austrittsbereich der Kapilla re 11 die erste Drahtverbindung mit der Anschlußflä che 38 in Ball-Bondtechnik und die zweite Drahtver bindung mit der Anschlußfläche 39 in an sich bekann ter Wedge-Bondtechnik durchgeführt werden.In a departure from the method shown in FIG. 4, the first wire connection with the connecting surface 38 in ball bonding technology and the second wire connection with the connecting surface 39 in itself can of course also be provided with a corresponding design of the bonding head or the exit region of the capillary 11 ter wedge bonding technology.
BezugszeichenlisteReference list
10 Bondkopf
11 Kapillare
12 Energieübertragungseinrichtung
12′′ Lichtleitfaser
12′ Thermo-Kompressionswerkzeug
13 Drahtleiterkapillare
14 Drahtleiter
15 Kugelausbildungsraum
16 Bondkopfkörper
17 Ummantelung
18 Endquerschnitt
19 Schneidkante
20 Vakuumleiteinrichtung
21 Mittelachse
22 Längsnut
23 Längssteg
24 Kathoden/Anoden-Anordnung
25 Kathodenanschluß
26 -.-
27 Anodenanschluß
28 Drahtvorschubeinrichtung
29 Anschlußfläche
30 Chip
31 Bumps
32 Kugel
33 Bondkopf
34 Halteeinrichtung
35 Saugleitung
36 Saugöffnung
37 Drahtleiterende
38 Anschlußfläche
39 -.-
40 Drahtverbindung
41 Drahtleiterschleife
42 Drahtverbindung
43 Trennstelle
44 Laserstrahlabschirmung
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61 10 bond head
11 capillaries
12 energy transmission device
12 ′ ′ optical fiber
12 ′ thermal compression tool
13 wire capillary
14 wire conductors
15 ball training room
16 bondhead body
17 sheathing
18 final cross-section
19 cutting edge
20 vacuum guide
21 central axis
22 longitudinal groove
23 longitudinal web
24 cathode / anode arrangement
25 cathode connection
26 -.-
27 Anode connection
28 wire feed device
29 pad
30 chip
31 bumps
32 bullet
33 bondhead
34 holding device
35 suction line
36 suction opening
37 wire conductor end
38 pad
39 -.-
40 wire connection
41 wire conductor loop
42 wire connection
43 separation point
44 Laser beam shielding
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
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