DE4316236C1

DE4316236C1 - Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors

Info

Publication number: DE4316236C1
Application number: DE19934316236
Authority: DE
Inventors: Walter Dipl Ing Braatz; Falk Dipl Ing Dettmar
Original assignee: Leitz Messtecknik GmbH
Current assignee: Hexagon Metrology GmbH
Priority date: 1993-05-14
Filing date: 1993-05-14
Publication date: 1994-07-21
Anticipated expiration: 2013-05-15

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors, bei dem die Signale als elektrische Spannungswerte in Abhängigkeit von der Zeit vor, beim und nach dem Anfahren des Meßpunktes erzeugt werden. Der Sensor weist beispielsweise ein piezoelektrisches Element, induktive, kapazitive, optische Signale erzeugende Elemente oder dergleichen auf (der Einfachheit halber als piezoelektrisches Element bezeichnet), welche bei mechanischer Belastung, hier dem Antastdruck des Sensors, elektrische Spannungen erzeugen. Diese Spannungen werden zeitabhängig in einen Rechner eingegeben, der sie den gleichzeitig aufgezeichneten Verschiebekoordinaten des den Sensor tragenden Tastkopfes zuordnet.

Die Schwierigkeit bei einer derartigen dimensionellen Messung ist die, daß man bei der Antastung des Werkstückes den genauen Antastzeitpunkt kennen muß, um zu einem genauen Wert der Antastkoordinaten zu kommen. Das piezoelektrische Element oder dergleichen ist nun aber nicht nur den durch den Sensor ausgeübten Druckbelastungen ausgesetzt, sondern auch Umwelteinflüssen, zum Beispiel Schallwellen, Erschütterungen und dergleichen. Deshalb erhält man durchweg eine leicht gezackte Sensorsignalkurve. Beim Anfahren des Sensors an das auszumessende Werkstück erhält man somit im Diagramm nicht eine parallel zur Zeitachse als Abszisse liegende Gerade als Spannungskurve, wenn die Spannung als Ordinate im Diagramm aufgetragen wird, sondern eine mit Zacken versehene Gerade parallel zur Abszisse. Wird in der Umgebung des Tastkopfes ein sehr energiereicher Schall erzeugt, beispielsweise ein knallartiges Geräusch, indem zum Beispiel ein Gegenstand auf den Fußboden fällt, dann erhält man im Anfahrintervall des Sensors in der zugeordneten Spannungskurve einen starken, kurzzeitigen Ausschlag, den die Meßeinrichtung bei der Aufarbeitung der Signale als Antastpunkt wertet. Deshalb muß man derartige Signalstörungen beim Aufarbeiten der Anfahrsignale des Sensors ausschließen.

Nach dem Stand der Technik erfolgt ein solcher Ausschluß dadurch, daß man die durch die Antastkurve vom Antastzeitpunkt an im wesentlichen stetig bis zu einem Maximalwert ansteigende Kurve einen Spannungsschwellenwert überschreiten läßt, derart, daß der Schnittpunkt der Spannungskurve mit diesem Schwellenwert als Antastpunkt im Diagramm angesehen wird. Durch diese Vorgabe eines Schwellenwertes bedingt, werden sämtliche unterhalb dieses Schwellenwertes liegenden Störwerte der Spannung unberücksichtigt gelassen. Der hierdurch auftretende Nachteil ist jedoch der, daß bei Erreichen des Schwellenwertes der wahre Antastzeitpunkt (t₀) zeitlich bereits überschritten ist. Werden deshalb die zu diesem Schwellenwertzeitpunkt (t₁) zugeordneten Koordinaten bestimmt, so sind diese grundsätzlich mit einem Fehler behaftet. Der Fehler wird umso größer, je flacher der Anstieg der Kurve ab dem Berührungszeitpunkt (t₀) des Sensors am Werkstück ist. Der Anstieg der Kurve ist dann sehr steil, wenn das anzutastende Werkstück aus einem harten Material besteht. Der Anstieg der Kurve ist dagegen dann sehr flach, wenn das anzutastende Werkstück aus einem weichen Material besteht, zum Beispiel aus einem weichen Metall, wie zum Beispiel Aluminium, oder zum Beispiel aus einem Kunststoff. Der Antastzeitpunkt beim Anfahren eines weichen Materials läßt sich daher nach dem Stand der Technik häufig nicht mehr genügend genau bestimmen.

Aus der DE-OS 29 47 394 ist ein Meßtaster bekannt, bei dem der Zeitpunkt der Berührung des Tasters mit dem Werkstück mittels eines, dem festen Teil des Tastkopfes zugeordneten Beschleunigungs- oder Kraftsensors bewerkstelligt wird, der bei Berührung einen elektrischen Impuls abgibt, der wie ein schalterähnliches Signal weiterverarbeitet wird.

In der DE-OS 28 20 813 wird eine Anordnung beschrieben, die zusätzlich zu dem die Berührung kennzeichnenden, dem beweglichen Teil des Tastkopfes zugeordneten Signalgeber einen weiteren Sensor beinhaltet, der die Auslenkung des beweglichen Teiles des Tastkopfes detektiert, und dessen Signal die vom Signal des ersten Signalgebers eingespeicherten Meßwerte freigibt.

Die DE-AS 27 12 181 beschreibt einen Taster, bei dem der berührungsempfindliche Sensor zwischen den Teilen des zweistückig ausgebildeten beweglichen Teils des Tastkopfes angeordnet ist. Das vom Berührungssensor bei Berührung erzeugte elektrische Signal löst bei Überschreitung einer vorbestimmten Signalhöhe den bekannten Vorgang des Einspeicherns der Daten der Meßwertgeber der Koordinatenachsen aus.

Allen drei Anordnungen ist die schalterartige Auswertung des vom Berührungssensor erzeugten elektrischen Signals gemein. Laufzeiteffekte, die durch die Mechanik oder auch durch eine endliche Anstiegszeit des Sensorsignals hervorgerufen werden und Meßfehler bei der Bestimmung des wahren Berührungszeitpunktes hervorrufen, werden nicht berücksichtigt.

In der AT-PS 369 164 ist ein Verfahren beschrieben, wie durch digitale Tiefpaßfilterung Vibrationen von Taster und Werkstück aus dem Meßergebnis eliminiert werden können. Hierbei handelt es sich um einen Meßfühler an einer Werkzeugmaschine, der den Bearbeitungsvorgang bei Erreichen eines bestimmten Materialabtrages stoppen soll. Dabei befindet sich der Meßfühler während des Bearbeitungsvorganges in ständigem Kontakt mit dem Werkstück. Dieses Verfahren ist auf das erfindungsgemäße Problem nicht anwendbar, weil der funktionale Verlauf der Sensormeßkurve bei stoßartiger Antastung nicht durch Überlagerung einiger weniger Fourierkomponenten mit einer Geraden modellierbar ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, den Antastzeitpunkt genauer als bisher zu bestimmen, das heißt die Zeitdifferenz zwischen dem wahren Antastzeitpunkt (t₀) des Werkstückes und dem Zeitpunkt (t₁) bei Erreichen des Schwellenwertes der Spannung praktisch gegen Null gehenzulassen.

Diese Aufgabe wird durch das Verfahren des Anspruches 1 gelöst.

Dadurch, daß jetzt die vom Sensor erzeugte Spannungskurve etwa vom Antastzeitpunkt (t₀) an als Funktion U = f(t) mit U = Spannung und t = Zeit für einen vorgegebenen Zeitraum, zumindest aber für den ansteigenden Ast, approximiert wird und anschließend der Zeitpunkt (t*) für den Wert U = O ermittelt wird, erhält man einen Zeitpunkt (t*) für die Antastung, welcher äußerst nahe beim wahren Antastzeitpunkt (t₀) liegt, in jedem Fall wesentlich näher als der Zeitpunkt (t₁) bei Zugrundelegung des Schwellenwertes.

Die zu dem Wert (t*) gehörenden Koordinaten sind damit wesentlich genauer als die nach dem Stand der Technik dem Schwellenwert (t₁) zugeordneten Koordinaten des Antastpunktes.

Bei der Approximation kommt es im wesentlichen darauf an, die vom Antastzeitpunkt (t₀) ansteigende Spannungskurve zu approximieren. Der restliche Kurvenverlauf ist für die eigentliche Messung uninteressant. Er wird nur deshalb gebraucht, um sicher zu sein, daß der ansteigende Ast auch tatsächlich vom Antastzeitpunkt (t₀) beginnt und nicht etwa Ast eines Störsignales ist.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeigt nicht nur eine höhere Genauigkeit hinsichtlich der Koordinatenbestimmung des Antastpunktes des Werkstückes, sondern auch eine Reihe von weiteren Vorteilen.

Bei den bisherigen Verfahren wurde geprüft, ob der ermittelte Meßwert im Bereich des zu erwartenden Meßwertes liegt und nicht etwa durch irgendeine Störung verfälscht worden ist. War man sich hier nicht sicher, hat man die Messung wiederholt, um sozusagen einen glaubhaften Wert zu erhalten. Eine Wiederholung bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist nicht mehr erforderlich, da die Approximation der Antastkurve über einen längeren vorgegebenen Zeitraum erfolgen kann, so daß man sicher ist, daß kein Störsignal vorliegt.

Ein weiterer wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der, daß nicht nur Werkstücke mit harter Oberfläche mit großer Genauigkeit ausgemessen werden können, sondern auch Werkstücke mit relativ weicher Oberfläche, wie Werkstücke aus Kunststoff und dergleichen. Bei "weichen" Werkstücken verläuft die Antastkurve, wie bereits erwähnt, ab Antastzeitpunkt (t₀) relativ flach, so daß der bisher verwendete Schwellenwert erst nach einer relativ langen Zeitspanne erreicht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich auch für derart flach verlaufende Kurven mit Vorteil anwenden, da auch bei flachen Kurven durch die Approximation der Kurve, insbesondere des vom Berührungszeitpunkt (t₀) ansteigenden Astes, die Nullpunktbestimmung nicht beeinflußt wird. Man erhält deshalb bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens auch bei weichen Werkstücken sehr genaue Meßergebnisse.

Die Steilheit der Antastkurve hängt des weiteren von der Antastrichtung des Sensors ab. Deshalb mußte nach dem Stand der Technik darauf geachtet werden, daß die Antastrichtung etwa senkrecht zur Oberfläche des anzutastenden Werkstückes liegt. Die Antastrichtung spielt bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens ebenfalls keine Rolle mehr.

Weitere Einzelheiten der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.

Auf der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel zur Erläuterung der Wirkungsweise der Erfindung dargestellt, und zwar zeigen:

Fig. 1 das Spannungs-Zeitdiagramm für die Antastung eines Werkstückes (U = Spannung, t = Zeit);

Fig. 2 ein Blockschaltbild zur Auswertung der Meßergebnisse;

Fig. 3 ein weiteres Diagramm zur Erläuterung der Wirkungsweise.

Gemäß Fig. 1 ist mit (10) die Spannungskurve im Anfahrbereich des Sensors (nicht dargestellt) bezeichnet. Sie fällt der Einfachheit halber mit der Zeitachse (t) zusammen und weist die Spannung 0 (Null) auf. Die Spannungskurve (10) weist geringfügige unregelmäßige Zacken auf, welche von störenden Einflüssen auf das die elektrische Spannung erzeugende Element, zum Beispiel ein piezoelektrisches Element des Sensors (nicht dargestellt), herrühren, zum Beispiel durch Umweltgeräusche, welche auf das die Spannung erzeugende Element als Schallwellen treffen.

Im Punkt (2) des Diagrammes berührt der Sensor das Werkstück. Von diesem Zeitpunkt an wird auf das zum Beispiel piezoelektrische Element ein Druck ausgeübt, welcher einen gezackt ansteigenden Ast der Sensorsignalkurve (11) erzeugt. Dieser Ast (11) läuft üblicherweise bis zu einer Spitze (12), um dann wieder im Bereich (13) als recht unregelmäßig geformte Kurve abzufallen. In den Bereichen (11, 13) berührt der Sensor das Werkstück.

Zu dem Antastpunkt (2) gehört die Zeit (t₀) als wahrer Antastzeitpunkt.

Zu den Verschiebungsgrößen des Sensors in Abhängigkeit von der Zeit gehören die im oberen Teil des Diagrammes eingezeichneten Sinus- und Cosinuskurven, aus denen die Koordinatenwerte für die Größe der Verschiebung des Sensors in der zugeordneten Koordinatenrichtung in bekannter Weise abgelesen werden können.

Geht man vom Antastpunkt (2), das heißt vom Wert (t₀) senkrecht nach oben, wird die Cosinuskurve im Punkt (C₀) geschnitten und die Sinuskurve im Punkt (S₀). Aus den Sinus- und Cosinuswerten (C₀) und (S₀) lassen sich die genauen Verschiebekoordinaten (x, y, z) des Meßpunktes auf dem Werkstück, bezogen auf den Zeitpunkt (t₀) ermitteln.

Wirken im Anfahrbereich (10) zum Beispiel störende Schallwellen auf das zum Beispiel piezoelektrische Element des Sensors, zum Beispiel ein knallartiges Geräusch durch Aufprall eines Gegenstandes, zum Beispiel auf den Fußboden, dann erzeugen die hierdurch verursachten Schallwellen einen scharfen Spannungsimpuls (10a) im Anfahrbereich (10). Damit ein solcher Impuls nicht als Antastsignal gewertet wird, legt man nach dem Stand der Technik parallel zur t-Achse eine spannungsschwelle (U_S). Erst dann, wenn die Spannung (U) die Spannungsschwelle (U_S) durchfährt, wird die zugehörige Zeit (t₁) für die Ermittlung der Koordinaten des Tasters benutzt. Im Diagramm ist dies also der Schnittpunkt der Spannungsschwelle (U_S) mit dem Ast (11) der Antastkurve (10). Die zu dieser Zeit (t₁) gehörenden Sinus- und Cosinuswerte (C₁) und (S₁) weichen, wie man aus den Sinus- und Cosinuskurven erkennen kann, erheblich von den wahren Antastwerten (C₀), (S₀) ab. Die Abweichungen werden umso größer, je flacher der ansteigende Ast (11) der Spannungskurve im Antastbereich verläuft.

In Fig. 3 ist dieser Sachverhalt dargelegt. Mit (11) ist der ansteigende Ast der Spannungskurve (10) bei Auftreffen des Sensors auf einen harten Körper bezeichnet und mit (14) der ansteigende Ast der Spannungskurve (10b) bei Auftreffen des Sensors auf ein weiches Material. Man erkennt, daß die Zeitdifferenz (t₁) zum wahren Antastzeitpunkt (t₀) bei der Kurve (11) wesentlich kleiner ist als die Zeitdifferenz zwischen Antastwert (t₂) im Schnittpunkt (A2) der Kurve (14) mit der Schwellenwertkurve. Das heißt, je flacher die Antastkurve ansteigt, umso größer wird der Meßfehler.

Gemäß der Erfindung wird die Zeitdifferenz zwischen dem wahren Antastzeitpunkt (t₀) und dem Schwellenzeitwert (t₁) oder (t₂) dadurch verringert, daß wenigstens der ansteigende Ast (11) oder der Ast (14) der Berührungskurve gemäß Fig. 3 durch eine gekrümmte Kurve (20) oder eine Gerade (20a) oder durch eine andere Kurve höherer Ordnung approximiert und der Schnittpunkt (t*) dieser Kurven für den Spannungswert 0 (Null) ermittelt wird. Man erkennt, daß der Wert (t*) wegen der Approximation des Astes (11) oder (14) stets wesentlich näher am wahren Antastpunkt (t₀) liegt und auch liegen muß als die durch den Schwellenwertschnittpunkt (A) oder (A2) ermittelten Werte (t₁) oder (t₂).

Geht man deshalb in Fig. 1 vom Punkt (t*) senkrecht nach oben in die Sinus- und Cosinuskurven, wird die Cosinuskurve im Punkt (C*) geschnitten und die Sinuskurve im Punkt (S*). Man erkennt, daß diese Werte wesentlich genauere Koordinatenwerte für den Antastpunkt liefern als der bisher verwendete Schwellenwert.

Das Beispiel zeigt ferner, daß, je genauer man den aufsteigenden Ast (11) der Antastkurve approximiert, umso genauer ist das Ergebnis, weil bei Verwendung von Kurven höherer Ordnung als Approximationskurven die Differenz zwischen den Werten (t₀) und (t*) dann praktisch gegen Null geht.

Der sich an den ansteigenden Ast (11) oder (14) anschließende Kurventeil (13) wird für die Bestimmung des Antastzeitpunktes (t*) nicht benötigt. Er dient lediglich zur Kontrolle dafür, daß der ansteigende Ast (11) oder (14) auch tatsächlich ein vom Berührungspunkt (t₀) ausgehender Ast ist und keine Störfunktion, wie zum Beispiel die Spitze (10a) im Anfahrbereich des Sensors.

Die beschriebene Zuordnung als approximierter Antastzeitpunkt (t*) zu den Sinus- und Cosinus-Signalen des Maßstabes und der daraus folgenden Berechnung als Koordinatenwerte wird für jede Koordinatenrichtung (x, y, z) und gegebenenfalls bei Verwendung eines Rundtisches für den Drehwinkel (w) getrennt ausgeführt.

Gemäß Fig. 2 werden die Sinus-Cosinus-Signale der Maßstäbe der Bewegungsachsen (x, y, z), die zum Zeitpunkt (t₀) die Lage-Information des Antastpunktes enthalten, in einen Analog-Digital-Wandler (15) eingegeben, ebenso die Signale (w) des Drehwinkelgebers eines gegebenenfalls verwendeten Rundtisches. Das vom piezoelektrischen Element erzeugte Tastsignal wird als zeitabhängiges Spannungs signal (t) ebenfalls in den Analog-Digital-Wandler (15) eingegeben. Der Analog-Digital-Wandler (15) gibt seine Werte in eine Speichertabelle (16), die die Werte weiter in den Rechner (17) eingibt. Diese Einspeicherung erfolgt fortwährend nach dem FIFO-Prinzip (first in - first out) in der Art eines Rollspeichers. Hierbei werden in vorbestimmten zeitlichen Abständen die Spannungswerte der beschriebenen Signale digitalisiert und eingespeichert, wobei nach einer vorbestimmten Zahl von Speichervorgängen das am weitesten in der Vergangenheit liegende Datum gelöscht wird. Dadurch ist es zu jedem Zeitpunkt möglich, die eingespeicherten Signale eine gewisse Zeit in die Vergangenheit zurückzuverfolgen. Unmittelbar in den Rechner (17) wird ein mechanisches Tasterbewegungssignal (T_B) eingegeben, das die mechanische Auslenkung des Tasters aus seiner Ruhelage nach einer erfolgten Antastung kennzeichnet. Dieses Signal erscheint zum Beispiel zum Zeitpunkt (1) in Fig. 1. Dieses Tasterbewegungssignal veranlaßt den Rechner, den Inhalt des Rollspeichers und die augenblickliche Sensorposition einzufrieren. Bei ausreichender Speichertiefe steht nun das gesamte Signalspektrum vom Zeitpunkt (1) der Fig. 1 rückwärts bis über den Zeitpunkt (2) hinaus, der den Zeitpunkt der Antastung darstellt, zur weiteren Bearbeitung zur Verfügung. Nach Ermittlung des gesuchten Meßwertes wird der Rollspeicher gelöscht, und die fortwährende Einspeicherung der beschriebenen Signale wird erneut gestartet, bis nach der nächsten Antastung das Tasterbewegungssignal den Speicherzustand wieder einfriert.

Selbstverständlich ist es auch möglich, das Tasterbewegungssignal nicht als eigenständiges Signal zu gewinnen, sondern zum Beispiel aus dem Überschreiten einer vorbestimmten Schwelle des Sensorsignals.

Grundsätzlich kann man die vom Sensor erzeugte Spannungskurve über ein längeres Intervall approximieren und hierfür auch Kurven sehr hoher Ordnung verwenden. Der Rechner hat dann jedoch wesentlich mehr Rechenarbeit zu leisten und braucht deshalb mehr Rechenzeit. Das Ergebnis muß hierdurch nicht unbedingt besser werden, denn es genügt im wesentlichen, einerseits den von der wahren Antastzeit (t₀) ausgehenden Ast (11) oder (14) genügend genau zu approximieren, um zu dem nahezu fehlerfreien Approximationszeitwert (t*) zu kommen und andererseits als Approximationskurve eine Kurve geeigneter Ordnung zu wählen.

Bezugszahlliste

1 Intervallpunkt
2 Berührungspunkt
10 Spannungskurve
10a Störimpuls im Anfahrbereich
10b Spannungskurve
11 ansteigender Ast im Berührungsbereich des Sensors
12 Spitze
13 Bereich, Berührungsbereich
14 ansteigender Ast im Berührungsbereich des Sensors
15 Analog-Digital-Wandler
16 Speichertabelle
17 Rechner
18 Speicherbefehl
20 approximierte Gerade
20a approximierte Gerade
t₀ wahrer Antastzeitpunkt
t₁ Zeitpunkt des Erreichens eines Schwellenwertes
t₂ Schwellenwert
t* approximierter Antastzeitpunkt
A Schnittpunkt
A2 Schnittpunkt
C₀ Cosinuswert für t₀
S₀ Sinuswert für t₀
C₁ Cosinuswert für t₁
S₁ Sinuswert für t₁
C* Cosinuswert für den Approximationszeitpunkt t*
S* Sinuswert für den Approximationszeitpunkt t*
T_B mechanisches Tasterbewegungssignal
U_S Spannungsschwellenwert
x Koordinatenrichtung
y Koordinatenrichtung
z Koordinatenrichtung
w Drehwinkelgeberwert
U Spannung
U_S Spannungsschwellenwert
t Zeit/Zeitachse

Claims

1. Verfahren zur Ermittlung der Koordinaten des Antastpunktes auf einem Werkstück bei der dimensionellen Messung von Werkstücken mit Hilfe eines Sensors, bei dem die Signale des Sensors als elektrische Spannungswerte in Abhängigkeit von der Zeit vor, beim und nach dem Anfahren des Meßpunktes erhalten werden, wobei der Zeitpunkt der Berührung des Werkstückes durch den Sensor durch den Anstieg der genannten Spannungswerte über ein vorbestimmtes Maß hinaus bestimmt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungswerte, wenigstens vom Zeitpunkt der Berührung des Werkstückes durch den Sensor an, innerhalb eines vorgewählten Zeitintervalles digitalisiert in einen Rechner eingegeben werden, daß mit Hilfe der digitalisierten Werte eine Funktion U = f(t) (U = Spannung, t = Zeit) gebildet wird und der Zeitpunkt (t*) für die Spannung 0 (Null) als Zeitpunkt der Antastung anhand der erstellten Funktion rechnerisch ermittelt wird sowie die zu diesem Zeitpunkt (t*) gehörenden Koordinaten des Sensors als Meßpunkt auf dem Werkstück.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem im Diagramm die Spannungskurve vom Zeitpunkt (t₀) der Berührung des Werkstückes durch den Sensor einen im wesentlichen ansteigenden Ast besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß dieser Ast durch eine Gerade oder durch eine Kurve höherer Ordnung approximiert wird und der Schnittpunkt der Geraden oder der Kurve höherer Ordnung mit der Zeitachse für die Spannung 0 (Null) als t*-Wert ermittelt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zur Ermittlung des Zeitpunktes der Antastung ein Spannungsschwellenwert (U_S) vorgegeben ist, dadurch gekennzeichnet, daß die approximierte Spannungskurve (20, 20a) durch den Schnittpunkt der den Spannungsschwellenwert verkörpernden Kurve und der vom Sensor erzeugten Spannungskurve (10b) läuft.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage-Koordinaten (x, y, z) des Sensors als sinus- und cosinusförmige Spannungswerte von Gittermaßstäben mit Hilfe eines oder mehrerer Anlog-Digital-Wandler (15) gleichzeitig mit dem Signal des Sensors digitalisiert werden, so daß ein zeitlicher Bezug zwischen den Sensorsignalen und den Maßstabssignalen herstellbar ist, daß diese Werte über eine Speichertabelle (16) in einen Rechner (17) eingegeben werden, welcher die Signale verarbeitet und den ansteigenden Ast (11) der Antastkurve U = f(t) des Sensors etwa ab dem Zeitpunkt (t₀) der Berührung des Werkstückes durch den Sensor durch eine Gerade (20, 20a) oder eine Kurve höherer Ordnung approximiert und den Spannungsnullpunkt mittels dieser Kurve (20, 20a) als Antastzeitpunkt (t*) ermittelt und die zugehörigen Meßwert koordinaten (x, y, z) des angetasteten Punktes, die sich aus den abgespeicherten Sinus- und Cosinus-Signalen ermitteln lassen, auf dem Werkstück als Ergebnis liefert.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Bewegung des Tasters die Koordinaten des Tasters und die Signale der Maßstäbe unmittelbar in den Rechner (17) eingegeben und die für die Funktionserstellung nicht mehr benötigten Werte in zeitlichen Abständen gelöscht werden.