DE4312560A1 - Densimeter for process liquids - Google Patents

Abstract

A densimeter device (11) contains, in a vertical tubular measuring chamber (12), a spindle-shaped measuring body (13) having a thin stem (17), projecting above the liquid level (22), which contains optical markings (18) at its upper end, which optical markings are scanned by optical sensors (48). These sensors are arranged on the external circumference of a relatively thin transparent measuring channel (43) into which the stem (17) projects. A seal (39) between the measuring channel (43) and the measuring chamber (12) facilitates, because of its large opening diameter, reception of the measuring body. The liquid (23) entering the measuring chamber (12) is fed via a distributor chamber (26) having a perforated disk (28) and a ring of base openings (30) located near the external circumference of the measuring chamber (12), in order to guarantee a stabilised flow. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Dichtemeßeinrichtung für Prozeß­ flüssigkeiten, insbesondere für Flüssigkeiten in Prozessen im Zusammenhang mit der Leiterplattenherstellung, bei der in einer Meßkammer ein Flüssigkeitsniveau aufrechterhalten wird, mit einem Meßkörper, der in einer Meßkammer in die Flüssigkeit eintaucht und einen über das Flüssigkeitsniveau ragenden Stiel aufweist, wobei die Position des Meßkörpers von optischen Meßmitteln erfaßbar ist.The invention relates to a density measuring device for process liquids, especially for liquids in processes in Connection with the circuit board production, in which maintain a liquid level in a measuring chamber is, with a measuring body in a measuring chamber in the Immersed liquid and one above the liquid level protruding stem, the position of the measuring body is detectable by optical measuring means.

Aus dem DE-U 92 00 736 ist eine Dichtemeßeinrichtung dieser Art bekanntgeworden. In ihr ist erwähnt, daß zur Positions­ bestimmung des Meßkörpers auch optische Meßeinrichtungen vorgesehen sein können, die mit Lichtleitern ausgerüstet sein sollen, die bis in den Bereich des Meßkörpers geführt sind, um auch bei trüben Flüssigkeiten einsetzbar zu sein.From DE-U 92 00 736 a density measuring device is this Kind of become known. In it is mentioned that for positions determination of the measuring body also optical measuring devices can be provided which are equipped with light guides that are led into the area of the measuring body, to be used even with cloudy liquids.

Bei Prozeßflüssigkeiten können jedoch durch verschiedene Einflüsse, so beispielsweise kleine Festkörper, stets Stö­ rungen auftreten, die zu ungewollten Anzeigen führen könnten. Ferner sind aus der DE-OS 36 31 884, 36 32 019, 21 40 205 und 34 22 276 Dichtemeßeinrichtungen bekannt geworden, bei denen der Meßkörper von einem im unteren Abschnitt bzw. unterhalb des Meßkörpers sitzenden Induktivfühler abgefühlt werden. With process fluids, however, can by various Influences, such as small solids, always disturbances occur that could lead to unwanted ads. Furthermore, from DE-OS 36 31 884, 36 32 019, 21 40 205 and 34 22 276 density measuring devices have become known in which the measuring body from one in the lower section or below of the measuring body seated inductive sensor.  

Dieser beeinflußt die bauliche Ausführung der Meßkammer und arbeitet wegen der relativ großen erforderlichen Abstände zwischen Meßkörper und Fühler sowie möglicher Hysterese­ erscheinungen nicht sehr genau.This influences the construction of the measuring chamber and works because of the relatively large distances required between measuring body and sensor as well as possible hysteresis appearances are not very precise.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Dichtemeßeinrichtung zu schaffen, die die Nachteile des Standes der Technik vermeidet und insbesondere mit höchster Meßgenauigkeit arbeitet.The object of the invention is to provide a density measuring device create that avoids the disadvantages of the prior art and in particular works with the highest measuring accuracy.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Meßmittel wenigstens einen optisch/elektrischen Meßwertgeber enthalten, der an der Bewegungsbahn des Stiels angeordnet ist.This object is achieved in that the Measuring means at least one optical / electrical sensor included, which is arranged on the trajectory of the stem is.

Da der Stiel aus der Flüssigkeit herausragt, muß also ein Richtstrahl, bei dem es dich um sichtbares Licht, einen Laserstrahl oder Infrarotlicht handeln kann, nicht durch die Prozeßflüssigkeit hindurchdringen, so daß ihre eventuelle Trübung etc. keinen Einfluß auf das Ergebnis hat. Ferner ist der Stiel bei dem schon wegen der Meßempfindlichkeit relativ geringen Durchmesser zur optischen Abtastung besonders geeignet, weil der optische Fühler relativ dicht an den Stiel herangebracht werden kann. Dies kann dadurch geschehen, daß auf die eigentliche Meßkammer, die einen größeren Durchmesser hat, ein als dünneres, transparentes Rohr auszubildender Meßkanal aufgesetzt ist, durch das der Lichtstrahl dringt und in dem der Stiel im wesentlichen vertikal beweglich geführt ist. Die Führung und Halterung der optischen Fühler kann auch durch andere Bauteile erfolgen.Since the stem protrudes from the liquid, a must Directional beam, which is visible light, one Laser beam or infrared light cannot act through that Process liquid penetrate so that their eventual Turbidity etc. has no influence on the result. Further is the stem of the relative because of the sensitivity small diameter for optical scanning especially suitable because the optical sensor is relatively close to the handle can be brought up. This can be done in that on the actual measuring chamber, which has a larger diameter has to train as a thin, transparent tube Measuring channel is placed through which the light beam penetrates and in which the stem is guided in a substantially vertically movable manner is. The guidance and mounting of the optical sensors can also done by other components.

Am Außenumfang dieses Rohres kann der Meßwertgeber in Form eines optisch/elektrischen Wandlerbauteils, beispielsweise einer Photodiode mit entsprechender Optik, angeordnet sein. On the outer circumference of this tube, the sensor can be in the form an optical / electrical converter component, for example a photodiode with appropriate optics.  

Ein entsprechendes lichtemittierendes Bauteil, beispiels­ weise eine Leuchtdiode, kann entweder auf der anderen Seite des Röhrchens oder auch auf der gleichen Seite angeordnet sein, wenn mit reflektiertem Licht gearbeitet wird. Dazu könnte auf der Rückseite des Röhrchens auch eine entspre­ chende Reflektionseinrichtung vorgesehen sein.A corresponding light-emitting component, for example wise a light emitting diode, can either on the other side of the tube or arranged on the same side when working with reflected light. To could also correspond to one on the back of the tube appropriate reflection device can be provided.

Der Stiel enthält durchsichtige und undurchsichtige bzw. reflektierende und dicht reflektierende Abschnitte, die möglichst scharf voneinander abgegrenzt sein sollten und obere und untere Grenzwerte festlegen können.The stem contains transparent and opaque or reflective and densely reflective sections that should be differentiated as sharply as possible and can set upper and lower limits.

Durch die Anordnung von zwei Sensoren in axialem Abstand kann auch eine Richtungsbestimmung der Dichteänderung vor­ genommen werden.By arranging two sensors at an axial distance can also determine the direction of the change in density be taken.

Der Meßwertgeber kann an dem Rohr höhenverstellbar angeordnet sein. Bei mehreren Sensoren ist auch eine versetze Anordnung um den den Stiel enthaltenden Kanal herum möglich, um eine gegenseitige Beeinflussung zu vermeiden.The measuring transducer can be arranged on the tube in a height-adjustable manner his. If there are several sensors, there is also an offset arrangement possible around the canal containing the stem, around a avoid mutual interference.

Der den Stiel enthaltende Kanal kann wesentlich kleiner sein als der Durchmesser des eigentlichen Meßkörpers. Um diesen dann zur Reinigung entnehmen zu können, kann zwischen dem Kanal und der eigentlichen Meßkammer ein Verschluß vorgesehen sein, der einen den Meßkörper durchlassenden Mündungsquer­ schnitt hat.The channel containing the stem can be much smaller than the diameter of the actual measuring body. To this can then be removed for cleaning, between the Canal and the actual measuring chamber provided a closure be that of a muzzle cross through the measuring body has cut.

Die Genauigkeit der Messung wird auch durch die ruhige Lage des Meßkörpers in der Meßkammer bestimmt.The accuracy of the measurement is also due to the quiet location of the measuring body in the measuring chamber.

Die Erfindung schlägt daher ferner Mittel zur Strömungsbe­ ruhigung und -vergleichmäßigung in der Meßkammer vor. Diese sind insbesondere zur strömungsfreien Zentrierung des Meßkör­ pers in der Meßkammer ausgebildet.The invention therefore also proposes means for flow control calm and equalization in the measuring chamber. This  are especially for flow-free centering of the measuring body pers trained in the measuring chamber.

Die Meßkammer kann derart dem Meßkörper angepaßt sein, daß dieser symmetrisch umströmt bzw. angeströmt wird. Die Strö­ mungsführungsmittel können eine gelochte Verteilerscheibe in einer vorgeschalteten Kammer enthalten, um ein evtl. im Zuströmkanal vorhandenes Strömungsprofil zu unterbrechen. Die Verteilerscheibe kann gleichzeitig auch als Drossel für die im Bypass zum Haupt-Prozeßflüssigkeitsstrom geführte Meßflüs­ sigkeit dienen. Von der Kammer aus kann die Zuströmung zur Meßkammer über seitliche, symmetrisch zur Meßkammerachse angeordnete Zuströmöffnungen im Boden der Meßkammer erfolgen. Die Abströmung kann ebenfalls symmetrisch über einen Über­ lauf erfolgen, der direkt am oberen Ende der Meßkammer angeordnet ist und die Flüssigkeit in eine Ringkammer abströ­ men läßt. Es ist auch eine tangentiale Ausströmung der Flüssigkeit möglich. Dadurch ist völlige Symmetrie herge­ stellt und die Zuströmung erfolgt ohne Turbulenzen, die die Meßkörper zu Bewegungen in vertikaler oder horizontaler Richtung anregen könnten.The measuring chamber can be adapted to the measuring body in such a way that this flows around or flows symmetrically. The currents guiding means can be a perforated distributor plate in contain an upstream chamber to possibly in the Inflow channel to interrupt existing flow profile. The Distribution disc can also act as a throttle for the measuring rivers in the bypass to the main process liquid flow serve. From the chamber, the inflow to Measuring chamber on the side, symmetrical to the measuring chamber axis arranged inflow openings take place in the bottom of the measuring chamber. The outflow can also be symmetrical about an over run directly at the top of the measuring chamber is arranged and the liquid flows out into an annular chamber leaves. There is also a tangential outflow of the Liquid possible. This ensures complete symmetry represents and the inflow takes place without turbulence, which the Measuring body for movements in vertical or horizontal Could stimulate direction.

Ein Dichtemeßgerät kann also in einer vertikalen rohrförmigen Meßkammer einen spindelförmigen Meßkörper mit einem dünnen, über das Flüssigkeitsniveau hinausragenden Stiel enthalten, der an seinem oberen Ende optische Markierungen aufweist, die von optischen Sensoren abgetastet werden.A density meter can thus be in a vertical tubular Measuring chamber a spindle-shaped measuring body with a thin contain a stem protruding above the liquid level, which has optical markings at its upper end, which are scanned by optical sensors.

Diese sind am Außenumfang eines durchsichtigen relativ dünnen Meßkanals angeordnet, in den der Stiel hineinragt. Ein Verschluß zwischen Meßkanal und Meßkammer ermöglicht wegen seines großen Öffnungsdurchmessers die Entnahme des Meßkör­ pers. Die in die Meßkammer eintretende Flüssigkeit wird über eine Verteilerkammer mit Lochscheibe und einen nahe dem Außenumfang der Meßkammer liegenden Kranz von Bodenöffnungen zugeführt, um eine beruhigte Strömung sicherzustellen.These are relatively thin on the transparent outer circumference Arranged measuring channel into which the stem protrudes. A Closure between measuring channel and measuring chamber allows because its large opening diameter the removal of the measuring body pers. The liquid entering the measuring chamber is over a distribution chamber with perforated disc and one near the  Outside circumference of the measuring chamber lying ring of floor openings fed to ensure a calm flow.

Mit dem Dichtemeßgerät nach der Erfindung sind bisher nicht erreichbare Meßgenauigkeiten zu erzielen, die das automati­ sche Arbeiten in bestimmten Prozessen erst ermöglichen. So liegen z. B. die Anforderungen bei wäßrig alkalischen Entwicklerlösungen (Soda) bei Nennwert 0,95% +/- 0,05%. Für Soda sind die speziellen Dichte-Werte: bei 0,8% Soda = 1,0025 kg/l, bei 1,0% Soda = 1,0035 kg/l. Der Meßbereich kann z. B. wie folgt sein: unterer Grenzwert 1,0030 kg/l, Mittelwert 1,00325 kg/l und oberer Grenzwert 1,0035 kg/l. Die seither eingesetzten Spindeln (Areometer) reagieren bei derartig kleinen Differenzen nicht mehr.With the density meter according to the invention are not yet to achieve achievable measuring accuracies that the automati enable specific work in certain processes. So lie z. B. the requirements for aqueous alkaline Developer solutions (soda) at nominal value 0.95% +/- 0.05%. For Soda are the special density values: at 0.8% soda = 1.0025 kg / l, with 1.0% soda = 1.0035 kg / l. The measuring range can e.g. B. be as follows: lower limit 1.0030 kg / l, Average 1.00325 kg / l and upper limit 1.0035 kg / l. The Spindles (areometers) used since then react such small differences no longer.

Diese und weitere Merkmale der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfä­ hige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird.These and other features of the invention go beyond those of Claims also from the description and the drawings , the individual features each individually or more in the form of sub-combinations in one Embodiment of the invention and in other fields be realized and advantageous as well as protective can represent possible designs for which protection here is claimed.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Es zeigen:Embodiments of the invention are in the drawing shown and are explained in more detail below. It demonstrate:

Fig. 1: einen vertikalen Schnitt durch eine Dichtemeß­ einrichtung, Fig. 1: means a vertical section through a Dichtemeß,

Fig. 2: eine schematische Darstellung der Messung mit Meß­ mitteln mit einem Meßwertgeber, Fig. 2 is a schematic representation of the measurement with measuring means with a transmitter,

Fig. 3: ein Detail aus Fig. 1 mit Meßmitteln, die zwei Meß­ wertgeber enthalten, FIG. 3 shows a detail of Figure 1 with measuring means which comprise two transducers.

Fig. 4: eine schematische Darstellung verschiedener Meß­ positionen mit Meßmitteln entsprechend Fig. 3. Fig. 4 is a schematic representation of various measurement positions by measuring means according to Fig. 3.

Fig. 1 zeigt eine Dichtemeßeinrichtung, die zur Messung und Steuerung der Dichte in Prozeßflüssigkeiten eingesetzt wird. Bei der Steuerung von physikalischen und chemischen Prozes­ sen, insbesondere in der Leiterplattenindustrie, wird die genaue Einhaltung der Dichte der Prozeßflüssigkeiten ver­ langt. Beispielsweise bei Entwicklern von photoempfindlichen Schichten mit wäßrig/alkalischem System (Soda) wird die genaue Einhaltung der Konzentration in der Prozeßflüssigkeit verlangt. Bisher übliche Genauigkeiten von +/- 1 bis 2 g/l reichen dabei meist nicht aus. Die in Fig. 1 dargestellte Dichtemeßeinrichtung 11 weist eine Meßkammer 12 in Form eines vertikalen Rohres mit kreisrundem Querschnitt auf, in der ein Meßkörper 13 aufgenommen ist. Zwischen dem Außen­ durchmesser des unteren, dickeren Abschnittes 14 des Meßkör­ pers und der Meßkammer bildet sich ein gleichmäßiger Ring­ spalt 15. Fig. 1 shows a density measuring device which is used for measuring and controlling the density in process liquids. When controlling physical and chemical processes, especially in the circuit board industry, the exact maintenance of the density of the process liquids is required. For example, in the case of developers of photosensitive layers with an aqueous / alkaline system (soda), exact compliance with the concentration in the process liquid is required. Accuracies of +/- 1 to 2 g / l that were customary up to now are usually not sufficient. The density measuring device 11 shown in FIG. 1 has a measuring chamber 12 in the form of a vertical tube with a circular cross section, in which a measuring body 13 is received. Between the outer diameter of the lower, thicker portion 14 of the Meßkör pers and the measuring chamber forms a uniform ring gap 15th

Der Meßkörper ist unten mit einem in ihm eingeschlossenen Trim-Gewicht 16 beschwert. An den verdickten Abschnitt 14 schließt sich nach oben ein langer Stiel 17 mit relativ geringem Querschnitt an, der im Bereich seines oberen Endes Steuermarken 18 aufweist, die aus oberen und unteren un­ durchsichtigen Bereichen 19, 20 und einem dazwischenliegen­ den durchsichtigen Bereich 21 bestehen. Der als Schwimmer dienende Meßkörper 13 ist aus Glas hergestellt und so aus­ gewogen, daß er mit dem verdickten Abschnitt 14 und einem großen Teil des Stiels 17 unterhalb eines Flüssigkeitsniveaus 22 schwimmt. The measuring body is weighted below with a trim weight 16 enclosed in it. At the thickened section 14 is followed by a long stem 17 with a relatively small cross-section, which has control marks 18 in the region of its upper end, which consist of upper and lower un transparent regions 19 , 20 and an intermediate transparent region 21 . The measuring body 13 serving as a float is made of glass and weighed in such a way that it floats with the thickened section 14 and a large part of the stem 17 below a liquid level 22 .

Durch den relativ kleinen Querschnitt des Stiels im Vergleich zur Gesamtverdrängung des Meßkörpers reagiert der Meßkörper auf Dichteänderungen der in der Meßkammer 12 enthaltenen Flüssigkeit 23 sehr empfindlich mit einer vertikalen Posi­ tionsänderung.Due to the relatively small cross-section of the stem compared to the total displacement of the measuring body, the measuring body reacts very sensitively to changes in density of the liquid 23 contained in the measuring chamber 12 with a vertical change in position.

Der Stiel 17 kann zusätzlich zur Einstellung oder direkten Ablesung der Dichte der Meßflüssigkeit eine Skala 24 auf­ weisen. Die Spindel benötigt aber keine Veränderungen wie Zusatzgewichte, Metallstreifen o. dgl., wie sie z. B. bei induktiven Messungen nötig sind.The handle 17 can have a scale 24 in addition to the setting or direct reading of the density of the measuring liquid. However, the spindle does not require any changes such as additional weights, metal strips or the like, such as, for. B. are necessary for inductive measurements.

Die Meßkammer ist mit ihrem unteren Ende in einen Anschluß­ block 25 eingesetzt, der eine Verteilerkammer 26 enthält, die durch eine mit zahlreichen gleichmäßig verteilten Löchern 27 versehene Verteilerscheibe 28 in zwei Hälften unterteilt ist. In die Verteilerkammer 26 führt eine Zuströmleitung 29 für die Flüssigkeit, die durch die Verteilerkammer und die Verteilerscheibe aufwärts strömt und über Zuströmöffnungen 30 in einem Zuströmeinsatz 31 in die Meßkammer 12 strömt. Die Zuströmöffnungen 30 sind symmetrisch um die vertikale Mit­ telachse 32 der Meßkammer herum angeordnet.The measuring chamber is inserted with its lower end in a connection block 25 , which contains a distributor chamber 26 , which is divided into two halves by a distributor disk 28 provided with numerous evenly distributed holes 27 . An inlet line 29 for the liquid leads into the distributor chamber 26 , which flows upwards through the distributor chamber and the distributor disk and flows into the measuring chamber 12 via inlet openings 30 in an inlet insert 31 . The inflow openings 30 are arranged symmetrically around the vertical center axis 32 of the measuring chamber.

An das obere Ende des die Meßkammer 12 bildenden Rohres schließt sich ein Meßkammerkopf 33 an, der einen ringförmigen Abströmkanal 34 enthält, dessen innere Kante 35 eine Über­ laufkante bildet, die exakt horizontal umlaufend angeordnet ist und über die Flüssigkeit aus der Meßkammer in den Ab­ strömkanal abfließen kann. Aus dem Abströmkanal 34 kann die Flüssigkeit über ein Ablaufrohr 36, das im Anschlußblock 25 endet, strömen, wo es mit einer Abströmleitung 37 verbunden ist. At the upper end of the tube forming the measuring chamber 12 is followed by a measuring chamber head 33 , which contains an annular outflow channel 34 , the inner edge 35 of which forms an over-running edge which is arranged exactly horizontally circumferentially and via the liquid from the measuring chamber into the flow channel can drain off. The liquid can flow out of the outflow channel 34 via an outflow pipe 36 , which ends in the connection block 25 , where it is connected to an outflow line 37 .

Im Meßkammerkopf 33 ist eine zentrale obere Öffnung 38 vorgesehen, die mit einem Verschluß 39 verschlossen ist.A central upper opening 38 is provided in the measuring chamber head 33 and is closed with a closure 39 .

Der Verschluß 39 enthält eine auf ein Außengewinde am Meßkam­ merkopf 33 geschraubte Überwurfmutter 40 und einen davon gegen eine Stirndichtung 42 im Meßkammerkopf gedrückten Verschlußdeckel 41, in den ein aus einem vertikalen, transpa­ renten Rohr bestehender Kanal 43 eingesetzt ist, der oben verschlossen ist. Dieser Kanal hat einen wesentlich geringe­ ren Querschnitt als die Meßkammer. In ihm kann sich der Stiel 17 des Meßkörpers 13 vertikal auf einer durch die Mittelachse 32 symbolisierten Bewegungsbahn bewegen. Der Kanal ist zentrisch zur Achse 32 angeordnet, so daß der Stiel bei zentrischer Lage des Meßkörpers genau auf seiner Mittellinie steht.The closure 39 contains a screwed onto an external thread on the measuring head 33 of the cap nut 40 and one of them pressed against an end seal 42 in the measuring chamber head in the sealing cap 41 into which a channel 43 consisting of a vertical, transparent pipe is inserted, which is closed at the top. This channel has a much smaller cross-section than the measuring chamber. In it, the stem 17 of the measuring body 13 can move vertically on a movement path symbolized by the central axis 32 . The channel is arranged centrally to the axis 32 , so that the stem is exactly on its center line when the measuring body is in the center.

Am Außenumfang des Kanals 43 sind Meßmittel 44 höhenverstell­ bar angebracht. Die Meßmittel bestehen aus einem Träger 45, der den Kanal 43 umgibt und eine Aufnahme für einen Meß­ wertgeber 46 und einen Reflektor oder Lichterzeuger 47 enthält. Der Meßwertgeber enthält eine Photodiode 48, die von einer lichtemittierenden Diode (LED 47) durch den transparen­ ten Kanal 43 hindurch beleuchtet wird, wobei entsprechende Optiken für eine genaue Strahlbündelung sorgen.On the outer circumference of the channel 43 measuring means 44 are height adjustable bar. The measuring means consist of a carrier 45 which surrounds the channel 43 and contains a receptacle for a transmitter 46 and a reflector or light generator 47 . The transmitter contains a photodiode 48 , which is illuminated by a light-emitting diode (LED 47 ) through the transparen th channel 43 , with appropriate optics for accurate beam focusing.

Bei Ausbildung der auf der anderen Seite des Kanals liegenden Referenzteile 47 als Reflektor kann die LED unmittelbar neben dem lichtaufnehmenden Bauteil, d. h. einem optisch/elek­ trischen Wandler 48, angeordnet sein.When designing the reference parts 47 lying on the other side of the channel as a reflector, the LED can be arranged directly next to the light-receiving component, ie an optical / electrical converter 48 .

Die Dichtemeßeinrichtung arbeitet wie folgt: Die Flüssigkeit, meist eine wäßrige Lösung von Chemikalien wie Soda o. dgl. strömt über die Zuströmleitung 29 in die Dichtemeßeinrichtung 11 ein. Meist geschieht dies in einem Nebenstrom zum eigent­ lichen Hauptstrom der Flüssigkeit, wobei die Zuströmgeschwin­ digkeit durch entsprechende Drosselung oder auch durch eine gesonderte Pumpe möglichst gleichmäßig gehalten werden sollte. Da die Dichte der Flüssigkeit ein Maß für den Gehalt der Flüssigkeit an für den Prozeßablauf wichtigen Inhalts­ stoffen, wie Chemikalien, der Lösung ist, ist es die Aufgabe der Dichtemeßeinrichtung, Steuersignale zu erzeugen, die entsprechende Maßnahmen zur Konstanthaltung der Dichte, bzw. Ansteuerung einer vorgegebenen Dichte auslösen, beispiels­ weise zur Zudosierung von Inhaltsstoffen oder Lösungsmittel. Ferner sollte ein Alarm ausgelöst werden, wenn die Dichte bestimmte Grenzwerte über- oder unterschreitet, wodurch dann z. B. auch die Anlage stillgesetzt werden könnte. Dies könnte geschehen, wenn der Vorrat der Inhaltsstoffe zu Ende ist o. dgl.The density measuring device works as follows: The liquid, usually an aqueous solution of chemicals such as soda or the like, flows into the density measuring device 11 via the inflow line 29 . This usually happens in a secondary flow to the actual main flow of the liquid, whereby the inflow speed should be kept as even as possible by appropriate throttling or by a separate pump. Since the density of the liquid is a measure of the content of the liquid in important substances for the process, such as chemicals, the solution, it is the task of the density measuring device to generate control signals, the appropriate measures to keep the density, or control a Trigger the specified density, for example to add ingredients or solvents. Furthermore, an alarm should be triggered if the density exceeds or falls below certain limit values. B. the system could also be shut down. This could happen when the stock of ingredients has run out or the like.

Die in der Verteilerkammer 26 beruhigte und bezüglich ihres Strömungsprofils vergleichmäßigte Strömung strömt durch die Zuströmöffnungen 30 in die Meßkammer 12. Dabei tritt sie seitlich aus, so daß die Strömung unmittelbar in den Ring­ spalt 15 führt und möglichst laminar und wirbelfrei verläuft.The flow which is calmed in the distribution chamber 26 and has a flow profile which is uniform flows through the inflow openings 30 into the measuring chamber 12 . It emerges laterally, so that the flow leads directly into the annular gap 15 and is as laminar and vortex-free as possible.

Am oberen Teil der Meßkammer bildet sich das Flüssigkeitsni­ veau 22 aus, das durch die Überlaufkante 35 in der Höhe bestimmt wird.At the upper part of the measuring chamber, the liquid level 22 is formed, which is determined by the overflow edge 35 in height.

Durch genau horizontale Anordnung der Überlaufkante 35 wird erreicht, daß die Flüssigkeit als Strömung auch im oberen Teil der Meßkammer symmetrisch bleibt, weil jeweils gleiche Mengen der Flüssigkeit in jedem Umfangsbereich abströmen. Dadurch und durch die gleichmäßige Anströmung wird ein Schwanken der Spindel sowie ein Schrägstehen, das insbeson­ dere auch bei einseitigem Überfließen auftreten könnte, vermieden. A precisely horizontal arrangement of the overflow edge 35 ensures that the liquid remains symmetrical as a flow even in the upper part of the measuring chamber, because equal amounts of the liquid flow out in each circumferential area. As a result of this and due to the uniform flow, a fluctuation in the spindle and an inclined position, which could also occur if the overflow occurs on one side, are avoided.

In Fig. 1 und Fig. 2c befindet sich der obere undurchsich­ tige Abschnitt, der beispielsweise durch entsprechendes Bedrucken der in den Stiel eingelegten Skala durch Ätzen der aus Glas bestehenden Spindel, durch Einlegen einer Folie o. dgl. hergestellt sein kann, dem Meßwertgeber 48 gegenüber. Es wird also, da die Spindel tiefer in die Flüssigkeit ein­ taucht, eine zu geringe Dichte angezeigt und das dadurch erzeugte Signal kann in einem an die Leitung 50 angeschlos­ senen, nicht dargestellten Steuergerät eine entsprechende Steuerfunktion auslösen, beispielsweise das Nachgeben von Inhaltsstoffen in die Lösung und/oder Auslösen eines Signals. Steigt dann die Konzentration des schwereren Inhaltsstoffes in der Lösung wieder, so steigt der Meßkörper und der durch­ sichtige Abschnitt 21 kommt in den Meßwertgeberbereich (Fig. 2a), so daß dann die Zugabe gestoppt wird. Der Meßwertgeber 48 gibt ebenfalls ein Signal, wenn infolge erhöhter Dichte der untere undurchsichtige Abschnitt 20 in seinen Bereich kommt (Fig. 2b).In Fig. 1 and Fig. 2c is the upper opaque section, which can be made, for example, by appropriately printing the scale inserted in the handle by etching the glass spindle, inserting a foil or the like, the transmitter 48th across from. It is therefore, since the spindle dips deeper into the liquid, a too low density is displayed and the signal generated thereby can trigger a corresponding control function in a control device (not shown) connected to the line 50 , for example the addition of ingredients into the solution and / or triggering a signal. If the concentration of the heavier ingredient in the solution then rises again, the measuring body rises and the transparent section 21 comes into the transmitter area ( FIG. 2a), so that the addition is then stopped. The transmitter 48 also gives a signal when the lower opaque portion 20 comes into its area due to increased density ( Fig. 2b).

Statt der durchsichtigen und undurchsichtigen Bereiche können auch reflektierende oder nicht reflektierende Bereiche, beispielsweise durch Einlegen eines schwarz bzw. weiß be­ druckten Blättchens in den Stiel, vorgesehen sein.Instead of the transparent and opaque areas also reflective or non-reflective areas, for example by inserting a black or white be printed leaflets in the stalk.

Diese Ausführung mit nur einem Meßwertgeber kann direkt keine Richtung der Änderung angeben, d. h. es entsteht das gleiche Signal, wenn der obere oder der untere undurchsichtige Abschnitt in den Bereich des Meßwertgebers kommt. Dies kann für eine Steuerung ausreichen, wenn es aufgrund der Gesamt­ umstände in dem Prozeß eindeutig ist, in welche Richtung sich jeweils die Dichteänderung bewegt. Wenn die Dichte ohne Zudosierung immer nur kleiner werden kann und nie größer, dann kann diese Ausführung zur Steuerung ausreichen, da man sicher sein kann, daß, solange die Zudosierung nicht in Gang gesetzt ist, ein "Dunkel"-Signal nur vom Abschnitt 19 aus­ gelöst sein kann, daß nach Einschalten der Zudosierung der Abschnitt 21 erscheint und schließlich durch den Abschnitt 20 eine ausreichende Dosierung angezeigt und die Zudosierung abgeschaltet werden kann.This version with only one sensor cannot directly indicate a direction of change, ie the same signal is generated when the upper or the lower opaque section comes into the area of the sensor. This can be sufficient for a control if it is clear from the overall circumstances in the process in which direction the change in density is moving. If the density without dosing can only ever become smaller and never larger, then this version can be sufficient for control purposes, since one can be sure that as long as the dosing is not started, a "dark" signal only from section 19 can be solved that section 21 appears after switching on the metering and finally a sufficient metering is indicated by section 20 and metering can be switched off.

Die Dichtemeßeinrichtung ist außerordentlich feinfühlig und genau. Eine Richtungsabhängigkeit könnte durch Anordnung einer zweiten Dichtemeßeinrichtung vorgesehen werden, vor­ zugsweise aber jedoch durch die Ausführung, die in Fig. 3 dargestellt ist. Dort enthalten die Meßmittel 44 zwei Meß­ wertgeber 48a, 48b und dementsprechend zwei dem gegenüber­ liegende Lichtquellen oder -reflektoren 47a, 47b. Sie liegen in axialem Abstand voneinander, so daß sie, wie in Fig. 4 gezeigt ist, jeweils nacheinander unter den Einfluß der Bereiche 19, 20, 21 kommen. Durch Umfangs-Versatz der Fühler gegeneinander können noch näher beieinanderliegende Signalebenen geschaffen werden. Die Genauigkeit kann vorteil­ haft auch durch die Dimensionierung der verwandten Meßkörper beeinflußt werden. Bei der Erfindung können Meßkörper verwen­ det werden, die ein wesentlich geringeres Verhältnis zwischen der Volumenänderung je Längeneinheit der Eintauchtiefe und der Gesamt-Flüssigkeitsverdrängung des Meßkörpers haben, praktisch auszudrücken auch als Durchmesserverhältnisse zwischen Stiel 17 und Meßkörperabschnitt 14. Diese können bei der Erfindung bei 1 : 6 bis 1 : 7 betragen, während sie bisher bei 1 : 4 bis 1 : 5 lagen.The density measuring device is extremely sensitive and precise. A directional dependency could be provided by arranging a second density measuring device, but preferably before by the embodiment shown in FIG. 3. There, the measuring means 44 contain two sensors 48 a, 48 b and, accordingly, two opposite light sources or reflectors 47 a, 47 b. They are located at an axial distance from one another so that, as shown in FIG. 4, they come under the influence of the areas 19 , 20 , 21 one after the other. Due to the circumferential offset of the sensors from one another, signal levels that are closer together can be created. The accuracy can advantageously be influenced by the dimensioning of the related measuring body. In the invention, measuring bodies can be used which have a substantially lower ratio between the volume change per unit length of immersion depth and the total liquid displacement of the measuring body, practically expressing them also as the diameter ratios between the stem 17 and the measuring body section 14 . In the invention, these can be 1: 6 to 1: 7, whereas previously they were 1: 4 to 1: 5.

So zeigt beispielsweise Fig. 4a eine Stellung, in der beide Meßwertgeber im durchsichtigen Bereich 21 liegen. Dies zeigt die Solldichte der Flüssigkeit an. In Fig. 4b ist die Dichte etwas abgefallen, so daß zuerst der obere Meßwertgeber 48 a abgedeckt wird. For example, Fig. 4a shows a position in which both sensors are in the transparent area 21 . This shows the target density of the liquid. In Fig. 4b the density has dropped somewhat, so that first the upper transmitter 48 a is covered.

Dessen Signal kann verwendet werden, um die Zudosierung einzuleiten. Führt dies nicht zum Erfolg und die Dichte fällt weiter, so wird schließlich auch der Meßwertgeber 48 b abgedeckt und es kann ein Alarm- oder Maschinenstillstand ausgelöst werden.Its signal can be used to initiate metering. If this does not lead to success and the density continues to fall, the sensor 48 b is finally covered and an alarm or machine standstill can be triggered.

Bei einer Überkonzentration kommt, ausgehend von der Stellung nach Fig. 4a, zuerst der untere Meßwertgeber in den undurch­ sichtigen Abschnitt 20, der eine Zudosierung abschaltet. Auch dort entsteht durch Abdecken beider Meßwertgeber ein Alarm­ signal.In the event of an overconcentration, starting from the position according to FIG. 4a, the lower transmitter first comes into the opaque section 20 , which switches off metering. An alarm signal is also generated there by covering both sensors.

Es ist also zu erkennen, daß bei dieser Ausführung durch die Reihenfolge der Abdeckung einerseits die Richtung der Än­ derung erkannt wird und zum anderen durch Auslösen des Signales beider Meßwertgeber ein Alarmsignal entsteht.It can thus be seen that in this embodiment by the Order of coverage on the one hand the direction of the Än change is recognized and secondly by triggering the Signals from both sensors an alarm signal is generated.

Bei beiden Ausführungen ist die Meßgenauigkeit sehr groß, da sich der Lichtstrahl sehr genau bündeln läßt und die ent­ sprechenden Steuerkanten scharf begrenzt sein können. Durch eine entsprechende Formgebung kann selbst eine geringfügige Schrägstellung oder Schwankung des Stiels ausgeglichen werden. Ein Vorteil besteht dabei auch darin, daß, im Gegen­ satz zu induktiven oder kapazitiven berührungsfreien Fühlern, die an dem oberen Stielende ebenfalls einsetzbar wären, der optische Fühler nicht von dem Abstand des Stiels von ihm abhängig ist.In both versions, the measuring accuracy is very high because the light beam can be focused very precisely and the ent speaking control edges can be sharply delimited. By a corresponding design can itself be a minor one Compensate for slanting or swaying the stem become. Another advantage is that, in the opposite set of inductive or capacitive non-contact sensors, which could also be used at the top of the stem, the optical feelers not from the distance of the stem from it is dependent.

Solange also sichergestellt ist, daß bei einer seitlichen Verschiebung des Stiels nicht gleichzeitig eine Vertikal­ verschiebung am oberen Stielende auftritt, so löst eine horizontale Positionsänderung des Stiels im Kanal 43 keinen Meßfehler aus, der bei Meßmethoden auftreten könnte, bei denen ein Schwellenwert eingestellt werden muß, weil die Signalflanke nicht so steil ist wie bei dem Schwarz-/Weiß- Signal des optischen Fühlers.So as long as it is ensured that a vertical displacement of the stem does not occur at the same time as a vertical displacement of the stem, a horizontal change in the position of the stem in channel 43 does not trigger a measurement error which could occur in measurement methods in which a threshold value must be set, because the signal edge is not as steep as with the black / white signal of the optical sensor.

Es sei noch bemerkt, daß bei der Ausführung nach den Fig. 1 und 2, d. h. bei Verwendung nur eines Signalgebers 48, durch entsprechende Gestaltung der Steuerung auch eine zusätzliche Alarmfunktion möglich ist. So könnte beispiels­ weise bei Auslösung des Dunkelsignals (Fig. 2b und 2c) ein Zeitglied eingeschaltet werden, das nach einer vorgegebe­ nen Zeit ein Signal auslöst, sofern es nicht durch ein Wiederauftreten des "Hell"-Signals zurückgesetzt wird. Als Auslösezeit könnte die maximale Zeit eingesetzt werden, die innerhalb des Prozesses vergeht, bis eine Zudosierung an­ spricht. Damit könnten auch andere Funktionen, beispielsweise eine Verstopfung des Bypasses, in dem die Flüssigkeit durch die Dichtemeßeinrichtung 11 geführt wird, signalisiert werden. Die Flüssigkeit fließt über das Rohr 36 in die Abströmleitung 37 in die entsprechenden Prozeßleitungen oder Gefäße wieder zurück. Da bei der Zugabe von Inhaltsstoffen ohnehin eine nicht unerhebliche Hysterese im Verhalten auftritt, kann bei der Ausführung nach den Fig. 1 und 2 auch das Steuerverfahren so betrieben werden, daß bei Über­ gang von der Position nach Fig. 2a in die nach Fig. 2c die Zudosierung eingeschaltet und bei dem Wiedereintritt des Meßwertgebers in den Bereich 21 (Fig. 2c nach Fig. 2a) die Zudosierung wieder abgeschaltet wird.It should also be noted that in the embodiment according to FIGS. 1 and 2, ie when only one signal transmitter 48 is used , an additional alarm function is also possible by appropriately designing the control. For example, when the dark signal ( FIGS. 2b and 2c) is triggered, a timer could be switched on which triggers a signal after a predetermined time, provided that it is not reset by the "bright" signal reappearing. The trigger time could be the maximum time that passes within the process until a metering responds. This could also signal other functions, for example a blockage of the bypass in which the liquid is passed through the density measuring device 11 . The liquid flows back through the pipe 36 into the outflow line 37 into the corresponding process lines or vessels. Since a not inconsiderable hysteresis occurs in the behavior when adding ingredients, the control method can also be operated in the embodiment according to FIGS. 1 and 2 in such a way that when transitioning from the position according to FIG. 2a to that according to FIG. 2c the metering is switched on and the metering is switched off again when the sensor returns to the region 21 ( FIG. 2c to FIG. 2a).

Durch die Gesamt-Hysterese im Regelkreis ist kein zu häufiges Ansprechen der Regelung zu befürchten. In diesem Falle dient dann der Abschnitt 20 als bloßer Signalabschnitt für fehler­ hafte Überdosierung.Due to the overall hysteresis in the control loop, the control does not have to respond too often. In this case, section 20 then serves as a mere signal section for faulty overdosing.

Die Dichtemeßeinrichtung ist besonders einfach aufgebaut und kann an beliebiger Stelle eines Apparates oder auch außerhalb dessen durch bloßen Anschluß von Zuström- und Abströmleitung 29, 37, die in einem Anschlußblock vorhanden, angeschlossen werden. Es ist lediglich auf vertikale Ausrichtung zu achten. Zum Austausch des Meßkörpers oder zur Reinigung kann trotz der Ausbildung des oberen Meßkanals 43 mit geringem Durchmes­ ser und größerem Durchmesser des unteren Abschnitts 14 des Meßkörpers dieser leicht entnommen werden, indem der Ver­ schluß 39 geöffnet wird. Die Öffnung 38 im Meßkammerkopf 33 ist so groß, daß dem Meßkörper dadurch nach oben gezogen werden kann. Die Verengung zum Meßkanal 43 tritt erst ober­ halb des Verschlusses ein.The density measuring device is of particularly simple construction and can be connected at any point of an apparatus or outside of it by simply connecting the inflow and outflow lines 29 , 37 , which are present in a connection block. Just pay attention to vertical alignment. To replace the measuring body or for cleaning, despite the design of the upper measuring channel 43 with a small diameter and larger diameter of the lower section 14 of the measuring body, these can be easily removed by opening the closure 39 . The opening 38 in the measuring chamber head 33 is so large that the measuring body can thereby be pulled upwards. The narrowing to the measuring channel 43 occurs only above half of the closure.

Claims (15)

1. Dichtemeßeinrichtung für Prozeßflüssigkeiten, insbeson­ dere für Flüssigkeiten (23) in Prozessen im Zusammenhang mit der Leiterplattenherstellung, bei der in einer Meßkammer (12) ein Flüssigkeitsniveau (22) aufrechter­ halten wird, mit einem Meßkörper (13), der in die Flüssigkeit eintaucht und einen über das Flüssigkeitsni­ veau (22) ragenden Stiel (17) aufweist, wobei die Position des Meßkörpers von optischen Meßmitteln (44) erfaßbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmittel (44) wenigstens einen optisch/elektrischen Meßwertgeber (48) enthalten, der an der Bewegungsbahn des Stiels (17) angeordnet ist.1. Density measuring device for process liquids, in particular for liquids ( 23 ) in processes in connection with the circuit board manufacture, in which a liquid level ( 22 ) is maintained in a measuring chamber ( 12 ), with a measuring body ( 13 ) which is immersed in the liquid and has a stem ( 17 ) projecting above the liquid level ( 22 ), the position of the measuring body being detectable by optical measuring means ( 44 ), characterized in that the measuring means ( 44 ) contain at least one optical / electrical sensor ( 48 ), which is arranged on the path of movement of the stem ( 17 ). 2. Dichtemeßeinrichtungen nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Meßwertgeber in (48) an einem über dem Flüssigkeitsniveau (22) liegenden Abschnitt (24) des Stiels (17), vorzugsweise im Bereich seines oberen Endes, angeordnet ist. 2. Density measuring device according to claim 1, characterized in that the transmitter in ( 48 ) on a liquid level ( 22 ) lying ( 24 ) of the stem ( 17 ), preferably in the region of its upper end, is arranged. 3. Dichtemeßeinrichtungen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stiel (17) in einem zumindest teilweise transparenten, ggf. seinen Außenabmessungen angepaßten Kanal (43) vertikal bewegbar angeordnet ist, an dessen Äußerem die Meßmittel (44) angeordnet sind.3. Density measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the stem ( 17 ) in an at least partially transparent, possibly adapted to its outer dimensions channel ( 43 ) is arranged vertically movable, on the outside of which the measuring means ( 44 ) are arranged. 4. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmittel außer dem optisch/elektrischen Meßwertgeber zugehörige Reflektoren und/oder Lichtquellen (47) enthalten.4. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring means in addition to the optical / electrical transducer associated reflectors and / or light sources ( 47 ). 5. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmittel (44) verstellbar entlang der Bewegungsbahn des Stiels (17) angeordnet sind.5. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring means ( 44 ) are arranged adjustable along the path of movement of the stem ( 17 ). 6. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Stiel (17) reflektierende bzw. transparente und nicht reflektieren­ de bzw. undurchsichtige Abschnitte (19, 20, 21) auf­ weist.6. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the stem ( 17 ) has reflective or transparent and non-reflective de or opaque sections ( 19 , 20 , 21 ). 7. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßmittel (44) zwei Meßwertgeber (48 a, 48 b) enthalten.7. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring means ( 44 ) contain two sensors ( 48 a, 48 b). 8. Strömungsmeßeinrichtung, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Strö­ mungsführungsmittel (26, 27, 30) zur Strömungsberuhigung und -vergleichmäßigung in der Meßkammer (12). 8. Flow measuring device, in particular according to one of the preceding claims, characterized by flow guide means ( 26 , 27 , 30 ) for calming and smoothing the flow in the measuring chamber ( 12 ). 9. Dichtemeßeinrichtungen nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strömungsführungsmittel (26, 27, 30) zur berührungsfreien Zentrierung des Meßkörpers (13) in der Meßkammer (12) ausgebildet sind.9. Density measuring device according to claim 8, characterized in that the flow guide means ( 26 , 27 , 30 ) for contactless centering of the measuring body ( 13 ) in the measuring chamber ( 12 ) are formed. 10. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßkammer (12) dem Meßkörper (13) derart angepaßt ist, daß dieser symmetrisch um- bzw. anströmbar ist.10. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the measuring chamber ( 12 ) is adapted to the measuring body ( 13 ) in such a way that it can flow around or flow symmetrically. 11. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Strömungsführungs­ mittel eine gelochte Verteilerscheibe (28) im Zuströmbe­ reich zur Meßkammer (12) aufweisen.11. Density measuring device according to one of claims 8 to 10, characterized in that the flow guide means have a perforated distributor plate ( 28 ) in the inflow area to the measuring chamber ( 12 ). 12. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Verteiler­ scheibe (28) in einer Vorkammer (26) der Meßkammer (12) angeordnet ist.12. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the distributor disc ( 28 ) is arranged in a prechamber ( 26 ) of the measuring chamber ( 12 ). 13. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführung der Flüssigkeit (23) zur Meßkammer (12) über seitliche, zur vertikalen Meßkammerachse (32) symmetrisch angeordnete Zuströmöffnungen (30) im Boden der Meßkammer (12) erfolgt.13. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the supply of the liquid ( 23 ) to the measuring chamber ( 12 ) via lateral, to the vertical measuring chamber axis ( 32 ) symmetrically arranged inflow openings ( 30 ) in the bottom of the measuring chamber ( 12 ). 14. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abströmung der Flüssigkeit (23) aus der Meßkammer (12) über eine umlaufende Überlaufkante (35) erfolgt, an die sich ein umlaufender Abströmkanal (34) anschließt. 14. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the outflow of the liquid ( 23 ) from the measuring chamber ( 12 ) via a circumferential overflow edge ( 35 ) to which a circumferential outflow channel ( 34 ) connects. 15. Dichtemeßeinrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Meßkam­ mer (12) und dem Stiel (17) aufnehmendem Kanal (43) ein Verschluß (39) vorgesehen ist, dessen Öffnungsdurchmes­ ser (38) zumindest dem des Meßkörpers (13) entspricht.15. Density measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that between the measuring chamber ( 12 ) and the stem ( 17 ) receiving channel ( 43 ) a closure ( 39 ) is provided, the opening diameter of which ( 38 ) at least that of the measuring body ( 13th ) corresponds.