DE4303755C2 - Waveguide gas laser - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Wellenleiter-Gaslaser mit einem Elektrodenpaar, umfassend zwei im Abstand voneinander und einander gegenüberliegend angeordnete Elektrodenflächen, zwischen welchen ein Gasentladungssystem für ein Lasergas angeordnet ist, mit einem zwischen den Elektrodenflächen angeordneten optischen Wellenleiter, welcher Laserstrah­ lung durch Reflexion in einer zu der Elektrodenfläche parallelen Richtung führt, und mit einer Hochfrequenz­ quelle, welche über ein Zuleitungssystem mit den beiden Elektrodenflächen verbunden ist.The invention relates to a waveguide gas laser with a Electrode pair comprising two spaced apart and electrode surfaces arranged opposite one another, between which a gas discharge system for a laser gas is arranged with a between the electrode surfaces arranged optical waveguide, which laser beam by reflection in a to the electrode surface leads parallel direction, and with a high frequency source, which has a supply system with the two Electrode surfaces is connected.

Derartige Wellenleiter-Gaslaser sind beispielsweise Gegenstand der DE 37 29 053, DE 38 28 952 und der DE 38 28 951.Such waveguide gas lasers are an object, for example DE 37 29 053, DE 38 28 952 and DE 38 28 951.

Bei derartigen Wellenleiter-Gaslasern treten, wenn große Elektro­ denflächen erforderlich sind, um große Leistungen zu er­ halten, Probleme auf, da bei einer Anregung mit Hochfre­ quenz im UKW-Bereich, vorzugsweise im Bereich von ungefähr 100 MHz und mehr, bei großen Elektrodenflächen die Entla­ dung zur Anregung des Lasergases im Gasentladungsraum eine wellenlängenbedingte räumliche Modulation der elektrischen Feldstärke aufweist.In such waveguide gas lasers occur when large electrical areas are required to achieve great performance keep problems on, because with a suggestion with Hochfre frequency in the FM range, preferably in the range of approximately 100 MHz and more, the discharge for large electrode areas formation for excitation of the laser gas in the gas discharge space Wavelength-related spatial modulation of the electrical Has field strength.

Derartige Feldstärkemodulationen können beispielsweise durch äußere Netzwerke, wie aus der US 4,169,251 oder der US 4,352,188 bekannt, oder durch an den Rändern der Elektroden angeordnete Induktivitäten zum Teil kompensiert werden. Die Anordnung dieser äußeren Netzwerke oder Induktivitäten und der Abgleich derselben ist aufwendig und variiert von Fall zu Fall, beispielsweise auch mit den Parametern der Gasentladung und der eingekoppelten Leistung, so daß in vielen Fällen bei der Änderung eines einzigen Parameters ein neuer Abgleich erforderlich ist.Such field strength modulations can, for example by external networks, such as from US 4,169,251 or US 4,352,188 known, or by on the edges of the electrodes arranged inductors partially compensated become. The arrangement of these external networks or Inductors and the matching of these are complex and varies from case to case, for example with  the parameters of the gas discharge and the coupled power, so that in many Cases when changing a single parameter new adjustment is required.

Eine weitere Möglichkeit der Feldstärke-Homogenisierung besteht in der Mehrfachzuführung der Hochfrequenzleistung verteilt über die Entladungsstruktur, wie aus der US 4,751,717 bekannt.Another possibility of field strength homogenization consists in the multiple supply of high-frequency power distributed over the discharge structure, as from the US 4,751,717 known.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Laserstruktur zu schaffen, bei welcher wellenlängebedingte Feldstärkemodulationen trotz einacher Zufuhr der Hochfrequenzleistung im Gasentladungsraum im wesent­ lichen nicht mehr auftreten.The invention is therefore based on the object To create a laser structure at which wavelength-related Field strength modulations despite simple supply of the High-frequency power in the gas discharge space essentially no longer occur.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Zuleitungssystem so ausgebildet ist, daß einer ersten der Elektrodenflächen in einem nahe einer ersten Seitenkante des Elektrodenpaars angeordneten Einspeisebereich ein Strom zuführbar und von einer zweiten der Elektroden­ flächen in einem nahe einer zweiten, auf der entgegenge­ setzten Seite des Elektrodenpaars liegenden Seitenkante desselben angeordneten Einspeisebereich abführbar ist.This object is achieved in that the Supply system is designed so that a first of Electrode surfaces in a near a first side edge of the electrode pair arranged feed area Current can be supplied and from a second one of the electrodes areas in a near a second, on the opposite set side of the pair of electrodes lying side edge the same arranged feed area can be removed.

Dieses sogenannte "Gegenstromprinzip" schafft die Möglich­ keit, eine im wesentlichen homogene Gasentladung im Entla­ dungsraum zwischen den Elektrodenflächen zu erhalten, so daß im wesentlichen keine Feldstärkemodulationen mehr auf­ treten und insbesondere die zusätzlichen Induktivitäten - insoweit als sie zur Unterdrückung der wellenlängebe­ dingten Feldstärkemodulationen dienen - entfallen können.This so-called "counterflow principle" creates the possibility speed, an essentially homogeneous gas discharge in the discharge to obtain space between the electrode surfaces, so that essentially no more field strength modulations occur and especially the additional inductors - insofar as they are used to suppress the wavelength serve field strength modulations - can be omitted.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Further advantageous embodiments of the invention are Subject of the subclaims.  

Dabei kann die Stromzuführung zu den Einspeisebereichen an den beiden gegenüberliegenden Seitenkanten des Elektroden­ paars auf unterschiedlichste Art und Weise erfolgen, so­ fern die Wellenleitereigenschaften des optischen Wellen­ leiters unberührt bleiben.The power supply to the feed areas can be switched on the two opposite side edges of the electrodes done in different ways, so far the waveguide properties of optical waves remain unaffected.

Zweckmäßig hat es sich dabei erwiesen, ein die Seitenkante jeweils umgreifendes Leiterstück zur Stromzuführung von einem Anschluß zum Einspeisebereich zu verwenden.It has proven to be useful to use the side edge each encompassing conductor piece for power supply from a connection to the infeed area.

Die Verbindung zu der Hochfrequenzquelle erfolgt im ein­ fachsten Fall so, daß eine HF-Leitung aufgeteilt wird und zu den beiden einander gegenüberliegenden Seitenkanten führt.The connection to the high-frequency source takes place in the simplest case so that an RF line is divided and to the two opposite side edges leads.

Dies hat in der Regel jedoch eine freie Induktionsschleife und somit zu einem relativ großen Widerstand im Zulei­ tungssystem zur Folge.However, this usually has a free induction loop and thus to a relatively large resistance in the Zulei system.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der erfin­ dungsgemäßen Lösung sieht daher vor, daß das Zuleitungs­ system im wesentlichen induktionsschleifenfrei ausgebildet ist.A particularly advantageous embodiment of the inventions Solution according to the invention therefore provides that the feed line System designed essentially induction loop free is.

Besonders vorteilhaft läßt sich dies dann realisieren, wenn das Zuleitungssystem eine eine der Elektroden über­ greifende Parallelleitung umfaßt, welche einen von der Zuleitung zugeführten Strom ausgehend von einer dem Ein­ speisebereich gegenüberliegenden Seitenkante der Elektrode zu dem Einspeisebereich führt. Mit einer derartigen Parallelleitung ist die Möglichkeit geschaffen, ohne große Induktionsschleifen zu bilden, von einer von der Hochfrequenzquelle kommenden Zuleitung zu den Ein­ speisebereichen auf den gegenüberliegenden Seitenkanten zu führen.This can be realized particularly advantageously, if the supply system over one of the electrodes encompassing parallel line, which one of the Power supplied from an on line opposite side edge of the electrode leads to the feed area. With such a Parallel line creates the opportunity  without forming large induction loops, from one of the high-frequency source incoming line to the on dining areas on the opposite side edges to lead.

Um einen dennoch auf die jeweilige Elektrodenfläche nahe einer dem Einspeisebereich gegenüberliegenden Seitenkante zufließenden oder abfließenden Strom zu begrenzen, ist vorzugsweise vorgesehen, daß das Zuleitungssystem ein Strombegrenzungselement umfaßt, welches eine Stromzu- oder -abfuhr zu einem Gegenbereich der jeweiligen Elektroden­ fläche nahe der dem Einspeisebereich gegenüberliegenden Seitenkante derselben begrenzt. Damit wird ein Stromfluß auf die Elektrodenfläche in einer unerwünschten Richtung reduziert und damit die Voraussetzung für die Realisierung der erfindungsgemäßen Lösung geschaffen.In order to get close to the respective electrode surface a side edge opposite the feed area limit incoming or outgoing current preferably provided that the supply system Current limiting element comprises which a Stromzu- or -discharge to a counter area of the respective electrodes area close to the one opposite the infeed area Side edge of the same limited. This creates a flow of electricity on the electrode surface in an undesirable direction reduced and thus the prerequisite for implementation created the solution of the invention.

Ein derartiges Strombegrenzungselement kann prinzipiell beliebig ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Parallelleitung das Strombegrenzungselement bildet, wobei ein Leiter der Parallelleitung über einen Anschluß mit dem Gegenbereich der jeweiligen Elektroden­ fläche nahe der dem Einspeisebereich gegenüberliegenden Seitenkante derselben verbunden ist und der andere Leiter der Parallelleitung mit einer von der Hochfrequenzquelle kommenden Zuleitung verbunden ist. Dabei ist die Parallel­ leitung so ausgebildet, daß im Gegenbereich des An­ schlusses E ein Strom von dem mit der Zuleitung verbun­ denen Leiter zu dem mit dem Anschluß E verbundenen Leiter möglichst gering gehalten wird. In principle, such a current limiting element can be of any design. It is particularly advantageous if the parallel line is the current limiting element forms, with a conductor of the parallel line over a Connection with the counter area of the respective electrodes area close to the one opposite the infeed area Side edge of the same is connected and the other conductor the parallel line with one from the radio frequency source coming supply line is connected. Here is the parallel Line designed so that in the opposite area of the An final E a current of which is connected to the supply line which conductor to the conductor connected to terminal E. is kept as low as possible.  

Eine derartige Parallelleitung läßt sich in einfacher Weise als Strombegrenzungselement dann ausbilden, wenn die Parallelleitung ein Kurzschlußelement und eine definierte Länge aufweist, mit welcher die Impedanz der Parallellei­ tung am Anschluß E festlegbar ist.Such a parallel line can be simplified Form as a current limiting element when the Parallel line a short circuit element and a defined Length with which the impedance of the parallelism device at connection E can be determined.

Um die Parallelleitung dazu auszunützen, eine stromfüh­ rende Verbindung mit dem Einspeisebereich herzustellen, ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß das Kurzschlußelement über ein Leiterstück mit dem Einspeisebereich verbunden ist, so daß über die Zuleitung zunächst ein Strom zu dem mit dieser verbundenen Leiter der Parallelleitung fließt und dann von der Parallelleitung der Strom über das Kurz­ schlußelement und das Leiterstück zum Einspeisebereich.In order to use the parallel line, a power supply connection with the infeed area advantageously provided that the short-circuit element connected to the infeed area via a conductor piece is, so that a current to the with this connected conductor of the parallel line flows and then from the parallel line the current over the short closing element and the conductor piece to the infeed area.

Um zusätzlich zu der Parallelleitung noch die Möglichkeit zu haben, eine Impedanzanpassung am Eingang der Parallel­ leitung, das heißt also an der Verbindung derselben mit der Zuleitung, vornehmen zu können, ist vorzugsweise vor­ gesehen, daß das Leiterstück einen komplexen Widerstand bildet.In addition to the parallel line the possibility to have an impedance match at the input of the parallel line, that is, the connection of the same with the supply line to be able to make is preferably before seen that the conductor piece has a complex resistance forms.

Hinsichtlich der Art und Ausbildung der Parallelleitung wurden bislang keine weiteren Angaben gemacht. So wäre es prinzipiell denkbar, die Parallelleitung ebenfalls als Koaxialleitung auszubilden, da jedoch in der Regel die Elektroden großflächig ausgebildet sind ist es aus geo­ metrischen Gründen vorteilhaft, wenn die Parallelleitung flächenhafte Bandleiter umfaßt. Regarding the type and design of the parallel line no further details have been given so far. It would be so in principle conceivable, the parallel line also as Form coaxial line, however, as a rule If electrodes are formed over a large area, it is made of geo metric reasons advantageous if the parallel line areal band leader includes.  

Um in diesem Fall über das Kurzschlußelement einen Strom auf das zu dem Einspeisebereich führende Leiterstück fließen lassen zu können, ist vorzugsweise vorgesehen, daß das Kurzschlußelement sich über eine Breite der Bandleiter erstreckt, nämlich um diese vollständig abzuschließen und kurzzuschließen, und zusätzlich eine Perforation aufweist, die dazu nötig ist, um einen auf einer Innenseite der Bandleiter fließenden Strombelag durch das Kurzschluß­ element hindurch und zwar durch die Perforation desselben hindurch, zu dem Leiterstück und über diesen zum Ein­ speisebereich fließen lassen zu können.To in this case a current through the short-circuit element to the conductor section leading to the infeed area To be able to flow, it is preferably provided that the short-circuit element extends over a width of the strip conductor extends, namely to complete this and short circuit, and additionally has a perforation, which is necessary to hold one on the inside of the Band conductor flowing current coating through the short circuit element through and through its perforation through, to the conductor piece and over this to the one to be able to flow the dining area.

Hinsichtlich der Qualität des Strombegrenzungselements wurden bislang keine weiteren Angaben gemacht. So sieht ein besonders vorteilhaftes Ausführungsbeispiel vor, daß das Strombegrenzungselement ein Stromsperrelement ist und somit einen Strom zu dem Gegenbereich der Elektroden­ fläche, welcher nahe der dem Einspeisebereich gegenüber­ liegenden Seitenkante liegt, sperrt, so daß der ganze Strom für die eine Elektrodenfläche im wesentlichen dem Einspeisebereich zugeführt wird.With regard to the quality of the current limiting element no further details have been given so far. So look a particularly advantageous embodiment before that the current limiting element is a current blocking element and thus a current to the counter region of the electrodes area which is close to that opposite the infeed area lying side edge, locks so that the whole Current for the one electrode surface essentially that Feed area is supplied.

Besonders einfach läßt sich dieses dann realisieren, wenn die Parallelleitungen zwischen dem Kurzschlußelement und einem mit dem Gegenbereich der jeweiligen Elektrodenfläche nahe der dem Einspeisebereich gegenüberliegenden Seiten­ kante derselben verbundenen Anschluß der Parallelleitung eine Lambda/4-Leitung ist, so daß der Kurzschluß der Parallelleitung zu einer hochohmigen Impedanz am Anschluß E transformiert wird. Als Lambda/4-Leitung wird dabei ein eine Phasenverschiebung von einem ungeradzahligen Viel­ fachen von Lambda/4 bewirkende Leitung bezeichnet. This can be realized particularly easily if the parallel lines between the short-circuit element and one with the counter region of the respective electrode surface close to the side opposite the feed area edge of the same connected connection of the parallel line is a Lambda / 4 line, so that the short circuit of the Parallel line to a high-impedance impedance at the connection E is transformed. The Lambda / 4 line is a a phase shift of an odd number times the line causing Lambda / 4.  

Hinsichtlich der Art der Anordnung der Parallelleitung wurden ebenfalls bislang keine weiteren Angaben gemacht. So sieht ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel vor, daß die Parallelleitung auf einer dem Gasentladungsraum abge­ wandten Rückseite einer der Elektroden angeordnet ist, da bei dieser geometrischen Konfiguration eine relativ ein­ fache Anordnung der Parallelleitung relativ zu der jewei­ ligen Elektrode möglich ist und außerdem eine vorteilhafte Einkopplung des Stromes in den Einspeisebereich.With regard to the type of arrangement of the parallel line no further details have been given so far. So an advantageous embodiment provides that the parallel line abge on the gas discharge space facing back of one of the electrodes is arranged there with this geometric configuration a relative one fold arrangement of the parallel line relative to each ligen electrode is possible and also an advantageous Coupling the current into the feed area.

Bei den bislang erläuterten Ausführungsbeispielen der Laserstruktur wurde davon ausgegangen, daß ein Elektroden­ paar vorgesehen ist. Die erfindungsgemäße Lösung ist je­ doch nicht auf ein Elektrodenpaar fixiert.In the exemplary embodiments of the Laser structure was assumed to be an electrode couple is provided. The solution according to the invention is ever but not fixed on a pair of electrodes.

Insbesondere sieht ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel die Verwendung von zwei Elektrodenpaaren vor.In particular, see an advantageous embodiment the use of two pairs of electrodes.

Vorzugsweise ist dabei vorgesehen, daß eine Elektroden­ fläche eines Elektrodenpaars mit einer entsprechenden Elektrodenfläche des jeweils anderen Elektrodenpaars in einer gemeinsamen Fläche liegen, so daß die Führung der Laserstrahlung in einfacher Weise erfolgen kann. Bei­ spielsweise dadurch, daß beide Elektrodenpaare einen ge­ meinsamen Resonatorstrahlengang oder Verstärkerstrahlen­ gang zwischen sich einschließen und somit lediglich ein Resonator für beide Elektrodenpaare erforderlich ist.It is preferably provided that an electrode area of a pair of electrodes with a corresponding one Electrode area of the other pair of electrodes in a common area, so that the leadership of the Laser radiation can be done in a simple manner. At for example, in that both pairs of electrodes have a ge common resonator beam path or amplifier beams include a corridor between them and thus only one Resonator is required for both pairs of electrodes.

Ferner läßt sich bei Verwendung von zwei Elektrodenpaaren ein weiteres Ausführungsbeispiel der Laserstruktur dadurch vorteilhaft ausführen, daß das Zuleitungssystem die beiden Elektrodenpaare in Reihe geschaltet mit Strom versorgt, so daß eine unmittelbare Kopplung der Elektrodenpaare möglich ist und keine separate Stromversorgung für jedes der Elek­ trodenpaare.Furthermore, when using two pairs of electrodes thereby another embodiment of the laser structure advantageously perform that the supply system the two  Electrode pairs connected in series powered, see above that a direct coupling of the electrode pairs is possible and is not a separate power supply for each of the elec tread pairs.

Eine besonders günstige Lösung sieht dabei vor, daß die beiden Elektrodenpaare zwei einander zugewandte und zwei einander abgewandte Seitenkanten aufweisen und daß die Einspeisebereiche zweier in einer Fläche liegender Elek­ trodenflächen nahe den einander zugewandten Seitenkanten und die Einspeisebereiche zweier in einer Fläche liegender Elektrodenflächen nahe den einander abgewandten Seiten­ kanten liegen. In diesem Fall läßt sich beispielsweise eine direkte Verbindung zwischen den Einspeisebereichen an den einander zugewandten Seitenkanten herstellen.A particularly favorable solution provides that the two pairs of electrodes two facing each other and two have mutually facing side edges and that the Infeed areas of two elec tread surfaces near the side edges facing each other and the feed areas of two in one area Electrode surfaces near the sides facing away from each other edges lie. In this case, for example a direct connection between the feed areas produce the side edges facing each other.

Vorteilhafterweise läßt sich in diesem Fall der Strom zu den Einspeisebereichen an den einander abgewandten Seiten­ kanten zuführen.In this case, the current can advantageously be admitted the feed areas on the sides facing away from each other feed edges.

In diesem Fall ist zweckmäßigerweise vorgesehen, daß ein Strom zu den nahe den einander zugewandten Seitenkanten und den Einspeisebereichen gegenüberliegenden Bereichen der Elektrodenflächen mit Strombegrenzungselementen be­ grenzt ist.In this case it is advantageously provided that a Current to the side edges close to each other and areas opposite the infeed areas the electrode surfaces with current limiting elements is bordered.

Günstig ist eine Ausbildung des Zuleitungssystems bei dieser Lösung dann, wenn die die Strombegrenzungselemente bildenden beiden Parallelleitungen mit der von der Hochfrequenzquelle kommenden Zuleitung verbunden sind und wenn die Einspeisebereiche an einander zugewandten Seiten­ kanten aufweisenden Elektrodenflächen direkt miteinander verbunden sind.A training of the supply system is favorable with this solution if the the current limiting elements forming two parallel lines with that of the  High frequency source coming lead are connected and if the feed areas face each other edged electrode surfaces directly with each other are connected.

Um besonders günstige Hochfrequenzverhältnisse zu erhal­ ten, ist vorgesehen, daß das Elektrodenpaar auf seinen nach außen gewandten Flachseiten im wesentlichen von einer mit dem Zuleitungssystem verbundenen Abschirmung über­ griffen ist.To get particularly favorable high-frequency conditions ten, it is provided that the pair of electrodes on its outwardly facing flat sides essentially from one shield connected to the supply system is gripped.

Das Vorsehen der Abschirmung vermeidet zwar - wie vor­ stehend dargelegt - die Ausbildung großer Induktivitäten, birgt jedoch die Gefahr in sich, daß dem erfindungsgemäßen "Gegenstromprinzip" dadurch entgegengewirkt wird, daß von der Abschirmung auf die dieser zugewandten Rückseite der Elektrode kapazitiv ein Strom eingekoppelt wird, welcher auf der Rückseite der Elektrode zu einem dem Einspeise­ bereich gegenüberliegenden Gegenbereich der Elektroden­ fläche fließt. Um dies zu verhindern ist erfindungsgemäß bei einer vorteilhaften Ausführungsform vorgesehen, daß die mit ihrer Rückseite der Abschirmung zugewandte Elek­ trode ein Strombegrenzungselement trägt, welches eine Stromzu- oder -abfuhr im Gegenbereich der jeweiligen Elek­ trodenfläche nahe einer dem Einspeisebereich gegenüber­ liegenden Seitenkante derselben begrenzt. Dieses Strombe­ grenzungselement schafft somit die Möglichkeit, den vor­ stehend erwähnten unerwünschten und dem "Gegenstrom­ prinzip" entgegenwirkenden Strom zu unterdrücken. The provision of the shield avoids - as before standing up - the formation of large inductors, However, there is a risk that the invention "Countercurrent principle" is counteracted by the fact that the shielding on the back of the Electrically, a current is coupled capacitively, which on the back of the electrode to one of the feeders opposite area of the electrodes area flows. In order to prevent this, the invention is based provided in an advantageous embodiment that the elec with its back facing the shield trode carries a current limiting element, which a Electricity supply or discharge in the opposite area of the respective elec tread area close to one opposite the feed area lying side edge of the same limited. This stream boundary element thus creates the possibility of the front standing undesired and the "countercurrent principle "to suppress countercurrent.  

Bevorzugterweise ist das Strombegrenzungselement so ausge­ bildet, daß es im wesentlichen ein Stromsperrelement ist.The current limiting element is preferably designed in this way forms that it is essentially a current blocking element.

Das Strombegrenzungselement kann im Prinzip beliebig ange­ ordnet sein. Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn das Strombegrenzungselement auf einer dem Gasentladungsraum abgewandten Rückseite der Elektrode angeordnet ist.The current limiting element can in principle be any to be in order. It is particularly advantageous if that Current limiting element on the gas discharge space facing away from the back of the electrode.

Hinsichtlich der Ausbildung des Strombegrenzungselements wurden im vorstehenden keine näheren Angaben gemacht. So könnte das Strombegrenzungselement beispielsweise eine auf der Rückseite der Elektrode angeordnete oberflächliche Impedanzschicht sein. Noch vorteilhafter ist es jedoch, wenn das Strombegrenzungselement eine Parallelleitung um­ faßt und wenn die Parallelleitung ein einerseits offenes Ende aufweist, wobei vorzugsweise ein erster Anschluß des offenen Endes mit dem Gegenbereich der Elektrodenfläche verbunden ist, welcher auf der dem Einspeisebereich gegen­ überliegenden Seite liegt.With regard to the formation of the current limiting element no further details have been given above. So the current limiting element could, for example, be one superficial arranged on the back of the electrode Be an impedance layer. However, it is even more advantageous if the current limiting element has a parallel line summarizes and if the parallel line is on the one hand open Has end, preferably a first connection of the open end with the counter region of the electrode surface which is connected to the infeed area against overlying side.

Ein derartiges, durch eine Parallelleitung gebildetes Strombegrenzungselement hat den Vorteil, daß dieses problemlos zur Begrenzung des Stromes führt und lediglich aufgrund der besonderen Impedanzverhältnisse einer Parallelleitung den Strom begrenzt.Such a one, formed by a parallel line Current limiting element has the advantage that this easily leads to the limitation of the current and only due to the special impedance conditions of a Parallel line limits the current.

Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn die Parallel­ leitung ein Kurzschlußelement aufweist, da sich mit einer kurzgeschlossenen Parallelleitung in besonders einfacher Weise ein derartiges Strombegrenzungselement aufbauen läßt. It is particularly advantageous if the parallel Line has a short-circuit element, since with a short-circuited parallel line in a particularly simple How to build such a current limiting element.  

Eine optimale Stromunterdrückung ist mit einer Parallel­ leitung insbesondere dann möglich, wenn die Parallellei­ tung zwischen dem Kurzschlußelement und dem ersten An­ schluß eine Lambda/4-Leitung ist und somit den Kurzschluß hochohmig auf das offene Ende der Parallelleitung trans­ formiert, welches mit dem dem Einspeisebereich gegenüber­ liegenden Gegenbereich der Elektrodenfläche verbunden ist.Optimal current suppression is with a parallel Line possible especially if the parallel tion between the short-circuit element and the first on is a Lambda / 4 line and thus the short circuit high impedance to the open end of the parallel line trans formed, which with the opposite of the feed area lying opposite area of the electrode surface is connected.

Bei den erfindungsgemäßen Ausführungsbeispielen wurde nichts näher darüber ausgeführt, wie die Stromzufuhr zu den Einspeisebereichen der Elektrodenfläche erfolgen soll.In the exemplary embodiments according to the invention nothing detailed about how the power supply too the feed areas of the electrode surface.

Bei einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel ist dabei vor­ gesehen, daß das Zuleitungssystem sich in zwei Zweiglei­ tungen verzweigt, die zu den Einspeisebereichen führen. Damit ist in einfacher Weise das Problem gelöst, eine Stromzufuhr zu den beiden jeweils gegenüberliegenden Seitenkanten des Elektrodenpaares naheliegenden Einspeise­ bereichen zu führen.In an advantageous embodiment, there is seen that the supply system is in two branches branches that lead to the feed areas. This solves the problem in a simple manner Power supply to the two opposite Side edges of the pair of electrodes nearby feed areas to lead.

Vorteilhafterweise ist dabei vorgesehen, daß die beiden Einspeisebereiche mit demselben Leiter des Zuleitungs­ systems verbunden sind. Ferner ist es günstig, wenn der andere Leiter des Zuleitungssystems mit der Abschirmung verbunden ist.It is advantageously provided that the two Feed areas with the same conductor of the supply line systems are connected. It is also advantageous if the other conductors of the supply system with the shield connected is.

Um einen optimalen Stromfluß über das Elektrodenpaar zu erhalten ist es günstig, wenn die zu den Einspeisebe­ reichen führenden Zweigleitungen zu einer Phasendifferenz von ungefähr Lambda/2 zwischen den beiden Einspeisebe­ reichen gegeben ist und somit der maximal mögliche Strom auf diese fließt. To ensure optimal current flow across the pair of electrodes it is favorable if the get to the feed range leading branch lines to a phase difference of approximately lambda / 2 between the two feeders is given and thus the maximum possible current flows on this.  

Hinsichtlich der Art der Gestaltung der Elektrodenflächen wurden bislang keine weiteren Angaben gemacht. Eine ein­ fache Möglichkeit sieht dabei vor, daß die Elektroden­ flächen in Ebenen liegen. Die erfindungsgemäße Lösung ist jedoch nicht auf Ebenen als Elektrodenflächen limitiert, sondern auf alle beliebigen Arten von Elektrodenflächen, soweit sie für eine Anordnung eines Wellenleiters zwischen diesen geeignet sind.With regard to the type of design of the electrode surfaces no further details have been given so far. An one fold possibility provides that the electrodes surfaces lie in levels. The solution according to the invention is but not limited to levels as electrode areas, but on all kinds of electrode surfaces, insofar as they are between an arrangement of a waveguide these are suitable.

Ein besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel sieht vor, daß die Elektrodenflächen Zylinderflächen zweier inein­ anderliegender Zylinder sind. Bei diesem Ausführungsbei­ spiel lassen sich große Elektrodenflächen und somit eine große Laserverstärkung bei geometrisch raumsparender Bau­ weise erreichen. Ferner entfallen bei diesem Ausführungs­ beispiel alle Probleme mit einem Stromfluß auf die Elek­ trodenfläche im Gegenbereich von zwischen den Seitenkanten liegenden Längsseitenkanten, da diese nicht existieren.A particularly preferred embodiment provides that the electrode surfaces are cylindrical surfaces of two are opposite cylinder. In this execution case play large electrode areas and thus one large laser amplification with geometrically space-saving construction achieve wisely. Furthermore, this embodiment does not apply example all problems with a current flow on the elec tread surface in the opposite area from between the side edges lying longitudinal side edges, since these do not exist.

Ferner läßt sich die erfindungsgemäße Lösung in ein der­ artiges Konzept besonders vorteilhaft dann integrieren, wenn die Parallelleitungen innerhalb der inneren Zylinder­ flächen angeordnet sind.Furthermore, the solution according to the invention can be in one of the then integrate such a concept particularly advantageously, if the parallel lines inside the inner cylinder surfaces are arranged.

Zusätzlich läßt sich diese Lösung noch vorteilhaft dadurch ergänzen, daß die Hochfrequenzquelle innerhalb der inneren Zylinderfläche angeordnet ist.In addition, this solution can be advantageous supplement that the radio frequency source within the inner Cylinder surface is arranged.

Vorteilhafte Ausführungsbeispiele sind Gegenstand der nachfolgenden Be­ schreibung sowie der nachfolgenden zeichnerischen Dar­ stellung. Advantageous embodiments are the subject of the following Be spelling and the following graphic Dar position.  

In der Zeichnung zeigtIn the drawing shows

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Grundkonzepts der vorliegenden Erfindung ohne Hochfrequenz­ quelle; Fig. 1 is a schematic representation of the basic concept of the present invention without high frequency source;

Fig. 2 eine Gesamtkonzeption der erfindungsgemäßen Lösung mit schematischer Darstellung des Elek­ trodenpaars; Fig. 2 shows an overall concept of the solution according to the invention with a schematic representation of the pair of electrodes;

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines zweiten Aus­ führungsbeispiels der erfindungsgemäßen Lösung; Fig. 3 is a schematic representation of a second exemplary embodiment from the solution according to the invention;

Fig. 4 eine schematische ausschnittsweise Darstellung einer Variante des zweiten Ausführungsbeispiels; Fig. 4 is a schematic partial illustration of a variant of the second embodiment;

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines dritten Aus­ führungsbeispiels; Fig. 5 is a schematic representation of a third exemplary embodiment from;

Fig. 6 eine schematische Darstellung eines vierten Aus­ führungsbeispiels; Fig. 6 is a schematic representation of a fourth exemplary embodiment from;

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines fünften Aus­ führungsbeispiels im Längsschnitt; Fig. 7 is a schematic representation of a fifth exemplary embodiment from in longitudinal section;

Fig. 8 eine schematische Darstellung eines sechsten Aus­ führungsbeispiels im Längsschnitt; Fig. 8 is a schematic representation of a sixth exemplary embodiment from in longitudinal section;

Fig. 9 eine schematische Darstellung eines siebten Aus­ führungsbeispiels und Fig. 9 is a schematic representation of a seventh exemplary embodiment and

Fig. 10 eine schematische Darstellung eines achten Aus­ führungsbeispiels im Längsschnitt. Fig. 10 is a schematic representation of an eighth exemplary embodiment in longitudinal section.

Ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Laserstruktur umfaßt ein Elektrodenpaar 10, welches durch zwei Elektroden 12 und 14 gebildet ist. Jede dieser Elek­ troden 12 und 14 weist eine Elektrodenfläche 16 bzw. 18 auf, wobei die beiden Elektrodenflächen 16 und 18 einander gegenüberliegend angeordnet sind und in einem konstanten Abstand voneinander verlaufen. Zwischen den beiden Elek­ trodenflächen 16 und 18 liegt ein Entladungsraum 20, in welchem ein Lasergas angeordnet ist, wobei dieses Lasergas vorzugsweise nicht strömungsgekühlt, sondern diffusionsge­ kühlt ist und dabei durch Kontakt mit den Elektroden­ flächen 16 und 18 gekühlt wird.A first exemplary embodiment of a laser structure according to the invention comprises a pair of electrodes 10 which is formed by two electrodes 12 and 14 . Each of these electrodes 12 and 14 has an electrode surface 16 and 18 , respectively, the two electrode surfaces 16 and 18 being arranged opposite one another and running at a constant distance from one another. Between the two electrode surfaces 16 and 18 there is a discharge space 20 , in which a laser gas is arranged, this laser gas preferably not being flow-cooled, but being diffusion-cooled, and surfaces 16 and 18 being cooled by contact with the electrodes.

Zusätzlich liegt zwischen Elektrodenflächen 16 und 18 ein Wellenleiter 22, welcher zwei Wellenleiterflächen umfaßt, die entweder zwischen den Elektrodenflächen 16 und 18 liegen, im einfachsten Fall jedoch durch die Elektroden­ flächen 16 und 18 selbst gebildet werden, wobei zur Aus­ bildung der Elektrodenflächen 16 und 18 diese als für die sich im Entladungsraum ausbildende Laserstrahlung reflek­ tierend ausgebildet sind. Zusätzlich wird eine Führungs­ richtung 24 des Wellenleiters vorzugsweise durch äußere Spiegel eines Resonators vorgegeben, die in Fig. 1 aus Gründen der Vereinfachung nicht dargestellt sind.In addition, between the electrode surfaces 16 and 18 is a waveguide 22 , which comprises two waveguide surfaces, which are either between the electrode surfaces 16 and 18 , but in the simplest case, are formed by the electrode surfaces 16 and 18 itself, with the formation of the electrode surfaces 16 and 18th these are designed as reflecting for the laser radiation forming in the discharge space. In addition, a guide direction 24 of the waveguide is preferably predetermined by external mirrors of a resonator, which are not shown in FIG. 1 for reasons of simplification.

Zur Anregung des im Entladungsraum 20 angeordneten Laser­ gases wird den beiden Elektrodenflächen 16 und 18 ein hochfrequenter Strom mit einer Frequenz im Bereich von un­ gefähr 100 MHz und mehr zugeführt. Dies erfolgt im Fall der Elektrodenfläche 18 erfindungsgemäß durch Stromzufuhr in einem Einspeisebereich 30, welcher in unmittelbarer Nähe einer Seitenkante 32 des Elektrodenpaares 10 liegt. Dieser Einspeisebereich 30 ist über ein um die Seitenkante 32 der Elektrode 14 bis auf deren Rückseite 34 geführtes Leiterstück 36 mit einem Anschluß A und über diesen mit einem in Fig. 1 zeichnerisch nicht dargestellten Zulei­ tungssystem verbunden.To excite the laser gas arranged in the discharge space 20 , the two electrode surfaces 16 and 18 are supplied with a high-frequency current with a frequency in the range of approximately 100 MHz and more. In the case of the electrode surface 18, this takes place according to the invention by supplying current in a feed region 30 which is in the immediate vicinity of a side edge 32 of the pair of electrodes 10 . This feed area 30 is connected via a around the side edge 32 of the electrode 14 up to the rear 34 conductor piece 36 with a connection A and via this with a line system not shown in FIG .

Im Fall der Elektrodenfläche 16 erfolgt die Stromzufuhr über einen Einspeisebereich 40, welcher in unmittelbarer Nähe einer Seitenkante 42 des Elektrodenpaares 10 liegt, die auf der der Seitenkante 32 gegenüberliegenden Seite des Elektrodenpaares 10 angeordnet ist. Der Einspeisebe­ reich 40 ist dabei über ein um die Seitenkante 42 der Elektrode 12 bis auf deren Rückseite 44 geführtes Leiter­ stück 46 mit einem Anschluß B versehen, zu welchem das in Fig. 1 zeichnerisch nicht dargestellte Zuleitungssystem führt.In the case of the electrode surface 16 , the current is supplied via a feed region 40 which is in the immediate vicinity of a side edge 42 of the pair of electrodes 10 , which is arranged on the side of the pair of electrodes 10 opposite the side edge 32 . The Einspeisebe rich 40 is about a around the side edge 42 of the electrode 12 to the rear 44 lead piece 46 provided with a terminal B, to which the supply system not shown in Fig. 1 leads.

Das Zuleitungssystem, als Ganzes mit 50 bezeichnet, ist in Fig. 2 dargestellt und führt von einer Hochfrequenzquelle 52 beispielsweise als Koaxialleitung 54 mit einem Außen­ leiter 56 und einem Innenleiter 58 zu einem Anschluß C, an welchem der Außenleiter 56 über einem Leiter 48 mit dem Anschluß B verbunden ist und der Innenleiter 58 über einen Leiter 38 mit dem Anschluß A. The supply system, designated as a whole by 50 , is shown in Fig. 2 and leads from a high-frequency source 52, for example as a coaxial line 54 with an outer conductor 56 and an inner conductor 58 to a terminal C, to which the outer conductor 56 via a conductor 48 with the Connection B is connected and the inner conductor 58 via a conductor 38 to the connection A.

Das erfindungsgemäße Zuleitungssystem 50 ermöglicht somit die gegenüberliegenden Einspeisebereiche 30, 40 mit der Hochfrequenzquelle 52 zu verbinden und dadurch in dem Ent­ ladungsraum 20 das Lasergas so anzuregen, daß keine Feld­ stärkemodulationen in dem Lasergas auftreten und somit keinerlei Inhomogenitäten.The supply system 50 according to the invention thus enables the opposite feed areas 30 , 40 to be connected to the high-frequency source 52 and thereby excite the laser gas in the discharge space 20 so that no field strength modulations occur in the laser gas and thus no inhomogeneities.

Die in Fig. 2 dargestellte Lösung mit dem Zuleitungssystem 50 hat jedoch den Nachteil, daß der um die Elektrode 12 geführte Leiter 48 eine große Induktivität bildet.The solution shown in FIG. 2 with the supply system 50 , however, has the disadvantage that the conductor 48 led around the electrode 12 forms a large inductance.

Diese Induktivität ist in erheblichem Maße reduziert, wenn, wie bei einem zweiten Ausführungsbeispiel, darge­ stellt in Fig. 3, der Leiter 48 keine große, die Elektrode 12 übergreifende Leiterschleife bildet.This inductance is considerably reduced if, as in a second exemplary embodiment, as shown in FIG. 3, the conductor 48 does not form a large conductor loop spanning the electrode 12 .

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 3 umfaßt das Zuleitungssystem 60 neben der Koaxialleitung 54 anstelle des Leiters 48 eine Parallelleitung 62, welche zusätzlich als Strombegrenzungselement ausgebildet ist und einen ersten Leiter 64 sowie einen zweiten Leiter 66 um­ faßt, zwischen denen ein Dielektrikum 68 angeordnet ist.In the second exemplary embodiment, shown in FIG. 3, in addition to the coaxial line 54, instead of the conductor 48, the supply line system 60 comprises a parallel line 62 , which is additionally designed as a current limiting element and comprises a first conductor 64 and a second conductor 66 , between which a dielectric 68 is arranged.

Die Parallelleitung 62 ist dabei auf der Rückseite 44 der Elektrode 12 angeordnet und weist zwei eingangsseitige An­ schlüsse D und E auf, wobei der Anschluß D mit dem ersten Leiter 64 verbunden ist und der Anschluß E mit dem zweiten Leiter 66.The parallel line 62 is arranged on the rear side 44 of the electrode 12 and has two input-side connections D and E, the connection D being connected to the first conductor 64 and the connection E being connected to the second conductor 66 .

Ferner weist das Strombegrenzungselement noch zwei aus­ gangsseitige Anschlüsse F und G auf, welche über ein Kurz­ schlußelement 84 kurzgeschlossen und mit dem Anschluß B und damit mit dem Einspeisebereich 40 verbunden sind. Furthermore, the current limiting element also has two connections F and G on the output side, which are short-circuited via a short-circuit element 84 and are connected to the connection B and thus to the feed region 40 .

Ferner ist der Anschluß E mit einem nahe der dem Ein­ speisebereich 40 gegenüberliegenden Seitenkante 32 liegenden Gegenbereich 72 der Elektrodenfläche 16 ver­ bunden.Furthermore, the connection E with a near the a feeding area 40 opposite side edge 32 lying opposite area 72 of the electrode surface 16 is connected ver.

Die Parallelleitung 62 ist nun über den Anschluß D und einen Leiter 74 mit dem Außenleiter 56 der Koaxialleitung 54 im Gegenbereich des Anschlusses C verbunden, während der Innenleiter 58 wie in Fig. 2 dargestellt und im Zu­ sammenhang hiermit beschrieben, über den Leiter 38 zum Anschluß A führt.The parallel line 62 is now connected via the connection D and a conductor 74 to the outer conductor 56 of the coaxial line 54 in the opposite region of the connection C, while the inner conductor 58 as shown in FIG. 2 and described in connection therewith, via the conductor 38 for connection A leads.

Die als Strombegrenzungselement ausgebildete Parallellei­ tung 62 dient nun dazu, zu verhindern, daß über den An­ schluß E ein Strom in den nahe der Seitenkante 32 liegen­ den Gegenbereich 72 der Elektrodenfläche 16 fließt. Hierzu ist das Strombegrenzungselement 62 mit seinen beiden Lei­ tern 64 und 66 und dem Dielektrikum 68 als Lambda/4-Lei­ tung - das heißt mit einer einem ungeradzahligen Viel­ fachen eines Viertels der Wellenlänge Lambda der Hoch­ frequenz entsprechenden Länge - ausgebildet, welche an den Anschlüssen F und G kurzgeschlossen ist. Dadurch wird der zwischen den Anschlüssen F und G bestehende Kurzschluß so auf die Anschlüsse D und E transformiert, daß diese hoch­ ohmig voneinander getrennt sind, so daß kein Strom von D über E fließen kann, somit E hochohmig von D entkoppelt ist, und folglich von dem Anschluß E kein Strom zum Gegen­ bereich 72 der Elektrodenfläche 16 fließen kann. The trained as a current limiting element parallel line device 62 now serves to prevent that on the circuit E to a current in the near the side edge 32 , the counter region 72 of the electrode surface 16 flows. For this purpose, the current limiting element 62 is formed with its two conductors 64 and 66 and the dielectric 68 as a lambda / 4 line - that is to say with an odd multiple times a quarter of the wavelength lambda of the high frequency - which is formed at the connections F and G is short-circuited. As a result, the short circuit existing between the connections F and G is transformed into the connections D and E in such a way that they are separated from one another with a high resistance, so that no current can flow from D via E, and thus E is decoupled from D with a high resistance, and consequently from the terminal E can flow no current to the counter area 72 of the electrode surface 16 .

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 3 fließt somit beispielsweise ausgehend von dem Anschluß G ein Strom von dem Innenleiter 58 über den Leiter 38 zum Anschluß A, von dort über das Leitungsstück 36 zum Ein­ speisebereich 30 und dann auf die gesamte Elektrodenfläche 18. Dieser Strom fließt ferner durch die sich im Entla­ dungsraum 20 im Lasergas ausbildende Entladung zur Elek­ trodenfläche 16, von dieser über den Einspeisebereich 40, den Anschluß B und das die Leiterstücke 46 zum Anschluß F, von diesem über das Kurzschlußelement 84, den ersten Leiter 64 zum Anschluß D und von dort über den Leiter 74 zum Außenleiter 56 der Koaxialleitung 54. Wie bereits vor­ her erwähnt, fließt aufgrund der hochohmigen Transforma­ tion des Kurzschlusses zwischen F und G bei der Lambda/4- Leitung kein Strom zwischen D und E und somit auch von der Elektrodenoberfläche 16 kein Strom über den Gegenbereich 72 zum Anschluß E und vom Anschluß E über den zweiten Leiter 66, den Kurzschluß zwischen F und G und den ersten Leiter 64 zum Anschluß D.In the second exemplary embodiment, shown in FIG. 3, a current flows from the inner conductor 58, for example, from the inner conductor 58 via the conductor 38 to the terminal A, from there via the line piece 36 to a feed region 30 and then to the entire electrode surface 18 . This current also flows through the discharge space 20 formed in the laser gas discharge to the electrode surface 16 , from this via the feed region 40 , the connection B and the conductor pieces 46 to the connection F, from this via the short-circuit element 84 , the first conductor 64 to connection D and from there via conductor 74 to outer conductor 56 of coaxial line 54 . As already mentioned before, due to the high-impedance transformation of the short circuit between F and G in the lambda / 4 line, no current flows between D and E and thus no current from the electrode surface 16 via the counter region 72 to the connection E and from the connection E via the second conductor 66 , the short circuit between F and G and the first conductor 64 to the connection D.

Vorzugsweise erstreckt sich die Parallelleitung 62 über die gesamte Rückseite der Elektrode 12, das heißt sowohl im wesentlichen über deren Länge und über deren Breite, um auch einen Strom über die Seitenkanten 74 der Elektrode 12 auf die Elektrodenfläche 16 zu unterdrücken.The parallel line 62 preferably extends over the entire rear side of the electrode 12 , that is to say both essentially over its length and over its width, in order also to suppress a current via the side edges 74 of the electrode 12 onto the electrode surface 16 .

Eine Variante des Strombegrenzungselements 62 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel, sieht vor, daß - wie in Fig. 4 dargestellt - der erste Leiter 64 und der zweite Leiter 66 als Bandleiter ausgebildet sind und quer zu ihrer Längsrichtung 80 eine der Elektrode 12 entsprechende Breite, d. h. Erstreckung in einer Querrichtung 82, auf­ weisen. Zwischen beiden Leitern 64 und 66 liegt dabei das ebenfalls bandförmig ausgebildete Dielektrikum 68.A variant of the current limiting element 62 in accordance with the second exemplary embodiment provides that — as shown in FIG. 4 — the first conductor 64 and the second conductor 66 are designed as a strip conductor and a width corresponding to the electrode 12 , ie extension, transversely to their longitudinal direction 80 in a transverse direction 82 . The dielectric 68 , which is also in the form of a strip, lies between the two conductors 64 and 66 .

Dabei erfolgt die Ausbildung des Kurzschlusses zwischen F und G durch einen sich über die Querrichtung 82 der Band­ leiter 64 und 66 erstreckenden Steg 84, welcher längs der Querrichtung 82 sowohl über deren gesamte Erstreckung mit dem Leiter 64 als auch dem Leiter 66 verbunden ist, so daß der Steg 84 sich über die gleiche Breite in der Querrich­ tung 82 erstreckt und auch über diese Breite die Leiter 64 und 66 kurzschließt.The short circuit between F and G is formed by a web 84 which extends over the transverse direction 82 of the band conductors 64 and 66 and which is connected along the transverse direction 82 over its entire extent to the conductor 64 and the conductor 66 , so that the web 84 extends over the same width in the transverse direction 82 and also short-circuits the conductors 64 and 66 over this width.

Die Verbindung mit dem Anschluß B erfolgt über einen vom Steg 84 wegführendes und von einer Oberfläche 92 der Elek­ trode 12 vom Anschluß B bis zur Seitenkante 42 und über die Seitenkante 42 hinweg verlaufendes Bandleiterstück 86, welches vorzugsweise die gleiche Erstreckung in der Quer­ richtung 82 wie der Steg 84 aufweist.The connection to the connector B is made via a web 84 leading away from a surface 92 of the electrode 12 from the connector B to the side edge 42 and across the side edge 42 and a strip conductor piece 86 , which preferably has the same extension in the transverse direction 82 as the web 84 has.

Da sich bei den erfindungsgemäß verwendeten hohen Fre­ quenzen lediglich auf der dem Leiter 66 zugewandten Innen­ fläche 88 des Leiters 64 ein Strombelag 90 ausbildet, muß dieser Strombelag 90 im Steg 84 die Oberfläche desselben wechseln, um auf der Oberfläche 92 des Bandleiters 86 zum Einspeisebereich 40 fließen zu können.Since at the high frequencies used in accordance with the invention only a current coating 90 is formed on the inner surface 88 of the conductor 64 facing the conductor 66 , this current coating 90 in the web 84 must change the surface thereof in order to pass on the surface 92 of the strip conductor 86 to the feed region 40 to be able to flow.

Hierzu ist der Steg 84 mit Perforationen 94 versehen, durch welche der Strombelag 90 durch den Steg hindurch­ treten und auf der Oberfläche 92 zum Einspeisebereich 40 fließen kann. For this purpose, the web 84 is provided with perforations 94 , through which the current coating 90 can pass through the web and flow on the surface 92 to the feed region 40 .

Bei einem dritten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 5, ist das Strombegrenzungselement 62 in gleicher Weise ausgebildet wie beim zweiten Ausführungsbeispiel, insbe­ sondere der in Fig. 4 dargestellten Variante des zweiten Ausführungsbeispiels, so daß auf die vorstehenden diesbe­ züglichen Ausführungen vollinhaltlich Bezug genommen wird.In a third embodiment, shown in Fig. 5, the current limiting element 62 is formed in the same manner as in the second embodiment, in particular the variant of the second embodiment shown in Fig. 4, so that full reference is made to the above relevant statements.

Die Elektrode 12 trägt dabei auf ihrer Rückseite 44 vor­ zugsweise die leitende Oberfläche 92, welche den Leiter 44 bildet und mit dem Steg 84 über die gesamte Erstreckung desselben in der Querrichtung 82 leitend verbunden ist. Der Abschnitt des teilweise von der leitenden Oberfläche 92 gebildeten Bandleiters 86 zwischen dem Steg 84 und dem Einspeisebereich 40 der Elektrodenfläche 16 stellt dabei einen sich an das Strombegrenzungselement 62 anschließen­ den und nicht zu vernachlässigenden Leiter dar, wobei über diesen Leiter eine Impedanzanpassung zwischen den An­ schlüssen D und A an die Impedanz des im Entladungsraum 20 vorliegenden und mit Hochfrequenz angeregten Lasergases möglich ist. Diese Impedanzanpassung ist dabei durch Variation der Dimension des Bandleiters 86 durchführbar.The electrode 12 carries on its back 44 preferably the conductive surface 92 , which forms the conductor 44 and is conductively connected to the web 84 over the entire extent thereof in the transverse direction 82 . The section of the strip conductor 86, which is partially formed by the conductive surface 92 , between the web 84 and the feed region 40 of the electrode surface 16 represents a conductor, which is connected to the current limiting element 62 and is not to be neglected, an impedance matching between the connections being made via this conductor D and A to the impedance of the laser gas present in the discharge space 20 and excited with high frequency is possible. This impedance matching can be carried out by varying the dimension of the strip conductor 86 .

Zusätzlich wird die Impedanzanpassung noch durch einen zwischen D und A liegenden Blindwiderstand 96 erleichtert.In addition, the impedance matching is further facilitated by a reactance 96 lying between D and A.

Bei einem vierten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 6, finden zwei Elektrodenpaare 10a und 10b Verwendung, wobei die beiden Elektrodenpaare symmetrisch zu einer Mittelebene 100 angeordnet sind. Darüber hinaus sind die Elektroden 12a und 12b so angeordnet, daß deren Elektro­ denflächen 16a und 16b in einer Ebene 102 liegen und ferner sind die Elektroden 14a und 14b so angeordnet, daß deren Elektrodenflächen 18a und 18b in einer gemeinsamen Ebene 104 liegen. Die Symmetrieebene 100 steht dabei vor­ zugsweise senkrecht auf den Ebenen 102 und 104.In a fourth exemplary embodiment, shown in FIG. 6, two pairs of electrodes 10 a and 10 b are used, the two pairs of electrodes being arranged symmetrically to a central plane 100 . In addition, the electrodes 12 a and 12 b are arranged so that their electrode surfaces 16 a and 16 b lie in a plane 102 and further the electrodes 14 a and 14 b are arranged such that their electrode surfaces 18 a and 18 b in one common level 104 lie. The plane of symmetry 100 is preferably perpendicular to the planes 102 and 104 .

Auf den Rückseiten 70a und 70b der beiden Elektroden sind dabei ebenfalls Strombegrenzungselemente 62a und 62b ange­ ordnet, die in gleicher Weise, wie im Zusammenhang mit dem zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben funktionieren, so daß diesbezüglich auf das zweite Ausführungsbeispiel Bezug genommen werden kann.On the back 70 a and 70 b of the two electrodes, current limiting elements 62 a and 62 b are also arranged, which function in the same way as described in connection with the second embodiment, so that reference can be made to the second embodiment in this regard.

Das Zuleitungssystem 61 ist dabei so ausgebildet, daß die Elektrodenflächen 16a und 16b sowie 18a und 18b in Reihe geschaltet sind. Hierzu sind zwei Innenleiter 58a und 58b einer symmetrischen Zuleitung 55 mit dem Anschluß Da bzw. Db verbunden, so daß der zugeführte Strom über den Leiter 64b zum Einspeisebereich 40b fließt und dort auf die Elek­ trodenfläche 16b gelangt, von welcher ausgehend der Strom durch das angeregte Lasergas im Entladungsraum 20b auf die Elektrode 18b fließt und von dort zu dem Einspeisebereich 30b. Der Anschluß Ab ist ferner mit dem Anschluß Aa des Einspeisebereichs 30a verbunden, so daß der Strom wie beim zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben auf die Elektro­ denfläche 18a strömt und in identischer Weise wie bereits beim zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben zum Anschluß Da. The supply system 61 is designed so that the electrode surfaces 16 a and 16 b and 18 a and 18 b are connected in series. For this purpose, two inner conductors 58 a and 58 b of a symmetrical feed line 55 are connected to the connection Da or Db, so that the current supplied flows via the conductor 64 b to the feed region 40 b and arrives there on the electrode surface 16 b, from which starting point the current flows through the excited laser gas in the discharge space 20 b onto the electrode 18 b and from there to the feed region 30 b. The connection Ab is also connected to the connection Aa of the feed area 30 a, so that the current as described in the second embodiment flows onto the electrode surface 18 a and in an identical manner to that described in the second embodiment for connection Da.

Beide Strombegrenzungselemente 62a und 62b sind dabei so ausgebildet, daß zwischen Db und Eb sowie zwischen Da und Ea kein Strom fließen kann. Die Anschlüsse Ea und Eb können miteinander verbunden als auch voneinander getrennt sein. Somit fließt im Bereich der Gegenbereiche 72a und 72b der Elektrodenflächen 16a und 16b kein Strom auf diese.Both current limiting elements 62 a and 62 b are designed so that no current can flow between Db and Eb and between Da and Ea. The connections Ea and Eb can be connected to one another or separated from one another. Thus, in the area of the counter areas 72 a and 72 b of the electrode surfaces 16 a and 16 b, no current flows on them.

Das vierte Ausführungsbeispiel hat den Vorteil, daß im Gegenbereich der einander abgewandten Seitenkanten 42a und 42b Spiegel oder weitere laseraktive Systeme ohne Behin­ derung durch die HF-Zuleitung für die Elektroden 12 und 14 angeordnet werden können.The fourth embodiment has the advantage that in the opposite region of the side edges 42 a and 42 b facing away from one another, mirrors or other laser-active systems can be arranged without hindrance by the HF feed line for the electrodes 12 and 14 .

Bei einem fünften Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 7, sind die Elektrodenflächen 16′ und 18′ keine ebenen Flächen, sondern Zylinderflächen, die beispielsweise koaxial zu einer Zylinderachse 110 angeordnet sind. In gleicher Weise sind die Elektroden 12′ und 14′ koaxial zur Zylinderachse 110 angeordnete Zylinder.In a fifth embodiment, shown in Fig. 7, the electrode surfaces 16 'and 18 ' are not flat surfaces, but cylindrical surfaces which are arranged, for example, coaxially to a cylinder axis 110 . In the same way, the electrodes 12 'and 14 ' are arranged coaxially to the cylinder axis 110 cylinders.

Ferner ist auch das Strombegrenzungselement 62′ rotations­ symmetrisch zur Zylinderachse 110 ausgebildet und umfaßt einen rotationssymmetrisch zur Zylinderachse verlaufenden Leiter 64′ sowie einen ebenfalls rotationssymmetrisch zur Zylinderachse verlaufenden Leiter 66′ sowie ein rotations­ symmetrisch zwischen beiden sich erstreckendes Dielektri­ kum 68′. Gleiches gilt für den Steg 84′ und den Leiter 86′, die im Zusammenhang mit der Variante des zweiten Aus­ führungsbeispiels in Fig. 4 beschrieben wurden. Furthermore, the current limiting element 62 'is rotationally symmetrical to the cylinder axis 110 and includes a rotationally symmetrical to the cylinder axis extending conductor 64 ' and a likewise rotationally symmetrical to the cylinder axis conductor 66 'and a rotationally symmetrical between the two extending dielectric 68 '. The same applies to the web 84 'and the conductor 86 ', which have been described in connection with the variant of the second exemplary embodiment in Fig. 4.

Im übrigen funktioniert das fünfte Ausführungsbeispiel vom Prinzip her genau gleich wie das zweite Ausführungsbei­ spiel, insbesondere dessen in Fig. 4 dargestellte Varian­ te, so daß diesbezüglich dieselben, lediglich mit einem Strich versehenen Bezugszeichen verwendet werden und außerdem auf die Ausführungen zum zweiten Ausführungsbei­ spiel vollinhaltlich Bezug genommen werden kann.Otherwise, the fifth embodiment works in principle exactly the same as the second game, especially its variants shown in Fig. 4 te, so that in this regard the same, only with a dash reference numerals are used and also on the explanations of the second game in full Can be referenced.

Ein sechstes Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 8, basiert auf der rotationssymmetrischen Ausführung des vierten Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 6. Die Elektroden­ flächen 18a′ und 18b′ sind dabei ebenfalls rotationssymme­ trisch zur Zylinderachse 110 angeordnet.A sixth embodiment, shown in FIG. 8, is based on the rotationally symmetrical embodiment of the fourth embodiment according to FIG. 6. The electrode surfaces 18 a 'and 18 b' are also arranged rotationally symmetrical to the cylinder axis 110 .

Es wird daher vollinhaltlich auf die Ausführungen zum vierten Ausführungsbeispiel Bezug genommen und es werden dieselben Bezugszeichen - lediglich mit einem Strich ver­ sehen - verwendet.It is therefore in full on the comments on fourth embodiment referred and it will the same reference numerals - only with a dash ver see - used.

Bei dem in Fig. 8 dargestellten sechsten Ausführungsbei­ spiel liegen ferner die Strombegrenzungselemente 62a und 62b im Innern des von den Elektroden 12a′ und 12b′ gebil­ deten inneren Zylinders. Zusätzlich erlaubt diese Lösung auch noch, die Hochfrequenzquelle 52′ in einem Innenraum 112 der Elektroden 12a′ und 12b′ anzuordnen, so daß die gesamte Hochfrequenzversorgung innerhalb der Elektroden 12a′ und 12b′ angeordnet ist und somit insbesondere die Anordnung der Spiegel oder mehrerer laseraktiver Einheiten hintereinander, beispielsweise als Laser und nachgeord­ netes Laser-Verstärker-System, nicht stört. In the sixth exemplary embodiment shown in FIG. 8, the current limiting elements 62 a and 62 b are also located inside the inner cylinder formed by the electrodes 12 a 'and 12 b'. In addition, this solution also allows the high-frequency source 52 'to be arranged in an interior 112 of the electrodes 12 a' and 12 b ', so that the entire high-frequency supply is arranged within the electrodes 12 a' and 12 b 'and thus in particular the arrangement of the mirrors or several laser-active units in a row, for example as a laser and nachgeord netes laser amplifier system, does not interfere.

Im übrigen wird hinsichtlich der weiteren Merkmale des sechsten Ausführungsbeispiels auf die Ausführungen zum vierten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 Bezug genommen. Der einzige Unterschied zu diesem Ausführungsbeispiel be­ steht darin, daß die Elektrodenflächen 16a′ und 16b′ sowie 18a′ und 18b′ nunmehr Zylinderflächen sind und nicht mehr in Ebenen 102 und 104 sondern auf Zylinderflächen 102′ und 104′ liegen.For the rest, with regard to the further features of the sixth exemplary embodiment, reference is made to the explanations for the fourth exemplary embodiment according to FIG. 6. The only difference to this embodiment is that the electrode surfaces 16 a 'and 16 b' and 18 a 'and 18 b' are now cylindrical surfaces and no longer in planes 102 and 104 but on cylinder surfaces 102 'and 104 '.

Bei einem siebten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 9, ist das Elektrodenpaar 10 in gleicher Weise ausgebil­ det, wie bei den Ausführungsbeispielen gemäß Fig. 1 bis 5. Aus diesem Grund sind die gleichen Bezugszeichen verwendet und es wird vollinhaltlich auf die Ausführungen zu diesem Ausführungsbeispiel Bezug genommen.In a seventh exemplary embodiment, shown in FIG. 9, the pair of electrodes 10 is configured in the same way as in the exemplary embodiments according to FIGS. 1 to 5. For this reason, the same reference numerals are used and the content of the explanations relating to this exemplary embodiment is used in full Referred.

Ferner ist die Parallelleitung 62 in gleicher Weise ausge­ bildet, wie beim zweiten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 und 4, so daß sich die Parallelleitung 62 im wesentlichen über die gesamte Länge und Breite der Rückseite 44 der Elektrode 12 erstreckt.Furthermore, the parallel line 62 is formed in the same way as in the second embodiment shown in FIGS . 3 and 4, so that the parallel line 62 extends substantially over the entire length and width of the back 44 of the electrode 12 .

In gleicher Weise ist auf der Rückseite 44 der Elektrode 14 eine Parallelleitung 162 vorgesehen, welche sich im wesentlichen über die gesamte Länge und Breite der Rück­ seite 34 der Elektrode 14 erstreckt.In the same way, a parallel line 162 is provided on the back 44 of the electrode 14 , which extends essentially over the entire length and width of the back side 34 of the electrode 14 .

Im Gegensatz zum zweiten Ausführungsbeispiel ist das Elek­ trodenpaar 10 in einem Abschirmgehäuse 164 angeordnet, welches das gesamte Elektrodenpaar umgibt und zur Abschir­ mung der Hochfrequenz dient. In contrast to the second exemplary embodiment, the pair of electrodes 10 is arranged in a shielding housing 164 which surrounds the entire pair of electrodes and is used for shielding the high frequency.

Das Zuleitungssystem 160 umfaßt dabei eine ebenfalls von der Hochfrequenzquelle kommende Zuleitung 54, welche als Koaxialleitung ausgebildet ist. Diese Zuleitung 54 ver­ zweigt sich an einer Verzweigung 166 in eine Zweigleitung 168, deren Innenleiter 170 zum Anschluß A geführt ist und in eine Zweigleitung 172, deren Innenleiter 174 zum An­ schluß B des Elektrodenpaars 10 geführt ist. Ferner sind beide Außenleiter 176 und 178 der Zweigleitungen 168 und 172 mit dem Abschirmgehäuse 164 verbunden.The feed line system 160 in this case comprises a feed line 54 , likewise coming from the high-frequency source, which is designed as a coaxial line. This lead 54 ver branches at a junction 166 in a branch line 168 , the inner conductor 170 is led to the connection A and in a branch line 172 , the inner conductor 174 to the circuit B to the electrode pair 10 is performed. Furthermore, both outer conductors 176 and 178 of the branch lines 168 and 172 are connected to the shield housing 164 .

Eine Stromzufuhr zu den beiden Elektrodenflächen 16 und 18 ist jedoch nur dann möglich, wenn zwischen den Anschlüssen A und B eine Spannungsdifferenz vorliegt. Dies wird da­ durch erreicht, daß die Zweigleitungen 168 und 172 derart unterschiedlich gestaltet sind, daß an den Anschlüssen A und B eine möglichst große Phasendifferenz der Hochfre­ quenz herrscht. Vorzugsweise wird eine Phasendifferenz von Lambda/2 angestrebt. Dies ist im einfachsten Fall dadurch realisierbar, daß die Zweigleitungen 168 und 172 eine um Lambda/2 oder ein ungeradzahliges Vielfaches von Lambda/2 sich unterscheidende Länge aufweisen.However, a current supply to the two electrode surfaces 16 and 18 is only possible if there is a voltage difference between the connections A and B. This is achieved by the fact that the branch lines 168 and 172 are designed so differently that the largest possible phase difference of the high frequency prevails at the connections A and B. A phase difference of lambda / 2 is preferably sought. In the simplest case, this can be achieved in that the branch lines 168 and 172 have a length that differs by lambda / 2 or an odd multiple of lambda / 2.

Dadurch, daß sich nun zwischen einer den Parallelleitungen 62 und 162 zugewandten Innenseite 180 des Abschirmgehäuses 164 und dieser zugewandten Rückseiten 182 bzw. 184 der Parallelleitungen 62 bzw. 162 Felder ausbilden, erfolgt eine Ausbildung eines Stroms auf diesen Rückseiten 182 und 184, so daß sich vorteilhafterweise die Strombegrenzungs­ elemente 60 bzw. 160 über die gesamte Länge und Breite der Elektroden 12 bzw. 14 erstrecken, um deren Rückseiten 44 bzw. 34 möglichst weitgehend abzu­ schirmen und einen Stromzufluß zu den Elektrodenflächen 16 und 18 in Bereichen außerhalb der Einspeisebereiche 30 bzw. 40 zu verhindern. Since fields are now formed between an inner side 180 of the shielding housing 164 facing the parallel lines 62 and 162 and the rear sides 182 and 184 of the parallel lines 62 and 162 facing them, a current is formed on these rear sides 182 and 184 , so that Advantageously, the current limiting elements 60 and 160 extend over the entire length and width of the electrodes 12 and 14 in order to shield their rear sides 44 and 34 as much as possible and to provide a current flow to the electrode surfaces 16 and 18 in areas outside the feed areas 30 and To prevent 40 .

Bei einem achten Ausführungsbeispiel, dargestellt in Fig. 10 ist das Elektrodenpaar 10′ prinzipiell in gleicher Weise ausgebildet, wie bei dem fünften Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7. Gleiches gilt für die Parallelleitungen 62′. Aus diesem Grund werden die gleichen Bezugszeichen verwen­ det wie beim fünften Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7, und es wird hinsichtlich der Beschreibung des Elektrodenpaars und der Parallelleitungen vollinhaltlich auf das fünfte Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7 Bezug genommen.In an eighth exemplary embodiment, shown in FIG. 10, the pair of electrodes 10 'is in principle designed in the same way as in the fifth exemplary embodiment according to FIG. 7. The same applies to the parallel lines 62 '. For this reason, the same reference numerals are det USAGE as in the fifth embodiment shown in FIG. 7, and reference is made 7 as regards the description of the electrode pair and the parallel lines in full to the fifth embodiment of FIG..

Die Zufuhr des hochfrequenten Stroms erfolgt nach dem gleichen Prinzip wie beim siebten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9, allerdings unter Einbeziehung des Gehäuses 164′. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist der Außenleiter 56 der koaxialen Zuleitung 54 mit einer Außenwand 190 des Gehäuses 164′ verbunden und der Innenleiter 58 mit einer Innenwand 192, wobei die Außenwand 190 und die Innenwand 182 durch ein Dielektrikum 194 getrennt sind und beide zusammen eine Parallelleitung bilden. Ferner ist der Innenleiter 58 über ein Leiterstück 196 mit den An­ schlüssen A der den inneren Zylinder bildenden Elektrode 14′ verbunden. Das Leiterstück 196 entspricht dabei der Zweigleitung 168 des siebten Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 9. Ferner bilden die äußere Gehäusewand 190, die innere Gehäusewand 192 und das dazwischenliegende Dielek­ trikum 194 eine zweite Zweigleitung 198, welche über einen Steg 200 mit den Anschlüssen B verbunden ist. The supply of the high-frequency current is based on the same principle as in the seventh embodiment shown in FIG. 9, but with the inclusion of the housing 164 '. In this embodiment, the outer conductor 56 of the coaxial feed line 54 is connected to an outer wall 190 of the housing 164 'and the inner conductor 58 is connected to an inner wall 192 , the outer wall 190 and the inner wall 182 being separated by a dielectric 194 and both forming a parallel line. Furthermore, the inner conductor 58 is connected via a conductor piece 196 to the connections A to the electrode 14 forming the inner cylinder '. The conductor piece 196 corresponds to the branch line 168 of the seventh embodiment shown in FIG. 9. Furthermore, the outer housing wall 190 , the inner housing wall 192 and the intermediate dielectric 194 form a second branch line 198 , which is connected via a web 200 to the terminals B.

Die Zweigleitungen 196 und 198 sind ebenfalls so abge­ stimmt, daß an den Punkten A und B eine möglichst große Phasendifferenz, möglichst in Form eines ungeradzahligen Vielfachen von Lambda/2 exisitiert.The branch lines 196 and 198 are also tuned so that the greatest possible phase difference exists at points A and B, preferably in the form of an odd multiple of lambda / 2.

Im übrigen ist das Elektrodenpaar 10′ durch das Gehäuse 164′ vollständig nach außen abgeschirmt.Otherwise, the pair of electrodes 10 'is completely shielded from the outside by the housing 164 '.

Das Strombegrenzungselement 62′ dient in gleicher Weise wie beim siebten Ausführungsbeispiel dazu, einen Strom auf den Gegenbereich 72′ zu unterbinden, wobei dies Ströme sind, die sich auf der Rückseite 182′ der Parallelleitung 62′ und der Rückseite 44′ der Elektrode 12′ durch Kopplung mit dem umgebenden Leiter, das heißt mit der Innenwand 192 ausbilden. Allerdings entfallen bei diesem Ausführungsbei­ spiel die Probleme hinsichtlich eines Stromflusses über die Längsseitenkanten 74 auf die Elektrodenfläche 16′, da die Elektrode 12′ ein geschlossener Zylinder ist. Aus diesem Grund besteht keine Notwendigkeit, daß sich die Parallelleitung 62′ über die gesamte Länge der Elektrode 12′ in Richtung der Achse 110 auf der Rückseite 44′ der­ selben erstreckt. Es reicht, wenn die Parallelleitung 62′ lediglich dazu dient, einen Stromfluß auf den Einspeisebe­ reich 72′ durch entsprechende Dimensionierung als Lambda/4-Leitung zu unterdrücken.The current limiting element 62 'serves in the same way as in the seventh embodiment to prevent a current to the counter region 72 ', these being currents which are on the rear side 182 'of the parallel line 62 ' and the rear side 44 'of the electrode 12 ' Form coupling with the surrounding conductor, that is, with the inner wall 192 . However, in this embodiment, the problems with regard to a current flow over the longitudinal side edges 74 on the electrode surface 16 'are eliminated, since the electrode 12 ' is a closed cylinder. For this reason, there is no need that the parallel line 62 'extends over the entire length of the electrode 12 ' in the direction of the axis 110 on the back 44 'of the same. It is sufficient if the parallel line 62 'only serves to suppress a current flow to the feed area 72 ' by appropriate dimensioning as a lambda / 4 line.

Eine Einkopplung auf die Rückseite 34′ der Elektrode 14′ entfällt, da die Rückseite 34′ innerhalb der zylindrischen Elektrode 14′ liegt und somit keine der Innenwand 192 zu­ gewandte Seite aufweist.A coupling to the back 34 'of the electrode 14 ' is omitted, since the back 34 'lies within the cylindrical electrode 14 ' and thus has no side facing the inner wall 192 .

Claims (28)

1. Wellenleiter-Gaslaser mit einem Elektrodenpaar, umfassend zwei im Abstand voneinander und einander gegenüberliegend angeordnete Elektrodenflächen, zwischen welchen ein Gasentladungsraum für ein Lasergas angeordnet ist, einen zwischen den Elektrodenflächen angeordneten optischen Wellenleiter, welcher Laserstrahlung durch Reflexion in einer zu der Elektrodenfläche parallelen Richtung führt, und mit einer Hochfrequenzquelle, welche über ein Zuleitungssystem mit den beiden Elektrodenflächen verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (50, 60, 61) so ausgebildet ist, daß einer ersten der Elektrodenflächen (18) in einem nahe einer ersten Seitenkante (32) des Elektrodenpaars (10) angeordneten ersten Einspeisebereich (30) ein Strom zuführbar und von einer zweiten der Elektrodenflächen (16) in einem nahe einer zweiten, auf der entgegengesetzten Seite des Elektrodenpaars (10) liegenden Seitenkante (42) desselben angeordneten zweiten Einspeisebereich (40) abführbar ist.1. Waveguide gas laser with a pair of electrodes, comprising two electrode surfaces spaced apart and opposite one another, between which a gas discharge space for a laser gas is arranged, an optical waveguide arranged between the electrode surfaces, which guides laser radiation by reflection in a direction parallel to the electrode surface , and with a high-frequency source, which is connected to the two electrode surfaces via a supply system, characterized in that the supply system ( 50 , 60 , 61 ) is designed such that a first of the electrode surfaces ( 18 ) in a near a first side edge ( 32 ) of the electrode pair ( 10 ) arranged first feed region ( 30 ) a current can be supplied and from a second one of the electrode surfaces ( 16 ) in a second side edge ( 42 ) of the electrode surface ( 16 ) located close to the opposite side of the electrode pair ( 10 ) area ( 40 ) is removable. 2. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (50, 60, 61) im wesentlichen induktionsschleifenfrei ausgebildet ist.2. Waveguide gas laser according to claim 1, characterized in that the supply system ( 50 , 60 , 61 ) is essentially free of induction loops. 3. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (50, 60, 61) ein Strombegrenzungselement (62) umfaßt, welches eine Stromzu- oder -abfuhr in einem Gegenbereich (72) der jeweiligen Elektrodenfläche (16) nahe der dem zweiten Einspeisebereich (40) gegenüberliegenden Seitenkante (32) derselben begrenzt.3. Waveguide gas laser according to claim 1 or 2, characterized in that the supply system ( 50 , 60 , 61 ) comprises a current limiting element ( 62 ) which a current supply or discharge in a counter region ( 72 ) of the respective electrode surface ( 16 ) bounded near the side edge ( 32 ) of the second feed region ( 40 ) opposite it. 4. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Strombegrenzungselement (62) ein Stromsperrelement ist.4. Waveguide gas laser according to one of claims 1 to 3, characterized in that the current limiting element ( 62 ) is a current blocking element. 5. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Elektrodenpaare (10a, 10b) vorgesehen sind.5. Waveguide gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that two pairs of electrodes ( 10 a, 10 b) are provided. 6. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eine Elektrodenfläche (16a, 18a) eines Elektrodenpaares (10a) mit einer entsprechenden Elektrodenfläche (16b, 18b) des anderen Elektrodenpaares (10b) in einer gemeinsamen Fläche (102, 104) liegen.6. waveguide gas laser according to claim 5, characterized in that in each case one electrode surface ( 16 a, 18 a) of a pair of electrodes ( 10 a) with a corresponding electrode surface ( 16 b, 18 b) of the other pair of electrodes ( 10 b) in a common Surface ( 102, 104 ). 7. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (61) die beiden Elektrodenpaare (10a, 10b) in Reihe geschaltet mit Strom versorgt.7. waveguide gas laser according to one of claims 5 or 6, characterized in that the supply system ( 61 ) supplies the two pairs of electrodes ( 10 a, 10 b) connected in series with current. 8. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Elektrodenpaare (10a, 10b) zwei einander zugewandte (32a, 32b) und zwei einander abgewandte Seitenkanten (42a, 42b) aufweisen und daß die Einspeisebereiche (30a, 30b) zweier in einer Fläche (104) liegender Elektrodenflächen (18a, 18b) nahe der einander zugewandten Seitenkanten (32a, 32b) und die Einspeisebereiche (40a, 40b) zweier in einer Fläche (102) liegender Elektrodenflächen (16a, 16b) nahe der einander abgewandten Seitenkanten (42a, 42b) liegen.8. Waveguide gas laser according to one of claims 5 to 7, characterized in that the two pairs of electrodes ( 10 a, 10 b) have two mutually facing ( 32 a, 32 b) and two mutually facing side edges ( 42 a, 42 b) and that the feed areas ( 30 a, 30 b) of two in one surface ( 104 ) lying electrode surfaces ( 18 a, 18 b) near the mutually facing side edges ( 32 a, 32 b) and the feed areas ( 40 a, 40 b) two in an area ( 102 ) of lying electrode areas ( 16 a, 16 b) near the side edges ( 42 a, 42 b) facing away from each other. 9. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Strom zu den den zweiten Einspeisebereichen (40a, 40b) gegenüberliegenden Gegenbereichen (72a, 72b) der Elektrodenflächen (16a, 16b) mit Strombegrenzungselementen (62a, 62b) begrenzt ist.9. Waveguide gas laser according to claim 8, characterized in that a current to the second feed areas ( 40 a, 40 b) opposite areas ( 72 a, 72 b) of the electrode surfaces ( 16 a, 16 b) with current limiting elements ( 62 a , 62 b) is limited. 10. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Strombegrenzungselemente (62a, 62b) mit einer von der Hochfrequenzquelle (52) kommenden symmetrischen Zuleitung (55) verbunden sind und daß die ersten Einspeisebereiche (30a, 30b) an einander zugewandten Seitenkanten (32a, 32b) der Elektrodenflächen (18a, 18b) direkt miteinander verbunden sind.10. Waveguide gas laser according to claim 9, characterized in that the current limiting elements ( 62 a, 62 b) are connected to a symmetrical feed line ( 55 ) coming from the high-frequency source ( 52 ) and that the first feed areas ( 30 a, 30 b) are directly connected to one another at mutually facing side edges ( 32 a, 32 b) of the electrode surfaces ( 18 a, 18 b). 11. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Elektrodenpaar (10) von einer mit dem Zuleitungssystem (54) verbundenen Abschirmung (164, 164′) umgeben ist.11. Waveguide gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the pair of electrodes ( 10 ) is surrounded by a shield ( 164, 164 ' ) connected to the feed system ( 54 ). 12. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die mit ihrer Rückseite (34, 44) der Abschirmung (164, 164′) zugewandte Elektrode (12, 14, 12′) ein Strombegrenzungselement (62, 162) trägt, welches eine Stromzu- oder -abfuhr in einem Gegenbereich (72, 72′) der jeweiligen Elektrodenfläche (16, 18, 16′) nahe einer dem Einspeisebereich (30, 40) gegenüberliegenden Seitenkante (32, 42) derselben begrenzt. 12. Waveguide gas laser according to claim 11, characterized in that with its rear side ( 34, 44 ) of the shield ( 164, 164 ' ) facing electrode ( 12, 14, 12' ) carries a current limiting element ( 62, 162 ) which a current supply or discharge in a counter region ( 72, 72 ' ) of the respective electrode surface ( 16, 18, 16' ) near a feed edge ( 30, 40 ) opposite side edge ( 32, 42 ) of the same. 13. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (50, 60, 61) zumindest eine der Elektroden (12) übergreifende Parallelleitung (62) umfaßt, welche einen von einer dem zweiten Einspeisebereich (40) gegenüberliegenden Seitenkante (32) der Elektrode (12) zu dem zweiten Einspeisebereich (40) derselben fließenden Strom führt.13. Waveguide gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the supply system ( 50, 60, 61 ) comprises at least one of the electrodes ( 12 ) overlapping parallel line ( 62 ) which has a side edge opposite the second feed region ( 40 ) ( 32 ) of the electrode ( 12 ) leads to the second feed region ( 40 ) of the same flowing current. 14. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitung (62) das Strombegrenzungselement bildet, wobei ein Leiter (66) der Parallelleitung (62) über einen Ausschluß (E) mit dem Gegenbereich (72) der jeweiligen Elektrodenfläche (16) nahe der dem Einspeisebereich (40) gegenüberliegenden Seitenkante (32) derselben verbunden ist und der andere Leiter (64) der Parallelleitung (62) mit einer von der Hochfrequenzquelle (52) kommenden Zuleitung (54, 56, 74) verbunden ist.14. Waveguide gas laser according to claim 13, characterized in that the parallel line ( 62 ) forms the current limiting element, a conductor ( 66 ) of the parallel line ( 62 ) via an exclusion (E) with the counter region ( 72 ) of the respective electrode surface ( 16 ) is connected near the side edge ( 32 ) of the feed region ( 40 ) opposite it and the other conductor ( 64 ) of the parallel line ( 62 ) is connected to a supply line ( 54, 56, 74 ) coming from the high frequency source ( 52 ). 15. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitung (62) ein Kurzschlußelement (84) aufweist.15. Waveguide gas laser according to claim 13 or 14, characterized in that the parallel line ( 62 ) has a short-circuit element ( 84 ). 16. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Kurzschlußelement (84) über ein Leiterstück (46, 86) mit dem Einspeisebereich (40) verbunden ist.16. Waveguide gas laser according to claim 15, characterized in that the short-circuit element ( 84 ) via a conductor piece ( 46 , 86 ) is connected to the feed region ( 40 ). 17. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Leiterstück (86) zur Impedanzanpassung dient. 17. Waveguide gas laser according to claim 16, characterized in that the conductor piece ( 86 ) is used for impedance matching. 18. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der Ansprüche 13 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitung (62) flächenhafte Bandleiter (64, 66) umfaßt.18. Waveguide gas laser according to one of claims 13 to 17, characterized in that the parallel line ( 62 ) comprises flat strip conductors ( 64 , 66 ). 19. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Kurzschlußelement (84) sich über eine Breite (82) der Bandleiter (64, 66) erstreckt und eine Perforation (94) aufweist.19. Waveguide gas laser according to claim 18, characterized in that the short-circuit element ( 84 ) extends over a width ( 82 ) of the strip conductors ( 64 , 66 ) and has a perforation ( 94 ). 20. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitung zwischen dem Kurzschlußelement (84) und einem mit dem Gegenbereich (72) der jeweiligen Elektrodenfläche (16) nahe der dem zweiten Einspeisebereich (40) gegenüberliegenden Seitenkante (32) derselben verbundenen Anschluß (E) der Parallelleitung (62) eine Lambda/4-Leitung ist.20. Waveguide gas laser according to claim 19, characterized in that the parallel line between the short-circuit element ( 84 ) and one with the counter region ( 72 ) of the respective electrode surface ( 16 ) near the second feed region ( 40 ) opposite side edge ( 32 ) connected to the same Connection (E) of the parallel line ( 62 ) is a lambda / 4 line. 21. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitung (62) auf einer dem Gasentladungsraum (20) abgewandten Rückseite (44) einer der Elektroden (12) angeordnet ist.21. Waveguide gas laser according to one of claims 13 to 20, characterized in that the parallel line ( 62 ) on one of the gas discharge space ( 20 ) facing away from the rear ( 44 ) of one of the electrodes ( 12 ) is arranged. 22. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungssystem (160) sich in zwei Zweigleitungen (168, 172) verzweigt, die jeweils mit dem ersten und dem zweiten Einspeisebereich (30, 40) verbunden sind.22. Waveguide gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the supply system ( 160 ) branches into two branch lines ( 168, 172 ), each of which is connected to the first and the second feed region ( 30, 40 ). 23. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Einspeisebereich (30, 40) mit demselben Leiter (176, 178) des Zuleitungssystems (160) verbunden sind. 23. Waveguide gas laser according to claim 22, characterized in that the first and the second feed region ( 30 , 40 ) are connected to the same conductor ( 176 , 178 ) of the supply system ( 160 ). 24. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß ein Masseleiter (176, 178) des Zuleitungssystems (160) mit der Abschirmung (164) verbunden ist.24. Waveguide gas laser according to claim 23, characterized in that a ground conductor ( 176 , 178 ) of the supply system ( 160 ) is connected to the shield ( 164 ). 25. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, daß die zu dem ersten und zweiten Einspeisebereich (30, 40) führenden Zweigleitungen (168, 172) zu einer Phasendifferenz von ungefähr Lambda/2 zwischen den beiden Einspeisebereichen (30, 40) führen.25. Waveguide gas laser according to claim 23 or 24, characterized in that the branch lines ( 168 , 172 ) leading to the first and second feed region ( 30 , 40 ) lead to a phase difference of approximately lambda / 2 between the two feed regions ( 30 , 40 ) to lead. 26. Wellenleiter-Gaslaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenflächen (16a′, 16b′; 18a′, 18b′) Zylinderflächen zweier ineinanderliegender Zylinder sind.26. Waveguide gas laser according to one of the preceding claims, characterized in that the electrode surfaces ( 16 a ', 16 b'; 18 a ', 18 b') are cylindrical surfaces of two cylinders lying one inside the other. 27. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelleitungen (62a′, 62b′) innerhalb der inneren Zylinderflächen (16a′, 16b′) angeordnet sind.27. Waveguide gas laser according to claim 26, characterized in that the parallel lines ( 62 a ', 62 b') are arranged within the inner cylindrical surfaces ( 16 a ', 16 b'). 28. Wellenleiter-Gaslaser nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Hochfrequenzquelle (52′) innerhalb der inneren Zylinderfläche (16a′) angeordnet ist.28. Waveguide gas laser according to claim 27, characterized in that the high-frequency source ( 52 ') within the inner cylinder surface ( 16 a') is arranged.