DE4229558C2 - Beschleunigungsaufnehmer - Google Patents
BeschleunigungsaufnehmerInfo
- Publication number
- DE4229558C2 DE4229558C2 DE4229558A DE4229558A DE4229558C2 DE 4229558 C2 DE4229558 C2 DE 4229558C2 DE 4229558 A DE4229558 A DE 4229558A DE 4229558 A DE4229558 A DE 4229558A DE 4229558 C2 DE4229558 C2 DE 4229558C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- accelerometer according
- accelerometer
- squid
- squid arrangement
- silicon substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/11—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by inductive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungsaufnehmer nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Empfindliche Beschleunigungsaufnehmer spielen in der Naviga
tion, in der Raumfahrt, zur Sicherstellung schwerkraftfreier
Zustände, für die Messung von Vibrationen sowie für die Lager
stättenerkundung eine große Rolle. Sie basieren im wesentli
chen auf der Verschiebung einer schweren Masse unter dem Ein
fluß einer beschleunigenden Kraft. Die so hervorgerufene Weg
längenänderung wird in eine geeignete physikalische Meßgröße
überführt, beispielsweise in eine Widerstands- oder Kapazi
tätsänderung etc. und kann damit in einem entsprechenden Meß
kreis ausgewertet werden.
Bekannte Beschleunigungsaufnehmer, die beispielsweise Kreisel
oder Dehnungsmeßstreifen in Verbindung mit der Verschiebung
einer Testmasse nutzen, sind vergleichsweise unempfindlich,
mechanisch komplex und teuer. Piezoelektrische Beschleuni
gungsaufnehmer (vgl. z. B. DE-PS 34 40 811) haben in der Regel
einen Meßbereich in der Größenordnung von 0,1 bis 3 g.
Aus der EP 0 301 816 A2 ist ein Beschleunigungsaufnehmer
bekannt, bei dem die Testmasse von einem mikromechanischen,
an einem Siliziumsubstrat ausgebildeten Biegebalken gebildet
wird. Zur Messung der Verschiebung des Biegebalkens ist an
seinem freien Ende eine wechselstromversorgte, ein Magnetfeld
liefernde Erregerspule vorgesehen, die induktiv mit einer
entsprechenden Spule der Detektoreinrichtung gekoppelt ist.
Aus der DE 41 03 589 A1 ist ebenfalls ein Beschleunigungsauf
nehmer bekannt, bei dem die Testmasse von einem mikromechani
schen, an einem Siliziumsubstrat ausgebildeten Biegebalken
gebildet wird. Zur Messung der Verschiebung des Biegebalkens
ist allerdings an seinem freien Ende eine Schicht mit einem
hartmagnetischen, aufmagnetisierten Material enthalten. Zu
einer Erfassung eines von dieser Schicht hervorgerufenen
Magnetfeldes soll mindestens ein ortsfestes Sensorelement,
insbesondere ein magnetoresistiver Sensor, vorgesehen sein.
In der US 4,841,772 wird ein relativ voluminöser Beschleuni
gungsaufnehmer offenbart, bei dem die Lage der Testmasse mit
Hilfe eines Quanten-Interferenz-Detektors (SQUID) ermittelt
wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Beschleunigungsaufnehmer
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zu schaffen, der minia
turisiert ist und eine äußerst große Empfindlichkeit besitzt.
Diese Aufgabe wird entsprechend dem kennzeichnenden Teil des
Anspruchs 1 gelöst.
Ein derartiger hochempfindlicher Beschleunigungsaufnehmer, der
einen großen Dynamikbereich umfaßt, ist aufgrund der verwendeten Silizi
umtechnologie miniaturisiert (geringe Abmessungen und geringes Gewicht)
und zudem in vergleichsweise hohen Stückzahlen kostengünstig ausführbar,
wobei eine Empfindlichkeit von 10-7 bis gegebenenfalls 10-10 g erreicht
werden kann, so daß sich der Beschleunigungsaufnehmer insbesondere für
die Raumfahrt eignet, zumal hiermit sehr kleine Beschleunigungen meßbar
sind.
Supraleitende Quanten-Interferenz-Detektoren,
bzw. Anordnungen hiervon zur Messung von Magnetfeldern und elek
tronische Einrichtungen zur Auswertung, Verarbeitung und Darstellung der
gewonnenen Informationen, wie sie in dem Beschleunigungsaufnehmer ver
wendet werden, sind an sich bekannt, vgl. beispielsweise DE-OSen 32 47
543, 32 47 585, 35 15 237, 35 29 815, 35 38 186 (Digitalisierung von
SQUID-Signalen) oder 40 27 481, wobei Hochtemperatursupraleiter, etwa
YBa₂Cu₃O7-x, verwendet werden können.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden
Beschreibung und den Unteransprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in den beigefügten
Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispiels naher erläutert.
Fig. 1 zeigt schematisch das hier angewendete physikalische
Prinzip für einen Beschleunigungsaufnehmer.
Fig. 2 zeigt ein Blockdiagramm für den Beschleunigungsaufneh
mer.
Fig. 3 zeigt ausschnittweise eine Ausführungsform für einen
Beschleunigungsaufnehmer.
Fig. 4 zeigt schematisiert den Beschleunigungsaufnehmer von
Fig. 3 seitlich im Schnitt.
Der Beschleunigungsaufnehmer umfaßt gemäß Fig. 1 einen einsei
tig befestigten, mikromechanischen Biegebalken 1, dessen freies Ende
einen ferromagnetischen Kern 2 mit einer n Windungen 3 aufweisenden Er
regerspule 4 trägt. Der ferromagnetische Kern 2 besitzt eine ausgeprägte
Spitze bzw. spitze Kante 5. Die Erregerspule 4 erzeugt, wenn sie strom
durchflossen ist, ein inhomogenes, lokales Magnetfeld, wobei der schema
tische Verlauf von dessen magnetischem Fluß Φ(ϕ) als Funktion der Durch
biegung ϕ des Biegebalkens 1 in Fig. 1 dargestellt ist. Das inhomogene
Magnetfeld wirkt auf die Aufnahmewindung eines SQUIDs 6 (supraleitender
Quanten- Interferenz-Detektor) oder gegebenenfalls eine SQUID-Anordnung
(in Dünnfilmtechnik ausgeführt) ein, der bzw. die als Magnetometer die
Änderung des magnetischen Flusses dΦ/dϕ mißt, wenn eine äußere Kraft den
Biegebalken 1 verbiegt.
Der Beschleunigungsaufnehmer umfaßt gemäß Fig. 2 eine Wechsel
stromversorgung 7 für die Erregerspule 4, die letztere mit einem Wech
selstrom mit vorgegebener Frequenz versorgt, und eine Netzversorgung 8
für den SQUID 6. Das Nutzsignal des letzteren wird vorzugsweise einem
Lock-in-Verstärker 9 - über eine nicht weiter dargestellte Signalanpas
sungsschaltung - zugeführt, der auf einem zweiten Eingang ein Referenz
signal für die an der Erregerspule 4 angelegte Wechselstromspannung von
der Wechselstromversorgung 7 empfängt. Das Ausgangssignal des Lock-in-
Verstärkers 9 wird einem A/D-Wandler 10 zugeführt, dessen Ausgang mit
einem Mikroprozessor 11 zwecks digitaler Signalverarbeitung verbunden
ist.
Das durch die Erregerspule 4 erzeugte magnetische Feld bewirkt
bei unterschiedlicher Durchbiegung des Biegebalkens 1 eine unterschied
liche Anzeige des Magnetfeldes, die bei kleinen Durchbiegungen direkt
mit der einwirkenden Kraft bzw. der Beschleunigung korreliert ist. Für
größere Durchbiegungen ist die Abhängigkeit nicht mehr linear. Es bedarf
daher in der Regel einer Bestimmung des Zusammenhangs aus Meßreihen oder
aber aus mechanischen Betrachtungen, um zu einer Kalibrationskurve bzw.
einer Abhängigkeitsfunktion zu kommen, die den Zusammenhang zwischen
Durchbiegung des Biegebalkens 1 und des am Ort des SQUIDs 6 gemessenen
Magnetfelds zur Bestimmung der Beschleunigung herstellt.
Vorteilhaft ist hierbei die zweckmäßigerweise vorgesehene
elektrische Ansteuerung der Erregerspule 4 derart, daß sie zugleich als
Referenz für den Lock-in-Verstärker 9 dient. Hieraus ergibt sich eine
durch Frequenzselektion extrem schmalbandige, ein sehr geringes Rauschen
aufweisende Verstärkung des SQUlD-Signals und eine entsprechend hohe
Empfindlichkeit und ein verbesserter Dynamikumfang.
Der Beschleunigungsaufnehmer umfaßt ein Siliziumsubstrat 12
mit einem Fenster 13. Der mikromechanische Biegebalken 1 von einer Länge
von im wesentlichen mehreren 100 µm und einer Breite viel größer als
seine Stärke sowie einer Länge viel größer als seine Breite ist ein
stückig mit dem Siliziumsubstrat 12 ausgebildet und erstreckt sich in
den Bereich des Fensters 13 (Fig. 3 und 4). Am freien Ende des Biegebal
kens 1 ist der ferromagnetische Kern 2 angeordnet, auf dem die Erreger
spule 4 mit n Windungen 3 elektrisch isoliert zum Kern 2 und als mikro
elektronisches Bauelement ausgeführt angeordnet ist. Elektrische Leiter
bahnen 14 führen über den Biegebalken 1 zur Erregerspule 4 zu deren
Stromversorgung. Der ferromagnetische Kern 2 besitzt eine Spitze oder
spitze Kante 5, die quer zur Längsachse des Biegebalkens 1 verläuft. Der
ferromagnetische Kern 2 besitzt zweckmäßigerweise Abmessungen in der
Größenordnung von ca. 0.1 bis 0.3 mm. Am freien Ende des Biegebalkens 1
kann ferner eine zusätzliche Masse 15 angeordnet sein.
Das Siliziumsubstrat 12 ist auf einem thermisch isolierenden
Körper 16 angeordnet, die ferner einen gekühlten SQUID 6 aufnimmt, des
sen Aufnahmewindung gegenüber von der spitzen Kante 5 des ferromagneti
schen Kerns 2 benachbart zum Fenster 13 angeordnet ist. Bei dem SQUID 6
handelt es sich insbesondere um einen solchen auf der Basis eines Hoch
temperatursupraleiters, beispielsweise YBa₂Cu₃O7-x. Dieser wird bei
spielsweise über eine Kühlfläche 17 auf die Temperatur von flüssigem
Stickstoff gekühlt. Dies geschieht vorzugsweise mittels eines Gasstrom
kühlers (Joule-Thompson-Kühler) oder eines Split-Stirling-Kühlers.
Um eine Beeinflussung der Messung durch äußere Magnetfelder zu
vermeiden, ist es zweckmäßig, den Beschleunigungsaufnehmer magnetisch
abzuschirmen. Dies kann beispielsweise mit einer Ummantelung aus µ-Me
tall geschehen.
Claims (10)
1. Beschleunigungsaufnehmer mit einer durch eine äußere
Kraft verlagerbaren Testmasse sowie einer Detektorein
richtung zur Feststellung einer Verlagerung der Test
masse, wobei die Testmasse von einem mikromechanischen,
an einem Siliziumsubstrat (12) ausgebildeten Biegebalken
(1) gebildet wird, der an seinem freien Ende eine wech
selstromversorgte, ein Magnetfeld liefernde Erregerspule
(4) trägt, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der
Detektoreinrichtung um eine gekühlte SQUID-Anordnung (6)
handelt, und daß das Nutzsignal der SQUID-Anordnung (6)
über einen von einem Referenzsignal der Wechselstromver
sorgung (7) der Erregerspule (4) angesteuerten Lock-in-
Verstärker verstärkbar ist.
2. Beschleunigungsaufnehmer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Erregerspule auf einem
ferromagnetischen Kern (2) angeordnet ist.
3. Beschleunigungsaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Biegebalken (1) an seinem freien Ende mit einer
zusätzlichen Masse (15) versehen ist.
4. Beschleunigungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das Siliziumsubstrat (12) auf einem ther
misch isolierenden Körper (16) angeordnet ist, der die SQUID-Anordnung
(6) thermisch vom Siliziumsubstrat (12) isoliert.
5. Beschleunigungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß eine magnetische Abschirmung vorgesehen ist.
6. Beschleunigungsaufnehmer nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die magnetische Abschirmung aus einer Ummantelung aus
einem magnetischen oder magnetisierbaren Metall, insbesondere µ-Metall,
besteht.
7. Beschleunigungsaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der ferromagnetische Kern (2) mit einer der SQUID-Anord
nung (6) zugewandten Spitze bzw. spitzen Kante (5) versehen ist.
8. Beschleunigungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die SQUID-Anordnung (6) aus einem oder meh
reren hochtemperatursupraleitenden Quanten-Interferenz-Detektoren gebil
det wird.
9. Beschleunigungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die SQUID-Anordnung (6) durch einen Joule-
Thompson-Kühler kühlbar ist.
10. Beschleunigungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die SQUID-Anordnung (6) durch einen Split-
Stirling-Kühler kühlbar ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4229558A DE4229558C2 (de) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | Beschleunigungsaufnehmer |
GB9317089A GB2270386A (en) | 1992-09-04 | 1993-08-17 | Acceleration transducer using SQUID detector |
FR9310289A FR2695479A1 (fr) | 1992-09-04 | 1993-08-27 | Capteur d'accélération. |
US08/114,170 US5412988A (en) | 1992-09-04 | 1993-09-01 | Acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4229558A DE4229558C2 (de) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | Beschleunigungsaufnehmer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4229558A1 DE4229558A1 (de) | 1994-03-10 |
DE4229558C2 true DE4229558C2 (de) | 1995-10-19 |
Family
ID=6467223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4229558A Expired - Fee Related DE4229558C2 (de) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | Beschleunigungsaufnehmer |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5412988A (de) |
DE (1) | DE4229558C2 (de) |
FR (1) | FR2695479A1 (de) |
GB (1) | GB2270386A (de) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5731703A (en) * | 1995-10-31 | 1998-03-24 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Micromechanical d'arsonval magnetometer |
US5925822A (en) * | 1996-04-30 | 1999-07-20 | Michael Naughton | Microelectromechanical cantilever acoustic sensor |
US6418081B1 (en) | 1998-02-10 | 2002-07-09 | The Research Foundation Of State University Of New York | System for detection of buried objects |
US20070209437A1 (en) * | 2005-10-18 | 2007-09-13 | Seagate Technology Llc | Magnetic MEMS device |
US8800371B2 (en) * | 2012-03-08 | 2014-08-12 | Industrial Technology Research Institute | Electrostatic force generator and force measurement system and accelerometer having the same |
KR101351424B1 (ko) * | 2012-09-12 | 2014-01-15 | 한국표준과학연구원 | 초전도 가속도계, 가속도 측정 장치, 및 가속도 측정 방법 |
KR101465645B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-11-26 | 한국표준과학연구원 | 박막형 초전도 가속도 측정 장치, squid 센서 모듈, 및 squid 센서 모듈의 제조 방법 |
CN104457793B (zh) * | 2014-12-08 | 2017-06-16 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 超导全张量磁梯度测控装置的同步精度的平行标定方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5910510B2 (ja) * | 1978-06-25 | 1984-03-09 | 東北大学長 | 超伝導量子干渉磁束計 |
JPS55140118A (en) * | 1979-04-18 | 1980-11-01 | Nippon Soken Inc | Knocking detector for internal combustion engine |
DE3247585A1 (de) * | 1982-12-22 | 1984-06-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mehrkanalige vorrichtung zur messung von verschiedenen feldquellen hervorgerufener schwacher magnetfelder |
DE3247543A1 (de) * | 1982-12-22 | 1984-06-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur mehrkanaligen messung schwacher, sich aendernder magnetfelder und verfahren zu ihrer herstellung |
DE3440811C1 (de) * | 1984-11-08 | 1986-04-30 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn | Zündeinrichtung für eine Nachschußladung |
DE3515237A1 (de) * | 1985-04-26 | 1986-10-30 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur messung schwacher magnetfelder mit wenigstens einem dc-squid |
DE3529815A1 (de) * | 1985-08-20 | 1987-02-26 | Siemens Ag | Messvorrichtung mit einem squid-magnetometer |
DE3538186A1 (de) * | 1985-10-26 | 1987-04-30 | Dornier System Gmbh | Verfahren zur direkten digitalisierung von squid-signalen |
US5030614A (en) * | 1987-05-15 | 1991-07-09 | Omega Engineering, Inc. | Superconductor sensors |
JP2623090B2 (ja) * | 1987-06-03 | 1997-06-25 | キヤノン株式会社 | 距離測定装置 |
GB8718004D0 (en) * | 1987-07-29 | 1987-12-16 | Marconi Co Ltd | Accelerometer |
JPH077012B2 (ja) * | 1987-08-18 | 1995-01-30 | 富士通株式会社 | 加速度センサ |
US4841772A (en) * | 1987-12-03 | 1989-06-27 | University Of Maryland, College Park | Three-axis superconducting gravity gradiometer |
US5224380A (en) * | 1990-05-21 | 1993-07-06 | The University Of Maryland | Superconducting six-axis accelerometer |
US5166612A (en) * | 1990-11-13 | 1992-11-24 | Tektronix, Inc. | Micromechanical sensor employing a squid to detect movement |
DE4103589A1 (de) * | 1991-02-06 | 1992-08-13 | Siemens Ag | Sensoreinrichtung mit einem mechanisch resonanten schwingungselement |
-
1992
- 1992-09-04 DE DE4229558A patent/DE4229558C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-08-17 GB GB9317089A patent/GB2270386A/en not_active Withdrawn
- 1993-08-27 FR FR9310289A patent/FR2695479A1/fr active Pending
- 1993-09-01 US US08/114,170 patent/US5412988A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5412988A (en) | 1995-05-09 |
GB2270386A (en) | 1994-03-09 |
FR2695479A1 (fr) | 1994-03-11 |
GB9317089D0 (en) | 1993-09-29 |
DE4229558A1 (de) | 1994-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4333419C5 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Schichtdickenmessung und Meßsonde für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung | |
DE69228654T2 (de) | Magnetfeldfühler | |
EP0179384B1 (de) | Störfeldfester Näherungsschalter | |
DE4317285C2 (de) | Kapazitive Meßsonde für die berührungslose Abstastung von Werkstückoberflächen | |
DE3635207C2 (de) | ||
DE102006007770A1 (de) | Sensoreinrichtung zur Erfassung einer Magnetfeldgröße | |
DE4229558C2 (de) | Beschleunigungsaufnehmer | |
EP0471684B1 (de) | Schaltung und verfahren zum messen einer die kapazitäts-spannungs-charakteristik eines kapazitiven elementes beeinflussenden grösse | |
DE1548913A1 (de) | Hitzdrahtanemometer | |
DE2735214C2 (de) | Meßkopf zum kontinuierlichen Messen der magnetischen Eigenschaften eines sich bewegenden Materialbandes | |
DE602005006203T2 (de) | Kleiner lagedetektor und zellulares telefon mit dem detektor | |
EP2031412B1 (de) | Vorrichtung zur galvanisch getrennten Messung der elektrischen Leistungsaufnahme eines Zweipols | |
DE19810218A1 (de) | Magnetfeldsensor auf Basis des magnetoresistiven Effektes | |
DE3708105A1 (de) | Messtaster | |
EP2333567B1 (de) | Vorrichtung zur Strommessung | |
DE19740049A1 (de) | Sensorelement | |
EP4047305A1 (de) | Grenzschichtsensor und verfahren zur erfassung der dicke einer grenzschicht | |
CH622888A5 (de) | ||
DE10064835C2 (de) | Schaltungsanordnung zur Auswertung eines Beschleunigungssensors nach dem Ferrarisprinzip | |
EP0706032B1 (de) | Messgerät für strömende Medien | |
DE2219780C3 (de) | Schaltanordnung zum Messen auch sehr schwacher magnetischer Wechselfelder | |
DE102004025387B4 (de) | Magnetostriktive Wegaufnehmervorrichtung | |
DE3630749A1 (de) | Kraftmesser zur messung von mechanischen spannungen in einem etwa bolzenartigen bauelement | |
DE102013016739A1 (de) | SQUID-basierte Sensoranordnung zur absoluten Messung des magnetischen Flusses | |
DE102020127623B4 (de) | Spulenanordnung für kompensationsstromsensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |