DE4216176A1

DE4216176A1 - Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung

Info

Publication number: DE4216176A1
Application number: DE19924216176
Authority: DE
Inventors: Norbert Dipl Ing Kordas; Yiannos Dr Ing Manoli
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1991-04-20
Filing date: 1992-05-15
Publication date: 1993-11-18
Anticipated expiration: 2012-05-16
Also published as: DE4216176C2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine integrierbare Leit fähigkeitsmeßvorrichtung zur Messung der elektrischen Leit fähigkeit von Flüssigkeiten mit einer Stromquellenvorrich tung, die an zwei Stromzufuhrelemente angeschlossen ist, über die ein Strom in die Flüssigkeit einspeisbar ist, und mit einer an zwei Spannungsmeßelementen angeschlossenen Meß schaltung zum Bestimmen des Spannungsabfalles zwischen den beiden Spannungsmeßelementen, welcher von der elektrischen Leitfähigkeit der untersuchten Flüssigkeit abhängt, wobei die Meßschaltung eine Schalter-Kondensator-Schaltung ist, die einen Meßkondensator aufweist, der mit den Spannungsmeß elementen über eine Schaltereinrichtung in zeitlicher Abhän gigkeit von dem Verlauf des im wesentlichen rechteckförmigen Stromes koppelbar und trennbar ist, nach der Deutschen Patentanmeldung P4113033.2-52 (Hauptanmeldung).

Es ist allgemein bekannt, zum Zwecke der Bestimmung der elektrischen Leitfähigkeit einer Flüssigkeit in diese einen Strom einzuprägen und den Spannungsabfall innerhalb der Flüssigkeit, welcher umgekehrt proportional zur Leitfähigkeit der Flüssigkeit ist, zu messen.

Im einfachsten Fall werden hierzu lediglich zwei Elektroden benutzt. Über diese zwei Elektroden wird der Strom in die Flüssigkeit eingeprägt und gleichzeitig der Spannungsabfall über dieselben Elektroden gemessen. Hierbei treten sogenann te Polarisationseffekte auf, die das eigentliche Meßsignal verfälschen. Diese Effekte treten immer dann auf, wenn ein Strom über eine Grenzschicht zwischen einer Elektrode und einem Elektrolyt fließt. Da in einem Elektrolyten ein Strom fluß mit der Wanderung von Ionen verbunden ist, bilden sich an der Grenzschicht zwischen dem Elektrolyten und der Elek trode Ansammlungen von Ionen eines Ladungstypes, die das ur sprüngliche Feld schwächen und das Meßsignal vermindern.

Um diesen Nachteil zu vermeiden, werden Leitfähigkeitsmeß vorrichtungen mit sogenannten Vier-Elektroden-Anordnungen verwendet, bei denen eine Stromquelle mit zwei Stromelektro den zur Einprägung eines Meßstromes vorgesehen ist. Zwei weitere Elektroden, die als Spannungselektroden bezeichnet werden können, dienen zur Messung der über die Flüssigkeit abfallenden Spannung. Der Spannungsabfall, der durch die Spannungselektroden abgegriffen wird, wird durch einen den Spannungselektroden nachgeschalteten hochohmigen Verstärker verstärkt. Aufgrund der hohen Eingangsimpedanz der Verstär ker kann der über die Spannungselektroden fließende Strom gering gehalten werden, so daß bei dieser Meßmethode die Po larisationseffekte reduziert werden, woraus sich eine ver besserte Meßgenauigkeit gegenüber der Leitfähigkeitsmessung mit lediglich zwei Elektroden ergibt. Jedoch führt auch bei der Vier-Elektroden-Anordnung der über die Spannungselektro den fließende Meßstrom zu einer Polarisation und somit zu einer Verfälschung des Meßsignales.

Gleichfalls ist es bekannt, bei Leitfähigkeitsmeßvorrichtun gen der soeben geschilderten Art den eingeprägten Strom als sinusförmigen Wechselstrom zu erzeugen, um durch diese Maß nahme Zersetzungsvorgänge in der Flüssigkeit zu vermeiden, die im Falle einer Messung mit eingeprägtem Gleichstrom auf treten würden.

Um diese Probleme der bekannten integrierbaren Leitfähig keitsmeßvorrichtungen, die mit zwei Spannungselektroden und zwei Stromelektroden ausgeführt sind, auszuräumen, schlägt die Hauptanmeldung P4113033.2-52 vor, daß die Stromquellen vorrichtung einen rechteckförmigen Strom erzeugt, der den beiden Stromelektroden zugeführt wird, und daß die Meßschal tung als Schalter-Kondensator-Schaltung ausgeführt ist, die einen Meßkondensator aufweist, der mit den Spannungselektro den über eine Schaltereinrichtung in zeitlicher Abhängigkeit von dem Verlauf des im wesentlichen rechteckförmigen Stromes koppelbar und trennbar ist.

Mit dem Gegenstand der Hauptanmeldung werden die im Stand der Technik auftretenden Meßfehler aufgrund von Polarisa tionseffekten vollständig vermieden.

Das Einprägen des Stromes in die Flüssigkeit (den Elektro lyten) sowie die Spannungsmessung erfolgen über einen direk ten galvanischen Kontakt zwischen der Leitfähigkeitsmeß vorrichtung und dem Elektrolyten. Dazu werden Elektroden benutzt, welche aus Edelmetallen, Stahl oder Kohle bestehen und als sog. "Kohlrausch"-Zellen bezeichnet werden. Der galvanische Kontakt führt jedoch zu unerwünschten elektro chemischen Effekten an der Grenzschicht zwischen den Elek troden und dem Elektrolyten. Zu diesen Effekten zählen:

Zusätzliche Spannungsabfälle, vor allem bei Stromfluß, die meßtechnisch wieder kompensiert werden müssen.

Elektrolysevorgänge, d. h. Entladungen und Abscheidungen von Ionen an den Elektroden.

Absorption von Ionen und Verschmutzung der Elektroden, welche zu Driftfehlern führen können.

Im Falle eines Fehlers besteht ein Gleichstrompfad durch den Elektrolyten, welcher zu dessen Elektrolyse führen kann. Bei bestimmten Anwendungen, wie beispielsweise in der invasiven medizinischen Diagnostik, muß ein solcher Fall durch zusätz liche schaltungstechnische Maßnahmen abgefangen werden.

Durch die galvanische Kopplung wird der Elektrolyt auf ein festes Potential gelegt, was bei bestimmten Anwendungen nicht erwünscht ist.

Die Anwesenheit eines Metalles oder eines anderen leit fähigen Stoffes kann zu unerwünschten chemischen Reaktionen führen, zu denen beispielsweise die katalytische Wirkung von Platin zählt.

Zur Vermeidung der soeben genannten Effekte wurden bereits kontaktlose Meßverfahren zur Bestimmung der Leitfähigkeit von Flüssigkeiten entwickelt, bei denen zwei Prinzipien zu unterscheiden sind: während bei der einen Methode mit einer induktiven Kopplung zwischen einer Meßschaltung und dem Elektrolyten gearbeitet wird, verwendet die andere Methode eine kapazitive Kopplung.

Bei der induktiven Methode übernimmt beispielsweise der in eine geschlossene Röhre eingebrachte Elektrolyt die Kopplung von ansonsten getrennten Wicklungen eines Transformators. An eine Primärwicklung wird eine Wechselspannung angelegt, die im Elektrolyten einen Stromfluß zur Folge hat. Dieser Strom fluß bewirkt in einer Sekundärwicklung eine Spannung, deren Höhe von der Leitfähigkeit des Elektrolyten abhängt. Der apparative Aufwand bei dieser Methode ist jedoch sehr groß.

Eine kapazitive Ankopplung gemäß der anderen, genannten Meß methode wird dadurch erreicht, daß die Wände des den Elek trolyten enthaltenden Gefäßes zum Teil als Kondensatoren ausgebildet werden. Dabei wird ein Teil eines solchen Kon densators durch eine Metallschicht gebildet, welche von einer dünnen Glasschicht überzogen ist. Die Gegenelektrode bildet jeweils der Elektrolyt. Das elektrische Ersatzschalt bild einer solchen Anordnung besteht aus zwei derartigen Kondensatoren mit dem Ohm′schen Elektrolyt-Widerstand dazwischen. Bei den bekannten kapazitiven Meßmethoden werden diese Elemente in einen Hf-Schwingkreis eingebracht, in dem der Elektrolyt-Widerstand beispielsweise das Dämpfungsver halten bestimmt, welches dann ausgewertet wird. Ebenso wie bei der induktiven Methode ist auch hier der apparative Aufwand groß. Zusätzlich ist hier infolge der nur kleinen erreichbaren Kapazitäten eine hohe Meßfrequenz erforderlich. Ferner ist kein einfacher linearer Zusammenhang zwischen der Leitfähigkeit und der Meßgröße gegeben.

Ausgehend von dem oben geschilderten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine inte grierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung anzugeben, bei der keine Polarisationseffekte auftreten, bei der eine galva nische Verbindung zu der bezüglich ihrer Leitfähigkeit zu messenden Flüssigkeit vermieden wird und die eine einfache Erfassung der Leitfähigkeit der Flüssigkeit ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch eine integrierbare Leitfähigkeits meßvorrichtung gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Vom Gegenstand der Hauptanmeldung P4113033.2-52 hebt sich die integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach der vorliegenden Zusatzanmeldung kurz gesagt dadurch ab, daß zumindest die bei der Hauptanmeldung als Stromelektroden ausgeführte Stromzufuhr-Elemente im Sinne der vorliegenden Erfindung als Stromeinkoppel-Kondensatoren ausgebildet sind. Gemäß einem wesentlichen Erfindungsaspekt sind auch die Spannungsmeßelemente als Spannungsauskoppel-Kondensatoren ausgebildet, so daß eine vollständige galvanische Trennung zwischen der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung und der bezüglich ihrer Leitfähigkeit zu messenden Flüssigkeit erreicht wird.

Die erfindungsgemäße Leitfähigkeitsmeßvorrichtung basiert auf einer rein kapazitiven Kopplung zwischen der Leitfähig keitsmeßvorrichtung und der Flüssigkeit bzw. dem Elektroly ten, wobei die Koppelkapazitäten vorzugsweise in integrier ter Technik hergestellte Elemente sein können, bei denen sich über einer leitenden Schicht eine dünne Isolierschicht befindet. Die Gegenelektrode wird jeweils durch die Flüssig keit bzw. den Elektrolyten gebildet. Die so entstehenden Kondensatoren sind in einer ausreichenden Größe herstellbar, die es erlaubt, für eine gewisse Zeitdauer einen konstanten Strom über zwei als Stromzuführelemente dienende Kapazitäten fließen zu lassen. Der resultierende Spannungsabfall in der Flüssigkeit ist für diese Zeitdauer ebenfalls konstant und läßt sich mit Hilfe zweier Spannungsmeßelemente, die als Spannungsauskoppelkondensatoren ausgeführt sind, und die vorzugsweise zwischen den beiden Stromeinkoppel-Kondensa toren angeordnet sind, detektieren und weiterverarbeiten.

Durch die galvanische Trennung ist es bei der erfindungsge mäßen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung möglich, die Bildung eines Gleichstrompfades durch den Elektrolyten bzw. die Flüssigkeit zu verhindern. Ferner wird verhindert, daß die Flüssigkeit auf ein festes Potential gelegt wird. Dies er möglicht die Anwendung der erfindungsgemäßen Leitfähigkeits vorrichtung in Bereichen mit hohen Sicherheitsanforderungen.

Die Meßschaltung ist monolithisch mit allen Komponenten auf einem Halbleitersubstrat integrierbar. Die geringe Größe der integrierbaren, erfindungsgemäßen Leitfähigkeitsmeßvorrich tung läßt den Einsatz bei kleinen Probenvolumina oder an schwer zugänglichen Stellen zu.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der integrierbaren Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach der Hauptanmeldung sowie nach der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Schaltbild der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach der Hauptanmeldung;

Fig. 2 ein Zeitdiagramm von Strömen bzw. Spannungen, wie sie in der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung gemäß Fig. 1 auftreten;

Fig. 3a eine Querschnittdarstellung einer Koppelkapazität der erfindungsgemäßen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung;

Fig. 3b eine Draufsicht auf die Koppelkapazität gemäß Fig. 3a;

Fig. 4 ein Schaltbild einer Ausführungsform der erfin dungsgemäßen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung;

Fig. 5a eine Draufsicht auf die Anordnung der Koppelkapa zitäten der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung gemäß Fig. 4;

Fig. 5b das elektrische Ersatzschaltbild der Anordnung der Koppelkapazitäten gemäß Fig. 5a;

Fig. 6a das wirksame elektrische Ersatzschaltbild der Anordnung der Koppelkapazitäten bei dem Einprägen des Meßstromes;

Fig. 6b Spannungsabfälle an den Elementen des Ersatzschalt bildes;

Fig. 6c Spannungen an Punkten innerhalb des Ersatzschalt bildes;

Fig. 7a das wirksame elektrische Ersatzschaltbild der Anordnung der Koppelkapazitäten gemäß Fig. 5a bei dem Messen der Signalspannung; und

Fig. 7b die zeitlichen Verläufe der Spannungen an dem Meßkondensator der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung gemäß Fig. 4.

Das in Fig. 1 gezeigte bevorzugte Ausführungsbeispiel der integrierbaren Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach der Haupt anmeldung, die in ihrer Gesamtheit mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnet ist, umfaßt eine Stromquelle SQ zur Erzeugung eines eingeprägten Gleichstromes, welche über einen ersten bis vierten Schalter S1, S2, S3, S4 in Abhängigkeit von deren Schaltzustand in einer ersten Polung oder in einer zu der ersten Polung entgegengesetzten Polung mit zwei Strom elektroden E1, E4 verbindbar ist.

Die Stromelektroden erzeugen in einem Elektrolyt EL einen rechteckförmigen Strom ohne Gleichanteil.

Eine (nicht gezeigte) Steuervorrichtung steuert den ersten bis vierten Schalter S1 bis S4 derart an, daß die Stromquel le SQ alternierend während einer ersten Zeitdauer T1 in der ersten Polung und während einer zweiten Zeitdauer T2 in der zweiten Polung mit den Stromelektroden E1, E4 verbunden wird. Die erste und zweite Zeitdauer T1, T2 sind gleich lang.

Zwischen den Stromelektroden E1, E4 sind zwei Spannungselek troden E2, E3 in dem Elektrolyten EL angeordnet, die den durch den eingeprägten rechteckförmigen Strom zwischen den Stromelektroden E1, E4 über den Elektrolyten auftretenden Spannungsabfall V1 messen.

Der zeitliche Verlauf des Spannungsabfalls V1 bezogen auf die erste und zweite Zeitdauer T1, T2 ist in den Fig. 2a bis 2c gezeigt.

Die Spannungselektroden E2, E3 sind über einen fünften bis achten Schalter S5, S6, S7, S8 in einer ersten bzw. zweiten Polung mit den Elektroden eines Meßkondensators C1 verbind bar.

Der fünfte, sechste, siebte und achte Schalter S5 bis S8 werden gleichfalls von der (nicht dargestellten) Steuervor richtung, die als Mikroprozessor ausgestaltet sein kann, an gesteuert. Die Ansteuerung erfolgt derart, daß die Span nungselektroden E2, E3 während einer dritten Zeitdauer T3 in der ersten Polung und während einer vierten Zeitdauer T4 in einer zweiten Polung mit dem Meßkondensator C1 verbunden werden. Wie aus den Fig. 2d, 2e in Hinblick auf die Fig. 2a, 2b ersichtlich ist, liegen die dritte Zeitdauer T3 innerhalb der ersten Zeitdauer T1 und die vierte Zeitdauer T4 inner halb der zweiten Zeitdauer T2.

Ein neunter und zehnter Schalter S9, S10 liegen zwischen den beiden Elektroden des Meßkondensators C1 und dem invertie renden bzw. nicht-invertierenden Eingang eines Operations verstärkers OPV, dessen Ausgang über einen Rückkopplungskon densator C2 mit dessen invertierenden Eingang in Verbindung steht.

Die Steuervorrichtung (nicht dargestellt) verbindet jeweils während einer fünften Zeitdauer, die außerhalb der dritten und vierten Zeitdauer T3, T4 liegt, den Meßkondensator C1 mit den Eingängen des Operationsverstärkers OPV. Entspre chend des Kapazitätsverhältnisses des Rückkopplungskonden sators C2 und Meßkondensators C1 wird hierdurch die Spannung am Meßkondensator V_C1 zu einer am Ausgang des Operationsver stärkers erzeugten Spannung V_OUT verstärkt.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel schließt die (nicht dargestellte) Steuervorrichtung jeweils nach Ablauf der fünften Zeitdauer einen parallel zu dem Rückkopplungskonden sator C2 geschalteten elften Schalter S11, so daß die ge zeigte Schalter-Kondensator-Schaltung S5 bis S11, C1, C2, OPV als Verstärkerschaltung arbeitet. Es ist jedoch auch möglich, den elften Schalter S11 jeweils nach mehreren Pe rioden T1, T2 zu schließen, so daß die Schalter-Kondensator- Schaltung in diesem Fall als Integrationsschaltung arbeitet.

Wie sich aus der Betrachtung des Verlaufs des Spannungsab falls über die Spannungselektroden E2, E3 gemäß Fig. 2c er gibt, sind die erste und zweite Zeitdauer jeweils ausrei chend lang gewählt, daß Umschalteffekte abklingen und die Spannung V1 einen im wesentlichen konstanten Wert annimmt. Erst nach Abklingen der Umschaltvorgänge wird während der Zeitdauer T3 der Meßkondensator mit den Spannungselektroden verbunden. Hierdurch fließen Ladungsträger über die Span nungselektroden E2, E3 auf die Elektroden des Meßkondensa tors C1. Zu Beginn der Zeitdauer T3 führt dieser Stromfluß zu einer Störung des ursprünglichen Feldes zwischen den Stromelektroden E1, E4 und zu einer vorrübergehenden Polari sation. Mit zunehmender Aufladung des Meßkondensators C1 strebt der Meßstrom an den Spannungselektroden E2, E3 expo nentiell gegen Null, so daß die Spannungselektroden E2, E3 bei einer hinreichenden Länge der dritten Zeitdauer T3 stromlos werden. Bei einer vom Einzelfall abhängigen, ex perimentell jedoch leicht bestimmbaren hinreichenden dritten Zeitdauer T3 haben Polarisationseffekte keinen negativen Einfluß mehr auf die erzielbare Meßgenauigkeit.

Die Leitfähigkeitsmeßschaltung eignet sich für eine Integra tion der Elektroden E1 bis E4, der Stromquellenschaltung SQ und der Verstärkerelektronik einschließlich der Schalter- Kondensator-Schaltung auf einem einzigen Halbleitersubstrat. Durch die monolithische Integration auf einem Halbleiter substrat kann die Leitfähigkeitsmeßvorrichtung stark minia turisiert werden, so daß Messungen in kleinen Probenvolumina oder an sonst schwer zugänglichen Stellen, wie beispielswei se im Bereich der invasiven medizinischen Diagnostik, mög lich sind.

Die Schaltungsbestandteile können in CMOS-Technologie ausge führt werden. In diesem Fall kann die Herstellung der Elek troden kompatibel zum CMOS-Prozeß erfolgen, da lediglich der zusätzliche Verfahrensschritt des Aufbringens einer Edelme tallschicht für die Elektroden erforderlich ist.

Obwohl sich die Leitfähigkeitsmeßschaltung vorzugsweise für eine vollständige Integration eignet, können auch Meßschal tungen mit getrennt angeordneten Elektroden nach dem be schriebenen Konzept realisiert werden.

Die erfindungsgemäße integrierbare Leitfähigkeitsmeßvor richtung hebt sich von der unter Bezugnahme auf Fig. 1 be schriebenen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung im wesentlichen da durch ab, daß die dortigen Elektroden E1 bis E4 durch Kop pel-Kondensatoren CK1, CK2, CK3, CK4 ersetzt sind. Im übri gen entspricht die Prinzipschaltung der Fig. 4 identisch derjenigen von Fig. 1, so daß eine erneute Beschreibung der Schaltungsanordnung unterbleiben kann. Lediglich der Voll ständigkeit halber sei erwähnt, daß hier der Meßkondensator mit dem Bezugszeichen CM bezeichnet ist, während der Rück kopplungs-Kondensator mit dem Bezugszeichen CR bezeichnet ist.

Die Koppel-Kondensatoren können integriert zusammen mit der Leitfähigkeitsmeßvorrichtung ausgebildet sein und haben vorzugsweise die Struktur, die nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 3a, 3b beschrieben wird.

Auf einem Halbleitersubstrat 30 ist oberhalb einer Oxid schicht 31, die im Falle eines Silizium-Substrates eine Silizium-Oxid-Schicht 31 ist, eine leitende Schicht vorzugsweise aus Polysilizium 32 angeordnet. Diese Poly siliziumschicht 32 bildet die eine Seite des Koppel-Konden sators. Auf dieser Polysiliziumschicht 32 befindet sich eine dünne Isolierschicht 33 aus Silizium-Oxid und Silizium- Nitrid, welche die Schaltung bzw. den Poly-Anschluß gal vanisch von dem Elektrolyten 34 trennt. Die Gegenelektrode dieses Kondensators wird von dem Elektrolyten 34 selbst gebildet, welcher in direktem Kontakt mit der Isolierschicht 33 steht. Die Oberfläche der Anordnung ist von einer Schutz oxidschicht 35 bedeckt, die im Bereich der Kondensatorober fläche 36 eine Öffnung 37 hat.

Wie in Fig. 3b ferner zu sehen ist, erstreckt sich die leit fähige Polysiliziumschicht 32 bis zu einem Ansatzbereich 38 für den Anschluß an die restliche Schaltung.

Der wirksame Abstand des so gebildeten Kondensators ist die Dicke der Isolierschicht 33. Das so entstandene Bauelement wirkt als Kondensator, obwohl lediglich eine seiner Seiten in herkömmlicher, fester Form vorliegt und aus einem Material besteht, in dem Elektronen für den Stromtransport verantwortlich sind. Die andere Seite hingegen ist flüssig, da sie durch den Elektrolyten 34 gebildet wird, wobei hier der Ladungstransport durch dissoziierte Ionen übernommen wird. Da für eine Wanderung sowohl von Elektronen innerhalb der Schaltung als auch von Ionen im Elektrolyten 34 letzt endlich die am Ladungsträger bestehende Feldstärke maßgeb lich ist und sich diese durch die Isolierschicht 33 fort setzt, ist es möglich, einen Verschiebungsstrom durch das Bauelement fließen zu lassen. Dabei sammeln sich, wie bei herkömmlichen Kondensatoren, Ladungsträger unterschiedlichen Vorzeichens auf den Kondensator-Platten an. Der Unterschied besteht lediglich darin, daß sich auf der einen Seite bei spielsweise eine negative Ladung aus Elektronen und auf der Gegenseite eine positive Ladung aus Ionen bilden.

Wie in Fig. 4a verdeutlicht ist, umfaßt die erfindungsgemäße Leitfähigkeitsmeßanordnung insgesamt vier derartiger Koppel kondensatoren C_K1, C_K2, C_K3, C_K4, die planar auf einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 30 angeordnet sind.

Im Gegensatz zu den bei der Ausführungsform von Fig. 1 verwendeten Elektroden E1 bis E4, bei denen eine leitende Schicht direkten Kontakt zum Elektrolyten hat, kann hier kein Ladungsübertritt zwischen der Schaltung und der Flüs sigkeit stattfinden. Im Gegensatz zu Meßzellen mit galvani schem Kontakt, bei denen immer ein Gleichstrompfad durch den Elektrolyten besteht, der im Fehlerfall zu dessen Elektro lyse führen kann, wird hier dieser nachteilige Effekt durch die Verwendung galvanisch getrennter Zellen vermieden.

Fig. 5b zeigt das Ersatzschaltbild der Anordnung der Koppel kapazitäten gemäß Fig. 5a. Wie dort ersichtlich ist, liegen Ohm′sche Teilwiderstände R_EL1, R_EL2, R_EL3 zwischen den Koppelkapazitäten C_K1 bis C_K4. Die CMOS-Schalter S₅ und S₆ werden (in dem Ersatzschaltbild gemäß Fig. 7a) durch ihren Einschaltwiderstand R_ON ersetzt. Der Einschaltwiderstand dieser Schalter S₅, S₆ ist nur während der Taktphase T₃, in der der Meßkondensator C_M aufgeladen wird, von Bedeutung.

Allgemein wird bei der nachfolgenden Betrachtung ein recht eckförmiger Strom vorausgesetzt, der für jeweils gleiche Zeitdauer die Anordnungen von A nach D oder umgekehrt durch fließt. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, wird der Strom durch eine Gleichstromquelle SQ erzeugt, deren Polarität mit Hilfe von gesteuerten Schaltern S1 bis S4 periodisch umgekehrt wird.

Das beschriebene Verfahren wird zur Erläuterung in zwei Teilvorgänge zerlegt, nämlich einerseits in die Erläuterung der Vorgänge im Zusammenhang mit der Einprägung des Meß stromes und andererseits die Messung einer dem spezifischen Widerstand des Elektrolyten proportionalen Spannung.

Fig. 6a zeigt das wirksame elektrische Ersatzschaltbild für das Einprägen des Meßstromes. Zur einfacheren Darstellung wird hier lediglich der Stromfluß in der Richtung von A nach D (Taktphase T₁) betrachtet, da sich bei umgekehrter Strom richtung (Taktphase T₂) lediglich die Vorzeichen ändern. Der Punkt D wird für die betrachtete Dauer als auf Masse liegend angenommen. Der konstante Strom führt dann am Kondensator C_K4 zu einem linearen Anstieg der Spannung gemäß folgendem Zusammenhang:

Das dem vierten Koppelkondensator C_K4 folgende Element des elektrischen Ersatzschaltbildes, nämlich der dritte Ohm′sche Elektrolyt-Widerstand R_El3, verursacht einen konstanten Spannungsabfall infolge des Meßstromes gemäß folgendem Zu sammenhang:

V_REl3 = I₀R_El3 (2)

Ebenso führen die beiden anderen Ohm′schen Teilwiderstände R_El2, R_El1 zu folgenden Spannungsabfällen:

V_REl2 = I₀R_El2 (3)

V_REl1 = I₀R_El1 (4)

Die Spannung am Punkt C ergibt sich folgendermaßen als Summe der Spannungen an dem vierten Koppelkondensator C_K4 und dem dritten Elektrolyt-Widerstand R_El3:

Entsprechend ergibt sich für die Spannung am Punkt B folgender Zusammenhang:

Der obere Kondensator C_K1 ist von gleicher Größe und Be schaffenheit wie der Kondensator C_K4 und verursacht einen ebensogroßen Spannungsabfall wie dieser, der folgendem Zusammenhang genügt:

Entscheidend für die weitere Auswertung ist nun, daß die Spannung an den Punkten B und C zwar absolut rampenförmig verlaufen, ihre Differenz jedoch konstant ist und nur von dem Meßstrom und dem Elektrolyt-Widerstand abhängen. Daher gilt:

V_B - V_C = I₀R_El2 (8)

Um diese Differenzspannung zu erfassen, werden zwei weitere Koppelkondensatoren C_K2 und C_K4 benutzt, die zwischen den oben beschriebenen Kondensatoren C_K1 und C_K4 angeordnet sind. Diese werden während einer Zeit T₃ nach dem Polari tätswechsel des Meßstromes, also nachdem sich bezüglich des Ohm′schen Spannungsabfalles am Elektrolyten stationäre Zustände eingestellt haben, über die Schalter S₅ und S₆ mit dem Meßkondensator C_M verbunden. Analog dazu ist der Vorgang bei umgekehrtem Stromfluß. Dann werden innerhalb der Zeit dauer von T₂ während der Zeitdauer T₄ entsprechend die Schalter S₇ und S₈ benutzt.

Zur Analyse des Vorganges wird der Ohm′sche Spannungsabfall an dem Teilelektrolyt-Widerstand R_El2 in Bild 4 als Span nungsquelle dargestellt. Dies ist zulässig, obwohl durch die Aufladung des Zweiges mit dem Meßkondensator C_M die ur sprüngliche Stromverteilung gestört wird, da dieser Zweig nach kurzer Zeit wieder stromlos wird, so daß daraufhin die gleichen Verhältnisse vorliegen wie ohne den Meßkondensator C_M.

Für den Ladevorgang von C_M gelten folgende Randbedingungen:

Die Aufladung erfolgt exponentiell, da nur Widerstände und Kapazitäten in dem betreffenden Kreis liegen.

Die Zeitkonstante ist definiert durch den doppelt vorhande nen Einschaltwiderstand der CMOS-Schalter sowie durch die Reihenschaltung der Koppelkapazitäten C_K2, C_K3 und der Meßkapazität C_M. Hierbei ist C_K2 gleich C_K3. Für die Aufla dezeitkonstante t_M gilt folgender Zusammenhang:

Die bei der realisierten Schaltung erreichte Zeitkonstante t_M liegt im Bereich von einigen 10 ns, so daß eine Aufladung der Meßkapazität C_M innerhalb einer sehr kurzen Zeit ver glichen mit der Dauer der Spannungsrampe von einigen 10 µs gewährleistet ist. Den Endwert der Spannung an der Meßkapa zität C_M erhält man aus dem kapazitiven Teilungsverhältnis der bestehenden Kondensatoren gemäß folgendem Zusammenhang:

Mit dieser Spannung V_CMEnd steht nun ein dem Elektrolyt- Widerstand R_El2 proportionales Meßsignal zur Verfügung. Durch die vorgegebenen geometrischen Verhältnisse der Meßanordnung ist der zweite Elektrolytteil-Widerstand R_El2 über eine Konstante mit dem spezifischen Widerstand bzw. durch Kehrwertbildung mit dem spezifischen Leitwert des Elektrolyten verknüpft. Diese Konstante läßt sich quasi als eine "Zellenkonstante" der Anordnung auffassen.

Die zeitlichen Verläufe der Spannung am Meßkondensator C_M sind in Fig. 7b dargestellt.

Nachdem das Meßsignal auf die Meßkapazität C_M übertragen worden ist, werden die Schalter S₅ und S₆ wieder geöffnet, wobei die Ladung auf der Meßkapazität C_M erhalten bleibt (vergleiche Fig. 7a). Zur Weiterverarbeitung wird sie mittels weiterer Schalter S₉ und S₁₀ in die Schalter-Kon densator-Schaltung gemäß Fig. 3 eingebracht und verstärkt. Dabei gelangt die auf dem Meßkondensator C_M gespeicherte Ladung auf den Rückkoppel-Kondensator C_R, wobei das Kapazi tätsverhältnis von C_M zu C_R den Verstärkungsfaktor definiert. Die Ausgangsspannung V_OUT steht nach jedem Ladevorgang als Ausgangswert zur Verfügung. Bei Beschaltung des Operationsverstärkers OPV als Integrator, bei dem die Spannung über den Rückkopplungskondensator C_R erst nach mehreren Takten durch den elften Schalter S₁₁ zurückgesetzt wird, kann das Ausgangssignal weiter verstärkt werden.

Bei der erfindungsgemäßen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung sind Polarisationseffekte ausgeschlossen, können keine Elektro lysevorgänge im Elektrolyten auftreten, sind Driftfehler aufgrund einer Absorption von Ionen oder einer Verschmutzung im Bereich der Meßelemente gleichfalls ausgeschlossen bzw. stark vermindert. Der Elektrolyt ist nicht auf ein festes Potential gelegt, wodurch der Anwendungsbereich der erfin dungsgemäßen Leitfähigkeitsmeßvorrichtung weiter vergrößert wird. Da der Elektrolyt nicht in Kontakt mit Metallen stehen muß, werden unerwünschte chemische Reaktionen, wie bei spielsweise katalytische Reaktionen, vermieden.

Claims

1. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung zur Messung der elektrischen Leitfähigkeit von Flüssigkeiten,
mit einer Stromquellenvorrichtung (SQ, S1, S2, S3, S4), die an zwei Stromzufuhrelemente anschließbar ist, über die ein im wesentlichen rechteckförmiger Strom in die Flüssigkeit einspeisbar ist, und
mit einer an zwei Spannungsmeßelementen angeschlossenen Meßschaltung (OPV, S5 - S11, CM, CR) zum Bestimmen des Spannungsabfalles in der Flüssigkeit zwischen den Spannungsmeßelementen, welcher von der elektrischen Leitfähigkeit der untersuchten Flüssigkeit abhängt,
wobei die Meßschaltung eine Schalter-Kondensator- Schaltung ist, die einen Meßkondensator CM aufweist, der mit den Spannungsmeßelementen über eine Schalterein richtung S5, S6, S7, S8 in zeitlicher Abhängigkeit von dem Verlauf des im wesentlichen rechteckförmigen Stromes koppelbar und trennbar ist, nach der Deutschen Patent anmeldung P4113033.2-52,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Stromzufuhrelemente als Stromeinkoppelkonden satoren (C_K1, C_K4) ausgebildet sind.

2. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungsmeßelemente als Spannungsauskoppel kondensatoren (C_K2, C_K3) ausgebildet sind.

3. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Koppel-Kondensator (C_K1, C_K2, C_K3, C_K4) als leitende Schicht (32) auf einer isolierenden Zwischen schicht (31), die ihrerseits auf einem Halbleiter substrat (30) liegt, ausgebildet ist und von einer isolierenden Oberflächenschicht (33) bedeckt ist.

4. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die isolierende Oberflächenschicht (33) aus Siliziumoxid und Siliziumnitrid besteht,
daß die leitende Schicht (32) aus Polysilizium besteht, und
daß die isolierende Zwischenschicht (33) aus Siliziumoxid besteht.

5. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromquelleneinrichtung eine Gleichstromquelle (SQ) aufweist, die über einen ersten, zweiten, dritten und vierten Schalter (S1, S2, S3, S4) mit den Stromein koppelkondensatoren (C_K1, C_K4) in einer ersten und einer zweiten Polung verbindbar ist.

6. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuervorrichtung vorgesehen ist, die den er sten, zweiten, dritten und vierten Schalter (S1, S2, S3, S4) derart ansteuert, daß sie die Stromquelle (SQ) al ternierend während einer ersten Zeitdauer (T1) in der ersten Polung und während einer zweiten Zeitdauer (T2) in der zweiten Polung mit den Stromeinkoppelkondensa toren (C_K1, C_K2) verbinden.

7. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Schaltereinrichtung (S1, S2, S3, S4) einen fünf ten, sechsten, siebten und achten Schalter (S5, S6, S7, S8) aufweist,
daß die Steuervorrichtung den fünften bis achten Schal ter (S5, S6, S7, S8) derart ansteuert, daß sie die Span nungauskoppelkondensatoren (C_K2, C_K3) während einer dritten Zeitdauer (T3) in einer ersten Polung und während einer vierten Zeitdauer (T4) in einer zweiten Polung mit dem Meßkondensator (C1) verbinden, und
daß die dritte Zeitdauer (T3) innerhalb der ersten Zeit dauer (T1) und die vierte Zeitdauer (T4) innerhalb der zweiten Zeitdauer (T2) liegen.

8. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Zeitdauer (T1, T2) gleich lang sind, so daß der rechteckförmige Strom im zeitlichen Mittel keinen Gleichanteil aufweist.

9. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßschaltung eine Verstärkerschaltung (OPV, CR) aufweist, die mit dem Meßkondensator (CM) über einen neunten und zehnten Schalter (S9, S10) verbindbar ist.

10. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuervorrichtung den neunten und zehnten Schal ter (S9, S10) derart ansteuert, daß sie die Verstärker schaltung (OPV, CR) während einer fünften Zeitdauer (T5), die außerhalb der dritten und vierten Zeitdauer (T3, T4) liegt, mit dem Meßkondensator (CM) verbinden.

11. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßschaltung einen Rückkopplungskondensator (CR) im Rückkopplungszweig der Verstärkerschaltung (OPV, CR) aufweist.

12. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß ein elfter Schalter (S11) parallel zu dem Rückkopp lungskondensator (CR) liegt, und
daß die Steuervorrichtung den elften Schalter (S11) der art ansteuert, daß der Rückkopplungskondensator (CR) nach jeder fünften Zeitdauer (T5) entladen wird.

13. Integrierbare Leitfähigkeitsmeßvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
daß ein elfter Schalter (S11) parallel zu dem Rückkopp lungskondensator (CR) liegt, und
daß die Steuervorrichtung den elften Schalter (S11) der art ansteuert, daß der Rückkopplungskondensator (CR) nach jeweils einer Mehrzahl von Perioden (T1, T2) ent laden wird.