DE4212281A1 - Interferentielle Positionsmeßvorrichtung - Google Patents
Interferentielle PositionsmeßvorrichtungInfo
- Publication number
- DE4212281A1 DE4212281A1 DE4212281A DE4212281A DE4212281A1 DE 4212281 A1 DE4212281 A1 DE 4212281A1 DE 4212281 A DE4212281 A DE 4212281A DE 4212281 A DE4212281 A DE 4212281A DE 4212281 A1 DE4212281 A1 DE 4212281A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- grating
- diffraction
- grid
- gratings
- chirped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- SAPNXPWPAUFAJU-UHFFFAOYSA-N lofepramine Chemical compound C12=CC=CC=C2CCC2=CC=CC=C2N1CCCN(C)CC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1 SAPNXPWPAUFAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine interferentiell
arbeitende Vorrichtung nach dem Oberbegriff des
Anspruches 1.
Referenzmarken sind bei photoelektrischen
inkrementalen Längen- und Winkelmeßeinrichtungen
üblich, um einen definierten Nullpunkt festlegen
und reproduzieren zu können.
In der DE-C2 34 16 864 ist der Aufbau einer Refe
renzmarke zur Erzeugung eines Referenzimpulses be
schrieben. Es werden dabei Phasengitter als Tei
lungsmarkierungen verwendet, die die Strahlung ei
ner Lichtquelle beugen und auf Detektoren lenken.
Die Auswertung von Gegentakt- bzw. Pseudogegentakt
signalen liefert einen Referenzimpuls, der von der
Beleuchtungsintensität (und in gewissen Grenzen
auch von Abstandsänderungen) relativ unabhängig
ist. Die Impulsbreiten dieses Referenzimpulses
werden im wesentlichen durch die Breiten der Tei
lungsmarkierungen auf dem Teilungsträger und den
Breiten der Spalte in der Abtastplatte bestimmt.
Mit dieser auf Schattenwurf basierenden Vorrichtung
lassen sich aufgrund von Beugungseffekten keine
Referenzimpulse mit sehr kleinen Impulsbreiten er
zeugen, wie sie für hochauflösende, inkrementale
Meßsysteme erforderlich wären. Außerdem müssen die
Abtastplatte und der Teilungsträger im engen Ab
stand gehalten werden.
Aus der DE-C2 34 17 176 ist ein Referenzimpulsgeber
bekannt, der die oben angeführten Nachteile nicht
besitzt. Dieser besteht aus mehreren Gittern mit
periodischen Teilungen unterschiedlicher Gitter
konstante, aus denen entsprechend dem Dreigitter
geberprinzip (Dissertation J. Willhelm, "Dreigit
terschrittgeber - photoelektrische Aufnehmer zur
Messung von Lageänderungen", TU Hannover) Signale
unterschiedlicher Periode abgeleitet werden. Ent
sprechend einer Fourier-Reihe werden diese Signale
zusammengefaßt. Dadurch lassen sich Referenzimpulse
sehr kleiner Breite erzeugen, die zudem kaum vom
Abstand zwischen der Abtastplatte und dem Teilungs
träger abhängen. Allerdings liefert diese Vorrich
tung nicht nur einen einzelnen Referenzimpuls, son
dern eine periodische Folge von Impulsen. Es müssen
daher durch zusätzliche Maßnahmen diese Impulse
unterscheidbar gemacht werden. Da der Impulsabstand
nicht beliebig vergrößert werden kann, ist zur Se
lektion eines Impulses ein erheblicher Aufwand nö
tig.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde,
eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu
schaffen, die Signale sehr kleiner Breite liefert,
die in weiten Grenzen unabhängig sind von der Be
leuchtungsintensität und von dem Abstand zwischen
dem Abtastgitter und dem Teilungsträger. Zudem soll
durch verschieden ausgebildete Referenzmarken eine
Unterscheidung der Referenzmarken möglich sein.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung gelöst,
die die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1
aufweist.
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung
liegen darin, daß trotz der sehr kleinen Breite des
Referenzimpulses die Abtastung der Referenzmarken
auch in einem großen Abtastabstand möglich ist und
daß dementsprechend die Abtastung der Referenzmar
ken gegenüber Abtastabstandsänderungen unempfind
lich ist. Ferner ist es bei dieser Vorrichtung
möglich, durch verschiedene Ausgestaltungen der
Referenzmarken unterschiedliche Signal formen zu
erzeugen. So können z. B. mehrere Referenzmarken
unterscheidbar gemacht werden. Die Anwendung der
erfindungsgemäßen Vorrichtung ist aber nicht be
schränkt auf Referenzmarken. So können auch Null
signale für Nullsensoren erzeugt werden, deren Si
gnalverlauf in weiten Grenzen durch geeignete Git
terparameter eingestellt werden kann.
Vorteilhafte Ausgestaltungen entnimmt man den Un
teransprüchen.
Mit Hilfe von Ausführungsbeispielen soll anhand der
Zeichnungen die Erfindung näher erläutert werden.
Die Darstellungen sind zum besseren Verständnis
stark vereinfacht.
Es zeigt
Fig. 1 eine Durchlichtanordnung
mit drei gleichartig ge
chirpten Gittern in Null
stellung (X-O),
Fig. 2 veranschaulicht den in
Fig. 1 stark schemati
sierten Aufbau einer Po
sitionsmeßeinrichtung,
Fig. 3 bis 7 Meßeinrichtungen mit un
terschiedlichen Abtast
prinzipien,
Fig. 8 ein gechirptes Radialgit
ter,
Fig. 9 ein Beugungsgitter mit
konzentrischen Kreisen,
Fig. 10 eine Beugungsstruktur aus
einzelnen Kreisen und
Fig. 11 ein gechirptes Überstruk
turgitter.
In Fig. 1 ist schematisch eine im Auflichtverfah
ren arbeitende Meßeinrichtung 1 dargestellt. Drei
Beugungsgitter A, B, A′ besitzen keine periodische
Teilung. Ihre Gitterkonstante d = d(x) ändert sich
vielmehr entlang der Teilungsrichtung x. In der
Literatur werden solche Gitter als gechirpte Gitter
bezeichnet. Es wird hier zunächst angenommen, daß
die gechirpten Gitter A, B und A′ eine identische
Teilung besitzen. In Fig. 1 sind der Einfachheit
halber nur wenige Beugungsstrahlen eingezeichnet.
Das Lichtbündel einer kollimierten, inkohärenten
Lichtquelle L (LED) wird am Gitter A in Teilstrah
lenbündel aufgespalten. Diese werden am Gitter B
umgelenkt und schließlich am Gitter A′ überlagert
und zur Interferenz gebracht. Die Detektoren D-1,
D0, D1 detektieren die Strahlenbündel der -1., 0.
und +1. resultierenden Beugungsordnung.
Befindet sich das entlang der Teilungsrichtung ver
schiebbare Gitter B in der Stellung X = 0, bei der
sich entsprechende Gitterstege der Gitter A, A′ und
B gegenüberstehen, so treten durch den Einfluß der
ortsabhängigen Gitterkonstante Strahlneigungen δR,
δ, δ′ auf, die zu Phasenverschiebungen zwischen
den Teilstrahlenbündeln führen, die vom Gitterab
stand a abhängen. Diese Phasenverschiebungen müssen
klein gehalten werden, da nur dann der mit Hilfe
der Detektoren D-1, D0, D1 gewonnene Signalverlauf
Sn(X), n = -1, 0, 1 vom Abstand a der Gitter A, B, A′
unabhängig ist. Dabei steht der Index "n" für die
n-te resultierende Ordnung. Diese Bedingung läßt
sich erfüllen, wenn die Variation δd(x)/δx der
lokalen Gitterkonstante d(x) auf kleine Werte be
grenzt bleibt, was sich in der Praxis stets durch
eine entsprechend lange Gitterteilung erreichen
läßt.
Die Idee der Erfindung geht aus von einem herkömm
lichen Dreigittergeber, der periodische Signale mit
einer Periode gleich der halben Gitterkonstante
liefert. Bei Verwendung gechirpter Gitter können
diese gedanklich in viele kleine Teilgitter mit
jeweils konstanter aber untereinander verschiedener
Gitterkonstanten zerlegt werden. Jedes Teilgitter
liefert bei kleinen Verschiebungen X des Gitters B
periodische Signale unterschiedlicher Frequenz.
Durch die Überlagerung aller Signalfrequenzen ent
steht ein nichtperiodischer Signalverlauf Sn(x),
ähnlich einer Überlagerung eines kontinuierlichen
Frequenzspektrums in einem Fourierintegral.
Verschiedene funktionale Abhängigkeiten der lokalen
Teilungsperiode d(x) von der Teilungsrichtung x
ergeben unterschiedliche Signalverläufe Sn(x). Auch
durch die ortsabhängige Variation anderer Gitter
parameter, wie Steghöhe, Stegbreite, Steglänge,
Transmission, Absorption, Form der Stege; läßt sich
bei Verwendung gechirpter Gitter der Signalverlauf
Sn(x) beeinflussen.
Die Signalform Sn(x) wird des weiteren bestimmt von
der Phasenlage der einzelnen Frequenzkomponenten,
die die einzelnen Teilgitter beitragen. Diese Pha
senlagen lassen sich verschieben, indem man die
einzelnen Gitterstege in den Teilgittern des Beu
gungsgitters B gegenüber dem entsprechenden der
Beugungsgitter A und A′ verschiebt. So läßt sich
die Signalform Sn(x) in weiten Grenzen verändern.
In Fig. 2 veranschaulicht nochmals den Aufbau ei
ner Positionsmeßeinrichtung, vor allem die beson
dere Struktur der Beugungsgitter A, B und A′.
In Fig. 3 ist schematisch eine weitere Meßeinrich
tung 13 als Dreigittergeber gezeigt. Die Funktions
weise dieser Anordnung ist ähnlich der in der Fig.
2 beschriebenen Vorrichtung mit dem Unterschied,
daß durch die Verwendung eines gechirpten Amplitu
dengitters A3 als Abtastteilung die verschiedenen
resultierenden Beugungsordnungen dieses Dreigitter
gebers 13 Signale mit derselben Phasenlage liefern
und deshalb nicht mehr getrennt auf Photoelemente
D3 gelenkt werden müssen. Daher ist hier auch eine
kurzbrennweitige Linse 23 realisierbar.
Fig. 4: Die gechirpte Maßstabsteilung B4 besitzt
hier an jeder Stelle die halbe lokale Teilungs
periode (=Gitterkonstante) verglichen mit der ent
sprechenden Stelle der gechirpten Abtastteilung A4.
Das kollimierte Lichtbündel der Lichtquelle L4 wird
durch die gechirpte Teilung A4 (vorzugsweise ein
Phasengitter) in eine +1. und eine -1. Beugungsord
nung aufgespalten. Die Maßstabsteilung B4 (eben
falls vorzugsweise ein Phasengitter) lenkt diese
Beugungsordnungen jeweils wieder in die entgegenge
setzte Richtung zurück, so daß sie durch die Teilung
A4 in nullter resultierender Beugungsordnung zur
Interferenz gebracht und vom Photoelement D4 detek
tiert werden können.
Auch andere Abtastverfahren als das des beschriebe
nen Dreigittergebers können herangezogen werden,
wenn die periodischen Teilungen durch entsprechende
gechirpte Teilungen ersetzt werden. Besonders vor
teilhaft sind Verfahren, die eine Abtastung des
Maßstabs (weitgehend) unabhängig vom seinem Abstand
erlauben. Denn bei Verwendung gechirpter Teilungen
muß jede lokale Teilungsperiode bei einem festen
Abstand des Maßstabs einen entsprechenden, os
zillierenden Signalanteil liefern. Bei abstands
unabhängigen Abtastverfahren werden vorzugsweise
symmetrische Beugungsordnungen des Maßstabs (meist
±1.) zur Interferenz gebracht. Dies führt zu einer
für diese Verfahren typischen Signalperiode gleich
einem Bruchteil der Teilungsperiode. Im Folgenden
sind einige weitere geeignete Abtastverfahren zur
Erzeugung von Referenzimpulsen mit Hilfe gechirpter
Gitter aufgezählt.
In den Fig. 5 und 6 werden Zweigittergeber ge
zeigt.
Fig. 5: Die beiden ersten Beugungsordnungen der
Teilung A5 (vorzugsweise ein Phasengitter) bilden
am Ort der Teilung B5 ein Streifensystem, das mit
Hilfe des Amplitudengitters B5, das verglichen mit
entsprechenden Stellen der Teilung A5 die halbe
lokale Teilungsperiode besitzt, abgetastet und von
einem Detektor D5 detektiert wird. Das Amplituden
gitter B5 kann auch direkt auf dem Detektor D5 auf
gebracht sein, so daß gewissermaßen dieses Beu
gungselement durch einen strukturierten Detektor
gebildet wird.
Fig. 6: Das kollimierte Lichtbündel der Licht
quelle L6 wird durch die gechirpte Teilung A6 (vor
zugsweise ein Phasengitter) in eine +1. und eine
-1. Beugungsordnung aufgespalten und durch die ge
chirpte Teilung B6 (ebenfalls vorzugsweise ein Pha
sengitter) wieder in Richtung resultierender 0.
Beugungsordnung zurückgelenkt. Ein Photoelement D6
detektiert diese resultierende 0. Beugungsordnung.
In Fig. 7 wird zur Vervollständigung noch ein Ein
gittergeber 17 dargestellt. Das Licht einer Licht
quelle L7 (vorzugsweise ein Halbleiterlaser) wird
durch eine Linse 27 kollimiert und auf eine ge
chirpte Teilung A7 (vorzugsweise ein Phasengitter)
gelenkt. Das reflektierte Lichtbündel wird dabei
in eine +1. und eine -1. Beugungsordnung aufge
spalten. Eine Abbildungsoptik (hier die gleiche
Linse 27) bildet nun die gechirpte Teilung A7 auf
den Detektor D7 ab und überlagert so die beiden
Beugungsordnungen. Das entstehende Interferenz
streifensystem mit sich änderndem Streifenabstand
wird mittels eines Photoelementes D7 detektiert,
das entsprechend einem gechirpten Gitter struk
turiert ist. Die lokale Strukturierungsperiode des
Photoelementes D7 hängt dabei u. a. vom Abbildungs
maßstab der Abbildungsoptik 27 ab.
Es ist bekannt, daß das Dreigitterprinzip auch für
Drehgeber anwendbar ist. Es liegt deshalb im Rahmen
der Erfindung, auch einen Drehgeber nach der Erfin
dung auszugestalten, indem entweder - wie in Fig.
8 gezeigt - gechirpte Radialteilungen A8 verwendet
oder gechirpte Teilungen auf Zylinderflächen aufge
bracht werden.
Mit Hilfe der hier beschriebenen Vorrichtung lassen
sich in Abhängigkeit einer Verschiebung X je nach
Ausbildung der gechirpten Gitter, sehr unterschied
liche Signalformen erzeugen. Die Verwendung dieser
Vorrichtung ist dabei nicht auf die Erzeugung von
Referenzimpulsen beschränkt. So können auch für
verschiedene Nullsensoren geeignete Signalverläufe
generiert werden, beispielsweise mit konzentrischen
Kreisen A9 gemäß Fig. 9.
Als Beugungselemente müssen nicht unbedingt Beu
gungsgitter eingesetzt werden. Auch andere beugende
Elemente können verwendet werden, wenn ihre beugen
de Struktur - z. B. Punkte A10 (Kreisscheiben) statt
Gitterstriche - sich ortsabhängig und stetig ver
ändert, wie dies aus Fig. 10 ersichtlich ist.
Ferner ist es möglich, gechirpte Gitter als soge
nannte Überstrukturgitter auszuführen.
Periodisch geteilte Überstrukturgitter besitzen in
jeder Teilungsperiode mehr als einen Gittersteg.
Durch eine Überstruktur lassen sich die Beugungs
effizienzen verschiedener Beugungsordnungen gezielt
erhöhen oder abschwächen. Verwendet man periodische
Überstrukturgitter als Abtast- und/oder Maßstabs
teilung in einem Dreigittergeber, so erhält man
Abtastsignale, deren Oberwellengehalt von der Über
struktur abhängt. Bei geeigneter Wahl der Über
struktur können der Signalanteil mit der doppelten
Frequenz (halbe Signalperiode, 2. Harmonische)
und/oder noch höhere Harmonische auf Amplitudenwer
te der Grundwelle verstärkt werden.
Gechirpte Überstrukturgitter enthalten ebenfalls in
jeder lokalen Teilungsperiode mehr als einen Git
tersteg, was in der Fig. 11 anhand eines Maßstabes
All verdeutlicht wird. Bei geeigneter Wahl der
Überstruktur liefert jede Stelle der Gitteranord
nung in der Nähe der Nullage X = 0 der Gitter nicht
nur einen Signalanteil mit einer Periode gleich
einer halben lokalen Teilungsperiode (Grundwelle),
sondern auch einen Signalanteil mit einer Periode
gleich einer viertel lokalen Teilungsperiode (2.
Harmonische) bzw. noch höhere Harmonische. Variiert
die lokale Teilungsperiode der gechirpten Gitter
beispielsweise von d0 bis 2d0, so weist das abge
leitete Signal in der Nähe der Nullage X = 0 Anteile
mit Signalperioden d0/2 . . . d0 (Grundwelle) und
d0/4 . . . d0/2 (2. Harmonische) bzw. d0/2n . . . d0/n
(n-te Harmonische) auf. So erhält man ein Signal
mit einem breiten Frequenzspektrum bei nur kleiner
Variation der lokalen Teilungsperiode. Eine kleine
Variation der lokalen Teilungsperiode (charakteri
siert durch den bereits erwähnten Chirpparameter
δd(x)/δx) erlaubt aber eine besonders große Tole
ranz bzgl. Abstandsänderungen der Gitter und/oder
eine Verkürzung der Länge der gechirpten Gitter.
Claims (9)
1. Interferentiell arbeitende Vorrichtung zur Er
zeugung von Signalen mit einer Lichtquelle,
wenigstens zwei Beugungselementen, deren Beu
gungsstrukturen gleich oder nur geringfügig
unterschiedlich sind, sowie mit Detektoren zum
Erfassen von gebeugten, miteinander interferie
renden Teilstrahlenbündeln, wobei die Parameter
der Beugungsstrukturen der Beugungselemente
ortsabhängig variieren und diese Variation ste
tig erfolgt, nach Patent . . . (Patentanmeldung P
41 22 932.0) dadurch gekennzeichnet, daß die
Beugungselemente als Phasengitter A, B; B3; A4,
B4; A5; A6, B6; A7; A11) oder als Amplituden
gitter (A3; B5, D7) ausgebildet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß eines der Beugungsgitter (B4; B5)
die halbe lokale Gitterkonstante aufweist, wie
das korrespondierende Beugungsgitter (A4; A5).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Detektor (D5; D7) als struk
turiertes Beugungselement ausgebildet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Beugungsstruktur als Radial
teilung (A8) ausgebildet ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Beugungselemente als Beu
gungsgitter (A11) mit einer Überstruktur aus
gebildet sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Überstruktur durch mehr als
einen Gittersteg pro lokaler Gitterkonstante
gebildet wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß mit Hilfe eines Transmissions
gitters (A; A3; A4) und eines Reflexionsgitters
(B; B3; B4) eine Meßeinrichtung (1; 13; 14) des
Dreigittergeber-Typs gebildet wird.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß mit Hilfe zweier Transmissions
gitter (A5, B5; A6, B6) eine Meßeinrichtung
(15; 16) des Zweigittergeber-Typs gebildet
wird.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 3, dadurch
gekennzeichnet, daß mit Hilfe eines Reflexions
gitters (A7), einer Abbildungsoptik (27) und
eines strukturierten Detektors (D7) eine Meß
einrichtung (17) des Eingittergeber-Typs ge
bildet wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE9218274U DE9218274U1 (de) | 1992-04-11 | 1992-04-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
DE4212281A DE4212281A1 (de) | 1991-07-11 | 1992-04-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4122932A DE4122932C2 (de) | 1991-05-18 | 1991-07-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
DE9218274U DE9218274U1 (de) | 1992-04-11 | 1992-04-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
DE4212281A DE4212281A1 (de) | 1991-07-11 | 1992-04-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4212281A1 true DE4212281A1 (de) | 1993-10-14 |
DE4212281C2 DE4212281C2 (de) | 1994-02-03 |
Family
ID=27202702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4212281A Granted DE4212281A1 (de) | 1991-07-11 | 1992-04-11 | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4212281A1 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19521295A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
CN102506728A (zh) * | 2011-11-02 | 2012-06-20 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于y型腔正交偏振激光器的位移测量方法及装置 |
CN104913725A (zh) * | 2014-03-14 | 2015-09-16 | 中国计量学院 | 基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置 |
EP2963391A1 (de) * | 2014-06-26 | 2016-01-06 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
CN108362317A (zh) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 | 位置测量装置 |
US10753868B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-08-25 | University Of York | Sensor and associated methods |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE192566T1 (de) * | 1994-02-23 | 2000-05-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmessvorrichtung |
DE19726935B4 (de) * | 1997-06-25 | 2014-06-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmeßeinrichtung |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3416864C2 (de) * | 1984-05-08 | 1986-04-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrische Meßeinrichtung |
DE3417176C2 (de) * | 1984-05-09 | 1986-07-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrische Meßeinrichtung |
DE3209043C2 (de) * | 1981-03-12 | 1986-09-25 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Fotoelektrische Bewegungs-Meßeinrichtung |
EP0163362B1 (de) * | 1984-05-31 | 1988-06-08 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Verschiebungen |
DE4007968A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische vorrichtung |
-
1992
- 1992-04-11 DE DE4212281A patent/DE4212281A1/de active Granted
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3209043C2 (de) * | 1981-03-12 | 1986-09-25 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Fotoelektrische Bewegungs-Meßeinrichtung |
DE3416864C2 (de) * | 1984-05-08 | 1986-04-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrische Meßeinrichtung |
DE3417176C2 (de) * | 1984-05-09 | 1986-07-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrische Meßeinrichtung |
EP0163362B1 (de) * | 1984-05-31 | 1988-06-08 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Verschiebungen |
DE4007968A1 (de) * | 1990-03-13 | 1991-09-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische vorrichtung |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19521295A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
DE19521295C2 (de) * | 1995-06-10 | 2000-07-13 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
CN102506728A (zh) * | 2011-11-02 | 2012-06-20 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 基于y型腔正交偏振激光器的位移测量方法及装置 |
CN104913725A (zh) * | 2014-03-14 | 2015-09-16 | 中国计量学院 | 基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置 |
EP2963391A1 (de) * | 2014-06-26 | 2016-01-06 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmesseinrichtung |
US10753868B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-08-25 | University Of York | Sensor and associated methods |
CN108362317A (zh) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 | 位置测量装置 |
CN108362317B (zh) * | 2017-01-26 | 2021-11-23 | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 | 位置测量装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4212281C2 (de) | 1994-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4122932C2 (de) | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung | |
EP0509979B1 (de) | Photoelektronische Positionsmesseinrichtung | |
DE3727188C2 (de) | Optische Verschiebungserfassungseinrichtung | |
DE3417176C2 (de) | Photoelektrische Meßeinrichtung | |
EP1691172B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
DE69618441T3 (de) | Optoelektronischer drehkodierer | |
EP1081457B1 (de) | Optische Positionsmesseinrichtung | |
EP2318812B1 (de) | Optische positionsmesseinrichtung | |
EP0735346A2 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
DE112011104918T5 (de) | Optischer Geber | |
DE3938935C2 (de) | ||
DE19754595A1 (de) | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung | |
EP0669518B1 (de) | Vorrichtung zum Erzeugen von positionsabhängigen Signalen | |
DE4212281C2 (de) | ||
DE4427080A1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale | |
EP0747674B1 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
EP0763715B1 (de) | Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen | |
EP2963391B1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
DE102014215633A1 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
EP0547270B1 (de) | Fotoelektrische Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale | |
EP0385386B1 (de) | Verfahren zur Messung eines Drehwinkels und Drehwinkelmesser | |
DE9218274U1 (de) | Interferentielle Positionsmeßvorrichtung | |
DE10346380B4 (de) | Positionsmesseinrichtung | |
EP0434973B1 (de) | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung | |
EP0590162A1 (de) | Längen- oder Winkelmesseinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AF | Is addition to no. |
Ref country code: DE Ref document number: 4122932 Format of ref document f/p: P |
|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
AF | Is addition to no. |
Ref country code: DE Ref document number: 4122932 Format of ref document f/p: P |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8362 | Rights of main patent transferred to additional patent | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |