DE4204406A1 - Verfahren zur herstellung eines homogenen, schlierenfreien koerpers aus quarzglas - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines homogenen, schlierenfreien koerpers aus quarzglas

Info

Publication number
DE4204406A1
DE4204406A1 DE4204406A DE4204406A DE4204406A1 DE 4204406 A1 DE4204406 A1 DE 4204406A1 DE 4204406 A DE4204406 A DE 4204406A DE 4204406 A DE4204406 A DE 4204406A DE 4204406 A1 DE4204406 A1 DE 4204406A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
glass
longitudinal axis
twisted
rod
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4204406A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4204406C2 (de
Inventor
Wolfgang Dr Englisch
Heinrich Goy
Peter Hitzschke
Paul Sauerwein
Fritz Simmat
Ralf Dr Takke
Gerhard Steiner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Original Assignee
Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG filed Critical Heraeus Quarzglas GmbH and Co KG
Priority to DE4204406A priority Critical patent/DE4204406C2/de
Publication of DE4204406A1 publication Critical patent/DE4204406A1/de
Priority to US08/170,925 priority patent/US5443607A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE4204406C2 publication Critical patent/DE4204406C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B32/00Thermal after-treatment of glass products not provided for in groups C03B19/00, C03B25/00 - C03B31/00 or C03B37/00, e.g. crystallisation, eliminating gas inclusions or other impurities; Hot-pressing vitrified, non-porous, shaped glass products
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/02Other methods of shaping glass by casting molten glass, e.g. injection moulding
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00Glass manufacturing
    • Y10S65/08Quartz

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarz­ glas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines im we­ sentlichen stabförmigen Ausgangskörpers, wobei in einem Umformschritt der Ausgangskörper unter Bildung eines, eine schichtweise radial homogenisierte, axiale Schichtung aufweisenden Drillkörpers, um seine Längsachse verdrillt wird.
Ein derartiges Verfahren ist aus der DE-PS 567 863 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird ein Quarzglas-Zylinder in einem Heizraum zwischen zwei, an den Zylinderenden angeschmolzenen Stäben gehalten und durch Relativbewegungen dieser Stäbe zueinander um seine Längsachse verdrillt. Durch das Verdrillen des Zylinders wird die Glasmasse in radialer Richtung durchmischt und vorhan­ dene Inhomogenitäten, die beispielsweise optisch als Schlieren erfaßbar sind, werden dabei im wesentlichen entfernt. In Richtung der Zylinderachse gesehen, findet beim Verdrillen jedoch keine Durchmischung statt, so daß Inho­ mogenitäten längs der Zylinderachse erhalten bleiben. Durch ein derartiges Verdrillen wird im Zylinder daher eine Art Schichtstruktur von Schlieren er­ zeugt, wobei die Schichten senkrecht zur Zylinderachse verlaufen und je nach Richtung der Beanspruchung des Zylinders optische Störungen hervorrufen. Zur vollständigen Homogenisierung der Glasmasse wird bei dem bekannten Verfahren ein Kneten und Rühren mittels der angeschmolzenen Stäbe, bis zur praktischen Schlierenfreiheit vorgeschlagen.
Mittels dieses Verfahrens sind homogene Körper aus Quarzglas mit einem Gewicht bis etwa 8 kg herstellbar. Mit zunehmendem Gewicht der Glasmasse machen sich jedoch auch zunehmend Probleme hinsichtlich der Halterung der Glasmasse mit­ tels der Stäbe sowie einer ausreichend gleichmäßigen Erwärmung des Körpers über seinen gesamten Querschnitt bemerkbar. Insbesondere sind mit schweren Glasmassen starke Misch- und Umformbewegungen, wie sie beispielsweise beim Rühren und Kneten auftreten, aufgrund der mechanischen Beanspruchung der An­ schmelzstellen an die Glasmasse nicht durchführbar.
Ein Verfahren zur Herstellung von Stangen aus blasenfreiem Quarzglas in einem einstufigen Prozeß ist aus der DE-OS 32 01 777 bekannt. Bei diesem Verfahren wird aus einem an einem Ende erhitzten Quarzglaszylinder kontinuierlich eine Stange abgezogen, wobei der Zylinder und die Stange gegenläufig um ihre Längs­ achse rotiert werden und die Glasmasse in der Erhitzungszone verdrillt wird. Aufgrund der fehlenden Durchmischung in Längsachsenrichtung ist die Herstellung von Quarzglas-Körpern, die in allen Raumrichtungen homogen und schlierenfrei sind mit diesem Verfahren jedoch nicht möglich.
In der US-PS 43 58 306 ist ein Verfahren zum Formen eines Quarzglas-Blocks beschrieben, bei dem ein Ausgangsblock in einer Graphitform erhitzt, mittels eines in die Graphitform absenkbaren Druckstempels verformt und anschließend langsam abgekühlt wird. Dabei soll der Abkühlvorgang die Entstehung von Schlieren oder Rissen verhindern. Aufgrund der fehlenden intensiven Durchmi­ schung der Quarzglasmasse ist mit diesem Verfahren ein vollständig homogener, insbesondere über längere Strecken schlierenfreier Körper jedoch nicht her­ stellbar.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstiges Verfahren für die Herstellung homogener, großvolumiger Körper aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas bereitzustellen.
Ausgehend von dem eingangs angegebenen Verfahren, wird die Aufgabe erfindungs­ gemäß dadurch gelöst, daß die Bildung eines Glasstabes, dessen Längsachse im wesentlichen senkrecht zu der Schichtung verläuft, einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Drillkörper in einer aufheizbaren Form erweicht und unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer Richtung quer zur Achsrichtung in die Form zu einem Glaskörper verformt wird, und daß der Glasstab um seine Längs­ achse verdrillt wird.
Nach dem Umformschritt, bei dem der Ausgangskörper um seine Längsachse ver­ drillt wird, liegt ein im wesentlichen zylinderförmiger Drillkörper vor, bei dem keine oder nur eine unwesentliche Durchmischung der Glasmasse in Längsach­ senrichtung stattgefunden hat. Der Drillkörper ist daher in Längsachsenrich­ tung gesehen inhomogen, wobei die Inhomogenitäten beispielsweise als Schlieren sichtbar sind und in der Glasmasse als senkrecht zur Achse des Drillkörpers verlaufende Inhomogenitäts-Schichten bzw. als in Längsachsenrichtung verlau­ fende Schichtung auftreten. Dabei soll der Ausdruck "Schicht" eine flächen­ mäßige Ausdehnung einer Inhomogenität, "Schichtung" hingegen die Anordnung bzw. Abfolge der einzelnen Schichten, in Richtung senkrecht zu den Schichten, bezeichnen. Durch die Bildung eines Glasstabes, dessen Längsachse im wesent­ lichen senkrecht zu der Schichtung verläuft, wird erreicht, daß die Inhomo­ genitäts-Schichten durch einfaches Verdrillen des Glasstabes um seine Längs­ achse durchmischt und dabei im wesentlichen entfernt werden könnnen. Das Ver­ drillen kann auch bei großvolumigen Glasstäben auf die bekannte Weise durch gegenläufige Rotation von an den Enden des erweichten Glasstabes angeschmol­ zenen Stäben erfolgen.
Da die Bildung des Glasstabes einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Drill­ körper in einer aufheizbaren Form erweicht wird, ist eine Umformung auch sehr schwerer Massen möglich, wobei die in die Form eingebrachte Glasmasse nach der Umformung den unteren Teil der Form ausfüllt. Dabei kann die Viskosität der Glasmasse auch niedriger eingestellt werden als dies bei dem bekannten Verfah­ ren zur Homogenisierung der Glasmasse mittels angeschmolzener Stangen möglich wäre, so daß eine leichtere Durchmischung der gesamten Glasmasse und damit eine bessere Homogenisierung erzielt wird. Die Verwendung einer aufheizbaren Form für das Erweichen der umzuformenden Glasmasse ermöglicht die Einstellung eines homogenen Temperaturfeldes über die gesamte umzuformende Glasmasse. Der Drillkörper wird dabei unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer Richtung quer zur Achsrichtung in die Form zu einem Glaskörper verformt, in dem die Inhomogenitäts-Schichten unter weitgehender Beibehaltung ihrer relati­ ven Lage zueinander und ihrer Schichtenfolge orientiert sind, wobei jedoch durch das Stauchen des Drillkörpers in Achsrichtung der im Glaskörper vorlie­ gende Schichtabstand gegenüber demjenigen im Drillkörper verkürzt ist. Dadurch wird erreicht, daß im Drillkörper weit voneinander entfernte Schichten, die lokal unterschiedliche Materialeigenschaften repräsentieren, im Glaskörper absolut näher zusammenliegen und dadurch einer nachfolgenden Vermischung mit­ einander leichter zugänglich sind. Dabei kann der bei der Verformung des Drillkörpers wirkenden Kraft als Widerlager beispielsweise der Boden der Form dienen, wobei der Drillkörper dort erweicht und dabei von einem Ende beginnend in Richtung quer zur Achsrichtung verformt wird. Die gleiche Verformung wird aber beispielsweise auch dadurch erreicht, daß der Drillkörper kontinuierlich einer Erhitzungszone zugeführt, dort in einem mittleren Bereich seiner Länge erweicht und unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in eine im Erhit­ zungsbereich angeordnete Form, quer zur Achsrichtung zu einem Glaskörper ver­ formt wird.
Das Verdrillen des Ausgangskörpers und das Verdrillen des Glasstabes gewähr­ leistet eine gute Durchmischung ursprünglich im Ausgangskörper weit entfernter Bereiche der Glasmasse in zwei senkrecht aufeinanderstehenden Richtungen, wodurch eine sehr gute Homogenität des Quarzglas-Körpers in allen Raumrichtun­ gen erreicht wird. Bei sehr hohen Anforderungen an die optische Homogenität kann das erfindungsgemäße Verfahren auch mit dem Glasstab als Ausgangskörper wiederholt werden.
Insbesondere für die Herstellung sehr großer, homogener Körper hat sich ein Verfahren bewährt, das einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Glaskörper in Form einer Glasplatte gebildet wird. Das Umformen der Glasmasse des Drillkörpers erfordert bei großem Volumen der Glasmasse lange Umformzeiten. Durch Erhöhen der Erweichungstemperatur kann die Umformzeit verkürzt werden, jedoch ist dann vermehrt mit Abdampfverlusten der Glasmasse, mit chemischen Reaktionen des Glases mit dem Form-Material oder mit verstärktem Abrieb der Form durch die an den Formwänden vorbeifließende Glasmasse, zu rechnen. Die dadurch verursachten Inhomogenitäten in der Glasmasse können durch die Auf­ trennung des Umformschrittes der Umformung des Drillkörpers in den Glasstab in mehrere, kleinere Umformschritte, bei denen zunächst aus dem Drillkörper eine Glasplatte und aus dieser der Glasstab erzeugt wird, vermieden oder vermindert werden. Hierfür wird der Drillkörper beispielsweise in einer Form stehend erweicht, bis er unter Einwirkung einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, bei­ spielsweise unter Einwirkung der Kraft des eigenen Gewichtes in sich zusammen­ fällt und dabei in die Form in Richtung quer zur Achsrichtung verformt wird. Zur Erzielung eines homogenen Temperaturfeldes innerhalb der umzuformenden Glasmasse, wird die Form vorzugsweise von einem sie umgebenden, elektrisch beheizbaren Ofen aufgeheizt. Dabei wird die Glasplatte im Hinblick auf einen nachfolgenden Umformschritt, bei dem ein Glasstab gebildet wird, dessen Längs­ achse im wesentlichen senkrecht zur Schichtung verläuft, vorteilhafterweise so gebildet, daß in ihr die Schichten entweder senkrecht, vorzugsweise jedoch parallel zur großen Plattenoberfläche verlaufen. Das Volumen der Glasmasse und die Innenmaße der Form sind dabei vorteilhafterweise so aufeinander abge­ stimmt, daß eine Glasplatte gebildet wird, deren Dicke etwas kleiner ist als eine oder die seitliche Abmessung des zu bildenden Glasstabes.
In einem weiteren Umformschritt kann dann aus der so hergestellten Glasplatte durch Erweichen in einer Form und unter Einwirkung einer Kraft der Glasstab gebildet werden. Dabei wird die Glasplatte in der Form so orientiert, daß unter Berücksichtigung der Wirkungsrichtung der Kraft der Glasstab gebildet wird. Bei einer Glasplatte, bei der die Inhomogenitäts-Schichten parallel zur Oberfläche verlaufen bedeutet dies beispielsweise eine Stauchung in einer Richtung parallel zur Plattenoberfläche. Um die Orientierung der Inhomogeni­ täts-Schichten weitgehend zu erhalten wird die Stauchung der Glasplatte vor­ teilhafterweise so ausgeführt, daß die mit der Stauchung einhergehende Ver­ längerung einer anderen Seite der Glasplatte im wesentlichen nur in einer Richtung und/oder deren Gegenrichtung erfolgt. Dies wird dadurch erreicht, daß die Dicke der Glasplatte nur wenig kleiner als eine seitliche oder die seitliche Abmessung des zu bildenden Glasstabes, bzw. etwas kleiner als die entsprechende Innenabmessung der Form für die Herstellung des Glas­ stabes gewählt wird.
Dabei hat es sich besonders bewährt, die Glasplatte mit einem, in Wirkungs­ richtung der Umformkraft gesehen, rechteckigen Querschnitt auszubilden. Insbe­ sondere die Handhabung großvolumiger Glasplatten und deren weitere Umformung zu dem zu bildenden Glasstab wird dadurch vereinfacht.
Ein Verfahren, bei dem der Glasstab durch Umformen des Drillkörpers in einem einzigen Umformschritt gebildet wird, zeichnet sich durch besondere Wirt­ schaftlichkeit aus. Die Glasmasse muß dabei nur für das Verdrillen sowie für den einen Umformschritt erhitzt werden. Weiterhin wird für das Umformen des Drillkörpers in den Glasstab nur eine Form benötigt.
Es wird eine Verfahrensweise bevorzugt, bei der die Kraft zum Umformen die Schwerkraft und/oder eine mechanisch erzeugte Umform-Kraft umfaßt. Ein Umform­ schritt, bei dem die Glasmasse allein aufgrund ihres Eigengewichtes, unter der Wirkung der Schwerkraft in sich zusammenfällt, bewirkt eine langsame Verfor­ mung und eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Glasmasse und verhin­ dert so die Bildung zusätzlicher Inhomogenitäten beim Umformen. Durch eine zusätzlich auf die umzuformende Glasmasse aufgebrachte, in die gleiche Rich­ tung wie die Schwerkraft wirkende Umform-Kraft, beispielsweise ein auf die Glasmasse wirkendes Zusatzgewicht, wird der Umformvorgang beschleunigt. Bei einer Verformung unter einer künstlich erzeugten Umform-Kraft, beispielsweise unter einem von außen auf die Glasmasse aufgebrachten Druck, kann das Umformen der Glasmasse in jeder Richtung erfolgen und die Umformgeschwindigkeit über die Höhe des aufgebrachten Drucks gesteuert und, falls erforderlich, beschleu­ nigt werden. Außerdem kann die Temperatur während des Umformschrittes niedri­ ger gewählt werden. Zwischen dem Form-Material und die Glasmasse eventuell ablaufende chemische und physikalische Reaktionen können dadurch verhindert oder vermindert werden.
Das erfindugsgemäße Verfahren wird anhand einer Zeichnung nachfolgend bei­ spielhaft beschrieben. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung:
Fig. 1 das Verdrillen eines Ausgangskörpers um seine Längsachse unter Bil­ dung eines Drillkörpers,
Fig. 2 einen verdrillten Ausgangskörper in einer Form zur Herstellung einer Glasplatte,
Fig. 3 eine Glasplatte nach Entnahme aus der in Fig. 2 dargestellten Form,
Fig. 4 das Einsetzen einer Glasplatte gemäß Fig. 3 in eine Form zur Bildung eines Glasstabes,
Fig. 5 einen Glasstab, nach Entnahme aus der Form gemäß Fig. 4,
Fig. 6 einen Drillkörper in einer Form zur Bildung eines Glasstabes in einem Umformschritt und
Fig. 7 den aus dem Drillkörper gemäß Fig. 6 gebildeten Glasstab in der Form gemäß Fig. 6.
In Fig. 1 ist mit der Bezugsziffer 1 ein zylinderförmiger Ausgangskörper mit einem Gewicht von ca. 15 kg bezeichnet. Durch gegenläufige Rotation zweier, an den Zylinderenden angeschmolzener Pfeifen 2; 3 wird der Ausgangskörper 1 um seine Längsachse verdrillt und dabei die Glasmasse unter Bildung eines Drill­ körpers 5 in radialer Richtung intensiv vermischt. Die Rotationsrichtungen der Pfeifen 2, 3 ist mit den Richtungspfeilen 4 gekennzeichnet. Aufgrund der Durchmischung der Glasmasse in radialer Richtung werden Inhomogenitäten in dieser Richtung weitgehend entfernt. Inhomogenitäten die sich in Längsachsen­ richtung des Ausgangskörpers 1 erstrecken, können auf diese Weise jedoch nicht beseitigt werden und bleiben im Drillkörper 5 als Schlieren-Schichten 6 sicht­ bar, da in dieser Richtung keine oder nur wenig Durchmischung der Glasmasse stattfindet. Die Schlieren-Schichten 6 verlaufen dabei im wesentlichen senk­ recht zur Zylinderachse, bzw. die Schichtung verläuft in Richtung der Zylin­ derachse.
In Fig. 2 ist schematisch dargestellt, wie der Drillkörper 5 in einer Form 7 erweicht wird und unter seinem eigenen Gewicht in sich zusammenfällt. Der Übersichtlichkeit halber ist der die Form 7 aufheizende, elektrisch beheizte Ofen in der Figur nicht dargestellt. Das Volumen der Glasmasse des Drillkör­ pers 5 und die Innenmaße 8, 9 der Form 7 sind dabei gerade so ausgelegt, daß die gesamte erweichte Glasmasse in der Form 7 eine Schicht mit der Stärke S, nämlich 110 mm, auffüllt, wobei die Innenmaße 8; 9 der Form 7 mit 300 mm bzw. 200 mm größer sind als die Stärke S. Nach dem Erstarren der Glasmasse wird der Form 7 eine Glasplatte 10 entnommen, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist. Die Glasplatte 10 weist Außenabmessungen entsprechend den Innenabmessungen 8; 9 der Form 7 und eine Stärke auf die, abgesehen von einer geringförmigen Schrumpfung, dem Wert S entspricht. Da auch durch den Umformschritt der Ver­ formung des Drillkörpers 5 zu der Glasplatte 10 kaum eine Durchmischung der Glasmasse in Längsachsenrichtung erfolgt, bleiben die Schlieren-Schichten 6 in der Glasplatte 10, unter Beibehaltung ihrer Orientierung und ihrer relativen Lage zueinander, im wesentlichen erhalten. Sie verlaufen darin im allgemeinen parallel zur großen Plattenoberfläche 11.
Die Glasplatte 10 wird, wie in Fig. 4 dargestellt, in einer Graphitform 12 bei einer Temperatur von ca. 1850°C erweicht, deren Seitenwände 13; 14; 15; 16 einen Raum mit rechteckiger Grundfläche umschließen, wobei die langen Sei­ tenwände 13; 15 eine Länge von ca. 560 mm haben und einen Abstand voneinander halten, der etwas größer ist als die Stärke S der Glasplatte 10. Die Glasplat­ te 10 wird vorzugsweise mittig in der Graphitform 12 plaziert und dabei so in der Graphitform 12 orientiert, daß die langen Seitenwände 13; 15 sowohl paral­ lel zu der großen Plattenoberfläche 11 (Fig. 3) als auch parallel zu den Schlieren-Schichten 6 verlaufen. Da sich die erweichende Glasmasse im wesent­ lichen in einer Richtung bzw. der Gegenrichtung dazu, nämlich parallel zu den langen Seitenwänden 13; 15 verformt, behalten die Schlieren-Schichten 6 auch in der Glasmasse des sich bildenden Glasstabes 17 (Fig. 5) diese Orientierung bei.
Nach dem Erstarren kann der Graphitform 12 ein Glasstab 17 mit einem in Achs­ richtung gesehen annähernd quadratischen Querschnitt und den Abmessungen 110 mm × 110 mm entnommen werden, wie er in Fig. 5 dargestellt ist. In diesem Glasstab 17, dessen Länge und Querschnittsfläche mit der Länge und Quer­ schnittsfläche des Ausgangskörpers 1 vergleichbar sind, verlaufen die Schlie­ ren-Schichten 6 parallel zu seiner Längsachse (bzw. verläuft die Schichtung der Schlieren senkrecht zur Längsachse); sie sind durch ein Verdrillen des Glasstabes 17 um die Längsachse leicht zu entfernen. Der so hergestellte Kör­ per ist in drei Raumrichtungen homogen.
Anhand der Fig. 1 bis 5 wurde beispielhaft ein Verfahren erläutert, bei dem eine Verformung eines Drillkörpers 5 zu einem Glasstab 17, in dem die Schlie­ ren-Schichten 6 parallel zur Längsachse verlaufen, über einen Zwischen-Umform­ schritt erfolgte, bei dem eine Glasplatte 10 gebildet wurde. Der gleiche Glas­ stab 17 läßt sich, ausgehend von einem Drillkörper 5, auch in nur einem Um­ formschritt herstellen. Dieses Verfahren, das aufgrund der höheren Umformraten und stärkeren Umformbewegungen, höhere Erweichungstemperaturen und längere Umformzeiten erfordert, ist beispielhaft in den Fig. 6 und 7 erläutert. Dabei wird die Glasmasse eines Drillkörpers 5, wie in Fig. 6 dargestellt, senkrecht stehend in einem Graphit-Rohr 18 erweicht, dessen untere Öffnung in eine Bohrung des Mantels eines zweiten, senkrecht zum ersten Graphit-Rohr 18 angeordneten Graphit-Rohres 19, mündet. Die Innenmaße des ersten Graphit-Roh­ res 18 sind nur wenig größer als die Außenmaße des Drillkörpers 5 gewählt. Unter dem eigenen Gewicht und einer zusätzlich auf die obere Stirnfläche des Drillkörpers 5 wirkenden Gewichtskraft, deren Wirkungsrichtung durch den Pfeil 20 symbolisiert ist, fällt der Drillkörper 5 in sich zusammen und verformt sich unter Bildung eines Glasstabes 22 (Fig. 7) in Bezug auf die Glasmasse im wesentlichen in einer Richtung senkrecht zur Längsachse des Drillkörpers. Die wesentliche Verformungs-Richtung ist in Fig. 6 mit den Richtungspfeilen 21 dargestellt.
Nach der vollständigen Umformung der Glasmasse des Drillkörpers 5 liegen die Schlieren-Schichten 6 im wesentlichen parallel zur Längsachse des so gebilde­ ten Glasstabes 22, wie es in Fig. 7 schematisch dargestellt ist. Der Glasstab 22 wird danach durch Verdrillen um seine Längsachse vollständig homogenisiert.

Claims (6)

1. Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines im wesentlichen stabförmigen Ausgangskörpers, wobei in einem Umformschritt der Ausgangskörper unter Bildung eines, eine schichtweise radial homo­ genisierte, axiale Schichtung aufweisenden Drillkörpers, um seine Längs­ achse verdrillt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung eines Glas­ stabes (17; 22), dessen Längsachse im wesentlichen senkrecht zu der Schichtung verläuft, einen Umformschritt umfaßt, bei dem der Drillkör­ per (5) in einer aufheizbaren Form (7; 18) erweicht und unter einer in Achsrichtung wirkenden Kraft, in einer Richtung quer zur Achsrichtung in die Form (7; 18) zu einem Glaskörper (10; 22) verformt wird, und daß der Glasstab (17; 22) um seine Längsachse verdrillt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Glaskör­ per (10, 22) in Form einer Glasplatte (10) ausgebildet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasplatte (10) mit einer Plattenstärke gebildet wird, die im wesentlichen einer seitli­ chen Abmessung des zu bildenden Glasstabes (17) entspricht.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Glas­ platte (10) mit einem, in Wirkungsrichtung der Kraft gesehen, rechtecki­ gen Querschnitt, gebildet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch Umformen des Drillkörpers (5) in einem einzigen Umformschritt der Glasstab (17) gebil­ det wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Kraft die Schwerkraft und/oder eine mechanisch erzeugte Umform-Kraft umfaßt.
DE4204406A 1992-02-14 1992-02-14 Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines stabförmigen Ausgangskörpers Expired - Lifetime DE4204406C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4204406A DE4204406C2 (de) 1992-02-14 1992-02-14 Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines stabförmigen Ausgangskörpers
US08/170,925 US5443607A (en) 1992-02-14 1993-12-21 Process for the production of a homogeneous ream-free body made of quartz glass

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4204406A DE4204406C2 (de) 1992-02-14 1992-02-14 Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines stabförmigen Ausgangskörpers
US08/170,925 US5443607A (en) 1992-02-14 1993-12-21 Process for the production of a homogeneous ream-free body made of quartz glass

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4204406A1 true DE4204406A1 (de) 1993-08-26
DE4204406C2 DE4204406C2 (de) 1995-04-06

Family

ID=25911859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4204406A Expired - Lifetime DE4204406C2 (de) 1992-02-14 1992-02-14 Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines stabförmigen Ausgangskörpers

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5443607A (de)
DE (1) DE4204406C2 (de)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0673888A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-27 Heraeus Quarzglas GmbH Gestalteter Artikel aus synthetischem Quarzglas für optische Zwecke und Verfahren zu dessen Herstellung
WO1998051630A1 (de) * 1997-05-15 1998-11-19 Schott Ml Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer homogenen, schlierenfreien quarzglasplatte
WO2006056296A1 (de) * 2004-11-22 2006-06-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas, sowie zur durchführung des verfahrens geeigneter rohling
DE102005043289B3 (de) * 2005-09-09 2006-09-14 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs für ein optisches Bauteil hoher Homogenität, zur Durchführung des Verfahrens geeigneter Rohling sowie Verwendung des Rohlings und des Halbzeugs
DE102006024831A1 (de) * 2006-05-24 2007-11-29 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas
DE102009043680A1 (de) 2009-09-30 2011-03-31 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
US7981824B2 (en) 2004-05-17 2011-07-19 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quartz glass blank and method for producing said blank
DE102010009589A1 (de) 2010-02-26 2011-09-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
DE102011119341A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas nach der Sootmethode
DE102011119374A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
DE102011119373A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
US8984911B2 (en) 2011-11-25 2015-03-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Atomizing method for producing synthetic quartz glass
EP2960219A1 (de) * 2014-06-27 2015-12-30 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
US9290404B2 (en) 2005-06-10 2016-03-22 Momentive Performance Materials Inc. Free-formed quartz glass ingots and method for making same
EP3299345A1 (de) 2016-09-22 2018-03-28 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung eines optischen rohlings aus synthetischem quarzglas

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6553790B1 (en) * 2000-05-09 2003-04-29 Fitel Usa Corp. Process for fabricating optical fiber involving tuning of core diameter profile
DE50206534D1 (de) * 2001-08-15 2006-06-01 Schott Ag Quarzglasplatte sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von optischen Bauteilen
DE10159962A1 (de) * 2001-12-06 2003-07-03 Heraeus Quarzglas Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben
DE10159961C2 (de) * 2001-12-06 2003-12-24 Heraeus Quarzglas Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben
JP2004131373A (ja) * 2002-09-09 2004-04-30 Corning Inc シリカ・チタニア極端紫外線光学素子の製造方法
US7155936B2 (en) * 2003-08-08 2007-01-02 Corning Incorporated Doped silica glass articles and methods of forming doped silica glass boules and articles
US20070059533A1 (en) * 2005-09-12 2007-03-15 Burdette Steven R Thermal reflow of glass and fused silica body
GB2478307A (en) 2010-03-02 2011-09-07 Heraeus Quartz Uk Ltd Manufacture of silica glass
JP6208576B2 (ja) * 2013-12-24 2017-10-04 信越石英株式会社 成型用型及び石英ガラスインゴットの成型方法
EP3643687B1 (de) * 2018-10-26 2022-11-30 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren und vorrichtung zur homogenisierung von glas
EP3643688B1 (de) * 2018-10-26 2022-12-14 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur homogenisierung von glas

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE567863C (de) * 1931-11-29 1933-01-11 Heraeus Gmbh W C Verfahren zum Erzeugen von praktisch schlierenfreien Quarzglasmassen
US4358306A (en) * 1980-10-06 1982-11-09 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method for molding a fused quartz glass block
DE3201777A1 (de) * 1982-01-21 1983-08-04 Hans 6451 Neuberg Zahn "verfahren zur herstellung von stangen aus quarzglas"
DE3226451C2 (de) * 1982-07-15 1984-09-27 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3128166A (en) * 1953-11-25 1964-04-07 Heraeus Schott Quarzschmelze Process for producing quartz glass

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE567863C (de) * 1931-11-29 1933-01-11 Heraeus Gmbh W C Verfahren zum Erzeugen von praktisch schlierenfreien Quarzglasmassen
US4358306A (en) * 1980-10-06 1982-11-09 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method for molding a fused quartz glass block
DE3201777A1 (de) * 1982-01-21 1983-08-04 Hans 6451 Neuberg Zahn "verfahren zur herstellung von stangen aus quarzglas"
DE3226451C2 (de) * 1982-07-15 1984-09-27 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Cited By (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5790315A (en) * 1994-03-26 1998-08-04 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. Synthetic silica glass formed article for optical use
US5970746A (en) * 1994-03-26 1999-10-26 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. Method for preparing silica glass article
US6209354B1 (en) 1994-03-26 2001-04-03 Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. Method of preparing silica glass article
EP0673888A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-27 Heraeus Quarzglas GmbH Gestalteter Artikel aus synthetischem Quarzglas für optische Zwecke und Verfahren zu dessen Herstellung
WO1998051630A1 (de) * 1997-05-15 1998-11-19 Schott Ml Gmbh Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer homogenen, schlierenfreien quarzglasplatte
US6415630B1 (en) 1997-05-15 2002-07-09 Schott Glas Method and device for producing a homogenous sheet of quartz glass without streaks
US7981824B2 (en) 2004-05-17 2011-07-19 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Quartz glass blank and method for producing said blank
WO2006056296A1 (de) * 2004-11-22 2006-06-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas, sowie zur durchführung des verfahrens geeigneter rohling
US9290404B2 (en) 2005-06-10 2016-03-22 Momentive Performance Materials Inc. Free-formed quartz glass ingots and method for making same
DE102005057194B4 (de) * 2005-06-10 2020-11-12 General Electric Co. Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasgussblocks
DE102005043289B3 (de) * 2005-09-09 2006-09-14 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs für ein optisches Bauteil hoher Homogenität, zur Durchführung des Verfahrens geeigneter Rohling sowie Verwendung des Rohlings und des Halbzeugs
US7854147B2 (en) 2005-09-09 2010-12-21 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing a semifinished product for an optical component of high homogeneity
DE102006024831A1 (de) * 2006-05-24 2007-11-29 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas
DE102006024831B4 (de) * 2006-05-24 2008-03-27 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Halbzeugs aus synthetischem Quarzglas
US8393179B2 (en) 2006-05-24 2013-03-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing a semifinished product from synthetic quartz glass
WO2011039159A1 (de) 2009-09-30 2011-04-07 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem glas für ein spiegelsubstrat für den einsatz in der euv-lithographie und verfahren für seine herstellung
DE102009043680A1 (de) 2009-09-30 2011-03-31 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
DE102010009589B4 (de) * 2010-02-26 2011-12-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie
WO2011104257A1 (de) 2010-02-26 2011-09-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem glas für ein spiegelsubstrat für den einsatz in der euv-lithographie und verfahren für seine herstellung
DE102010009589A1 (de) 2010-02-26 2011-09-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Rohling aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
US8997528B2 (en) 2011-11-25 2015-04-07 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing synthetic quartz glass
US9061935B2 (en) 2011-11-25 2015-06-23 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing synthetic quartz glass
WO2013076193A1 (de) 2011-11-25 2013-05-30 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas nach der sootmethode
WO2013076191A1 (de) 2011-11-25 2013-05-30 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas durch abscheidung von silicasoot aus der dampfphase auf einer unterlage
US8973407B2 (en) 2011-11-25 2015-03-10 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing synthetic quartz glass
US8984911B2 (en) 2011-11-25 2015-03-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Atomizing method for producing synthetic quartz glass
DE102011119341A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas nach der Sootmethode
WO2013076192A1 (de) 2011-11-25 2013-05-30 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS DURCH ABSCHEIDUNG VON SiO2-SOOT AUS DER DAMPFPHASE AUF EINER UNTERLAGE
DE102011119374A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
DE102011119373A1 (de) 2011-11-25 2013-05-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
US9540271B2 (en) 2014-06-27 2017-01-10 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Blank made of titanium-doped silica glass and method for the production thereof
EP2960219A1 (de) * 2014-06-27 2015-12-30 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
EP3299345A1 (de) 2016-09-22 2018-03-28 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung eines optischen rohlings aus synthetischem quarzglas
US10807901B2 (en) 2016-09-22 2020-10-20 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Method for producing an optical blank from synthetic quartz glass

Also Published As

Publication number Publication date
DE4204406C2 (de) 1995-04-06
US5443607A (en) 1995-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4204406C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines homogenen, schlierenfreien Körpers aus Quarzglas oder aus einem hochkieselsäurehaltigen Glas durch Umformen eines stabförmigen Ausgangskörpers
DE69401024T2 (de) Verfahren und Anlage für die thermische Behandlung von Vorformkörpern oder eines Zwischenbehälters aus thermoplastischem Material
DE3240355C1 (de) Verfahren zur Herstellung eines laenglichen Glaskoerpers mit inhomogener Brechungsindexverteilung
DE2515279C2 (de) Vorrichtung zur Herstellung hohler Mikrokugeln aus Glas
DE2837628A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum formen expandierter kunststoffe durch ultrahochfrequenzstrahlung
DE60100159T2 (de) Verfahren zum Herstellen einer mikrostrukturierten optischen Faser durch ein Sol-Gel-Verfahren
DE1596566A1 (de) Verfahren zur Herstellung von gewichtsarmen Glasgegenstaenden
DE1800983A1 (de) Verfahren zum Herstellen duennschichtiger Membranen
DE3518142A1 (de) Verfahren zur herstellung eines laenglichen glaskoerpers, insbesondere einer vorform fuer lichtwellenleiter
DE3617363A1 (de) Verfahren zur herstellung von zylindersymmetrischen koerpern mit vorgegebenem radialem gefaelle physikalischer materialeigenschaften und anwendungen
DE3337651C2 (de) Vorrichtung zum Herstellen eines Hohlkörpers aus einem thermisch kristallisierbaren Polymer
DE69723475T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von optischen fasern aus kern- und mantelglaskörper
WO2005121037A1 (de) Verfahren zur herstellung eines optischen bauteils aus quarzglas
DE69434585T2 (de) Optische vorform mit kontrollierter und tiefliegender verbundener grenzflächenschicht
DE4106436A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von glasformteilen
DE102004037491B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Vorspannen von länglichen, hohlen Gegenständen aus Glas und Verwendung der Vorrichtung
DE3132098A1 (de) Optisches bauelement mit einem gradienten in brechungsindex des materials und verfahren zur herstellung eines optischen bauelements mit einem gradienten im brechungsindex
DE2111763C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Kanalmantels einer Profildüse zum Strangpressen von plastischen Stoffen, insbesondere von Kunststoffen
DE2252548A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen von legierungen mit einer durch orientiertes erstarren erzeugten struktur
DE69113327T2 (de) Verfahren zur Herstellung optischer Elemente.
DE2509607A1 (de) Stabisolator und verfahren zur herstellung desselben
EP1284244A2 (de) Quarzglasplatte sowie Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von optischen Bauteilen
CH392056A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung festigkeitsgünstiger Kunststoffteile aus plastischen Massen
DE19527794A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung optischer Elemente für die Kapillaroptik
DE3435805A1 (de) Verfahren zur herstellung eines optischen sternkopplers

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG, 63450 HANAU, DE

R071 Expiry of right
R071 Expiry of right