DE4202606C2 - Device for focusing a light beam in several focus points - Google Patents
Device for focusing a light beam in several focus pointsInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtbündels in mehreren Fokuspunkten gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a device for Focus one light beam in several Focus points according to the preamble of the claim 1.
Eine derartige Vorrichtung ist in dem deutschen Patent 40 24 299 beschrieben, zu der die vorliegende Anmeldung eine Zusatzanmeldung ist. Such a device is in the German patent 40 24 299 to which the present Registration is an additional registration.
Bei einer Reihe von Anwendungen ist es erforderlich, ein Lichtbündel in mehr als einem Fokuspunkt bzw. -fleck zu fokussieren; dabei müssen in der Regel die einzelnen Fokuspunkte in einer vorgebbaren Positionsbeziehung zueinander stehen; ferner ist es häufig erforderlich, die Intensität des Lichtbündels in bestimmter Weise auf die einzelnen Fokuspunkte aufzuteilen.A number of applications require a light beam in more than one focus point or - focus spot; usually the individual focus points in a predefined positional relationship to stand by each other; furthermore it is often necessary the intensity of the light beam in certain Way to divide the individual focus points.
Beispielsweise können die beim Laserstrahl-Schweißen bei hohen Prozeßgeschwindigkeiten auftretenden Nahtfehler, wie Nahtaufwürfe, Löcher etc. durch Strahlteilung bzw. Verwendung mehrerer diskreter Fokuspunkte eliminiert werden (hierbei wird - wie auch in der folgenden Beschreibung - unter einem Fokuspunkt bzw. Fokusfleck kein Punkt im mathematischen Sinne, sondern der Bereich "der kleinsten Einschnürung" des Licht- bzw. Laserstrahles verstanden).For example, in laser beam welding seam defects occurring at high process speeds, such as seams, holes etc. by beam splitting or use of multiple discrete focus points eliminated (as in the following Description - under a focus point or focus spot not a point in the mathematical sense, but the area "the smallest constriction" of the light or laser beam Understood).
Zur Fokussierung eines Lichtbündels in wenigstens zwei Fokuspunkten ist in dem Hauptpatent DE 40 24 299 eine Vorrichtung vorgeschlagen worden, die ein Fokussierelement und eine Spiegelanordnung aufweist. Die Spiegelanordnung hat eine wenigstens der Zahl der Fokuspunkte entsprechende Zahl von Spiegelflächen, die sich jeweils längs einer auch als "Fase" bezeichneten Linie berühren, und deren Flächennormale längs dieser Linie einen Winkel <<0° einschließen, so daß die Spiegelanordnung das Lichtbündel in eine der Zahl der Fokuspunkte entsprechende Zahl von Teilbündeln aufspaltet. Zur Variation der Strahlintensität in den einzelnen Fokuspunkten und des Abstandes der einzelnen Fokuspunkte ist die Spiegelanordnung relativ zum auftreffenden Lichtbündel bewegbar. For focusing a light beam in at least two The focus is in the main patent DE 40 24 299 a device has been proposed that has a focusing element and has a mirror arrangement. The mirror arrangement has at least the number of focus points corresponding number of mirror surfaces, each one touch along a line also called a "chamfer" and its surface normal Include an angle << 0 ° along this line, see above that the mirror arrangement converts the light beam into one of the number number of sub-bundles corresponding to the focus points splits up. For varying the beam intensity in the individual focus points and the distance of the individual The focus is the mirror arrangement relative to the incident Movable light beam.
Bei der in dem Hauptpatent DE 40 24 299 beschriebenen Vorrichtung ändert sich jedoch die Länge des Lichtweges bei einer Verschiebung der Spiegelanordnung. Dies ist bei bestimmten Einsatzfällen nachteilig:When described in the main patent DE 40 24 299 However, the device changes the length of the light path when the mirror arrangement is shifted. This is disadvantageous in certain applications:
Beispielsweise dann, wenn der Fokuspunkt der Teilbündel genau auf der Oberfläche des Werkstücks, das bearbeitet wird, liegen soll, ist es bei einer Bewegung der Spiegelanordnung erforderlich, auch das Fokussierelement und gegebenenfalls den Laser so zu verschieben, daß der Abstand zwischen Fokussierelement und Werkstückoberfläche gleich der Brennweite bzw. der Schnittweite des Fokussierelements bleibt.For example, if the focus point of the sub-bundle exactly on the surface of the workpiece that is being machined is supposed to lie, it is with a movement of the Mirror arrangement required, including the focusing element and if necessary to move the laser so that the Distance between focusing element and workpiece surface equal to the focal length or the focal length of the Focusing element remains.
Darüber hinaus ist es mit der in dem Hauptpatent DE 40 24 299 beschriebenen Vorrichtung immer dann, wenn das Lichtbündel in mehr als zwei Fokuspunkte aufgeteilt wird, nicht möglich, den Abstand zwischen einzelnen Fokuspunkten unabhängig von dem Abstand zwischen anderen Fokuspunkten zu ändern.In addition, it is in the main patent DE 40 24 299 described device whenever that Beams of light divided into more than two focus points will, not possible, the distance between each Focus points regardless of the distance between others Change focus points.
Weiterhin ist aus der DE 35 02 382 A1 ein Spiegelelement mit zwei zueinander geneigten, einen Lichtstrahl bzw. ein Lichtbündel in zwei Teilstrahlen aufteilenden Spiegelflächen bekannt, wobei das Spiegelelement zur Variation der Strahlintensität relativ zum auftreffenden Lichtstrahl bewegbar ist.Furthermore, DE 35 02 382 A1 is a mirror element with two inclined towards each other, one beam of light or a beam of light dividing into two partial beams Mirror surfaces known, the mirror element for Varying the beam intensity relative to the incident Beam of light is movable.
Die DE 33 46 144 C1 beschreibt eine Vorrichtung zum Lichtstrahlschweißen, die ein Spiegelelement aufweist, das zur Variation der Strahlintensität in den Fokuspunkten quer zum auftreffenden Lichtstrahl bewegbar ist.DE 33 46 144 C1 describes a device for Light beam welding, which has a mirror element, to vary the beam intensity in the Focus points can be moved across the incoming light beam is.
Letztlich ist in der FR-PS 9 36 291 eine Vorrichtung zur Bildverdopplung bekannt, bei der ein einziges Objektiv die von dem zu verdoppelnden Objektpunkt herkommenden Objektstrahlen auf zwei gegeneinander geneigte Planspiegel projiziert, die die Objektstrahlen ihrerseits über einen planen Umlenkspiegel zu den beiden Bildpunkten reflektieren, um beispielsweise zwei Filmkopien von einem Vorlagenfilm herzustellen, wobei die beiden Filmkopien die gleiche Helligkeit aufweisen.Ultimately, in FR-PS 9 36 291 a device for Image doubling known in the case of a single lens those coming from the object point to be doubled Object rays on two inclined towards each other The plane mirror projects the object rays in turn via a flat deflecting mirror to the two Reflect pixels, for example, two film copies to produce from a master film, the both film copies have the same brightness.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die aus dem Hauptpatent DE 40 24 299 bekannte Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtbündels in mehreren Fokuspunkten dahingehend weiterzubilden, daß bei einer Einstellung der prozentualen Strahlungsintensitäten in den Fokuspunkten oder des Abstandes der Fokuspunkte voneinander, die optisiche Weglänge zwischen dem Fokussierelement und den Fokuspunkten konstant bleibt.The invention is based, which from the Main patent DE 40 24 299 known device for Focusing a light beam in several focus points to further develop that in a hiring the percentage radiation intensities in the focus points or the distance between the focus points, the optical path length between the focusing element and the focus points remain constant.
Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in dem Patentanspruch 1 gekennzeichnet. An inventive solution to this problem is in the Claim 1 characterized.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Further developments of the invention are in the subclaims specified.
Gemäß Anspruch 1 ist zwischen dem Fokussierelement und der Spiegelanordnung ein Umlenkspiegel angebracht, welcher zur Ausrichtung der in die Fokuspunkte einfallenden Teilbündel in Richtung des von dem Fokussierelement abgegebenen fokussierten Lichtbündels dient. Der Umlenkspiegel ist zusammen mit der Spiegelanordnung gemeinsam bewegbar, so daß die optische Weglänge zwischen dem Fokussierelement und den Fokuspunkten bei Einstellung der prozentualen Strahlungsintensitäten in den Fokuspunkten oder bei Einstellung des Abstandes der Fokuspunkte voneinander konstant bleibt.According to claim 1 is between the focusing element and a mirror is attached to the mirror arrangement, which is used to align those falling into the focus points Sub-bundle in the direction of that Focusing element emitted focused light beam serves. The deflecting mirror is together with the mirror arrangement movable together so that the optical Path length between the focusing element and the Focus points when setting the percentage radiation intensities in the focus points or when setting the distance of the focus points from each other is constant remains.
Selbstverständlich ist es möglich, daß die einzelnen Spiegelflächen der Spiegelanordnung und/oder des Umlenkspiegels eine optische Wirkung haben, d. h., die einzelnen Spiegelflächen können Konkav- oder Konvex- Spiegel mit einer gegebenenfalls asphärischen Krümmung sein. Darüber hinaus ist es auch möglich, daß die einzelnen Spiegelflächen in ihren Hauptschnitten unterschiedliche Krümmungen haben, so daß sie zusätzlich zu einer fokussierenden Wirkung auch eine anamorphische Wirkung haben können.Of course it is possible that the individual Mirror surfaces of the mirror arrangement and / or the deflecting mirror have an optical effect, d. i.e., the individual mirror surfaces can be concave or convex Mirror with a possibly aspherical curvature his. In addition, it is also possible that the individual Mirror surfaces in their main sections different Have curvatures so that they are in addition to a focusing effect also an anamorphic Can have an effect.
Eine besonders einfache Ausbildung erhält man jedoch dann, wenn ein getrenntes Fokussierelement vorgesehen und dien Spiegelanordnung zwischen diesem Fokussierelement und dem Ort der Fokuspunkte angeordnet ist. A particularly simple training is obtained, however when a separate focusing element is provided and the mirror arrangement between this focusing element and the location of the focus points is arranged.
Ferner können bei einer Weiterbildung der im Hauptpatent DE 40 24 299 beschriebenen Erfindung zwei oder mehr Spiegelanordnungen vorgesehen sein, von denen jede das jeweils auf sie auftreffende Lichtbündel in mehrere Teilbündel aufspaltet.In the case of further training, the main patent DE 40 24 299 invention described two or more Mirror arrangements may be provided, each of which beams of light striking them in several Splits sub-bundle.
Hierdurch erhält man nicht nur eine baulich einfache Ausführung, bei der die einzelnen Spiegelelemente unabhängig voneinander bewegbar sind, sondern es ist auch in einfacher Weise möglich, den Abstand und die Intensität einzelner Fokuspunkte unabhängig von anderen Fokuspunkten einzustellen.This not only gives you a structurally simple Version in which the individual mirror elements are movable independently of one another, but it is also possible in a simple way, the distance and the Intensity of individual focus points independent of others Adjust focus points.
Eine einfache bauliche Ausführung erhält man dann, wenn gefaste Planspiegel bzw. Prismen mit planen Flächen für die Spiegelanordnung verwendet werden. Die Zahl der Fasen, d. h. der Linien, längs derer sich Spiegelflächen berühren, ist dabei um 1 kleiner als die Zahl der gewünschten Fokuspunkte. Selbstverständlich ist es aber auch bei Verwendung eines getrennten Fokussierelements möglich, den Spiegelanordnungen eine optische Wirkung zu geben, um beispielsweise die Form des "Fokusfleckes" in bestimmter Weise zu beeinflussen. A simple structural design is obtained when bevelled plane mirrors or prisms with flat surfaces can be used for the mirror arrangement. The number of Chamfering, d. H. the lines along which there are mirror surfaces touch is 1 less than the number of desired focus points. Of course it is even when using a separate focusing element possible, the mirror arrangements an optical effect to give, for example, the shape of the "focus spot" to influence in a certain way.
Wenn beispielsweise das Lichtbündel lediglich in zwei Fokuspunkte aufgeteilt werden soll und ein zusätzliches Fokussierelement verwendet wird, ist - wie bereits erwähnt - die Spiegelanordnung bevorzugt ein einfach gefaster Planspiegel. Dieser einfach gefaste Planspiegel kann zur Aufteilung der Strahlintensität auf die beiden Fokuspunkte senkrecht zum auftreffenden Lichtbündel sowie zur Fase und zur Variation des Abstandes der beiden Fokuspunkte in Richtung des auftreffenden Lichtbündels verschoben werden.If, for example, the light beam only in two Focus points should be split and an additional one Focusing element is used - as already mentioned - The mirror arrangement prefers a simply chamfered plane mirror. This simply chamfered plane mirror can be used Distribution of the beam intensity over the two focus points perpendicular to the incident light beam as well to chamfer and to vary the distance between the two Focus points in the direction of the incident light beam be moved.
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Spiegelanordnung in gleicher Weise wie bei der im Hauptpatent beschriebenen Vorrichtung in Richtung des auf die Spiegelanordnung auftreffenden Lichtbündels sowie senkrecht hierzu verschoben werden. Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn die Spiegelanordnung ein einfach gefaster Planspiegel oder das Prisma ein Dachkantprisma ist, und wenn die Spiegelanordnung zur Aufteilung der Strahlintensität auf die beiden Fokuspunkte senkrecht zum auftreffenden Lichtbündel sowie zur Fase und zur Variation des Abstandes der beiden Fokuspunkte in Richtung des auftreffenden Lichtbündels verschiebbar ist.In the device according to the invention can the mirror arrangement in the same way as in the Main patent device described in the direction of the light beam striking the mirror arrangement as well as being moved perpendicular to it. It is particularly advantageous if the mirror arrangement a simply chamfered Plane mirror or the prism is a roof prism, and if the mirror arrangement for splitting the beam intensity on the two focus points perpendicular to the impinging one Beams of light as well as bevel and variation the distance between the two focus points in the direction of the incident light beam is displaceable.
Weiterhin kann die Bewegung der Spiegelanordnung nicht nur eine translatorische Bewegung in Richtung des auftreffenden Lichtbündels sowie senkrecht hierzu, sondern auch eine rotatorische Bewegung, d. h. eine Kipp-, Dreh- und/oder Schwenkbewegung sowie eine Kombination dieser Bewegungen sein.Furthermore, the movement of the mirror arrangement cannot just a translational movement in the direction of the impinging Light beam as well as perpendicular to it, but also a rotational movement, i.e. H. a tilting, rotating and / or pivoting movement and a combination of these movements.
Die Spiegelanordnung kann dabei sowohl von Hand als auch durch eine an sich bekannte (mehrachsige) Verstellvorrichtung bewegt werden, die wiederum von einer Steuer- bzw. Regeleinheit oder dgl. betätigt wird.The mirror arrangement can be done both by hand and through a known (multi-axis) adjustment device which are in turn moved by a tax or control unit or the like. is actuated.
Insbesondere dann, wenn als Lichtquelle ein Laser hoher Leistung oder ein im UV-Bereich arbeitender Laser verwendet wird, ist es von besonderem Vorteil, wenn als Fokussierelement kein transmittierendes Element, sondern ein reflektierendes Element wie beispielsweise ein Konkavspiegel verwendet wird.Especially when a high laser is used as the light source Power or a laser working in the UV range is used it is of particular advantage if as Focusing element not a transmitting element, but a reflective element such as a Concave mirror is used.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann immer dann eingesetzt werden, wenn es erforderlich ist, ein Lichtbündel in mehrere fokussierte Teilbündel aufzuspalten, wie dies beispielsweise beim Bearbeiten und insbesondere beim Schweißen einer Oberfläche mittels eines Lasers erforderlich ist.The device according to the invention can then always be used become a bundle of light when necessary split into several focused sub-bundles, like this for example when editing and in particular when welding a surface using a Lasers is required.
Beispielsweise beim Schweißen von Dosen ist es zum Umstellen auf verschiedene Formate von Vorteil, wenn die Einstellung des Abstandes der einzelnen Fokuspunkte und die Intensitätsaufteilung kontinuierlich erfolgen kann, wie dies bei Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Fokussieren eines Lichtbündels in wenigstens zwei Fokuspunkten der Fall ist.For example, when welding cans it is Switching to different formats is an advantage if the setting of the distance between the individual focus points and the intensity distribution is continuous can, as is the case when using an inventive Device for focusing a light beam in at least two focus points is the case.
Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch beschrieben, auf die im übrigen bezüglich der Offenbarung aller im Text nicht näher erläuterten erfindungsgemäßen Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird, und deren einzige Figur einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung zeigt.The invention is hereinafter without limitation general inventive concept based on exemplary embodiments by way of example with reference to the drawing described on the rest of the Disclosure of all inventive not explained in the text Details explicitly referenced will, and their only figure shows a cross section through an inventive Device shows.
In der Figur ist eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt, die ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens ein Lichtbündel 1 mit einer Achse 1′ in zwei Teilbündel 11 und 12 aufspaltet, die an getrennten Orten in der Fokusebene F fokussiert werden.In the figure, an embodiment of a device according to the invention is shown, which splits a light beam 1 with an axis 1 ' into two sub-beams 11 and 12 , which are focused at separate locations in the focal plane F, without restricting the general inventive concept.
Mit s ist der Abstand der "Schwerpunkte" der beiden "Fokuspunkte", d. h. genauer gesagt der beiden Fokusflecke in der Fokusebene F bezeichnet.With s is the distance between the "focal points" of the two "Focus points", d. H. more specifically the two focus spots designated in the focal plane F.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist hierzu einen Konkavspiegel 2 auf, der das Lichtbündel 1 fokussiert. Im Lichtweg nach dem Konkavspiegel 2 ist ein Umlenkspiegel 4 angeordnet, der den Lichtstrahl um 90° umlenkt.For this purpose, the device according to the invention has a concave mirror 2 , which focuses the light beam 1 . A deflection mirror 4 is arranged in the light path after the concave mirror 2 , which deflects the light beam by 90 °.
Nach dem Umlenkspiegel 4 ist eine Spiegelanordnung 3 angeordnet, die bei der gezeigten Ausführungsform zwei Spiegelflächen 31 und 32 aufweist, die sich längs einer Linie 33 berühren und deren Flächennormale längs dieser Linie (bzw. Fase) einen Winkel <<0° einschließen; anders ausgedrückt ist die Spiegelanordnung 3 ein gefaster Planspiegel. Ferner ist die Spiegelanordnung 3 so ausebildet, daß sie das Lichtbündel 1 um ca. 90° umlenkt.Arranged after the deflecting mirror 4 is a mirror arrangement 3 which, in the embodiment shown, has two mirror surfaces 31 and 32 which touch along a line 33 and whose surface normals form an angle << 0 ° along this line (or chamfer); in other words, the mirror arrangement 3 is a chamfered plane mirror. Furthermore, the mirror arrangement 3 is designed such that it deflects the light beam 1 by approximately 90 °.
Die Spiegelanordnung 3 und der Umlenkspiegel 4 sind an zwei nicht dargestellten Linearführungen in x- und z- Richtung verschiebbar gehalten. Eine in z-Richtung verschobene Stellung der beiden Elemente ist in der Figur gestrichelt dargestellt. In der gestrichelten Stellung ist der Abstand s′ zwischen den beiden Fokuspunkten größer als in der mit ausgezogenen Linien dargestellten Stellung.The mirror arrangement 3 and the deflecting mirror 4 are held on two linear guides, not shown, in the x and z directions. A position of the two elements shifted in the z direction is shown in dashed lines in the figure. In the dashed position, the distance s' between the two focus points is greater than in the position shown with solid lines.
Die beschriebene Vorrichtung hat die Eigenschaft, daß unabhängig von der Stellung der Spiegelanordnung 3 und des Umlenkspiegels 4 der Lichtweg und damit der Abstand zwischen der optischen Achse 1′ des Lichtbündels 1 und der Fokusebene F konstant bleibt, so daß keine Verschiebung des Fokussierelements 2 zur Fokussierung auf die Fokusebene F erforderlich wird.The device described has the property that regardless of the position of the mirror assembly 3 and the deflecting mirror 4, the light path and thus the distance between the optical axis 1 'of the light beam 1 and the focus plane F remains constant, so that no displacement of the focusing element 2 for focusing to focus level F is required.
Vorstehend ist die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben worden; selbstverständlich sind die verschiedensten Modifikationen möglich.The invention is based on an exemplary embodiment have been described; Of course Various modifications are possible.
Beispielsweise ist es möglich, die Spiegelanordnung nicht nur translatorisch, sondern auch rotatorisch, beispielsweise durch Schwenken in einer in der Fase oder außerhalb der Fase liegende Schwenkachse zu bewegen. Ferner kann die Spiegelanordnung 3 auch mehr als zwei Spiegelflächen aufweisen, so daß mehr als zwei Fokuspunkte entstehen. Weiterhin kann die Spiegelanordnung nicht nur Oberflächenspiegel, sondern auch Prismenelemente aufweisen. Als Fokussierelement kann auch ein brechendes Element, wie ein Objektiv verwendet werden.For example, it is possible to move the mirror arrangement not only translationally, but also rotationally, for example by pivoting in a pivot axis lying in the chamfer or outside the chamfer. Furthermore, the mirror arrangement 3 can also have more than two mirror surfaces, so that more than two focus points arise. Furthermore, the mirror arrangement can not only have surface mirrors, but also prism elements. A refractive element, such as a lens, can also be used as the focusing element.
Auch können dann, wenn das Lichtbündel in mehr als zwei Teilbündel aufgespalten werden soll, anstelle der Spiegelanordnung 3 mehrere getrennte Spiegelanordnungen verwendet werden.Also, if the light bundle is to be split into more than two sub-bundles, several separate mirror arrangements can be used instead of the mirror arrangement 3 .
Claims (3)
wobei die Spiegelanordnung (3) relativ zu dem von dem Fokussierelement (2) abgegebenen fokussierten Lichtbündel (1) bewegbar ist,
wobei eine Bewegung der Spiegelanordnung (3) senkrecht zu dem fokussierten Lichtbündel (1) eine stufenlose Einstellung der prozentualen Strahlungsintensitäten in den Fokuspunkten bei konstantem Abstand der Fokuspunkte voneinander ermöglicht,
und wobei eine Bewegung der Spiegelanordnung (3) parallel zu dem fokussierten Lichtbündel (1) eine stufenlose Einstellung des Abstandes der Fokuspunkte voneinander bei konstanten prozentualen Strahlungsintensitäten in den Fokuspunkten ermöglicht, nach Patentanmeldung Nr. P 40 24 299, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen dem Fokussierelement (2) und der Spiegelanordnung (3) ein Umlenkspiegel (4) angebracht ist, welcher zur Ausrichtung der in die Fokuspunkte einfallenden Teilbündel (11, 12) in Richtung des von dem Fokussierelement (2) abgegebenen fokussierten Lichtbündels dient, und zusammen mit der Spiegelanordnung (3) als gemeinsame Einheit bewegbar ist, so daß die optische Weglänge zwischen dem Fokussierelement (2) und den Fokuspunkten bei Einstellung der prozentualen Strahlungsintensitäten in den Fokuspunkten oder bei Einstellung des Abstandes der Fokuspunkte voneinander konstant bleibt.1. Device for focusing a light bundle in several focus points, which has a focusing element ( 2 ) and a wedge-shaped mirror arrangement ( 3 ) arranged in the light bundle ( 1 ) after the focusing element ( 2 ), which consists of several partial mirrors inclined towards one another and reflecting independently of one another ( 31, 32 ) which divide the light bundle ( 1 ) into a number of sub-bundles ( 11, 12 ) corresponding to the number of focus points,
the mirror arrangement ( 3 ) being movable relative to the focused light beam ( 1 ) emitted by the focusing element ( 2 ),
A movement of the mirror arrangement ( 3 ) perpendicular to the focused light bundle ( 1 ) enables a continuous adjustment of the percentage radiation intensities in the focus points with a constant distance between the focus points,
and wherein a movement of the mirror arrangement ( 3 ) parallel to the focused light bundle ( 1 ) enables a stepless adjustment of the distance of the focal points from one another with constant percentage radiation intensities in the focal points, according to patent application No. P 40 24 299, characterized in that
that between the focusing element ( 2 ) and the mirror arrangement ( 3 ) a deflection mirror ( 4 ) is attached, which serves to align the incident in the focus points sub-beams ( 11, 12 ) in the direction of the focused light beam emitted by the focusing element ( 2 ), and can be moved together with the mirror arrangement ( 3 ) as a common unit, so that the optical path length between the focusing element ( 2 ) and the focus points remains constant when the percentage radiation intensities are set in the focus points or when the distance between the focus points is set.
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