DE4131948A1 - Ultraschall-motor und vibrationsteil hierfuer - Google Patents
Ultraschall-motor und vibrationsteil hierfuerInfo
- Publication number
- DE4131948A1 DE4131948A1 DE19914131948 DE4131948A DE4131948A1 DE 4131948 A1 DE4131948 A1 DE 4131948A1 DE 19914131948 DE19914131948 DE 19914131948 DE 4131948 A DE4131948 A DE 4131948A DE 4131948 A1 DE4131948 A1 DE 4131948A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vibration
- ultrasonic motor
- sensor elements
- drive
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 17
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Vibrationsteil für einen
Ultraschall-Motor, bei dem eine in einem elastischen Teil
erzeugte Wanderwelle genutzt wird, sowie auf den Ultraschall-
Motor.
Ein herkömmlicher Ultraschall-Motor wird anhand der Fig. 11
und 12 beschrieben. An einem elastischen Teil 1 ist ein
ringförmiges piezoelektrisches Vibrationsteil 2 angeklebt.
Das elastische Teil 1 und das piezoelektrische Vibrationsteil
2 bilden einen Stator 12. Das piezoelektrische Vibrationsteil
2 hat zwei Antriebsvibratoren 3 und 4. Der erste
Antriebsvibrator 3 enthält acht Vibratorelemente 31 bis 38.
Diese Vibratorelemente 31 bis 38 sind derart polarisiert,
daß die Polarisation von einem Element zum nächsten wechselt.
Wie der Antriebsvibrator 3 enthält der zweite Antriebsvibrator
4 acht Vibratorelemente 41 bis 48. Diese
Vibratorelemente 41 bis 48 sind derart polarisiert, daß die
Polarisation eines jeweils nächsten Elementes umgekehrt ist.
Ferner liegen zwischen dem ersten und dem zweiten Antriebsvibrator
3 und 4 zwei Sektoren 5 und 6. Die Länge eines
jeden Vibratorelementes 31 bis 38 und 41 bis 48 entspricht
λ/2, wobei λ die Wellenlänge einer an dem elastischen Teil 1
erzeugten Wanderwelle ist. Die Länge des Sektors 5 entspricht
3λ/4. Der Sektor 6 ist der von den Antriebsvibratoren
3 und 4 und dem Sektor 5 verbleibende Rest.
Wenn an den ersten und den zweiten Antriebsvibrator 3 und 4
zwei elektrische Spannungen mit 90° Phasendifferenz angelegt
werden, erzeugen der erste und der zweite Antriebsvibrator 3
und 4 Schwingungen an dem elastischen Teil 1. Diese Schwingungen
werden in dem elastischen Teil 1 einander überlagert
und rufen an dem elastischen Teil 1 eine Wanderwelle hervor.
Herkömmliche Ultraschall-Motoren, in denen die Wanderwelle
genutzt wird, sind beispielsweise in der US-PS 45 10 411 vom
9. April 1985 und der JP-OS 63-73 887 vom 4. April 1988
beschrieben. Der in der JP-OS 63-73 887 offenbarte herkömmliche
Ultraschall-Motor wird nun kurz anhand der Fig. 12
beschrieben.
Eine innere Nabe eines ringförmigen Stators 12 steht mit
einem Sockel 11 in Eingriff. Der Stator 12 ist mit Schrauben
13 derart an dem Sockel 11 befestigt, daß der innere Abschnitt
des Stators 12 nicht schwingen kann. An einer Seite
eines elastischen Teils 1 ist ein ringförmiges piezoelektrisches
Vibrationsteil 2 derart befestigt, daß dessen Schwingungen
gut zu dem elastischen Teil 1 übertragen werden. An
dem elastischen Teil 1 sind viele Vorsprünge 1a ausgebildet,
mit denen die Amplitude der Wanderwelle verstärkt werden
kann. Wenn an das piezoelektrische Vibrationsteil 2 Wechselspannungen
angelegt werden, wird das piezoelektrische Vibrationsteil
2 gedehnt und zusammengezogen, so daß an dem
Stator 12 eine Wanderwelle erzeugt wird.
An den Stator 12 ist durch eine Scheibenfeder 17 ständig ein
Rotor 16 angedrückt. An dem Rotor 16 ist ein Reibungsfilm
16a angebracht. Der Reibungsfilm 16a ist mit dem Stator 12
in Berührung gehalten. Ferner ist zwischen der Scheibenfeder
17 und dem Rotor 16 ein Gummiteller 18 eingeklemmt. Die
Scheibenfeder 17 ist durch einen Halteteil 20a einer Welle
20 gehalten. Ein Drehmoment des Rotors 16 wird über die
Scheibenfeder 17 und den Halteteil 20a zu der Welle 20
übertragen. Die Welle 20 ist an Lagern 23 und 19 gelagert,
die an dem Sockel 11 bzw. einem Gehäuse 15 befestigt sind.
Wenn an das piezoelektrische Vibrationsteil 2 Wechselspannungen
angelegt werden, läuft die Wanderwelle um den Stator
12 um. Die Wanderwelle ergibt an dem Rotor 16 ein Drehmoment,
so daß der Rotor 16 drehend angetrieben wird.
Falls jedoch an der Welle 20 eine übermäßige Belastung
entsteht oder die Welle 20 mechanisch blockiert ist, kann
der Rotor 16 nicht gegen eine derartige Behinderung oder
Sperre drehen. Unter diesen Umständen entstehen an dem
Stator 12 unerwünschte Schwingungen mit einer nicht der
Soll-Wellenlänge entsprechenden Wellenlänge. Wenn die nicht
planmäßige Wellenlänge der unerwünschten Schwingung länger
als die Soll-Wellenlänge λ ist, können unangenehme hörbare
Geräusche erzeugt werden. In dem herkömmlichen Ultraschall-
Motor ist keinerlei Vorrichtung zum Erfassen der unerwünschten
Schwingung mit der von dem Soll abweichenden Wellenlänge
vorgesehen. Daher erzeugt der herkömmliche Ultraschall-Motor
häufig unangenehme hörbare Geräusche.
Zum Vermeiden der vorstehend beschriebenen herkömmlichen
Mängel liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Vibrationsteil
bzw. einen Ultraschall-Motor zu schaffen, bei
denen eine unerwünschte Schwingung mit einer nicht vorgesehenen
Wellenlänge an dem Stator ermittelt wird, um das
Entstehen von unangenehmen hörbaren Geräuschen zu verhindern
und den Ultraschall-Motor leise zu machen.
Zur Lösung dieser Aufgabe weist ein erfindungsgemäßes Vibrationsteil
für einen Ultraschall-Motor einen ersten Antriebsvibrator,
einen von dem ersten Antriebsvibrator beabstandeten
zweiten Antriebsvibrator und zwei Sensorelemente auf,
die voneinander um eine vorbestimmte Strecke beabstandet
sind.
Eine unerwünschte Schwingung erzeugt zwischen den Sensorelementen
eine Spannungsdifferenz. Daher kann die unerwünschte
Schwingung durch die Spannungsdifferenz zwischen den Sensorelementen
erfaßt werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1 ist eine Draufsicht auf ein Vibrationsteil
gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel;
Fig. 2 ist eine Ansicht eines Schnittes durch
das Vibrationsteil längs einer Linie A-A in Fig. 1 bei Soll-
Schwingung;
Fig. 3 ist eine grafische Darstellung von
Spannungen, die an jeweiligen Sensorelementen bei Soll-
Schwingungen erzeugt werden;
Fig. 4 ist eine grafische Darstellung der
Spannungsdifferenz zwischen Sensorelementen bei der Soll-
Schwingung;
Fig. 5 ist eine Ansicht eines Schnittes entlang
der Linie A-A in Fig. 1 bei einer unerwünschten Schwingung;
Fig. 6 ist eine grafische Darstellung der
Spannungen, die an den jeweiligen Sensorelementen bei der
unerwünschten Schwingung erzeugt werden;
Fig. 7 ist eine grafische Darstellung der
Spannungsdifferenz zwischen zwei Sensorelementen bei der
unerwünschten Schwingung;
Fig. 8 ist eine Draufsicht eines Vibrationsteils
gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel;
Fig. 9 ist eine Draufsicht eines Vibrationsteils
gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel;
Fig. 10 ist ein Blockschaltbild einer Treiberschaltung
für das Vibrationsteil gemäß dem zweiten und
dritten Ausführungsbeispiel;
Fig. 11 ist eine Draufsicht auf ein herkömmliches
Vibrationsteil;
Fig. 12 ist eine Schnittansicht eines herkömmlichen
Ultraschall-Motors.
In dieser Beschreibung sind manche Elemente mit den gleichen
Bezugszeichen wie bei der herkömmlichen Vorrichtung bezeichnet,
da diese Elemente im wesentlichen die gleichen wie bei
der herkömmlichen Vorrichtung sind.
Anhand der Fig. 1 wird ein erstes Ausführungsbeispiel beschrieben.
Die Fig. 1 ist eine Draufsicht auf ein piezoelektrisches
Vibrationsteil 2. In einem Sektor 5 sind zwei
Sensorelemente 51 und 52 ausgebildet. Der Sektor 5 ist
zwischen einem ersten Antriebsvibrator 3 und einem zweiten
Antriebsvibrator 4 gebildet. Der Abstand zwischen den beiden
Sensorelementen 51 und 52 entspricht λ/2, wobei λ eine Soll-
Wellenlänge der Wanderwelle ist. Die Sensorelemente 51 und
52 sind in gleicher Richtung polarisiert. Ferner ist jedes
Sensorelement 51 und 52 so schmal wie möglich gestaltet, um
ein scharfes bzw. genaues Erfassen der unerwünschten Schwingung
zu ermöglichen. Wenn Wechselspannungen mit 90° Phasendifferenz
an die Antriebsvibratoren 3 und 4 angelegt werden,
erzeugen diese an einem Stator 12 eine Wanderwelle.
Die Fig. 2 ist die Ansicht eine Schnittes längs einer Linie
A-A in Fig. 1 und zeigt einen Abschnitt des Stators 12. Wenn
an dem Stator 12 die Wanderwelle mit der Soll-Wellenlänge
erzeugt wird, wird der Stator 12 gemäß der Darstellung in
Fig. 2 gebogen. Infolgedessen erzeugt jedes Sensorelement 51
und 52 eine dem Ausmaß der Verformung entsprechende Spannung.
Falls die Wanderwelle die Soll-Wellenlänge λ hat, ist
an jedem der Sensorelemente 51 und 52 das Ausmaß der Verformung
nahezu gleich.
Die Fig. 3 ist eine grafische Darstellung der von den
Sensorelementen 51 und 52 erzeugten Spannungen. Da der
Abstand zwischen den Sensorelementen 51 und 52 gleich λ/2
ist, werden von den Sensorelementen 51 und 52 Spannungen V51
und V52 erzeugt, die gleiche Amplitude und 180° Phasendifferenz
haben. Daher ist gemäß Fig. 4 die Summe dieser beiden
Spannungen V51 und V52 nahezu "0".
Die Fig. 5 ist die Ansicht des Schnittes entlang der Linie
A-A in Fig. 1 und zeigt einen Abschnitt des Stators 12. Wenn
an dem Stator 12 die Wanderwelle mit der nicht vorgesehenen
Wellenlänge erzeugt wird, wird der Stator 12 gemäß der
Darstellung in Fig. 5 gebogen. Das jeweilige Sensorelement
51 und 52 erzeugt eine dem Verformungsausmaß entsprechende
Spannung. Da jedoch an den Sensorelementen 51 und 52 das
Verformungsausmaß nicht gleich ist, stimmen die Amplituden
und Phasen der erzeugten Spannungen V51 und V52 nicht miteinander
überein. Infolgedessen ändert sich die Summe der
Spannungen V51 und V52 gemäß der Darstellung in Fig. 7, so
daß die Summe nicht beständig "0" ist. Daher wird bei diesem
Ausführungsbeispiel durch Addieren der Spannungen V51 und
V52 ein die unerwünschte Schwingung anzeigendes Signal
erhalten.
Ein Abstand zwischen den Sensorelementen 51 und 52 ist nicht
immer λ/2. Der Abstand d ist durch die Gleichung
d = nλ/2 (1)
gegeben, wobei n eine natürliche Zahl ist und λ die Soll-
Wellenlänge der an dem Stator 12 erzeugten Wanderwelle ist.
Wenn n eine gerade Zahl ist, muß die Polarisation der Sensorelemente
51 und 52 die gleiche Richtung haben. Wenn im
Gegensatz dazu n eine ungerade Zahl ist, sind die Sensorelemente
51 und 52 in einander entgegengesetzten Richtungen zu
polarisieren.
Anhand der Fig. 8 und 9 werden nun ein zweites und ein
drittes Ausführungsbeispiel beschrieben. Bei dem zweiten und
dem dritten Ausführungsbeispiel ist an dem piezoelektrischen
Vibrationsteil 2 ein Überwachungselement 53 ausgebildet. Das
Überwachungselement 53 erfaßt einen Schwingungszustand des
Stators 12. Das Überwachungselement 53 ist in dem Sektor 5
oder in dem anderen Sektor 6 gebildet. Zum Erfassen eines
mittleren Schwingungszustandes des Stators 12 wird das Überwachungselement
53 so breit wie möglich ausgebildet, sofern
die Breite des Überwachungselementes 53 kleiner als λ/2 ist.
Bei dem in Fig. 8 und 9 gezeigten zweiten und dritten Ausführungsbeispiel
ist das Überwachungselement 53 in der Mitte
zwischen den Antriebsvibratoren 3 und 4 angeordnet. Infolgedessen
erzeugt das Überwachungselement 53 unabhängig von
der Drehrichtung des Rotors 16 nahezu die gleiche Spannung.
Bei dem in Fig. 9 gezeigten dritten Ausführungsbeispiel ist
das Überwachungselement 53 in dem Sektor 6 angeordnet. Da in
dem Sektor 6 kein Sensorelement 51 oder 52 ausgebildet ist,
kann das Überwachungselement 53 breiter als dasjenige bei
dem zweiten Ausführungsbeispiel sein.
Das Überwachungselement 53 erfaßt die Amplitude der an dem
Stator 12 erzeugten Wanderwelle und erzeugt eine zur Amplitude
der Wanderwelle proportionale Spannung. Infolgedessen
ändert sich die von dem Überwachungselement 53 erzeugte
Spannung durch Umgebungsänderungen, Lastdrehmoment-Änderungen
oder dergleichen. Wenn die Spannung aus dem Überwachungselement
53 konstant gehalten wird, kann dadurch an dem
Stator 12 die Wanderwelle kontinuierlich und wirkungsvoll
erzeugt werden.
Die Fig. 10 ist ein Blockschaltbild einer Treiberschaltung
100 für die Ansteuerung bei dem zweiten und dritten Ausführungsbeispiel.
Die Treiberschaltung 100 regelt die Frequenz
der dem ersten und dem zweiten Antriebsvibrator 3 und 4
zugeführten Wechselspannungen derart, daß die Spannung aus
dem Überwachungselement 53 konstant gehalten wird. An die
Treiberschaltung 100 sind das piezoelektrische Vibrationsteil
2 und ein Schalter SW angeschlossen. Die Sensorelemente
51 und 52 sind miteinander leitend verbunden. Demzufolge
wird an den beiden Sensorelementen 51 und 52 eine Summe,
nämlich ein Mittelwert der Spannungen, erzeugt, die an den
Sensorelementen 51 und 52 erzeugt werden. Der Schalter SW
bestimmt die Drehrichtung des Rotors 16. Die Schaltstellung
des Schalters SW wird über eine Schnittstellenschaltung IF
einem Phasenschieber PHS und einem Oszillator OSC zugeführt.
Wenn durch den Schalter SW ein Kontakt CW mit Masse verbunden
ist, verzögert der Phasenschieber PHS die Phase eines
Wechselspannungssignals, das einer Treiberstufe DRV2 zugeführt
wird, um 90° in bezug auf ein anderes Wechselspannungssignal,
das einer Treiberstufe DRV1 zugeführt wird.
Unter diesen Bedingungen wird der Rotor 16 im Uhrzeigersinn
angetrieben. Wenn im Gegensatz dazu durch den Schalter SW
ein Kontakt CCW mit Masse verbunden ist, verzögert der
Phasenschieber PHS die Phase des der Treiberstufe DRV1
zugeführten Wechselspannungssignals um 90° in bezug auf das
der Treiberstufe DRV2 zugeführte andere Wechselspannungssignal.
Unter diesen Bedingungen wird der Rotor 16 entgegen dem
Uhrzeigersinn angetrieben. Wenn durch den Schalter SW ein
Kontakt STOP mit Masse verbunden ist, hält der Phasenschieber
PHS den Rotor 16 an. Nachdem der Schalter SW von dem
Kontakt STOP auf den Kontakt CW oder CCW geschaltet wurde,
überstreicht der Oszillator OSC nur einmal einen bestimmten
Frequenzbereich, um den Rotor 16 anlaufen zu lassen. Der
Phasenschieber PHS und der Oszillator OSC haben aus dem
Stand der Technik bekannte Funktionen. Daher ist hier eine
ausführliche Erläuterung weggelassen.
Der Oszillator OSC erzeugt ein Wechselspannungssignal mit
einer vorbestimmten Frequenz. Das von dem Oszillator OSC
erzeugte Wechselspannungssignal wird dem Phasenschieber PHS
zugeführt. Der Phasenschieber PHS teilt die Frequenz und
erzeugt zwei Wechselspannungssignale mit 90° Phasendifferenz.
Die geteilten beiden Wechselspannungssignale werden
durch die Treiberstufen DRV1 und DRV2 verstärkt und den
Antriebsvibratoren 3 und 4 zugeführt. Daraufhin erzeugt das
piezoelektrische Vibrationsteil 2 an dem Stator 12 die
Wanderwelle.
Die Wanderwelle erzeugt eine Spannung an dem Überwachungselement
53. Die Höhe der Spannung ist zu der Amplitude der
Wanderwelle proportional. Die an dem Überwachungselement 53
erzeugte Spannung wird über eine Glättungsschaltung SC1 zu
dem Oszillator OSC zurückgeführt. Der Oszillator OSC vergrößert
die Amplitude der Wanderwelle dadurch, daß die
Schwingungsfrequenz an die Resonanzfrequenz des Stators 12
angenähert wird, wenn die an dem Überwachungselement 53
erzeugte Spannung kleiner als ein vorbestimmter Bezugswert
ist, nämlich die Amplitude der Wanderwelle kleiner als
normal ist. Wenn im Gegensatz dazu die an dem Überwachungselement
53 erzeugte Spannung höher als der vorbestimmte
Bezugswert ist, nämlich die Amplitude der Wanderwelle größer
als normal ist, verringert der Oszillator OSC die Amplitude
der Wanderwelle dadurch, daß die Schwingungsfrequenz von der
Resonanzfrequenz des Stators 12 weg verändert wird. Auf
diese Weise kann die Amplitude der Wanderwelle in einem für
den wirkungsvollen Antrieb des Rotors 16 geeigneten Bereich
gehalten werden.
Wenn an der Welle 20 eine übermäßige Belastung auftritt oder
die Welle 20 mechanisch blockiert ist, kann an dem Stator 12
eine unerwünschte Schwingung entstehen. Wenn an dem Stator
12 die unerwünschte Schwingung erzeugt wird, erzeugen die
Sensorelemente 51 und 52 eine Spannung. Die an den Sensorelementen
51 und 52 erzeugte Spannung wird über eine Glättungsschaltung
SC2 einer Vergleichsschaltung CMP zugeführt.
An die Vergleichsschaltung CMP ist ein Bezugsspannungsgeber
REF angeschlossen. Wenn die aus der Glättungsschaltung SC2
zugeführte Spannung die aus dem Bezugsspannungsgeber REF
zugeführte Spannung übersteigt, gibt die Vergleichsschaltung
CMP an den Phasenschieber PHS ein Sperrsignal ab. Wenn von
der Vergleichsschaltung CMP das Sperrsignal abgegeben wird,
unterbricht der Phasenschieber PHS die Schwingungen. Daher
unterbricht die Treiberschaltung 100 das Zuführen der Wechselspannungen
zu dem piezoelektrischen Vibrationsteil 2,
sobald mittels der Sensorelemente 51 und 52 die unerwünschte
Schwingung erfaßt wird. Auf diese Weise kann das Entstehen
hörbarer Geräusche wirkungsvoll und fehlerfrei verhindert
werden.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung kann durch das piezoelektrische
Vibrationsteil 2 gleichzeitig die nicht vorgesehene
Schwingung ermittelt werden, die eine Wellenlänge hat,
die länger oder kürzer als die Soll-Wellenlänge λ ist. Die
Sensorelemente 51 und 52 können durch Polarisieren des
ringförmigen piezoelektrischen Vibrationsteils 2 gebildet
werden. Daher können die Sensorelemente 51 und 52 unter
geringen Kosten hergestellt werden.
Ohne Abweichung vom Grundgedanken der Erfindung können
verschiedenerlei Abänderungen vorgenommen werden. Beispielsweise
können die Sensorelemente 51 und 52 in dem Sektor 6
angeordnet sein. Ferner können die Sensorelemente 51 und 52
betrieben werden, wenn sie an einem Teil der piezoelektrischen
Elemente des Vibrationsteils 2 oder einem Teil des
Stators 12 angeordnet sind.
Wenn die Welle eines Ultraschall-Motors übermäßig belastet
oder mechanisch blockiert wird, entstehen in einem herkömmlichen
Ultraschall-Motor häufig durch eine unerwünschte
Schwingung mit einer nicht vorgesehenen Wellenlänge unangenehme
hörbare Geräusche. Zum Ermitteln der unerwünschten
Schwingung enthält daher ein Vibrationsteil eines erfindungsgemäßen
Ultraschall-Motors zwei Sensorelemente, die
voneinander um eine vorbestimmte Strecke beabstandet sind.
Entsprechend der unerwünschten Schwingung ermittelt eine
Treiberschaltung eine Spannungsdifferenz zwischen den Sensorelementen.
Falls die unerwünschte Schwingung entsteht,
wird von der Treiberschaltung die Spannungsdifferenz zwischen
den Sensorelementen erfaßt und die unerwünschte
Schwingung unterbrochen.
Claims (3)
1. Vibrationsteil für einen Ultraschall-Motor mit einem
ersten Antriebsvibrator und einem von dem ersten Antriebsvibrator
beabstandeten zweiten Antriebsvibrator, gekennzeichnet
durch zwei Sensorelemente (51, 52), die voneinander um
eine vorbestimmte Strecke (d) beabstandet sind.
2. Vibrationsteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die vorbestimmte Strecke d durch die Gleichung d=nλ/2
bestimmt ist, in der n eine natürliche Zahl ist und λ die
Soll-Wellenlänge einer an dem Vibrationsteil (2) erzeugten
Wanderwelle ist.
3. Ultraschall-Motor mit einem elastischen Teil, einem an
dem elastischen Teil angebrachten ersten Antriebsvibrator,
einem an dem elastischen Teil angebrachten und von dem
ersten Antriebsvibrator beabstandeten zweiten Antriebsvibrator
und einem mit dem elastischen Teil in Berührung stehenden
Rotor, gekennzeichnet durch zwei Sensorelemente (51,
52), die voneinander um eine vorbestimmte Strecke (d) beabstandet
sind und die an dem elastischen Teil (1) angebracht
sind, und eine Treiberschaltung (100), die den ersten und den
zweiten Antriebsvibrator (3, 4) in Schwingungen versetzt und
die die Schwingung des ersten und des zweiten Antriebsvibrators
unterbricht, wenn eine Spannungsdifferenz zwischen
dem ersten und dem zweiten Sensorelement ermittelt wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2258516A JP2992068B2 (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 超音波モータ用振動体および超音波モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4131948A1 true DE4131948A1 (de) | 1992-04-02 |
DE4131948C2 DE4131948C2 (de) | 1992-11-19 |
Family
ID=17321300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914131948 Granted DE4131948A1 (de) | 1990-09-27 | 1991-09-25 | Ultraschall-motor und vibrationsteil hierfuer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2992068B2 (de) |
DE (1) | DE4131948A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0531793A1 (de) * | 1991-09-11 | 1993-03-17 | Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH | Elektrischer Scheibenwischerantrieb |
DE4216050A1 (de) * | 1992-05-15 | 1993-11-18 | Daimler Benz Ag | Ultraschallwanderwellenmotor mit formschlüssiger Anregung von Wanderwellen |
EP0642065A1 (de) * | 1993-09-08 | 1995-03-08 | Asulab S.A. | Rotorpositionsdetektor für piezoelektrischen Motor |
FR2769149A1 (fr) * | 1997-09-26 | 1999-04-02 | Daimler Benz Ag | Moteur a ondes progressives muni d'un dispositif de mesure de temperature et procede de mesure de temperature |
CN104885244A (zh) * | 2012-12-26 | 2015-09-02 | 佳能株式会社 | 压电元件、用于振荡波马达的定子、振荡波马达、驱动控制***、光学装置和制造用于振荡波马达的定子的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4510411A (en) * | 1983-05-04 | 1985-04-09 | Nippon Kogaku K.K. | Drive circuit for surface-wave driven motor utilizing ultrasonic vibration |
JPS6373887A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-04 | Shinsei Kogyo:Kk | 進行波型超音波モ−タ |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP2258516A patent/JP2992068B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-25 DE DE19914131948 patent/DE4131948A1/de active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4510411A (en) * | 1983-05-04 | 1985-04-09 | Nippon Kogaku K.K. | Drive circuit for surface-wave driven motor utilizing ultrasonic vibration |
JPS6373887A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-04 | Shinsei Kogyo:Kk | 進行波型超音波モ−タ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0531793A1 (de) * | 1991-09-11 | 1993-03-17 | Licentia Patent-Verwaltungs-GmbH | Elektrischer Scheibenwischerantrieb |
US5539269A (en) * | 1991-09-11 | 1996-07-23 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh | Electrical windshield wiper drive |
DE4216050A1 (de) * | 1992-05-15 | 1993-11-18 | Daimler Benz Ag | Ultraschallwanderwellenmotor mit formschlüssiger Anregung von Wanderwellen |
EP0642065A1 (de) * | 1993-09-08 | 1995-03-08 | Asulab S.A. | Rotorpositionsdetektor für piezoelektrischen Motor |
US5473215A (en) * | 1993-09-08 | 1995-12-05 | Asulab S.A. | Position detector of the rotor of a piezo-electric motor |
FR2769149A1 (fr) * | 1997-09-26 | 1999-04-02 | Daimler Benz Ag | Moteur a ondes progressives muni d'un dispositif de mesure de temperature et procede de mesure de temperature |
CN104885244A (zh) * | 2012-12-26 | 2015-09-02 | 佳能株式会社 | 压电元件、用于振荡波马达的定子、振荡波马达、驱动控制***、光学装置和制造用于振荡波马达的定子的方法 |
US9893269B2 (en) | 2012-12-26 | 2018-02-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, stator for oscillatory wave motor, oscillatory wave motor, driving control system, optical apparatus, and method for making stator for oscillatory wave motor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2992068B2 (ja) | 1999-12-20 |
DE4131948C2 (de) | 1992-11-19 |
JPH04138084A (ja) | 1992-05-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69108946T2 (de) | Vibrationswellenmotor. | |
DE3415630C2 (de) | ||
DE60222356T2 (de) | Drehwinkelsensor, Drehmomentsensor und Lenkvorrichtung | |
DE3835090C2 (de) | ||
DE3626389C2 (de) | ||
DE3852224T2 (de) | Ultraschalltreiberanordnung. | |
DE69120307T2 (de) | Vibrationswellenmotor | |
DE3423884C2 (de) | ||
EP0306530A1 (de) | Piezoelektrischer motor | |
DE2905055A1 (de) | Akustischer kreisel | |
DE2647687A1 (de) | Elektromotor mit frequenzgenerator | |
EP1353159A2 (de) | Drehmomentsensor in Form eines monolithischen Aufnahmeteils | |
WO2019144171A4 (de) | Messsystem und verfahren zur bestimmung einer kraft und/oder eines drehmoments an einer drehmomentübertragenden welle | |
DE2305384A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von winkelgeschwindigkeiten | |
DE4131948C2 (de) | ||
CH669268A5 (de) | Schaltungsanordnung. | |
DE3727790A1 (de) | Bewegungsparametersensor | |
DE2704320A1 (de) | Einrichtung zur elektrisch-optischen bestimmung einer messgroesse | |
DE3505165C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer Kraft | |
EP0973010A3 (de) | Mikromechanischer Drehratensensor mit Koppelstruktur | |
DE3619941A1 (de) | Winkelgeschwindigkeitssensor fuer navigationszwecke | |
DE4305894C1 (de) | Schwingungsanregung bei einem Schwingungsmotor mit zylinderförmigem Schwingkörper | |
DE2138612C3 (de) | Schaltungsanordnung zur Messung der Geschwindigkeitsänderung oder sich rasch ändernder Momentanwerte der Geschwindigkeit rotierend oder gradlinig bewegter Körper | |
DE3626386A1 (de) | Zittereinrichtung fuer ringlaser-gyroskop | |
DE3990206C2 (de) | Ultraschallmotor mit magnetischer Codiereinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: KABUSHIKI KAISHA FUKOKU, AGEO, SAITAMA, JP |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: BLUMBACH, KRAMER & PARTNER GBR, 81245 MUENCHEN |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Representative=s name: KRAMER - BARSKE - SCHMIDTCHEN, 81245 MUENCHEN |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |