DE4115080C2 - Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit der Eigenschaften gegenüber herstellungsbedingten Ungenauigkeiten - Google Patents
Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit der Eigenschaften gegenüber herstellungsbedingten UngenauigkeitenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Oberflächenwellenan
ordnung und hat die Verminderung der Abhängigkeit Frequenzgenauigkeit und
der Resonatorgüte gegenüber herstellungsbedingten Unge
nauigkeiten der Fingerbreite zum Gegenstand.
Oberflächenwellenanordnungen
haben auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats wie
Quarz oder Lithiumniobat bzw. -tantalat angeordnete Struk
turen, die zur elektrischen Erzeugung von Oberflächenwellen,
zur Beeinflussung solcher akustischer Oberflächenwellen und
zur Umwandlung derartiger Oberflächenwellen in elektrische
Signale dienen. Verwendet werden solche Anordnungen als
Oberflächenwellenfilter, als Oberflächenwellen-Laufzeitlei
tungen, als Oberflächenwellenresonatoren und dgl.
Im vorliegenden Falle ist der Begriff "Oberflächenwellen" als
allgemein zu verstehen und schließt Rayleighwellen, Bleustein
wellen, SSB-Wellen und dgl. ein, die in der Oberfläche und/
oder im Substrat nahe der Oberfläche derselben als akustische
Wellen laufen.
Die erwähnten Strukturen sind Anordnungen von im Regelfall pa
rallel zueinander angeordneten Metallstreifen, die photolitho
grafisch auf die Substratoberfläche aufgebracht werden, wobei
im wesentlichen das Ätzverfahren und das Verfahren der Abhebe
technik (lift-off) zu verwenden sind. Im Regelfall bestehen
die Strukturen aus mit einer Periodenabmessung p angeordneten
Streifen, wobei die Metallstreifen selbst eine Breite b haben.
D. h. es ist zwischen einander gegenüberstehenden Kanten
zweier benachbarter Streifen ein (Streifen-) Zwischenraum
p - b vorhanden. Es ist auch üblich, das Metallisierungs
verhältnis eta = b/p anzugeben.
Zur elektroakustischen und zur akustoelektrischen Umwandlung
werden Wandlerstrukturen verwendet, die aus interdigital an
geordneten Metallstreifen bestehen. Für Resonatoren kommen
(zusätlich) Reflektorstrukturen in Frage, die aus wiederum
parallel zueinander angeordneten Metallstreifen bestehen, die
jedoch nicht notwendigerweise irgendwie elektrisch angeschlos
sen sein müssen. Es sind dies die beiden wichtigsten Ausbil
dungen für vorliegend in Betracht kommende Strukturen.
Die Fig. 1 zeigt einen aus der US 4 144 507 bekannten Ober
flächenwellen-Resonator mit einzelnen Teilstrukturen. Mit 2
und 3 sind Reflektorstrukturen bezeichnet. Die Strukturen 6
und 7 sind Wandlerstrukturen, die als Eingang und Ausgang des
Resonators verwendet werden können. Mit 8 sind die einzelnen
Metallstreifen bezeichnet, die periodisch nebeneinander ange
ordnet sind. Die Periode dieser Anordnung ist mit p bezeich
net. Die einzelnen Streifen 8 haben eine Breite b und im Re
gelfall ist bei einer solchen Oberflächenwellenstruktur das
Verhältnis eta = b/p konstant gewählt.
Die Fig. 2 zeigt als Seitenansicht der Fig. 1 in vergrößer
tem Maßstab den in der Fig. 1 mit dem Doppelpfeil A-A'
kenntlichen Abschnitt der Teilstruktur 3 der Fig. 1. Auf der
Oberfläche des mit 4 bezeichneten Substrats sind die Metall
streifen 8 im Querschnitt zu sehen. Es sind wieder die Ab
messungen b und p der Breite und der Periode der Streifen und
ihrer Anordnung zueinander angegeben. Als photolitographisch
aufgebrachte Metallstreifen haben diese Streifen 8 eine Dicke,
die vorgegeben werden kann und die zu einem gewissen Maß in
die Eigenschaften einer jeweiligen Oberflächenwellenstruktur
eingeht. In der Regel ist die Dicke d aufgrund der photolito
graphischen Herstellung für alle Metallstreifen 8 im wesent
lichen gleich groß.
Je nach der gestellten Aufgabe als Filter, als Verzögerungs
leitung, als Resonator oder dgl. bedarf es für die jeweiligen
Strukturen der Oberflächenwellenanordnung eines Strukturde
signs, das durch Computerberechnungen ermittelt wird. Die
heutigen Methoden zur Ermittlung des geeignetsten Designs sind
schon sehr weit fortentwickelt, so daß mit nach derartigen Be
rechnungsmethoden konzipierten Strukturen vorgegebene Eigen
schaften der zu erstellenden Oberflächenwellenanordnung tat
sächlich erzielt werden können. An sich ist auch die Herstel
lungstechnologie für solche Anordnungen weit entwickelt. Den
noch läßt es sich aber nicht vermeiden, daß selbst sehr kleine
Ungenauigkeiten, z. B. der Einhaltung der Breite der Metall
streifen, d. h. der Fingerbreite, zu merklichen Ungenauigkei
ten und Streuungsbreiten der Eigenschaften führen, nämlich
weil solche Oberflächenwellenanordnungen außerordentlich hoch
präzise Bauelemente der Elektronik sind.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, Maßnahmen zur
Verminderung der Abhängigkeit der Frequenzgenauigkeit oder der
Resonatorgüte eine Oberflächenwellenanordnung gegenüber her
stellungsbedingten Ungenauigkeiten der Breite der hergestell
ten Metallstreifen der Strukturen anzugeben, und zwar dies für
eine Oberflächenwellenstruktur mit einem jeweils vorgegebenen
Design.
Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des Anspruchs
1 gelöst.
Die Erfindung geht davon aus,
daß für die Oberflächenwellenanordnung mit den verlangten Ei
genschaften nicht nur das diese Eigenschaften erfüllende De
sign der Strukturen auf dem vorgegebenen Substrat vorliegen,
sondern daß auch das Metall für die Metallstreifen und das
anzuwendende (photolithografische) Herstellungsverfahren der
Strukturen vorgegeben sind und eine Wahl der Dicke der Me
tallstreifen getroffen ist. Es sind dies völlig übliche Vor
gaben.
Es ist bekannt gewesen, daß das oben erwähnte Verhältnis eta =
b/p für die Eigenschaften einer Oberflächenwellenanordnung
nicht uninteressant ist. Es ist an sich relativ problemlos,
die Periodenabmessung p wenigstens soweit herstellungsbedingt
konstant bzw. in engen Toleranzen zu halten, daß von dieser
Seite her mit Ungenauigkeiten der Eigenschaften der Anordnung
nur in untergeordnetem Maße zu rechnen ist, nämlich weil sich
Schwankungen der Abmessung p weitgehend herausmitteln. Durch
herstellungsbedingte Ungenauigkeiten der Breite b der Metall
streifen hervorgerufenen Störungen der Charakteristik der An
ordnung ist bisher durch Maßnahmen zur Verhinderung solcher
Ungenauigkeiten so gut wie möglich und unter entsprechendem
Technologieaufwand entgegengewirkt worden.
Ausführungbeispiele der Erfindung werden anhand der nach
folgend beschriebenen Figuren erläutert.
Fig. 1 zeigt wie schon erwähnt eine bekannte Oberflächen
wellenanordnung.
Fig. 2 zeigt eine Seitenansicht der Anordnung nach Fig. 1
im Schnitt und als vergrößerter Ausschnitt A-A'.
Fig. 3 zeigt ein Diagramm der Abhängigkeit der Ausbreitungs
geschwindigkeit v vom Verhältnis eta = Breite/Periode
der Anordnung der Streifen.
Fig. 4 zeigt ein Diagramm der Abhängigkeit des Reflexions
vermögens der Streifen, wieder in Abhängigkeit von dem
Verhältnis eta und
Fig. 5 zeigt für die Ausbreitungsgeschwindigkeit (Kurve 1)
und für das Reflexionsvermögen (Kurve 2), bei welchem
Wertepaar des auf der Absisse aufgetragenen Verhält
nisses eta und des auf die Ordinate aufgetragenen
Verhältnisses Dicke der Streifen/doppelte Perioden
abmessung jeweils das Optimum bzw. die maximale In
varianz der Ausbreitungsgeschwindigkeit v und des
Reflexionsvermögens rho für ein vorgegebenes Design
liegt.
Ausgangspunkt ist die Erkenntnis, daß für die Aus
breitungsgeschwindigkeit der akustischen Welle in einer hin
sichtlich Design, Substrat, Metall und Herstellungsverfahren
sowie der Dicke der Streifen vorgegebenen Anordnung eine wie
in Fig. 3 angegebene Abhängigkeit dieser Geschwindigkeit von
dem Metallisierungsverhältnis eta besteht. Als Substrate kom
men insbesondere die für frequenzgenaue Bauteile überwiegend
verwendeten AT-Schnitte des Quarz in Betracht. Als Metalle
kommen vorzugsweise Aluminium und Aluminium-Kupferlegierungen
in Frage. Die Dicke einer solchen Metallisierung beträgt min
destens etwa 1% der Periodizität p. Es wurde festgestellt,
daß diese Abhängigkeit ein Minimum hat, was bedeutet, daß für
den Wert eta, d. h. für das Verhältnis der Breite zur Periode
der Streifen, ein Bereich angegeben werden kann, in dem Schwan
kungen des Wertes eta, d. h. Schwankungen der Breite der Me
tallstreifen minimalen Einfluß auf den Wert der Ausbreitungs
geschwindigkeit haben, d. h. die Ausbreitungsgeschwindigkeit
in diesem Bereich größte Invarianz aufweist. Da die Ausbrei
tungsgeschwindigkeit v der akustischen Welle wesentlich be
stimmend für die Frequenzgenauigkeit der Oberflächenwellen
anordnung ist, kann also auch für die Frequenzgenauigkeit ein
Wert von eta als Maß für den Bereich größter Invarianz angege
ben werden.
Es wurde auch festgestellt, daß für das Reflexionsvermögen rho
der Metallstreifen, aus denen die Strukturen bestehen, eine
Abhängigkeit vom Wert eta besteht, nämlich wie dies die Fig.
4 zeigt. Auch diese Abhängigkeit weist ein Extremum auf, in
dessen Umgebung größte Invarianz des Reflexionsvermögens eines
solchen Metallstreifens gegenüber Schwankungen des Wertes eta
bestehen. Das Reflexionsvermögen rho eines Streifens geht in
die Resonatorgüte einer Resonator-Oberflächenwellenanordnung
ein.
Mit den Maßnahmen des Anspruches 1 kann somit wahlweise opti
mal verminderte Abhängigkeit der Frequenzgenauigkeit oder op
timal verminderte Abhängigkeit der Resonatorgüte erzielt wer
den. Die in dem Anspruch 1 enthaltene Alternative für jeweils
eines der Optima ist dadurch bedingt, daß das Minimum für die
Ausbreitungsgeschwindigkeit v und das Maximum für das Refle
xionsvermögen rho im Regelfall bei voneinander verschiedenen
Werten für eta liegen. Man kann
noch eine Kompromißlösung erreichen, wenn man
einen Wert eta wählt, der zwischen diesen beiden eta-Optima
von Geschwindigkeit und Reflexionsvermögen liegt.
Die Weiterbildung der Erfindung gemäß dem Anspruch 3 beruht auf der weiteren
Erkenntnis, daß in der im Rahmen der Lösung gemäß Patentan
spruch 1 noch wählbaren Dicke der Metallisierung der Metall
streifen noch eine Größe zur Disposition steht. Tatsächlich
konnte gefunden werden, daß durch zusätzliche Wahl eines op
timalen Wertes der Dicke d der Metallstreifen eine optimale
Gesamtlösung hinsichtlich Frequenzgenauigkeit und Resonator
güte erzielt werden kann, was für alle Resonator-Oberflächen
wellenanordnungen von ganz besonderer Bedeutung ist.
Diese Weiterbildung der Erfindung beruht auf weiteren Untersu
chungen, die dahin gingen, die in Fig. 3 für eine Metallisie
rungsdicke angegebene Abhängigkeit auch für andere Dickenwerte
als Parameter zu ermitteln. Desgleichen wurde für die in Fig.
2 angegebene Abhängigkeit das Kennlinienfeld für wiederum die
Dicke als Parameter ermittelt.
Die Fig. 5 zeigt die Kombination der beiden vorgegebenen Kenn
linienfelder. In Fig. 5 sind wieder über der Größe eta als Ab
sisse und für das Verhältnis d/2p als Ordinate diejenigen zwei
Kurven aufgetragen, die sich ergeben für den vom Verhältnis
d/2p abhängigen Verlauf des jeweils optimalen Wertes von eta:
für die Geschwindigkeit v (Kurve 1) und für das Reflexionsver
mögen (Kurve 2). Es hat sich gezeigt, daß es in der Regel für
diese beiden Kurven 1 und 2 jeweils einen Schnittpunkt gibt,
der angibt, bei welchem Verhältnis eta und welchem Verhältnis
d/2p optimal verminderte Abhängigkeit sowohl der Frequenzge
nauigkeit als auch der Resonatorgüte vorliegt, nämlich für
eine Oberflächenwellenanordnung mit im übrigen vorgegebenem
Design, Substrat, Metall und Herstellungsverfahren.
Mit der Erkenntnis dieser Erfindung kann für jede Oberflächen
wellenanordnungen mit den vorgenannten Vorgaben im ersten
Falle ein Wert eta, d. h. eine Streifenbreite bei entsprechend
dem Design vorgegebener Periodenabmessung p optimale Invarianz
der Frequenzgenauigkeit oder Resonatorgüte angegeben werden.
Es kann auch, wie oben angegeben, ein Kompromißwert für weit
gehend optimale Invarianz von Frequenzgenauigkeit und Resona
torgüte angegeben werden, und zwar dies bei gewählter Dicke
der Metallstreifen. Es kann aber mit der Erfindung auch das
gemeinsame Optimum für Frequenzgenauigkeit und Resonatorgüte
angegeben werden, wenn außerdem auch noch die dafür erforder
liche Dicke d der Metallisierung ermittelt wird.
Aus der vorangehenden Beschreibung geht hervor, wie der Fach
mann vorzugehen hat, um die Erfindung auszuführen. Für den
ersten Fall genügt es, die Kurve der Fig. 3 bzw. die Kurve
der Fig. 4 zu ermitteln. Etwas mehr Aufwand erfordert es, die
Kurven 1 und 2 der Fig. 5, d. h. den Schnittpunkt, der das
gemeinsame Optimum angibt, festzustellen. Es sind dazu die
Kennlinienfelder mit dem Parameter Dicke bzw. dem Verhältnis
wert d/2p für die Geschwindigkeit und das Reflexionsvermögen
zu ermitteln. Es empfiehlt sich, diese Kennlinienfelder für
den Wert d/2p zu ermitteln, weil damit eine wie schon im Wert
eta enthaltene Normierung erzielt ist und die Kurven der Fig.
5 damit eine allgemeine verwertbare Bemessungsunterlage sind.
Bezüglich der Lehre nach Anspruch 1 empfiehlt es sich, diese
auf die einzelnen Strukturen 2, 3; 6, 7 einer ganzen Ober
flächenwellenanordnung separat anzuwenden. D. h. man bestimmt
für jeden der von dem Design umfaßten Wandler 6, 7, Reflek
toren 2, 3 und dgl. das betreffende Optimum für sich genom
men.
Auch hinsichtlich der dem Anspruch 3 ent
sprechenden Bemessung der Dicke d der Metallstreifen 8 ist
es von Vorteil, diese Bemessungen für die einzelnen Strukturen
2, 3; 6, 7 separat zu ermitteln.
Claims (4)
1. Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit
des Frequenzgenauigkeit f(v) oder der Resonatorgüte Q(rho)
gegenüber herstellungsbedingten Ungenauigkeiten der Metall
streifenbreite (b), wobei die Oberflächenwellenanordnung
auf einem Substrat (4) angeordnete Strukturen aus mit einer
Periodizität (p) angeordneten Metallstreifen (8) mit ge
wählter Dicke (d) des Metalls der Streifen hat,
gekennzeichnet dadurch,
daß für ein vorgegebenes Design mit vorgegebenem Substrat
(4), vorgegebener Periode p, vorgegebenem Metall der Metall
streifen (8) sowie vorgegebenem Herstellungsverfahren für
die Metallstreifen (8) für die Strukturen (2, 3; 6, 7) der
jenige Wert des Verhältnisses eta = b/p gewählt ist, für den
abhängig von den Werten eta ein Extremwert für die Ober
flächenwellen-Ausbreitungsgeschwindigkeit (v) oder für die
Wellenreflexion (rho) an den Metallstreifen der jeweiligen
Struktur vorliegt.
2. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet dadurch,
daß für die jeweilige der Strukturen (2, 3, 6, 7) das Ver
hältnis eta für einen Extremwert separat gewählt ist.
3. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1 oder 2, ausge
führt als Resonatoranordnung mit verminderter Abhängigkeit
sowohl der Frequenzgenauigkeit als auch der Resonatorgüte,
gekennzeichnet dadurch,
daß zusätzlich die Dicke (d) der Metallstreifen (8) auf
einen Wert bemessen ist, bei dem sich ein Verhältnis eta =
b/p ergibt, bei dem sowohl der Extremwert für die Oberflä
chenwellen-Ausbreitungsgeschwindigkeit als auch für die
Wellenreflexion vorliegt (Schnittpunkt der Kurven 1 und 2
in Fig. 5).
4. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 3,
gekennzeichnet dadurch,
daß für die jeweilige der Strukturen (2, 3; 6, 7) (auch)
die Dicke (d) der Metallstreifen (8) separat bezüglich der
Extremwerte bemessen ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914115080 DE4115080C2 (de) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit der Eigenschaften gegenüber herstellungsbedingten Ungenauigkeiten |
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---|---|---|---|
DE19914115080 DE4115080C2 (de) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit der Eigenschaften gegenüber herstellungsbedingten Ungenauigkeiten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4115080A1 DE4115080A1 (de) | 1992-11-12 |
DE4115080C2 true DE4115080C2 (de) | 1999-11-25 |
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ID=6431277
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19914115080 Expired - Lifetime DE4115080C2 (de) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | Oberflächenwellenanordnung mit verminderter Abhängigkeit der Eigenschaften gegenüber herstellungsbedingten Ungenauigkeiten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4115080C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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USRE37102E1 (en) | 1994-04-13 | 2001-03-20 | Murata Manufacturing Co, Ltd | Saw filter with specified electrode dimensions |
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JP3226472B2 (ja) * | 1996-05-14 | 2001-11-05 | 富士通株式会社 | 弾性表面波多重モードフィルタ |
DE19730710C2 (de) * | 1997-07-17 | 2002-12-05 | Epcos Ag | Oberflächenwellenakustikfilter mit verbesserter Flankensteilheit |
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US4144507A (en) * | 1976-09-29 | 1979-03-13 | Texas Instruments Incorporated | Surface acoustic wave resonator incorporating coupling transducer into reflecting arrays |
-
1991
- 1991-05-08 DE DE19914115080 patent/DE4115080C2/de not_active Expired - Lifetime
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DE4115080A1 (de) | 1992-11-12 |
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