DE4113770C2 - Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstücks in eine vorbestimmte Position - Google Patents
Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstücks in eine vorbestimmte PositionInfo
- Publication number
- DE4113770C2 DE4113770C2 DE4113770A DE4113770A DE4113770C2 DE 4113770 C2 DE4113770 C2 DE 4113770C2 DE 4113770 A DE4113770 A DE 4113770A DE 4113770 A DE4113770 A DE 4113770A DE 4113770 C2 DE4113770 C2 DE 4113770C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- yoke
- stage
- yokes
- guides
- table base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/0642—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with four rows of balls
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S248/00—Supports
- Y10S248/913—Two axis article engaging means, e.g. x - y device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
- Y10T74/20354—Planar surface with orthogonal movement only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Tisch zur Verwendung beim Verstellen
eines Werkstückes in eine vorbestimmte Position in
einer Ebene.
Ein bekannter Tisch dieser Art ist aus JP-OS 63-2 37 831 bekannt
und in den Fig. 11 und 12 dargestellt. Er weist eine
Tischbasis 41 auf, auf der zwei lineare Lager 42 und 43 angeordnet
sind, die sich senkrecht zueinander erstrecken und
ein Joch 44 für die X-Achse und ein Joch 45 für die Y-Achse
derart abstützen, daß diese Joche senkrecht zueinander
verstellt werden können. Die Joche 44 und 45 sind mit Führungsöffnungen
46 bzw. 47 ausgestattet, die langgestreckt
senkrecht zur Verstellrichtung des betreffenden Jochs verlaufen.
Eine Bühne 48 ist oberhalb der Joche 44, 45 an der
Schnittstelle der Führungsöffnungen 46 und 47 angeordnet
und hat Führungsrollen 49 und 50, die an den innenliegenden
Seitenflächen der Führungsöffnungen 46 und 47 geführt anliegen.
Die Bühne 48 wird von den Führungsrollen 49 und 50
und zusätzlich je einer Schiebeführung an der Außenseite
jedes Joches 44, 45 derart geführt, daß sie entlang den
Führungsöffnungen 46 und 47 verstellt werden kann. Des weiteren
sind Linearantriebseinheiten 51 und 52 auf der Oberseite
der Tischbasis 41 gelagert, um die Joche 44 und 45
parallel zu den betreffenden linearen Lagern 42 und 43 zu
verstellen.
Wenn sich bei dieser Anordnung entweder das X-Achsen-Joch
44 oder das Y-Achsen-Joch 45 bewegt, wird die Bühne 48 entweder
in Richtung der X-Achse oder der Y-Achse verstellt,
wobei sie von den Rollen 49 und 50 und den Führungsöffnungen
46 und 47 sowie den zusätzlichen Schiebeführungen geführt
ist.
Bei diesem Tisch müssen jedoch die Führungsöffnungen 46 und
47 groß sein und insbesondere eine ausreichende Breite aufweisen,
um die Führungsrollen 49 und 50 aufnehmen zu können.
Die Joche 44 und 45 haben daher die Gestalt von langgestreckten
Rahmen, wie dies aus Fig. 11 hervorgeht. Die
Steifigkeit solcher Joche ist gering. Wird ein schweres
Werkstück auf die Bühne 48 aufgelegt, besteht die Gefahr,
daß sich die Joche 44 und 45 verformen, wobei sich auch die
sehr schmal bemessene Schiebeführung mitverformen wird.
Mit der Erfindung soll ein Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines
Werkstückes in eine vorbestimmte Position
geschaffen werden, der stabil ist und der es
erlaubt, Einstellungen in den zwei zueinander senkrechten
Richtungen mit hoher Genauigkeit vorzunehmen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des
Anspruchs 1 gelöst.
Bei dem erfindungsgemäßen Tisch werden durch den Eingriff
zwischen den Bühnenführungen und den Schiebelagern, die
sich senkrecht zu der Verstellrichtung der Joche erstrecken,
die Bühne und die Joche bezüglich der Verstellrichtung
der Joche miteinander gekuppelt. Durch Verstellen des oberen
Jochs bewegt sich infolgedessen die Bühne entlang der
Bühnenführungen auf dem unteren Joch, während durch Verstellen
des unteren Joches eine Bewegung der Bühne entlang
den Bühnenführungen auf dem oberen Joch erfolgt.
Weil bei dieser Anordnung das obere Joch nur mit der Durchgangsöffnung
zur Aufnahme der Schiebelager der Bühne versehen
werden muß, kann jedes Joch in Gestalt einer relativ
breiten Platte ausgeführt werden. Auf diese Weise wird die
Steifigkeit der Joche gesteigert.
Entsprechend der vorliegenden Erfindung sind zwei Jochführungen
auf der Oberseite der Tischbasis vorgesehen, und
diese Jochführungen verlaufen senkrecht zueinander, um die
Joche abzustützen. Die Joche tragen an ihrer Unterseite jeweils
ein Paar von Schiebelagern. Die Schiebelager werden
mit den Jochführungen in Eingriff gehalten, die sich zu
beiden Seiten an der Oberseite befinden. Zwei Antriebseinheiten
sind an den Seiten der Tischbasis vorgesehen und mit
den Jochen gekuppelt, um die Joche anzutreiben.
Weil die Joche in geringerer Höhe gelagert werden können
und die Höhe des Tisches um einen Betrag vermindert werden
kann, welcher der Höhe der Antriebseinheiten entspricht,
wird ein besonders kompakter Tisch erhalten.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind anhand der Zeichnungen näher
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine Draufsicht auf den verstellbaren Tisch entsprechend einer ersten
Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie I-I der Fig. 1,
Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie II-II der Fig. 1,
Fig. 4 eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung des Tisches,
Fig. 5 eine perspektivische Darstellung des Tisches im zusammengebauten
Zustand,
Fig. 6 eine teilweise aufgebrochene perspektivische Darstellung eines Schiebelagers
und der damit in Eingriff stehenden Jochführung,
Fig. 7 einen lotrechten Schnitt durch die Anordnung gemäß Fig. 6,
Fig. 8 eine teilweise aufgebrochene Draufsicht auf einen verstellbaren Tisch
entsprechend einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie III-III der Fig. 8,
Fig. 10 einen lotrechten Teilschnitt der Anordnung nach den Fig. 8 und 9,
Fig. 11 eine Draufsicht auf einen bekannten verstellbaren Tisch und
Fig. 12 einen lotrechten Schnitt durch den Tisch gemäß Fig. 11.
Bei dem in den Fig. 1 bis 7 veranschaulichten verstellbaren Tisch sind zwei Paare von
Jochführungen 2 und 3 auf einer Tischbasis 1 derart montiert, daß sie sich parallel zu
zwei senkrecht zueinander verlaufenden Richtungen entlang den betreffenden Seiten
erstrecken. Ein Joch 4 für die X-Achse und ein Joch 5 für die Y-Achse sind auf den Jochführungen
2 bzw. 3 gelagert. Die Joche liegen übereinander und verlaufen in zueinander senkrechten
Richtungen.
Das Joch 4 und das Joch 5 sind auf den betreffenden Jochführungen
2 und 3 über Schiebelager 6 bzw. 7 abgestützt, die an der Unterseite der Joche 4
und 5 zu beiden Enden dieser Joche 4, 5 sitzen und mit den betreffenden Jochführungen 2
und 3 in Eingriff stehen.
Wie in den Fig. 6 und 7 veranschaulicht ist, weist jedes Schiebelager 6 einen umgekehrt
U-förmigen, auf der Jochführung 2 gelagerten Gleitstückkörper 8 und eine Mehrzahl
von Kugeln 9 auf, die in Kanälen drehbar gelagert sind, welche in dem Gleitstückkörper 8
ausgebildet sind. Die Kugeln 9 kommen mit der Oberseite und den Seitenflächen der
Jochführung 2 in Kontakt. Das Schiebelager 6 und die zugehörige Jochführung 2 bilden
ein lineares Lager. Die Jochführungen 2 sind mit Nuten 10 ausgestattet, in welchen die
Kugeln 9 geführt sind.
Das Schiebelager 6 kann sich mit Hilfe der als Wälzkörper wirkenden Kugeln 9 in der
Längsrichtung der Jochführung 2 frei bewegen; es wird jedoch an einer Bewegung in einer
zu der Jochführung 2 senkrechten Richtung gehindert, weil dabei die Kugeln 9 mit
der Jochführung 2 in Eingriff kommen. Bühnenführungen 16 und 17 sowie Schiebelager 19
und 20, die weiter unten erläutert sind, bilden gleichfalls lineare Lager, bei denen es zu
einem entsprechenden gegenseitigen Eingriff kommt.
Jeweils eines der Paare der Jochführungen 2 und 3 ist länger als das andere. Antriebseinheiten
11 und 12 sind auf der Tischbasis 1 auf der Seite montiert, wo sich die
längeren Jochführungen 2 und 3 befinden, um das Joch 4 und das Joch 5 geradlinig
zu verstellen.
Jede der Antriebseinheiten 11 und 12 weist einen Motor 13, eine mittels des Motors 13
rotierend antreibbare Gewindespindel 14 und eine mit der Gewindespindel 14 in
Kämmeingriff stehende Spindelmutter 15 auf. Die Spindelmuttern 15 sind an den Seiten
der Joche 4 und 5 befestigt. Wenn bei dieser Anordnung die Gewindespindeln 14 mittels
der Motore 13 gedreht werden, bewegen sich die Spindelmuttern 15 entlang den Gewindespindeln
14, wodurch die Joche 4 und 5 geradlinig entlang den Jochführungen 2
bzw. 3 verstellt werden.
Die Antriebseinheiten 11 und 12 sind so angeordnet, daß im zusammengebauten Zustand
ihre Oberseiten im wesentlichen bündig zu der Oberseite des Jochs 5
liegen. Als Antriebseinheiten 11 und 12 können Spindelvorrichtungen verwendet werden,
wie sie in der US-Patentanmeldung 07/5 49 836 vorgeschlagen werden.
Die Bühnenführungen 16 sind auf der Oberseite des Joches 4 zu dessen beiden
Seiten angeordnet, und sie erstrecken sich in einer Richtung, die senkrecht zu der
Bewegungsrichtung des Joches 4 ist, d. h. senkrecht zu der auf der Tischbasis 1 montierten
Jochführung 2. Die Bühnenführungen 17 sind dagegen auf der Oberseite des
Joches 5 zu dessen beiden Seiten montiert; sie verlaufen senkrecht zu der Jochführung
3.
Das Joch 5 ist mit einer Durchgangsöffnung 21 versehen, die parallel zu den
Bühnenführungen 17 verläuft. Die an der Unterseite einer Bühne 18 angebrachten
Schiebelager 19 können in die Durchgangsöffnung 21 eingesetzt werden, die etwas länger
als der Hub der Schiebelager 6 ist, wenn diese entlang den Jochführungen 2 verstellt
werden. Letztere erstrecken sich in Richtung der Bühnenführungen 17, und sie verlaufen
parallel dazu.
Die rahmenförmige Bühne 18 befindet sich an der Schnittstelle des Joches 4
und des Joches 5. Die Schiebelager 20 sind an der Unterseite der Bühne 18
an gegenüberliegenden Seite der Bühne 18 angebracht, und sie kommen mit den Bühnenführungen
17 auf dem Joch 5 in Eingriff. Die Schiebelager 19 sitzen an der
Unterseite der Bühne 18 an den einander gegenüberliegenden Bühnenseiten, die senkrecht
zu den zuvor genannten Bühnenseiten verlaufen. Die Schiebelager 19 erstrecken sich
durch die Durchgangsöffnung 21 des Joches 5 hindurch, und sie werden mit
den Bühnenführungen 16 auf dem Joch 4 in Eingriff gehalten.
Das Joch 5 weist in seinem zentralen Teil eine Lichtdurchtrittsöffnung 22 auf,
die senkrecht zu der Durchgangsöffnung 21 verläuft. Die Lichtdurchtrittsöffnung 22 ist
etwas länger als die Strecke, um welche die Schiebelager 19 entlang der Bühnenführungen
16 verstellt werden, d. h. der Hub der Bühne 18 in der Richtung der Y-Achse.
Das Joch 4 weist eine in der Bewegungsrichtung des Joches 4 langgestreckte
Lichtdurchtrittsöffnung 23 auf. Die Lichtdurchtrittsöffnung 23 ist etwas länger als die
Strecke, um welche die Schiebelager 20 entlang der Bühnenführungen 17 verstellt werden,
d. h. der Hub der Bühne 18 in Richtung der X-Achse.
Die Lichtdurchtrittsöffnung 23 in dem Joch 4 und die Lichtdurchtrittsöffnung
22 in dem Joch 5 sind so angeordnet, daß selbst dann, wenn die Bühne 18 in
der X-Richtung oder in der Y-Richtung um den maximal möglichen Betrag verstellt
wird, eine in der Tischbasis 1 ausgebildete Lichtdurchtrittsöffnung 1a offengehalten
wird. Dadurch wird verhindert, daß das durch die Lichtdurchtrittsöffnung 1a hindurchtretende Licht
unterbrochen wird.
Wenn sich bei dem verstellbaren Tisch A dieser Ausführungsform das Joch 4
entlang den Jochführungen 2 bewegt, bewegt sich die Bühne 18 entlang den Bühnenführungen
17 auf dem Joch 5 in Richtung der X-Achse, weil die Bühnenführungen
16 auf dem Joch 4 mit den Schiebelagern 19 in Eingriff stehen.
Bewegt sich dagegen das Joch 5 entlang den Jochführungen 3, wird die Bühne
18 in Richtung der Y-Achse entlang den Bühnenführungen 16 auf dem Joch 4
verstellt, weil die Bühnenführungen 17 und die Schiebelager 20 miteinander in Eingriff
stehen.
Auch beim Verstellen der Bühne 18 kann Licht, das durch die Lichtdurchtrittsöffnung
1a der Tischbasis 1 hindurchgeschickt wird, durch die Lichtdurchtrittsöffnung 23 in
dem Joch 4, die Lichtdurchtrittsöffnung 22 in dem Joch 5 und eine
in der Bühne 18 ausgebildete Öffnung 18a hindurchtreten. Auf diese Weise kann von
der Lichtdurchtrittsöffnung 1a ausgehendes Licht die Oberseite der Bühne 18 erreichen, ohne
unterbrochen zu werden. Auf der Bühne 18 können daher Arbeiten, wie das Ermitteln
von Fehlern in Flüssigkristall- oder anderen Wiedergabeeinrichtungen problemlos und
störungsfrei durchgeführt werden.
Bei dem vorstehend erläuterten Aufbau sind die Durchgangsöffnung 21 und die Lichtdurchtrittsöffnungen
23 und 22, die in dem Joch 4 und dem Joch 5
ausgebildet sind, schmal, und die Joche 4 und 5 stellen im wesentlichen flache Platten
von ausreichender Breite dar. Die Steifigkeit der Joche 4 und 5 ist daher wesentlich höher
als bei der in Fig. 11 veranschaulichten konventionellen Anordnung, wo die Joche
die Gestalt von Rahmen haben.
Weil ferner die Joche 4 und 5 auf den Schiebelagern 6, 7 abgestützt werden, die auf die
Jochführungen 2, 3 derart aufgesetzt werden können, daß sie deren beide Seiten erreichen,
erfordern die Joche 4 und 5 und ihre Lagerung nur eine geringere Bauhöhe, als dies bei
der Anordnung gemäß Fig. 12 der Fall ist, wo die Führungsschienen über die Lager an
obenliegenden Teilen abgestützt sind. Dadurch, daß die Antriebseinheiten 11 und 12 an
den Seiten der Tischbasis 1 so angeordnet sind, daß sie im wesentlichen auf der gleichen
Höhe wie das Joch 5 liegen, läßt sich die Höhe des Tisches ebenfalls beträchtlich
reduzieren.
Bei der in den Fig. 8 bis 10 veranschaulichten Ausführungsformen ist ein Wagen 24 auf
der Bühne 18 des verstellbaren Tisches A derart gelagert, daß er eine Schwenkbewegung
ausführen kann.
Der Wagen 24 hat die gleiche Rahmenform wie die Bühne 18, und er ist im Bereich seines
einen Eckes mit einer lotrechten Welle 25 verstellbar verbunden, die an der einen
Ecke der Bühne 18 über zwei Winkellager 26 befestigt ist.
Die Bühne 18 und der Wagen 24 sind ferner an ihren drei anderen Ecken mit einander
gegenüberliegenden Nuten 27 und 28 versehen. In jedem Nutenpaar sind als Wälzkörper
dienende Kugeln 29 in Schubrichtung verstellbar gelagert.
Eine Antriebseinheit 30 ist an der der Welle 25 gegenüberliegenden Seite der Bühne 18
auf der Bühne 18 fest angebracht. Die Welle der Antriebseinheit 30 steht über einen
Zapfen 31 mit einem von dem Wagen 24 abstehenden Anschlag 32 in Schwenk- und
Gleitverbindung.
Durch Ein- und Ausfahren der Antriebseinheit 30 läßt sich dabei der Wagen 24 um die
Welle 25 schwenken, wobei der Wagen 24 durch die Wälzbewegung der Kugeln 29 geführt
wird.
Außer der Schwenkbewegung läßt sich der Wagen 24 durch Verstellen der Bühne 18 in
Richtung der X-Achse oder der Y-Achse zusammen mit den Jochen 4 und 5 in jeder
Richtung in jede in einer Ebene liegende Position bringen. Auf diese Weise ist eine
Feineinstellung oder -ausrichtung möglich.
Bei der vorstehend erläuterten Ausführungsform werden zum Führen der Bühne 18 und
des Wagens 24 Kugeln 29 verwendet. Für eine derartige Führung können statt dessen
aber auch Wälzlager, statische Drucklager und Schublager, wie Gleitkontaktlager, benutzt
werden.
Claims (4)
1. Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstückes in eine
vorbestimmte Position mit einer Tischbasis (1), mit zwei Jochen (4, 5), die auf der
Tischbasis (1) übereinanderliegend in zwei zueinander senkrechten Richtungen verstellbar
gelagert und an ihren Oberseiten mit jeweils zwei senkrecht zu der Verstellrichtung der
Joche (4, 5) verlaufenden Bühnenführungen (16, 17) versehen sind und von denen das
obere Joch (5) eine Durchgangsöffnung (21) aufweist, deren Länge durch die Länge der
betreffenden Bühnenführungen (17) bestimmt ist, und mit einer oberhalb der Joche (4, 5) an
deren Treffstelle gelagerten Bühne (18), die an ihrer Unterseite sitzende und mit
den Bühnenführungen (17) auf dem oberen Joch (5) in Eingriff stehende erste
Schiebelager (20) sowie an ihrer Unterseite sitzende, durch die Durchgangsöffnung
(21) hindurchreichende und mit den Bühnenführungen (16) auf dem unteren Joch
(4) in Eingriff stehende zweite Schiebelager (19) aufweist.
2. Tisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er zusätzlich
zwei an der Oberseite der Tischbasis (1) angeordnete Jochführungen (2, 3) aufweist,
die senkrecht zueinander verlaufen und die Joche (4, 5) abstützen, daß die
Joche (4, 5) an ihrer Unterseite mit zwei Schiebelagern (6, 7) versehen sind, die mit
den Jochführungen (2, 3) in Eingriff gehalten sind, und daß zwei Antriebseinheiten (11,
12) an den Seiten der Tischbasis (1) angeordnet und mit den Jochen (4, 5) zum Antrieb
derselben gekuppelt sind.
3. Tisch nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Jochführungen
(2, 3) und die damit zusammenwirkenden Schiebelager (6, 7) jeweils an beiden
Seiten der Tischbasis (1) bzw. der Joche (4, 5) angeordnet sind.
4. Tisch nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes der Joche (4, 5) mit
einer langgestreckten Lichtdurchtrittsöffnung (23, 22) versehen
ist, die sich in Richtung der auf dem jeweils anderen
Joch sitzenden Bühnenführung (17, 16) erstreckt und deren
Länge dem Verstellweg der zugehörigen Schiebelager (20, 19) entspricht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990045308U JPH0719693Y2 (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 移動テーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4113770A1 DE4113770A1 (de) | 1991-10-31 |
DE4113770C2 true DE4113770C2 (de) | 1996-07-11 |
Family
ID=12715689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4113770A Expired - Fee Related DE4113770C2 (de) | 1990-04-27 | 1991-04-26 | Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstücks in eine vorbestimmte Position |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5309847A (de) |
JP (1) | JPH0719693Y2 (de) |
DE (1) | DE4113770C2 (de) |
FR (1) | FR2661346B1 (de) |
GB (1) | GB2245975B (de) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2913535B2 (ja) * | 1993-12-28 | 1999-06-28 | ヒーハイスト精工株式会社 | テーブルの縦横移動機構 |
US5528118A (en) | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
US6989647B1 (en) | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
GB2291193B (en) * | 1994-07-07 | 1997-12-03 | Eastman Machine Co | Co-ordinate measuring machine |
TW318255B (de) | 1995-05-30 | 1997-10-21 | Philips Electronics Nv | |
US5724893A (en) * | 1996-10-15 | 1998-03-10 | Taichung Machinery Works Co. Ltd. | Servo-type shaking table assembly |
JP3884803B2 (ja) * | 1996-11-11 | 2007-02-21 | 株式会社三共製作所 | 2次元運動生成装置 |
JP3409298B2 (ja) * | 1997-10-07 | 2003-05-26 | 日立建機株式会社 | 移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡 |
DE19744624A1 (de) * | 1997-10-09 | 1999-04-15 | Joerg R Bauer | Arbeitsstation zum Halten von Gegenständen |
JP4475483B2 (ja) * | 2000-06-14 | 2010-06-09 | 住友重機械工業株式会社 | XYθステージ装置及びその制御方法 |
IT1320478B1 (it) * | 2000-06-30 | 2003-11-26 | Franco Sartorio | Macchina operatrice e dispositivo manipolatore installabile su talemacchina. |
US7426904B2 (en) * | 2002-10-10 | 2008-09-23 | Visualsonics Inc. | Small-animal mount assembly |
US8078256B2 (en) | 2002-10-10 | 2011-12-13 | Visualsonics Inc. | Integrated multi-rail imaging system |
US20060124036A1 (en) * | 2004-11-01 | 2006-06-15 | Bing Xu | Ergodynamic desktop |
CN100562750C (zh) * | 2005-02-05 | 2009-11-25 | 北京源德生物医学工程有限公司 | 一种搭载试剂盒的传送机构 |
CN101326706A (zh) * | 2005-11-30 | 2008-12-17 | Thk株式会社 | 无线传动器 |
US20080074020A1 (en) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Doubts James L | Slidable support system for portable storage containers |
TWM316150U (en) * | 2007-01-19 | 2007-08-01 | Yue-Ting Chen | Stage-plane extension structure of multilayered sliding rail in cutter |
US8069748B1 (en) | 2007-05-24 | 2011-12-06 | Prefix Corporation | XY linear slide mechanism |
DE102008007899A1 (de) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vorrichtung zum Positionieren von Objekten |
DE102008063996A1 (de) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Rudi Broghammer | Tisch für Objekte |
JP2010274429A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Ihi Corp | アライメントステージ |
US20120152042A1 (en) * | 2010-12-21 | 2012-06-21 | Chung-Shan Institute of Science and Technology, Armaments, Bureau, Ministry of National Defense | Multi-Dimensional Micro Driver |
TWI458902B (zh) * | 2012-05-02 | 2014-11-01 | Academia Sinica | 線性致動模組 |
CN104596433B (zh) * | 2014-11-28 | 2017-10-24 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 可调式检测工作台及其检测弧形样板的方法 |
CN104729441A (zh) * | 2015-03-26 | 2015-06-24 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 弧形件多功能检测工装 |
CN104889951A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-09-09 | 广东工业大学 | 动态特性可调宏微一体化复合平台 |
CN107290119A (zh) * | 2016-04-13 | 2017-10-24 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 抗摔损测试机构及具有该测试机构的测试装置 |
DE102016211093A1 (de) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | Festo Ag & Co. Kg | Arbeitsvorrichtung |
CN114487088A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-05-13 | 中国特种设备检测研究院 | 漏磁检测装置、管道缺陷识别方法和验证方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB942268A (en) * | 1960-06-27 | 1963-11-20 | John Alfred Mills | Improvements in and relating to machines having a movable work or tool supporting table |
US3155383A (en) * | 1962-10-11 | 1964-11-03 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
US3563186A (en) * | 1968-10-30 | 1971-02-16 | Singer Co | Bidirectional positioning stage |
US3690642A (en) * | 1971-01-20 | 1972-09-12 | Saab Scania Ab | Means for confining a translatable member to straight line motion |
US3801090A (en) * | 1972-07-10 | 1974-04-02 | Gillen William F | Coordinate table |
US4189953A (en) * | 1977-04-15 | 1980-02-26 | Semprex Corporation | Drive system for mensuration stages or the like |
US4233740A (en) * | 1979-02-16 | 1980-11-18 | Autometric Incorporated | Photogrammetric plotter and constraint free drive system therefore |
JPS55134414A (en) * | 1979-04-06 | 1980-10-20 | Hitachi Ltd | Precise moving unit |
US4372223A (en) * | 1979-12-20 | 1983-02-08 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Moving table assembly |
DD236476A1 (de) * | 1985-04-26 | 1986-06-11 | Robotron Rationalisierung | Koordinatentisch zur positionierung grossflaechiger leichter objekte, insbesondere leiterplatten |
JPS632637A (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-07 | Omron Tateisi Electronics Co | Xyステ−ジ |
JPS63237831A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-04 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Xyテ−ブルの位置決め装置 |
US4972574A (en) * | 1988-06-08 | 1990-11-27 | Mamiya Denshi Co., Ltd. | Table driving apparatus |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP1990045308U patent/JPH0719693Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-04-25 GB GB9108875A patent/GB2245975B/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-26 FR FR9105164A patent/FR2661346B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-26 DE DE4113770A patent/DE4113770C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-02-18 US US08/019,341 patent/US5309847A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2245975B (en) | 1993-08-25 |
JPH045327U (de) | 1992-01-17 |
GB2245975A (en) | 1992-01-15 |
GB9108875D0 (en) | 1991-06-12 |
US5309847A (en) | 1994-05-10 |
DE4113770A1 (de) | 1991-10-31 |
FR2661346B1 (fr) | 1996-07-19 |
FR2661346A1 (fr) | 1991-10-31 |
JPH0719693Y2 (ja) | 1995-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4113770C2 (de) | Tisch zur Verwendung beim Verstellen eines Werkstücks in eine vorbestimmte Position | |
DE69838351T2 (de) | Werkzeugmaschine | |
DE3732570C2 (de) | ||
DE4107881C2 (de) | Verstellbarer Tisch | |
DE3909292C2 (de) | Längs- und Quer-Tischführungs- und -drehmechanismus | |
DD232861A5 (de) | Schutzvorrichtung fuer die fuehrungsbahn zweier aneinander laengsbeweglich gelagerter und angetriebener maschinenteile | |
EP0335124A1 (de) | Montageeinrichtung zum automatischen Fügen von Aggregaten von der Unterseite her mit einer KFZ-Karosserie | |
EP0296400A1 (de) | Tisch, insbesondere für Bildschirmarbeitsplätze | |
DE3686329T2 (de) | Achsenstuetzeinrichtung fuer industrieroboter. | |
DE4021949C2 (de) | Verstellbarer Tisch | |
DE69837831T2 (de) | Tisch-Einheit für das Positionieren einer Probe und Rastersondenmikroskop mit einem solchen Tisch | |
DE19937803A1 (de) | Druckwerk | |
EP0319549A1 (de) | Fördereinrichtung. | |
DE3906616C2 (de) | ||
DE2745830C2 (de) | ||
DE3537728C2 (de) | ||
DE4142061A1 (de) | Geradefuehrungseinheit mit synchron verschobenem waelzlagerelement-kaefig | |
DE4022574C2 (de) | ||
EP0139781B1 (de) | Handhabungsgerät | |
DE69620611T2 (de) | Koordinatenmaschine | |
WO1988004972A1 (en) | Device for moving parts or objects in a straight line | |
DE3331905C2 (de) | Laserstrahlbearbeitungsmaschine | |
EP0132448B1 (de) | Tisch mit verstellbarer Tischplatte | |
DE69611895T2 (de) | Werkzeugmaschine zur mechanischen Bearbeitung einer Eisenbahnschiene | |
DE3412848A1 (de) | Handhabungsgeraet |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |