DE4113667C2 - - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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Description
Die Erfindung betrifft einen Piezo-Stellantrieb nach dem
Oberbegriff des Anspruches 1.
Piezo-Stellantriebe werden in verschiedenen Bereichen
eingesetzt, z. B. im Bereich der Optik, der Lasertechnik
oder auf dem Gebiet der Werkzeugmaschinen
(WO 90/02010). Eine spezielle Anwendung dieser Piezo-Stellantriebe
sind sogenannte Fast-Tool-Servosysteme.
Mit ihnen können Werkzeuge mit hohen Frequenzen zugestellt
werden. Solche hohen Zustellfrequenzen sind not
wendig, um z. B. Laseroptiken mit speziellen
Oberflächengeometrien zu fertigen. Nachteilig wirkt sich
dabei die im Piezoelement entstehende Verlustwärme aus,
die mit steigender Frequenz zunimmt. Dies hat thermisch
bedingte Verformungen im Werkzeughalter und im Werkstück
zur Folge. Außerdem kann es bei Überhitzung zur Zerstörung
des Piezoelementes führen. Aufgrund dieser Umstände
ist die maximale Zustellfrequenz solcher Piezo-Stellantriebe
beschränkt. Sie beträgt bei praktischen Anwendungen
nur etwa 200 Hz.
Es ist ein piezoelektrischer Wandler bekannt (DE-OS
34 22 935), der nahezu keine Temperaturabhängigkeit aufweist.
Bei Einsatz eines solchen piezoelektrischen Wandlers
als Stellantrieb tritt Verlustwärme auf, die nicht
abgeführt werden kann und thermisch bedingte Verformungen
im Werkzeughalter und im Werkstück zur Folge hätte.
Es ist auch bekannt (DE-OS 38 09 284), die thermisch bedingte
Ausdehnung eines Piezoelementes durch eine Steuerschaltung
zu kompensieren. Die im Piezoelement entstehende
Verlustwärme wird allerdings nicht abgeführt.
Bei einem bekannten, Piezoelemente aufweisenden Wandler
(GB-PS 13 31 763) werden die Piezoelemente gekühlt, um
Temperatureinflüsse bei der Verformung der Piezoelemente
zu beseitigen. Hierzu wird Kühlmittel in Form von Druckluft
in den Einbauraum der Piezoelemente geblasen. Eine
präzise Temperaturregelung ist dadurch aber nicht erreichbar.
Es ist auch bekannt (JP 1-62 904 A - Abstract), das Piezoelement
durch Überwachung mittels eines Temperatursensors
auf einer bestimmten Temperatur zu halten, um eine
Frequenzstabilität zu erreichen. Die im Piezoelement
entstehende Verlustwärme wird aber ebenfalls nicht abgeführt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den gattungsgemäßen
Piezo-Stellantrieb so auszubilden, daß mit ihm
hohe Zustellfrequenzen möglich sind.
Diese Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Piezo-Stellantrieb
erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen
des Anspruches 1 gelöst.
Beim erfindungsgemäßen Piezo-Stellantrieb wird die Temperatur
des Piezoelementes stets an die jeweilige Umgebungstemperatur
des Piezoelementes angepaßt. Infolge
dieser thermischen Stabilisierung des Piezoelementes
tritt eine unzulässig hohe Erwärmung des Piezoelementes
nicht auf. Die im Piezoelement entstehende Verlustwärme
wird infolge dieser Nachregelung stets so gehalten, daß das
Piezoelement und seine jeweilige Umgebung gleiche Temperatur
haben. Die durch das Piezoelement erzeugte Verlustwärme
wird aus dem Werkzeughalter herausgeführt. Die
entstehende Wärme beim Einsatz des erfindungsgemäßen
Piezo-Stellantriebes wird vom Wärmeaufnehmer aufgenommen
und über das Peltier-Modul an den Wärmeableiter übertragen.
Dadurch werden Temperaturdifferenzen zwischen dem
Piezo-Stellantrieb und dem jeweils angetriebenen Teil
mit Sicherheit ausgeschlossen, so daß mit dem Stellantrieb
eine sehr hohe Zustellgenauigkeit erzielt werden
kann. Die Umgebungstemperatur des Piezoelementes kann
durch entsprechende Kühlmaßnahmen niedrig gehalten werden,
so daß infolge der Temperaturnachführung dann auch
das Piezoelement eine entsprechend niedrigere Temperatur
aufweist. Die Verlustwärme des Piezoelementes kann infolge
der erfindungsgemäßen Ausbildung vollständig abgeführt
werden. Dadurch lassen sich mit dem erfindungsgemäßen
Piezo-Stellantrieb hohe Zustellfrequenzen einhalten,
ohne daß sich dies nachteilig auf die Zustellgenauigkeit
des Piezo-Stellantriebes auswirkt.
Der erfindungsgemäße Piezo-Stellantrieb kann als Präzisions-
Positioniersystem für den Submikrometer-Bereich,
zur Kompensation von Geometriefehlern an Werkzeugmaschinen,
zur Kompensation von thermischen Fehlern an Werkzeug
maschinen, zur aktiven Schwingungsdämpfung oder als Er
reger, z. B. für die Modalanalyse, eingesetzt werden.
Der erfindungsgemäße Piezostellantrieb eignet sich her
vorragend für den Einsatz z. B. auf dem Gebiet der Optik,
der Lasertechnik oder der Werkzeugmaschinen.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den
weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
Die Erfindung wird an Hand eines in den Zeichnungen darge
stellten Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 in einem Längsschnitt einen er
findungsgemäßen Piezo-Stellantrieb,
der in einem Werkzeughalter unter
gebracht ist, mit einer thermischen
Stabilisierungseinrichtung,
Fig. 2 in Stirnansicht und in vergrößerter
Darstellung den Piezo-Stellantrieb
gemäß Fig. 1,
Fig. 3 einen Regelkreis zur Regelung der
Temperatur des Piezoelementes des
Piezo-Stellantriebes gemäß Fig. 1,
Fig. 4 einen Regelkreis, in dem der Piezo-
Stellantrieb und die thermische
Stabilisierungseinrichtung liegen.
Der Piezo-Stellantrieb wird vorzugsweise zur Fertigung hoch
genauer Laseroptiken eingesetzt. Darüber hinaus kann er als
Präzisions-Positioniersystem für den Submikrometer-Bereich,
zur Kompensation von Geometriefehlern und/oder von thermischen
Fehlern an Werkzeugmaschinen, zur aktiven Schwingungsdämpfung
oder als Erreger, z. B. für eine Modalanalyse, eingesetzt
werden.
In den Zeichnungen ist der Piezo-Stellantrieb zur hochge
nauen axialen Zustellung eines Werkzeuges 1 (Fig. 1) durch
axiale Verformung eines Piezoelementes 2 vorgesehen,
mit dem Laseroptiken gefertigt werden. Mittels des Piezo-
Stellantriebes kann das Werkzeug 1 mit hoher Geschwindigkeit
und mit einer sehr hohen Genauigkeit axial zugestellt werden.
Die Zustellunsicherheit beträgt nur einige Nano-Meter. Mit
dem Stellantrieb sind sehr hohe Zustellfrequenzen möglich,
weil die im Piezoelememt entstehende Verlustwärme optimal
abtransportiert wird.
Das Piezoelement 2 ist in einem Kupferblock 3 untergebracht,
der in einem Werkzeughalter 4 angeordnet ist. Der Kupfer
block 3 ist massiv ausgebildet und hat eine zentrale Bohrung
5, an deren Wandung 6 das Piezoelement 2 nahezu über seinen
gesamten Umfang anliegt. Auf diese Weise wird der thermische
Kontakt zwischen der Oberfläche des Piezoelementes 2 und
dem wärmeableitenden Kupferblock 3 hergestellt. Dieses
wärmeabführende Element kann außer aus Kupfer selbstver
ständlich auch aus jedem anderen geeigneten, wärmeableitenden
Material bestehen.
Wie Fig. 2 zeigt, hat der Kupferblock 3 etwa rechteckigen
Querschnitt mit abgeschrägten Kanten. Der Kupferblock 3
weist einen Temperatursensor 7 auf, der in einer achsparallelen
Bohrung 8 des Kupferblockes untergebracht ist. Auf den Außenseiten
des Kupferblockes 3 befinden sich im Ausführungsbeispiel vier
Peltier-Module 9 bis 12, die mit ihrer kalten Seite 9a bis 12a
am Kupferblock 3 und mit ihrer heißen Seite 9b bis 12b an der
Innenwandung 13 eines Wärmeableiters 14 befestigt sind. Er
besteht im Ausführungsbeispiel aus Aluminium und besteht
aus zwei Teilen, die mit Flanschen 15 und 16 aneinander
liegend lösbar miteinander verbunden sind. Die Verbindung
zum Kupferblock 3 erfolgt ausschließlich über die Peltier-
Module 9 bis 12. Dadurch umgibt der Wärmeableiter 14 den
Kupferblock 3 mit Abstand. Er ist in einer den Wärmeab
leiter 14 axial durchsetzenden Aufnahme 17 untergebracht,
die von der Innenwandung 13 begrenzt ist. Der Wärmeab
leiter 14 hat - bis auf die Flansche 15 und 16 - quadratischen
Umriß und weist nahe den Eckbereichen 4 Bohrungen 18 bis 21
auf, in denen die einen Enden von Heatpipes 22 bis 25 unter
gebracht sind. Der Wärmeableiter 14 weist außerdem eine
achsparallele Bohrung 26 auf, in der ein Temperatursensor
27 untergebracht ist. Er befindet sich im Bereich des
Flansches 15 benachbart zur Heatpipe 25. Der Temperatur
sensor 7 im Kupferblock 3 befindet sich im Bereich zwischen
den beiden Peltier-Modulen 11 und 12 nahe der dazwischen
liegenden abgeschrägten Kante.
Auch das Gehäuse des Werkzeughalters 4 ist mit einem
Temperatursensor 28 (Fig. 1) versehen, der parallel zu
den Temperatursensoren 7 und 27 verläuft.
Die vom Werkzeughalter 4 abgewandten Enden der Heatpipes
22 bis 25 sind in einem Kupferblock 29 befestigt, der mit
Abstand vom Werkzeughalter liegt und der über wenigstens
ein Peltier-Modul 30 mit einem Kühlkörper 31, vorzugsweise
einem Lamellenkühlkörper, verbunden ist. Der Kühlkörper 31
ist mit einem Gebläse 32 versehen.
Die Temperatur des Piezoelementes 2 wird durch einen
Regler in noch zu beschreibender Weise der Temperatur des
Werkzeughalters 4 nachgeführt, so daß das Piezoelement 2
und der Werkzeughalter 4 während des Betriebes stets die
gleiche Temperatur aufweisen. Dadurch tritt zwischen dem
Piezoelement 2 und dem Werkzeughalter 4 keine Temperatur
differenz auf, die zu einer großen Zustellungenauigkeit
des Werkzeuges 1 führen würde. Der Temperatursensor 7
des Kupferblockes 3 liefert die Ist-Temperatur des
Piezoelementes 2, während der Temperatursensor 28 (Fig. 1)
des Werkzeughalters 4 die Soll-Temperatur angibt. Der
Regler erzeugt ein entsprechendes Korrektursignal, sobald
der Sollwert mit dem Istwert nicht übereinstimmt. Über diesen
Regler werden die Peltier-Module 9 bis 12 so angesteuert,
daß das Piezoelement 2 die gleiche Temperatur wie der
Werkzeughalter 4 aufweist. Die Peltier-Module 9 bis 12
transportieren die im Piezoelement 2 erzeugte Verlustwärme
aus dem Kupferblock 3 in den Wärmeableiter 14. Die Temperatur
im Kupferblock 3 wird konstant, d. h. auf dem Sollwert gehalten.
Die im Wärmeableiter 14 entstehende Überschußwärme wird über
die Heatpipes 22 bis 25 aus dem Werkzeughalter 4 herausge
zogen und an den Kupferblock 29 abgegeben, über dessen
Kühlkörper 31 die Wärme an die Umgebung abgegeben wird.
Mit dem Peltier-Modul 30 läßt sich die Temperatur im Kupfer
block 29 auf einem Nivau halten, das es erlaubt, die
Temperaturdifferenz zwischen dem Kupferblock und dem
Wärmeableiter 14 zu minimieren.
Fig. 3 zeigt im einzelnen den Regelkreis zur Regelung der
Temperatur des Piezoelementes 2. Der Temperatursensor 28
des Werkzeughalters 4 ist über einen Verstärker 33 an den
Regler 34 angeschlossen, der vorzugsweise ein Proportional-
Integral-Regler, insbesondere ein Proportional-Integral-
Regler mit Vorhalt (PID-Regler) ist. Der Temperatursensor
7 des Kupferblockes 3 ist ebenfalls über einen Verstärker
35 an den Regler 34 angeschlossen. Er vergleicht die von
den Temperatursensoren 28 und 7 gelieferten Signale und
gibt über einen Leistungsverstärker 36 ein Signal an die
Peltier-Module 9 bis 12, wenn der Istwert und der Sollwert
der Temperaturen des Kupferblockes 3 und damit des Piezo
elementes 2 und des Werkzeughalters 4 unterschiedlich sind.
Über diesen Regelkreis läßt sich somit die Temperatur des
Piezoelementes 2 exakt auf gleichem Nivau halten wie die
Temperatur des Werkzeughalters 4. Ein Temperaturgradient
zwischen dem Piezoelement und dem Werkzeughalter tritt
nicht auf, so daß hiermit zusammenhängende Geometrie
fehler, die ein Vielfaches der Zustellunsicherheit zur
Folge haben, zuverlässig vermieden werden. Die Nachführung
der Temperatur des Piezoelementes 2 erfolgt lediglich mit
einer Unsicherheit von nur einigen mK, d. h. es treten keine
Temperaturgradienten auf, die bei der Fertigung noch negative
Einflüsse haben könnten. Die Zustellfrequenz kann sehr hoch
sein und beträgt im Ausführungsbeispiel etwa 2 kHz. Wegen
der beschriebenen optimalen Wärmeabführung kann die Zustell
frequenz so hoch sein, so daß mit dem beschriebenen Piezo-
Stellantrieb z. B. Laseroptiken mit speziellen Oberflächen
geometrien hochgenau gefertigt werden können.
Der Sollwert des Wärmeableiters 14 ist vorzugsweise frei
einstellbar, so daß die günstigste Temperatur im Hinblick
auf den Bearbeitungsvorgang eingestellt werden kann.
Fig. 4 zeigt einen zweiten Regelkreis, mit dem die Temperatur
differenz zwischen dem Kupferblock 3 und dem Wärmeableiter
14 minimiert werden kann. Der Temperatursensor 27 des Wärme
ableiters 14 ist über einen Verstärker 37, vorzugsweise einem
Meßverstärker, an einen Regler 38 angeschlossen, der vor
zugsweise ein Proportional-Integral-Regler (PI-Regler), ins
besondere ein Proportional-Integral-Regler mit Vorhalt
(PID-Regler) ist. An den Regler 38 ist auch ein Sollwertgeber
39 angeschlossen, mit dem die Temperatur des Kuppferblockes
29 vorgegeben werden kann. Der Regler 38 vergleicht die über
den Temperatursensor 27 festgestellte Ist-Temperatur mit
der Soll-Temperatur des Sollwertgebers 39 und liefert über
einen entsprechenden Verstärker 40, vorzugsweise einen
Leistungsverstärker, ein Regelsignal an das Peltier-Modul
30 des Kupferblockes 29, wenn Differenzen zwischen der
Soll-Temperatur und der Ist-Temperatur auftreten. Auf diese
Weise kann die Temperatur-Differenz zwischen dem Kupfer
block und dem Wärmeableiter 14 in optimaler Weise minimiert
werden, so daß in Verbindung mit dem Regelkreis gemäß Fig.
3 Temperaturgradienten, die sich negativ auf die Fertigung
auswirken könnten, mit Sicherheit vermieden werden.
Der beschriebene Piezo-Stellantrieb stellt eine Kombination
aus einem Festkörper-Kühlsystem mit den Peltier-Modulen 9
bis 12 und einem Flüssigkeits-Kühlsystem mit den Heatpipes
22 bis 25 dar. Mit den Peltier-Modulen 9 bis 12 kann der
Kupferblock 3 und damit das Piezoelement 2 exakt auf die
erforderliche Temperatur gebracht werden. Hierbei ist
nicht nur eine Abkühlung des Piezoelementes 2 möglich,
wenn seine Temperatur die Temperatur des Kupferblockes 3
und damit des Werkzeughalters 4 überschreiten sollte, sondern
auch ein Aufwärmen, wenn die Temperatur des Piezoelementes
niedriger als die des Kupferblockes 3 bzw. des Werkzeug
halters 4 sein sollte. Mit den Peltier-Modulen 9 bis 12
läßt sich das Aufheizen und Abkühlen sehr genau dosieren.
Die Heatpipes 22 bis 25 haben einen niedrigen thermischen
Widerstand und extrem kleine thermische Zeitkonstanten.
Dadurch können Temperaturdifferenzen zwischen ihren beiden
Enden sehr schnell abgebaut werden. Mit der Anordnung gemäß
Fig. 1 ist es möglich, etwa 60 W Verlustwärme aus dem
Werkzeughalter 4 und dem thermisch sensiblen Bereich der
Maschine herauszuziehen, ohne eine thermische Störung
zu verursachen. Der zweite Regelkreis gemäß Fig. 4 ist
vorgesehen, um auch außerhalb des Werkzeughalters 4
thermische Störungen nicht zu verursachen. In vielen
Anwendungen reicht ein Kühlkörper 31 am Ende der Heat
pipes 22 bis 25 aus. Welcher Typ von Kühlkörper 31 am
Ende der Heatpipes 22 bis 25 eingesetzt wird, hängt
von der abzuführenden Wärmemenge ab und ist darum von
Fall zu Fall verschieden.
Der beschriebene Piezo-Stellantrieb kann in sogenannten
Fast-Tool-Servosystemen hervorragend eingesetzt werden, mit
denen Werkzeuge mit hohen Frequenzen zugestellt werden können.
Solche hohen Zustellfrequenzen sind beispielsweise bei der
Fertigung von Laseroptiken mit speziellen Oberflächen-
Geometrien erforderlich. Die bei solchen hohen Zustell
frequenzen im Piezoelement 2 auftretende Verlustwärme, die
mit steigender Frequenz zunimmt, wird beim beschriebenen
Stellantrieb einwandfrei abgeführt, so daß thermisch be
dingte Verformungen im Werkzeughalter 4 und im zu be
arbeitenden Werkstück nicht auftreten. Auch das Piezo
element 2 selbst kann trotz hoher Zustellfrequenzen
nicht überhitzt werden. Das Piezoelement 2 gibt seine
Wärme infolge des innigen Kontaktes sofort an den Kupfer
block 3 ab, der mittels des Regelkreises gemäß Fig. 3
so gekühlt werden kann, daß die Temperatur des Piezo
elementes 2 der Temperatur des Werkzeughalters 4 ent
spricht. Mit dem beschriebenen Stellantrieb können sehr
hohe Zustellfrequenzen ohne Beeinträchtigung der Be
arbeitungsgenauigkeit erzielt werden. So lassen sich
unter Einsatz des Piezo-Stellantriebes formgenaue Metall
optiken mittels Fast-Tool-Servosystemen herstellen.
Claims (17)
1. Piezo-Stellantrieb mit mindestens einem Piezo-Element,
mit dem ein in einem Werkzeughalter
angeordnetes Werkzeug zustellbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß das Piezo-Element
(2) mit einem Wärmeaufnehmer (3) verbunden ist,
der an den Werkzeughalter (4) wärmeleitend angeschlossen
und über wenigstens ein Peltier-Modul
(9 bis 12) mit mindestens einem Wärmeableiter
(14) verbunden ist, und daß die Temperatur
des Piezo-Elementes (2) der Temperatur
des Werkzeughalters (4) nachführbar ist.
2. Piezo-Stellantrieb nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Piezo-Element
(2) in einem Regelkreis liegt.
3. Piezo-Stellantrieb nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaufnehmer
(3) ein Kupferblock ist.
4. Piezo-Stellantrieb nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaufnehmer
(3) Teil des Regelkreises ist.
5. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeableiter
(14) ein Aluminiumblock ist.
6. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche 1
bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeableiter
(14) den Wärmeaufnehmer (3) umgibt.
7. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die kalte Seite (9a
bis 12a) des Peltier-Moduls (9 bis 12) mit dem
Wärmeaufnehmer (3) und die warme Seite (9b bis
12b) des Peltier-Moduls mit dem Wärmeableiter
(14) verbunden ist.
8. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaufnehmer
(3) im Werkzeughalter (4) untergebracht ist.
9. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeaufnehmer
(3) wenigstens einen Temperatursensor (7) aufweist.
10. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeableiter
(14) wenigstens einen Temperatursensor (27) aufweist.
11. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß der Werkzeughalter
(4) wenigstens einen Temperatursensor (28) aufweist.
12. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
9 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß der Temperatursensor
(7) des Wärmeaufnehmers (3) ein Ist-Signal und
der Temperatursensor (28) des Werkzeughalters
(4) ein Soll-Signal einem Regler (34) zuführen,
dessen Regelsignal dem Peltier-Modul (9 bis 12)
zuführbar ist.
13. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche 1
bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeableiter
(14) über wenigstens einen Wärmeübertrager (22
bis 25) mit mindestens einem weiteren Wärmeaufnehmer
(29), vorzugsweise einem Kupferblock, verbunden
ist.
14. Piezo-Stellantrieb nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeübertrager
(22 bis 25) ein Flüssigkeits-Kühlsystem ist.
15. Piezo-Stellantrieb nach Anspruch 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wärmeübertrager
(22 bis 25) durch Heatpipes gebildet ist.
16. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
13 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, daß der weitere Wärmeaufnehmer
(29) über mindestens ein Peltier-Modul
(3) mit wenigstens einem Kühlkörper (31)
verbunden ist.
17. Piezo-Stellantrieb nach einem der Ansprüche
10 bis 16,
dadurch gekennzeichnet, daß der Temperatursensor
(27) des Wärmeableiters (14) ein Ist-Signal und
ein Soll-Wertgeber (39) ein Soll-Signal einem
Regler (38) eines zweiten Regelkreises zuführen,
dessen Regelsignal dem Peltier-Modul (30) des
weiteren Wärmeaufnehmers (29) zuführbar ist.
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Publications (2)
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DE4113667A1 DE4113667A1 (de) | 1992-11-05 |
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DE4113667A Granted DE4113667A1 (de) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | Piezo-stellantrieb |
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WO1990002010A1 (de) * | 1988-08-25 | 1990-03-08 | Mahle Gmbh | Feinbohrmaschine und verfahren zur herstellung von bohrungen mit polar und/oder axial beliebigen mantellinienverlaufen |
-
1991
- 1991-04-26 DE DE4113667A patent/DE4113667A1/de active Granted
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4113667A1 (de) | 1992-11-05 |
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