DE4107580A1 - A seal for sliding, static or rotating components - has high frequency, low amplitude ceramic vibration elements imparting kinetic energy to fluid molecules against flow direction - Google Patents

Abstract

High frequency, low amplitude ceramic vibration elements (5) are used to seal flat or ring clearances (4) in pneumatic or hydraulic machines with sliding, stationary or rotating components (1, 2). The vibrating elements impart kinetic energy to the fluid or gas molecules in a direction opposed to the flow in the clearance. ADVANTAGE - The contact-free seal compensates for greater tolerances between the machine components.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zum Abdichten von Flach- und Ringspalten in der Hy­ draulik, Pneumatik Vakuumtechnik und Hochdruckwasser­ strahltechnik.The invention relates to a method and a Vorrich device for sealing flat and annular gaps in hy draulic, pneumatic vacuum technology and high pressure water blasting technology.

Die Aufgabe einer Dichtung, das Überströmen von einem zu einem benachbarten Raum weitgehend zu verhindern, er­ füllen verschiedene Dichtungsbauformen. Dabei unterschei­ det man ruhende Dichtungen, Berührungsdichtungen bewegter Bauelemente und berührungsfreie Dichtungen. Bei Berüh­ rungsdichtungen bewegter Bauelemente werden unterschied­ lich geformte Weichpackungen, Metallweichpackungen oder Metallringe, Rundringe aus Gummi oder dergleichen als Dichtungen eingesetzt.The task of a seal, the overflow of one to largely prevent an adjacent room, he fill different seal designs. Make a difference one finds stationary seals, touch seals of moving ones Components and non-contact seals. At celebrity Differentiation is made between the seals of moving components Lich shaped soft packs, metal soft packs or Metal rings, round rings made of rubber or the like as Seals used.

Abdichtungen sind sowohl bei ruhenden Bauelementen, bei­ spielsweise schwenkbare Rohre, oder Auslaufrohre an Kalt- und Warmwasserventilen als verschieden gestaltete Gummiabdichtungen bekannt. Diese unterliegen nur gerin­ gen Abnutzungserscheinungen, sind billig und erfüllen somit die an sie gestellten Anforderungen.Seals are used both when components are stationary for example, swiveling pipes or outlet pipes Cold and hot water valves as differently designed Rubber seals known. These are only subject to signs of wear, are cheap and meet thus the requirements placed on them.

Für die gleitende Abdichtung sind Kolbenringe im Einsatz. Bei Reihenanordnung ist damit eine gute Abdichtung zu er­ reichen. Piston rings are used for the sliding seal. In the case of a row arrangement, a good seal is therefore required pass.  

Der Nachteil besteht in der Reibung an der Zylinderwand, der gleitenden und ruhenden Teile sowie in der Abnutzung und der Bruchgefahr der Kolbenringe.The disadvantage is the friction on the cylinder wall, of the sliding and stationary parts as well as in wear and the risk of breakage of the piston rings.

Bei rotierenden Teilen sind einmal die berührungslosen Abdichtungen, wie Labyrinthdichtungen bekannt, die dar­ auf beruhen, die Wirkung des Flachspaltes als Drossel zu erhöhen. Der verlängerte Durchtrittsweg und die Ver­ wirbelung setzen einen hohen Strömungswiderstand entge­ gen. Die Anzahl und Form der Profile bestimmt die Größe der erreichbaren Drosselung der Lekage. Der große Nach­ teil besteht im hohen Fertigungsaufwand, da der Spalt eng gehalten werden muß und eine Berührung eintreten darf. Welle und Bohrung sind also verzahnt.For rotating parts, there are non-contact parts Seals known as labyrinth seals that represent based on the effect of the flat gap as a throttle to increase. The extended passage and the Ver Swirls oppose a high flow resistance The number and shape of the profiles determines the size the achievable throttling of the lekage. The big night part consists in the high manufacturing costs, since the gap must be kept close and a touch will occur may. The shaft and bore are therefore toothed.

Sehr verbreitet sind Wellendichtringe. Diese liegen im Lagergehäuse fest und auf der Welle durch Federdruck und Untermaß leicht an. Der anstehende Mediendruck preßt die Dichtungslippe noch fester gegen die Welle. Diese Dichtungen werden in der Haltbarkeit durch hohe Tempera­ turen, aggressive Mittel und rauhe Oberfläche der Welle stark herabgesetzt.Shaft seals are very common. These are in the Bearing housing fixed and on the shaft by spring pressure and undersize slightly. The upcoming media print presses the sealing lip more firmly against the shaft. These Seals become durable due to high tempera tures, aggressive agents and rough surface of the shaft greatly reduced.

Stopfbuchsendichtungen sind nachstellbar, haben aber den Nachteil des Einschleifens der Welle und können durch die hohe Reibung leicht verkohlen. Hochtemperaturdich­ tungen sind dementsprechend teuer.Gland seals are adjustable, but they have that Disadvantage of grinding the shaft and can by carbonize the high friction easily. High temperature accordingly are expensive.

Zur Abdichtung hoher Drücke ist es auch bekannt, Gegen­ druckkammern zwischen zwei Dichtstellen einzubauen. Bei sehr geringen Spaltdicken kann auch die Zuführung von Drucköl zwischen den Dichtstellen ausreichend sein. Die Mehrfachdichtung erhöht natürlich die Herstellungskosten, und des Dichtmedium muß unter Druck stehen.For sealing high pressures, it is also known to counter install pressure chambers between two sealing points. At Very small gap thicknesses can also be added Pressure oil between the sealing points must be sufficient. The Multiple seals naturally increase manufacturing costs, and the sealant must be under pressure.

Es ist auch bekannt, das Spaltmaß auf das zulassige Mi­ nimum zu reduzieren und die Lekage drucklos abzuführen.It is also known to measure the gap to the permitted Mi to reduce the minimum and drain the leakage without pressure.

In der DD-PS 2 72 901 ist es bekannt, Eisenpulver durch magnetische Einwirkung im Spalt zu halten und da­ mit den Spalt abzudichten. Hierbei ist aber die metalli­ sche Reibung unvermeidbar, und das Eisenpulver unterliegt starker Korrosion.In DD-PS 2 72 901 it is known iron powder  hold in the gap by magnetic influence and there to seal with the gap. But here is the metalli friction is inevitable, and the iron powder is subject to severe corrosion.

Die Erfindung bezweckt eine berührungslose Abdichtung, die an die Fertigung der gleitenden Teile geringere An­ forderungen stellt. Dadurch sollen Fertigungs-, War­ tungs- und Reparaturkosten gesenkt werden.The invention aims at a contactless sealing, the lower to the production of the sliding parts demands. This should manufacturing, war maintenance and repair costs can be reduced.

Die technische Aufgabe besteht darin, zentrisch geführte Maschinenteile, wie Wellen, Kolbenstangenführungen, Ar­ beitskolben, beispielsweise bei Zentrifugal- und Kolben­ pumpen, Gleitflächen von Flachschiebern, berührungslos ohne gegenseitige Verzahnung abzudichten. Auch auf Gegen­ druckkammern soll verzichtet werden.The technical task is centric Machine parts such as shafts, piston rod guides, Ar beitskolben, for example in centrifugal and piston pumping, sliding surfaces of flat slides, non-contact to seal without interlocking. Also on counter pressure chambers should be dispensed with.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß im ruhenden oder bewegten Maschinenteil stabförmige oder ringförmige durch Hochfrequenz erregte Schwingkörper eingelegt sind, die im Schwingungszustand die Spaltbreite überbrücken und den ausströmenden Molekülen einen entge­ gengerichteten Impuls übertragen.According to the invention the object is achieved in that stationary or moving machine part rod-shaped or ring-shaped vibrating bodies excited by high frequency are inserted, the gap width in the vibration state bridge and counteract the outflowing molecules transmitted directional impulse.

Besonders geeignet sind piezoelektrische, magnetostrikti­ ve, also mit Frequenzgeneratoren betriebene Schwingkör­ per, die sowohl im ruhenden als auch im betlegten Teil des gleitenden oder rotierenden Maschinenteile angeordnet sein können. Die Anordnung im ruhenden Teil ist wegen der Energiezufuhr günstiger. Die Dichtelemente lassen ein be­ stimmtes Spiel zwischen dem stehenden und dem bewegten Maschinenteil zu, so daß die schwingenden Maschinenteile, wie Wellen, das Dichtelement nicht mechanisch berühren und daher weder am Maschinenteil noch am Dichtkörper Ver­ schleiß hervorrufen.Piezoelectric, magnetostricti are particularly suitable ve, so vibrating bodies operated with frequency generators per, both in the dormant and in the bedded part of the sliding or rotating machine parts could be. The arrangement in the dormant part is because of the Energy supply cheaper. The sealing elements can be right game between the standing and the moving Machine part so that the vibrating machine parts, like shafts, do not touch the sealing element mechanically and therefore neither on the machine part nor on the sealing body Ver cause wear.

Der Angriffswinkel des Schwingkörpers soll größer als 90° zur Dichtfläche und gegen die Strömungsrichtung gerichtet sein, d. h., die Schwingbewegung soll der Austrittsrich­ tung des Mediums entgegenwirken. Ist der Angriffswinkel rechtwinklig zur Dichtfläche, also radial gerichtet, dann ist die Dichtwirkung geringer. Kann der Dichtspalt beispielsweise bei Wellen mit großem Lagerabstand nicht so eng gehalten werden, wegen der Eigenschwingung der Welle, dann ist es vorteilhaft, den keramischen Schwing­ körper mit einer dünnen, elastischen und verschleißarmen Plasteschicht zu überziehen, die mitschwingt und sich gegebenenfalls entsprechend der Wellenschwingung ab­ schleift, ohne daß es zur verschleißenden Berührung mit dem Schwingkörper kommt.The angle of attack of the vibrating body should be greater than 90 ° directed towards the sealing surface and against the direction of flow  be d. that is, the swinging movement should be the exit direction counteracting the medium. Is the angle of attack perpendicular to the sealing surface, i.e. radially directed, then the sealing effect is less. Can the sealing gap For example, not for shafts with a large bearing distance be kept so tight because of the natural vibration of the Wave, then it is advantageous to the ceramic oscillation body with a thin, elastic and low wear To coat plastic layer that resonates and itself possibly according to the shaft vibration grinds without causing wear and tear the vibrating body comes.

Die für das Verfahren erforderliche Vorrichtung arbeitet folgendermaßen:
Die als Stab-, Flach- oder Ringmaterial ausgebildeten piezokeramischen Körper werden durch den Hochfrequenz­ generator erregt, schwingen mit kleiner Amplitude und hoher Frequenz. Wenn höhere Drücke abzudichten sind, ist es zweckmäßig, mehrere Schwingkörper in Reihe anzuordnen. Die Moleküle (Gas oder Flüssigkeit) versuchen den Spalt zu durchdringen und treffen dabei auf den Schwingkörper, der den Molekülen einen entgegengesetzten Energieimpuls überträgt. Die mit dem Schwingkörper in Berührung kom­ menden, kinetische Energie aufnehmenden Moleküle tref­ fen auf die benachbarten Moleküle und vermindern deren Strömungsenergie, so daß bei diesen im Idealfall ein Stillstand eintritt. Die Moleküle werden vom Schwingkör­ per im molekularbereich je ein Ball zurückgestoßen. Dabei nehmen sie ständig Energie vom Schwingkörper auf und geben diese ständig an die benachbarten Moleküle ab. Da eine radiale Schwingung den Durchtritt nicht voll­ ständig verhindern könnte, muß die Schwingrichtung des Schwingkörpers mit einer Komponente gegen die Strömungs­ richtung gerichtet sein. Bei größeren Spaltdicken und hohen Drücken kann sich die Reihenanordnung dieser Hoch­ frequenzschwinger erforderlich machen.The device required for the method works as follows:
The piezoceramic bodies designed as rod, flat or ring material are excited by the high-frequency generator and vibrate with a small amplitude and high frequency. If higher pressures are to be sealed, it is advisable to arrange several vibrating bodies in series. The molecules (gas or liquid) try to penetrate the gap and hit the vibrating body, which transmits an opposite energy pulse to the molecules. The coming into contact with the vibrating body, kinetic energy-absorbing molecules hit the neighboring molecules and reduce their flow energy, so that this ideally comes to a standstill. The molecules are pushed back one ball each by the vibrating body in the molecular range. They continuously absorb energy from the vibrating body and continuously release it to the neighboring molecules. Since a radial vibration could not completely prevent the passage, the direction of vibration of the vibrating body must be directed with a component against the flow direction. With larger gap thicknesses and high pressures, the series arrangement of these high frequency oscillators may be necessary.

Der auf den Spalt wirkende statische Druck wird durch die Reihenschaltung etappenweise abgebaut, da jeder Schwingkörper dem leckenden Medium eine Teilmenge über­ trägt, die insgesamt der entgegengesetzt wirkenden Strömungsenergie entspricht. Es kommt nicht zur Strö­ mungsumkehr, sondern nur zum Stillstand, weil die Ampli­ tude sehr klein ist und keine Pumpbewegung entsteht.The static pressure acting on the gap is determined by the series connection dismantled in stages, as everyone Vibrating body over the leaking medium a subset bears, the total of the opposite Flow energy corresponds. There is no flow reversal, but only to a standstill because the ampli tude is very small and there is no pumping movement.

Diese Abdichtung hat den Vorteil, daß keine schleifende Berührung an der Dichtstelle eintritt, keine Reibungswär­ me entsteht, der Spalt berührungslos dichtet und die Mög­ lichkeit besteht, die Schlingungsenergie soweit zu redu­ zieren, daß bei hydraulischen Medien geringste Mengen durch die Lagerstelle hindurchtreten können, um diese zu schmieren.This seal has the advantage that there is no grinding Contact occurs at the sealing point, no friction heat me, the gap seals without contact and the poss There is a possibility to reduce the loop energy as far as possible adorn that the smallest quantities in hydraulic media can pass through the bearing to to this lubricate.

Betrachtet man die Vorteile, die eine solche Abdichtung aufweist, dann steht der Energieaufwand in keinem Verhält­ nis zu den eingesparten Kosten. Die bei heißen Medien auf­ tretenden Probleme hinsichtlich Wärmedehnung, Materialbe­ anspruchung sind hier weitestgehend beseitigt.Considering the benefits of such a seal then the energy consumption is out of proportion to the saved costs. The hot media problems with thermal expansion, material problems stresses are largely eliminated here.

AusführungsbeispielEmbodiment

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbei­ spiel näher erläutert werden.The invention is illustrated below in one embodiment game are explained in more detail.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 das Prinzip eines im Zylinder geführten Pumpen­ kolben mit im Kolben eingesetzten piezokera­ mischen Schwingkörper mit schräg wirkender Amplitude, Fig. 1 shows the principle of a pump piston guided in the cylinder with the piston inserted piezokera mix vibrating body with semi-transverse amplitude,

Fig. 2 den gleichen Zylinder mit im Zylinder einge­ setzten piezokeramischen Schwingkörper, Fig. 2 shows the same cylinder in the cylinder is translated piezoceramic vibrating body,

Fig. 3 die Kombination der Anordnung nach Fig. 1 und Fig. 2, jedoch mit senkrechter Kraft­ richtung, Fig. 3, the combination of the arrangement of FIG. 1 and FIG. 2, but with the direction of normal force,

Fig. 4 einen Zylinder und einen Kolben mit zwei hin­ tereinander liegenden, gegenläufig erregten Schwingkörpern mit radialer Dichtwirkung, Fig. 4 a cylinder and a piston with two back behind the other lying opposite excited oscillating bodies having a radial sealing action,

Fig. 5 eine piezokeramische Wellenabdichtung rotie­ render Teile und Fig. 5 is a piezoceramic shaft seal rotie render parts and

Fig. 6 verschiedenartig ausgebildete Wirkflächen des Schwingkörpers. Fig. 6 differently designed active surfaces of the vibrating body.

Wie in Fig. 1 und 2 ersichtlich, kann die Erfindung so­ wohl bei hydraulischen als auch pneumatischen Maschinen und Saugruppen angewendet werden. Im Zylinder 1 ist der Kolben 2 geführt. Das im Druckraum 3 anstehende Medium versucht durch den Ringspalt 4 nach außen zu dringen. Der im Kolben 2 oder im Zylinder 2 eingelagerte piezo­ keramische Schwingkörper 5 besitzt einen Durchmesser, der zwischen dem des Zylinders 1 und des Kolbens 2 liegt. Er läuft also berührungslos. Die Energie wird dem piezokeramischen Schwingkörper 5 über die Zuleitung 6 zugeführt. Die Ausbildung des Schwingkörpers 5 ist so gestaltet, daß seine Wirkfläche zur Dichtfläche vorteil­ haft unter einen Winkel < 90° - vorzugsweise 45° steht. Die Vibration wirkt in diesem Falle beiderseitig, also auch gegen die Strömungsrichtung. Die sich dem Schwingkörper 5 nähernden gasförmigen oder flüssigen Mo­ leküle kommen mit dem Schwingkörper 5 in Berührung und werden von diesem wie ein Ball zurückgestoßen, d. h., der Schwingkörper 5 dichtet im Druckhub die Flüssigkeit und bei Doppelausführung im Saughub den Luftzutritt ab. Je höher der Druck und je größer der Spalt ist, desto grö­ ßer muß die Amplitude des Schwingkörpers 5 sein.As can be seen in FIGS. 1 and 2, the invention can be applied to hydraulic as well as pneumatic machines and suction units. The piston 2 is guided in the cylinder 1 . The medium in the pressure chamber 3 tries to penetrate through the annular gap 4 to the outside. The piezo-ceramic oscillating body 5 embedded in the piston 2 or in the cylinder 2 has a diameter which lies between that of the cylinder 1 and the piston 2 . So it runs without contact. The energy is supplied to the piezoceramic vibrating body 5 via the feed line 6 . The design of the vibrating body 5 is designed so that its effective surface to the sealing surface is advantageously at an angle <90 ° - preferably 45 °. In this case, the vibration acts on both sides, i.e. also against the direction of flow. The approaching the vibrating body 5 gaseous or liquid Mo leküle come into contact with the vibrating body 5 and are pushed back by this like a ball, ie, the vibrating body 5 seals the liquid in the pressure stroke and the double entry in the suction stroke from the air access. The higher the pressure and the larger the gap, the greater the amplitude of the vibrating body 5 must be.

Fig. 3 zeigt eine Kombination der Anordnung des Schwing­ körpers 5 entsprechend der Fig. 1 und 2. Diese Anord­ nung hat die Wirkung einer Reihenschaltung zweier Schwing­ körper 5. Fig. 3 shows a combination of the arrangement of the vibrating body 5 corresponding to FIGS . 1 and 2. This arrangement has the effect of a series connection of two vibrating bodies 5th

In Fig. 4 ist eine Reihenschaltung von zwei Schwingkör­ pern 5; 5a dargestellt. Der Durchfluß des Mediums durch den Spalt 4 wird also an zwei Stellen gedrosselt. Vor­ teilhaft ist eine um 180° versetzte Amplitude bei dem anderen Schwinger.In Fig. 4 is a series connection of two Schwingkör cores 5 ; 5 a shown. The flow of the medium through the gap 4 is thus throttled at two points. Before is geous an offset by 180 ° amplitude in the other transducer.

Die Schwingungen benachbarter Schwingkörper sind zeitver­ setzt, um ein wechselndes Schließen des Dichtspaltes zu erzielen. Damit liegt eine scheinbar ständig anliegende Dichtung vor, die jedoch kein Gleiten beinhaltet. Bei Drei- und Mehrfachdichtungspackungen kann eine wellenar­ tige Schwingfolge der Dichtungen zur Erfüllung hoher Dich­ tungsansprüche eingesetzt werden.The vibrations of neighboring vibrating bodies are time-delayed sets to an alternating closing of the sealing gap achieve. This is an apparently constant concern Seal, which does not involve sliding. At Triple and multiple seal packs can be a wave vibration sequence of the seals to meet high claims are used.

In Fig. 5 ist die Anwendung bei Wellen dargestellt. Die Abdichtung kann bei Gleitlagern 7 im Bereich der Laufflä­ che erfolgen. Ist das abzudichtende Medium ein Stoff mit Schmiereigenschaften, kann die Abdichtung, am Lagerende vor­ genommen werden, da dann die Lagerstelle Schmiermittel er­ hält.In Fig. 5 the application to waves is shown. The sealing can be done with plain bearings 7 in the area of the running surface. If the medium to be sealed is a substance with lubricating properties, the seal can be made at the end of the bearing, since the bearing will then hold lubricant.

Ebenso läßt sich im Gehäuse von Rollen- und Kugellagern 7 die beschriebene Abdichtung unterbringen. Wird durch elektronische Steuerung der Wirkungsgrad des Schwingkör­ pers 5 verringert, kann zwecks Schmierung der Lager etwas Flüssigkeit hindurchtreten.The seal described can also be accommodated in the housing of roller and ball bearings 7 . If the efficiency of the Schwingkör pers 5 is reduced by electronic control, some liquid can pass through for lubrication of the bearings.

Der Schwingkörper 5 kann verschiedene Formen der Wirkflä­ che aufweisen. In Fig. 5 ist dargestellt, daß die Wirk­ fläche sowohl sägezahnförmig als auch wellig ausgebildet sein kann.The vibrating body 5 can have various forms of the active surface. In Fig. 5 it is shown that the active surface can be both sawtooth-shaped and wavy.

Der Vorteil dieser berührungslosen Abdichtung besteht dar­ in, daß weder das Dichtelement (Dichtringe, Stopfbuchsen, Kolbenringe) noch die Gleitfläche (Zylinderwand, Kol­ ben, Welle) verschleißen.The advantage of this non-contact seal is in that neither the sealing element (sealing rings, stuffing boxes, Piston rings) still the sliding surface (cylinder wall, col  ben, shaft) wear.

Für Maschinen, deren Reparatur zu hohem Produktionsaus­ fall führt, bringt diese verschleißarme Abdichtung be­ sondere Vorteile.For machines whose repairs are too expensive leads to this low-wear seal special advantages.

Claims (8)

1. Verfahren zum Abdichten von Flach- oder Ringspalten bei pneumatischen oder hydraulischen Maschinen mit gleitenden, ruhenden oder rotierenden Maschinenele­ menten, gekennzeichnet dadurch, daß hochfrequente keramische Schwingkörper (5) mit kleiner Amplitude eine der Strömungsrichtung im Spalt entgegenwirken­ de kinetische Energie auf die Gas- oder Flüssigkeits­ moleküle übertragen.1. A method for sealing flat or annular gaps in pneumatic or hydraulic machines with sliding, stationary or rotating Maschinenele elements, characterized in that high-frequency ceramic vibrating body ( 5 ) with a small amplitude counteract the flow direction in the gap de kinetic energy on the gas or transfer liquid molecules. 2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die hochfrequenten Schwingkörper (5) radial auf die Gleitfläche, vorzugsweise aber schräg gegen die Strömungsrichtung wirken.2. The method according to claim 1, characterized in that the high-frequency vibrating body ( 5 ) act radially on the sliding surface, but preferably obliquely against the direction of flow. 3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, gekenn­ zeichnet dadurch, daß die keramischen Schwingkör­ per (5) als Ring- oder Stabelement ausgebildet und im Dichtungsbereich (4) stationär oder bewegbar an­ geordnet sind.3. Device for performing the method, characterized in that the ceramic Schwingkör by ( 5 ) formed as a ring or rod element and are arranged in the sealing area ( 4 ) stationary or movable. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet dadurch, daß die keramischen Schwingkörper (5) im ruhenden und/oder gleitenden oder rotierenden Maschinenele­ ment angeordnet sind.4. The device according to claim 3, characterized in that the ceramic vibrating body ( 5 ) are arranged in the stationary and / or sliding or rotating machine element. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3 und 4, gekennzeichnet da­ durch, daß der keramische Schwingkörper (5) stirn­ seitig auf der Druckseite und/oder Saugseite eine schräge Wirkfläche aufweist.5. Apparatus according to claim 3 and 4, characterized in that the ceramic oscillating body ( 5 ) has an oblique active surface on the end face on the pressure side and / or suction side. 6. Vorrichtung nach Anspruch 3 und 4 gekennzeichnet da­ durch, daß der Schwingkörper (5) eine gewölbte Wirk­ fläche aufweist.6. Apparatus according to claim 3 and 4 characterized by that the vibrating body ( 5 ) has a curved active surface. 7. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 6, gekennzeichnet da­ durch, daß die wirksame Fläche sägezahnförmig oder wellig ausgebildet ist.7. The device according to claim 3 to 6, characterized there through that the effective area is sawtooth-shaped or  is wavy. 8. Vorrichtung nach Anspruch 3 bis 6 gekennzeichnet da­ durch, daß mehrere Schwingkörper (5) in Reihe im ruhenden und/oder bewegten Maschinenteil (2; 2) an­ geordnet und die Schwingungsphasen benachbarter Schwingkörper (5) gegeneinander versetzt sind.8. Apparatus according to claim 3 to 6 characterized in that a plurality of vibrating bodies ( 5 ) arranged in series in the stationary and / or moving machine part ( 2 ; 2 ) and the vibration phases of adjacent vibrating bodies ( 5 ) are offset from one another.