DE4105647A1 - Verfahren und vorrichtung zum optischen ueberwachen der laserbearbeitung von materialien - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum optischen ueberwachen der laserbearbeitung von materialienInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf die Laserbearbeitung von
Materialien und mehr im besonderen auf Verfahren und
Vorrichtung, die optische Sensoren benutzen, um die
Operationen der Laserbearbeitung von Materialien im
wesentlichen in Jetztzeit nachzuweisen, zu überwachen und
zu regeln.
Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die folgenden
Patentanmeldungen bzw. Patente:
US-Patentanmeldung Serial-Nr. 0 74 87 092 vom 2. März 1990 sowie US-PS 49 60 970.
US-Patentanmeldung Serial-Nr. 0 74 87 092 vom 2. März 1990 sowie US-PS 49 60 970.
Die Laserverarbeitung von Materialien, wie sie bekannt ist
und in der vorliegenden Anmeldung benutzt wird, bezieht
sich auf die Leistungsfähigkeit von Verfahren, wie
Schneiden, Schweißen, Bohren und Löten, unter Anwendung
eines kontinuierlichen oder gepulsten Laserstrahles. Die
mittlere Leistung eines solchen Laserstrahles kann im
Bereich von etwa einem Watt bis zu hunderten von Watt
liegen, wobei die jeweilige Leistung ausgewählt wird auf
der Grundlage des jeweils ausgeführten Verfahrens. Die
Laserstrahlleistung, die für die Bearbeitung von
Materialien benötigt wird, ist im allgemeinen sehr viel
größer als die Laserstrahlleistung, die für andere Systeme
auf Lasergrundlage benötigt wird, wie
Kommunikationssysteme. In einem frühen Stadium der
Lasertechnologie wurde ein Laserstrahl, der direkt von
einer Laserquelle emittiert wurde, zur Laserbearbeitung von
Materialien benutzt. Die Mobilität solcher Lasersysteme war
begrenzt, und es war schwierig, solche Systeme in eine
Herstellungsumgebung wirksam einzufügen. Laserquelle und
optische Komponenten mußten nahe bei Bearbeitungspunkten
auf einem Werkstück angeordnet werden.
Die Übertragung von Laserstrahlen durch Lichtleitfasern mit
Leistungen, die für die Bearbeitung von Materialien
geeignet sind, förderte die Flexibilität der
Bearbeitungssysteme auf Laserbasis stark. Die Übertragung
von Strahlen hoher Leistung durch eine Lichtleitfaser ergab
jedoch Schwierigkeiten, die bei der Übertragung von
Strahlen geringer Energie durch optische Fasern nicht
auftraten. So waren z. B. Techniken zum Injizieren von
Strahlen geringer Leistung, wie sie in
Kommunikationssystemen benutzt werden, in eine
Lichtleitfaser im allgemeinen für die Injektion von
Strahlen hoher Leistung nicht geeignet. Tatsächlich kann
die Anwendung einer Technik zum Injizieren eines Strahles
geringer Leistung für die Injektion eines Strahles hoher
Leistung zur Beschädigung der Lichtleitfaser führen. Es
sind verschiedene Techniken für die wirksame Injektion von
Laserstrahlen hoher Leistung in eine Lichtleitfaser zur
Übertragung z. B. in den US-Psen 45 64 736: 46 76 586 und
46 81 396 offenbart.
Die Übertragung von Strahlen hoher Leistung durch
Lichtleitfasern machte es unnötig, eine Laserquelle und
optische Komponenten nahe einem Werkstück anzuordnen, was
ohne den Einsatz einer Lichtleitfaser erforderlich wäre, um
einen von einer Quelle emittierten Laserstrahl zur
Bearbeitungspunkten auf einem Werkstück zu dirigieren. Mit
der Übertragung von Laserstrahlen hoher Leistung durch
Lichtleitfasern wird ein Ausgangsende jeder Lichtleitfaser
in einem Ausgangs-Kopplungsgerät angeordnet, das
Einrichtungen zum Kollimieren und Fokussieren des aus dem
Ausgangsende der Faser austretenden Strahles einschließt.
Das Ausgangs-Kopplungsgerät wird leicht relativ zu einem
Werkstück bewegt, z. B. durch einen von einem Computer
kontrollierten Roboterarm. Die Anzahl der Fasern und ihrer
jeweiligen Austrittsenden nahe Bearbeitungspunkten auf
einem Werkstück kann variieren.
Die Überwachung der Bearbeitung von Materialien bei Einsatz
von Systemen auf der Grundlage von Lichtleitfasern ist sehr
viel schwieriger als das Überwachen des Bearbeitens, wenn
direkt ein von der Laserquelle emittierter Strahl zum
Bearbeiten benutzt wird. Im einzelnen muß bei der
Übertragung mittels Lichtleitfasern ein Benutzer des
Systems während der Bearbeitung und zusätzlich zur
Laserquelle ein Strahleninjektionssystem, einen
Ausgangskoppler und eine Lichtleitfaser überwachen. Ein
Versagen irgendeiner dieser Komponenten kann zu einem
Versagen des gesamten Systems führen.
Es gibt auch Systeme, die das Laserbearbeiten von
Materialien durch Timesharing verbessern, bei dem einem
Laserstrahl mehrere optische Fasern zur Verfügung stehen.
Solche Systeme sind in den US-Psen 47 39 162 und 48 38 631
beschrieben. Hersteller von Timesharing-Systemen schließen
die Robolase Systems, Inc. von Costa Mesa, Kalifornien und
Lumonics Corp. von Livonia, Mich. ein. Durch Anwendung
solcher Timesharing-Systeme kann ein Strahl, der von einer
Laserquelle erzeugt wurde, zeitlich geschachtelt über
mehrere Lichtleitfasern übertragen werden. Die jeweiligen
Austrittsenden der Lichtleitfasern können nahe
Bearbeitungspunkten auf einem oder mehreren Werkstücken
angeordnet werden.
Laserstrahl-Timesharing-Systeme, die manchmal als
Multiplexer bzw. Mehrfachkoppler bezeichnet werden, haben
die Flexibilität und Effizienz der Laserbearbeitung von
Materialien weiter erhöht. Die Regelung und Überwachung
solcher Mehrfachkoppler-Systeme ist nicht nur wichtiger,
sondern auch schwieriger. Der Systembenutzer muß eine
Laserquelle, einen Mehrfachkoppler, mehrere
Strahlinjektionssysteme, mehrere Koppler und mehrere
Lichtleitfasern überwachen.
Mit dem Fortschreiten der Laserbearbeitung von Materialien
von der direkten Verwendung eines von einer Quelle
emittierten Laserstrahles zur Benutzung mehrerer Strahlen,
die von mehreren Fasern emittiert werden, wurde eine
kompliziertere Regelung und Überwachung der Verfahren
erforderlich. Die Regelungs- und Überwachungssysteme
erleichtern vorzugsweise das Erzielen erwünschter
Bearbeitungsergebnisse und unterstützen die Verhinderung
von Beschädigungen der Bearbeitungsausrüstung. Die
Regelungs- und Überwachungssysteme sollten jedoch nicht die
Operationen bei der Laserbearbeitung der Materialien
verlangsamen, um zu vermeiden, daß Vorteile der Nutzung der
Lichtleitfaser/Laser-Technologie, wie eine Verminderung der
Verarbeitungszeit, verlorengehen.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, daß die Regelungs- und
Überwachungssysteme im wesentlichen in Jetztzeit arbeiten.
Der Begriff "Jetztzeit", wie er in der vorliegenden
Anmeldung benutzt wird, bedeutet die tatsächliche Zeit, in
der jede diskrete Verfahrensoperation ausgeführt wird. So
kann z. B. eine diskrete Verfahrensoperation das Bohren
eines Loches sein. Es ist im höchsten Grade erwünscht, daß
ein Regelungs- und Überwachungssystem in der Lage ist,
gleichzeitig mit und während jeder diskreten Operation,
Daten zu empfangen, so daß für den Fall erforderlicher
Einstellungen an der Bearbeitungsausrüstung solche
Einstellungen vorgenommen werden können, bevor ein nächstes
Loch gebohrt wird, d. h. vor einer nächsten
Verfahrensoperation. Es sollte klar sein, daß die Zeit, die
für die Ausführung einer diskreten Verfahrensoperation
erforderlich ist, kurz sein mag, wie wenige Mikrosekunden.
Das Regelungs- und Überwachungssystem muß daher seine
Funktionen sehr rasch ausführen.
Eine gesamte Verfahrensoperation schließt natürlich im
allgemeinen viele diskrete Verfahrensoperationen ein. Man
betrachte z. B. das Laserbohren von Teilen eines Brenners
und Nachbrenners eines Flugzeugtriebwerkes. Diese Teile
bestehen aus hochtemperaturbeständigen Stahllegierungen und
erfordern das Bohren von zehntausenden von Löchern mit
Durchmessern von etwa 0,05 cm (entsprechend 0,02 Zoll), die
in einem Winkel von 20° zur Oberfläche gebohrt werden,
wobei die Wandstärken im Bereich von etwa 0,05 cm bis etwa
0,20 cm (entsprechend 0,02 bis 0,08 Zoll) variieren können.
Um die gesamte Verfahrensoperation rechtzeitig
abzuschließen, sollte das Überwachen und Regeln der Bildung
eines jeden Loches rasch ausgeführt werden.
Ein bekanntes Verfahren zum Überwachen der Laserbohr-
Operationen wird als Luftströmungs-Testen bezeichnet. Für
ein Luftströmungs-Testen wird ein Werkstück, wie ein
Brennerteil eines Flugzeugtriebwerkes, aus der
Bohrvorrichtung herausgenommen, und es wird ein bekannter
Druckunterschied über das Werkstück angelegt. Die sich
ergebende Luftströmung wird gemessen, um ein Maß für den
Strömungswiderstand zu erhalten. Der Strömungswiderstand
steht in Beziehung zur gebohrten Fläche, d. h. dem
Durchmesser und der Gestalt der gebohrten Löcher. Das
Luftströmungs-Testen findet jedoch nicht in Jetztzeit
statt, da das Laserbearbeiten eines Werkstückes während
eines Luftströmungs-Testes nicht stattfinden kann. Eine
Beschränkung eines Luftströmungs-Testes ist es auch, daß es
kein Indikator für andere geometrische Eigenschaften der
Löcher ist, z. B. die umgegossene Schichtdicke, die
Lochverjüngung bzw. Erweiterung usw.
Ein anderes bekanntes Verfahren zum Überprüfen der
Ergebnisse eines Laserbohrens ist das sogenannte "Stift-
Überprüfen". Bei einem Stift-Überprüfen wird das Bohren
beendet, und dann führt man Stifte aufeinanderfolgend
zunehmenden Durchmessers nacheinander in ausgewählte Löcher
ein. Das Stift-Überprüfen ergibt eine etwaige Anzeige des
Lochdurchmessers, da lasergebohrte Löcher selten genau
gerade verlaufen und so die Einführung der Stifte
blockieren. Das Stift-Überprüfen ist auch weder ein
zuverlässiger Indikator anderer geometrischer Eigenschaften
der Löcher, noch findet es in Jetztzeit statt. Darüber
hinaus werden beim Stift-Überprüfen nur ausgewählte Löcher
untersucht, und es mag sein, daß man Unterschiede zwischen
den Löchern nicht feststellt.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
Verfahren und System zum Nachweisen und Überwachen der
Laserbearbeitung von Materialien im wesentlichen in
Jetztzeit zu schaffen. Eine weitere Aufgabe ist die
Schaffung von Verfahren und System zum Nachweisen und
Überwachen der Laserbearbeitung von Materialien, die die
Bearbeitungsoperationen nicht verlangsamen. Weiter soll
Verfahren und System zum Nachweisen und Überwachen des
Laserbearbeitens von Materialien geschaffen werden, die ein
kontinuierliches Überwachen der Bearbeitungsoperationen
gestatten und ein Anzeichen der geometrischen Eigenschaften
geben, einschließlich der um gegossenen Schichtdicke und
der Lochverjüngung bzw. Locherweiterung. Eine weitere
Aufgabe ist die Schaffung von Verfahren und System zum
Nachweisen und Überwachen des Laserbearbeitens von
Materialien, die gleichzeitig mit den
Bearbeitungsoperationen stattfinden. Weiter sollen
Verfahren und System geschaffen werden, die optische
Sensoren benutzen, um das während einer Laserbearbeitung
von Materialien erzeugte Plasma zu überwachen und über
Daten, die durch die Sensoren geliefert werden, die
Regelung der Bearbeitungsoperationen zu gestatten.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die
Schaffung eines Regelungssystems, das die Beibehaltung der
Leistungsfähigkeit bei der Laserbearbeitung von Materialien
erleichtert. Weiter sollen Verfahren und System zum
Überwachen und Regeln der Leistungsfähigkeit von
Komponenten zum Laserbearbeiten von Materialien geschaffen
werden.
Das erfindungsgemäße System zum Überwachen und Regeln der
Laserbearbeitung von Materialien schließt eine Einrichtung
zum Nachweisen optischer Signale während der
Bearbeitungsoperationen und eine Einrichtung zum Bestimmen
der Durchbruchszeit des Laserstrahles ein. Ein Verfahren
gemäß der Erfindung zum Laserbearbeiten eines Werkstückes
schließt die Stufen des optischen Überwachens des
Werkstückes und der Bestimmung der Durchbruchszeit des
Laserstrahles ein. Durch Bestimmen der Durchbruchszeit im
wesentlichen in Jetztzeit liefert die vorliegende Erfindung
rechtzeitige Information zum Regeln der
Bearbeitungsoperationen.
Die Durchbruchszeit des Laserstrahles, wie sie in der
vorliegenden Anmeldung benutzt wird, bezieht sich auf den
Zeitbruchteil, zu dem der Durchbruch festgestellt wird,
verglichen mit der gesamten Laserimpuls-Dauer. Es ist
bekannt, daß die Laserimpuls-Länge statt der Laserimpuls-
Dauer dazu benutzt werden könnte, die Durchbruchszeit zu
errechnen. Die Laserimpuls-Dauer ist gleich der Gesamtzeit,
während der ein Laserimpuls auf ein Werkstück angewandt
wird, während die Laserimpuls-Länge, wie sie im Stand der
Technik und in der vorliegenden Anmeldung benutzt wird, die
Zeitdauer zwischen Werten der Hälfte der maximalen
Intensität des Strahlenimpulses bedeutet. Es kann entweder
die Impulsdauer oder die Impulslänge benutzt werden, so
lange eine Benutzung konsequent bzw. konsistent ist.
Durch kontinuierliches optisches Überwachen einer
Materialbearbeitung durch Laserstrahlen mittels optischer
Signale kann die genaue Zeit, zu der ein Strahl durch das
Material hindurchbricht, bestimmt werden. Durch Vergleichen
der Zeit, die für den Durchbruch durch das Material
erforderlich ist, mit der Laserimpuls-Dauer erhält man
Information hinsichtlich des gebohrten Loches.
Wird z. B. der Durchbruch gerade am Ende der Laserimpuls-
Dauer nachgewiesen, dann kann die Durchbruchszeit im
wesentlichen gleich 1 sein. Dies bedeutet, daß der
Laserstrahl nicht mehr lange nach dem Durchbrechen durch
das Werkstück angewandt worden ist. Dies wiederum bedeutet,
daß ein Loch kleineren Durchmessers gebildet wurde. Wird
dagegen ein Durchbruch am Beginn der Laserimpuls-Dauer
festgestellt, dann kann die Durchbruchszeit z. B. gleich
0,2 sein, d. h. kleiner, als wenn der Durchbruch am Ende
der Impulsdauer festgestellt wird. Dies bedeutet, daß der
Laserstrahl für eine relativ lange Zeit angewandt wurde,
z. B. 0,8 nach dem Durchbruch. Dies bedeutet andererseits
daß ein Loch größeren Durchmessers gebildet wurde. Es
sollte jedoch verstanden werden, daß die vorstehenden
Beispiele nur der Veranschaulichung dienen.
Die vorliegende Erfindung sorgt für ein kontinuierliches
Überwachen und Regeln der Laserbearbeitung von Materialien,
und sie arbeitet im wesentlichen in Jetztzeit. Es ist
wichtig, daß die vorliegende Erfindung die Geschwindigkeit
der Laserbearbeitung von Materialien nicht beeinflußt, und
daß sie gleichzeitig mit den Bearbeitungsoperationen
ausgeführt wird. Die vorliegende Erfindung kann dazu
benutzt werden, eine Anzeige anderer geometrischer
Eigenschaften eines Loches zu liefern, einschließlich der
neugegossenen Schichtdicke und der Lochverjüngung bzw.
Locherweiterung. Darüber hinaus erleichtert die vorliegende
Erfindung das Erhalten gleichbleibender Ergebnisse hoher
Qualität bei der Laserbearbeitung von Materialien.
Im folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung näher erläutert. im einzelnen zeigen:
Fig. 1 eine teilweise isometrische und teilweise
blockdiagrammartige Darstellung einer ersten
Ausführungsform einer optischen Überwachungsvorrichtung;
Fig. 2 Signale, die während des Bohrens und beim
Durchbruch durch die Vorrichtung der Fig. 1 erzeugt
werden;
Fig. 3A und 3B Signale, die während des Bohrens und beim
Durchbruch für verschiedene Materialdicken erzeugt werden;
Fig. 4 eine teilweise isometrische und teilweise
blockdiagrammartige Darstellung einer zweiten
Ausführungsform einer optischen Überwachungsvorrichtung;
Fig. 5 eine detailliertere Ansicht des in Fig. 4
dargestellten Ausgangskopplers;
Fig. 6 eine detailliertere Darstellung des in Fig. 4
dargestellten Filters;
Fig. 7 eine dritte Ausführungsform einer optischen
Überwachungsvorrichtung und
Fig. 8 eine detailliertere Darstellung eines in Fig. 7
gezeigten Ausgangskopplers.
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform einer optischen
Überwachungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Im einzelnen schließt das dargestellte optische
Überwachungssystem eine Laserquelle 100 mit einem Koppler
102 zur Injektion in eine Lichtleitfaser und einen
Hohlraummonitor 104, wie eine Fotodiode, ein. Eine
Laserleistungs-Zuführung 106 ist mit dem Laser gekoppelt
und liefert Leistung für nicht dargestellte Blitzlampen.
Fig. 1 zeigt einen Laser 100, wie einen flächengepumpten
Laser des Nd:YAG-Typs. Während andere Typen von Lasern
benutzt werden können, sind flächengepumpte Laser
bevorzugt, da sie eine hohe Energiedichte, eine große
Tiefenschärfe haben, die ein Refokussieren zwischen
Impulsen nicht erfordert sowie eine hohe Strahlqualität.
Darüber hinaus gibt der Nd:YAG-Laser einen Strahl von
1,06 µm ab, was eine gute Wellenlänge für die Bearbeitung
einer großen Anzahl von Materialien ist.
Die Vorrichtung schließt weiter eine Lichtleitfaser 108 ein,
die zwischen der Laserquelle 100 und einem Ausgangskoppler
110 gekoppelt ist, der ein Koppler sein kann, wie er in der
US-PS 47 99 755 dargestellt ist. Vorzugsweise sind beide
Enden der Faser 108 zubereitet, wie in den US-PSen
46 76 586 und 46 81 396 gezeigt, so daß die Faser durch die
Injektion von Laserlicht oder emittiertes Laserlicht nicht
beschädigt wird. Wenn erwünscht, kann ein Licht-
Multiplexer, wie er in der US-PS 47 39 162 gezeigt ist,
benutzt werden, um das gleichzeitige Bearbeiten an mehreren
Werkstückstellen zu gestatten. Der Koppler 110 ist von
einem Manipulierungssystem gehalten, wie dem
Maschinenwerkzeug des Modells HP-105 der S. E. Huffmann
Corp., Clover, S. C. Ein oberer optischer Sensor 112 und ein
unterer optischer Sensor 114, wie Fotodioden, können an
einem nicht gezeigten Rahmen montiert und nahe einem
Werkstück 116 angeordnet werden. Zum optischen Nachweisen
können Fotodioden, Fototransistoren, Fotovervielfacher oder
irgendwelche Einrichtungen, die geeignet sind, ein Signal
zu erzeugen, das optische Charakteristika repräsentiert,
benutzt werden. Eine Einheit 118 zur Datensammlung empfängt
die Signale von den Fotodetektoren. Die Einheit 118 ist mit
einem Regelcomputer 120 gekoppelt.
Der Computer 120 umfaßt einen Analog/Digital-Wandler, der
bei einer Frequenz von 111 kHz arbeitet, um das Signal des
optischen Sensors 104 umzuwandeln. Es können auch andere
Frequenzen benutzt werden. Das umgewandelte Signal wird
dann auf einen Entscheidungs-Algorithmus angewandt, wie
einen Schwellenbetrieb, der den Nachweis oder die
Bestimmung des Beginns und des Endes des Laserimpulses
gestattet. Die sich von diesem Algorithmus ergebenden Daten
repräsentieren die optische Impulsdauer. Innerhalb des
Computers 120 werden die Daten der optischen Sensoren
digitalisiert und dann mittels eines Digital-Algorithmus
verarbeitet, der in einer speziellen Ausführungsform die
Signal-Impulslänge bestimmt. Im allgemeinen wird der Inhalt
des optischen Signals eine Funktion des Werkstückmaterials
und der Werkstückdicke, der Wellenlänge des Laserlichtes,
der Lochgeometrie sowie der Laser-Impulsenergie und -dauer
sein.
Das optische Signal wird mittels eines Algorithmus zur
Bestimmung der Impulslänge verarbeitet. Ein Schwellen-
Entscheidungsalgorithmus wird auf die Daten des optischen
Signals angewandt, die sich von dem Algorithmus zur
Bestimmung der Impulslänge ergeben, um den Durchbruch zu
bestimmen. Obwohl die vorstehende Beschreibung auf das
Bohren gerichtet ist, kann die Erfindung auch für andere
Prozesse der Laserbearbeitung von Materialien benutzt
werden, z. B. das Kaschieren, Wärmebehandeln, Schneiden
usw.
Die optischen Sensoren 112 und 114 könnten z. B. optische
Sensoren sein, die im Handel erhältlich sind, wie das
Modell YAG-100A, das von der EG & G, Salem, MA hergestellt
wird oder ein Series AFM Fiberoptic Monitor der Antel
Optronics Inc., Burlington Ontario, Kanada. Die Einheit 118
zur Datensammlung ist vorzugsweise ein
Hochgeschwindigkeits-Datensammlungssystem, das Daten mit
einer Rate von drei Mikrosekunden pro Probe aufnehmen kann.
Das Datensammlungssystem kann z. B. ein im Handel
erhältliches System sein, wie ein Burr Brown Model MPV90
A/D-Wandler, der in einem Computer der Motorola- Reihe
68020 gekoppelt ist.
Beim Betrieb wird der obere optische Sensor 112 dazu
benutzt, optisch einen Laser-Wechselwirkungs-Plasma-Bereich
nachzuweisen, und der untere optische Sensor wird benutzt,
das Material-Durchbruchsplasma nachzuweisen. Mehr im
besonderen wird der optische Sensor Signale erzeugen, die
in Beziehung stehen zur Intensität des Lichtes, das während
einer Operation zur Materialbehandlung erzeugt wird.
Die Fig. 2 veranschaulicht Signale, die während eines
Laserbohrens unter Benutzung der in Fig. 1 gezeigten
Vorrichtung erzeugt wurden. Im einzelnen stellt die
vertikale Achse die Intensität (in willkürlichen Einheiten)
und die horizontale Achse die Zeit dar. Ein Signal 122 ist
das Signal, das von der Fotodiode 104 erzeugt wurde und das
die Gesamtlaserimpuls-Dauer repräsentiert. ein Signal 124
ist das Signal, das vom optischen Sensor 112 erzeugt wurde,
und das Daten hinsichtlich des Verhaltens des Laser-
Wechselwirkungsplasmas liefert. Ein Signal 126 ist das
Signal, das vom optischen Sensor 114 erzeugt wurde und
Daten hinsichtlich dem Zeitbeginn des tatsächlichen
Durchbruches liefert. Wie sich der Fig. 2 entnehmen läßt,
wurde der Durchbruch bei etwa 0,002 Sekunden nachgewiesen.
Fig. 3A gibt Signale wieder, die vom oberen Sensor für
eine Vielfalt von Materialdicken erzeugt wurden. Im
einzelnen entsprechen die Signale 200, 202, 204, 206 und
208 in Fig. 3A den Signalen, die vom optischen Sensor 216
erzeugt wurden, wenn ein Bohren durch Materialien mit einer
Dicke von etwa 1,5 mm, etwa 1,25 mm, etwa 1 mm, etwa 0,75 mm
und etwa 0,50 mm vorgenommen wurde. Der besseren
Übersichtlichkeit halber sind die Daten vertikal versetzt
dargestellt. Die Signale 210, 212, 214, 216 und 218 in
Fig. 3B entsprechen Signalen, die erzeugt wurden durch den
optischen Sensor 218, wenn ein Bohren durch Materialien mit
einer Dicke von etwa 1,5 mm, etwa 1,25 mm, etwa 1 mm, etwa
0,75 mm und etwa 0,50 mm erfolgte. Auch hier sind die
Signale der größeren Klarheit halber vertikal versetzt
dargestellt.
Die in den Fig. 2 und 3A und B dargestellten Signale
wurden während tatsächlicher Bearbeitungsoperationen
erzeugt. In Fig. 3A zeigen die Daten, daß die Impulsbreite
der vom oberen Sensor erzeugten Signale abnimmt, wenn die
Durchbruchszeit abnimmt. Man beachte das Signal 200, das
beim Bohren eines etwa 1,5 mm dicken Materials erzeugt
wurde, bei dem kein Durchbruch stattfand. Dieser Zustand
ist die kein-Durchbruch-Grundlinie. Fig. 3B zeigt, daß die
Impulsbreite des Signals, das von dem unteren Sensor
erzeugt wurde, zunimmt, wenn die Durchbruchszeit abnimmt.
Das Signal 210 gibt das für das etwa 1,5 mm dicke Material
wieder, bei dem kein Durchbruch nachgewiesen wurde. Dieser
Zustand ist die kein-Durchbruch-Grundlinie.
Bei einigen Operationen wird in Betracht gezogen, daß ein
unterer Sensor wegen der Begrenzungen in der
Arbeitsumgebung nicht benutzt werden kann. Es wären daher
nur die Daten von einem oberen Sensor zu benutzen, um die
Operationen zu überwachen und zu steuern. Würde man nur
einen oberen Sensor benutzen, dann würde man zuerst die
Dicke, z. B. etwa 1 mm, des Werkstückes bestimmen. Dann
würde man eine Testprobe der gleichen Dicke benutzen, um
Kalibrierungsdaten unter Verwendung sowohl des oberen als
auch des unteren Sensors zu sammeln. Unter Benutzung der
Sensoren kann eine Durchbruchszeit für das Loch erwünschten
Durchmessers bestimmt werden sowie ein bevorzugtes Signal
des oberen Sensors. Das bevorzugte Signal des oberen
Sensors wäre dessen Signal, das erzeugt wird, wenn der
bevorzugte Lochdurchmesser und die bevorzugte
Durchbruchszeit vorhanden wären. Das bevorzugte Signal des
oberen Sensors könnte man dann in Digitalform umwandeln und
im Computer speichern.
Während der Operationen würde man ein Signal, das gerade
vom oberen Sensor erzeugt wird, mit dem gespeicherten
Signal des oberen Sensors vergleichen. Zur Ausführung des
Vergleiches könnten viele Methoden, wie eine
Korrelationsmethode benutzt werden. Würden Abweichungen
über eine vorbestimmte Schwelle hinaus auftreten, dann mag
eine Einstellung an den Bearbeitungskomponenten
erforderlich sein.
Von den gesammelten Daten kann eine Durchbruchszeit
errechnet werden, wie am besten in Fig. 2 gezeigt. Im
einzelnen kann sowohl die gesamte Impulsdauer als auch die
Zeit bestimmt werden, bei der der Durchbruch auftritt.
Solche Daten sind von den Signalen erhältlich, die durch
den Fotodetektor 104 und die optischen Sensoren 112
und/oder 114 erzeugt werden. Unter Benutzung dieser
gesammelten Information und nachdem die Durchbruchszeit
einmal bestimmt worden ist, kann der Regelungscomputer 120
Einstellungen an den Bearbeitungsoperationen für die
Materialien vornehmen, um die erwünschten Ergebnisse zu
erzielen.
Fig. 4 veranschaulicht eine zweite Ausführungsform einer
optischen Überwachungsvorrichtung. Im einzelnen
veranschaulicht Fig. 4 eine Laserquelle 300 und eine erste
Lichtleitfaser 302, die zwischen der Laserquelle 300 und
einem Ausgangskoppler 304 gekoppelt ist. Eine zweite
Lichtleitfaser 306 koppelt den Ausgangskoppler 304 mit
einem Filter 308. Laserquelle 300 und Filter 308 sind mit
einem Impulslängen-Vergleicher 310 gekoppelt. Der
Impulslängen-Vergleicher kann vollständig aus Hardware,
Software oder einer Kombination von Hardware und Software
verwirklicht werden. Ein anderer Eingang zum Impulslängen-
Vergleich 310 erfolgt vom optischen Sensor 312, der unter
und im wesentlichen benachbart einem Werkstück 314
angeordnet ist. Ein Fotodetektor 315, der innerhalb oder an
der Laserquelle 300 montiert ist, liefert dem Impulslängen-
Vergleicher 310 ein weiteres Eingangssignal. Der
Impulslängen-Vergleicher 310 erzeugt eine erste Ausgabe 01,
eine zweite Ausgabe 02 und eine dritte Ausgabe 03, die dann
mit einer Laserregelung, einem Werkstückmanipulator und
einer Anzeige gekoppelt werden können.
Fig. 5 zeigt eine detailliertere Ansicht des
Ausgangskopplers 304. Im einzelnen überträgt die Faser 302
während des Betriebes einen ersten divergierenden Strahl
316 von der Laserquelle 300. Der Strahl 316 trifft auf eine
erste kollimierende Linse 318, die einen ersten
kollimierten Strahl 320 emittiert. Der Strahl 320 trifft
auf eine strahlerweiternde Linse 322, die einen zweiten
divergierenden Strahl 324 emittiert. Der divergierende
Strahl 324 trifft auf eine zweite kollimierende Linse 326.
Die zweite kollimierende Linse emittiert einen zweiten
kollimierten Strahl 328, der im wesentlichen ungestört
durch einen Spiegel 330 hindurchtritt. Der Spiegel 330 ist
so überzogen, daß er Wellenlängen von 1,06 µm bei 45°
vollständig durchläßt. Solche Überzüge sind an sich
bekannt. Der zweite kollimierte Strahl trifft dann auf eine
erste fokussierende Linse 332, die einen Strahl 334 auf ein
Werkstück 314 fokussiert. Durch Wechselwirkung des
fokussierten Strahles mit dem Werkstück 324 wird ein Plasma
erzeugt, und ein Bild 336 des erzeugten Plasmas wird zum
Spiegel 330 reflektiert. Das reflektierte Bild des Plasmas
wird dann zu einem zweiten Spiegel 338 gerichtet. Der
Spiegel 338 richtet das Bild zu einer zweiten
fokussierenden Linse 340, die ein optisches Bildsignal 342
auf eine Lichtleitfaser 306 fokussiert, um es zum Filter
308 zu übertragen. Statt einer einzelnen Faser 306 könnte
auch ein Faserbündel benutzt werden. Darüber hinaus könnte
die Linse 340 eine von vielen Linsenarten sein und sie kann
so gar weggelassen werden so lange das optische Bildsignal
des Plasmas in die Faser injiziert wird.
Fig. 6 zeigt detaillierter den Filter 308. Im einzelnen
empfängt der Filter 308 als Eingangssignal das optische
Bildsignal 342, das am Ausgangsende der Lichtleitfaser 306
emittiert wird und auf eine kollimierende Linse 344 trifft.
Ein kollimierter Strahl 346 trifft auf einen Spiegel 348,
der den Strahl 346 in einen ersten Abschnitt 350 und einen
zweiten Abschnitt 351 aufspaltet. Der Spiegel 348 ist
vorzugsweise so überzogen, daß er nur 1,06 µm-Signale
reflektiert, wenn er im Winkel von 45° angeordnet ist.
Diese Anordnung wird benutzt, weil ein Teil des
Bearbeitungsstrahles vom Werkstück zum Ausgangskuppler
zurückreflektiert werden kann. Ein Teil des durch die Faser
306 übertragenen Signals kann daher tatsächlich ein Signal
des Bearbeitungsstrahles enthalten und nicht nur Signale,
die für das durch den Strahl gebildete Plasma repräsentativ
sind. Die für das Plasma repräsentativen Signale sind im
allgemeinen Breitbandsignale und sie würden daher im
wesentlichen ungestört als zweiter Abschnitt 351 durch den
Spiegel 348 übertragen werden. Der erste Strahlabschnitt
350 trifft auf einen Impulsspitzen-Filter 352, der nur
optische Signale mit einer Wellenlänge von 1,06 µm
überträgt. Ein gefilterter Strahl 354 wird zu einer
Fokussierungslinse 356 übertragen, die einen gefilterten
Strahl 385 auf einen Fotodetektor 360 fokussiert. Das vom
Fotodetektor 360 gelieferte Signal ist repräsentativ für
die Impulsdauer.
Der zweite Strahlabschnitt 351 trifft auf einen zweiten
Filter 362, der nur Signale einer Wellenlänge überträgt,
die z. B. kleiner als 1,06 µm ist. Es können viele
verschiedene Filtervorrichtungen benutzt werden, so lange
die Signale des Bearbeitungsstrahles, d. h. Signale mit
einer Wellenlänge von 1,06 µm nicht übertragen werden. Ein
gefilterter Strahl 364 trifft auf eine fokussierende Linse
366, die den Strahl 368 auf einen zweiten Fotodetektor 370
fokussiert. Das vom Fotodetektor 370 erzeugte Signal ist
repräsentativ für das während der Materialbearbeitung
erzeugte Plasma. Die Ausgangssignale F1 und F2, die von den
Fotodetektoren 360 und 370 geliefert werden, leitet man zu
einem Impulslängen-Vergleicher 310 für die weitere
Verarbeitung. Im einzelnen können die Signale verstärkt und
dann in Digitalform umgewandelt werden.
Beim Betrieb der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform wird
ein Strahl von der Quelle 300 durch die Lichtleitfaser 302
zum Ausgangskoppler 304 übertragen. Wie mit Bezug auf Fig.
8 noch erläutert werden wird, fokussiert an diesen Strahl
dann auf das Werkstück 314. Das aufgrund des auf das
Werkstück 314 auftreffenden Strahles erzeugte Plasma
schafft ein Bildsignal, das durch den Ausgangskoppler und
die Lichtleitfaser 306 zum Filter 308 zurück übertragen
wird. Das Bildsignal liefert Information hinsichtlich der
Intensität des Plasmas. Die Plasmaintensität steht in
direkter Beziehung zu den Prozeßoperationen, wie der
Laserstrahlintensität. Die durch das Bildsignal gelieferten
Daten können daher zur Bearbeitungsregelung benutzt werden.
Tritt der Durchbruch ein, dann erzeugt auch der optische
Sensor 312 ein Signal, das zum Impulslängen-Vergleicher 310
übertragen wird. Der Fotodetektor 315 liefert ein Signal,
das repräsentativ ist für die gesamte Impulslängendauer.
Aus dieser Information kann die Durchbruchszeit bestimmt
werden. Ist diese Durchbruchszeit größer oder kleiner als
erwartet, dann können Einstellungen vorgenommen werden, um
erwünschtere Bearbeitungsergebnisse zu erhalten. So kann
z. B. die Laserstrahlenergie oder die relative Position des
Ausgangskopplers zum Werkstück eingestellt werden.
Der Betrieb der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform ist
ähnlich dem der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform. Der
in Fig. 1 gezeigte optische Sensor 112 ist jedoch in der
in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform durch ein Linsensystem
innerhalb des Ausgangskopplers 304 ersetzt. In einigen
Konfigurationen kann ein Linsensystem innerhalb des
Ausgangskopplers bevorzugt sein, da es Probleme beseitigt,
die mit der Verunreinigung durch Bohrspritzer in
Zusammenhang stehen und den Sensor frei hält von
Verunreinigungsstücken.
Eine dritte Ausführungsform eines optischen
Überwachungssystems ist in Fig. 7 dargestellt. Diese
Ausführungsform schließt eine Laserquelle 400 ein, die mit
einem Computer 402 gekoppelt ist. Ein Spiegel 404 und eine
fokussierende Linse 406 werden benutzt, um einen Strahl 408
von der Laserquelle 400 in eine Lichtleitfaser 410 zu
injizieren. Der Spiegel 404 ist vollständig durchlässig für
1,06 µm-Signale, und daher wird der Strahl 408 im
wesentlichen unbeeinträchtigt durch den Spiegel 404
übertragen. Die Lichtleitfaser 410 ist mit einem
Ausgangskoppler 412 gekoppelt, der einen Bearbeitungsstrahl
414 auf ein Werkstück 416 überträgt. Der Spiegel 404 ist
auch mit einem 1,06 µm-Filter 418, einer fokussierenden
Linse 420 und einem Fotodetektor 422 ausgerichtet.
Wie in Fig. 8 gezeigt, schließt der Ausgangskoppler 412
eine erste kollimierende Linse 424 und eine den Strahl
erweiternde Linse 426 ein. Eine zweite kollimierende Linse
428 ist mit der Linse 426 ausgerichtet, und eine
fokussierende Linse 430 ist mit der Linse 428 ausgerichtet.
Während des Betriebes wird der Strahl 408, der von der
Quelle 400 emittiert wird, durch die Linse 406 in die Faser
410 injiziert. Der Strahl wird durch die Lichtleitfaser zu
einem Ausgangskoppler 412 übertragen und von diesem als
erster divergierender Strahl 432 emittiert. Der Strahl 432
trifft auf die Linse 424, die einen ersten kollimierten
Strahl 434 bildet. Der erste kollimierte Strahl trifft auf
eine den Strahl erweiternde Linse 426, die einen zweiten
divergierenden Strahl 436 bildet. Dieser trifft auf die
Linse 428, die einen zweiten kollimierten Strahl 438
bildet, der auf die fokussierende Linse 430 trifft, die
einen Strahl 414 bildet, der auf ein Werkstück fokussiert
werden kann.
Während des Bearbeitens wird, wie bereits oben erwähnt, ein
Plasma erzeugt, und es wird ein Bild des Plasmas durch die
Linsenvorrichtung innerhalb des Kopplers 412 und durch die
Lichtleitfaser zurück übermittelt. Das Bildsignal ist im
wesentlichen ein Breitbandsignal, kann jedoch einige
1,06 µm-Signale enthalten, aufgrund der Reflexion des
Strahles 414 durch das Werkstück. Das Bildsignal wird von
der Lichtleitfaser emittiert und durch den Spiegel 404 zum
Filter 418 reflektiert. Der Filter 418 wird benutzt, um
alle 1,06 µm-Signale zu blockieren, so daß nur die
tatsächlichen Signale des Plasmabildes durch die Linse 420
auf den Fotodetektor 422 fokussiert werden. Das Signal des
Detektors 422 ist daher repräsentativ für das während des
Bearbeitens gebildete Plasma, und ein solches Signal kann
zum Regeln der Operationen benutzt werden. Obwohl in Fig.
7 nicht gezeigt, könnten sowohl ein oberer als auch ein
unterer Sensor am Werkstück als auch ein Sensor innerhalb
der Laserquelle 400 benutzt werden, wie im Zusammenhang mit
den oben beschriebenen Ausführungsformen erläutert.
Aus der vorhergehenden Diskussion sollte deutlich geworden
sein, daß die vorliegende Erfindung ein kontinuierliches
Überwachen des Laserbearbeitens von Materialien gestattet
und im wesentlichen in Jetztzeit arbeitet. Wichtigerweise
verlangsamt keine Ausführungsform nach der vorliegenden
Erfindung die Bearbeitungsgeschwindigkeit und läuft im
wesentlichen gleichzeitig mit den Bearbeitungsoperationen
ab. Die durch die erfindungsgemäße Vorrichtung erzeugten
Daten können auch dazu benutzt werden, eine Anzeige anderer
geometrischer Eigenschaften gebohrter Löcher zu liefern,
die die umgeschmolzene Schichtdicke und die Lochverjüngung
bzw. -erweiterung einschließen. So könnten z. B. während
einer Kalibrierungsoperation, die an einer Testprobe
ausgeführt wird, Daten gesammelt werden, und von solchen
Daten, die erwünschte Ergebnisse liefern, könnte man
Vergleiche während des Bearbeitens vornehmen. Wird eine
Abweichung von den erwünschten Signalen nachgewiesen,
könnte man an den Bearbeitungskomponenten Einstellungen
vornehmen. Das erfindungsgemäße Überwachungssystem kann
auch dazu benutzt werden, daß Versagen anderer
Systemkomponenten anzuzeigen, wie einen Bruch in einer
Lichtleitfaser oder einen Ausfall von Laserstrahl/Laser-
Blitzlampe, wie sich aus einer plötzlichen Veränderung in
der Plasmaintensität ergibt, die nicht einem Durchbruch
durch ein Werkstück zuzuschreiben ist.
Claims (17)
1. Vorrichtung zum Überwachen der Laserbearbeitung eines
Werkstückes, wobei die Vorrichtung umfaßt:
eine Einrichtung zum optischen Überwachen des Bearbeitetens und zum Erzeugen eines Bearbeitungssignals, das für die Bearbeitung repräsentativ ist;
eine Einrichtung zum Interpretieren der Bearbeitungssignale und zum Erzeugen eines interpretierten Ausgangssignals und eine Einrichtung zum Regeln der Materialbearbeitung auf der Grundlage des interpretierten Ausgangssignals der Interpretierungseinrichtung und durch Erzeugen eines Regelungssignals, das an eine Komponente zur Laserbearbeitung angelegt wird.
eine Einrichtung zum optischen Überwachen des Bearbeitetens und zum Erzeugen eines Bearbeitungssignals, das für die Bearbeitung repräsentativ ist;
eine Einrichtung zum Interpretieren der Bearbeitungssignale und zum Erzeugen eines interpretierten Ausgangssignals und eine Einrichtung zum Regeln der Materialbearbeitung auf der Grundlage des interpretierten Ausgangssignals der Interpretierungseinrichtung und durch Erzeugen eines Regelungssignals, das an eine Komponente zur Laserbearbeitung angelegt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen ersten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf der gleichen Seite beobachtet, auf die ein Laserstrahl angewendet werden soll.
einen ersten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf der gleichen Seite beobachtet, auf die ein Laserstrahl angewendet werden soll.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen zweiten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf einer Seite betrachtet, die der gegenüberliegt, auf die ein Laserstrahl angewandt wird.
einen zweiten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf einer Seite betrachtet, die der gegenüberliegt, auf die ein Laserstrahl angewandt wird.
4. Vorichtung nach Anspruch 1, worin die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen dritten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er ein Signal erzeugt, das repräsentativ ist für eine Länge eines Laserstrahlimpulses, der von einer Laserquelle emittiert wird, wobei der der Laserstrahlimpuls zur Ausführung der Materialbearbeitung benutzt wird.
einen dritten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er ein Signal erzeugt, das repräsentativ ist für eine Länge eines Laserstrahlimpulses, der von einer Laserquelle emittiert wird, wobei der der Laserstrahlimpuls zur Ausführung der Materialbearbeitung benutzt wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die optische
Überwachungseinrichtung eine Fotodiode umfaßt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die
Interpretierungseinrichtung eine Einrichtung zum spektralen
Analysieren von Daten von der optischen
Überwachungseinrichtung umfaßt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, worin die
Regelungseinrichtung eine Einrichtung zur Bestimmung der
Durchbruchszeit umfaßt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, worin die
Regelungseinrichtung weiter umfaßt:
eine Einrichtung zum Regeln des Fokussierens eines Materialbearbeitungs-Laserstrahles auf eine Brennebene und eine Einrichtung zur Verursachung relativer Bewegung zwischen der Brennebene und dem Werkstück.
eine Einrichtung zum Regeln des Fokussierens eines Materialbearbeitungs-Laserstrahles auf eine Brennebene und eine Einrichtung zur Verursachung relativer Bewegung zwischen der Brennebene und dem Werkstück.
9. Vorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstückes,
wobei die Bearbeitungsvorrichtung umfaßt:
eine Einrichtung zum Aufbringen eines Laserstrahles auf ein Werkstück,
eine Einrichtung zum optischen Überwachen der Bearbeitung und zum Erzeugen eines Bearbeitungssignals, das für die Bearbeitung repräsentativ ist,
eine Einrichtung zum Interpretieren des Bearbeitungssignals und zum Erzeugen eines interpretierten Ausgangssignales und eine Einrichtung zum Regeln der Materialbearbeitung auf der Grundlage des interpretierten Ausgangssignales der Interpretierungseinrichtung und durch Erzeugen eines Regelungssignales, das an eine Komponente zur Laserbearbeitung angelegt wird.
eine Einrichtung zum Aufbringen eines Laserstrahles auf ein Werkstück,
eine Einrichtung zum optischen Überwachen der Bearbeitung und zum Erzeugen eines Bearbeitungssignals, das für die Bearbeitung repräsentativ ist,
eine Einrichtung zum Interpretieren des Bearbeitungssignals und zum Erzeugen eines interpretierten Ausgangssignales und eine Einrichtung zum Regeln der Materialbearbeitung auf der Grundlage des interpretierten Ausgangssignales der Interpretierungseinrichtung und durch Erzeugen eines Regelungssignales, das an eine Komponente zur Laserbearbeitung angelegt wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die Einrichtung zum
Aufbringen eines Laserstrahles umfaßt,
eine Leistungsquelle,
eine mit der Leistungsquelle gekoppelte Laserstrahlquelle, einen Ausgangskoppler und
eine Lichtleitfaser, die zwischen der Leistungsquelle und dem Ausgangskoppler gekoppelt ist, um einen Laserstrahl, der von der Leistungsquelle emittiert wird, zum Ausgangskoppler zu übertragen.
eine Leistungsquelle,
eine mit der Leistungsquelle gekoppelte Laserstrahlquelle, einen Ausgangskoppler und
eine Lichtleitfaser, die zwischen der Leistungsquelle und dem Ausgangskoppler gekoppelt ist, um einen Laserstrahl, der von der Leistungsquelle emittiert wird, zum Ausgangskoppler zu übertragen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen ersten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf der gleichen Seite betrachtet, auf die ein Laserstrahl angewandt werden soll.
einen ersten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf der gleichen Seite betrachtet, auf die ein Laserstrahl angewandt werden soll.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen zweiten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf einer Seite betrachtet, die der Seite gegenüberliegt, auf die ein Laserstrahl angewandt werden soll.
einen zweiten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er das Werkstück auf einer Seite betrachtet, die der Seite gegenüberliegt, auf die ein Laserstrahl angewandt werden soll.
13. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die optische
Überwachungseinrichtung umfaßt:
einen dritten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er ein Signal erzeugt, das repräsentativ ist für eine Länge eines Laserstrahl-Impulses, der von einer Laserquelle emittiert wird, wobei der Laserstrahl-Impuls zur Ausführung der Materialbearbeitung benutzt wird.
einen dritten optischen Sensor, der so angeordnet ist, daß er ein Signal erzeugt, das repräsentativ ist für eine Länge eines Laserstrahl-Impulses, der von einer Laserquelle emittiert wird, wobei der Laserstrahl-Impuls zur Ausführung der Materialbearbeitung benutzt wird.
14. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die optische
Überwachungseinrichtung eine Fotodiode umfaßt.
15. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die
Interpretierungseinrichtung eine Einrichtung zum
Analysieren von Daten von der optischen
Überwachungseinrichtung umfaßt.
16. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die
Regelungseinrichtung eine Einrichtung zum Bestimmen der
Durchbruchszeit umfaßt und die Regelungseinrichtung weiter
eine Einrichtung zum Fokussieren eines
Materialbearbeitungs-Laserstrahls auf eine Brennebene und
eine Einrichtung zur Verursachung relativer Bewegung
zwischen der Brennebene und dem Werkstück umfaßt.
17. Vorrichtung nach Anspruch 9, worin die Einrichtung zum
Interpretieren des Verarbeitungssignals und zum Erzeugen
eines interpretierten Ausgangssignals eine Einrichtung zur
Impulslängen-Bestimmung umfaßt, die einen Impulslängen-
Vergleicher einschließt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/489,306 US5026979A (en) | 1990-03-05 | 1990-03-05 | Method and apparatus for optically monitoring laser materials processing |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4105647A1 true DE4105647A1 (de) | 1991-09-19 |
DE4105647C2 DE4105647C2 (de) | 1994-09-22 |
Family
ID=23943292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4105647A Expired - Fee Related DE4105647C2 (de) | 1990-03-05 | 1991-02-22 | Vorrichtung zur Laserbearbeitung eines Werkstückes |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5026979A (de) |
JP (1) | JP2648401B2 (de) |
DE (1) | DE4105647C2 (de) |
FR (1) | FR2659039B1 (de) |
GB (1) | GB2241779B (de) |
IT (1) | IT1247130B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4140182A1 (de) * | 1991-12-05 | 1993-06-09 | Carl Baasel Lasertechnik Gmbh, 8130 Starnberg, De | Vorrichtung zum ueberwachen der laserbearbeitung eines werkstuecks |
DE10036125A1 (de) * | 2000-07-25 | 2002-02-07 | Volkswagen Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten einer zylindrischen Innenwandfläche einer Bohrung |
DE10256262B4 (de) * | 2002-12-03 | 2013-02-21 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Prozesskontrolle bei der Laserbearbeitung von Bauteilen, Vorrichtung zur Laserbearbeitung sowie Computerprogramm und Computerprogrammprodukt zur Durchführung des Verfahrens |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2260402A (en) * | 1991-08-24 | 1993-04-14 | Univ Liverpool | Monitoring laser material processing |
US5286947A (en) * | 1992-09-08 | 1994-02-15 | General Electric Company | Apparatus and method for monitoring material removal from a workpiece |
JPH1085967A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ誘起プラズマ検出方法とそれを用いるレーザ制御方法およびレーザ加工機 |
US6140604A (en) * | 1998-06-18 | 2000-10-31 | General Electric Company | Laser drilling breakthrough detector |
US6130405A (en) * | 1998-09-10 | 2000-10-10 | Chromalloy Gas Turbine Corporation | Laser drilling holes in a cylindrical workpiece |
US7304265B2 (en) * | 2002-03-12 | 2007-12-04 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Method and system for machining fragile material |
US8164022B2 (en) * | 2006-12-06 | 2012-04-24 | The Regents Of The University Of Michigan | Optical sensor for quality monitoring of a welding process |
GB2458304A (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-16 | Gsi Group Ltd | Process Monitoring |
US20090294416A1 (en) * | 2008-05-28 | 2009-12-03 | Caterpillar Inc. | Laser manufacturing system having real-time feedback |
US8723078B2 (en) * | 2008-11-21 | 2014-05-13 | The Regents Of The University Of Michigan | Monitoring of a welding process |
US8440933B2 (en) * | 2009-04-17 | 2013-05-14 | University Of Connecticut | Systems and methods for enhanced control of laser drilling processes |
US8525073B2 (en) * | 2010-01-27 | 2013-09-03 | United Technologies Corporation | Depth and breakthrough detection for laser machining |
ITTO20110352A1 (it) * | 2011-04-21 | 2012-10-22 | Adige Spa | Metodo per il controllo di un processo di taglio laser e sistema di taglio laser implementante tale metodo |
US20130153552A1 (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-20 | Gwangju Institute Of Science And Technology | Scribing apparatus and method for having analysis function of material distribution |
MX369363B (es) * | 2012-10-19 | 2019-11-06 | Ipg Photonics Corp | Pistola de soldadura laser maniobrable manualmente. |
JP6483614B2 (ja) * | 2012-10-19 | 2019-03-13 | アイピージー フォトニクス コーポレーション | ロボット・レーザシームステッパー |
US9662743B2 (en) | 2014-01-27 | 2017-05-30 | General Electric Company | Method for drilling a hole in an airfoil |
US9468991B2 (en) | 2014-01-27 | 2016-10-18 | General Electric Company | Method determining hole completion |
US9676058B2 (en) | 2014-01-27 | 2017-06-13 | General Electric Company | Method and system for detecting drilling progress in laser drilling |
JP5880794B1 (ja) * | 2014-04-03 | 2016-03-09 | 新日鐵住金株式会社 | 溶接状態監視システム及び溶接状態監視方法 |
US10589385B2 (en) | 2015-01-08 | 2020-03-17 | General Electric Company | Method and system for confined laser drilling |
US11292081B2 (en) | 2015-01-08 | 2022-04-05 | General Electric Company | Method and system for confined laser drilling |
US9962792B2 (en) | 2015-02-20 | 2018-05-08 | General Electric Company | Component repair using confined laser drilling |
CN112404632B (zh) | 2019-08-22 | 2022-09-02 | 台达电子工业股份有限公司 | 焊锡装置及其***控制器 |
ES2921930A1 (es) * | 2021-02-19 | 2022-09-02 | Fund Tekniker | Microperforadora y metodo para monitorizar y controlar procesos de microperforacion laser de pulso unico |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60127090A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-06 | Toshiba Corp | レ−ザ加工異常検出装置 |
US4564736A (en) * | 1984-05-07 | 1986-01-14 | General Electric Company | Industrial hand held laser tool and laser system |
JPS61296980A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Toshiba Corp | 加工検査方法 |
US4673795A (en) * | 1984-10-15 | 1987-06-16 | General Electric Company | Integrated robotic laser material processing and imaging system |
US4676586A (en) * | 1982-12-20 | 1987-06-30 | General Electric Company | Apparatus and method for performing laser material processing through a fiber optic |
US4681396A (en) * | 1984-10-09 | 1987-07-21 | General Electric Company | High power laser energy delivery system |
US4739162A (en) * | 1987-02-04 | 1988-04-19 | General Electric Company | Laser beam injecting system |
US4799755A (en) * | 1987-12-21 | 1989-01-24 | General Electric Company | Laser materials processing with a lensless fiber optic output coupler |
US4838631A (en) * | 1986-12-22 | 1989-06-13 | General Electric Company | Laser beam directing system |
US4960970A (en) * | 1989-08-11 | 1990-10-02 | General Electric Company | Method and apparatus for acoustic breakthrough detection |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3700850A (en) * | 1970-09-04 | 1972-10-24 | Western Electric Co | Method for detecting the amount of material removed by a laser |
GB1372753A (en) * | 1971-01-11 | 1974-11-06 | Honeywell Inc | Apparatus for processing a workpiece with a laser beam |
US3806829A (en) * | 1971-04-13 | 1974-04-23 | Sys Inc | Pulsed laser system having improved energy control with improved power supply laser emission energy sensor and adjustable repetition rate control features |
DE2634341A1 (de) * | 1976-07-30 | 1978-02-02 | Steigerwald Strahltech | Verfahren und einrichtung zum ausrichten eines ladungstraegerstrahles eines technischen ladungstraegerstrahlgeraetes |
JPS54103098U (de) * | 1977-12-29 | 1979-07-20 | ||
JPS5548949A (en) * | 1978-10-02 | 1980-04-08 | Jones Geraint A C | Scribing device and method |
DE3036814C2 (de) * | 1980-09-30 | 1984-10-04 | Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim | Wundkompresse und Verfahren zu ihrer Herstellung |
JPS5777935A (en) * | 1980-11-04 | 1982-05-15 | Agency Of Ind Science & Technol | Safety device for photoconductive path |
US4504727A (en) * | 1982-12-30 | 1985-03-12 | International Business Machines Corporation | Laser drilling system utilizing photoacoustic feedback |
IT1180008B (it) * | 1984-03-02 | 1987-09-23 | Fiat Ricerche | Metodo e dispositivo per il controllo dei processi di saldatura mediante l'analisi della luminosita generata durante il processo |
FR2587513B1 (fr) * | 1985-09-16 | 1987-10-30 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de controle en temps reel d'un soudage a penetration totale, adapte a un joint inaccessible a l'observation directe |
JPS62142091A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-25 | Olympus Optical Co Ltd | レ−ザ出力範囲判別装置 |
US4672215A (en) * | 1986-02-27 | 1987-06-09 | Spectra-Physics, Inc. | Hand held laser bar code reader with safety shutoff responsive to housing motion detector |
DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
JPS63207487A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-26 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ−装置 |
JPS63202491U (de) * | 1987-06-11 | 1988-12-27 | ||
US4777341A (en) * | 1987-08-18 | 1988-10-11 | Quantum Laser Corporation | Back reflection monitor and method |
US4764655A (en) * | 1987-08-31 | 1988-08-16 | General Electric Company | Real-time laser beam diameter determination in a laser-materials processing system |
DE3739862A1 (de) * | 1987-11-25 | 1989-06-08 | Bosch Gmbh Robert | Werkstueckbearbeitungsvorrichtung |
IL90318A (en) * | 1988-05-19 | 1994-05-30 | Refractive Laser Res & Dev | Device for performing surgery using laser energy |
JPH02205283A (ja) * | 1989-02-03 | 1990-08-15 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
US4959244A (en) * | 1989-03-27 | 1990-09-25 | General Electric Company | Temperature measurement and control for photohermal processes |
-
1990
- 1990-03-05 US US07/489,306 patent/US5026979A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-02-22 DE DE4105647A patent/DE4105647C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-27 JP JP3053528A patent/JP2648401B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-01 GB GB9104387A patent/GB2241779B/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-01 FR FR9102448A patent/FR2659039B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-05 IT ITMI910563A patent/IT1247130B/it active IP Right Grant
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4676586A (en) * | 1982-12-20 | 1987-06-30 | General Electric Company | Apparatus and method for performing laser material processing through a fiber optic |
JPS60127090A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-06 | Toshiba Corp | レ−ザ加工異常検出装置 |
US4564736A (en) * | 1984-05-07 | 1986-01-14 | General Electric Company | Industrial hand held laser tool and laser system |
US4681396A (en) * | 1984-10-09 | 1987-07-21 | General Electric Company | High power laser energy delivery system |
US4673795A (en) * | 1984-10-15 | 1987-06-16 | General Electric Company | Integrated robotic laser material processing and imaging system |
JPS61296980A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Toshiba Corp | 加工検査方法 |
US4838631A (en) * | 1986-12-22 | 1989-06-13 | General Electric Company | Laser beam directing system |
US4739162A (en) * | 1987-02-04 | 1988-04-19 | General Electric Company | Laser beam injecting system |
US4799755A (en) * | 1987-12-21 | 1989-01-24 | General Electric Company | Laser materials processing with a lensless fiber optic output coupler |
US4960970A (en) * | 1989-08-11 | 1990-10-02 | General Electric Company | Method and apparatus for acoustic breakthrough detection |
DE4024519A1 (de) * | 1989-08-11 | 1991-02-14 | Gen Electric | Verfahren zur laserbearbeitung eines werkstueckes und vorrichtung zu seiner durchfuehrung |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JP 60-127 090 A in: "Patents abstracts of Japan", 1985, Vol. 9/No. 286, Sec. M-429 * |
JP 61-296 980 A in: "Patents abstracts of Japan", 1987, Vol. 11/No. 166, Sec M-593 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4140182A1 (de) * | 1991-12-05 | 1993-06-09 | Carl Baasel Lasertechnik Gmbh, 8130 Starnberg, De | Vorrichtung zum ueberwachen der laserbearbeitung eines werkstuecks |
DE10036125A1 (de) * | 2000-07-25 | 2002-02-07 | Volkswagen Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten einer zylindrischen Innenwandfläche einer Bohrung |
DE10256262B4 (de) * | 2002-12-03 | 2013-02-21 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Prozesskontrolle bei der Laserbearbeitung von Bauteilen, Vorrichtung zur Laserbearbeitung sowie Computerprogramm und Computerprogrammprodukt zur Durchführung des Verfahrens |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2648401B2 (ja) | 1997-08-27 |
US5026979A (en) | 1991-06-25 |
GB2241779A (en) | 1991-09-11 |
JPH04224092A (ja) | 1992-08-13 |
IT1247130B (it) | 1994-12-12 |
DE4105647C2 (de) | 1994-09-22 |
FR2659039B1 (fr) | 1995-10-20 |
ITMI910563A0 (it) | 1991-03-05 |
GB9104387D0 (en) | 1991-04-17 |
FR2659039A1 (fr) | 1991-09-06 |
ITMI910563A1 (it) | 1992-09-05 |
GB2241779B (en) | 1993-12-22 |
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