DE3929681A1

DE3929681A1 - MEASURING DEVICE FOR DETECTING A PATH OR A TURNING ANGLE

Info

Publication number: DE3929681A1
Application number: DE19893929681
Authority: DE
Inventors: Klaus Dipl Ing Dr Dobler; Hansjoerg Dipl Ing Hachtel
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1989-09-07
Filing date: 1989-09-07
Publication date: 1991-03-14
Also published as: EP0490904A1; WO1991003709A1; CS429890A3; YU158090A

Abstract

In a measuring device (10) for determining the travel or angle of rotation of a machine component (21), one coil (19) is arranged on a sleeve-like body (16) and another (20) on a cylindrical body (17). The sleeve (16) and the core (17) are on a support (15). The core (17) engages in a sleeve (13) of non-ferromagnetic but electrically conductive material. In addition, the sleeve (16) is taken over a core (12) of ferromagnetic material. Here, the coil body (16) and the core (12) and the coil body (17) and the sleeve (13) are coaxial. Owing to the eddy current effect, the inductance in the coil (20) is reduced, while on account of the ferromagnetic effect the inductance in the coil (19) is increased. Errors of measurement can be partly eliminated and the measurement signal amplified through the cross-connection of the coils (19, 20) in an evaluation circuit.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Erfassung eines Wegs oder eines Drehwinkels nach der Gattung des Hauptanspruchs. Ein bewegliches Meßelement wird relativ zu zwei achsgleich zum Meß element angeordneten Meßspulen bewegt. Durch die Bewegung des Meßelements wird das Überdeckungsverhältnis zwischen der einen Spule und dem Meßelement vergrößert, während es um denselben Betrag zwischen der anderen Spule und dem Meßelement verringert wird. Diese Vorrichtung weist eine relativ große Baulänge auf, obwohl nur ein verhältnismäßig kurzer Meßweg erfaßt werden kann.The invention relates to a device for detecting a Path or an angle of rotation according to the genus of the main claim. A movable measuring element is relative to two axially aligned to the measurement element arranged measuring coils moves. By moving the Measuring element is the coverage ratio between the one coil and the measuring element while enlarged by the same amount between the other coil and the measuring element is reduced. These Device has a relatively large overall length, although only one relatively short measuring path can be detected.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß sie sehr kompakt baut und eine relativ geringe axiale Länge aufweist. Insbesonders, wenn der Kern aus ferromagnetischem Stoff in die zylinderförmig ausgestaltete Spule eingeführt wird, kann ein hohes Meßsignal beim ferromagnetischen Effekt erreicht werden. Durch die gegensinnige Änderung der Spuleninduktivitäten während des Meß vorgangs werden die Meßeffekte der Spulen addiert, während auftretende Meßfehler der Einzelspulen sich oftmals gegeneinander weitgehend kompensieren. Das Meßsignal weist eine geringe Temperatur drift auf.The device according to the invention with the characteristic features the main claim has the advantage that it is very compact and has a relatively small axial length. Especially if the core of ferromagnetic material in the cylindrical coil is inserted, a high Measurement signal can be achieved with the ferromagnetic effect. Through the opposite change of the coil inductances during the measurement process, the measuring effects of the coils are added while Measuring errors of the individual coils often occur against each other largely compensate. The measurement signal has a low temperature drifts on.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch angegebenen Merkmale möglich.By the measures listed in the subclaims advantageous developments and improvements in the main claim specified features possible.

Zeichnungdrawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen die Fig. 1 bis 3 je einen Längsschnitt durch eine Abwandlung einer Meßeinrichtung.Embodiments of the invention are shown in the drawing and explained in more detail in the following description. There, Figs. 1 to 3 each show a longitudinal section through a modification of a measuring device.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

In Fig. 1 ist mit 10 eine Meßeinrichtung bezeichnet, die einen Halter 11 mit einem zylinderförmigen Kern 12 aus ferromagnetischem Material und eine Hülse 13 aus nicht ferromagnetischem, aber elektrisch leitfähigem Material aufweist. Die Achsen des Kerns 12 und der Hülse 13 verlaufen parallel zueinander. An einem zweiten Halter 15 sind eine als Spulenkörper dienende zweite Hülse 16 und ein zylinderförmiger, als Spulenkörper dienender zweiter Kern 17 befestigt. Die Hülse 16 und der Kern 17 bestehen vorzugsweise aus nicht elektrisch leitfähigem Material. Die Achsen des Kerns 17 und der Hülse 13 sowie des Kerns 12 und der Hülse 16 sind jeweils achsgleich ausgebildet, so daß jeweils der Kern 12 in die Hülse 16 bzw. der Kern 17 in die Hülse 13 eintauchen kann. Auf dem Kern 17 bzw. auf der Außenwand der Hülse 16 ist je eine von einem Wechsel strom durchflossene Spule 19, 20 angeordnet. Am Halter 11 ist, in der Fig. 1 nur angedeutet, ein Meßobjekt 21 befestigt, dessen Bewe gung bestimmt werden soll. Der Halter 15 ist dabei dann ortsfest angeordnet. Es ist aber auch eine umgekehrte Befestigung des Meß objekts möglich, das heißt das Meßobjekt ist am Halter 15 angeordnet und der Halter 11 ist ortsfest. Ferner kann aber auch an jedem Halter 11 bzw. 15 ein Meßobjekt befestigt sein, so daß sich die beiden Halter 11, 15 relativ zueinander bewegen und die Differenz der beiden Bewegungen bestimmt wird.In Fig. 1, 10 denotes a measuring device which has a holder 11 with a cylindrical core 12 made of ferromagnetic material and a sleeve 13 made of non-ferromagnetic but electrically conductive material. The axes of the core 12 and the sleeve 13 run parallel to one another. A second sleeve 16 serving as a coil former and a cylindrical second core 17 serving as a coil former are fastened to a second holder 15 . The sleeve 16 and the core 17 are preferably made of non-electrically conductive material. The axes of the core 17 and the sleeve 13 as well as the core 12 and the sleeve 16 are each designed with the same axis, so that the core 12 can dip into the sleeve 16 and the core 17 into the sleeve 13 , respectively. On the core 17 or on the outer wall of the sleeve 16 , a coil 19 , 20 through which an alternating current flows is arranged. On the holder 11 , only hinted at in FIG. 1, a measurement object 21 is attached, the movement of which is to be determined. The holder 15 is then arranged in a stationary manner. But it is also possible to mount the measurement object in reverse, that is, the measurement object is arranged on the holder 15 and the holder 11 is stationary. Furthermore, a measurement object can also be attached to each holder 11 or 15 , so that the two holders 11 , 15 move relative to one another and the difference between the two movements is determined.

Sind die Spulen z. B. in einer Wheatstone′schen Brücke nach Fig. 4a oder 4b oder in einem nicht dargestellten Spannungsteiler verschal tet, und fließt durch die Spule 20 ein Wechselstrom, so erfaßt das magnetische Wechselfeld der Spule 20 die Innenfläche der Hülse 13. Bei nicht ferromagnetischem, aber elektrisch leitfähigem Material wirkt nur der Wirbelstromeffekt. Aufgrund der sich auf der Oberflä che der Innenwand der Hülse 13 ausbildenden Wirbelströme ergibt sich eine Verminderung der Induktivität der Spule 20, so daß die Höhe der anliegenden Meßspannung abnimmt. Je weiter dabei der Kern 17 mit der Spule 20 in die Hülse 13 eindringt, desto stärker ist die Wirbel stromausbildung. Betrachtet man die Spule 19, so erfaßt das magne tische Wechselfeld der von einem Wechselstrom durchflossenen Spu le 19 die Oberfläche des aus ferromagnetischem Stoff bestehenden Kerns 12. Mit ferromagnetischem Effekt wird die mit größer werdender Eindringtiefe des Kernes 12 in die Spule 19 sich ergebende Induk tivitätserhöhung der Spule 19 beschrieben, begründet durch die ferromagnetische Beschaffenheit des Kernmaterials. Bei ferro magnetischem Material wirkt sowohl der ferromagnetische Effekt als auch der Wirbelstromeffekt. Während, wie oben ausgeführt, der Wirbelstromeffekt eine Verminderung der Induktivität der Spule hervorruft, bewirkt der ferromagnetische Effekt eine Erhöhung der Induktivität der Spule. Deshalb müssen die Parameter (z. B. Stoff eigenschaften des Kernes 12, die Höhe der Frequenz des Wechsel stromes, der die Spule 19 durchfließt) so abgestimmt sein, daß der ferromagnetische Effekt überwiegt. Die Änderung der Induktivität der Spule 19 ist somit wiederum ein Maß für die Relativbewegung des Kerns 12 gegenüber der Spule 19. Beim Messen üben der Kern 12 und die Hülse 13 gleichzeitig dieselbe Bewegung aus, so daß sich die Induktivität der beiden Spulen 19, 20 gegensätzlich verändert, das heißt die Induktivität der Spule 20 wird vermindert, während die Induktivität der Spule 19 erhöht wird. Beide Spulen 19, 20 können in der in Fig. 4a dargestellten sogenannten "Halbbrückenschaltung" so miteinander verschaltet werden, daß sich viele Meßfehler ganz oder teilweise kompensieren, während sich der Meßeffekt addiert. Ferner erhält man eine hohe Signalausbeute beim ferromagnetischen Effekt, wenn der Kern 12 in die Spule 19 eintaucht. Es hat sich gezeigt, daß beim ferromagnetischen Effekt kein so hohes Meßsignal erreicht wird, wenn die Spule 19 in eine Hülse aus ferromagnetischem Material eintauchen würde. Beim Wirbelstromeffekt sind zwei Varianten möglich. Es kann sowohl der Kern in eine Spule, als auch die Spule in eine Hülse eintauchen.Are the coils z. B. in a Wheatstone bridge according to FIG. 4a or 4b or in a voltage divider (not shown), and when an alternating current flows through the coil 20 , the alternating magnetic field of the coil 20 detects the inner surface of the sleeve 13 . In the case of non-ferromagnetic but electrically conductive material, only the eddy current effect is effective. Due to the eddy currents forming on the surface of the inner wall of the sleeve 13 there is a reduction in the inductance of the coil 20 , so that the level of the applied measuring voltage decreases. The further the core 17 with the coil 20 penetrates into the sleeve 13 , the stronger the eddy current formation. Considering the coil 19, so detects the magnetic field of the diagram change traversed by an alternating current Spu le 19, the surface of the core made of ferromagnetic material 12th With a ferromagnetic effect, the resulting increase in inductivity of the coil 19 is described as the depth of penetration of the core 12 into the coil 19 is due to the ferromagnetic nature of the core material. With ferromagnetic material, both the ferromagnetic effect and the eddy current effect are effective. While, as stated above, the eddy current effect causes a decrease in the inductance of the coil, the ferromagnetic effect causes an increase in the inductance of the coil. Therefore, the parameters (z. B. material properties of the core 12 , the level of the frequency of the alternating current that flows through the coil 19 ) must be adjusted so that the ferromagnetic effect predominates. The change in the inductance of the coil 19 is thus in turn a measure of the relative movement of the core 12 with respect to the coil 19 . When measuring, the core 12 and the sleeve 13 simultaneously exercise the same movement, so that the inductance of the two coils 19 , 20 changes in opposition, that is, the inductance of the coil 20 is reduced, while the inductance of the coil 19 is increased. Both coils 19 , 20 can be interconnected in the so-called "half-bridge circuit" shown in FIG. 4a in such a way that many measurement errors are compensated for in whole or in part, while the measurement effect is added. Furthermore, a high signal yield is obtained with the ferromagnetic effect when the core 12 is immersed in the coil 19 . It has been shown that the ferromagnetic effect does not achieve such a high measurement signal if the coil 19 were immersed in a sleeve made of ferromagnetic material. There are two variants of the eddy current effect. Both the core can be immersed in a coil and the coil can be immersed in a sleeve.

Beim Ausführungsbeispiel nach der Fig. 2 ist die Spule 20a auf einem etwa mittig am Halter 11a befestigten Kern 25 angeordnet. Der Kern 25 wird von einer Hülse 26 umfaßt, auf der sich die Spule 19a befindet. Zwischen der Hülse 26 und dem Kern 25 ist im Halter 11a ein Ring 27 angeordnet. Zwischen der Hülse 26 und dem Kern 25 ist eine am Halter 15a befestigte Hülse 28 bewegbar. Die Hülse 28 weist einen äußeren Teil 29 aus ferromagnetischem Material und einen inneren Teil 30 aus nicht ferromagnetischem, aber elektrisch leit fähigem Material auf. Die Hülse 28, die Hülse 26 und der Kern 25 sind achsgleich ausgebildet. Die Wirkungsweise des Ausbildungs beispiels nach Fig. 2 stimmt mit dem nach der Fig. 1 überein. Besonders vorteilhaft ist aber die geringere Baugröße in radialer Richtung und die zentrische Anordnung der Bauteile.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the coil 20 a is arranged on a core 25 fastened approximately centrally to the holder 11 a. The core 25 is surrounded by a sleeve 26 on which the coil 19 a is located. Between the sleeve 26 and the core 25 , a ring 27 is arranged in the holder 11 a. Between the sleeve 26 and the core 25 , a sleeve 28 attached to the holder 15 a is movable. The sleeve 28 has an outer part 29 made of ferromagnetic material and an inner part 30 made of non-ferromagnetic but electrically conductive material. The sleeve 28 , the sleeve 26 and the core 25 are of the same axis. The mode of operation of the training example according to FIG. 2 corresponds to that according to FIG. 1. However, the smaller size in the radial direction and the central arrangement of the components are particularly advantageous.

Im Ausführungsbeispiel der Meßeinrichtung 11c nach der Fig. 3 sind die Spulenkörper für die Spulen 19b und 20b als im Träger 15b befestigte Hülsen 35, 36 ausgebildet. Beide Hülsen 35, 36 sind achsgleich, wobei die Hülse 35 die Hülse 36 umgreift. Der Abstand zwischen den beiden Hülsen 35, 36 ist dabei so groß zu gestalten, daß sich die Magnetfelder der Spulen verhältnismäßig in bezug zum Meßeffekt geringfügig gegeneinander beeinflussen. In die Hülse 36 ragt ein Kern 37 aus ferromagnetischem Material. Ferner greift über die Hülse 35 eine Hülse 38 aus nicht ferromagnetischem, aber elektrisch leitfähigem Material. Die Hülse 38 und der Kern 37 sind im Halter 11b mit Hilfe des Ringes 27b befestigt und sind achsgleich zu den Hülsen 35, 36 angeordnet. Prinzipiell wäre es bei dieser Aus bildung auch möglich, den Kern 37 aus nicht ferromagnetischem, aber elektisch leitfähigem Material und die Hülse 38 aus ferromagnetischem Material herzustellen. Bei dieser Ausbildung würde aber das Meßobjekt aus ferromagnetischem Material nicht in die Spule eintauchen.In the exemplary embodiment of the measuring device 11 c according to FIG. 3, the bobbins for the coils 19 b and 20 b are designed as sleeves 35 , 36 fastened in the carrier 15 b. Both sleeves 35 , 36 are axially identical, the sleeve 35 encompassing the sleeve 36 . The distance between the two sleeves 35 , 36 is to be made so large that the magnetic fields of the coils influence each other slightly in relation to the measurement effect. A core 37 made of ferromagnetic material projects into the sleeve 36 . Furthermore, a sleeve 38 made of non-ferromagnetic but electrically conductive material extends over the sleeve 35 . The sleeve 38 and the core 37 are fixed in the holder 11 b with the help of the ring 27 b and are arranged axially with the sleeves 35 , 36 . In principle, it would also be possible with this education to manufacture the core 37 from non-ferromagnetic, but electrically conductive material and the sleeve 38 from ferromagnetic material. With this design, however, the measurement object made of ferromagnetic material would not be immersed in the coil.

Bei allen Ausführungsbeispielen ist es möglich, statt der Hülsen 13, 28, 38 oder den Kernen 12, 37 aus dem entsprechenden Material auf den Hülsen oder auf den Kernen eine Schicht aus dem entsprechenden Material aufzubringen. Besonders beim Ausführungsbeispiel nach der Fig. 2 kann dieses Verfahren zu einer weiteren Reduzierung der Bau größe in radialer Richtung führen. Wird die Spule 20a, wie oben ausgeführt, mit einem Wechselstrom mit einer genügend hohen Frequenz durchströmt, so kann auf dem Innenteil 30 der Hülse 28 eine Schicht aus nicht ferromagnetischem, jedoch elektrisch leitfähigem Material aufgebracht sein. Hierbei können die verschiedenen Aufbringungs techniken, wie z. B. Kleben, Galvanisieren, Aufdampfen usw. ange wendet werden.In all of the exemplary embodiments, it is possible to apply a layer of the appropriate material to the sleeves or to the cores instead of the sleeves 13 , 28 , 38 or the cores 12 , 37 . Especially in the embodiment of FIG. 2, this method can lead to a further reduction in the size in the radial direction. If, as stated above, the coil 20 a has an alternating current flowing through it at a sufficiently high frequency, a layer of non-ferromagnetic but electrically conductive material can be applied to the inner part 30 of the sleeve 28 . Here, the different application techniques such. B. gluing, electroplating, evaporation, etc. are used.

Die Auswertung der Induktivitätsänderung kann auf verschiedene Weise vorweggenommen werden. Im folgenden sind einige Beispiele aufgeführt: Die Auswertung der Induktivitätsänderung der beiden Spulen 19 und 20 kann dabei in der in Fig. 4a dargestellten "Halbbrückenschaltung 39" ausgeführt werden. Die beiden Spulen 19, 20 sind dabei in einer Wheatstone′schen "Halbbrückenschaltung", das heißt in einer Brücke mit zwei "aktiven" Brückenzweigen 19, 20 und den passiven Brücken zweigen 40, 41, verschaltet. Es ist aber auch möglich, statt einer Halbbrücke eine Wheatstone′sche "Vollbrücke", wie in Fig. 4b gezeigt, zur Auswertung zu verwenden. Die beiden dazu erforderlichen zusätzlichen Sensorspulen sollten dabei vorzugsweise baugleich zu den beiden, in Fig. 4a dargestellten Spulen der Wheatstone′schen Halbbrücke ausgebildet sein. Die Spulen 19d und 20d sind dann z. B. achsparallel zusätzlich angeordnet. Selbstverständlich kann mit Hilfe der Wheatstone′schen Brückenschaltung anstelle der direkten Auswertung der Spuleninduktivitätswerte auch die Auswertung der Änderung der jeweiligen Spulenwechselstromwiderstände vorweggenommen werden, da diese von der Größe der jeweiligen Spuleninduktivitäten abhängig sind. Als weitere Auswertungsvariante kann man parallel zu jeder Sensorspule einen Kondensator anbringen. In diesem Fall beste hen die "aktiven Brückenzweige" aus Parallelschwingkreise, deren Widerstand ebenfalls von den jeweiligen Spulenwechselstromwiderstän den abhängig sind.The evaluation of the change in inductance can be anticipated in various ways. Some examples are listed below: The evaluation of the change in inductance of the two coils 19 and 20 can be carried out in the "half-bridge circuit 39 " shown in FIG. 4a. The two coils 19 , 20 are connected in a Wheatstone "half-bridge circuit", that is, in a bridge with two "active" bridge branches 19 , 20 and the passive bridges branches 40 , 41 . However, it is also possible to use a Wheatstone "full bridge" instead of a half bridge, as shown in FIG. 4b, for evaluation. The two additional sensor coils required for this should preferably be constructed identically to the two coils of the Wheatstone half-bridge shown in FIG. 4a. The coils 19 d and 20 d are then z. B. additionally arranged axially parallel. Of course, with the help of the Wheatstone bridge circuit, instead of directly evaluating the coil inductance values, the evaluation of the change in the respective coil AC resistances can also be anticipated, since these depend on the size of the respective coil inductances. As a further evaluation variant, a capacitor can be attached in parallel to each sensor coil. In this case, the "active bridge branches" consist of parallel resonant circuits, the resistance of which also depends on the respective coil AC resistances.

Eine weitere Auswertevorrichtung 42 zur Bestimmung der Induktivi tätsänderung der Spulen 19, 20 ist in der Fig. 5 dargestellt. Die beiden Spulen 19, 20 sind dabei in Serie mit einem oder zwei Konden satoren 43 in einem Resonanzkreis verschaltet. Hierbei wird durch Messung der Eigenschwingungsdauer des LC-Schwingkreises (L=Induk tivität der Spule, C=Kapazität des Kondensators) die Induktivi tätsänderung der Spulen 19, 20 ausgewertet. In Fig. 5 können mit Hilfe des Schalters 44 dabei die Spulen 19 und 20 dem Schwingkreis abwechselnd zugeschaltet werden. Die Änderung der Schwingungsdauer des jeweiligen Schwingkreises ist abhängig von der Änderung der jeweiligen Spuleninduktivität. Als Meßeffekt dient dabei dann die unterschiedliche Eigenschwingdauer der Schwingkreise.A further evaluation device 42 for determining the change in inductance of the coils 19 , 20 is shown in FIG. 5. The two coils 19 , 20 are connected in series with one or two capacitors 43 in a resonant circuit. Here, the change in inductivity of the coils 19 , 20 is evaluated by measuring the natural oscillation period of the LC resonant circuit (L = inductivity of the coil, C = capacitance of the capacitor). In FIG. 5, the switch 44 can thereby the coils 19 and 20 are connected into the resonant circuit by means alternately. The change in the oscillation period of the respective resonant circuit depends on the change in the respective coil inductance. The different natural oscillation period of the oscillating circuits then serves as the measuring effect.

Je nach Gestaltung können sowohl lineare als auch radiale Bewegungen bestimmt werden.Depending on the design, both linear and radial movements are possible be determined.

Claims

1. Meßeinrichtung (10) zur Erfassung eines Wegs oder eines Dreh winkels, mit mindestens einer auf einem Körper (16, 17) angeord neten, von einem Wechselstrom durchflossenen Spule (19, 20), die in Wirkverbindung mit Bereichen (13) aus elektrisch leitfähigem, aber nicht ferromagnetischem Material und Bereichen (12) aus ferro magnetischem Material stehen, dadurch gekennzeichnet, daß jedem Bereich (12, 13) mindestens eine Spule (19, 20) zugeordnet ist, so daß bei der relativen Bewegung der Bereiche (12, 13) und der Spulen (19, 20) zueinander gleichzeitig eine gegensinnige Änderung der Induktivität der Spulen (19, 20) bewirkt wird.1. Measuring device ( 10 ) for detecting a path or a rotation angle, with at least one on a body ( 16 , 17 ) angeord Neten, through which an alternating current flows coil ( 19 , 20 ), which is in operative connection with areas ( 13 ) from electrical are conductive but not ferromagnetic material and areas ( 12 ) made of ferro-magnetic material, characterized in that each area ( 12 , 13 ) is assigned at least one coil ( 19 , 20 ) so that the relative movement of the areas ( 12 , 13 ) and the coils ( 19 , 20 ) to each other simultaneously cause an opposite change in the inductance of the coils ( 19 , 20 ).

2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bereich (12) aus ferromagnetischem Material in mindestens eine Spule (19) eintaucht.2. Measuring device according to claim 1, characterized in that the region ( 12 ) of ferromagnetic material is immersed in at least one coil ( 19 ).

3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeich net, daß die Achsen der Spulen (19, 20) parallel nebeneinander ver laufend angeordnet sind (Fig. 1). 3. Measuring device according to claim 1 and / or 2, characterized in that the axes of the coils ( 19 , 20 ) are arranged in parallel side by side ver running ( Fig. 1).

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn zeichnet, daß der Bereich (13) aus nicht ferromagnetischem, aber elektrisch leitendem Material sich mindestens auf der Innenwand einer Hülse (13) befindet und die zugeordnete Spule (20) innerhalb der Hülse (13) bewegt wird, und daß der Bereich aus ferro magnetischem Material (12) innerhalb der zugeordneten Spule (19) bewegt wird.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the region ( 13 ) made of non-ferromagnetic, but electrically conductive material is at least on the inner wall of a sleeve ( 13 ) and the associated coil ( 20 ) within the sleeve ( 13 ) is moved, and that the area of ferromagnetic material ( 12 ) is moved within the associated coil ( 19 ).

5. Vorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Hülse (28) auf ihrer Innenseite (30) einen Bereich aus elektrisch leitendem aber nicht ferromagnetischem Material aufweist und auf ihrer Außenseite (29) einen Bereich aus ferromagnetischem Material hat, und daß die eine Spule (20a) in die Hülse (28) eintaucht und die andere Spule (19a) die Hülse (28) umgreift (Fig. 2).5. The device according to claim 1 and / or 2, characterized in that a sleeve ( 28 ) on its inside ( 30 ) has a region made of electrically conductive but non-ferromagnetic material and on its outside ( 29 ) has a region made of ferromagnetic material, and that one coil ( 20 a) dips into the sleeve ( 28 ) and the other coil ( 19 a) engages around the sleeve ( 28 ) ( Fig. 2).

6. Vorrichtung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Spulen (19b, 20b) auf je einem hülsenförmigen, achs gleichen Spulenkörper (35, 36) angeordnet sind, daß ein Bereich (37) aus ferromagnetischem Material in die Hülse (36) ragt und daß ein Bereich aus elektrisch leitfähigem, nicht ferromagnetischem Material als hülsenförmiger Körper (38) die Spulen (19b, 20b) umgreift (Fig. 3).6. Apparatus according to claim 1 and / or 2, characterized in that the two coils ( 19 b, 20 b) are each arranged on a sleeve-shaped, axially identical bobbin ( 35 , 36 ) that an area ( 37 ) made of ferromagnetic material protrudes into the sleeve ( 36 ) and that an area of electrically conductive, non-ferromagnetic material as a sleeve-shaped body ( 38 ) engages around the coils ( 19 b, 20 b) ( FIG. 3).

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Spulen (19, 20) in einer Wheatstone′schen Brücken schaltung oder Spannungsteilerschaltung (39) verschaltet sind.7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the coils ( 19 , 20 ) in a Wheatstone bridges circuit or voltage divider circuit ( 39 ) are connected.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Spulen (19, 20) seriell in einem mindestens einen Kondensator (43) aufweisenden Resonanzschwingkreis (42) verschaltet sind.8. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the coils ( 19 , 20 ) are connected in series in an at least one capacitor ( 43 ) having a resonant circuit ( 42 ).