DE3927269A1 - Massstabsherstellungs- eichungs- und ortsbestimmungsverfahren - Google Patents

Massstabsherstellungs- eichungs- und ortsbestimmungsverfahren

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DE3927269A1
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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    • G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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Description

Titel
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeugung eines Maßstabes, dessen Eichung und Ortsbestimmung eines Gebers vermittels des so erzeugten und geeichten Maßstabes, kurz "Maßstabsherstellungs, Eichungs- und Ortsbestimmungsverfahren" das vorzugsweise im Werkzeug- und Maschinenbau zum Einsatz kommt.
Stand der Technik
Es sind absolute und incrementale Maßstäbe bekannt. Allerdings gelingt es bisher nicht, absolute Maßstäbe in hinreichender Feinheit (Mikrometerbereich) herzustellen. Deshalb sind incrementale Maßstäbe entwickelt worden, die darauf beruhen, daß auf dem Maßstab angebrachte Incremente bezüglich einer Marke (NULL) gezählt werden.
Dieses Verfahren hat Nachteile. Wenn die Zählvorrichtung fehlerhaft zählt und das ist bei der ständigen Kettenmaßbildung in Relation zur NULL nicht auszuschließen, so können sich nicht wieder zu behebende Meß- bzw. Bearbeitungsfehler ergeben.
Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß bei der Abschaltung des Meßsystems die NULL wieder geholt werden muß, da nicht sicherzustellen ist, daß die Position des Gebers zum Maßstab in der Stillstandszeit unverändert geblieben ist. Solche Veränderungen können beispielsweise durch Wärmedehnung verursacht werden.
Auch die Zählgeschwindigkeit ist begrenzt, wodurch sich eine relativ geringe Verfahrgeschwindigkeit der Mechanik ergibt, wenn große Strecken zu durchfahren sind.
Aufgabe
Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, ein Maßstabsherstellungs-, Eichungs- und Ortsbestimmungsverfahren zu beschreiben, daß absolutmessend ist, eine hinreichend schnelle und feine Ortsbestimmung ermöglicht, wobei die Toleranzen der Bauteile relativ groß sein dürfen und keine besonderen Aufwände beim Aus- und Einbau der Meßeinheit im Anwendungsfall notwendig werden.
Zweck
Die Erfindung verfolgt den Zweck, hochgenaue und servicefreundliche Meßsysteme für Werkzeug- und Meßmaschinen u. ä. zur Verfügung zu stellen, die absolut messend sind und eine größtmögliche Verfahrgeschwindigkeit zulassen.
Erfindungsgemäße Mittel
Erfindungsgemäß wird ein Maßstab erzeugt, in dem auf der Fläche des Maßstabes ein Gesamtmuster angebracht wird, dessen einzelne Elemente zufällig verteilt sind.
Ein solcher Maßstab kann - ausgehend vom linearen Fall - geeicht werden, indem der absolute Abstand eines jeden Elementes bezüglich einer Marke NULL bestimmt und gespeichert wird.
Die Elemente des Musters können untereinander durch bestimmte Operationen verknüpft werden, wie beispielsweise die Bildung des Verhältnisses zweier oder mehrerer Abstände.
Von allen möglichen Operationen wird eine solche betrachtet, deren Ergebnis für jede Gruppe von betrachteten Elementen eindeutig ist. Eine eindeutige Zuordnung von Ergebnis und Elementgruppe ist somit gegben.
Die Operation und ihr Ergebnis wird gespeichert. Mit der Speicherung der absoluten Abstände der Elemente und der Ergebnisse der auf sie angewendeten Operation ist die Eichung beendet.
Verfahrensgemäß erfolgt die Bestimmung eines Geberortes vermittels des Maßstabes so, daß an einer bestimmten Stelle des Maßstabes ein Teilmuster durch den Geber erfaßt wird.
Die definierte Operation wird auf die Elemente angewendet, das Ergebnis mit den gespeicherten Werten verglichen und der absoluten Lage der zugehörigen Elemente zugeordnet. Die Geberposition läßt sich nun aus der absoluten Position der Elemente und der Umkehrung der zugehörigen Operation ermitteln.
Eine besondere Ausführung kann erzeugt werden, indem Elemente auf einem Maßstab an Stellen einer bestimmten Teilung angebracht werden. Sie bilden ein Gesamtmuster. Der Abstand zweier Elemente ist dann L bzw. ein Vielfaches davon. Die Teilung ist genau einzuhalten.
Die Elemente und ihre Aufeinanderfolge bilden eine Binärkette, d. h. die Elemente eines bestimmten Intervalls von Teilungen werden als Binärzahl interpretiert. Ein solches Intervall heißt elementar. Wird das elementare Intervall um eine Teilung versetzt, so ist die Anordnung der Elemente gerade so gewählt, daß sich eine andere Binärzahl ergibt. In der Aufeinanderfolge der so gewonnenen Binärzahlen ist jede nur einmal vorhanden.
Ein solcher Maßstab ist geeicht, weil seine Teilung geeicht ist. Jede sich ergebende Binärzahl befindet sich in absoluter Position zur NULL. Es läßt sich eine funktionale Zuordnung zwischen einer Binärzahl und ihrer absoluten Position zur NULL angeben.
Verfahrensgemäß erfolgt die Bestimmung eines Geberortes indem ein Teilbild (elementares Intervall) des Maßstabes betrachtet wird.
Das Betrachtungsintervall sei ein elementares, dann entspricht das Teilmuster seiner Elemente einer bestimmten Binärzahl. Von jeder Binärzahl ist das zugehörige Teilmuster und dessen absolute Position bekannt.
Wenn jedes Element bezüglich des Gebers zwei Zustände annehmen kann, dann lassen sich aus einem Intervall der Teilungsanzahl n maximal 2n Binärzahlen ermitteln, wobei in der Aufeinanderfolge der Binärzahlen jede nur einmal verbunden ist. 2n ist die maximale Kettenlänge.
Vorzugsweise kommen Ketten zum Einsatz deren Länge kürzer als 2n sind und die sich durch Bildungsgesetze herleiten lassen. Es sind Bildungsgesetze bekannt, wonach sich Binärketten mit der elementaren Intervallänge von n und einer Gesamtlänge kleiner 2n erzeugen lassen.
Der Anstoß zur Erfassung eines Teilbildes kann von außerhalb des Meßsystems kommen (externe Bestimmung des Zeitpunktes bzw. der Zeitpunktfolge).
Der Anstoß zur Erfassung eines Teilbildes kann innerhalb des Meßsystems erzeugt werden (durch Erfassung einer Änderung im Teilbild bzw. durch einen zugeordneten Hilfsmaßstab, dessen Markierungen die Bildnahme bestimmen).
Längere Maßstäbe
Beliebig lange Maßstäbe lassen sich bilden (bei hinreichend kleinen elementaren Intervallen), wenn mehrere Binärketten der oben beschriebenen Art hintereinander und parallel zueinander kombiniert werden.
Bei einer derartigen kombinierten Anordnung muß die Intervallnummer bezüglich der NULL bezeichnet werden; das kann durch einen gröberen Maßstab erreicht werden, der prinzipiell wieder als Binärkette aufgebaut ist.
Bei kombinierten Maßstäben können fehlerhafte Bereiche logisch korrigiert werden, indem zwischen mehreren parallelen Binärketten hin und her geschaltet wird, so daß nur eine fehlerfreie kombinierte Gesamtkette betrachtet wird. Korrekturen sind auch dadurch möglich, daß die Vorgänger und Nachfolger der elementaren Intervalle einer Kette in ihrer Lage und Bedeutung bekannt sind.
Die Elemente eines Musters werden vorzugsweise als parallele Linienelemente gestaltet, die zueinander den Abstand L bzw. ein Vielfaches davon haben.
Die Abtastung/Erfassung des Bitmusters erfolgt durch einen Geber, der mehrere Sensoren in Reihe aufweist. Die Sensorzahl entspricht der maximalen Anzahl der Elemente in einem elementaren Intervall, wobei sie im Teilungsabstand angeordnet sind. Die Information der Sensoren wird zeitrichtig erfaßt und verarbeitet. Es können mehrere Ketten von Sensoren vorhanden sein, die um Bruchteile von L zueinander verschoben sind, dann können auch Bruchteile von L absolut bestimmt werden.
Der Geber kann ein Teilmuster erfassen, das als Schattenbild des Maßstabes via Laserstrahl auf den Geber projiziert wird.
Das Schattenbild kann von einer Optik vergrößert werden.
Die Optik ist vorzugsweise mikroskopartig aufgebaut und es kann zwischen Optik und Maßstab Immersionsöl vorhanden sein. Entsprechende Vorrichtungen zur Immersionsölversorgung sind zugeordnet.
Es können auch flächige Sensoren zum Einsatz kommen (CCD-Sensoren u. ä.). Dann erfolgt die Abtastung des Musters sinngemäß linienförmig.
Es können auch Teilmuster erfaßt werden die länger als elementare Intervalle sind, dann werden mehrere aufeinanderfolgende, absolute Positionen auf der Basis elementarer Intervalle berechnet (Redundanz).
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben. Es zeigen die Figuren:
Fig. 1: Maßstab mit zufällig angeordneten Elementen
Fig. 2: Verfahrensschema
Fig. 3: Maßstab mit regelmäßig angeordneten Elementen
Fig. 4: Verfahrensschema
Fig. 5: Kombinierter Maßstab
Fig. 6: Sensoranordnung
Fig. 7: Gesamtanordnung
Fig. 1 zeigt einen Maßstab mit zufällig verteilten Elementen 2. Sie bilden das Gesamtmuster 21. Ein Geber erfaßt ein Teilmuster. Die Lage eines Geberpunktes 4 zur NULL ist zu bestimmen.
Fig. 2 zeigt das Verfahrensschema. Ein Geber erfaßt ein Teilmuster 3. Die darin enthaltenen Elemente 2 werden in ihrer relativen Lage zum Geberpunkt 4 bestimmt. Da die absolute Lage des Geberpunktes 4 gegen NULL mit einem Eichmaßstab 5 erfaßt werden kann ist auch die absolute Lage aller Elemente 2 gegen NULL bekannt. Diese Lage wird in einer Datenbank 6 abgespeichert.
Jetzt werden die Beziehungen der Elemente 2 untereinander und in ihrer Reihenfolge (der Eigenschaftskette) bezüglich Null betrachtet. Beispielsweise werden die Abstandsverhältnisse 7 der aufeinanderfolgenden Elemente 2 betrachtet. Es kann angenommen werden, daß jedes Abstandsverhältnis 7 genau einmal vorkommt.
Jeder zu einem Element 2 gehörige Punkt 8 wird durch ein Abstandsverhältnis 7 beschrieben. - Zur schnelleren Auswertung kann die ansteigend geordnete Menge B der Abstandsverhältnisse 7 der natürlichen Reihenfolge zugeordnet werden.
Damit ist die Eichung des Systems gegeben.
Die absolute Ortsbestimmung eines Geberpunktes 4 zu NULL erfolgt, indem ein Teilmuster betrachtet wird. Es wird ein Abstandsverhältnis 7.1 ermittelt und der beim Eichen vorgegebene Verfahrensvorgang 10 wird rückwärts durchlaufen, was zur absoluten Ortsbestimmung des Geberpunktes 4 führt.
Der Vorteil dieses Verfahrens und der Anordnung besteht darin, daß die Elemente des Maßstabes 1 nicht zueinander maßhaltig sein müssen. Sie müssen lediglich hinreichend dicht liegen.
Der Rechenaufwand des Verfahrens ist relativ hoch, weshalb es vorzugsweise bei Meßmaschinen zum Einsatz kommt, wo nur in gewissen Abständen eine Maßzahl zu erfassen ist.
Weitere Vorteile werden gewonnen, wenn eine Anordnung nach Fig. 3 gewählt wird.
Der Maßstab 1 trägt Elemente 2. Sie besitzen einen bestimmten Abstand L 11 bzw. ein Mehrfaches davon (Teilung/sie ist geeicht). Die Elemente sind vorzugsweise geätzt und beidseitig transparent abgedeckt.
Bei der Versetzung des Gebers um L sind die Elemente so angeordnet, daß sie eine Folge bilden, d. h. es entsteht eine Binärkette 13, wobei jede Binärzahl 12 nur einmal vorkommt.
Dieser Folge von Binärzahlen sind Meßzahlen zugeordnet, die den Abstand des Teilmusters 3 von NULL angeben.
Die Ortsbestimmung eines Geberpunktes 4 erfolgt, indem der Geber ein Teilmuster 3 von der Länge eines elementaren Intervalls erfaßt (mehrfaches von L). Das Teilmuster wird als Binärzahl gelesen und von dieser Binärzahl auf die Maßzahl geschlossen. Siehe Fig. 4. Das kann sehr schnell geschehen, wenn die Information eines elementaren Intervalls 15 parallel verarbeitet wird.
Geeignete Binärketten können berechnet werden. Abhängig von der verfügbaren Rechentechnik (allgemein 32 Bit Wortbreite) folgt daraus die Zahl n welches die Länge des elementaren Intervalls 15 bestimmt. Damit ist auch die maximale Länge der Binärkette beschränkt.
Um beliebige Maßstablängen zu produzieren, werden die Binärketten hintereinander und zueinander versetzt kombiniert. Das zeigt Fig. 5. - Dabei sind die Grenzen 17 eines Gesamtmusters 16 wiederum als Binärkette 13 interpretierbar, wodurch jedes Gesamtmuster in seiner absoluten Lage zur NULL bekannt ist.
Bruchteile der Teilung einer Binärkette werden ermittelt, indem mehrere Sensorreihen 18 zueinander versetzt und parallel an den Elementen 2 vorbeigeführt werden (Fig. 6).
Dann ermittelt beispielsweise in Fig. 6 bei Bewegung der Sensoren nach rechts die obere Sensorreihe eine Binärzahl, die dann von Reihe zu Reihe nach unten wandert 19. Daraus kann auf Teilungsbruchteile (Bruchteil von L) geschlossen werden.
Fig. 7 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform des gesamten Meßsystems. Ein Maßstab 1 trägt eine Binärkette 13 von Elementen 2. Eine Laserlichtquelle 20 beleuchtet die Elemente 2, deren Schattenbild auf eine Mikroskopoptik 21 fällt. Zwischen dem Maßstab 1 und der Mikroskopoptik 21 kann Immersionsöl zugeführt werden, wozu eine Vorrichtung 24 beigeordnet ist. Mit einer derartigen Anordnung sind maximale Vergrößerungen möglich. Das vergrößerte Schattenbild wird von einem flächigen Sensor 23 erfaßt und in einem zugeordneten Rechner zur Maßzahl umgerechnet.
Diese Anordnung ist unempfindlich gegenüber Versetzungen in X- und Y-Richtung, was den Einbau sehr erleichtert. Die Toleranz der Teile ist hinreichend groß und wegen der Abbildungsverhältnisse der Mikroskopoptik 21 können bekannte CCD-Sensoren u. ä. zum Einsatz kommen, die in der Bildebene der Optik liegen.
Die Flächigkeit des Sensors erlaubt eine Bestimmung von Bruchteilen der Teilung, falls das notwendig sein sollte. Die Absolutgeschwindigkeit ist wegen der Parallelverarbeitung der Information hoch.

Claims (24)

1. Verfahren zum Erzeugen eines Maßstabes mittels eines Gebers, für Eichungs- und/oder Ortsbestimmungen, vorzugsweise für den Einsatz im Werkzeug- und Maschinenbau, gekennzeichnet durch folgende Merkmale,
  • a) es wird ein Gesamtmuster erzeugt, welches auf der Fläche des Maßstabes angebracht wird und dessen einzelne Elemente zufällig verteilt sind,
  • b) zum Eichen wird der absolute Abstand eines jeden Elementes bezüglich einer Marke NULL bestimmt und gespeichert
  • c) die Elemente des Gesamtmusters untereinander werden durch Operation miteinander verknüpft
  • d) von allen möglichen Operationen wird eine solche betrachtet, deren Ergebnis für jede Gruppe von betrachteten Elementen eindeutig ist, wonach die Operation bzw. das Ergebnis derselben gespeichert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Operation eine Quotientenbildung erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verknüpfung der Elemente des Gesamtmusters untereinander die Verhältnisse zweier oder mehrerer Abstände gebildet werden.
4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Bestimmen eines Geberortes vermittels des Maßstabes an einer bestimmten, vorgebbaren Stelle des Maßstabes ein Teilmuster bzw. Teilbild (elementares Intervall) des Gesammusters durch einen Geber erfaßt wird.
5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Elemente auf einem Maßstab an Stellen einer bestimmten Teilung angebracht werden, die ein Gesamtmuster bilden, wobei der Abstand zweier Elemente dann L bzw. ein Vielfaches davon ist.
6. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente und ihre Aufeinanderfolge eine Binärkette bilden und somit die Elemente eines bestimmten Intervalls (Elementar) von Teilungen als Binärzahl interpretiert werden.
7. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Versetzen des elementare Intervalls um eine Teilung die Anordnung der Elemente so zu wählen ist, daß sich eine andere Binärzahl ergibt, damit in der Aufeinanderfolge der so gewonnenen Binärzahlen jede nur einmal vorhanden ist.
8. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich aus einem Intervall der Teilungsanzahl n maximal 2n Binärzahlen der maximalen Kettenlänge 2n ermitteln lassen, wenn jedes Element bezüglich des Gebers zwei Zustände annehmen kann, wobei in der Aufeinanderfolge der Binärzahlen jede nur einmal vorhanden ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß Ketten zum Einsatz kommen, deren Länge kürzer als 2n sind und die sich durch Bildungsgesetze herleiten lassen, bei denen Binärketten mit der elementaren Intervall-Länge von n und einer Gesamtlänge kleiner 2n erzeugen werden.
10. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Anstoß zur Erfassung eines Teilbildes von außerhalb des Meßsystems kommt mittels externer Bestimmung des Zeitpunktes bzw. der Zeitpunktfolge.
11. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen beliebig langer Maßstäbe mehrere Binärketten hintereinander und parallel zueinander kombiniert werden.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen beliebig langer Maßstäbe die elementaren Intervalle hinreichend klein gewählt werden.
13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer derartigen kombinierten Anordnung die Intervallnummer bezüglich der NULL bezeichnet wird, was durch einen gröberen Maßstab erreichten werden kann, der prinzipiell wieder als Binärkette aufgebaut wird.
14. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zum logischen Korrigieren fehlerhafter Bereiche bei kombinierten Maßstäben zwischen mehreren parallelen Binärketten hin und her geschaltet wird, so daß nur eine fehlerfreie kombinierte Gesamtkette betrachtet wird.
15. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zum logischen Korrigieren fehlerhafter Bereiche bei kombinierten Maßstäben die Vorgänger und Nachfolger der elementaren Intervalle einer Kette in ihrer Lage und Bedeutung berechnet, gespeichert und bekannt sind.
16. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente eines Musters als parallele Linienelemente gestaltet werden, die zueinander den Abstand L bzw. eine Vielfaches davon haben.
17. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erfassen von Teilmustern, die länger als elementare Intervalle sind, mehrere aufeinanderfolgende, absolute Positionen auf der Basis elementarer Intervalle berechnet werden (Redundanz).
18. Vorrichtung zum Erzeugen eines Maßstabes mittels eines Gebers, für Eichungs- und/oder Ortsbestimmungen, vorzugsweise für den Einsatz im Werkzeug- und Maschinenbau, gekennzeichnet durch folgende Merkmale,
  • a) es wird ein Gesamtmuster erzeugt, welches auf der Fläche des Maßstabes angebracht wird und dessen einzelne Elemente zufällig verteilt sind,
  • b) zum Eichen wird der absolute Abstand eines jeden Elementes bezüglich einer Marke NULL bestimmt und gespeichert
  • c) die Elemente des Gesamtmusters untereinander werden durch Operationen miteinander verknüpft
  • d) von allen möglichen Operationen wird eine solche betrachtet, deren Ergebnis für jede Gruppe von betrachteten Elementen eindeutig ist, wonach die Operation bzw. das Ergebnis derselben gespeichert wird
  • e) der Geber weist zum Abtasten/Erfassen des Bitmusters mehrere Sensoren in Reihe auf, wobei deren Anzahl der maximalen Anzahl der Elemente in einem elementaren Intervall entspricht, die im Teilungsabstand angeordnet sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ketten von Sensoren vorhanden sind, die um Bruchteile von L zueinander verschoben sind zum absoluten Bestimmen von Bruchteilen von L.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18 und/oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Information der Sensoren zeitrichtig erfaßt und verarbeitet wird.
21. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 18 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Geber zum Erfassen eines Teilmusters imstande ist, welches als Schattenbild des Maßstabes via Laserstrahl auf den Geber projiziert wird.
22. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 18 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Schattenbild von einer Optik vergrößert ist, die vorzugsweise mikroskopartig aufgebaut ist.
23. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 18 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Optik und Maßstab Immersionsöl angeordnet ist, wobei die Vorrichtung eine Einrichtung zur Immersionsölversorgung aufweist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß dieselben flächigen Sensoren (CCD-Sensoren u. ä.) aufweist und die Abtastung des Musters sinngemäß linienförmig erfolgt.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19726173A1 (de) * 1997-06-20 1998-12-24 Voith Sulzer Papiermasch Gmbh Temperaturkompensierter Eichmaßstab

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4143267A (en) * 1977-12-23 1979-03-06 Johnson Lonnie G Digital distance measuring instrument
EP0050195A2 (de) * 1980-10-18 1982-04-28 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Einrichtung zur Auswahl von Referenzmarken bei inkrementalen Längen- oder Winkelmesseinrichtungen
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4143267A (en) * 1977-12-23 1979-03-06 Johnson Lonnie G Digital distance measuring instrument
EP0050195A2 (de) * 1980-10-18 1982-04-28 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Einrichtung zur Auswahl von Referenzmarken bei inkrementalen Längen- oder Winkelmesseinrichtungen
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19726173A1 (de) * 1997-06-20 1998-12-24 Voith Sulzer Papiermasch Gmbh Temperaturkompensierter Eichmaßstab

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