DE3923961C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3923961C2 DE3923961C2 DE19893923961 DE3923961A DE3923961C2 DE 3923961 C2 DE3923961 C2 DE 3923961C2 DE 19893923961 DE19893923961 DE 19893923961 DE 3923961 A DE3923961 A DE 3923961A DE 3923961 C2 DE3923961 C2 DE 3923961C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- feed unit
- base body
- recess
- manipulator
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/32—Micromanipulators structurally combined with microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Manipulator nach
dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Ein derartiger Manipulator ist aus der US 45 66 346 A bekannt.
Der bekannte Manipulator hat einen Grundkörper, der
eine erste Ausnehmung aufweist. Ferner umfaßt der Manipulator
eine gegenüber dem Grundkörper in einer ersten Richtung
verschiebbar gelagerte erste Vorschubeinheit. Die erste Vorschubeinheit
hat eine zweite Ausnehmung. Die erste Vorschubeinheit
ist im wesentlichen innerhalb der ersten Ausnehmung
des Grundkörpers angeordnet. Ferner umfaßt der Manipulator
eine gegenüber der ersten Vorschubeinheit in einer zweiten,
zu der ersten Richtung senkrechten Richtung verschiebbar gelagerte
zweite Vorschubeinheit. Auf dem Grundkörper 6 ist
eine erste Antriebseinheit für das Antreiben der ersten Vorschubeinheit
in der ersten Richtung und eine zweite Antriebseinheit
für das Antreiben der zweiten Vorschubeinheit
in der zu der ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung
vorgesehen. Diese ist derart ausgebildet, daß trotz Antriebseingriffnahme
mit der zweiten Vorschubeinheit eine
freie Beweglichkeit derselben in der ersten Richtung gewährleistet
ist.
Aus der DE 23 51 098 ist ein spezieller Manipulator zum Verschieben
eines in einer Vakuumkammer befindlichen Trägers
bekannt. Hierzu sind die Vorschubeinheit und der Grundkörper
dieses speziellen Manipulators zusammenfassend profiliert.
Aus der GB 10 67 449 C ist ein Maschinenschlitten für die
Positionierung eines Werkstückes bekannt, der neben einem
x-y-Kreuztisch eine Dreheinrichtung zur drehbaren Halterung
von Werkstücken aufweist.
Aus der Fachveröffentlichung Otto, Dr. Ludwig "Der Mikromanipulator
und seine Hilfsgeräte", VEB-Verlag Technik, Berlin,
1954, Seiten 40 bis 43 sind Hubvorrichtungen für Manipulatoren
bekannt. Insbesondere offenbart diese Fachveröffentlichung
eine Manipulatorstruktur mit einer gegenüber
einem Grundkörper verschiebbar geführten Hubvorrichtung mit
einem höhenverstellbaren Arm.
Felder und Spannungsverläufe innerhalb integrierter Schaltungen
können optisch dargestellt werden, indem die integrierte
Schaltung mit einem Flüssigkristall beschichtet
wird, auf den eine Glasplatte abgesenkt wird. Wenn der Flüssigkristall
mittels eines Industrieauflichtmikroskopes betrachtet
wird, stellen sich Felder und Spannungsverläufe
innerhalb der integrierten Schaltung als dunkle und helle
Bereiche dar. Feldfreie Bereiche erscheinen in diesem Fall
als dunkel, während Felder von hoher Feldstärke hell erscheinen.
Bei einem solchen kontaktlosen Spannungsmeßverfahren
muß die Glasplatte mit einem sehr geringen Abstand vom
Kreuztisch des Mikroskopes oberhalb der integrierten Schaltung
angeordnet sein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Manipulator
der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß mit diesem
eine Glasplatte auf den Flüssigkristall einer integrierten
Schaltung bis zum Kontakt mit diesem unter den räumlich
extrem beengten Verhältnissen absenkbar ist, wie sie bei der
optischen Untersuchung der Feldverläufe und Spannungsverläufe
der integrierten Schaltung mittels eines Industrieauflichtmikroskopes
auftreten.
Diese Aufgabe wird bei einem Manipulator nach dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1 durch die im kennzeichnenden
Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Manipulators sind Gegenstand
der Unteransprüche.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Zeichnungen eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Manipulators näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine Horizontalschnittdarstellung durch eine bevorzugte
Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Manipulators; und
Fig. 2 eine skizzenhafte Draufsichtdarstellung auf
Vorschubeinheiten innerhalb des in Fig. 1
gezeigten Manipulators.
Ein in den Fig. 1 und 2 in seiner Gesamtheit mit dem
Bezugszeichen 1 bezeichneter Manipulator umfaßt einen in
Draufsicht im wesentlichen quadratischen, plattenförmigen
Grundkörper 2, eine gegenüber dem Grundkörper in x-Richtung
verschiebbar gelagerte erste Vorschubeinheit 3, und eine
gegenüber der ersten Vorschubeinheit 3 in y-Richtung ver
schiebbar gelagerte zweite Vorschubeinheit 4. Die erste Vor
schubeinheit 3 weist eine erste Ausnehmung 5 auf, innerhalb
der die zweite Vorschubeinheit 4 mittels einer Führungsvor
richtung 6 gelagert ist. Der Grundkörper 2 weist eine zweite
Ausnehmung 7 auf, innerhalb der die erste Vorschubeinheit 3
mittels einer zweiten Führungsvorrichtung 8 gelagert ist.
Vorzugsweise ist die erste Führungsvorrichtung 6 zur Lage
rung der zweiten Vorschubeinheit 4 gegenüber der ersten Vor
schubeinheit 3 durch eine zusammenpassend profilierte Ausge
staltung von in y-Richtung verlaufenden Innenwänden 9 der
ersten Vorschubeinheit 3 und in der y-Richtung verlaufenden
Außenwänden der zweiten Vorschubeinheit 4 gebildet.
Ebenso ist vorzugsweise die zweite Führungsvorrichtung 8 zur
Lagerung der ersten Vorschubeinheit 3 gegenüber dem Grund
körper 2 durch eine zusammenpassend profilierte Ausgestal
tung von in der x-Richtung verlaufenden Innenwänden 10 des
Grundkörpers 2, die durch die zweite Ausnehmung 7 festgelegt
sind, und in der x-Richtung verlaufenden Außenwänden 11 der
ersten Vorschubeinheit 3 gebildet.
Auf dem Grundkörper 2 ist, wie schematisch aus Fig. 2 er
kennbar ist, eine erste Antriebseinheit 12 für das Antreiben
der ersten Vorschubeinheit 3 in der x-Richtung und eine
zweite Antriebseinheit 13 für das Antreiben der zweiten Vor
schubeinheit 4 in der y-Richtung vorgesehen, wobei letztere
13 so ausgestaltet ist, daß sie trotz Antriebseingriffnahme
der zweiten Vorschubeinheit 4 in der y-Richtung eine freie
Verschiebung derselben in der x-Richtung ermöglicht. Dies
kann beispielsweise durch ein in x-Richtung gleitend ver
schiebbares, jedoch in y-Richtung fest geführtes Antriebs
teil geschehen.
Auf der zweiten Vorschubeinheit 4 ist eine Dreheinheit 14
befestigt, die in ihrem Sockelteil 15 fest mit der zweiten
Vorschubeinheit 4 verbunden ist. Das Sockelteil 15 führt
einen darüber angeordneten Drehteller 16. Der Drehteller 16
trägt eine Aufnahme 17 für integrierte Schaltungen 18.
In einer Schwalbenschwanzführung 19 im Grundkörper 2 wird
der Fuß einer z-Hubvorrichtung geführt, die in ihrer Gesamt
heit mit dem Bezugszeichen 20 bezeichnet ist und einen z-
Hubteil 21 sowie einen Arm 22 aufweist. Der Arm dient an
seinem freien Ende 23 zur Aufnahme einer Glasplatte 24, die
mittels der z-Hubvorrichtung in der eingangs beschriebenen
Art auf die mit dem Flüssigkristall beschichtete integrierte
Schaltung 18 abgesenkt werden kann.
Die Glasplatte 24 kann für spezielle Meßverfahren mit einer
Elektrode versehen sein, die bei dem erfindungsgemäßen Mani
pulator ständig angeschlossen bleiben kann.
Die Glasplatte 24 kann mittels des erfindungsgemäßen Manipu
lators 1 einfach und ohne Gefahr für die integrierte Schal
tung 18 justiert und abgesenkt werden und nach Durchführung
einer Messung auch einfach gereinigt werden.
Die beschriebene Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mani
pulators ermöglicht eine Justierung und relative Positionie
rung der Glasplatte 24 zur integrierten Schaltung 18 in ei
nem rechtwinkligen Koordinatensystem. Andere als rechtwink
lige Koordinatensysteme können jedoch gleichfalls auf den
erfindungsgemäßen Manipulator angewendet werden.
Claims (4)
1. Manipulator
mit einem Grundkörper (2), der eine erste Ausnehmung (7) aufweist,
mit einem gegenüber dem Grundkörper (2) in einer ersten Richtung verschiebbar gelagerten ersten Vorschubeinheit, die eine zweite Ausnehmung aufweist und die im wesentlichen innerhalb der ersten Ausnehmung (7) des Grundkörpers (2) angeordnet ist, und
mit einer gegenüber der ersten Vorschubeinheit (3) in einer zweiten, von der ersten Richtung abweichenden Richtung verschiebbar gelagerten zweiten Vorschubeinheit (4), die im wesentlichen innerhalb der zweiten Ausnehmung (5) der ersten Vorschubeinheit (3) angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf der zweiten Vorschubeinheit (4) eine Dreheinrichtung (14) angeordnet ist, die zur Aufnahme einer mit einem Flüssigkristall beschichteten integrierten Schaltung (18) ausgebildet ist, und
daß eine Hubeinrichtung (20) vorgesehen ist, die an dem Grundkörper (2) verschiebbar geführt ist und einen mittels eines Hubteiles (21) höhenverstellbaren Arm (22) aufweist, der an seinem freien Ende (23) zur Aufnahme einer Glasplatte (24) ausgebildet ist, welche auf die mit dem Flüssigkristall beschichtete integrierte Schaltung absenkbar ist.
mit einem Grundkörper (2), der eine erste Ausnehmung (7) aufweist,
mit einem gegenüber dem Grundkörper (2) in einer ersten Richtung verschiebbar gelagerten ersten Vorschubeinheit, die eine zweite Ausnehmung aufweist und die im wesentlichen innerhalb der ersten Ausnehmung (7) des Grundkörpers (2) angeordnet ist, und
mit einer gegenüber der ersten Vorschubeinheit (3) in einer zweiten, von der ersten Richtung abweichenden Richtung verschiebbar gelagerten zweiten Vorschubeinheit (4), die im wesentlichen innerhalb der zweiten Ausnehmung (5) der ersten Vorschubeinheit (3) angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf der zweiten Vorschubeinheit (4) eine Dreheinrichtung (14) angeordnet ist, die zur Aufnahme einer mit einem Flüssigkristall beschichteten integrierten Schaltung (18) ausgebildet ist, und
daß eine Hubeinrichtung (20) vorgesehen ist, die an dem Grundkörper (2) verschiebbar geführt ist und einen mittels eines Hubteiles (21) höhenverstellbaren Arm (22) aufweist, der an seinem freien Ende (23) zur Aufnahme einer Glasplatte (24) ausgebildet ist, welche auf die mit dem Flüssigkristall beschichtete integrierte Schaltung absenkbar ist.
2. Manipulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß eine erste Führungsvorrichtung (6) zur Lagerung der
zweiten Vorschubeinheit (4) gegenüber der ersten Vorschubeinheit
(3) durch eine zusammenpassend profilierte
Ausgestaltung von in der zweiten Richtung verlaufenden
Innenwänden (9) der ersten Vorschubeinheit (3) und in
dieser Richtung verlaufenden Außenwänden der zweiten
Vorschubeinheit (4) gebildet wird.
3. Manipulator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß eine zweite Führungsvorrichtung (8) zur Lagerung der
ersten Vorschubeinheit (3) gegenüber dem Grundkörper (2)
durch eine zusammenpassend profilierte Ausgestaltung von
in der ersten Richtung verlaufenden Innenwänden (10) des
Grundkörpers (2), die durch die zweite Ausnehmung (7)
festgelegt sind, und in dieser Richtung verlaufenden
Außenwänden (11) der ersten Vorschubeinheit (3) gebildet
ist.
4. Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet,
daß auf dem Grundkörper (2) eine erste Antriebseinheit
(12) für das Antreiben der ersten Vorschubeinheit (3) in
der ersten Richtung vorgesehen ist und
daß auf dem Grundkörper (2) eine zweite Antriebseinheit
(13) für das Antreiben der zweiten Vorschubeinheit (4)
in der zweiten Richtung vorgesehen ist, die derart ausgebildet
ist, daß sie trotz Antriebseingriffsnahme mit
der zweiten Vorschubeinheit (4) in der zweiten Richtung
eine freie Beweglichkeit derselben in der ersten Richtung
ermöglicht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893923961 DE3923961A1 (de) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Manipulator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893923961 DE3923961A1 (de) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Manipulator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3923961A1 DE3923961A1 (de) | 1991-01-24 |
DE3923961C2 true DE3923961C2 (de) | 1992-07-30 |
Family
ID=6385419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19893923961 Granted DE3923961A1 (de) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Manipulator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3923961A1 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4120497C2 (de) * | 1991-06-21 | 1994-05-26 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Ausrichtevorrichtung zur Justierung von im funktionellen und geometrischen Zusammenhang stehenden Objekten |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3218108A (en) * | 1962-10-11 | 1965-11-16 | Link Division Of General Prec | Precision positioning apparatus |
US3790155A (en) * | 1972-07-17 | 1974-02-05 | Radiant Energy Systems | X-y table for vacuum systems |
FR2501563B1 (fr) * | 1981-03-10 | 1986-07-18 | Sormel Sa | Manipulateur automatique |
-
1989
- 1989-07-20 DE DE19893923961 patent/DE3923961A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3923961A1 (de) | 1991-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2934347C2 (de) | Verfahren und Prüfgerät zum Prüfen des Zahnflankenprofils von Zahnrädern großen Durchmessers | |
DE2535347C2 (de) | Verfahren zum Messen von zylindrisch gestalteten Flächen | |
DE3719167C1 (de) | Numerisch gesteuerte Leiterplatten-Bearbeitungsmaschine | |
DE2620599C2 (de) | Verfahren zum Betrieb einer Chip-Bond-Vorrichtung | |
EP1266234B1 (de) | Vorrichtung zum testen von leiterplatten | |
DE602005004092T2 (de) | Gerät zum Messen der Oberflächenrauhigkeit oder der Kontur eines Objektes | |
DE2521618B1 (de) | Vorrichtung zum Messen oder Einstellen von zweidimensionalen Lagekoordinaten | |
DE69000140T2 (de) | Schleifbearbeitungsverfahren mit messung einer formschleifscheibe und maschine zu dessen durchfuehrung. | |
DE10039928B4 (de) | Vorrichtung zum automatisierten Testen, Kalibrieren und Charakterisieren von Testadaptern | |
DE69724894T2 (de) | Bestückungsverfahren von bauelementen auf einem substrat und bestückautomat dafür | |
DE19802848B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Testen eines Substrats | |
EP1315975A2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum prüfen von leiterplatten mit einem paralleltester | |
DE2627408A1 (de) | Pruefvorrichtung fuer halbleiterscheiben | |
DE68920256T2 (de) | Kapazitiv geleitete Teilezusammensetzung. | |
DE19545802A1 (de) | Meßvorrichtung | |
DE3923961C2 (de) | ||
DE3640287A1 (de) | Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten | |
EP0618521A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen von Objekten | |
EP0005727A1 (de) | Abfühlvorrichtung zum Feststellen des Ortes von elektrisch leitenden Punkten | |
EP1477274B1 (de) | Werkzeugmaschine | |
EP1588855A1 (de) | Vorrichtung zur fotoelektrischen Ausmessung einer Messvorlage und Verfahren zum Ermitteln von Koordinatenwerten einer ausgewählten Position auf einer Messvorlage mit einer solchen Messvorrichtung | |
DE4109684A1 (de) | Kontaktierungsvorrichtung fuer pruefzwecke | |
DE10102540A1 (de) | Anordnung und Verfahren zur Identifikation von Substraten | |
DE19925310A1 (de) | Ritzprüfgerät für elektrische Bauteile | |
DE4219042C1 (de) | Roboter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |